ESD静电台面点检记录表.doc

静电设施点检记录表

月份: 表单编号 / 版本:

检查内容工作椅周转箱防静电托盘地面

表面电阻对地电阻表面电阻表面电阻表面电阻系统电阻部门/ 线别编号 ( 位置)

备注:

1.本表要测项目每月测一次 , 每次抽样数量不少于 10组, 静电测试不合格及时改善.

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2. 工作椅应满足 ESD技术指标：表面电阻≤ 1×10 Ω，对地电阻在 7.5 × 10 Ω～1×10 Ω范围内;

3.静电箱静电系数要求：表面电阻在 7.5 ×10 5Ω～ 1× 10 10平方范围内

4.防静电托盘：表面电阻 1×10 5Ω～ 1× 10 10平方范围内

5.防静电地板表面电阻在 1×10 5Ω～ 1× 10 10Ω范围内，系统电阻（对地电阻）在1× 105Ω～ 1× 109Ω范围内。

测试人：审核：核准：