金属薄膜电阻率

电流/mA 电压正/mV 电压负/mV 电压平均/mV 膜厚度d/nm 镀膜时间/min k V I 0.6676 1.142 1.146 1.14400.7040 1.205 1.208 1.20650.50840.8700.8720.87100.39850.6800.6830.68150.8789 1.503 1.505 1.50400.9732 1.665 1.667 1.66601.0207 1.746 1.749 1.74751.1000 1.882 1.884 1.88301.5000 2.567 2.569 2.568010.0000 2.961 2.964 2.96259.0000 2.666 2.668 2.66708.0000 2.369 2.372 2.37057.0000 2.072 2.074

2.07306.0000 1.776 1.776 1.77605.0000 1.479 1.481 1.48004.0000 1.182 1.185 1.18352.00000.5900.5930.59151.00000.1200.1220.12101.50000.1810.1830.18202.00000.2420.2440.24302.50000.3030.3050.3040

3.00000.3640.3660.3650

4.00000.4860.4880.48706.00000.7310.7330.73208.00000.9760.9780.97704

5.0000 3.447 3.449 3.448040.0000 3.065 3.066 3.065535.0000 2.680 2.683 2.681530.0000 2.298 2.304 2.301025.0000 1.913 1.916 1.914520.0000 1.531 1.534 1.532515.0000 1.147 1.149 1.148010.00000.7640.7670.765545.0000 4.013 4.015 4.014040.0000 3.567 3.570 3.568535.0000 3.118 3.120 3.119030.0000 2.673 2.676 2.6745

25.0000 2.228 2.230 2.2290

20.0000 1.782 1.784 1.7830

15.0000 1.336 1.336 1.3360

5.00000.4450.4470.4460

10000.0054

0.370.370.005122025100010000.0050.005100010000.00544.488.8133.2222.0277.50.370.370.3748

膜厚度d/m膜厚度倒数1/d

4.44E-08 8.88E-08 1.332E-07 0.000000222 2.775E-0722522522.52 11261261.26 7507507.508 4504504.505 3603603.604