国家标准硅抛光片表面颗粒测试方法-中国有色金属标准质量信息网
国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》
（讨论稿）编制说明
一、工作简况
1.标准简况：
近年来，随着大规模集成电路使用硅片直径的增大和品质的极大提升，衬底片表面的纳米级颗粒和微小缺陷（像COP）严重影响器件的质量，直接影响着供需双方的成品率。因此，抛光片、外延片等镜面表面的颗粒要求已成为关键参数，也是出厂和进货检验的主要参数。由于国内外硅抛光片外延片直径越来越多，而要求的颗粒直径越来越小，一般都要求对0.10到0.5微米直径的颗粒进行探测和计数。这已经远远超过了人的肉眼可以辨别的极限，因此各企业对抛光片表面颗粒、COP等众多缺陷的检验基本上都依赖硅片表面检查系统（简称SSIS）。在修订后的标准中体现如何正确使用该方法和设备设置，并正确评价测量结果。使标准修订后具有更普遍的实用性。
由于颗粒的测量的主要原理是利用SSIS产生的激光束在待测镜面晶片表面进行扫描，并收集和确定来自晶片表面的局部散射光（LLSs）的强度和位置，与事先设置的一组已知尺寸的聚苯乙烯乳胶球等效的散射光（LSE）的强度进行比较，得到晶片表面的一系列不同直径尺寸的LLS的总数和分布，将其作为晶片表面的颗粒尺寸和数量。换句话说，从一个未知的LLS收到的信号相当于从一个已知尺寸的聚苯乙烯胶乳（PSL）获得的信号。
除此之外，扫描仪对散射光与反射光的区分收集和处理，也可得到晶片表面的划伤、桔皮、抛光液残留；外延片表面划伤、棱锥、乳突等大面积缺陷。
通过对晶片表面小的凸起和凹陷的辨别及其在片子上位置的分布特征，可以探测分辨出COP。
通过对检测背景信号中低频信号的处理，得到晶片表面微粗糙度的参数Haze(雾)。
因此现在的SSIS已经可以探测镜面晶片上几乎所有类型的缺陷。随着硅片抛光和外延工艺的不断进步，晶片表面其他大面积缺陷，像划伤、桔皮、波纹、棱锥、堆垛层错等等数量上也越来越少了。更多的还是颗粒或者COP。习惯上我们所有这些表面缺陷粗略的统称为颗粒。在标准名称上我们也沿用了这一习惯。
由于本方法本身是相对测量，且晶片表面的外来的凸起颗粒、晶体缺陷或加工中带来的凹坑、划痕等等各种缺陷都会带来入射光的散射、反射；而不同厂家、不同型号或不同级别的检测设备在设计、结构、信号处理等各个方面的差异都可能反映在检测结果上。因此如何保证测量的重复性、保证测量结果的相对准确性以及各个厂家、不同类型的颗粒仪
进行比对变成了当前迫切需要解决的问题。现行标准已有十年的标龄，检测设备的不断发展改进，也使得测试方法中的部分适用范围、干扰因素、参考样品、校准方法、测量步骤及重复性、准确性等都需要修订。因此迫切需要修订原标准，使之保持先进性，对实践起到指导作用。
该标准标龄已超过十年，原标准制定时我们征求了当时两个主要设备生产商KLA-TENCOR和ADE的意见，在审定时他们分别派人到会，给了我们非常有力的技术支持。十年来，本标准涉及的SSIS设备有了很大的发展和改进，涉及的SEMI标准也有很大改变，我们结合对这四个标准SEMI标准的理解，站在使用者的角度，在原标准的基础上总结归纳，提出了该标准的修订意见。
2.任务来源
根据国标委综合[2015]52号文件《关于下达2015年第2批国家标准修制定计划的通知》，由有研半导体材料有限公司负责国家标准《硅抛光片表面颗粒测试方法》的制定工作。
3.项目承担单位概况
有研半导体材料有限公司，原名有研半导体材料股份有限公司。是由北京有色金属研究总院（简称“有研总院”）作为独家发起人设立的股份有限公司，成立于1999年3月，并在上海证券交易所挂牌上市（股票简称“有研硅股”），主营半导体材料。2014年3月，有研总院决定将主营业务扩展为半导体材料、稀土材料、高纯/超高纯金属材料以、光电材料的研发、生产和销售，因此更名为有研新材料股份有限公司。2014年11月，根据有研总院的决定，硅材料板块的全部资产和业务从有研新材料股份有限公司中剥离到有研总院控股的有研半导体材料有限公司，继续继续硅材料的生产、研发和销售，至此更名为：有研半导体材料有限公司。
该公司的前身是有研总院下属的硅材料研究室，建国以来，一直致力于硅材料的研发、生产，并承担了“九五”、“十五”“十一五”期间国家硅材料领域多项重大攻关任务和产业化工程，并支撑和带动了国内相关配套产业和技术发展。现已形成具有一系列具有自主知识产权的技术体系和产品品牌，目前主要生产5-8英寸硅单晶及抛光片，并一直开展12英寸抛光片的研发和生产。产品可用于集成电路、分立器件、太阳能等多个领域，远销美国、日本、西班牙、韩国、台湾、香港等地，在国内外市场具有较高的知名度和影响力。
4.主要工作过程
本项目在下达计划后，我们组织了专门的标准编制小组，进行了设备、用户要求、相关标准应用等方面的调研和收集；在对SEMI M35—1114、SEMI M50—1115、SEMI M52—0214、SEMI M53—0310充分理解的基础上，结合多年来国内外用户对硅片表面颗粒的要求和测试实践，修改了本标准。
2016年3月，将本标准的草稿邮件给各相关单位征求意见；
2016年4月26日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在江苏省泰州市召开《抛光片表面颗粒测试》标准第一次工作会议（讨论会），共有上海合晶硅材料有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、乐山市产品质量监督检验所等单位的30多位专家参加了本次会议。由有研半导体材料有限公司起草的标准草案进行了逐字逐句的讨论，并对编制组提交的讨论稿达成修改意见和建议如下：
1、在1 范围中：按照本标准规定……本标准适用于……的编写格式重新组织范围的内容；
将“1.1本标准提供了应用扫描表面检查系统（SSIS）对硅抛光片、外延片表面的局部光散射体（LLSs，习惯上称为颗粒）进行测试、计数和报告的程序。本标准同样适用于锗抛光片以及其他化合物抛光片。
1.2本标准提供了应用扫描表面检查系统（SSIS）对硅抛光片上COP进行分辨、测试、计数和报告的程序。本标准也可观测晶片表面的划伤、桔皮、凹坑、波纹等缺陷，以及对表征晶片表面微粗糙度的Haze。但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时设备的初始设置有关。”改为
“1.1 本标准规定了应用扫描表面检查系统（SSIS）对硅抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体（LLSs，习惯上称为颗粒）进行测试、计数和报告的程序。规定了对延伸的光散射体（XLSs）、以散射光与反射光区分识别、测试、计数和报告的建议程序。
1.2 本标准适用于应用扫描表面检查系统对硅抛光片和外延片表面的颗粒、划伤、硅抛光片的COP的检测、计数、分类。也适用于硅抛光片和外延片表面桔皮、波纹、表征晶片表面微粗糙度的Haze、硅外延片的棱锥、乳突等缺陷的观测、识别，但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能，并与检测时设备的初始设置有关。本标准同样适用于锗抛光片以及其他化合物抛光片等镜面晶片。”；
2、对2 规范性应用文件：加上引用的SEMI标准的英文名称；
3、在3术语中删除“柱形图”、和“测量系统分析”；增加如LLS、LSE、XLS、COP等
与本标准相关的、在GB/T 14264《半导体材料术语》中已有的术语，以方便本标准的使用。且对SMIF术语增加描述。
4、将6.1 .1设备一章中的“晶片夹持装载系统”的进行分节6.1.1、6.1.2……描述。并重新排列第6章的顺序号；
5、删除”6.1.6整体系统可靠性要求”、和”6.2在规定的设置条件下，测量应有足够的重复性。”
6、另加一章“7 环境要求”，将“6.3 表面扫描检查系统应置于符合要求的洁净环境中。应根据扫描表面检查系统（SSIS）的要求及被测颗粒的尺寸，确定洁净环境的级别。安装SMIF系统的可以适当的降低放置环境。推荐使用4级或更高级别的洁净间及相应的SMIF系统。”，移至7环境中。后面的章节号相应调整。
7将10 报告与11 精密度顺序互换，并将报告中的内容改为以英文字母顺序分别表示。
8 完成附录C和D的内容，并根据其D的内容考虑与7参考样片、8校准中内容的修改。
根据讨论会的纪要，我们又对SEMI 相关标准进行了更深入的分析，结合不同类型设备的设置、校准、测试情况，对本标准进行修改，形成了预审稿。
2017年4月12日，由全国半导体材料标准化分技术委员会组织，在广东省深圳市召开《硅抛光片表面颗粒测试方法》标准第二次工作会议（预审会），共有中国计量科学研究院、江苏中能硅业科技发展有限公司、乐山市产品质量监督检验所等21个单位31位专家参加了本次会议。与会专家对标准资料从标准技术内容和文本质量等方面进行了充分的讨论。现将会议讨论结果纪要如下：
1、2 规范性引用文件中增加GB/T 29506和GB/T 12964；
2、标准中术语的缩写全部改为文字描述（例如LLS改为局部光散射体（LLS））；
3、确认是否有外延堆垛层错的参考片。
根据预审会的纪要，将会上专家们的意见汇总并进行修改，形成了送审稿。
二、标准编制原则和确定标准主要内容的论据
1按照GB/T 1.1和有色加工产品标准和国家标准编写示例的要求进行格式和结构编写。
2参照SEMI M35 《自动检测硅片表面特征的发展规范指南》、SEMI M53 《采用在无
图形的半导体晶片表面沉积已认证的单个分散聚苯乙烯乳胶球的方法校准扫描表面检查系统的规程》、SEMI M50 《用于扫描表面检查系统俘获率和虚假计数率的测定方法》、SEMI M52 《关于130nm-11nm线宽工艺用硅片的扫描表面检查系统指南》的内容。
3与原标准相比，技术内容上都有了很大的变化。与2005年版相比，具体变化如下：
3.1在1范围中增加了“规定了对局部光散射体和延伸光散射体（XLSs）以及散射光与反射光的区分、识别、测试、计数和报告的建议程序”和“适用于抛光片和外延片表面的颗粒、COP的检测、计数、分类；也适用于抛光片和外延片表面微粗糙度的Haze、外延片的棱锥、乳突等缺陷的观测、识别。本标准同样适用于锗及其他化合物抛光片等镜面晶片”；及“针对130nm~11nm线宽工艺用硅片，本标准提供了扫描表面检测系统的设置、测量建议”。
3.2在2.规范性引用文件中去除了原来的ASTM F1620、ASTM F1621和SEMI M1，增加了GB/T 6624硅抛光片表面质量目测检验方法、GB/T 14264半导体材料术语、GB/T 12964硅单晶抛光片、GB/T 29506 300mm硅单晶抛光片、GB/T 25915.1 洁净室及相关受控环境、SEMI M35 自动检测硅片表面特征的发展规范指南、SEMI M50 用于扫描表面检查系统俘获率和虚假计数率的测定方法、SEMI M52 关于130nm-11nm线宽工艺用硅片的扫描表面检查系统指南、SEMI M53 采用在无图形的半导体晶片表面沉积已认证的单个分散聚苯乙烯乳胶球（PLS）的方法校准扫描表面检查系统的规程及SEMI M58 粒子沉积系统及工艺的评价测试方法。
3.3在3.术语和定义中增加了晶体原生凹坑、累计虚假计数率、动态方法、虚假计数率、变化率水平、匹配公差、标准机械接口系统、静态方法的定义。去除了在GB/T 14264半导体材料术语已有的定义。
3.4将
4.测试方法概述改为分类描述：4.1 局部光散射体（LLS）的测试描述；4.2利用与聚苯乙烯乳胶球（PLS）等效的散射光（LSE）的强度比较，得到晶片表面的颗粒尺寸和数量的描述。4.3通过对散射光与反射光的区分收集和处理，也可得到晶片表面的划伤、桔皮、抛光液残留，外延片表面划伤、棱锥、乳突等大面积缺陷的描述。4.4探测分辨出晶体原生凹坑 (COP)。4.5 Haze（雾）是由一个光学系统收集的，由入射光通量归一化的总散射光通量的描述。
3.5在5.干扰因素中增加了5.2缺陷LLS的光散射截面强烈依赖于LES的特性的影响；5.4呈批销售的聚苯乙烯乳胶球会呈现特定参数的差异的影响；5.10所有扫描表面检查系统的灵敏度是与其对本底噪声和识别最小局部光散射体（LLS）的能力有关的影响；
5.12当设定了一种测试模式对应的Haze值范围时，不同晶片的Haze差异过大可能导致虚假计数的影响；5.14间隔很近的特征可以被算作一个单一的散射的影响；5.16边缘损伤导致在晶片FQA内颗粒的错误计数的影响；5.18划伤方向影响扫描响应的影响；5.19缺少对外延堆垛层错类型的清晰识别带来的影响；5.20晶片上小丘的数量、高度、直径没有有效得到量化带来的影响；21晶片表面的划伤、桔皮、抛光液残留，外延片表面划伤、棱锥、乳突等这些大面积缺陷可能同时存在散射和反射带来的影响；5.23测试系统使用的设置、校准等条件带来的影响。其他定义及术语仅有文字上的修改
3.6将6.设备改为由以下部分描述：6.1晶片夹持装载系统；6.2激光扫描及信号收集系统；6.3数据分析、处理、传输系统：6.4数据分析、处理、传输系统：操作系统： 6.5 机械系统。
3.7增加了7.环境要求：表面扫描检查系统应置于符合要求的洁净环境中。应根据扫描表面检查系统的要求及被测颗粒的尺寸，确定洁净环境的级别。安装SMIF系统的可以适当的降低放置环境。推荐使用4级或更高级别的洁净间及相应的SMIF系统。针对（130~11）nm线宽工艺用硅片的扫描表面检查系统的更详细的要求见附录C中表1、表2。
3.8在8.参考样片中增加了8.1应选择有资质的样片作为参考样片；8.6参考样片的直径的选择要求；8.10关于“凹坑”的参考样片；8.11“划伤”的参考样片。
3.9在9.校准中，在9.2中细化了使用有资质的沉积聚苯乙烯乳胶球（PLS）的参考片进行LLS的直径和数量校准；在9.3中增加了通过重复校准来确认“系统的稳定性”的要求；在 9.4中增加了对“系统的虚假计数进行评估，获得测试系统的俘获率、尺寸的标准偏差、虚假计数率和累计虚假计数率”的要求；在9.5中“在静态或动态方法条件下，测试确定扫描表面检查系统的XY 坐标不确定性”的要求；在9.6 中进行设备校准前后测量结果的比对，评价时增加了“有条件的可进行多台扫描表面检查系统的比对；并进行匹配公差计算”的要求；增加了9.7“可能的话，使用8.10及8.11所描述的凹坑或划伤尺寸的参考样片来规范晶片表面的凹坑及划伤。也可将相关的标准模型存在扫描表面检查系统的软件中”的内容。
3.10在11.根据试验结果修改了精密度的内容。
3.11增加了附录A（规范性附录）：采用覆盖法确定扫描表面检查系统俘获率和虚假计数的测试方法（SEMI M50）的内容。
3.12增加了附录B（规范性附录）：测定扫描仪XY 坐标不确定性的程序(参见SEMI M50 附录1)的内容。
3.13增加了附录C(规范性附录)：针对130nm-11nm线宽技术硅片扫描表面检查系统要求指南（参见SEMI M52）的内容。
三、标准水平分析
关于抛光片表面颗粒的测试，在SEMI 标准中没有同样的标准可以直接参照。SEMI是将表面颗粒的测试分为四个标准：
SEMI M35 《自动检测硅片表面特征的发展规范指南》。主要对颗粒、COP 、划伤、外延缺陷包括堆垛层错等缺陷的测试原理、鉴别特征做了定义和描述，并对各种缺陷的鉴别以及对测量的影响因素进行了讨论。
SEMI M53 《采用在无图形的半导体晶片表面沉积已认证的单个分散聚苯乙烯乳胶球的方法校准扫描表面检查系统的规程》。针对SSIS的校准过程以及使用的校准参考样片进行了定义和规定。
SEMI M50 《用于扫描表面检查系统俘获率和虚假计数率的测定方法》。对测试系统由于重复计数和漏掉的计数带来的对晶片表面真实缺陷的测量的准确性进行了量化和评价。
SEMI M52 《关于130nm-11nm线宽工艺用硅片的扫描表面检查系统指南》：主要针对大规模集成电路不同线宽技术用片的颗粒及各种表面缺陷的测试，从设备、材料、晶片到设置等方面给予指导。
另外还有一个技术文件以及一些通用标准的支持。
本标准在对以上标准在充分理解的基础上，结合我们多年来生产、科研中使用的各种测试系统的经验对标准进行了大幅度的修改，修改后的标准比之前的标准更加具有可操作性，给设备的设置、使用、校准提供了规范，也为不同神之间的比对提供了量化。本标准水平建议为国际先进水平。
四、与我国有关的现行法律、法规和相关强制性标准的关系
《硅抛光片表面颗粒测试方法》与国家现行法律、法规和相关强制性标准不存在相违背和抵触的地方。
五、重大分歧意见的处理经过和依据。
无
六、标准作为强制性标准或推荐性标准的建议
建议本标准作为推荐性国家标准发布实施。
七、代替或废止现行有关标准的建议
本标准颁布后，代替原标准GB/T19921-2005。
八、其他需要说明的事项
本标准为修订标准，该标准的主要目的是规范晶片表面颗粒等缺陷的测试条件，便于供需双方对产品要求的判定，有利于不同设备间的比对。
本标准在名称上叫硅片表面颗粒检测标准，但在标准里适用范围为无图形的镜面晶片，即不仅仅适用于硅的抛光片和外延片，但目前主要应用于硅片，原因是目前硅片的用量远远大于其他晶片。
另外，为了更好的帮助使用者了解校准方面的内容以及正确的评价设备，我们将SEMI 53和SEMI 50的内容作为附录提供。
九、预期效果
本标准的修订和推广，将进一步规范抛光片和外延片上颗粒、划痕、COP等各种肉眼无法看到的微小缺陷的测试，是目前表面颗粒或COP的缺陷唯一的辨别手段。随着集成电路线宽尺寸的不断变小，抛光片或外延片表面的微小颗粒和COP等的识别和判定已经成为关键指标，本标准的实施将更加有利于供需双方对产品的确认，减少因测试设备、设置、校准等一系列问题带来的差异，避免带来晶片的质量问题，也将有利于硅片质量的提高和加工工艺的改进，同时本标准还给出了200mm直径用于130nm到45nm4种线宽规格及300mm 直径用于130nm到11nm线宽9种线宽的SSIS的测试设置建议。为我国集成电路衬底的发展提供了前瞻性的指导作用。也为除硅之外的锗或其他材料的晶片的表面颗粒测试提供了测试依据。
《硅抛光片表面颗粒测试方法》国家标准编制小组 2017.11.24
轴承温度标准
轴承温度标准-泵轴承温度标准 GB3215-82 4.4.1 泵工作期间，轴承最高温度不超过80 JB/T5294-91 3.2.9.2 轴承温升不得超过环境温度40，最高温度不得超过80 JB/T6439-92 4.3.3 泵在规定工况下运转时，内装式轴承处外表面温度不应高出输送介质温度20，最高温度不高于80。外装式轴承处外表面温升不应高处环境温度40。最高温度不高于80 JB/T7255-94 5.15.3 轴承的使用温度。轴承温升不得超过环境温度35，最高温度不得超过75 JB/T7743－95 7.16.4 轴承温升不得超过环境温度40，最高温度不得超过80 JB/T8644－1997 4.14 轴承温升不得超过环境温度35，最高温度不得超过80 电机轴承温度规定、出现异常的原因及处理。 规程规定，滚动轴承最高温度不超过95?C，滑动轴承最高温度不超过80?C。并且温升不超过55?C（温升为轴承温度减去测试时的环境温度）；具体见HG25103-91 轴承温升过高的原因及处理： (1)原因：轴弯曲，中心线不准。 处理；重新找中心。 (2)原因：基础螺丝松动。 处理：拧紧基础螺丝。 (3)原因：润滑油不干净。 处理：更换润滑油。 (4)原因：润滑油使用时间过长，未更换。 处理：洗净轴承，更换润滑油。 (5)原因：轴承中滚珠或滚柱损坏。 处理：更换新轴承。
按照国家标准，F级绝缘B级考核，电机温升控制在80K（电阻法），90K（元件法）。考虑到环境温度40度的情况，电机运行最高温度不能超过120/130度。轴承温度最高允许95度。用红外检测枪测量轴承室外表面的温度，经验上，4极电机最高点温度不能超过70度。对于电机本体，不用监测。电机制造完成后，一般情况下，他的温升基本上是固定的，不会随着电机运行发生突变或者不断增长。而轴承是易损件，需要检测。
四氯化硅理化特性表
四氯化硅81043（8.1类酸性腐蚀品） 包装：玻璃瓶或塑料桶（罐）外全开口钢桶；玻璃瓶或塑料桶（罐）外普通木箱或半花格木 箱；磨砂口玻璃瓶或螺纹口玻璃瓶外普通木箱；螺纹口玻璃瓶、铁盖压口玻璃瓶、塑料瓶或 金属桶（罐）外普通木箱。Ⅱ类包装，包装标志：腐蚀品。 物质名称: 四氯化硅；四氯硅烷；氯化硅英文名称：silicon tetrachloride 分子式：SiCl4 相对分子质量：169.89 危规号： 81043 物化特性 沸点（℃）比重（水=1） 1.48 熔点（℃）-70 饱和蒸气压（kPa）55.99（37.8℃） 蒸气密度（空气=1）5.86 溶解性可混溶于苯、氯仿、石油醚、乙醚等多数有机溶剂外观与气味无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味，易潮解 主要用途用于制取纯硅、硅酸乙酯等，也用于制取烟幕剂 火灾爆炸危险数据 闪点（℃）无意义爆炸极限无意义 灭火剂干燥砂土 灭火方法消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。禁止用水和泡沫灭火 危险特性受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。对很多金属尤其是潮湿空气存在下有腐蚀性。 反应活性数据 稳定性不稳定避免条件潮湿空气稳定√ 聚合危险性可能存在避免条件不存在√ 禁忌物强氧化剂、醇类、水、强碱燃烧（分解）产物氯化物 健康危害数据 侵入途径吸入√皮肤接触√口√ 急性毒性LD5054640mg/kg（大鼠经口）LC508000ppm（大鼠吸入，4h） 健康危害 对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿。眼直接接触可致角膜及眼睑严重灼伤。皮肤接触后可引起组织坏死。本品可引起溶血反应而导致贫血。泄漏紧急处理 根据液体流动和蒸气扩散的影响区域划分警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿防酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。作业时实用的所有设备应接地。穿上适当的防护服前禁止接触破裂的容器和泄露物。勿使水进入包装容器内。尽可能切断泄漏源。防止泄露物进入水体、下水道、地下室或限制性空间。小量泄漏：用干燥的砂土或其他不燃材料覆盖泄露物。大量泄漏：构筑围堤或挖坑收容。用碎石灰石（CaCO3）、苏打灰（Na2CO3）或石灰（CaO）中和。用耐腐蚀泵转移至槽车或专用收集器内。
《国家标准》国家标准GBT
国家标准GB/T 13017修订编制说明 一、工作简况 1.任务来源 中国标准化研究院承担的国家标准GB/T 13017《企业标准体系表编制指南》（以下简称《指南》）的修订任务由中国标准化研究院提出，报国家标准化管理委员会批准，纳入国家标准化管理委员会制修订项目计划，编号为：53032Z-1101，项目代号20030435-T-424。 2.背景 《指南》于1991年发布后，曾于1995年第1次修订为V.2版，现为第2 次修订的V.3版。从V.2到目前即将发布的V.3的逾十年间，科学技术和标准都已呈现出巨大的发展与进步，使《指南》V.2版内容对照当前高新技术已显出很大的差距。首先，企业在面对瞬息万变的环境而又不能制定可预测的长期规划时，自身必须具有一种自然和动态的演进和适应能力，而不是偶然强加于企业的被动举动，这需要企业制订相应措施来应对。其次，我国目前在国民经济产值上虽然蒸蒸日上，但生产中的能耗、资源消耗、安全事故、劳动生产率、管理水平及在创新能力和国际竞争力上都居世界相当落后的地位，这对科学的管理体系提出了要求。再次，我国日益认识到标准的重要作用，起动了国家标准战略的研究，而企业的标准化是标准化战略的基础和落脚点。 3.主要工作过程 承接本标准的修订任务后,我院早在2003年就成立了的标准修订课题组，并去上海汽车工业（集团）公司和宝钢集团做了调研工作，在鲍仲平同志的直接指
导和亲自带领下，收集了大量标准和文献，做了充分的前期调研工作。经过课题组的努力,2006年初基本完成了本标准的草案稿，3月向本院的院领导及各研究所做了汇报，相继走访了多家企事业单位，深入听取了各方意见；并对草案做了多次修改，于2006年6月完成了本标准的征求意见稿。 二、内容简介 1.本标准的定位 a）为编制先进、科学的企业标准体系提供指导 《指南》第三版采纳并融合了国际上最新管理理念和高技术水平的标准。 b）面向所有企业的中性标准 定位在实施系统集成的现代化企业集团，同时也适用于不实施这些集成 的传统企业。既适合于制造业企业，也适用于服务业等其他企业，也可 以为政府电子政务项目建立标准体系提供指导。 2.技术创新 a）以企业建模标准体系（企业工程和集成标准体系）为指导ISO发布了企业建模的系列标准，包括“通用企业参考体系结构与方法 论”GERAM，其范围包括企业工程/企业集成所需的所有知识。要求把 改变过程中利用的多种学科的方法统一起来，例如工业工程、管理科学、 通信和信息技术等方法。GERAM框架的目的是要把基于产品模型和基 于业务过程设计的两种不同的企业工程方法统一起来。 b）以企业管理体系为指导 ISO已发展和制定出“质量管理体系”“环境管理体系”“职业健康安全 管理体系”“信息安全管理”等成套的标准体系，此外还有“风险管理”、
四氯化硅2013新版安全技术说明书
四氯化硅安全技术说明书 第一部分化学品及企业标识 化学品中文名称：四氯化硅 化学品英文名称：silicom tetrachloride 企业名称： 地址： 邮编： 电子邮件地址： 联系电话： 传真号码： 企业应急电话： 产品代码： 产品推荐用途：制造有机硅化合物，如硅酸酯、有机硅油、高温绝缘漆、有机硅树脂、硅橡胶和耐热垫衬材料。 第二部分危险性概述 物理化学危险：受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。具强腐蚀性、强刺激性，可致人体灼伤。 健康危害：对眼睛和上呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度引起角膜浑浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。眼直接接触可使角膜及眼睑严重灼伤。皮肤接触后可引起组织坏死。本品可引起溶血反应而导致贫血。 环境危害：对水体可造成污染。 GHS危险性类别：根据《化学品分类和危险性公示通则》（GB 13690-2009）及化学品分类、警示标签和警示性说明规范系列标准，该产品属于急性毒性，类别4；皮肤腐蚀/刺激，类别1A；严重眼睛损伤/眼睛刺激性，类别1；呼吸或皮肤过敏，类别1；对水环境的危害（急性），类别2。 标签要素： 象形图：
警示词：危险 危险信息：引起严重的皮肤灼伤和眼睛损伤; 引起严重眼睛损伤; 吸入可能引起过敏或哮喘症状或呼吸困难; 对水生生物有毒; 吸入有害;。 防范说明： 预防措施：〃避免与水接触。保持容器密闭。 〃戴防护手套、防护眼镜、防护面罩。 〃操作后彻底清洗身体接触部位。 〃作业场所不得进食、饮水和吸烟。 〃禁止排入环境。 事故响应：〃如皮肤接触：脱去被污染的衣着，用肥皂水和清水彻底冲洗皮肤。 〃眼睛接触：提起眼睑，用流动清水冲洗。就医。 〃吸入：脱离现场至空气新鲜处,休息保暖。保持呼吸道通畅。 呼吸困难，给输氧气；停止呼吸，立即进行人工呼吸；就医。 〃食入：喝足量温水，催吐；洗胃；就医。 〃火灾时：干粉、砂土。 安全储存：〃储存于干燥阴凉通风的库房。 〃远离水等潮湿环境。 〃保持容器密封。 〃与氧化剂、碱类、醇类等分开存放，切忌混储。 〃储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容器具。 废弃处臵：处臵前应参阅国家和地方有关法规。中和、稀释后，排入废水系统。 第三部分成分/组成信息 物质 混合物□ 危险组分浓度，% CAS No. 四氯化硅 99 10026-04-7 第四部分急救措施
滑动轴承技术标准
滑动轴承技术标准 一、术语、分类及符号 GB／T 2889——1994 滑动轴承术语 GB／T 18327．1——2001 滑动轴承基本符号 GB／T 18327．2——2001 滑动轴承应用符号 GB／T 18844——2002 滑动轴承损坏和外观变化的术语、特征及原因 二、检验方法 GB／T 7948—1987 塑料轴承极限PV试验方法 GB／T12948—1991 滑动轴承双金属结合强度破坏性试验方法 GB／T16748—1997 滑动轴承金属轴承材料的压缩试验 GB／T18325．1—2001 滑动轴承流体动压润滑条件下试验机内和实际应用的滑动轴承疲劳强度 GB／T18329．1—2001 滑动轴承多层金属滑动轴承结合强度的超声波无损检验 GB／T 18330—2001 滑动轴承薄壁轴瓦和薄壁轴套的壁厚测量 GB／T 18331．1—2001 滑动轴承卷制轴套外径的检测 JB／T 7920—1995(原GB 6415——86) 滑动轴承薄壁轴瓦周长的检验方法 JB／T 7925．1—1995(原GB 10452—89) 滑动轴承单层轴承减摩合金的硬度检验方法 JB／T 7925．2—1995(原GB 10453—89) 滑动轴承多层轴承减摩合金的硬度检验方法 JB／T 9749—1999 内燃机铸造铜铅合金轴瓦金相检验 JB／T 9763——1999 内燃机精密电镀减摩层轴瓦检验规范 QC／T 558—1999 汽车发动机轴瓦双金属结合强度破坏性试验方法 三、材料 GB／T 1174——1992 铸造轴承合金 GB／T 18326—2001 滑动轴承薄壁滑动轴承用金属多层材料
滚动轴承入库验收标准
小强出品 热电分公司企业标准XXXX ZCYS-2013XXXX- 滚动轴承入库验收标准
2013-5-30发布2013-5-30实施热电分公司发布XXXX
目录 1 目的 2 适用范围 3 引用文件及关联文件 4 术语定义和缩略语
5 执行程序 6 职责 评价表/《滚动轴承入库验收标准》执行情况检查附件：7． 1 目的 为了严格控制滚动轴承产品质量，规范滚动轴承验收方法，为采购滚动轴承的验收工 作提供指导依据，特制定本标准。 2 适用范围 适用于XX公司滚动轴承采购中，专业人员进行入库验收工作。由于市场上一些假冒产 品仿真程度非常高，靠常规的验收手段无法准确鉴定其真伪，当发生产品质量有疑问又无 法确定其真伪时，需委托有资质的权威机构进行鉴定并给出结论。另外，计划每年将XX公司采购轴承的所有品牌抽取5%的量进行权威鉴定。 3 引用文件及关联文件 3.1引用文件 《实用轴承手册》，辽宁科学出版社，2001.10 GBT307.1-2005滚动轴承、公差 GBT307.2-2005滚动轴承、公差的测量方法 GBT276-94滚动轴承深沟球轴承外形尺寸 GBT5868-2003滚动轴承安装尺寸 4 术语定义和缩略语 滚动轴承形式多样，不同的系列其游隙及各尺寸标准也不同，国家颁布的各类轴承标 准较多，并且几家知名品牌如瑞典SKF、德国FAG、日本NSK、美国TIMKEN、瓦轴ZWZ等，均有自己公司产品的尺寸标准，故本标准只提供滚动轴承验收的方法和部分标准。 深沟球轴承示意图
D-轴承公称外径，d-轴承公称内径，B-公称宽度 游隙：分为径向游隙和轴向游隙。 径向游隙：无外载荷作用时，一个套圈相对另一套圈从一个径向偏心极限位置，移向 相反极限位置的径向距离的平均值。． 轴向游隙：无外载荷作用时，一个套圈相对另一套圈，从一个轴向极限位置移向相反 的极限位置的轴向距离的平均值。 5 执行程序 5.1型号、包装验收 5.1.1查看型号是否符合要求，如果是进口轴承查看报关单、合格证和原产地证明是 否齐全。 5.1.2产品的包装无破损，防锈油覆盖均匀、充足。 5.2外观检查 5.2.1表面无脏污。 5.2.2轴承的滚动体及滚道表面是否有变色、伤痕、裂纹和凹痕、锈蚀和麻点、起皮 和折叠，整体应无伤痕或机械加工留下的毛刺，倒角均匀。 5.2.3保持架应不松散、无破损，与滚动体间隙不过大。检查铆钉头是否偏位、松动，焊接的位置是否正确，是否有焊接不牢的现象。 5.2.4钢印字体应凹下较深，不浮于表面，且非常清晰、不模糊。 5.3轴承外形尺寸检验，包括轴承的内、外径和宽度 5.3.1选取不同角度至少4个以上的点进行测量，可得出最小和最大直径，用以判断 圆度是否合格，在合格的基础上取平均值作为最终测量值。 5.3.2轴承与轴的配合一般要求有0.02mm-0.05mm的紧力，如有条件测得轴颈的尺寸 可加以判断。 5.3.3内径一般用内径百分表、内径千分尺或游标卡尺测量，外径一般用外径千分尺 或游标卡尺测量，宽度一般用游标卡尺测量。 5.4径向游隙的测量 应在轴承非预紧状态下测量，一般有3种测量方法：塞尺测量法、压铅丝法和千分表 测量法。 5.4.1用塞尺测量。确认滚动轴承最大负荷部位，在与其成180°的滚子与外圈之间 塞入塞尺，松紧相宜的塞尺厚度即为轴承径向游隙。这种方法广泛应用于调心轴承和圆柱滚子轴承。 5.4.2压铅丝法。 a、选取直径合适的铅丝，不宜过细和过粗，尤其不能过粗，因为铅丝过粗时，压缩 到一定程度就会产生非常大的反作用力，当滚子挤压过铅丝时，轴承内、外圈会 有微量的弹性变形导致数据不准确。同样的道理，一般只用单根铅丝进行测量， 不能将细铅丝缠成双股来测量。 b、测量径向游隙应在外圈上选取固定一个点，并选取多个滚子测得多组数据，分析 判断所得值数据是否合格，在合格的基础上取平均值作为最终测量值。双列轴承 同排滚子测得径向游隙一般误差不应大于0.03mm。 c、压铅丝时应保证轴承转动自由，内外圈无错位、偏斜。 5.4.3用千分表测量。将轴承垂直放置，千分表架在外圈垂直位置上，然后在180° 位置上垂直顶起滚动轴承外圈，千分表读数的变化量就是轴承的径向游隙。 5.5轴向游隙的测量 一般有2种测量方法：塞尺测量法和千分表测量法。
四氯化硅说明书
化学品安全技术说明书 修订日期：2014-11-5 SDS编号：***** 产品名称：四氯化硅版本：****** 第一部分：化学品及企业标识 化学品中文名称：四氯化硅 化学品英文名称：silicon tetrachloride 企业名称：*********** 生产企业地址：*********** 邮编：*********** 传真号码：*********** 电子邮件地址：*********** 应急咨询电话：*********** 技术说明书编码：*********** 产品推荐用途及限制用途：用于制取纯硅、硅酸乙酯等，也用于制取烟幕剂。 第二部分：危险性概述 物理和化学危险性信息：具强腐蚀性、强刺激性，不燃，无特殊燃爆性。遇水产生有毒气体。在潮湿空气中水解而成硅酸和氯化氢，同时发生白烟。对皮肤有腐蚀性。 人体健康危害：对眼睛和上呼吸道粘膜有强烈刺激作用。高浓度引起角膜浑浊、呼吸道炎症，甚至肺水肿。眼直接接触可使角膜及眼睑严重灼伤。皮肤接触后可引起组织坏死。本品可引起溶血反应而导致贫血。 环境危害：对环境有危害。 GHS危险性类别：皮肤腐蚀/刺激,类别2严重眼损伤/眼刺激,类别2特异性靶器官毒性-一次接触,类别3 标签要素： 象形图： 警示词：警告 危险信息：引起皮肤刺激; 可能引起呼吸道刺激,可能引起昏昏欲睡或眩晕; 引起严重眼睛刺激; 防范说明： 【预防措施】 密闭操作，注意通风。尽可能机械化、自动化。提供安全淋浴和洗眼设备。可能接触其蒸气时，必须佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩）。紧急事态抢救或撤离时，建议佩戴空气呼吸器。 【事故响应】 皮肤接触：立即脱去被污染的衣着，用大量流动清水冲洗20-30分钟。如有不适感，就医。 眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流动清水或生理盐水彻底冲洗至少15分钟。如有不适感，就医。 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道畅通，如呼吸困难，给输氧。如呼吸、心跳停止，立即进行心肺复苏术，就医。 食入：误服者用清水漱口，禁止催吐，不给任何饮品。就医。 火灾时使用干燥砂土灭火。 【安全储存】 储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库内温度不宜超过30℃。相对湿度不超过75％。
中华人民共和国国家标准GB1354-2009
大米 1 范围 本标准规定了大米的术语和定义、分类、质量要求、检验方法、检验规则，以及对包装、标签、储存和运输的要求。 本标准适用于以稻谷、糙米或半成品大米为原料加工的食用商品大米，不适用于特种大米、专用大米、特殊品种大米以及加入了添加剂的大米。 2 规范性引用文件 下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件．其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准．然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件．其最新版本适用于本标准。 GB 1350稻谷 GB 2715粮食卫生标准 GB/T 5009.36粮食卫生标准的分析方法 GB/T 5490粮食、油料及植物油脂检验一般规则 GB 5491粮食、油料检验扦样、分样法 GB/T5492粮油检验粮食、油料的色泽、气味、口味鉴定 GB/T5493粮油检验类型及互混检验 GB/T5494粮油检验粮食、油料的杂质、不完善粒检验 GB/T5496 粮食、油料检验黄粒米及裂纹粒检验法 GB/T 5497粮食、油料检验水分测定法 GB/T5502 粮油检验米类加工精度检验
GB/T5503粮食、油料检验碎米检验法 GB 5749生活饮用水卫生标准 GB 7718预包装食品标签通则 GB 14881 食品企业通用卫生规范 GB/T 15682粮油检验稻谷、大米蒸煮食用品质感官评价方法 GB/T 15683 大米直链淀粉含量的测定 GB/T 17109粮食销售包装 GB/T 17891优质稻谷 3 术语和定义 下列术语和定义适用于本标准。 3．1 加工精度milling degree 加工后米胚残留以及米粒表面和背沟残留皮层的程度。以国家制定的加工精度标准样品对照检验。在制定加工精度标准样品时，应参照下述文字规定： 一级：背沟无皮，或有皮不成线，米胚和粒面皮层去净的占90％以上。 二级：背沟有皮，米胚和粒面皮层去净的占85％以上。 三级：背沟有皮，粒面皮层残留不超过五分之一的占80％以上。 四级：背沟有皮，粒面皮层残留不超过三分之一的占75％以上。 3．2 不完善粒unsound kernel 包括下列尚有食用价值的米粒：
中华人民共和国国家标准GB2828
AQL查检概述 AQL : ACCEPTABLE QUALITY LEVEL 验收合格标准的缩写，即平均质量水平，它是检验的一个参数，不是标准。AQL普遍应用于出口服装，纺织品检验上，AQL的标准有AQL0.010，AQL0.015，AQL0.025，AQL0.040，AQL0.065，AQL0.10，AQL0.15，AQL0.25，AQL0。40，AQL0。65，AQL1.0，AQL1.5，AQL2.5，AQL4.0，AQL6.5，AQL10，AQL15，AQL25 ，AQL40 ，AQL65，AQL100，AQL150，AQL250，AQL400，AQL650，AQL1000。不同的AQL标准应用于不同物质的检验上。在AQL 抽样时，抽取的数量相同，而AQL后面跟的数值越小，允许的瑕疵数量就越少，说明品质要求越高，检验就相对较严。下面就不同的AQL列表说明： 验货的时候根据：批量范围、检查水平、AQL值决定抽样的数量和合格与不合格产品的数量。服装质量检查采用一次抽样方案，服装批量的合格质量水平(AQL)为 2.5，检查水平为一般检查水平，检查的严格度为正常检查。其抽样方案见表: 正常检查一次抽样方案(AQL-2.5) AQL是----ACCEPT QUALITY LEVEL 的简称，是一个国际标准， 1 ）AC=Acceptable number =使用箭头下面的第一个数值=使用箭头上面的第一数值 抽样数量是以一般检验II级检验水平来进行的。 2 ）AQL0.010----0。10 是用电子产品，医疗器械等检验 AQL1.0----6.5 是用于服装，纺织品等检验 说明：当订单数量≤抽查件数时，将该订单数量看作抽查件数，抽样方案的判定数组[Ac，Re]保持不变： Ac——Accept（合格判定数）； Re——Rcject（不合格判定数）。 举例一：有一批服装的订单数是3000件，按照AQL2.5标准抽查125件，次品数≤7就PASS （通过），次品数≥8就FAIL（不合格）。 举例二：订单数为7件，按AQL2.5标准抽查5件，无次品就PASS，有一件次品都FAIL；如果按照AQL4.0标准则只抽查3件，无次品
滚动轴承入库验收标准
小强出品 XXXX热电分公司企业标准 XXXX- ZCYS-2013 滚动轴承入库验收标准 2013-5-30 发布2013-5-30 实施 XXXX热电分公司发布
标准控制表
目录 1 目的 2 适用范围 3 引用文件及关联文件 4 术语定义和缩略语 5 执行程序 6 职责 7 附件：《滚动轴承入库验收标准》执行情况检查/评价表
1 目的 为了严格控制滚动轴承产品质量，规范滚动轴承验收方法，为采购滚动轴承的验收工作提供指导依据，特制定本标准。 2 适用范围 适用于XX公司滚动轴承采购中，专业人员进行入库验收工作。由于市场上一些假冒产品仿真程度非常高，靠常规的验收手段无法准确鉴定其真伪，当发生产品质量有疑问又无法确定其真伪时，需委托有资质的权威机构进行鉴定并给出结论。另外，计划每年将XX公司采购轴承的所有品牌抽取5%的量进行权威鉴定。 3 引用文件及关联文件 3.1 引用文件 《实用轴承手册》，辽宁科学出版社，2001.10 GBT307.1-2005 滚动轴承、公差 GBT307.2-2005 滚动轴承、公差的测量方法 GBT276-94 滚动轴承深沟球轴承外形尺寸 GBT5868-2003 滚动轴承安装尺寸 4 术语定义和缩略语 滚动轴承形式多样，不同的系列其游隙及各尺寸标准也不同，国家颁布的各类轴承标准较多，并且几家知名品牌如瑞典SKF、德国FAG、日本NSK、美国TIMKEN、瓦轴ZWZ等，均有自己公司产品的尺寸标准，故本标准只提供滚动轴承验收的方法和部分标准。 深沟球轴承示意图 D-轴承公称外径，d-轴承公称内径，B-公称宽度 游隙：分为径向游隙和轴向游隙。 径向游隙：无外载荷作用时，一个套圈相对另一套圈从一个径向偏心极限位置，移向相反极限位置的径向距离的平均值。
三氯氢硅、四氯化硅相关反应
02．三氯氢硅氢还原反应基本原理 用氢气作为还原剂，在1100～1200℃下还原SiHC13，是目前多晶硅生产的主要方法。由于氢气易于净化，而且在硅中的溶解度极低，所以用氢气还原生产的 多晶硅较其他还原剂(如锌、碘)所制得的多晶硅纯度要高得多。 2.1 三氯氢硅氢还原反应原理 SiHCl 3和H 2混合，加热到900℃以上，就能发生如下反应： )(H C l 3)( Si )( H )(SiHCl 110090023气固气气℃～+???? →←+ 同时，也会产生SiHCl 3的热分解以及SiCl 4的还原反应: 2490032H 3SiCl Si 4SiHCl ++??→←℃ 4HCl Si 2H SiCl 24+?→←+ 此外，还有可能有 43SiCl 2HCl Si 2SiHCl ++?→← HCl SiCl SiHCl 23+?→← 以及杂质的还原反应： 6HC1 2B 3H 2BCl 23+?→←+ 6HC1 2P 3H PCl 23+?→←+ 这些反应,都是可逆反应，所以还原炉内的反应过程是相当复杂的。在多晶 硅的生产过程中，应采取适当的措施，抑制各种逆反应和副反应。以上反应式中， 第一个反应式和第二个反应式可以认为是制取多晶硅的基本反应，应尽可能地使 还原炉内的反应遵照这两个基本反应进行。
四氯化硅氢化 1． 四氯化硅来源与性质 1.1 四氯化硅的产生 在多晶硅生产过程中，在SiHCl 3 合成工序和氢还原制取多晶硅工序，会产生大量的副产物SiCl 4，并随着尾气排出。 在氢还原工序中，会发生以下几个反应： 主反应：Si 3HCl H SiHCl 23+?→?+ 副反应：2490032H 3SiCl Si 4SiHCl ++???→?℃以上 43SiCl 2HCl Si 2SiHCl ++?→? 在SiHCl 3合成工序中主要发生以下反应： 主反应： 23H SiHCl 3HCl Si +?→?+ 副反应： 242H SiCl 4HCl Si +?→?+ SiHCl 3合成中副反应产生的SiCl 4约占生成物总量的约 10% ，在氢还原工序中也有部分SiHCl 3 发生副反应生成了SiCl 4 。在实际生产中，副反应不可避免，但对工艺过程加以控制，可以尽量减少副反应发生，减少副产物的生成。另一方面对于副产物必须进行综合利用，使其转化为有用的原料或产品。这样可以就可以降低总体生产成本，创造出良好的经济效益。 1.2 四氯化硅的性质 四氯化硅在常温常压条件下是无色透明的液体，无极性，易挥发，有强烈的刺激性，遇水即水解生成二氧化硅和 HCl 。并能与苯、乙醚、氯仿等互溶，与乙醇反应可生成硅酸乙酯。由于四氯化硅易于水解，并生成 HCl 所以在有水的
滚动轴承主要尺寸与基本代号方法
2、滚动轴承的主要尺寸与基本代号方法 2.1滚动轴承基本尺寸 对于轴承的主要尺寸，国际标准化组织（ISO）为保证国际上的互换性和生产中的经济性，已制定了统一的国际标准[ISO15、ISO355、ISO104]，分别对向心轴承、圆锥滚子、推力轴承的主要外形尺寸作了相应的规定，即对轴承的内径、外径宽度以及倒角尺寸进行了系列化、标准化，我国标准也等效采用了ISO标准的规定，对应的标准号分别为GB273.3--、GB273.1--、GB273.1--，装配倒角标准为GB274--。 主要尺寸标准化是指轴承轮廓尺寸，即内径、外径、宽度或高度以及倒角尺寸，对于内部尺寸，原则上不规定。 轴承尺寸的选择，一般是根据作用于轴承的负荷以及对轴承寿命与负荷容量（额定负荷）的要求来进行考虑的。 对于向心轴承（除圆锥滚子轴承外），针对各自标准内径规定了最大的8种外径尺寸，其系列为直径系列（7、8、9、0、1、2、3）顺序依次增大。 对于同一内径，外径组合（向心轴承），规定了最大8种宽度尺寸，其宽度系列（8、0、1、2、3、4、5、6）顺序依次增大。 对于公制圆锥滚子轴承，ISO355规定了相对于标准内径的直径系列分别以A、B、C、D、E、F、G表示，为外径依次增大，宽度尺寸分别以A、B、C、D、E 表示，为外径依次增大，此外还规定接触角的系列（1、2、3、4、5、6、7）接触角依次增大；我国标准规定的直径系列和宽度系列均为0、1、2、3。
GB/T272—93规定的轴承代号方法如下：2.2轴承代号排列规则表2.1
2.3基本代号排列规则：表2.2
2.4轴承内径代号
四氯化硅 危险特性表
标识中文名：四氯化硅；四氯硅 烷；氯化硅 英文名：silicon tetrachloride； tetrachlorosilane 分子式： SiCl4 相对分子质量： 169.89 CAS号： 10026-04-7 结构式： 危险性类别： 皮肤腐蚀/刺激,类别2 严重眼损伤/眼刺激,类别2 特异性靶器官毒性-一次接触, 类别3（呼吸道刺激） 化学类别：腐蚀品 主要组成与性状外观与性状：无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味，易潮解。主要用途：用于制取纯硅、硅酸乙酯等，也用于制取烟幕剂。 健康危害侵入途径：吸入、食入、经皮吸收。 健康危害：对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿。眼直接接触可致角膜及眼睑严重灼伤。皮肤接触后可引起组织坏死。本品可引起溶血反应而导致贫血。 急救措施皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用 大量流动清水冲洗20～30分钟。如 有不适感，就医。 眼睛接触：立即提起眼睑，用大量流 动清水或生理盐水彻底冲洗10～15 分钟。如有不适感，就医。 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。保持呼吸道通 畅。如呼吸困难，给输氧。呼吸、心跳停止，立即 进行心肺复苏术。就医。 食入：用水漱口，给饮牛奶或蛋清。就医 燃爆特性与消防燃烧性：不 燃，无特殊燃 爆特性 闪点（℃）：无意 义 爆炸下限（%）：无意义 爆炸上限（%）：无意义 引燃温度（℃）：无意义 危险特性：受热或遇水分解放热,放出有毒的腐蚀性烟气；对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。 灭火方法和灭火剂：用干燥砂土灭火。 灭火注意事项及措施：消防人员必须佩戴空气呼吸器、穿全身防火防毒服，在上风向灭火。尽可能将容器从火场移至空旷处。喷水保持火场容器冷却，直至灭火结束。禁止用水和泡沫灭火。 泄漏应急处理：作业人员防护措施、防护装备和应急处置程序：根据液体流动和蒸气扩散的影响区域划定警戒区，无关人员从侧风、上风向撤离至安全区。建议应急处理人员戴正压自给式呼吸器，穿防酸碱服。作业时使用的所有设备应接地。穿上适当的防护服前严禁接触破裂的容器和泄漏物。 操作处置与储存：密闭操作，注意通风。操作尽可能机械化、自动化。操作人员必须经过专门培训，严格遵守操作规程。建议操作人员佩戴自吸过滤式防毒面具（全面罩），穿橡胶耐酸碱服，戴橡胶耐酸碱手套。防止蒸气泄漏到工作场所空气中。避免与氧化剂、碱类、醇类接触。尤其要注意避免与水接触。搬运时要轻装轻卸，防止包装及容器损坏。配备泄漏应急处理设备。倒空的容器可能残留有害物。 储运注意事项：储存于阴凉、干燥、通风良好的库房。远离火种、热源。库温不超过30℃，相对湿度不超过75％。包装必须密封，切勿受潮。应与氧化剂、碱类、醇类等分开存放，切忌混储。储区应备有泄漏应急处理设备和合适的收容材料。 防护措接触限值： PC-TWA: mg/m3； PC-STEL: 1 mg/m3[皮]；
滚动轴承标准
GB/T 27555-2011 滚动轴承带座外球面球轴承技术条件 GB/T 27559-2011 滚动轴承机床主轴用圆柱滚子轴承 GB/T 27560-2011 滚动轴承外球面球轴承铸造座技术条件 GB/T 25760-2010 滚动轴承滚针和推力球组合轴承外形尺寸 GB/T 25761-2010 滚动轴承滚针和角接触球组合轴承外形尺寸 GB/T 25762-2010 滚动轴承摩托车连杆支承用滚针和保持架组件 GB/T 25763-2010 滚动轴承汽车变速箱用滚针轴承 GB/T 25764-2010 滚动轴承汽车变速箱用滚子轴承 GB/T 25765-2010 滚动轴承汽车变速箱用球轴承 GB/T 25766-2010 滚动轴承外球面球轴承径向游隙 GB/T 25767-2010 滚动轴承圆锥滚子 GB/T 25768-2010 滚动轴承滚针和双向推力圆柱滚子组合轴承 GB/T 25770-2010 滚动轴承铁路货车轴承 GB/T 25771-2010 滚动轴承铁路机车轴承 GB/T 25772-2010 滚动轴承铁路客车轴承 GB/T 24604-2009 滚动轴承机床丝杠用推力角接触球轴承 GB/T 24605-2009 滚动轴承产品标志 GB/T 24608-2009 滚动轴承及其商品零件检验规则 GB/T 299-2008 滚动轴承双列圆锥滚子轴承外形尺寸 GB/T 300-2008 滚动轴承四列圆锥滚子轴承外形尺寸 GB/T 304.9-2008 关节轴承通用技术规则 GB/T 5859-2008 滚动轴承推力调心滚子轴承外形尺寸 GB/T 283-2007 滚动轴承圆柱滚子轴承外形尺寸 GB/T 292-2007 滚动轴承角接触球轴承外形尺寸 GB/T 5868-2003 滚动轴承安装尺寸 GB/T 304.3-2002 关节轴承配合 GB/T 290-2017 滚动轴承无内圈冲压外圈滚针轴承外形尺寸 GB/T 273.2-2018 滚动轴承外形尺寸总方案第2部分：推力轴承 GB/T 7813-2018 滚动轴承剖分立式轴承座外形尺寸 GB/T 307.4-2017 滚动轴承推力轴承产品几何技术规范（GPS）和公差值 GB/T 34884-2017 滚动轴承工业机器人谐波齿轮减速器用柔性轴承 GB/T 34891-2017 滚动轴承高碳铬轴承钢零件热处理技术条件 GB/T 34897-2017 滚动轴承工业机器人RV减速器用精密轴承 GB/T 12765-1991 关节轴承安装尺寸 GB/T 16643-2015 滚动轴承滚针和推力圆柱滚子组合轴承外形尺寸 GB/T 273.3-2015 滚动轴承外形尺寸总方案第3部分：向心轴承 GB/T 19673.1-2013 滚动轴承套筒型直线球轴承附件第1部分：1、3系列外形尺寸和公差 GB/T 19673.2-2013 滚动轴承套筒型直线球轴承附件第2部分：5系列外形尺寸和公差GB/T 308.1-2013 滚动轴承球第1部分：钢球 GB/T 4604.2-2013 滚动轴承游隙第2部分：四点接触球轴承的轴向游隙 GB/T 7217-2013 滚动轴承凸缘外圈向心球轴承凸缘尺寸 GB/T 16940-2012 滚动轴承套筒型直线球轴承外形尺寸和公差 GB/T 20057-2012 滚动轴承圆柱滚子轴承平挡圈和套圈无挡边端倒角尺寸
三氯氢硅及四氯化硅的物化性质
三氯氢硅及四氯化硅的物化性质 - 我正在做一个三氯氢硅的项目设计，但三氯氢硅及四氯化硅的物化性质怎么也查不全，不知哪位高手能不吝赐教，万分感激。 TOP - 三氯氢硅又名三氯硅烷、硅氯仿，分子式SiHCl3，分子量135.45，相对密度1.34KG/L，熔点-126.5℃，沸点33.0℃，与水易分解，溶于CS2，CCl4，Cl Cl3苯，易燃，在空气中能自燃，燃点-27.8℃，自燃点104.4℃，与空气的爆炸极限：20.2～33.2%，有刺激性气体，有毒，吸入三氯氢硅蒸汽损伤呼吸道。四氯化硅的性质分子量169.90，相对密度1.483KG/L，熔点-70℃，沸点57.57℃，主要无色透明发烟液体具有难闻的窒息性气体，溅上皮肤会坏死，在潮湿的空气中水解放出HCL气体，遇氮气及氨剧烈反应生成氮化硅。 3 三氯氢硅三氯氢硅主要参数：三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称：trichlorosilane 或silicochloroform ，分子式为SiHCl3 ，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，三氯氢硅生产量越来越大。三氯氢硅是无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。【CAS号】10025-78-2 【分子式】CL3-H-SI 【分子量】135.44 【比重】1.35 (0℃) 【熔点】-134 ℃【沸点】31.8 ℃【蒸汽压】400 毫米汞柱【蒸汽密度】4.7 【急性毒性】口服-大鼠LD50:1030毫克/公斤;吸入-小鼠LC50:1500毫克/立方米/2小时【毒性分级】中毒【闪点】-13.89 ℃【可燃性危险特性】遇明火、高温、氧化剂易燃;遇水或高温产生有毒氯化物烟雾【储运事项】库房通风低温干燥;与氧化剂、酸类分开存放【灭火剂】干粉、干砂、二氧化碳、泡沫三氯氢硅物理特性如下：比重：1.35 ；相对气体密度：4.7 ；沸点：31.8 ℃；饱和蒸气压（14. 5 ℃）53 ．33Kpa ；闪点：-13.9 ℃（开杯）；自燃温度：175 ℃；爆炸下限：6. 9 ％；爆炸上限：70 ％；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性。 7# 大中小发表于2008-12-22 08:36 只看该作者 三氯氢硅又称三氯硅烷、硅氯仿，英文名称：trichlorosilane或silicochloroform，分子式为SiHCl3，用于有机硅烷和烷基、芳基以及有机官能团氯硅烷的合成，是有机硅烷偶联剂中最基本的单体，也是生产半导体硅、单晶硅的原料，随着有机硅烷偶联剂工业的发展而出现供不应求，生产量越来越大。一、三氯氢硅的理化特性及生产原理三氯氢硅是采用硅粉与氯化氢气体在流化床反应器中生成。它是无色液体，易挥发，易潮解，在空气中发生反应产生白烟，遇水分解，溶于苯、醚等有机溶剂。属一级遇湿易燃物品，易燃易爆，遇水反应产生氯化氢气体；它与氧化剂发生强烈反应，遇明火、高热时发生燃烧或爆炸。其物理特性如下：比重：1．35；相对气体密度：4．7；沸点：31．8℃；饱和蒸气压（14．5℃）53．33Kpa；闪点：－13．9℃（开杯）；自燃温度：175℃；爆炸下限：6．9％；爆炸上限：70％；溶解性：溶于苯、醚等有机溶剂；具有急性毒性。二、三氯氢硅生产的火灾危险性分析三氯氢硅生产的原料都是不燃物质，但是其生产过程中的产物大都是易燃易爆物质，如氢气、三氯氢硅、氯气等。1、电解食盐水的火灾危险性（1）电解时有强大的
中国国家标准标识 警示类
4.11安全警示标识遵循中华人民共和国国家标准GB 2894中关于警示类标志的规定，安全警示类标识包含 当心车辆、当心烫伤、当心爆炸等多种图形标志，该标准提醒人们注意不安全因素、防止事故发生。适用于工矿企业、建筑工地、厂内运输和其他有必要提醒人们注意安全的场所，达到方向指示，提醒员工以预防危险等等的目的。贝迪为您提供了应用广泛的标准标识来帮助您创造一个安全的工作场所。适用于工矿企业、建筑工地、厂内运输和其他有必要提醒人们注意安全的场所，达到方向指示，提醒员工以预防危险等等的目的。贝迪为您提供了应用广泛的标准标识来帮助您创造一个安全的工作场所。 警示类标识包含当心车辆、当心烫伤、当心爆炸等多种图形标志，用于提醒人们对周围环境引起注意，以避免可能发生的危险。 2.1.2可选材质：自粘性乙烯材质聚丙烯板材 4.1.3尺寸：250mmx315mm 4.1.4图片 国家标准标识警示类标示当心车辆国家标准标识警示类标示当心滑跌 国家标准标识警示类标示当心电离辐射国家标准标识警示类标示当心坠落
国家标准标识警示类标示当心扎脚国家标准标识警示类标示当心触电 国家标准标识警示类标示当心机械伤人国家标准标识警示类标示注意安全 国家标准标识警示类标示当心火灾国家标准标识警示类标示当心腐蚀
国家标准标识警示类标示当心中毒国家标准标识警示类标示当心感染 国家标准标识警示类标示当心烫伤国家标准标识警示类标示当心弧光 国家标准标识警示类标示当心塌方国家标准标识警示类标示当心落物
国家标准标识警示类标示当心伤手国家标准标识警示类标示当心吊物 国家标准标识警示类标示当心爆炸国家标准标识警示类标示当心火车 国家标准标识警示类标示当心裂变物质国家标准标识警示类标示当心激光
GB308—2002 滚动轴承 钢球
前言 本标准对应于ISO3290：1998《滚动轴承—球—尺寸和公差》，与ISO3290的一致性程度为非等效，主要差异如下： ——按照汉语习惯对一些编排格式进行了修改； ——将一些适用于国际标准的表述必为适用于我国标准的表述； ——在第5章中增加了5.1“材料和热处理”、5.6“残磁”、5.7“其他”的技术要求； ——增加了第6章“标志”、第7章“测量及检验方法”、第8章“检验规则”、第9章“包装及贮存”。 ——增加了附录C“成品钢球压碎载荷值”。 本标准代替GB/T308—1989《滚动轴承钢球》 本标准与GB/T308—1989相比，主要变化如下： ——增加了表面不平度和形状参数、波纹度的术语和定义（见3.5和3.5.2）； ——修改了表面粗糙度的定义，并且压缩了表面粗糙度R a的数值（见3.5.3和表3）——增加了优先采用的球公称直径表中的尺寸规格（见表1）； ——增加了G24级的公差级别（见5.3、表3、表4）； ——取消了各公差等级钢球所适用的尺寸范围表（1989年版的表4） ——修改了钢球硬度值（1989年版的5.4，本版的5.2、表2）； ——增加了钢球残磁限值的规定（见5.6、7.5）; ——增加了钢球裂纹的检查方法（见7.7）; ——修改了钢球表面粗糙度的测量方法（1989年版的6.2.3,本版的7.3）; ——修改了检测规则的内容（1989年的第7章，本版的第8章）； ——将“标志”内容单独作为一章（1989年版的8.1，本版的第6章）； ——修改了球形误差测量的附录（见附录B）； ——增加了“成品钢球压碎载荷值”（见附录C） 本标准的附录A、附录B、附录C为规范性附录。 本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国滚动轴承标准化技术委员会（CSBTS/TC98）归口。 本标准起草单位：洛阳轴承研究所。 本标准主要起草人：马素青。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为： ——GB308—1964、GB308—1977、GB308—1984、GB308—1989。
四氯化硅性质
四氯化硅 1.物质的理化常数: 国标编号81043 CAS号10026-04-7 中文名称四氯化硅 英文名称Silicon tetrachloride 别名氯化硅；四氯化矽 分子式SiCl4 外观与性状无色或淡黄色发烟液体，有刺激性气味，易潮解 分子量169.90 蒸汽压55.99kPa(37.8℃) 熔点-70℃沸点：57.6℃溶解性可混溶于苯、氯仿、[wiki]石油[/wiki]醚等多数有机溶剂密度相对密度(水=1)1.48；相对密度(空气=1)5.86 稳定性稳定 危险标记20(酸性[wiki]腐蚀[/wiki]品) 主要用途用于制取纯硅、硅酸乙酯等，也用于制取烟幕剂 2.对[wiki]环境[/wiki]的影响: 一、健康危害 侵入途径：吸入、食入、经皮吸收。 健康危害：对眼睛及上呼吸道有强烈刺激作用。高浓度可引起角膜混浊，呼吸道炎症，甚至肺水肿。皮肤接触后可引起组织坏死。 二、毒理学资料及环境行为 急性毒性：LC508000ppm，4小时(大鼠吸入) 危险特性：受热或遇水分解放热，放出有毒的腐蚀性烟气。 燃烧(分解)产物：氯化氢、氧化硅。 3.现场应急监测方法: 4.实验室监测方法: 气相色谱法，参照《分析化学手册》(第四分册，色谱分析)，化学工业出版社 5.环境标准: 前苏联(1975) 车间卫生标准5mg/m3
6.应急处理处置方法: 一、泄漏应急处理 疏散泄漏污染区人员至安全区，禁止无关人员进入污染区，建议应急处理人员戴自给式呼吸器，穿化学防护服。不要直接接触泄漏物，勿使泄漏物与可燃物质(木材、纸、油等)接触，在确保安全情况下堵漏。喷水雾减慢挥发(或扩散)，但不要对泄漏物或泄漏点直接喷水。将地面洒上苏打灰，然后用大量水冲洗，经稀释的洗水放入废水系统。如果大量泄漏，最好不用水处理，在技术人员指导下清除。 二、防护措施 呼吸系统防护：可能接触其蒸气时，必须佩戴防毒面具或供气式头盔。紧急事态抢救或逃生时，建议佩带自给式呼吸器。 眼睛防护：戴化学安全防护眼镜。 防护服：穿工作服(防腐材料制作)。 手防护：戴橡皮手套。 其它：工作后，淋浴更衣。单独存放被毒物污染的衣服，洗后再用。保持良好的卫生习惯。 三、急救措施 皮肤接触：立即脱去污染的衣着，用流动清水冲洗15分钟。若有灼伤，就医治疗。 眼睛接触：立即提起眼睑，用流动清水冲洗10分钟或用2%碳酸氢钠溶液冲洗。 吸入：迅速脱离现场至空气新鲜处。注意保暖，保持呼吸道通畅。必要时进行人工呼吸。就医。 食入：患者清醒时立即漱口，给饮牛奶或蛋清。立即就医。 灭火方法：干粉、砂土。禁止用水。