静电放电防护程序_PE201F

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版次 Rev. A B C D
生效日期 Effective Date 2003-5-22 2004-6-18 2004-9-17 2005-06-29
ECN 编号 ECN No. D03002 D04011 D04030
修订者 Reviser -New Issue
说明 Description
陈国政 1. 8.6.2 及 8.7.2,标注量测电压 500V 2. 修改储物柜接地每月量测记录表(FE20106) 陈国政 全面修订
6200-05024 胡兆民 1.修 改 表 单:”手 环 每 日 测 试 记 录 表(FE20101) 改为” 静电环/鞋每日量测记录表” 2.废止表单:”静电放电鞋每日测试记录表” 3.修改 5.5.2 8600-05032 陈国政 修改 3.5 、 3.6 、 5.5.7 、 5.5.12 5.6.3 、 5.7.3 、 5.7.5 、 5.7.8 、 5.10.2 5.11.1 、 5.12 、 5.13.1 、 5.13.2 、 5.15.1 8.3 附录三 修改 5.4.6 修改 5.5.7
E
2005-07-15
F
2005-09-17
8600-05050
张雅
制订部门： Initial Dept.: 制订者： Initial by: 核准： Approved by:
品管处
文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure 文件编号： PE201 No.: 1 of 26
余昱延
罗济平
页数： Page：

文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：2 of 26
1.目的 (Purpose)： 为防止或保护客户产品于 KLT 生产及搬运过程中因静电放电因素而造成破坏。 2.范围 (Scope)： 2.1 本程序提供有关 ESD 管制以及为维护无静电放电环境(ESD free)的测试需求之所有作业与 相关人员指示。ESD 管制计画是一完整的系统会影响所有人员。所有生产之半导体元件 及组件皆应视为感电(Static-sensitive)的元件。如本说明述之 ESD 管制程序应使用于任何 时间点，对任何半导体元件的安全处理上。 2.2 静电放电防护作业区域 ESD Protective Area（EPA）： 2.1 产品由进料，经测试加工至出货之生产区域，如：针测、奔应、卷带、研磨…等。 2.2 物料仓管区。 3.权责 (Responsibility)： 3.1 作业者：依规定配戴适当防护服装及器材。 3.2 领班：查核作业者是否依规定配戴适当防护器材。 3.3 单位主管：督导本 ESD 防护各项规定确实被执行。 3.4 生产部：负责所有使用之工作桌、手环、桌垫，重复使用包装材料及 ESD 防护器具的编 码。 3.5 品管部：负责所有使用之工作桌接地、手环阻值、桌垫接地线，静电消除器、EPA 环境静 电压、传导性推车、储物架、静电桌垫、静电服及导电地板表面阻抗量测，负责新购所有 ESD 防护器具抽样检测，以符合 ESD 要求。 3.6 厂务部：确认 ESD 防护系统的接地及大地接地的定期量测执行。 4.名词定义 (Definition)： 4.1 ESD：Electro-static Discharge(静电放电) 4.2 物料特性：应用下列阻值类别定义物料性质。 4.2.1 传导性物质：表面电阻系数小于 1×10E5 欧姆/单位面积。 4.2.2 静电消散性物质：表面电阻系数介于 1×10E5 与 1×10E12 欧姆/单位面积。 4.2.3 抗静电物质：物质本身能抑制或与其他材质物体摩擦后所产生之静电压值不大于±200 伏。 4.2.4 绝缘性物质：表面电阻系数大于 1×10E12 欧姆/单位面积（EPA 禁止使用）。
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：3 of 26
4.3 软接地：搭配 1M?±10%电阻与地线连接之接地方式。 4.4 硬接地：一个导电点藉由电子线路或特殊设备和大地连接。其值小于 1 欧姆。 4.5 共地点：经由此点可直接或间接连接至大地接地。其值小于 1 欧姆。 4.6 自动工作站：作业时人员并不接触产品及材料 4.7 非自动工作站：作业时人员需用手接触产品及材料 5.作业内容 (Operating Requirement)： 5.1 所有 EPA 均应依循本程序书之要求执行/实施。 5.2 除客户指定供应厂商及特殊需求外，所有使用于生产过程之服装、配备、直接与产品接触 之包装材料均应使用静电防护材质。如传导性、静电消散性及抗静电性 5.3 CD（Charge-distance Rule）法则：物体表面若带有静电压时（以静电压表量测），应与静 电敏感元件保持之安全距离。d = (V ) /1.8 （d：与带电表面之最小安全距离 in；V：静 电压表之读值 Volts） V, Volts 300 500 1000 2000 3000 4000 D, inches（cm） 10（25） 12（32） 18（45） 25（63） 30（78） 35（90） V, Volts 6000 8000 10000 15000 20000 30000 D, inches（cm） 43（110） 50（127） 56（141） 68（173） 79（200） 96（245）
5.4 人员：所有人员进入 EPA 均应依规定穿着或配戴静电防护服装/装备。 5.4.1 区域与服装规定 区域 服装规定 CP、 研磨切割、 组装等晶片前段作业 连身静电服、头罩、静电鞋、手套、口罩(手环、 区 指套必须时) F/T、M/T、奔应测试、TAPE/REEL 静电服、静电帽、静电鞋、手环(手套、指套必 区等封装后段作业区 须时) 5.4.2 防静电手环：作业人员应使用含 1M?±10%电阻之静电手环，不得使用无线手环，静电 手环须直接与皮肤紧密接触，若因作业需求而手环必须使用于腿部或戴手套时，亦须 直接与皮肤紧密接触。手环应使用香蕉接头连接或以鳄鱼夹连接地线。
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：4 of 26
5.4.3 头发容易产生静电，因此应以静电帽罩住，长度如超过肩部应将头发挽起，收于静电 帽内。 5.4.4 手套及指套：手套与指套必须用于直接接触产品及直接搬运产品过程。 5.4.5 静电鞋：人员(包括访客、施工人员)进入 EPA 均应穿着静电鞋。 5.4.6 作业者每日进入 EPA 前均应先测试手环及静电鞋功能是否正常,并记录量测结果,量测 pass 后,方可进入产线,若量测 fail 后,则必须进行更换,直到量测 pass 后方可进入。 5.4.7 识别证：人员识别证应配挂身上且置于静电服内且衣服拉链须拉至顶端定位，扣上领 口。不得取下放置于工作台面或产品上。 5.4.8 离开 EPA 时须脱下静电服装。 5.5 工作站： 5.5.1 在作业区使用导电工作桌（如不锈钢）需直接接地，接地阻值小于 1 欧姆，若为非导 电工作桌则需在工作桌面使用静电桌垫及附 1M?±10%电阻之软接地。 5.5.2 工作站(含包装区工作站)中之手环、桌垫应与共地点连接。 5.5.3 手环、桌垫、料架及工作桌接地均应以并联方式或串联方式直接与共地点连接。 5.5.4 工作桌表面应随时保持清洁并避免损伤，以免降低静电防护能力。 5.5.5 工作站使用之仪器、设备应实施电源接地，同时绝缘体应依 CD 法则与产品保持距离。 若物品、操作、设备会产生大于±200 伏静电压在接近敏感元件前需以离子中和或降低 至±200 伏静电压以下 5.5.6 桌垫下禁止摆放任意纸张及杂物。 5.5.7 工作站使用推车之车轮应具导电性，否则应直接与共地点连接或加装铁链，铁链须与 地板接触。其它可移动设备和办公用设备，如椅子、桌子等在工作站中使用时均需与 共地点连接或加装铁链.(若接近静电敏感元件 30 公分以内不得高过±200 伏静电压。) 5.5.8 产品不得直接放置工作台面上，应以 Tray、Tube 或其它静电防护材料承装。 5.5.9 静电消除器上下禁止摆放任意纸张及杂物。使用静电消除器时应置于工作区 120 公分 以内，二边各近似 45 度角之范围。且方向正对着工作区域，中间不可有阻隔。 5.5.10 标准静电管制工作站应依照附录一要求设立。(除最终装箱作业站外均为 anti-static material 静电管制工作站)并加贴 ESD 工作站标签。 5.5.11 ESD 静电防护警示标示参照附录二。 5.5.12 非自动工作站应保持于±200 伏以内之静电压且人员需佩戴手环及手套. 5.5.13 当工作桌及储物柜需新增或位置变更时申请部门须填写 ESD 接线施工申请单 (FE20113)以知会厂务部进行施工 5.5.14 当 ESD 接线施工完工后设施维修部需执行 ESD 施工验收并记录于 ESD 接线验收单
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：5 of 26
(FE20114) 5.6 机台、设备 5.6.1 所有机台、设备等都须注意静电防护。其机台、设备外壳应做设备接地，其值应 小于 1?；机器设备内部 Pick & Place 及运作轨道之接地系统 R≦10? 5.6.2 具 Pick & Place 功能；贴/撕胶及有滑轨输送之测试、生产设备应加装静电消除器，以 平衡环境之电场。 5.6.3 人员操作机台时应将手环与共地点连接且佩戴手套。 5.6.4 使用于 EPA 之静电消除器应每周实施功能性测试，以静电压表充电至 1000 伏于 30 公 分距离 20 秒内抑制电压小于±200 伏 5.7 静电放电防护区 EPA： 5.7.1 EPA 之入口处应张贴或悬挂 ESD 防护区域标示、人员服装/配备标准示意、鞋环测试 器、鞋环测试标准步骤及鞋环测试记录。手环测试不可使用公用测试线 5.7.2EPA 区所有与静电相关之标示均以黄底黑字区别，其它非静电相关标示不得使用。 5.7.3 EPA 环境湿度规格为 50﹪±10,温度最少应保持 18oC,最高应保持 26oC. 5.7.4 一般纸张于温湿度管制环境中视为非带电材质，若使用于 EPA 或与随产品移动之非光 面纸张流动文件、标示卡等应采用具静电防护材质材料包覆。 5.7.5 接触产品或取放产品应使用静电防护吸笔或佩戴静电环及静电手套。 5.7.6 访客在进入 ESD 防护区之前，应有相关人员陪同，在进入前应着静电防护工作服及静 电鞋，若要接触 ESD 敏感零件或组件时，应先做适当的防护(例如：配戴静电手环、戴 防静电手套或指套、使用吸笔等)方可碰触，否则应予以制止。 5.7.7 置物架的内层应由各使用单位定期清洁及记录。 5.7.8 储物架、料架、柜子等应使用导电材质，需与共地点连接或加装铁链.烤漆铁柜不具静 电防护功能，如需使用时应于内层装置静电消散桌垫，并做软接地。仓储库房如无静 电防护措施，则所有静电敏感元件需置于静电防护包装中 5.7.9 所有用于搬运、组装、测试、清洁、修复、检验或包装电子元件/组件的工作区域皆应 适当地接地。并且注意防止任何会产生静电的物料。这些物料，包含下述项目：标准 塑胶工件箱，毛刷、杯子、水瓶以及其它人员的影响。确保工作区域符合上述要求是 所有员工的责任，并应由各区组长督导其确实被遵从。各区(副)组长是确保其负责区域 内所有的置物架都已接地，并且保持清洁。 5.7.10 使用于产品包装材料至少都需有抗静电处理或抗静电材质。 5.8 物料的采购： 5.8.1 从供应商或客户处装运来的，对静电敏感的电子元件都应有静电防护包装。
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文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：6 of 26
5.8.2 新购之静电防护桌垫、工作服、腕带、防静电包装材料、管子等静电防护材料，都应 有厂商进料之合格证明，并注意其使用期限适时清洁与汰换，且应做抽样检测。 5.9 仪器之校验：使用于静电防护量测作业之仪器均应列入仪器校验管制，以确保量测数据之 正确性。未经校验之量测仪器禁止使用于 ESD 量测作业。 5.10 ESD 训练/辅导/稽核： 5.10.1 新进人员均应接受 ESD 基础课程训练并保持记录。 5.10.2 所有训练纪录至少应保存五年 5.11 人员、工作站、设备、设施的静电防护检查： 5.11.1 静电防护检查依附录三之项目、责任单位、频率等实施执行。第一次量测异常时应将 待测物以酒精擦拭静置 15 分钟后再做第二次量测以确认量测结果。 5.11.2 检查稽核人员应实施相关作业训练课程。 5.12 异常处置：检查发生异常时应立即开出环境异常处理通知单(FE10102)交由责任单位处理 及改善。如有静电特性判定之疑虑则以表面阻抗测试计量测物体静电特性（传导、消散、 抗静电、绝缘）以做判断参考，若静电防护量测作业之仪器发生异常时，依「仪器设备 校正管制程序(PF401)」进行处理。在发现不符合规格时，材料需立即更换，工作区域及 工作站在未改善且符合规格前不得继续生产及使用。 5.13 服装及配备之清洗及识别： 5.13.1 服装（衣服、帽子、鞋子）应编号/加注名字以识别使用者，并交合格厂商定期清洗 及检查。 5.13.2 手环应编号以识别使用者，并定期检查量测。 5.14 个人服装/配备及工作桌、推车、储物柜之编码原则：各责任单位应制作对照表，以显示 服装/配备之使用人及推车、机台、储物柜摆放位置。桌垫之编码与工作桌相同需在桌垫 贴上编码标签，避免工作桌搬迁时造成桌垫无法辨识。 5.15 记录之保存： 5.15.1 所有静电防护相关之量测记录应由各负责检查单位于各阶段量测及审核后交由制造 中心保存所有记录以备查核。 5.15.2 所有相关之 ESD 记录均应予保存，最少保存五年，如客户有需要则依客户需求之。 6.相关文件 (Reference Document)： 6.1 仪器设备校正管制程序 7.表单 (Form)：
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(PF401)

文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：7 of 26
7.1___年度 ___ 月份静电环/鞋每日量测记录表 7.2 工作桌接地每月量测记录表 7.3 手环阻值每月量测记录表 7.4 推车接地每月量测记录表 7.5 储物柜接地每月量测纪录表 7.6 大地接地阻值每半年量测记录报表 7.7 桌垫表面阻抗每季量测记录表 7.8 导电地板表面阻抗每季量测记录表 7.9 桌垫接地线每月量测记录表 7.10 静电服装每半年静电压值量测记录表 7.11 静电消除器每周功能查检表 7.12 ESD 接线施工申请单 7.13 ESD 接线验收单 8.附录(Appendix)： 8.1 附录一：标准静电管制工作站 8.2 附录二：ESD 防护区域标示(均以黄底黑字区别) 8.3 附录三：静电放电防护检查作业表 8.4 附录四：工作桌接地 Table grounding 8.5 附录五：手环阻值及桌垫接地线 8.6 附录六： 推车 Trolley 8.7 附录七：储物架/货架 Storage racks 8.8 附录八： 桌垫 Table mat 8.9 附录九： 导电地板 Conductive floor 8.10 附录十：静电服装量测检查
(FE20101) (FE20102) (FE20104) (FE20105) (FE20106) (FE20107) (FE20108) (FE20109) (FE20110) (FE20111) (FE20112) (FE20113) (FE20114)
REV.:B REV.:A REV.:A REV.:A REV.:B REV.:A REV.:B REV.:A REV.:A REV.:A REV.:A REV.:A REV.:A
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：8 of 26
8.1 附录一 Appendix 1：标准静电管制工作站 A Static-Controlled Station
靜電消散桌墊 ESD
dissipative Table Mat
靜電消除器 靜電手環
ESD Wrist Strap Ionized Air Blower
抗靜電盒
Anti-static Box
消散桌墊接地扣
ESD Table Mat Ground Cord
共地點
Common Ground
靜電接地 導電地板
ESD Conductive Floor Earth Ground
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：9 of 26
8.2 附录二 Appendix 2 ：ESD 防护区域标示(均以黄底黑字区别) 8.2.1ESD 防护区域标示
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：10 of 26
8.2.2 共地点标示
8.2.3 ESD 防护工作站标示
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：11 of 26
8.3 附录三 Appendix 3：静电放电防护检查作业表 Inspecting sheet of ESD prevention 静电放电防护检查作业表 Inspecting sheet of ESD prevention
检查频率 Frequency for inspection 每日 Daily 检查项目 Items of inspection 鞋/手环外观 footwear / wrist strap appearance 检查单位/人员 Inspecting unit/personnel 使用者 Users 检查设备 Inspecting equipment 检查方法 method of Inspection 目视 visual
左右脚各测一次、 手环 一次 Test right & left leg once for each, once for
异常处置 Processing the abnormal 立即更换 Replace at once
允收规格 Acceptable specifications 无破损 No damages
使用表单 Records
每日 Daily
环鞋测试 Strap / footwear testing
使用者 Users
静电环鞋测试器 ESD strap / footwear tester
立即更换 Replace at once
需 PASS（亮绿灯） PASS (green light on)
静电环/鞋每日测试记录表 Wrist Strap / Footwear Daily Measurement Record (FE20101)
wrist strap & cord
充电至±1000V 距离静 电消除器前 3
每周 Weekly
静电消除器功能 Air ionizer function
QM 部.
静电压表 Filed Meter
0cm 量测残余静电压 (20 秒内需＜±200V))( Measure decay eelectrostaticpotention within 30 cm (＜±200V within 20 seconds )
停止使用更换 Stop to use and replace
小于±200 伏于 20 秒内 同时方向正对工作区 Less than ±200V in 20 second and properly directed across the work surface. 接地线无脱落/断损/地 板无脏污 Wire no drop and broken. Cleanliness of floor
静电消除器每周功能查检表 (FE20112) Air ionizer weekly check list(FE20112)
每周 Weekly
所有接地线及地板表面 Grounding wire and surface of floor 静电防护区或工作站没有 会产生静电之物质
QM 部.
目视 Visual
开立 IPQC 异常单， 修复 IssueIPQC QDN and replacement 立即更换 Replacement
FT IPQC 异常单(FAQ100903) CP IPQC 异常单(FAQ106203) IFX IPQC 异常单(FAQ106103)
每周 Weekly
QM 部. .
目视 Visual
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure No static generating material in EPA and work station.
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：12 of 26
静电放电防护检查作业表 Inspecting sheet of ESD prevention
检查频率 Frequency for inspection 检查项目 Items of inspection 检查单位/人员 Inspecting unit/personnel 生产部 Production Dept. QM 部 检查设备 Inspecting equipment 多功电表 Multimeter 检查方法 method of Inspection 量测共地点对工作 桌面(附录四) Measure the common ground to desktop or grounding wire (Appendix IV) 异常处置 Processing the abnormal 允收规格 Acceptable specifications 使用表单 Records 工作桌接地每月量测记录表 (FE20102) ＜1? Workstation Grounding Monthly Measurement Record (FE20102)
每月 Monthly
工作桌接地(不锈 钢)Table grounding （Stainless）
开立异常单、修复 Issue abnormal notice、repair
生产部 Production Dept. 每月 手环阻值 resistance between wrist strap QM 部 . 工程支援部 ES Dept. 产品工程部 PE Dept. 扣环至香蕉插头 (附录五) wrist strap cord to plug (Appendix V)
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多功电表 Multimeter
Monthly
扣环至香蕉插头(附 立即收回报废更换 录五) Collect at once, wrist strap cord to disposition and plug replacement (Appendix V)
手环阻值每月量测记录表 (FE20104) 900K~1.1M? Resistance of Wrist Strap Monthly Measurement Record (FE20104)
生产部 每月 Monthly 桌垫接地线 Table mat grounding Production Dept. QM 部
多功电表 Multimeter
开立异常单、修复 Issue abnormal notice、repair 900K~1.1M?
桌垫接地线每月量测记录表 (FE20110) Tabe Mat Grounging Monthly Measurement Record (FE20110)

文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No. 立即将会产生静电 未经防护之敏感元 之物质移除或以中 件于 30 公分之内 和方式降低静电压 Within 30cm of unprotected ESDS product Remove or neutralized or reduce to less than ±200V
版次(Rev.)： F 页次(Page)：13 of 26
每月 Monthly
EPA 环境静电压 EPA Field Voltage
QM 部 QM Dept.
静电压表 Field Meter
小于±200 伏 Less than ±200V
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：14 of 26
静电放电防护检查作业表 Inspecting sheet of ESD prevention
检查频率 Frequency for inspection 检查项目 Items of inspection 检查单位/人员 Inspecting unit/personnel QM 部 检查设备 Inspecting equipment 高阻表 Megohm meter 检查方法 method of Inspection 推车至地板阻值 Measure the resistance of trolley to the floor (附录六) 量测铁架对共地点 QM 部 Measure the resistance of Multimeter common ground to iron shelf surface(附录七) 量测机台地线接地共地点 多功电表 异常处置 Processing the abnormal 开立异常单、更换 Issue abnormal notice、replacement ＜1M? 允收规格 Acceptable specifications 使用表单 Records 推车接地每 月量测记录 表 (FE20105) Trolly Grounding Monthly Measurement Record(FE20105) 储物柜接地 每月量测记 录 表(FE20106) ＜1? Storage Racks Grounding Monthly Measurement Record(FE20106)
每月 Monthly
传导性推车 Conductive Trolly
每月 Monthly
储物架（不锈钢） Storage Racks/materials shelf (Conductive / Non-Conductive)
开立异常单、修复 Issue abnormal notice、repair
各单位保养时 或每季执行 Same time as maintenance or seasonal
各单位设备 机台（机壳）接地 Machines (case) grounding 保养人员 多功电表
开立异常单、停机 Measure the machine’s Issue abnormal Maintenance Multimeter grounding cord and common notice、shut down personnel of each grounding unit
＜1?
-各机台保养纪录表 Equipment PM Record
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：15 of 26
静电放电防护检查作业表 Inspecting sheet of ESD prevention
检查频率 Frequency for inspection 检查项目 Items of inspection 导电地板表面阻抗 每季 Quarterly resistance of ESD conductive surface . floor surface QM 部 检查单位/人员 Inspecting unit/personnel 检查设备 Inspecting equipment 高阻表 meg ohm meter 检查方法 method of Inspection 异常处置 Processing the abnormal 开立异常单、修复 Issue abnormal notice、repair 允收规格 Acceptable specifications 使用表单 Records 导电地板表面阻抗每季量测记 录表(FE20109) Surface Resistance of Conductive Floor Quarterly Measurement Record(FE20109) 桌垫表面阻抗每季量测记录表 (FE20108) 接地对点 106＜X＜1010? Surface Resistance of Workstation Mat Quarterly Measurement Record(FE20108)
导电地板表面阻抗检查 方法((附录九)
25K＜R≦1M?
每季 Quarterly
桌垫表面阻抗 ESD table mat (front/reverse sides) 静电防护系统执行 程度 Effectiveness of ESD protective system
QM 部
表面阻抗计 量测桌垫正表面阻值(附 录八) Surface resistance meter Measure the resistance of table mat’s front sides
立即更换 Replace at once
依照本程序要求程度 ESD 小组 ESD Team 开立 NCR 处置 Issue NCR ESD protection system complaint to the requirement of this procedure. 静电服装每半年量测记录表 (FE20111) 清洗复查/更换 定点量测 Position measure Clean for re-inspection/replac ＜±200V e The Electrostatic of Smock Semi-Annual Measurement Record (FE20111)
每季 Quarterly
每半年 Bi-Annual /
静电服 ESD sampling smock
QM 部
静电压表 Field meter Measure top middle and button point(附录 十)
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Protection Procedure
文件编号：PE201 No.
版次(Rev.)： F 页次(Page)：16 of 26
静电放电防护检查作业表 Inspecting sheet of ESD prevention
检查频率 Frequency for inspection 检查项目 Items of inspection 检查单位/人员 Inspecting unit/personnel 检查设备 Inspecting equipment 检查方法 method of Inspection 异常处置 Processing the abnormal 允收规格 Acceptable specifications 依照静电消除器校验 程序 Follow the calibration procedure of air ionizer 使用表单 Records
每年 Semi-annual
静电消除器较验 Air ionizer calibration
仪管中心 CMC
静电消除器 校正器
依照静电消除器校验程序
停止使用更换 Stop to use and replace
Charged Plate Follow the calibration procedure of air ionizer Monitor System
接地测试仪 每半年 Bi-Annual 大地接地 Ground connecting 厂务部 earth resistance Tester 量测地阻阻值 Measure the resistance of Oearth ground
开立异常单、通知 厂区事业处全面 Review 产品状况 Issue abnormal notice、 inform Div. Review the situation of products at full scale ＜1?
大地接地阻值每半年 量 测 记 录 表 (FE20107) The Resistance of Earth Grounding Semi-Annual Measurement Record (FE20107)
检查方法请参照附件说明 Please reference figures for inspection method.
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文件名称：静电放电防护程序 Title：ESD Control Procedure
文件编号：PE201 No.
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8.4 附录四 Appendix 4：工作桌接地 Table grounding 8.4.1 量测仪器 Equipment of measure：多功电表 Multimeter 8.4.2 量测方式 Method of inspection： 以多功电表量测工作(不锈钢)桌面与共地点之阻值，其值需小于 1?。
多功電表 Multimeter
●
共地點
Common Ground
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8.5 附录五 Appendix 5：手环阻值及桌垫接地线 Resistance of wrist strap and table mat grounding 8.5.1 量测仪器 Equipment of measure：多功电表 Multi meter 8.5.2 量测方式： Method of inspection 8.5.2.1 量测连接线两端（扣环与香蕉插头端），阻值不得超过 900K~1.1M?。
多功電表 Multi Meter
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8.5.2.2 量测连接线两端（桌垫接地点至地线），阻值不得超过 900K~1.1M?。 多功電表 Multi Meter
桌墊 Table Mat
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8.6 附录六 Appendix 6： 推车 Trolley 8.6.1 量测仪器 Equipment of measure：高阻表 Meg ohm meter 8.6.2 量测方式： Method of inspection 以高阻表量测推车表面与地板间阻值需小于 1M?(106?) (量测电压 500V)。
高阻表 Meg Ohm Meter
輔助電極 Electrode
導電地板 Conductive floor
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