12 FMA实验室分析技术
FMA 实验室分析技术介绍
作者：周兰珠
2001 .10 . 15
目录
第一章扫描电子显微镜分析
一、概述
二、固体试样受入射电子激发产生的信号
三、扫描电镜的工作原理
四、S4200 分析实例
第二章特征X射线能谱分析技术
一、概述
二、特征X射线的产生及分类
三、EDS分析原理
四、EDS分析实例介绍
第三章实验室其它分析技术介绍
一、用磨角染色法分析扩散层或外延层厚度
二、阳极氧化分析技术介绍
附录：《SHU267B SEM整体形貌分析报告》
第一章 扫描电子显微镜分析
一、概 述
扫描电子显微镜，简称扫描电镜（Scanning Electron Microscope, SEM ）。其基本原理是用聚焦的高能电子束在试样表面逐点扫描，当电子束与样品表面相互作用时，将激发出各种物理信号，其中包括携带样品表面形貌信息的二次电子，代表了样品表面微区化学成分的特征X 射线，以及背散射电子、俄歇电子、吸收电子等。二次电子和特征X 射线是扫描电镜最常用的信息，通过对这些信号的接受处理，可进行样品表面和剖面的形貌观察，对微区的化学成分进行定性或半定量的分析。
与其他显微镜相比，扫描电镜具有以下特点： 1. 景深大
扫描电镜的景深比光学显微镜大几百倍，比透射电镜大10倍，因此特别适合于粗糙表面的分析观察。由于景深大，图象富有真实感、立体感，易于识别和解释。 2. 放大倍数连续可调
扫描电镜可在很宽的范围内连续调节放大倍数，一般为十几倍到50万倍。聚焦一经调好，可随意变换和连续观察，便于低倍普查和高倍细节观察结合进行。 3. 分辨率高
一般在30A-60A 之间，而光学显微镜仅2000A 。 4. 工作距离大。
一般在5 mm-30mm 之间, 普通光学显微镜仅2-3mm ，因此扫描电镜可直接观察大尺寸（受试样室入口限制）的试样，并且由于电镜试样室空间大，必要时可对样品进行倾斜和旋转，便于各个角度观察。
5. 与其他附件连接可进行多种功能分析。
例如，和X 射线能谱仪连接后，可在观察微区形貌的同时进行微区成分分析。
二、固体试样受入射电子激发产生的信号
高能电子入射固体试样，与原子核和核外电子发生弹性和非弹性散射过程，将激发出图1所
下面介绍扫描电镜用做表面观察时常用的信号。
1.二次电子（Secondary Electron）
入射电子将固体样品原子的核外电子击出，使原子电离，这个过程称单电子激发。
二次电子是单电子激发过程中，被入射电子激发出的样品原子的核外电子。绝大部分二次电子来自于价电子激发，因而其能量很低，一般都小于50ev，能量分布的峰值约在25ev左右(见图2)。由于二次电子能量低，所以其只能从样品表面100A以内的表层激发出来，因此二次电子对表面信息非常敏感。通常，二次电子是SEM分析用作形貌观察时最常用的信息。
2.背散射电子
背散射电子是入射电子进入试样后，被试样表层原子散射，又重新反射出来的一部分入射电子，分为弹性和非弹性背散射电子。前者指入射电子受到原子核大角度散射后又反射回来，仅改变了运动的方向，无能量损失。后者指入射电子与核外电子发生非弹性散射，如激发等离子、轫致辐射、内层电子激发、价电子激发等，使入射电子的能量不同程度地受到损失，经过多次散射后，又从表面反射回来。因此，非弹性背散射电子既改变了运动方向，又有不同程度的能量损失。
利用背散射电子成像时，接受的信号是从1000-10000A试样深度内背射出来的电子，因此，背散射电子像反映试样表面较深处的情况。
3.电子束感应电流
高能电子被固体样品吸收时，将在样品中激发产生许多自由电子和相同数量的正离子，即形成电子、空穴对。由于半导体中，电子空穴对复合时间较长，如在试样上加一电场，它们将向相反电极运动，则外电路就会有电流通过，称此电流为电子束感应电流。利用外部检测电路收集并放大这个电流信号，调制与电子束同步扫描的显象管的亮度，就可在屏幕上得到一幅束感应电流图象。利用该图象，可进行半导体集成电路的失效分析，如晶体缺陷、PN结剖面结构、电路局部失效等。
在扫描电镜中，利用相应探测器收集上述信号，转化成图象后，就可得到试样的表面信息。
图2二次电子与背散射电子的能量分布
三、S4200扫描电镜的工作原理
1. S4200扫描电镜的结构
S4200扫描电镜由电子光学系统、扫描系统、信号检测与图象显示系统、真空系统和电源系统等组成（图3）。
⑴电子光学系统
电子光学系统由电子枪、电磁透镜、光阑、物镜及试样室等部件组成。其作用是产生微细电子束，作为激发源使试样表面产生各种电子信息。
S4200采用的是冷场发射电子枪，具有阴极源尺寸小，分辨率高，亮度高，使用寿命长的特点。
⑵扫描系统
扫描系统由扫描信号发生器、扫描放大控制器及扫描偏转线圈等组成。其作用是提供扫描信号，使入射电子束在样品表面、显象管电子束在显示屏上同步扫描。
⑶信号检测与图象显示系统
由不同的信号探测器与图象显示单元组成，其作用是探测试样在入射电子束作用下产生的信号，经视频电路放大，作为显像管的调制信号，并在屏幕上显示出来。
S4200配有二次电子探测器、背散射信号探测器及用于微区成分分析的X射线能谱分析探测器，主要用于试样的表面、剖面形貌观察及微区成分分析。
⑷真空系统
在扫描电镜中，为了避免或减少电子束与杂散气体分子碰撞及样品表面被污染，电子光学系统和样品室必须保持在高真空状态下。由于S4200是场发射扫描电镜，其电子枪的钨晶尖容易因吸附气体分子，引起放电而被损坏，因此其对真空的要求更高。S4200的真空由机械泵、油扩散泵及离子泵三级真空系统组成。其中机械泵和油扩散泵负责样品交换室和样品室的真空（10-3Pa
），
图3. 扫描电镜的结构原理
离子泵负责电子枪腔体内的真空（10-5-10-7Pa）。
2.工作原理
如图3所示，从电子枪阴极发射出的电子束，受阳极电压加速，经电磁透镜作用，在样品表面聚焦成小至1-10nm的入射电子束。在扫描线圈的作用下，电子束在样品表面作光栅状扫描。高能电子与试样表面相互作用，产生二次电子等信号，由检测器接受，经放大器放大并送到显像管阴极射线管的栅极，用来调制显像管的亮度，在显示屏上获得其衬度与信号强度有对应关系的图像。扫描发生器产生的锯齿波信号同步地送入电子光学系统中的扫描线圈和显象管的扫描线圈上，因此，两者的电子束作同步扫描。所以，试样的表面形貌与显示屏上的图象是完全对应的。
3. 形貌观察时二次电子成象的基本原理
由于样品表面的高低不平、凹凸不齐，当电子束照射到样品上，不同点的作用角也不同。如图4所示，电子束在样品表面的入射角越大，激发产生的二次电子数就越多。另外，由于入射角方向的不同，二次电子向空间散射的角度和方向也不同，因此，在样品的凸出部分和面向探测器方向的二次电子就多一些，而样品的凹处和背向探测器方向的二次电子就少一些。总之，试样微区的高低、形状、位臵和倾斜方向等这些与表面形貌密切相关的因素，最终就变成了不同强度的二次电子信息。电子束在样品表面逐点扫描，就在相应部位产生不同数量的二次电子，反应在显示屏上就是一组亮暗不同的象素，由这些象素组成完整的二次电子图象。
4.S4200对样品分析的要求
⑴具有一定导电性能的固体样品，以避免样品荷电引起放电，降低图象质量。
⑵圆片分析需在裂片后进行，因此，S4200的SEM分析是破坏性分析，任何不能损坏的圆片样
品不能做SEM分析。
四、S4200 SEM分析实例
图4二次电子产生率与电子束入射角的关系
1. 在线工艺监控——QC 片的分析
根据生产线上工艺设备控制计划，定期监控各关键生产设备的工艺结果。主要包括多晶（Policide ）、Al 、接触孔、通孔、光刻胶的剖面形貌及CVD BPSG 回流角的监控等。
⑴ Poly 与Policide 工艺监控
⑵ 接触孔、通孔及MetAl 形貌监控
图5. P5K-Poly A 腔的Poly 剖面
（2001.7） 图6. P5K-Poly A 腔的Policide 剖面（2001.7） 图10. P5K-MetAl B 腔的金属剖面结构（2001.7）
TiN 图7. 有源区上的接触孔剖面（2001.9） 图8. Poly 上的接触孔剖面（2001.9） 图9. 通孔（Via ）的剖面形貌及金属台阶覆盖（2001.9）
2. 单项工艺实验片的分析
分析各工序工程师为菜单调试、材料更换、设备匹配等所做的各类工艺实验片。 ⑴ AlSiCu 表面晶粒结构实验
图11、12所示的是溅射两台设备Endura3912、Varian3290在300℃时所溅AlSiCu 晶粒结构的表面形貌。 由图中看出，3290由于设备真空度低，Al 表面粗糙，有许多麻点孔，而3912所溅的Al 则表面光滑，平整，晶粒均匀。
3. 工艺开发、新品研制、整体形貌分析 ⑴SOG 工艺开发
从图13、14中看出，SOG 工艺开发初期，由于其填充性差，在TEOS 淀积后形成的“瓶肩”处出现空洞。在优化工艺后，该问题已得到解决。
⑵ 0.5um Flash 电路新品开发
图14. 优化工艺后， SOG 填充正常，膜内无空洞。 图13. SOG 填充不良，膜内有空洞
图11. 3912 300℃时的AlSiCu 晶粒结构 图12. 3290 300℃时的AlSiCu 晶粒结构
图15和图16是0.5FLASH电路接触孔开发过程中的两张图片。图15中介质1采用淀积13000A 的BPTEOS后高温回流，再干法回蚀介质一至6000A，CELL区由于介质一膜厚过厚，接触孔未开通。图16中介质一淀积10000A的BPTEOS后，同样进行高温回流和介质回蚀工艺，由于降低了介质一的厚度，同时进行了孔腐蚀工艺的优化，因而获得了理想的接触孔形貌和Al台阶覆盖。
⑶整体形貌分析
MOS集成电路各关键层次的物理结构是否正常，是电路能否正常工作的决定性因素之一，因此，在新品开发成功后、成熟的产品参数测试出现较多异常时或有工艺特定需要时，常常有必要做SEM 整体形貌分析，以便全面观察评介电路各部位的物理结构。通常，常规的整体形貌分析项目有三部分组成。
Ⅰ.膜厚分析
主要包括场氧、多晶、介质、金属层和钝化层等关键层次的膜厚测量。
Ⅱ.线宽分析
主要包括多晶连线、多晶栅、Al引线等条形结构的条宽和间距、接触孔和通孔的尺寸等参数的分析。
Ⅲ.其他分析
包括鸟嘴和Spacer尺寸、Poly和Spacer腐蚀时在场氧及有源区上的过腐蚀量、Al腐蚀时在Al 条密集区和开阔区的过腐蚀量、接触孔的金属台阶覆盖等等。
除了常规部分的分析外，整体形貌分析时还需根据不同的电路，对其特殊的结构进行详细的分析。如存储器电路CELL区的结构、高压电路高压MOS管的结构等。随着公司新品电路的不断开发，对各种电路特殊结构的分析显得更为重要。
见附录：《SHU267B SEM整体形貌分析报告》
4. 在线异常、客户反馈及参测异常片的分析
分析实例：CS4005 金属二位移
图17. 金属二刻蚀去胶后显微镜下发
现Al条位移
图18。异常片的SEM分析图片
图17、18、19是生产线2000年6月出现的一种异常情况的分析图片。0.6um 双多晶双铝工艺的CS4005电路，金属二的结构为Ti500A （室温）+HOT Al2（400℃）。在Al 去胶、清洗后的显微镜检查时，发现了金属二位移的异常（图17）。SEM 分析时发现圆片的管芯内出现严重的Al 条漂移，许多本该有Al 引线的地方只见到了因Al 刻蚀过而留下的痕迹；有的Al 条移到临近的Al 条上，出现“搭桥”（图18）。进一步分析发现，Al 条位移的直接原因在于Al 下的浸润层Ti 被侵蚀，导致金属层底部
与介质二表面接触面积太小，在受到外力作用时出现Al 条漂移（图19）。经过一系列工艺实验，最后发现，Ti 被腐蚀是因为Al 去胶后，为了去除腐蚀和去胶时产生的聚合物，而采用了EKC265清洗液，这种清洗液对于室温下溅的Ti 具有腐蚀性。后改用了对室温溅Ti 基本无腐蚀性的EKC270清洗液，该问题得到解决。
关于扫描电镜的分析，简单介绍到这里。
第二章 特征X 射线能谱分析技术
一、概述
特征X 射线能量色散谱仪，简称能谱仪（Energy Dispersive Spectrum ，EDS ），是按X 射线能量不同展开谱图的分析仪器。作为扫描电镜的附加装臵，其主要用途在于对试样表面进行微区成分的分析。能谱仪工作的基本原理是用高能电子束作用于需要分析的试样表面微区，激发出样品元素的特征X 射线，通过对X 射线能量的分析，确定样品微区的化学组成。与常规的化学分析的区别是：
1. 不需要将试样溶解，从这个意义上讲，能谱分析是非破坏性分析。
2. 常规化学分析的结果是试样的平均成分，而能谱分析的结果是um 数量级的微区成分。
二、特征X 射线的产生及分类
1. X 射线的产生
第一章中讲到，当高能入射电子束与样品表面相互作用时，将会产生许多电子信息，其中有一种为X 射线。根据其产生过程，可分为两种类型：
⑴轫致辐射
入射电子在由原子核和紧密束缚的核外电子所组成（称之为原子实）的库仑场中减速，失去的能量转化为X 射线光子。由于每个入射电子距原子核距离不一样，能量损失也不一样，于是形成了能量连续的X 射线谱，这个过程称为轫致辐射。
图19. SEM 分析发现，Al 条位移的直接原因在于Al 下的浸润层Ti 被侵蚀，导致金属层底部与介质二表面接触面积太小，在受到外力作用时出现Al 条漂移。
⑵发射特征X 射线
当入射电子的能量足以克服内壳层电子的结合能时，将把内壳层电子击出，使原子处于高能量的激发态，并在电子壳层留下空位。由于这时原子处于不稳定状态，外层电子将会跃迁，去填补这个空位，因为电子跃迁过程是从高能量到低能量状态的变化，所以其多余的能量将以发射X 射线（或俄歇电子，在此不做具体介绍）的形式释放出来。又由于发射X 射线的能量与原子能级间的能量差有关，其能量具有元素的特征值，因而称为特征X 射线。
显然，能谱分析中感兴趣的信息是特征X 射线（正是因为利用了特征X 射线进行元素成分的分析，所以称这种分析技术为特征X 射线能谱分析）。
2. 特征X 射线的分类
当样品表面受到高能电子束的作用，产生单电子激发时，样品原子处于电离的激发态。我们知道，根据量子力学理论，原子核外电子的能量是不连续的，其运动状态可用4个量子数描述，分别为主量子数、角量子数、磁量子数及自旋量子数。主量子数决定了电子在核外活动的电子壳层，如K 、L 、M 、O 、N 等。除K 层外，其它的电子壳层根据其具有的角量子数不同，又可分为若干支壳层。例如，L 层有三个支壳层，M 层有五个支壳层。因此，不难理解，当原子电离使某壳层产生空位时，填补这个空位的电子跃迁通常来自一个以上的外壳层。
例如，图20中所示，当K 层电离后，L 层和M 层的电子都有 可能去填补这个空位，由于这些壳层处于不同的能级，所以，将 产生不同能量的X 射线，分别命名为K α和K β射线。一般由K 层电离产生的一组X 射线称为K 系谱线。同理，由L 层或M 层电 离产生的分别称为L 系或M 系谱线。另外，为了区分由不同的支壳 层所产生的X 射线，K α或K β射线又可进一步细分为K α1（从L3 支壳层跃迁）、 K α2（从L2支壳层跃迁）。而K β也可分为K β1 （从M3支壳层跃迁）、 K β2（从N2、N3支壳层跃迁）、K β3 （M2）、K β4（N5）等。
量子力学理论指出，原子体系中电子在各能级之间的跃迁，应满足
的一定量子条件，称为选择定则。这些条件是： Ⅰ、主量子数的改变不等于0，即属于同一壳层的电子不能跃迁。
Ⅱ、角量子数的改变等于±1，即角量子数相同或大于1的能级之间
也不能跃迁。
三、EDS 分析原理
1. 能谱仪的组成
实验室S4200扫描电镜所配的能谱仪由英国牛津显微仪器公司生产，其基本组成的示意图如下： 由图21中看出，能谱仪由锂漂移硅Si （Li ）探测器、高压电源、信号放大器、多道分析器、计算机等部件组成。
2. Si （Li ）探测器
Si （Li ）探测器（能谱探头）是将X 射线能量、强度转换为电脉冲的传感器（图22）。其结构共分三层：中间是活性区（I 区），是P 形Si 中漂移进Li 制成的，具有高的电阻率；I 区前面是P 型半导体，
导带
后面是N型半导体，所以，Si（LI）探测器实际是一个P-I-N型二极管。
透光性强的超薄膜窗口安装在Si（LI）晶体前面，对其起到密封和保温的作用。
Si（LI）探头和场效应管前臵放大器必须保持在液N2冷却的低温状态，否则，晶体内Li的浓度将因扩散而变化，使其性能下降甚至完全被损坏。
3. Link Isis能谱仪的工作原理
能谱的形成过程如下：
由试样射出的具有各种能量的X光子，经超薄窗口进入Si（Li）探测器中。在I区，硅原子吸收一个X光子，就释放一个光电子，该光电子在随后的非弹性散射过程中，又释放出绝大部分能量，形成电子空穴对。每产生一对电子、空穴对，要消耗掉X光子3.8eV的能量，因此，每一个能量为E的入射光子产生的电子、空穴对的数目为N=E/3.8eV。加在Si（LI）上的偏压，将电子、空穴对收集起来，每入射一个光子，探测器输出一个微小的电荷脉冲，其高度正比于入射的X光子能量E。电荷脉冲经前臵放大器、信号处理单元和AD转换器，以时钟脉冲形式进入多道分析器。多道分析器是由许多存储单元（称为通道）组成的存储器，它将每一个输入脉冲按其高度分别归入相应的通道，由于脉冲高度正比于X光子的能量，所以每个通道代表不同的能量，而通道的计数为X光子数。这样，就得到了以通道（能量）为横坐标，通道计数（强度）为纵坐标的X射线能量色散谱图。
4.能谱仪的主要性能
⑴分析元素范围
一般探测器前有铍窗的能谱仪分析元素范围为11Na-92U。我们实验室的能谱仪使用超薄窗结构，因此，分析范围扩展到5B-92U。
液氮
Si（Li）晶体和FET
图21. 能谱仪的基本组成
⑵分辨率ΔE
指分开或识别相邻两谱峰的能力。一般用峰的半高宽（峰最大高度一半处的宽度），记为FWHM来衡量。半高宽越小，分辨率ΔE越高。
能谱仪的分辨率在150ev左右。
⑶探测极限
能谱仪能分析出的最小百分浓度称为探测极限。该指标与元素种类、样品成分、谱仪类型、实验条件的选择等都有关。一般，能谱仪的探测极限在0.1-0.5%WT（重量百分比浓度）。
⑷分析速度
能谱仪的突出优点是数据采集和处理快，一般从采集谱峰至全部能谱显示出来，仅需几分钟。比起其它谱仪分析设备，更适合做大能量范围、连续接受信号的定性分析。
衡量能谱仪的性能指标，另外还有：几何收集效率、量子效率、瞬间接受范围、最小电子束斑直径、谱的失真等。在此不一一介绍了。
四. EDS分析实例介绍
1. 金属二表面“梅花斑”状异常分析
2000年7月，生产线上发现0.6um、双多晶、双铝工艺的TCM809产品，在金属二表面出现类似“梅花斑”形状的表面异常。显微镜下观察，金属表面有较密集的黑点缺陷，放大后看，黑点形貌类似梅花花瓣。当时的金属二结构为：2300A TiN（常温）+10000A Al（325℃）+500A TiN。SEM分析发现，异常处金属表面向上鼓起，在500A TiN和Al之间，似乎有Si晶体析出，表面形貌如图22、23所示。
对“梅花斑”和正常的金属表面进行
EDS分析，能谱图如图24所示。
图25中，横坐标表示特征X射线的能量；纵坐标表示样品表面层中所含元素发出的特征X射线的强度，也即定性地表示了其所含元素的含量。其中，黄色谱图为梅花斑处的金属二表面；红线表示的则是正常的金属二表面。比较谱图可发现，两者的区别主要在于Si元素含量的差异---梅花斑处Si 含量较正常表面高。这证实了TiN和Al之间析出的晶体就是Si，由于该处富集了Al膜中析出的Si，导致金属表面出现向上鼓起的“梅花斑”异常。
图23. 金属二表面“梅花斑”图24. “梅花斑”处TiN和Al2间似有Si析出
第三章 实验室其它分析技术介绍
一、用磨角染色法分析扩散（注入）层或外延层厚度
1. 原理
将样品粘在一定角度的磨角器上，在抛光机上研磨，获得一个与原表面成小角度的倾斜截面；通过化学染色显露出薄层的边界；在光学显微镜下，测量斜面的长度，通过三角函数换算计算出扩散层的厚度。
如图25所示，设染色后测得扩散层斜面长度 为L ，斜面与样品原表面夹角为α，则斜面 与PN 结界面夹角也为α，那么，薄层厚度
Xj=L*SiN α
2.染色机理
化学染色主要利用了腐蚀液对不同掺杂类型或掺杂浓度的半导体具有不同的腐蚀速率；染色后斜面上扩散层（或外延层）相对于衬地表现出不同的颜色。 ⑴ P 型的扩散层
采用 HF 加HNO 3 腐蚀液。其中HNO 3 为氧化剂，作用是使抛光后暴露的Si 表面原子被氧化；HF 为络合剂，其作用是溶解已生成的SiO 2，反应式如下： Si + HNO 3 → SiO 2 + NO SiO 2 + HF → H 2SiF 6 + H 2O ⑵ N 型的扩散层
除上述腐蚀液外，另外还可选用Burgess 染色液，其腐蚀液由两种溶液组成，
图25. 梅花斑和正常的金属二表面能谱
图25。磨角染色法示意图
图26. 阳极氧化实验原理 Ⅰ BHF 和HAC 溶液混合
Ⅱ HNO 3 中加入1/20的HF
其中，溶液Ⅰ主要用于腐蚀斜面上Si 表面的自然氧化层，溶液Ⅱ是主腐蚀液，因此，控制好样品在溶液Ⅱ中的腐蚀时间可取得良好的染色效果。
3. 适用范围
⑴ 导电类型与衬底相反的任意电阻率的Si 材料样品。
⑵ 导电类型与衬底相同、但电阻率至少相差一个数量级以上。 ⑶ 薄层厚度在0.5um 以上。
4.分析的重复性与准确性
⑴ 重复性
一般若对每个分析试样平行测定两次（即每个试样做二个样品），取平均值作为最终分析结果，则相对标准偏差在10%以内。对于对分析结果有特殊精度要求的样品，可通过增加平行测定次数（如每个试样做四个样品）的方法来减少测量偏差，这时最终分析结果的相对标准偏差可控制在5%以内。
⑵ 准确性
目前，根据实验数据和理论推算，发现分析的准确性在 0.05±0.05T （um ）之间。这里 T 表示薄层的厚度
关于用磨角染色法分析扩散层厚度就简单介绍到这里。详情请见《用磨角染色法分析PN 结深》一文。
二、阳极氧化分析技术
1. 实验原理
将分别接到直流电源正、负极的待分析Si 片和Cu 片，放臵于由5%的HF 加入到各50mL 的HAC （醋酸）和纯水所组成的溶液中。接通电源后，由于在HF 电解液中，对Si 片进行了阳极偏臵，Si 片将和HF 发现电化学反应，失去电子而被氧化：
Si + 2HF －2e → SiF 2 + 2H+
SiF2是一种不稳定的物质，极易分解生成稳定的SiF 4： 2SiF 2 → Si + SiF 4
SiF4将进一步和HF 反应，生成可溶于水的H 2SiF 6 SiF 4 + 2HF → H 2SiF 6
由于圆片上电路各部位，如N 阱、P 阱、N+、P+及N-、P-等区域掺杂浓度和掺杂类型的不同，它们发生电化学反应的速率也不同。因此，若能正确地选择阳极氧化
反应的条件，就可使样品表面上述各区域显示出不同的颜色。通过显微镜下或SEM 的观察，就可对电路各区域的平面参数，如有源区的尺寸，沟道长度等进行分析。除此之外，由于导电的有害缺陷会加速上述电化学腐蚀反应的进行，阳极氧化技术还可用于揭示圆片上存在的一些电激活缺陷。
2.分析实例
以下一组图片分别是圆片RL5549-1094B 电路全剥后进行阳极氧化实验的显微镜和SEM 分析图片。由 图中，可清楚地看到电路中防静电击穿ESD 结构和外围电路的不同掺杂区域的情况。SEM 分析时还可测量出有源区尺寸、接触孔大小、沟道长度等重要的物理尺寸，供电路设计和工艺集成工程师参考。
可清楚地
致谢：
生产制造部工艺集成课课长徐明洁女士在本文写作过程中，曾给予大力支持。
在实验室开发阳
图27、28 阳极氧化实验显示了RL5549B-1094电路ESD 结构在Si 衬底上的杂质分布 图29. RL5549B-1094 外围电路的杂质分布
图30、31 RL5549B –1094B 阳极氧化后的SEM 图片
Active Contact Channel
极氧化分析技术初期也给予了许多指导，在此表示衷心地感谢！
参考资料：
1． Instruction ManuAl for MODEL S-4200 Field Emission Scanning Electron Microscope HITACHI 2． 物理检测 机械电子工业部理化分析人员培训教材 3． 扫描电子显微术 姚骏恩 主编
4． Theory of Scanning Electron Microscope SEM Training materiAl 5． 集成电路制造技术原理与实践，电子工业出版社； 6． 电子能谱基础 潘承璜 赵良仲 编写
7． 半导体器件可靠性与失效分析 张安康 主编
附录：
SHU267B SEM整体形貌分析报告
作者：周兰珠
摘要
本文介绍了我公司生产的SHU267B电路SEM结构解剖情况，并对电路的特殊部位—高压NMOS管的物理结构做了重点分析，提供了芯片各关键层次的SEM分析图片及测量数据。
正文
一、产品信息：
SHU267B是用于热敏打印机上的驱动电路，电路采用了工作电压大于34V高压输出管阵列，其工艺采用6寸 1.5um SPSM CMOS N阱工艺。
二、样品信息：
1.圆片批号及片号：SHU267B 616OGG7P 8#
2.在线异常记录：PAD专检时，圆片因平边对面局部区域有残胶及严重的钝化层沾污被剔片。
3.样品制备：裂片后，分别取圆片中心高压及普通 MOS管所在位臵做样品，经BHF漂洗、
蒸金后进行SEM分析。
三、SEM图片及分析
Ⅰ、常规物理结构
1.场氧、多晶及鸟嘴
图1. 图2.
图3
2.有源区及Poly上接触孔
3、M1形貌
4、各层次膜厚
图4 图5
图6
图7 图8
Ⅱ. 高压NMOS 管物理结构分析 1、表面形貌
2.HV-NMOS 的剖面结构
图9 图10
图11 图12 图13
建筑工程施工专业可行性分析报告
建筑工程施工专业可行性论证报告 一、开设《建筑工程施工》专业的市场调查 1、建筑行业的发展现状 建筑业是国民经济的重要物质生产部门，它与整个国家经济的发展、人民生活的改善有着密切的关系。随着中国宏观经济的稳步发展，与建筑业密切相关的全社会固定资产投资（FAI）总额增速持续在15%以上的高位运行，导致建筑业总产值及利润总额增速也在20%的高位波动。随着建筑业的快速发展，经过多年的市场整顿、制度建设及有效监管，我国建筑市场正在进入健康的发展轨道，可谓亮点频闪。 建筑行业是国民经济的支柱产业之一，它在国民经济和社会发展中的地位和作用越来越重要。在《建筑业发展“十二五”规划》中可以了解到：。“十一五”期间，建筑业增加值占国内生产总值的比重保持在6%左右，2010年达到6.6%。建筑业全社会从业人员达到4000万以上，成为吸纳大量农村富余劳动力就业、推动国民经济发展的重要产业，在国民经济中的支柱地位不断巩固。2011年，我国建筑业保持了平稳增长态势，实现总产值11.8万亿元，同比增长22.6%；实现增加值3.2万亿元，同比增长10%，占国内生产总值的6.78%；对外工程承包额1034.2亿美元，同比增长12.2%。我国建筑业在国民经济中的支柱作用更加明显，实现了“十二五”时期的良好开局。 未来50年，中国预计城市化率将提高到76%以上，城市对整个国民经济的贡献率将达到95%以上。都市圈、城市群、城市带和中心城市的发展预示了中国城市化进程的高速起飞，也预示了建筑业更广阔的市场即将到来。近十几年来，河南省积极推进城市化进程，加快城市的发展步伐，城市化水平逐年提高。然而，从全国各省市的城市化水平静态分析，河南城市化水平仍然偏低，和全国平均水平有较大差距。并且，河南省的区域城市化发展不平衡现象也比较严重豫西地区和豫中地区的差距达到8%左右，豫北、豫东和豫南与豫中地区的差距更是明显。所以河南省的城市化道路还很漫长，这也为河南省建筑行业的发展提供了大量的机会。 2、建筑业对人才需求的调查及分析 我校通过对建筑企业的市场调研和座谈讨论，得到了一些对建筑工程施工专业人才需求的认识： 人才需求量大。建筑行业是国民经济的支柱产业之一，全社会固定投资的60%左右是通过建筑业实现的。庞大的建筑体系需要大量的岗位和值为，这种需求也将解决大量的专业人才就业。“十一五”期间,国家级开发区扩展到逾90个,几乎翻了1倍,在国家与各地区发展战略的引导下,建筑行业异军突起,成长显著。但在此期间,该行业人才短缺现象日益显现,已经成为制约该行业发展后劲的重要因素之一,应引起有关方面的重视,并有相应的措施。 当前阶段，河南省建筑业的发展还面临着许多困难，与先进省份相比，存在着较大的差距。一是专业人才队伍建设和培育不足，整体素质亟待提
实验室设计技术要求
——您身边的实验室工程专家 实验室设计技术要求 一、实验室的分类及职责 实验室也就是分析检验实验室，在学校、工厂、科研院所有其不同的性质。 学校的化验室一类是为学生进行分析化学实验用的教学基地，另一类是为科研服务的亦兼有科研性质的分析化学研究室。 工厂设中央化验室、车间化验室等。车间化验室主要担负生产过程中成品、半成品的控制分析。中央化验室主要担负原料分析、产品质量检验任务，并担负分析方法研究、改进、推广任务及车间化验室所用的标准溶液的配制、标定等工作任务。 科研院所的化验室除为科学研究课题担负测试任务外，也进行分析化学的研究工作。 二、实验室设计建设规划要求 根据实验任务需要，实验室有贵重的精密仪器和各种化学药品，其中包括易燃及腐蚀性药品。另外，在操作中常产生有害的气体或蒸气。因此，对化验室的房屋结构、环境、室内设施等有其特殊的要求，在筹建新化验室或改建原有化验室时都应考虑。 化验室用房大致分为三类：精密仪器实验室、化学分析实验室、辅助室（办公室、储藏室、钢瓶室等）。 化验室要求远离灰尘、烟雾、噪音和震动源的环境中，因此化验室不应建在交通要道、锅炉房、机房及生产车间近旁（车间化验室除外）。为保持良好的气象条件，一般应为南北方向。 １、精密仪器室 精密仪器室要求具有防火、防震、防电磁干扰、防噪音、防潮、防腐蚀、防尘、防有害气体侵入的功能，室温尽可能保持恒定。为保持一般仪器良好的使用性能，温度应在15～30℃，有条件的最好控制在18-25℃。湿度在60%-70%，需要恒温的仪器室可装双层门窗及空调装置。 仪器室可用水磨石地或防静电地板，不推荐使用地毯，因地毯易积聚灰尘，还会产生静电。博思博大型精密仪器室的供电电压应稳定，一般允许电压波动范围为±10%。必要时要配备附属设备（如稳压电源等）。为保证供电不间断，可采用双电源供电。应设计有专用地线，接地极电阻小于4Ω。 气相色谱室及原子吸收分析室因要用到高压钢瓶，最好设在就近室外能建钢瓶室
食品实验室规划设计与建设方案
食品实验室规划设计与建设方案 一、选址 1、实验室应选择在清洁安静的场所，远离生活区，锅炉房与交通要道； 2、实验室应选择在光线充足，通风良好的场所，要与生产加工车间有一定距离； 3、实验室应选择在方便扦样与检验，距离车间较近的工作场所。 二、结构和布局根据生产实际需要，一般工厂应设置细菌与理化检验兼有的综合实验室，主要包括以下三大部分：细菌实验室、理化实验室、办公室。1、办公室2、理化分析实验室：（或者和细菌检验操作室合并）①理化分析室（兼作感观检验室）②仪器室（兼放细菌室显微镜等少量仪器） 3、细菌实验室 ①细菌检验操作室；②无菌室；③培养基制作室；④洗涤消毒室。 一般布局要求如下：1、办公室 办公室是化验人员进行原始记录等各项工作的场所，是与非化验室人员交往较多的场所，因此，应设在整体综合化验室的最外层，只需有桌、椅等简单设施即可。 2、细菌检验操作室（常规操作）细菌检验操作室是细菌培养与检验主要操作室，主要设施是试验台。对实验台的要求： a.实验边台标准宽度为750mm，中央试验台标准宽度为1500mm； b.实验台位置应在实验室中心位置，要有充足光线；也可以做边台。 c.实验台两侧可安装水盆盆与水龙头； d.实验台中间设置试剂架，架上装有插座； e.实验台台面材料要以耐腐蚀、耐酸碱为宜。 3、无菌室 无菌室通过空气的净化和空间的消毒为微生物实验提供一个相对无菌的工作环境，无菌室是处理样品和接种培养的主要工作间，应与细菌检验操作室紧密相连。为满足无菌室无菌要求，无菌间应满足以下布局： a.入口避开走廊，设在细菌检验操作室内； b.与操作室用两道缓冲间隔开；
c.无菌室与缓冲间均装有紫外灯，要求每3平米安装30ｗ紫外灯一盏； d.无菌室内设有实验台（中央实验台与边台皆可），紫外灯距实验台面要小于1.5m； e.无菌室与操作室之间设有双层窗构成小通道。 4、培养基制作室 培养基室是制作、配制微生物培养所需培养基及检验用试剂的场所，其主要设备应为边台与药品柜。 a.边台上要放置电炉，以满足熔化煮沸培养基时用； b.边台材料要耐高热、耐酸碱； c.药品柜分门别类存放一些一般药品及试剂； d.危险、易腐易燃有毒有害药品单独设保险柜存放； e.边台上要放天平，以称取药品用。 5、洗涤消毒室 洗涤消毒室用以消毒洗涤待用与已用之玻璃器皿，培养基及污物，其面积应大于10平方米。 为满足洗涤消毒的功能，洗涤消毒室应设有： a.1-2个洗涤池，洗涤池上下水网要畅通； b.器皿柜或实验台，以放置洗涤好器皿； c.高压灭菌锅，其所用电源应满足用电负荷； d.室内安有通风装置：通风柜； e.有条件的单位还可在该室内，设供日常检验用水蒸馏水器装置。 6、理化分析室 理化分析室是物理化学分析的主要操作室。 a.实验台与细菌操作室要求相同； b.设置通风柜以满足加热、消化、干燥、烧灼和化学处理等工作需要； c.洗涤池。 7、仪器室 用以放置显微镜、电子天平及理化分析用小型仪器； a.要求清洁干燥、防潮防虫、避光；
实验室设备项目可行性研究报告
实验室设备项目可行性研究报告 第一章实验室设备项目总论 第二章实验室设备项目建设背景及必要性 第三章实验室设备报告编写说明 第四章实验室设备建设规模及产品方案 第五章实验室设备项目节能分析 第六章实验室设备环境保护 第七章实验室设备项目进度规划 第八章实验室设备投资估算与资金筹措 第九章实验室设备经济效益分析 第十章实验室设备项目评价
第一章项目总论 一、项目提出理由 “十三五”时期要对国有经济的产业布局进行重大调整：推进国有经济的产业布局从重化工领域转向高端和新兴制造业、公共服务业等领域，经营业务从整个自然垄断领域集中到具有自然垄断性的网络环节。从产业布局结构看，在过去的十多年中，由于中国正处于工业化中期阶段，重化工业处于大发展的时期，通过国有经济战略性调整，国有企业大多集中到工业领域，尤其是重化工业领域，在工业领域超过60%的国有资本集中于能源工业（电力、煤炭）和原材料工业（钢铁、有色和建材）。但是“十三五”期间，我国将步入工业化后期，过去十几年中形成的国有经济倚重重化工业布局和规模扩张的发展方式，已无法适应工业化后期的经济新常态的要求。相对于大量国有资本分布在这些重化工领域，与《中国制造2025》相关的高端与新兴制造业领域、与国家“一带一路”战略相关的产业领域、与完善中心城市服务功能相关的基础设施，还有待国有资本的投入。这就要求通过国有经济布局与结构的再调整，积极推进这些重化工领域的部分国有资产逐步退出，转向提供公共服务、发展重要前瞻性战略性产业、保护生态环境、支持科技进步、保障国家安全等领域。 前不久，由国家制造强国建设战略咨询委员会主办、中国电子信息产业发展研究院承办的《中国制造2025》重点领域技术创新路线图（2017年版）发布会在北京举行。与2015年版路线图相比，新版路线图补充了一些新技术、新业态。同时，突出强调了关键材料和关键专用制造设备的重要性。与会专家表示，
新增专业可行性论证分析报告
新增专业可行性论证报告
————————————————————————————————作者：————————————————————————————————日期： 2
新增专业可行性论证报告 一、专业的社会背景和行业背景 建筑业是国民经济的支柱产业之—，作为始终伴随着人类社会文明发展而发展的产业，在世界上许多国家占有举足轻重的地位。我国目前为了发展国民经济，改善人民生活，每年均有大量的工业与民用建筑的建设任务，建筑业发展前景广阔。 地处中国的最西部，是向西开放的门户。截止2009年底，总人口达到2158.63万人，近年来的建筑行业得到了飞速地的发展。尤其是随着中共中央国务院工作座谈会的胜利召开，会议将工作提升到了关系党和国家全局工作的特殊重要战略地位，为确保实现跨越式的大发展，国家推出了一系列的扶持及优惠政策，其中包括加快为各民族提供一个安全舒适的居住环境，因此的建筑行业也必将迎来快速的大发展时期。 然而，据统计，从事建筑行业的人数达百万，在生产一线的技术人员约达万人，许多技术岗位是由没有受过专门教育、仅仅经过短期岗位培训的人员占据着，这一现象是制约建筑业发展的瓶颈，是造成建筑质量低劣、建筑事故不断发生的根源。建筑业的产品多数是公共产品，其质量好坏直接关系着人民生命财产的安全，因工程低劣造成的人员伤亡、财产损失事故影响极坏，甚至影响社会安定。为了改变这种现状，迫切需要加快建设教育事业的发展，以满足生产一线对建设人才的需要。 从社会发展趋势看，科学技术进步和知识经济的出现，将使建设行业的科技水平、生产技术和手段发生重大变化。特别是我国加入WTO后，我国面临的是一个经济全球化、信息国际化、知识产业化、学习终身化的时代，建设行业生产技术和生产手段的巨大变化迫使我们必须加快高等职业技术教育的发展，以适应时代发展和建设事业自身发展的需要。 从教育本身看，高职教育是我国经济社会发展到一定阶段后出现的一种新的教育形式，它所培养的是生产一线的高等技术应用型人才。但目前，高职因起步较晚，建筑工程技术专业的人才培养规模还不能满足建筑行业的需求。 二、社会对本专业人才需求的预测分析 随着建筑业的迅猛发展，建筑工程技术专业人才的短缺问题日渐突出。目
实验室设计规划项目设计方案
实验室设计规划项目设计 方案 第一章实验室建设的总体规划与基本建设分析实验室（以下简称实验室）是分析技术人员从事各领域分析测试工作的场所，是许多厂矿及科研院所不可缺少的组成部分。实验室的建设，不论是新建、扩建或改建项目，它不单纯是选购合理的仪器设备，还要综合考虑实验室的总体规划，合理布局和平面设计，以及供电、供水、供气、通风、空气净化、安全措施、环境保护等基础设施和基本条件，因此实验室的建设是一项复杂的系统工程。在现代化的实验室里，先进的科学仪器和优越完美的实验室是提升现代科技水平，促进科研成果增长的必备条件。"以人为本"、"人与环境"已成为人们高度关注的课题。安全、效率、舒适是理想实验环境的三大要素，也是实验室建设的宗旨。本篇将分四章介绍有关实验室建设的总体规划和布局、建筑设计、实验室的基础设施和基本条件以及各类实验室等问题，供分析技术人员及有关人员借鉴和参考。 一、实验室的建设规划和基本程序建设现代化的实验室，首先要制定和提出实验室的总体规划，确定实验室建设项目的性质、目的、任务、依据和规模，确定各类实验室功能和工艺条件以及规模大小；同时要做好建筑设计的某些准备工作，调查研究，吸纳国外同种性质、同等规模实验室建设的经验，防止走弯路，作为借鉴，根据实验室的工艺条件及相关资料，编制好计划任务书；然后在各方面工作准备就绪后，做好实验室建筑设计工作，综合建筑设计各专业的基本要求，结合实际，符合规划要求，绘制出富有时代感、先进的实验室建筑蓝图，为实验室施工建设提供可靠的依据。 1、实验室的建设规划实验室建设规划的主要容如下。 （1）建设单位如某某研究所、某某学院或某某工厂。 （2）建设项目如某某实验楼或某研究楼。 3）建设性质新建、扩建或改建 （4）建设地点及用地工程项目的具体位置，取得城建局的同意，并附图说明。需要征用土地，必须说明征用土地的来源、围和面积，并经城建局的批准同意。
重点实验室建设可行性研究报告编制提纲-参考
重点实验室建设可行性研究报告编制提纲 一、总论 1、概述。申报单位主要研究与实验领域、人才队伍、研究成果创新水平、主要应用领域和应用范围；单位在行业中的地位以及经济效益情况。 2、总体目标。简述组建期满时，在研究方向、人才培养、成果水平、基础条件、对外开放、组织管理、社会经济效益达到的目标。（本栏目各项指标是签订《组建计划合同书》的主要内容，也是验收时的主要依据。本目标与《申报书》目标必须一致）。 二、组建重点实验室的必要性分析 1、简要说明重点实验室研究领域的国内外动态和主要发展方向。 2、详细说明重点实验室研究与实验研究领域对我省及国家知识创新、技术创新以及行业技术进步的重要性。 3、组建重点实验室的优势与风险。 三、申报单位情况 1、申报单位（联合共建的重点实验室应对各依托单位分别描述）基本情况。包括单位名称、性质、单位法人代表情况，主要研究的领域。 2、重点实验室人员实力论述 重点实验室主任或技术负责人的基本情况，包括学历、所学专业、主要经历、创新意识、开拓能力及主要工作业绩。 重点实验室人员情况。包括人员数量，年龄、职称、学历结构。研究与实验人员、技术开发人员、管理人员比例等。 学术委员会情况。包括人员数量、来源，主要学术贡献，年龄、职称、学历结构。 4、研究开发能力论述 近5年来主要从事研究与实验的领域、承担的研究与实验项目数量、来源，取得的成果及成果水平，获得国家或省级奖励、发明专利、学术论文数量及水平等情况。对该领域技术发展的贡献。 主要成果应用情况。包括成果应用的方式、数量、种类，为申报单位带来的直接经济效益，间接经济效益和社会生态效益。 5、单位财务状况 上年末单位总资产、总负债，固定资产总额、总收入及构成、总支出及构成。 6、管理情况 单位各项管理制度，包括科研、开发、人事等，以及获得的相关检验、检测等方面的资质。 7、现有场地与设备情况 依托单位能够为重点实验室组建提供的场地，现有设备基础条件。（列表说明现有主要设备） 四、组建任务与目标 从重点实验室整体及人均水平角度，说明重点实验室将实现的目标。此目标作为重点实验室批准后，编制组建计划合同书和作为考核与评估的依据。分一个运行期（3年）及运行期内各年度目标分别给予详细说明。
理化实验室设计装修方案SICOLAB
理化实验室是生产企业和研究单位用于检测材料和产品理化指标不可或缺的部门，是生产检测、科学研究的前沿阵地。理化实验室具有化学分析、力学性能和金相检验等综合检测功能。SICOLAB现以某单位理化实验室设计和筹建过程为例，综合钢铁及装备制造行业理化检测实际情况，对理化实验室的设计与筹建进行探讨。 1理化实验室设计的基本要求 1.1位置要求理化实验室应布置在环境安静、振动及电磁辐射影响小的位置，以减小检测数据的误差，提高检测结果的准确性；布置在远离粉尘且全年风向最小频率的下风向地段。因此，理化实验室一般为独立的建筑物，与办公楼合建时，要设置独立的出入口；当与计量室合建时，理化与计量应分区、分片布置。理化实验室中，力学性能检测设备较大且重，搬运不便，有些试验机需独立的地基；而化学设备多属精密仪器，对环境要求苛刻，化学实验室排放的有害气体需经楼顶及时排走。建议选定一楼为力学性能实验室，顶楼或较高楼层为化学分析和金相检验实验室。 1.2布局及空间要求为保证实验室的整体性、结构性和稳定性，实验室设计的开间模数一般分为3.0，3.3，3.6 m 3种，具体开间模数的选择需与建筑模数相结合。实验室平面布局形式有浅进深和大进深两种，进深的选择主要考虑房间内的采光通风、实验室家具的尺寸及布置等因素。传统经验认为浅进深平面使用面积率高，是合理的选择。进深一般在6～9 m之间[2]，检测中心的布局模式选为单走廊+浅进深(6.0 m)。实验室层高一般建议在3.6~3.9 m 之间，如某理化实验室设计层高为4.3 m，安装空调、消防等管道设施后，房间内部净高为3.3 m。力学性能由于设备高大，在设计时应将内部净高定为3.5 m，保证设备的运输和安装空间。 2理化实验室的总体设计规划 2.1基本规划实验室建设是一项复杂的综合系统工程，涉及土建、配电、给排水、通风、照明、安全措施、“三废”处理以及室内实验设施配套安装等。按照相关规范及标准，全面考虑，整体规划，最终确定方案。 2.2以设备安装要求为出发点，进行深入规划仪器设备是建设高水平实验室的关键因素之一。在明确实验室功能的基础上，即可进行配套仪器设备的采购。为了确保购置的设备先进、精密和质量稳定可靠，首先根据实际需求提出设备技术要求，由设备采购部门负责招标，采用公开招标专家评标的办法进行购置。在签订仪器设备技术协议后，及时向供货商索取设备的安装要求，然后将设备的安装条件如配电、排风、上下水及使用气体情况充分考虑到基础建设规划中，如设备对温湿度的要求，ICP–MS和ICP–OES均需预留不同直径的排风口，且风机要独立控制、氧氮氢分析仪要在基建中预留上下水、扫描电镜需要防震防电磁辐射等，为后续安装设备提供方便的同时，也可节省改造费用。在建筑材料选择方面重点考虑地砖、墙砖及给排水排风管道的抗化学腐蚀性能，依国家相关规定进行规划设计、布局实验设施。 3理化检测功能区域的基本要求 3.1办公区应在每个楼层集中设置，便于学习和探讨工作中出现的问题，民用配电即可。3.2报告编制区用于检测结果的输入、检测报告的编制及审核，满足办公用电需求即可。3.3收样及样品储存区该区域必须干燥、通风、防尘。样品分为待检、在检、已检3类，各存储柜应标明收样及检测日期。 3.4样品处理区和化学湿法分析区样品处理区域在实验过程中会产生大量的有毒有害、有刺激气味的气体，故必须有独立排风设施通风柜；一般为单独的房间，地面应有地漏；墙面、
新增专业可行性论证报告
新增专业可行性论证报告 一、专业的社会背景和行业背景 建筑业是国民经济的支柱产业之—，作为始终伴随着人类社会文明发展而发展的产业，在世界上许多国家占有举足轻重的地位。我国目前为了发展国民经济，改善人民生活，每年均有大量的工业与民用建筑的建设任务，建筑业发展前景广阔。 地处中国的最西部，是向西开放的门户。截止2009年底，总人口达到2158.63万人，近年来的建筑行业得到了飞速地的发展。尤其是随着中共中央国务院工作座谈会的胜利召开，会议将工作提升到了关系党和国家全局工作的特殊重要战略地位，为确保实现跨越式的大发展，国家推出了一系列的扶持及优惠政策，其中包括加快为各民族提供一个安全舒适的居住环境，因此的建筑行业也必将迎来快速的大发展时期。 然而，据统计，从事建筑行业的人数达百万，在生产一线的技术人员约达万人，许多技术岗位是由没有受过专门教育、仅仅经过短期岗位培训的人员占据着，这一现象是制约建筑业发展的瓶颈，是造成建筑质量低劣、建筑事故不断发生的根源。建筑业的产品多数是公共产品，其质量好坏直接关系着人民生命财产的安全，因工程低劣造成的人员伤亡、财产损失事故影响极坏，甚至影响社会安定。为了改变这种现状，迫切需要加快建设教育事业的发展，以满足生产一线对建设人才的需要。 从社会发展趋势看，科学技术进步和知识经济的出现，将使建设行业的科技水平、生产技术和手段发生重大变化。特别是我国加入WTO后，我国面临的是一个经济全球化、信息国际化、知识产业化、学习终身化的时代，建设行业生产技术和生产手段的巨大变化迫使我们必须加快高等职业技术教育的发展，以适应时代发展和建设事业自身发展的需要。 从教育本身看，高职教育是我国经济社会发展到一定阶段后出现的一种新的教育形式，它所培养的是生产一线的高等技术应用型人才。但目前，高职因起步较晚，建筑工程技术专业的人才培养规模还不能满足建筑行业的需求。 二、社会对本专业人才需求的预测分析 随着建筑业的迅猛发展，建筑工程技术专业人才的短缺问题日渐突出。目
实验室设计方案
实验室设计方案 一、设计理念 以人为本为中心，创造功能合理、洁净舒适的实操环境，提高同学们的实践能力！ 二、实验室的设计方案 1、教B203是新的理化实验室，有三张大的实验台，供学生实验操作时使用。我们要经常保持实验室的清洁，并且要求每位同学在实验完毕把使用过的仪器清洗干净后放回原来的位置。最后离开实验室时，要求实验室负责人再三检查水电气窗，闸销复原。 2、在新的理化实验室里，摆放了阿贝折射仪、扫描型紫外可见分光光度计、自动电位滴定仪等等的较难操作的大型设备。为了方便同学们操作，设备隔壁都有说明书供同学们学习，另外还要保证设备的完善避免仪器的损坏和同学们的安全，我们会在设备附近贴上注意事项。 3、另外，理化实验室必不可少的玻璃仪器也需要分得细致些。如：试管，烧杯，移液管，锥形瓶，玻璃棒，容量瓶……我们会把这一类仪器按照类别和规格分门别类，并且贴上明显的标签，方便同学们拿取，也方便实验室负责人统计。 4、目前提倡低碳，我们会在水槽和开关电闸附近贴上温馨提示，时时刻刻提醒同学们节约用水和注意用电。在门口也贴上温馨提示，提醒同学们在离开实验室时检查实验室是否已经关好水源、电源和门窗。
三、标语 1、人的天职在勇于探索真理。（哥白尼） 2、一切推理都从人的观察与实验中得来。（伽利略） 3、一个人度心态决定他的高度。 4、化学千变万化，实验循规探秘。 5、培养科学态度，提高科学素质。 （注：张贴于实验室门口及墙壁） 框表： 门口（规格：20X70cm）
墙壁（规格：20X70cm ） 四、著名化学家图片
伽利略
哥白尼五、小标签(用于贴示小型仪器或玻璃仪器的名称) (规格：6x10cm)
内蒙古科技大学实验室建设项目可行性报
内蒙古科技大学实验室建设项目可行性报告项目名称：电力系统微机保护实验室建设项目 申请单位：信息工程学院 (公章) 申请金额：57.98万
二、必要性与可行性 1、项目背景及实施项目的必要性 电气工程及其自动化专业是信息工程学院于2003年新组建的一个专业，本专业培养学生在电气工程、自动化与计算机技术应用相关领域，具有科学研究、技术开发、系统运行、设备管理与维修、工程技术管理等能力。本专业自组建以来，招生和就业的形势一直非常好，招生分数也比较高。这是由于随着国国民经济的发展，电力系统配电网的改造及其自动化、电力调度自动化已成为国家重点投资、发展的行业。因此，电气工程学科专业毕业生属人才需求大的专业之一。 该课程既具有较强的理论性，又具有很强的实践性，课程内容与电力系统运行密切相关，对于培养学生综合运用所学知识分析和解决实际问题的能力，全面提高自身素质具有特别重要的作用。尤其是在我校农业电气化与自动化学科被评为辽宁省重点学科的形势下，如何进一步提高教学水平和档次，并在全国范围同类课程中起到相应的示范作用和影响力，具有非常重要的意义。 2、项目实施的可行性 近年来，我国电力工业已经步入以大单机容量、大区域联网、特高电压的新时代。在这种背景下，电力系统及其自动化专业成立了微机保护实验室已势在必行。同时随着电力设备电压等级的提高、装机容量的增大，其运行可靠性要求越来越高，一次设备采用实物模拟仿真，能够真实反映电力系统稳态、暂态运行工况；能够观察到各种现象的物理过程，获得明确的物理概念；模拟发电机容量不得小于三千伏安。 系统接线采用典型的发—变—输—配电结构方式，能够反映现代化电能的生产，传输，分配和使用的全过程；灵活组成多种运行方式；能够较完整的配置微机自动控制装置、微机稳定控制装置、微机继电保护以及测控和录波装置等；满足发电机频率/有功控制、发电机电压/无功控制与调节；具有系统正常运行、，故障与事故报警系
业务用房建设项目可行性研究报告
更多精品文档下载尽在我的主页 保山市昌宁县漭水等8个乡镇综合文化站 业务用房建设项目 可行性研究报告 昌宁县建筑设计室 二○○八年十一月 专业打造
保山市昌宁县漭水等8个乡镇综合文化站 业务用房建设项目 可行性研究报告 项目名称: 保山市昌宁县漭水等8个乡镇综合文化站 业务用房建设 通讯地址: 昌宁县文化体育局 联系人:穆尚勇电话: 7120146 邮政编码: 678100 申报日期: 2008年11月 项目法人: 昌宁县文化体育局 法人代表: 穆尚勇(昌宁县文化体育局局长) 可研报告审定:祁腾飞(昌宁县建筑设计室主任、工程师) —2—
可研报告审核: 杨迎春(昌宁县建筑设计室工程师) 可研报告编写: 祁腾飞(昌宁县建筑设计室主任、工程师 ) 杨迎春(昌宁县建筑设计室工程师) 马宏(昌宁县文化体育局副局长) 穆光荣（昌宁县文化体育局干部） 参加可行性研究人员: 穆尚勇( 昌宁县文化体育局局长 ) 杨永军( 昌宁县发展和改革局副局长 ) 马宏( 昌宁县文化体育局副局长) 8个乡镇分管领导和文化站站长 目录 1、项目概况 (1) —3—
1.1项目基本情况 (1) 1.2可研报告编制的依据： (2) 1.3项目建设的原则 (2) 1.4项目建设目标 (3) 1.5结论 (3) 2.项目提出的背景 (4) 2.1昌宁县基本县情 (4) 2.2昌宁县文化事业概况 (5) 3.项目建设的必要性和可行性 (7) 3.1项目建设的必要性 (7) 3.2项目建设的可行性 (8) 4.各乡镇综合文化站基础建设方案 (9) 4.1漭水镇综合文化站 (9) 4.2卡斯镇综合文化站 (12) 4.3耇街乡综合文化站 (14) 4.4勐统镇综合文化站 (16) 4.5湾甸乡综合文化站 (18) 4.6田园镇综合文化站 (22) 4.7珠街乡综合文化站 (26) 4.8鸡飞乡综合文化站 (30) 5.环境保护、消防、防雷及安全 (34) 5.1环境保护 (34) —4—
实验室建设方案
——您身边的实验室工程专家 实验室建设方案 南京拓展科技有限公司(https://www.360docs.net/doc/4617144041.html,/)是专业从事恒温恒湿、生物安全、理化检测等实验室整体规划设计、安装和运行保障为一体的高科技服务型企业，是实验室综合解决方案的提供者。拓展融合现代国际先进实验室设计理念，凭借多年来在实验室领域的专业积累基础,不断吸收发达国家的先进技术与工艺，并结合国内的工程施工管理实践，为国内众多客户提供了优质的整体实验室工程和全面的技术支持，应对国内、国际日益加剧的技术竞争发展的需要。 概述： “实验室工程一站式解决方案”，就是按照标准化的设计和施工流程、规范化的运作提供的高度可靠的实验室整体解决方案。“整体解决方案”由实验室建筑布局和装修系统、空气调节、通风、给排水、气体供应、电气工程、安全集中监控系统、实验室家具和配套辅助设备、用户培训、维护服务等部分组成；包含了综合实验室建设的全部过程：从前期的规划选址，到内部系统的设计施工，到系统的培训和交付，到后期的维护保养等。“整体实验室”整合了设备供应商、工程承包商及服务提供商的综合能力，确保实验室系统的安全和规范。用户无需对系统的细节问题作过多考虑，所有工作都由项目专业总包服务商统一解决。“整体实验室”的设计施工依据国家相关的标准和规范，强调为用户提供最专业最完善的系统工程，集成了各级别实验室的设备及功能要求，各专业都按统一的设计和操作程序进行，使最终完成的系统是一个有机的整体，而不会使系统的各部分相互脱离，造成安全和操作上的隐患。 无论你的实验室建设是下面哪种情形，我们都可为你提供一站式整体解决方案 实验室建筑建设形式新建实验室工程规划设计旧楼功能改造 综合楼改实验楼 办公楼改实验楼 实验室更新改造 实验室整体配套设计专业分项平面布局规划 室内装饰工程 电气及智能自动化给排水系统 通风控制 空调及空气净化处理
(精编版)重点实验室建设项目可行性研究报告(代项目建议书)
重点实验室建设项目可行性研究报告(此文档为word格式，可任意修改编辑！）
织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册2011-学习资料：公司发展战略规划第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册水文局安全、文明施工措施第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析………… 资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册工程监理企业资质管理规定03.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册盖梁施工作业指导书第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册南宁市国有土地上房屋征收与补偿暂行办法 1.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册店长职责内容有哪些第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文 化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册煤矿可持续发展战略及其总体规划原则第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册机电设备安装分包合同第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金 点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册开展公路桥梁和隧道工程施工安全风险评估试行工作第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册浙江省企浙江省企业民主管理条例的应用第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作 业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册节能监理细则014.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册外墙保温节能自评报告第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连 锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册固定资产贷款管理暂行办法02.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册企业战略工具箱第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性 分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册房地产销售培训手册01号第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册企划管理制度第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设 计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册大型商业物业招商策略第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册论班组安全活动的规范化管理第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目 建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册文章标题类目状态点击发布时间凉山州总工会关于工会财务会计管理规范化工作的调研报告第一 目录 一、项目组建的必要性及意义 (1) （一）项目涉及的专业技术领域 (1) （二）国内外技术水平现状及发展趋势和应用前景 (5) （三）江苏的优势和特色及存在的主要问题 (11) （四）急需解决的关键技术 (14) （五）对提高自主创新能力的意义，对解决关键技术创新的作用，对促进江苏相关领域技术进步及产业发展的意义 (16) 二、项目组建方案的分析 (17) （一）上游技术发展情况、项目技术创新的主要内容和先进程度 (18) （二）预期效果 (23) （三）成果的主要应用领域，推广应用途径、方式 (24) （四）产生的经济效益、社会效益 (25) （五）风险分析 (27) 三、项目单位情况和项目实施基础 (28) （一）项目负责人和主要技术骨干的资历及其代表性成果 (28) （二）实验室主任学术水平、组织协调能力和时间精力保证 (31) （三）承担单位简况（包括承担单位在该项目领域国内外影响和地位；相关学科和技术领域科研队伍水平、结构、团结合作情况及管理水平，科学研究和技术开发情况，知识产 权状况，承担的与项目有关的国家和省重大科技项目、取得的代表性成果及成果转化 织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册2011-学习资料：公司发展战略规划第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册水文局安全、文明施工措施第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析………… 资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册工程监理企业资质管理规定03.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册盖梁施工作业指导书第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册南宁市国有土地上房屋征收与补偿暂行办法01.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册店长职责内容有哪些第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文 化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册煤矿可持续发展战略及其总体规划原则第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册机电设备安装分包合同第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金 点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册开展公路桥梁和隧道工程施工安全风险评估试行工作第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册浙江省企浙江省企业民主管理条例的应用第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作 业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册节能监理细则014.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册外墙保温节能自评报告第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连 锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册固定资产贷款管理暂行办法02.第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册企业战略工具箱第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性 分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册房地产销售培训手册01号第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册企划管理制度第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设 计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册大型商业物业招商策略第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册论班组安全活动的规范化管理第一章……………………第二章…………………………9(可行性研究报告项目 建议书营销策划商业策划书组织设计公务员考试可行性分析报告环境影响报告书连锁店加盟店运营手册作业指导书招标投标招聘绩效管理薪酬管理物业管理经营企划商务礼仪创业金点子销售指南营销创新经济管理选拔企业文化项目管理经济管理市场分析国内外市场情况预测……………………竞争力分析…………资金筹措投资估算效益分析员工培训施工组织设计方案项目申请书用户手册创业计划书业务手册文章标题类目状态点击发布时间凉山州总工会关于工会财务会计管理规范化工作的调研报告第一