清洗制绒作业指导书

承认确认作成

3、 4、

1.安全准备

2.确认设备状态

3.核对硅片数量及规格

4.把硅片装入承载篮内

5.等待制绒

6.制绒参数设定

7.制绒酸洗温度设置

8.制绒

9.开启制绒槽盖

10.抽检

11.目视制绒效果

12.将抽检片放回原处

劳动防护用品：

13.制绒完毕放入水漂洗

14.清洗后抽检

15.氮气吹干

16.观察制绒效果

改定履历年

月

日

改

定

内

容

12345

提篮，电子显微镜，天平，反射率测试仪，量杯

测定法

减重量反射率

金字塔3.

承认

2-6um 显微镜0.3-0.5g /0.5-0.8g

1pcs/30min 2.管理要点

单晶硅片

规范硅片表面制作绒面

2.花篮要检查是否完好，放置时不要接触感应器.

3.查看设备是否满足工艺参数要求,或是否达到设定参数值。

4.如有异常则暂停生产！抽检时要注意安全，操作小心。

5.确保制绒清洗槽内液面（一定要淹没硅片）。

7.注意氮气吹干气压适当，不可加大。

8.用50倍显微镜观察时仔细绒面金字塔大小状况，合格流出，

2、使用夹具、 工具： 1、制绒机不合格返工，并做好绒面观察记录。

1.定位置管理说明

6.目视制绒观察有无明显不良情况，有则通知值班工艺员。工序目的：

使用部品材料：

设备名/设备编号： 第 1 页

年 月 日 年 月 日

作成日期页码信息：HCBZZZ011 总 2 页01

制绒及酸洗作业指导书

文书编号版 本修改日期

频度样品数

9.添加化学药品时要根据实际的绒面状况来增减化学药品的用量。10.根据生产实际状况需调整工艺参数的须经当班工艺确认。

11.生产过程中要注意设备运转以及水气供应。

应遵守的要点及注意事项

管理項目1.穿戴好安防劳保用品。

规定资料及判定标准

备 考

测试仪

改定

确认

1pcs/30min

天平≦14.5%

1pcs/30min 格式编号：HCZY 01

作业手顺·遵守事项

●作业手顺

防护镜，防毒口罩，耐酸碱手套，丁腈手套，耐酸碱围裙，耐酸碱皮鞋样式编号：AAAE02