TEM操作流程

JEM-2100透射电子显微镜操作流程

?冷阱、高压以及LENSE

分两次加液氮，分两步升高压总计1h

开LENSE，聚光镜光阑1档

?安放样品

使用样品杆前，请仔细检查样品杆是否完好、是否需要维护：销钉是否松动、高度感应端是否脱落）

载物铜网正面朝上，压片压好载物铜网后轻轻旋紧螺钉

洗耳球吹气确保样品杆关键部位没有杂物

用样品杆中部轻击左手手掌，确保压片压好载物铜网

?装样品杆

预抽过程

销钉对准卡槽，水平垂直推入样品杆（不得旋转）,开泵预抽（PUMP），听到噗的声音后松手，等样品杆旁边绿灯变亮后开始进杆；

进杆

紧握样品杆把手分两次向里均匀旋进（顺时针），直至样品杆进入样品室（该过程不得松手并有向外拉力、不得产生轴向力）

拔杆

确保关闭灯丝与CCD的前提下，用均匀的外力将样品杆向外拔（该过程较长），当样品杆受到阻力时，即可向外旋转（逆时针），旋转受到助力时，停止旋转，再用均匀力向外拔（该过程较短），当样品杆再次受到阻力时，即可向外旋转（逆时针），听到气门“噗”的声音时，停止拔杆。手挡住样品杆尾部，放气（AIR）直至气门再次发出“噗”的声音时，将样品

杆拔出样品室外。

测试步骤

电压中心STD FOCUS

低倍找样LOW MAG SPOTSIZE 1

高倍照相MAG 1

双中心调节聚光（BRIGHTNESS）看光斑是否在中心，不在中心采用电子束（SHIFT X Y）平移至中心粗聚焦利用IMAGE WOBB X Y、Z ?，Z ?调至样品不动为止

1—5合轴在双中心的基础上（30 K），SPOTSIZE 5 光斑不在中心，采用电子束（SHIFT X Y）平移到中心，SPOTSIZE 1光斑不在中心，采用电子枪（F4+SHIFT X Y）平移到中心，调完点去F4，继调SPOTSIZE 1，反复多次，直至光斑中心不因SPOTSIZE的变化而偏移荧光屏中心

注意：SPOTSIZE 5时不得采用F4键盘

调像散

100 K 将样品移开，用红线框选住碳膜，配合OBJ FOCUS 的FINE 或COARSE调出傅里叶椭球后，采用OBJ STIG+STIG X Y将椭球调节为圆形

120 K 将样品移开，用红线框选住碳膜，先采用OBJ STIG+NTRL调出傅里叶椭球，再配合OBJ FOCUS 的FINE 或COARSE，采用OBJ STIG+STIG X Y将椭球调节为圆形。

实验结束后：

关高压（HT），关Lens，样品杆归位（Stage Neutral）。