真空镀膜机技术参数
真空镀膜机有关技术参数
1.可使用范围
离子蒸发沉积（可中频感应加热或电阻加热）如金属铍
磁控溅射待沉积靶材如钽铌等2.沉积方式连续缠绕走带式，即可连续生产。
3.带宽及及长度要求
可生产带宽200-250mm，可生产带长5-10m。
4.炉体真空度 5x10-5托
漏气率<1托╱3分钟
5.加热温度15000C(坩埚部分）
靶材部分约在40000C以上
6.设计要求坩埚部分带正电位；基
带带负电位，电位差500-1000伏。
7.基带移动速度5-20CM/分钟。
8.基带温度应低于2000C.炉体内温度不得高于2000C
真空镀膜机安全管理规定
真空镀膜机安全管理规定 撰写人：___________ 部门：___________
真空镀膜机安全管理规定 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行“炼气”，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2. 本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用 第 2 页共 2 页
电器件，注意安全。 3. 确认安全无误时才能操作设备。 4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5. 设备及电源控制柜必须良好接地。 6. 非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中; 2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架; 3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂; 4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件; 5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门; 6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳); 7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修; 8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油 第 2 页共 2 页
真空镀膜机安全操作规程
真空镀膜机安全操作规程 一．开机前作到： 1.检查工作环境清洁、干净。 2.检查电线无破损，接地牢固。 3.检查真空室、镀膜转架及工位器具清洁、无油污。 4.机械泵、罗茨泵油位过半。 5.检查四只阀加注满3#真空脂，真空室转轴加注满3#真 空脂。 6.罗茨泵转轴处油杯加满机械泵油。 7.准备相关工位器具，适量J-7钨丝、ABOO型99.99％ 的铝丝。 8.接通水、气、电，气压0.5-0.6Mpa，水压0.3-0.4Mpa。二．操作要点： 1.通电，开启机械泵，3分钟后开启阀3，开扩散泵，预 热1-1.5小时。 2.镀膜转架装夹产品、铝丝、钨丝，转架进烘箱预热（温 度、时间符合工艺）。 3.开阀4，开启真空室，转架进真空室，卡销定位，试转 动平稳无异常振动。 4.关闭真空室，关阀4，关阀3，开阀2，开始抽气，开 启复合真空计。 5.当真空度达至-0.1Mpa时，开启罗茨泵。
6.当真空度达到1-1.5Pa（52-64格）时，关阀2，开阀3， 开阀1。 7.当真空度达到2×10-2Pa时，开启转动（转速符合工艺）， 分二次进行蒸镀（电压、时间符合工艺），蒸镀结束关 复合真空计。 8.停止蒸镀0.5-1分钟后关转动，关阀1，关罗茨泵。 9.开阀4，开真空室，拉出镀膜转架，取下成品，换装待 镀产品，装上铝丝，进行下次工作。 10.严守开关阀、泵的顺序步骤，防止损坏设备。 11.生产中注意产品安装到位牢固。 12.注意转架电极、紧固件是否松脱，及时加固补全。 13.及时更换断裂、积球、老化的钨丝。 三．关机及保养： 1.拉出转架后，关扩散泵，冷却1-1.5小时，后关阀3， 关机械泵。 2.关整机电源，关冷却水、关高压空气。 3.每星期检查清洁镀膜转架工装。 4.每三个月检查更换机械泵油。 5.每六个月检查更换罗茨泵油、扩散泵油。 制定：王思忠审批： 时间：2002.09.10 时间：
真空镀膜机操作指导
真空镀膜实验指导 真空镀膜常用的方法有蒸发镀膜、射频溅射镀膜和离子镀膜等。本实验通过介绍蒸发镀膜原理，掌握蒸发镀膜的操作方法。真空镀膜技术在电真空、无线电、光学、固体物理、原子能和空间技术中有广泛的应用。 1真空镀膜原理： 1.1蒸发镀膜机理 蒸发镀膜是真空镀膜的一种，它是在高真空条件下将物质加热到沸腾状态，沸腾出来的原子或分子溅落在固体材料表面，形成一层或多层膜的方法。凡是在沸腾温度下不分解或不变性的物质都可以用此法蒸镀成膜。 蒸发原子的成膜过程比较复杂，这里只能粗略描述如下：溅落原子首先被固体表面吸附，当表面温度低于某一临界温度时，原子开始“核化”——部分原子凝聚成团，出现若干“岛”，然后这些“岛”逐渐吸收周围的原子而长大，众多的“岛”相互连接成一片而成一块连续的膜。蒸发镀膜的条件主要有两个，分别介绍如下： 1.2高真空 我们希望蒸发出来的原子或分子不要受空气分子的阻挡而直接溅落到固体的表面，这样，蒸发镀膜的速度高，成膜质量也好。相反，如果真空度低，有大量的空气分子存在，一方面，蒸发出来的原子或分子与空气分子碰撞，阻碍了膜材分子的扩散，降低了蒸镀的速度，影响了膜的均匀性，另一方面，空气的导热使得膜材的温度不能很快地升高，必然要加大加热功率；更有甚者，空气的存在可能使膜材的某些成分氧化，引起成分变性；在连接着抽气机的情况下，若不能很快完成镀膜，膜料将被抽走。因此，蒸发镀膜需要在高真空条件下进行。当然，真空度也不需要绝对地高。事实上，只要分子的平均自由程大于膜材到基底的距离即可。如果膜材到基底的距离为10 --20cm，根据自由程公式 （d是分子的直径，n是分子数密度） 不难估计真空度在Pa以上就可以满足要求。 1.3材料洁净 材料的洁净包括膜料的洁净和基底材料的洁净。这一要求似乎是不言而喻的。如果材料中混有颗粒状或纤维状的杂质，将直接影响膜的均匀性和牢固度；如果混有可融的化学成分，将影响膜的物理性质，如亮度、表面张力、电导率等等。所以，膜材和基底的清洗工作必须认真对待。 2真空技术
真空镀膜机安全管理规定
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真空镀膜机安全管理规定 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行炼气，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2.本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3.确认安全无误时才能操作设备。 4.不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5.设备及电源控制柜必须良好接地。 第 2 页共 4 页
6.非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中; 2.真空室镀膜200-250次后，要清洗真空室和工作支撑架; 3.经常检查胶封是否良好，特别是动密封圈，定期给动密封圈加上真空脂; 4.定期检查电气元件，清除灰尘，更换烧坏的电器元件; 5.在真空状态下不得拆卸扩散泵和阀门; 6.罗茨泵、粗抽泵、维持泵要定期加油，换油(保持油面在油镜中心为佳); 7.充气阀门充气动作失灵时，必须进行检修; 8.镀膜完毕时先关闭真空测量计，再关闭精抽、前置阀，待精抽阀、前置阀完全关闭后才能充入大气，否则会烧坏电离规管，氧化扩散泵油及发生不必要的以外; 9.镀膜机在工作过程中，不得断水，若在工作过程中突然停电，应马上关闭精抽阀门，减少因系统漏气泵油的氧化; 10.关罗茨泵后一定要经过1分钟后才能关粗抽泵，否则会因为罗茨泵在转速较高时充入气体，会损坏罗茨泵。 第 3 页共 4 页
真空镀膜工安全操作规程标准范本
操作规程编号：LX-FS-A73952 真空镀膜工安全操作规程标准范本 In The Daily Work Environment, The Operation Standards Are Restricted, And Relevant Personnel Are Required To Abide By The Corresponding Procedures And Codes Of Conduct, So That The Overall Behavior Can Reach The Specified Standards 编写：_________________________ 审批：_________________________ 时间：________年_____月_____日 A4打印/ 新修订/ 完整/ 内容可编辑
真空镀膜工安全操作规程标准范本 使用说明：本操作规程资料适用于日常工作环境中对既定操作标准、规范进行约束，并要求相关人员共同遵守对应的办事规程与行动准则，使整体行为或活动达到或超越规定的标准。资料内容可按真实状况进行条款调整，套用时请仔细阅读。 1．在机床运转正常情况下，开动机床时，必须先开水管，工作中应随时注意水压。 2．在离子轰击和蒸发时，应特别注意高压电线接头，不得触动，以防触电。 3．在用电子枪镀膜时，应在钟罩外围上铝板。观察窗的玻璃最好用铅玻璃，观察时应戴上铅玻璃眼镜，以防X射线侵害人体。 4．镀制多层介质膜的镀膜间，应安装通风吸尘装置，及时排除有害粉尘。 5．易燃有毒物品要妥善保管，以防失火中毒。 6．酸洗夹具应在通风装置内进行，并要戴橡皮
真空镀铝机安全操作规程详细版
文件编号：GD/FS-9694 （操作规程范本系列） 真空镀铝机安全操作规程 详细版 The Daily Operation Mode, It Includes All The Implementation Items, And Acts To Regulate Individual Actions, Regulate Or Limit All Their Behaviors, And Finally Simplify Management Process. 编辑：_________________ 单位：_________________ 日期：_________________
真空镀铝机安全操作规程详细版 提示语：本操作规程文件适合使用于日常的规则或运作模式中，包含所有的执行事项，并作用于规范个体行动，规范或限制其所有行为，最终实现简化管理过程，提高管理效率。，文档所展示内容即为所得，可在下载完成后直接进行编辑。 1 目的：为了减少直至消除违章操作造成的工伤安全事故，为了减少直至消除违章或不规范操作对设备造成的损害，特制定本文件，为操作镀铝机提供正确指引。 2 范围：适用于本公司钟南街厂区所有镀铝机。 3 职责： 3.1 机长和辅助：执行本文件规定项目和内容。 3.2 主管：监督当班人员按本文件规定执行，负责日常巡查和纠正违章操作。 3.3 设备管理部：负责全厂区范围内巡回检查，
发现和取证各车间违章操作行为。 4 操作具体要求： 4.1工作准备 按本设备使用说明的各项要求，检查设备的供电、供水、供气、油位等各部分状态是否正常，保证三相电压＞370V,保证油水分离器处的气压＞ 0.55Mpa、冷却水进水压力＞0.2Mpa（LDL5的水压≥0.15 Mpa），＜0.3 Mpa,确保其通畅、可靠和安全。［备注：交接班时，关闭V2、V6 V1、V5后开启滑阀泵、打开气镇阀进行气镇半小时再关闭气镇阀（也可以在关闭V1、V5而且真空度≤90Pa（9×103）的情况下进行），并经常排放滑阀泵内的冷凝水,1-7月排放1次/3小时间;7-12月排放1次/5小时。 4.2 镀膜准备工作
镀膜设备的维护与保养
第一章、对真空镀膜设备维护与保养的认识 真空镀膜设备有多种规格的单室机和多室连续机。真空镀膜设备的运行状况直接影响生产工艺、产品质量和生产进程等，为了使设备的运行状况良好，必须建立和完善设备的维护与维修制度、维护内容、维修标准等。 一、维护与维修制度，为了使真空镀膜设备在维护、维修及生产过程中出现问题能得到及时收集、传递、分析和处理而制定的管理制度。 1.有完善的制度和设备的使用操作规程。 A、维修人员在维修时应挂放正在维修牌，并切断电源以防他人使用机器设 备等。这也是对设备特别是维修和操作人员安全的重要保证。 B、真空镀膜机（其实不单是真空镀膜机，应该是所有的设备）必需要有详 细易懂的操作说明书（这份说明书是根椐各自厂内环境及实际情况编写的）。 而且在每个新学员工在操作机器之前要看懂，在指定的掊训人员监看下按照说明书一步一步操作。并在培训完后考核合格上岗。（附样本说明书） C、日常保养同样也要有标准化的作业指导书。这里面包括了作业之前的准 备工作（准备工具、清洁用品、必要冷却，吹水等等）及作业步骤，注意事项，事后检查（检查有无遗漏零部件，工具，及冷却水无有打开。）现场清理工作。（附作业指导书苑本） D、建立设备台帐。设备的台帐好比人一生的档案一样。从设备安装调试那 天起就应该记录设备的一些重要参数。（比如极限真空度，前级，预抽的真空度和时间，电流，电压等各方面数据，以及重大维修记录） E、保养记录表。第日点检，以及周期保养应该都要有记录（附表） F、异常维修记录表。记录处理每次异常发生的原因、检查的步骤、得出的 结论、处理的方法，以及预防被免再次发生的措施。（附表） 可能这些文字工作对有些师傅们觉得有些不耐烦。但我认为这样恰恰是起到了事半功倍的效果。既可以大大提高我们的分析异常的能力和速度，又减少了因为一些小的疏忽而酿成设备大的损伤。这些记录同时对企业和个人来说也是一笔重要的财富。 2.在工厂生产管理中设备的维护与维修是重要的一方面。应该有专职的、能力强的维修人员负责。
作业标准书
作 业 标 准 书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 成型参数及工序规范 工序图片说明 注意事项 模具温度（℃） 熔炉温度（℃） 喷嘴温度（℃） 130±30 440±20 450±20 喷嘴口径 射料时间（秒） 二次射料时间 13mm 0.7-1.2 -- 成型周期/秒 开模时间（秒） 喷雾时间（秒） 3.0±0.5s 手动喷雾 押出时间（秒） 冷却时间（秒） 射料速度 0.5-0.8s 3.0±0.5s 4-6转 射料压力（Kg/cm ） 锁模压力（Kg/cm ） 80-95kg 110±15kg 1、 确认模具装配OK ，模腔需干净无杂物，冷却水道通畅，喷嘴大小与 机台是否合适。模具编码为：JC-LW-38 (一模2穴)。 2、 确认压铸机使用正常。 3、 正确安装模具上机台，调试压铸机。 4、 调整压射参数，确认料温、模温与喷嘴温度OK 后进行首模生产。 5、 首件须品质及相关负责人确认OK 后方可生产。 6、 生产20-30模之间要加一次料。严格按照本产品制定之加料方式进行 加料。 7、 将放满产品之架车及时推至下一工序-----剥料。 1、 产品材料：3#锌合金。 2、 离型剂：水性锌合金专用离型剂。。 3、 产品外观要求无拉伤，气泡，水纹， 缺料，砂孔，变形，多料等。具体依据品质减压与合格标准书。 4、 加料方法：按产品规定循环添加，以 少量多次为原则。添加时需注意料温，不可低于400度。 5、 生产中异常应及时向上级汇报。 6、 注重环保，禁用六种有害物质。 仪器设备名称 数量 工、治具名称 数量 40T 锌压铸机 一台 钳子 一把 架台/手套 一张/一双 NO 修/制定日期 制作人 审 核 核 准 版本 制/修定内容 1 2014.02.20 张文定 A0 作业标准书 产品料号 三框 工 序 压铸-剥料-修批锋-抛进料口-精抛-素胚全检-电三价铬-全检-真空镀-全检 文件编号 JC-SOP-SC-087 产品名称 版次 A/0 工序规范 工序图片说明 注意事项 整模产品 130T 机台
真空镀膜机安全管理规定(正式)
编订：__________________ 单位：__________________ 时间：__________________ 真空镀膜机安全管理规定 (正式) Standardize The Management Mechanism To Make The Personnel In The Organization Operate According To The Established Standards And Reach The Expected Level. Word格式 / 完整 / 可编辑
文件编号：KG-AO-5029-36 真空镀膜机安全管理规定(正式) 使用备注：本文档可用在日常工作场景，通过对管理机制、管理原则、管理方法以及管理机构进行设置固定的规范，从而使得组织内人员按照既定标准、规范的要求进行操作，使日常工作或活动达到预期的水平。下载后就可自由编辑。 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书，了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训，熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范，方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象，接上电源，并检查真空室内电极绝缘性，钨丝接触是否可靠，工件架转动是否自如。联轴器，输入电极接触是否良好，各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源，各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查，各项性能良好，才能进行抽气试
机。如果镀膜室长期暴露大气，还必须进行“炼气”，就是按照操作规程，不进行镀膜，只让机械泵、扩散泵等连续抽气，察看真空度上升的稳定情况，若真空度保持稳定，才能进行下一步操作。一般“炼气”时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 二、满足以上各项检查后，进入操作和使用： 1.在非特殊情况下，请勿以断拉闸(断电)方式停机。 2. 本设备通电及运行过程中，请勿触摸电气控制柜内部和外部用电器件，注意安全。 3. 确认安全无误时才能操作设备。 4. 不要将设备交给非本设备操作人员操作。 5. 设备及电源控制柜必须良好接地。 6. 非专业人员请不要维修本设备。 三、工作中还必须注意以下几点： 1.平时，整个系统要保持真空状态，工作前才充入气体，不要使真空室长期暴露在大气中;
国产镀膜机作业指导书
1. 目的/范围 规范镀膜操作工艺，确保安全生产。 2. 定义/缩写词 NA 3. 参考文件 NA 4. 职责与权限 本文件适用于高意光学镀膜中心镀膜工种，在所有工程师商讨通过之后有权改动其中内容。文件制定、执行者姜海，镀膜总工艺李全民对此文件有最终解释权。 5. 工具及设备 国产镀膜机及配件、分光光度计。 6. 作业内容 1膜厚控制方式：过正极值法、定值法和晶控法。 2镀膜操作步骤： 2.1镀膜员工基本要求： 每天早晨开机之前了解一天内所要镀的产品，镀每一灶之前都要检查核对派工内容，检查产品或试镀品的生产任务单号、数量、镀膜指标，跟据相应的指标找出《镀膜生产工艺卡》，无相应镀膜生产记录表，操作员有权利拒绝镀膜。 2.2开机： 2.2.1确认总电源、总气路、总循环水正常工作，开启镀膜机总电源。 (重要环节/语言很难描述的环节) 2.2.2北仪：依次开（维持泵）、机械泵、前级阀、扩散泵，扩散泵温 度到设定温度（须预热60分钟以上才能正常工作）。
南光：依次开机械泵、预阀、扩散泵（1#镀膜机260℃，7#镀膜 机230℃，8#镀膜机240℃），各阀门开关间隔5秒。 2.2.3依次开启真空计、晶控仪、膜厚控制仪、气体流量显示仪、光源 （预热80分钟，非正常工作下电流值调至工作状态的一半）、单 色仪控制器、工转电源、计时器和照明。 2.3热机 2.3.1如果超过8小时未开机，除7#镀膜机，其余都需要热机。各机台 大清洗之后，必须热机。 2.3.2 按照此文件依次执行抽低真空、抽高真空、镀膜前准备等各步 骤，开烘烤到100℃恒温10分钟。 2.3.3开启离子源、电子枪，使机器处于镀膜状态，镀Ta2O5膜料 10nm ，镀膜之后关闭电子枪，离子源，此操作为检验镀膜机各设 备是否处于正常工作状态。 2.3.4按此文件执行镀膜后步骤，以上步骤具体内容详见下文。 2.4抽真空前准备： 2.4.1北仪： 按充气阀对真空室充气，充气完毕关充气阀。
真空镀膜机的详细结构
真空镀膜机的详细结构 高真空镀膜机，镀膜机是目前制作真空条件应用最为广泛的设备。其相关组成及各部件：机械泵、增压泵、油扩散泵、冷凝泵、真空测量系统. 下面本人详细介绍各部分的组成及工作原理。 一、真空主体——真空腔 根据加工产品要求的各异，真空腔的大小也不一样，目前应用最多的有直径1.3M、0.9M、1.5M、1.8M 等，腔体由不锈钢材料制作，要求不生锈、坚实等，真空腔各部分有连接阀，用来连接各抽气泵浦。 二、辅助抽气系统 此排气系统采用“扩散泵+机械泵＋罗茨泵＋低温冷阱＋p olycold”组成 排气流程为：机械泵先将真空腔抽至小于2.0*10-2PA左右的低真空状态，为扩散泵后继抽真空提供前提，之后当扩散泵抽真空腔的时候，机械泵又配合油扩散泵组成串联，以这样的方式完成抽气动作。 排气系统为镀膜机真空系统的重要部分，主要有由机械泵、增压泵（主要介绍罗茨泵）、油扩散泵三大部分组成。 机械泵：也叫前级泵，机械泵是应用最广泛的一种低真空泵，它是用油来保持密封效果并依靠机械的方法不断的改变泵内吸气空腔的体积，使被抽容器内气体的体积不断膨胀从而获得真空。 机械泵有很多种，常用的有滑阀式（此主要应用于大型设备）、活塞往复式、定片式和旋片式（此目前应用最广泛，本文主要介绍）四种类型。 机械泵常常被用来抽除干燥的空气，但不能抽除含氧量过高、有爆炸性和腐蚀性的气体，机械泵一般被用来抽除永久性的气体，但是对水气没有好的效果，所以它不能抽除水气。旋片泵中起主要作用的部件是定子、转子、弹片等，转子在定子里面但与定子不同心轴，象两个内切圆，转子槽内装有两片弹片，两弹片中间装有弹簧，保证了弹片紧紧贴在定子的内壁。 它的两个弹片交替起着两方面的作用，一方面从进气口吸进气体，另一方面压缩已经吸进的气体，将气体排出泵外。转子每旋转一周，泵完成两次吸气和两次排气。当泵连续顺时针转动时，旋片泵不断的通过进气口吸入气体，又从排气口不断的排出泵外，实现对容器抽气的目的。为了提高泵的极限真空度，均将泵的定子浸在油里面这样，在各处的间隙中及有害空间里面经常保持足够的油，把空隙填满，所以油一方面起到了润滑作用，另一方面又起了密封和堵塞缝隙及有害空间的作用，防止气体分子通过各种渠道反流到压强低的空间去。 机械泵是从大气开始工作的，它的主要参数有极限真空，抽气速率，此为设计与选用机械泵的重要依据。单级泵可以将容器从大气抽到1.0*10-1PA的极限真空，双级机械泵可以将容器从大气抽到6.7*10-2帕，甚至更高。 抽气速率，是指旋片泵按额定转数运转时，单位时间内所能排出气体的体积，可以用下公式计算： Sth=2nVs=2nfsL fs表示吸气结束时空腔截面积，L表示空腔长度，系数表示转子每旋转一周有两次排气过程，Vs表示当转子处于水平位置的时候，吸气结束，此时空腔内的体积最大，转速为n。
PVD真空镀膜设备行业分析报告
目录 （一）PVD真空镀膜技术 (1) （二）真空镀膜技术具体应用领域 (2) （三）行业现状分析 (4) （四）行业市场表现分析 (5) （五）行业竞争格局分析 (6) （六）行业与上下游的关系 (6) （七）行业周期性、区域性、季节性特征 (9) （八）进入本行业的主要障碍 (9) （九）影响行业发展的有利因素和不利因素 (10) （十）行业发展方向 (11) （十一）总结 (12)
PVD真空镀膜机设备行业分析
（一）PVD真空镀膜技术 PVD真空镀膜技术，PVD是Physical Vapor Deposition的缩写，意思是“物理气相沉积”，指在真空条件下，用物理方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。 PVD(物理气相沉积)技术主要分为三类，真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜，三种主要的真空镀膜技术可以满足常生产、生活领域的所有常见基材（塑料、玻璃、金属、薄膜、瓷等）的镀膜需要。近十多年来，真空离子镀技术发展最快，已经成为当代最先进的表面处理方法之一。 PVD镀膜技术种类表 类型介绍 蒸发镀膜加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。 溅射镀膜利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。 离子镀膜离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离 子体中进行。 其他如真空卷绕镀膜是一种利用物理气相沉积的方法在柔性基体上连续镀膜的技术，以实现柔性基体的一些功能性、装饰性属性。 需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材，基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程（散点－岛状结构-迷走结构-层状生长）形成薄膜。溅射类镀膜，可以理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜。离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术，将各种气体放电方式引入到气相沉积领域，整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。离子镀大大提高了膜层粒子能量，可以获得更优异性能的膜层，扩大了“薄膜”的应用领域，是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲，离子镀膜的特点是：镀膜时，工件（基片）带负偏压，工件始终受高能离子的轰击，形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高，容易进行反应沉积，可以在较低温度下获得化合物膜层。
【最新】工厂实习报告最新【五篇】
【最新】工厂实习报告最新【五篇】 工厂实习,我学会了与员工同事相处沟通的有效方法途径.积累了处理人际关系问题的经验方法,下面给大家分享一下关于工厂实习报告,希望对大家有帮助工厂实习报告1 1.实习目的 通过现场参观,讲课及班组学习,了解本专业在生产和科研中的重要地位,学习工厂和工程技术人员丰富的生产经验和生产技术管理手法及主人翁精神,加强组织纪律性.培养安全生产观念;结合学生就业,进行相关的就业指导.学习现代测控系统的基本原理与技术,如纤维检测原理,真空技术与仪器的关联,为进一步学习专业知识打下良好基础.概括为: 1.基本掌握所在实习单位的概貌及有关的生产设备,了解所在岗位所使用的仪器的工作原理,结构及测控系统的组成运行,维护知识,丰富和扩大专业知识. 2.巩固已学的知识,特别是专业基础课及专业课内容,以达到理论联系实际的目的.通过生产实习,学习和了解检测专业在生产领域的各个应用以及仪器仪表先进性的发展等知识,进一步培养分析问题和解决问题的能力. 3.到研究所这样集中着许多科学领域里的新材料.新设备.新工艺和新技术进行生产实习.其目的是要求我们能把所学过的理论知识与生产实际联系起来,着重培养自己的实际工作能力,拓宽知识面,提高对所学专业的认知. 4.通过参观学习,着重了解真空研究所的生产工艺流程,加深对电子仪器设备技术的了解,了解现代企业的管理与生产流程. 2.实习单位 沈阳真空技术研究所(以下简称真空所)位于沈阳市大东区万柳塘路号.沈阳真空技术研究所创建于_58年,是国内最早从事真空技术及真空成套设备研制与开发生产的研究所,原属于机械工业部,现隶属于中国机械工业集团有限公司. 该所是国家真空设备质量监督检验中心.全国真空技术标准化技术委员会(国际标准化组织(ISO/TC_2)的P成员).科技期刊>杂志的挂靠单位,同时也是中国真空设备行业协会副理事长单位及中国真空学会副理事长单位.所内现有员工_0多名,专业技术人员65名,其中教授级高级工程师5人,高级工程师_人,工程师及助工38人;并设有真空冶金.真空热处理.真空电工.真空镀膜.真空测量等领域,
JSD-300蒸发镀膜机使用说明书
JSD-300型真空镀膜机 使 用 说 明 书 安徽嘉硕真空科技有限公司
目录 1、概述 (3) 2、主要技术性能参数 (3) 3、设备安装 (5) 4、操作规程 (5) 5、使用注意事项、维护与保养 (7) 6、设备主要配置 (8) 7、技术资料清单 (9)
一、概述 JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。 二、主要技术性能参数 1.真空室：φ300*H450mm； 2.基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）； 3.最大可镀工件直径：φ120mm； 4.极限真空度：1X10-4Pa; 5.抽气时间：大气压~8*10-3Pa小于20min； 6.蒸发：电阻式蒸发电极（2对） 功率：2KW； 7.开启方式：上翻盖结构； 8.真空系统：机械泵+分子泵； 设备结构介绍： 1.真空室 钟罩结构，上盖开启。不锈钢材质，前面配φ100观察窗、预抽接口、充气接口；内部有底 板、蒸发源等； 2.真空系统 采用分子泵+旋片式机械泵。采用真空波纹管连接，配有真空测量仪表，具备真空互锁机构； 3.电气系统 电气系统包括真空抽气机组控制、蒸发与烘烤控制、真空测量控制等部分组成。
系统示意图如下所示： 图1 JSD-300真空镀膜机示意图 调节旋纽 电控面板 电流表 蒸发开关 膜厚仪探头 步进电机 插板阀 预抽阀门 备用接口 分子泵电源 前门板 总开关 电离单元 观察窗挡板 真空室 陶封电极 电机控制器 电阻单元 真空计 膜厚仪 加热温控电源 封板 地脚 脚轮 观察窗 温控仪表
真空镀膜操作规程
真空镀膜操作规程 准备： 1、开启设备总电源，稳压器，确认三相供电电压正常：370— 440V； 2、开启电容补偿器； 3、确认水池冷却水水量充足（见浮标尺）打开循环水泵； 4、根据工艺要求，确定是否需要启动冷水机以及启动几台冷水机；启动 前应确认冷水机入口水压-3kg ，内部增压泵旋转正常，可采用自动或手动方式启动； 5、确认各部分冷却水循环系统完好，确认扩散泵循环水工作正 常，紧急冷却系统准备就绪； 6、确认工艺气体气压不低于20 个大气压 7、装基膜： A 、领膜：镀膜工按生产任务单要求，从净化室中领到基膜时，应立即检 查该膜是否合格，有无花纹、斑点、划伤、污迹，收卷是否整齐等直接观测到的问题，如有应立即向生产主管报告，以决定是否采用； B、装轴：操作时必须带手套，将合格的基膜放在专用膜托架上，取一对尺 寸相同的轴安装好，安装时请注意膜的正反面，确认一切准备就绪了，即可吊装。吊装时必须轻拿轻放，严禁碰撞，必须保持基膜水平，以 免膜打滑引起螺纹状； C、装膜：确认冷辊无冷凝水后，即可装膜，装膜时不要对着膜讲话，
以保持膜面干净。注意不要碰透过率分析仪的探头，装膜时应保证 膜在冷辊的中心； D、按任务书车速要求设置镀膜速度、张力； E、试卷：引膜完成后，手动预卷几圈，打开张力控制器，启动冷辊、 收卷、卷膜（其中ITO膜卷1 —2m,前档膜和建筑膜卷20m ）。仔细观察膜是否走正，启动是否容易，冷辊是否与膜同步，走速是否 平稳，膜是否变形、起皱、划伤等等，并及时处置，最后用记号笔 在放料端画起始标志线； 8、按生产任务书要求确认各靶位、布气系统、电源配置正确， 靶材量充足，确认无其他物品遗忘在真空室内或小车上，关闭真空室； 抽真空 1、扩散泵预加热（约需40 分钟）：启动维持泵，确认运转正常后，打开维持阀（灯亮），逐一打开扩散泵； 2、低抽：确认真空室门已关闭启动计算机，进入镀膜系统监控程序，充气阀关闭，启动机械泵（ 1 、2），确认机械泵正常运行后，开预抽阀，五分钟后打开复合真空计，打开罗茨泵开关， （当真空达到1500Pa 时，罗茨泵允许信号灯（红灯）亮，再延 迟25 秒后，罗茨泵自动启动）；
LS152真空镀膜在线测厚仪说明书V1.1
LS152真空镀膜在线测厚仪 使用说明书Ｖ1.0 镀膜厚度的纵向、横向均匀度是镀膜制品重要质量和技术指标。镀膜产品的光密度（光密度 = LOG（1/透过率））和镀层厚度成正比例关系，镀层厚度越厚，光密度值越大，透过率越低。所以通过测量镀膜产品的光密度可以监控镀膜层的厚度。 真空镀膜在线镀层厚度检测装置，适用于各类镀膜生产线上，通过选择监控产品的可见光透过率，红外线透过率和光密度值（OD），来达到在线检测和分析产品镀层厚度，镀层厚度的均匀性等性能是否在工艺要求之内。以便操作人员及时了解产品质量，如有问题，及早发现及调整工艺，提高产品品质，降低产品的废品率。 此仪器提供双路的RS485通讯接口，标准的MODBUS通讯协议，方便和PLC，单片机，人机界面，组态王，电脑等通讯。镀膜机可以直接读取此设备的光密度数据，实现控制自动化（闭环控制）。 一：真空镀膜在线测厚仪的参数 1.测试波长：根据客户需要选择，目前有如下的选择： ●红外线：850 nm（默认选项，抗干扰能力强） ●可见光：白光 380nm-760nm ●绿光： 530nm 2.透过率测量精度：优于±1% 3.透过率分辨率：0.005%； 4.光密度测量范围：0.00 OD --- 5.00 OD 5.光密度的分辨率： 0.01 for 0.00 - 3.00 OD 0.05 for 3.00 - 5.00 OD 6.最大测量点数：36点 7.相邻探测头之间距离：最小70mm 8.发射接收探头之间距离：20mm 9.温度范围： -20°C --- +70°C
10.数据刷新周期：300ms 11.仪器整体尺寸： 100mm（宽）*230mm（高）* 长度(根据客户要求定制) 12.需真空法兰电极芯数：6根（不配电脑监控），9根（配电脑监控） 13.电源：220V AC/50Hz 14.通讯：双路RS485 二：真空镀膜在线测厚仪的特点 1. 一体化设计，结构简单，现场安装维护方便 2. 防尘设计 对于镀膜过程中的粉尘（如镀铝过程）会影响测量光学系统，该系统采用防尘设计，粉尘不会影响光学系统内部。如有粉尘，只需要定期擦拭清洁光学系统的镜头玻璃即可，方便维护。 3. 真空室的电子设计 真空环境中，和大气环境下有众多的区别，经过多次真空试验和现场应用，成功解决真空中电子器件的稳定性问题。 三：真空镀膜在线测厚仪的组成 1：设备分为三部分：探测系统、人机交互设备、电脑实时监控系统。 ●探测系统 主要包括光源，接收器，控制器和支架（测试点的多少，根据用户要求定制，测试点数一般是3的整数倍，如3、6、9、12、15等）。 ●人机交互设备 7寸LCD人机交互界面，显示各个测试点的透过率和光密度数据。实时数据，柱状图显示方式，上下限，基准值设置及显示，越限声音报警。 ●电脑实时监控系统（选配） 所有测试点数据的实时监控。包含实时显示、柱状图、上下阈值设定、实时曲线，越限报警等。透光率与光密度的显示可自由切换。 历史数据存储，分析和报表功能。整卷膜在其对应长度上，都有数据记录和分析。如果已知镀膜机的运行速度，可以出报表分析整卷膜在对应长度的光学指标，做到整卷膜镀层厚度和均匀性可追溯。 2：真空镀膜在线测厚仪示意图。
ZZ1100箱式真空镀膜机说明书解析
1、概述 本设备采用箱式结构，抽气系统后置，便于拆卸和维修。整机表面平整，便于清洁，适合净化间安装。蒸发室全部采用不锈钢制造，外有可通冷、热水的护罩，可对壁进行加热(热水器选配)或冷却。蒸发室底板有足够的面积布置蒸发源和各种接头。阀门采用气动，操作方便，使用可靠。液氮冷阱和水冷挡板设计为一整体。蒸发室抽气口也设置一光学密封机械挡板，因此可使蒸发室的油污染降低到极低的程度。本设备配备的抽气元件抽速较大，因此具有抽气时间短，工作真空度高，生产周期短等特点。 本设备适用于镀制各种多层光学薄膜和电学膜。是有关工厂、研究院和大专院校进行生产和科研的理想设备。 2、主要技术数据 2.1真空： 2.1.1极限真空：2×10-4Pa。 2.1.2恢复真空：从大气→2×10-3Pa≤10min。 2.2 蒸发室： 2.2.1直径：内部为φ1100mm。 2.2.2内腔尺寸：φ1100×1300mm。 2.2.3底板上有45个φ3 3.5通孔和2个斜光路孔。 3.3工件夹具： 2.3.1外径φ1000mm。 2.3.2锥形球面夹具：
2.3.3夹具转速N=3～31r.p.m。 2.4基片烘烤：可安装上下烘烤装置或其中一种，上烘烤为电阻丝（管状加热器）18KW(350℃全烘烤)；下烘烤为碘钨灯8KW(选配)，最高烘烤温度350℃，有上下烘烤接口。 2.5电阻蒸发电极：由技术协议确定，功率5KW/只。 2.6 2.7离子轰击：轰击电压0—300V 2.8抽气系统 2.8.1 主泵：K-630高真空油扩散泵，抽速12000L/s 2.8.2 前级泵：ZJP-300罗茨泵，抽速300L/s 2.8.3 2X-70机械泵：抽速70L/s 2.9光路系统： 2.9.1透、反射光路。 2.9.2六位(12位)比较片，另留一石英探头位置。 2.10其它 2.10.1电源：3相220V/380V 50Hz 2.10.2总功率：约40KW 2.10.3耗水：约30L/min 2.10.4压缩空气：5～6Mpa 2.10.5水压:0.2～0.25MPa 2.10.6总重量：（包括控电柜）约5吨 2.10.7外型尺寸：主机：1390×3500×2300（宽×深×高）控 电柜：1400×600×2100（宽×深×高）
PVD真空镀膜机作业指导书
PVD真空镀膜机作业指导书 一．开机 1. 检查水路是否畅通，确定冷却塔、激进泵是否正常工作 （水压需达到0.4Mpa以上）。 2. 检查气路是否畅通，确定空压机是否正常工作（气压需 达到0.5Mpa）。 3．开启电源开关，打开《开机》、《维持泵》开关，待真空计的热偶计读数在10pa以下时，打开《扩散泵温控仪1、2》，《扩散泵1、2》四个开关。即扩散泵升温（大约1小时左右）。 4. 距加热时间约10分钟左右，开启低温捕集器，待6分 钟冷却时间过后，按《F1》启动低温捕集器。待温控仪上的设定温度达到时，即可正常生产操作。 二．生产操作 1. 确定真空室内膜料、离子源灯丝、工件架已按要求放置 完毕。 2. 开启《粗抽泵》，将抽气手自动档切换至自动档，打开 《自动抽气》开关，待真空室大门吸合即可。 3. 当罗茨泵自动开启时，按低温捕集器《F2》，开启捕集 器制冷功能。 4. 此操作应工艺的不同而有较大的变化，此处不一一详 述，即为口述。
5. 工艺完成后，关闭电子枪、离子源（必须先归零灯丝电 流，再关电源）等开关，打开《自动充气》开关，待精抽阀闭合后，将抽气手自动档切换至手动档（此处必需注意除维持泵、扩散泵、粗抽泵、开机这四个开关是按下去的外，其他开关都不可按下，以免操作失误造成扩散泵暴露大气！），按捕集器F3，开启回温功能，待低温捕集器温度回温到30摄氏度以上，打开《充气阀》，待真空室门打开，关闭《充气阀》。（注：《自动抽气》与《自动充气》开关严禁混淆） 6. 以上循环，即为正常操作流程。 三．停机 1. 将真空室门吸合，抽至一定真空，关闭除《停机》开关 的所有开关。（注：此停机开关，正常生产中严禁开启）2. 待真空镀膜机冷却一小时后，方可关闭电源，空压机， 冷却塔，激进泵。 注：以上所有操作必须严格执行，未经允许不可更改，若应操作失误造成镀膜机受到损坏，影响等因素，操作员将承担相应责任。
真空镀膜机安全管理规定(正式版)
真空镀膜机安全管理规定 Through the process agreement to achieve a unified action policy for different people, so as to coordinate action, reduce blindness, and make the work orderly. 编制：___________________ 日期：___________________
专业技术文件/ Technical documentation编号： 真空镀膜机安全管理规定 温馨提示：该文件为本公司员工进行生产和各项管理工作共同的技术依据，通过对具体的工作环节进行规范、约束，以确保生产、管理活动的正常、有序、优质进行。 本文档可根据实际情况进行修改和使用。 真空镀膜设备是电阻加热式蒸发真空镀膜设备。操作人员必须详细阅读该机说明书, 了解设备结构、工作原理、操作程序并由专业人员指导培训, 熟练掌握各操作要领。经有关专业人员确认符合操作规范, 方能独立上岗操作。 一、该机开机前应先检查电控柜的接线是否有松脱现象, 接上电源, 并检查真空室内电极绝缘性, 钨丝接触是否可靠, 工件架转动是否自如。联轴器, 输入电极接触是否良好, 各密封处特别是动密封处是否良好。还需检查扩散泵、旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等的油量是否满足要求。提供的电源、气源, 各种机械泵转向都应正确。注意：试验罗茨泵转向一定要在真空状态下进行。 经过上述检查, 各项性能良好, 才能进行抽气试机。如果镀膜室长期暴露大气, 还必须进行炼气, 就是按照操作规程, 不进行镀膜, 只让机械泵、扩散泵等连续抽气, 察看真空度上升的稳定情况, 若真空度保持稳定, 才能进行下一步操作。一般炼气时间要达10小时以上。调试时主要检查： 1.真空检漏 2.检查极限压强 3.抽气时间 第2页/共5页