打捆机主要结构和工作原理

该机由机身、传动机构、喂料机构、密度调节机构、压草活塞机构、草捆长度控制机构及车轮行走机构组成。

该机由电动机(或内燃机)通过传动机构带动连杆驱动喂料压板和活塞作往复运动；

适量物料通过进料口、在喂料压板的作用下，进入储草腔内，再由压草活塞推入并被压紧前进。当达到料捆长度时，将隔离板插入储草腔内，之后随草前行，待该板走出储草腔后，即可用绳带捆绑料捆，出机待用：该机可在较平整的场地由汽车牵引作短距离的移动。

玉米收割机的工作原理

现在国内让玉米棒和玉米杆脱离开来，并采用到收获机上主要有两种方式：一种为挤压式，使用两棍子挤压玉米杆到玉米棒那里，就使玉米棒子挤压下来，这种方式主要用在开拓者和迪尔上；还有一种就是四刀或六刀在玉米棒下部切断，使玉米棒和玉米杆分离，这种方式使用在勇猛收获机上，采用的是四刀，凯斯使用的是六刀！我知道的就这两种！

秸秆还田机

、结构与工作原理

秸秆还田机是由拖拉机动力输出轴驱动的整地机械。使用时将机具与拖

拉机悬挂机构挂接，用传动轴（万向节）将拖拉机的动力输出轴与机具主传动箱的主动轴相联接。拖拉机动力经动力输出轴、万向节总成传至主传动箱主动轴，经传动箱减速并改变方向，经皮带将动力传递给驱动变速箱的动力输出轴，动力输出轴通过花键与刀轴连接，最终把动力传出，驱动刀轴旋转工作。

1）刀轴部分锤片装配时均匀排列。高速旋转，能基本将玉米秸秆打碎，并与土壤混合，起到还田的作用。

3）均匀抛洒部分本机的均匀抛洒部分固定在机架后方，可根据农艺要

求调整。

2、用途特点

秸秆还田机是为25-100马力拖拉机配套的新型耕作机械，一次性作业能实现作物根茬的秸秆还田、粉碎、镇压等农田作业。具有传动平稳、结构合理，节能环保等优点。能够实现秸秆粉碎还田、培肥地力，增强土壤有机质的作用。

激光切割机原理

激光切割机是一种最新的技术，目前已经运用到各种行业，包括金属切割、玻璃切割雕刻等广泛领域。激光是一种光，与自然界其电发光一样，是由原子(分子或离子筝)跃迁产生的，而且是自发辐射引起勺。激光虽然是光，但它与普通光明显不同是激光仅在最初极短的时间内依赖于自发辐射，此后的过程完全由激辐射决定，因此激光具有非常纯正的颜色，几乎无发散的方向性,雕刻机，极高的发光强度。激光同时又具有高相干性、高强度性、高方向性，激光通过激光器产生后由反射镜传递并通过聚集镜照射到加工物品上，使加工物品（表面）受到强大的热能而温度急剧增加，使该点因高温而迅速的融化或者汽化，配合激光头的运行轨迹从而达到加工的目的。激光加工技术在广告行业的应用主要分为：激光切割、激光雕刻两种工作方式，对于每一种工作方式，我们在操作流程中有一些不尽相同的地方。激光原理

激光是一种光，与自然界其电发光一样，激光雕刻原理

是由原子(分子或离子筝)跃迁产生的，而且是自发辐射引起勺。激光虽然是光，但它与普通光明显不同是激光仅在最初极短的时间内依赖于自发辐射，此后的过程完全由激辐射决定，因此激光具有非常纯正的颜色，几乎无发散的方向性,雕刻机，极高的发光强度。激光同时又具有高相干性、高强度性、高方向性，激光通过激光器产生后由反射镜传递并通过聚集镜照射到加工物品上，使加工物品（表面）受到强大的热能而温度急剧增加，使该点因高温而迅速的融化或者汽化，配合激光头的运行轨迹从而达到加工的目的。激光加工技术在广告行业的应用主要分为：激光切割、激光雕刻两种工作方式，对于每一种工作方式，我们在操作流程中有一些不尽相同的地方。激光雕刻：主要是在物体的表面进行，分为位图雕刻和矢量雕刻两种：位图雕刻：我们先在PHOTOSHOP里将我们所需要雕刻的图形进行挂网处理并转化为单色BMP格式，而后在专用的激光雕刻切割软件中打开该图形文件。根据我们所加工的材料我们进行合适的参数设置就可以了，而后点击运行，激光雕刻机就会根据图形文件产生的点阵效果进行雕刻。

矢量雕刻：使用矢量软件如Coreldraw，AutoCad，Iluustrator等排版设计，并将图形导出为PLT，DXF，AI格式,打标机，然后再用专用的激光切割雕刻软件打开该图形文件，传送到激光雕刻机里进行加工。

在广告行业主要适用于木板、双色板、有机玻璃、彩色纸等材料的加工。激光切割：我们可以理解为是边缘的分离。对这样的加工目的，我们应该先在CORELDRAW、AUTO CAD里将图形做成矢量线条的形式,气动打标机，然后存为相应的PLT、DXF格式，用激光切割机操作软件打开该文件，根据我们所加工的材料进行能量和速度等参数的设置再运行即可。激光切割机在接到计算机的指令后会根据软件产生的飞行路线进行自动切割。如：现有金运激光切割机，可以根据电脑绘制好的模板，然后直接输入电脑，自动切割图形。现有的金运激光切割机一般都有自己的硬盘，可输入海量数据源。简介方便。

激光切割的特点

激光加工作为一种全新的加工方法，以其加工精确、快捷、操作简单、自动化程度高等优点，在皮革、纺织服装行业内逐渐得到广泛的应用。镭射激光切割机与传统的切割方式相比不仅价格低,消耗低.并且因为激光加工对工件没有机械压力,所以切割出来产品的效果,精度以及切割速度都非常良好.并且还具有操作安全,维修简单等特点.可连续24小时工作。用镭射激光机切割出来的无尘布无纺布边不发黄,自动收边不散边,不变形，不会发硬,尺寸一致且精确；可切割任意复杂形状；效率高、成本低，电脑设计图形,可切割任意形状任各种大小的花边。开发速度快：由于激光和计算机技术的结合，用户只要在计算机上设计，即可实现激光雕刻输出并且可随时变换雕刻,可边设计边出产品

电动机的基本结构及工作原理

电动机的基本结构及工作原理交流电机分异步电机和同步电机两大类。异步电机一般作电动机使用，拖动各种生产机械作功。同步电机分分为同步发电机和同步电动机两类。根据使用电源不同，异步电机可分为三相和单相两种型式。一、异步电动机的基本结构三相异步电动机由定子和转子两部分组成。因转子结构不同又可分为三相笼型和绕线式电机。 1、三相异步电动机的定子：定子主要由定子铁心、定子绕组和机座三部分组成。定子的作用是通入三相对称交流电后产生旋转磁场以驱动转子旋转。定子铁心是电动机磁路的一部分，为减少铁心损耗，一般由0.35～0.5mm厚的导磁性能较好的硅钢片叠成圆筒形状，安装在机座内。定子绕组是电动机的电路部分，安嵌安在定子铁心的内圆槽内。定子绕组分单层和双层两种。一般小型异步电机采用单层绕组。大中型异步电动机采用双层绕组。机座是电动机的外壳和支架，用来固定和支撑定子铁心和端盖。电机的定子绕组一般采用漆包线绕制而成，分三组分布在定子铁心槽内（每组间隔120O），构成对称的三相绕组。三相绕组有6个出线端，其首尾分别用U1、U2；V1、V2；W1、W2表示，连接在电机机壳上的接线盒中，一般3KW以下的电机采用星形接法（Y接），3KW以上的电机采用三角形接法（△接）。当通入电机定子的三相交流电相序改变后，因定子的旋转磁场方向改变，所以电机的转子旋转方向也改变。

2、三相异步电动机的转子：转子主要由转子铁心、转子绕组和转轴三部分组成。转子的作用是产生感应电动势和感应电流，形成电磁转矩，实现机电能量的转换，从而带动负载机械转动。转子铁心和定子、气隙一起构成电动机的磁路部分。转子铁心也用硅钢片叠压而成，压装在转轴上。气隙是电动机磁路的一部分，它是决定电动机运行质量的一个重要因素。气隙过大将会使励磁电流增大，功率因数降低，电动机的性能变坏；气隙过小，则会使运行时转子铁心和定子铁心发生碰撞。一般中小型三相异步电动机的气隙为0.2～1.0mm，大型三相异步电动机的气隙为1.0～1.5mm。三相异步电动机的转子绕组结构型式不同，可分为笼型转子和绕线转子两种。笼型转子绕组由嵌在转子铁心槽内的裸导条（铜条或铝条）组成。导条两端分别焊接在两个短接的端环上，形成一个整体。如去掉转子铁心，整个绕组的外形就像一个笼子，由此而得名。中小型电动机的笼型转子一般都采用铸铝转子，即把熔化了的铝浇铸在转子槽内而形成笼型。大型电动机采用铜导条；绕线转子绕组与定子绕组相似，由嵌放在转子铁心槽内的三相对称绕组构成，绕组作星形形联结，三个绕组的尾端连结在一起，三个首端分别接在固定在转轴上且彼此绝缘的三个铜制集电环上，通过电刷与外电路的可变电阻相连，用于起动或调速。 3、三相异步电动机的铭牌：每台电动机上都有一块铭牌，上面标注了电动机的额定值和基本技术数据。铭牌上的额定值与有关技术数据是正确选择、使用和检修电动机的依据。下面对铭牌中和各数据加以说明：型号异步电动机的型号主要包括产品代号、设计序号、规格代号和特

光刻原理

光刻工艺一、目的：按照平面晶体管和集成电路的设计要求，在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形，以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。二、原理：光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术，它先采用照像复印的方法，将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上，在适当波长光的照射下，光致抗证剂发生变化，从而提高了强度，不溶于某些有机溶剂中，未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化，很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用，对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀，从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。（一）光刻原理图（一）光刻胶的特性： 1．性能，光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量，使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构，从而提高了抗蚀能力，不再溶于有机溶剂，也不再受一般腐蚀剂的腐蚀． 2．组成：以KPR 光刻胶为例：感光剂－－聚乙烯醇肉桂酸酯。溶剂－－环己酮。增感剂－－5·硝基苊， 3．配制过程：将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀，然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀，静置于暗室中待用。感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内，加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。（二）光刻设备及工具：在SiO 2层上涂复光刻胶膜将掩模板覆盖在光刻胶膜上在紫外灯下曝光显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1．曝光机－－光刻专用设备。 2．操作箱甩胶盘－－涂复光刻胶。 3．烘箱――烤硅片。 4．超级恒温水浴锅－－腐蚀SiO2片恒温用。 5．检查显为镜――检查SiO2片质量。 6．镊子――夹持SiO2片。 7．定时钟――定时。 8．培养皿及铝盒――装Si片用。 9．温度计――测量温度。图（二）受光照时感光树脂分子结构的变化三、光刻步骤及操作原理 1．涂胶：利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上，涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上，然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上，利用转动时产生的离心力，将片子上多余的胶液甩掉，在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。涂胶时间约为1分钟。要求：厚度适当（观看胶膜条纹估计厚薄），胶膜层均匀，粘附良好，表面无颗粒无划痕。图（三）光刻工艺流程示意图

柴油机柱塞式喷油泵结构工作原理基础

柴油机柱塞式喷油泵结构工作原理基础喷油泵是柴油供给系中最重要的零件，它的性能和质量对柴油机影响极大,被称为柴油机的"心脏"。 ?一.功用、要求、型式 ?功用:提高柴油压力,按照发动机的工作顺序，负荷大小,定时定量地向喷油器输送高压柴油,且各缸供油压力均等。要求：?（１)泵油压力要保证喷射压力和雾化质量的要求。?(2）供油量应符合柴油机工作所需的精确数量。（3）保证按柴油机的工作顺序，在规定的时间内准确供油。?（4)供油量和供油时间可调正,并保证各缸供油均匀。（5）供油规律应保证柴油燃烧完全。（6)供油开始和结束,动作敏捷,断油干脆,避免滴油。?类型：车用柴油机的喷油泵按其工作原理不同可分为柱塞式喷油泵、喷油泵- 喷油器和转子分配式喷油泵三类。?? 二.柱塞泵的泵油原理柱塞泵的泵油机构包括两套精密偶件: 柱塞和柱塞套是一对精密偶件,经配对研磨后不能互换，要求有高的精度和光洁度和好的耐磨性,其径向间隙为0．00２～0.003mm

柱塞头部圆柱面上切有斜槽,并通过径向孔、轴向孔与顶部相通，其目的是改变循环供油量;柱塞套上制有进、回油孔,均与泵上体内低压油腔相通,柱塞套装入泵上体后，应用定位螺钉定位。?柱塞头部斜槽的位置不同,改变供油量的方法也不同。出油阀和出油阀座也是一对精密偶件，配对研磨后不能互换,其配合间隙为0.01 。出油阀是一个单向阀,在弹簧压力作用下，阀上部圆锥面与阀座严密配合，其作用是在停供时,将高压油管与柱塞上端空腔隔绝，防止高压油管内的油倒流入喷油泵内。?出油阀的下部呈十字断面，既能导向,又能通过柴油。出油阀的锥面下有一个小的圆柱面，称为减压环带，其作用是在供油终了时,使高压油管内的油压迅速下降，避免喷孔处产生滴油现象。当环带落入阀座内时则使上方容积很快增大，压力迅速减小,停喷迅速。? 泵油原理工作时,在喷油泵凸轮轴上的凸轮与柱塞弹簧的作用下,迫使柱塞作上、下往复运动，从而完成泵油任务,泵油过程可分为以下三个阶段。 ?进油过程

板框压滤机的工作原理

板框压滤机的工作原理板框压滤机是由交替排列的滤板和滤框共同构成一组滤室。在滤板的表面有沟槽构造，它凸出部位是用来支撑滤布的。滤框和滤板的边角上各有通孔，组装以后可以构成一个完整的通道，能够通入洗涤水、悬浮液和引出滤液来。板和框的两侧各有把手支托在横梁的上面，由压紧装置压紧板、框。板、框之间的滤布起到密封垫片的作用。由供料泵将悬浮液压入滤室，在滤布的上面形成滤渣，直至充满了滤室。滤液穿过滤布并沿滤板沟槽流至板框边角通道，集中排出。过滤完毕之后，可以通入清洗涤水洗涤滤渣。洗涤后，有时还通入压缩空气，除去剩余的洗涤液。随后打开压滤机卸除滤渣，清洗滤布，重新压紧板、框，开始下一工作循环。板框压滤机主要由压紧板(活动滤板)、止推板(固定滤板)、过滤介质(滤布或滤纸等)、滤板和滤框、横梁(扁铁架)、压紧装置、集液槽等组成(参见附图)，其中的过滤介质和集液槽上由用户自备，当然也可以由上海大张过滤设备代配。板框压滤机对于滤渣压缩性大或近于不可压缩的悬浮液都能适用。适合的悬浮液的固体颗粒浓度一般为10%以下，操作压力一般为0.3～0.6兆帕，特殊的可达3兆帕或更高。过滤面积可以随所用的板框数目增减。板框通常为正方形，滤框的内边长为 320～2000毫米，框厚为16～80毫米，过滤面积为1～1200米2。板与框用手动螺旋、电动螺旋和液压等方式压紧。板和框用木材、铸铁、铸钢、不锈钢、聚丙烯和橡胶等材料制造。板框压滤机共有手动压紧、机械压紧和液压压紧三种形式。手动压紧是螺旋千斤顶推动压紧板压紧；机械压紧是电动机配H型减速箱，经机架传动部件推动压紧板压紧；液压压紧是有液压站经机架上的液压缸部件推动压紧板压紧。

板框压滤机知识

板框压滤机知识基本概述板框压滤机分为厢式压滤机与板框式压滤机二种。组成部分板框压滤机的结构由三部分组成： 1、机架机架是压滤机的基础部件，两端是止推板和压紧头，两侧的大梁将二者连执着起来，大梁用以支撑滤板、滤框和压紧板。为了满足高级卫生需要或防腐需要，机架需要包上不锈钢。 A、止推板：它与支座连接将压滤机的一端坐落在地基上，厢式压滤机的止推板中间是进料孔，四个角还有四个孔，上两角的孔是洗涤液或压榨气体进口，下两角为出口（暗流结构还是滤液出口） b、压紧板：用以压紧滤板滤框，两侧的滚轮用以支撑压紧板在大梁的轨道上滚动。 C、大梁：是承重构件，根据使用环境防腐的要求，可选择硬质聚氯乙烯、聚丙烯、不锈钢包覆或新型防腐涂料等涂覆。 2、压紧机构手动压紧、机械压紧、液压压紧。 A、手动压紧：是以螺旋式机械千斤顶推动压紧板将滤板压紧。 B、机械压紧：压紧机构由电动机（配置先进的过载保护器）减速器、齿轮、丝杆和固定螺母组成。压紧时，电动机正转，带动减速器、齿轮，使丝杆在固定丝母中转动，推动压紧板将滤板、滤框压紧。当压紧力越来越大时，电机负载电流增大，当大到保护器设定的电流值时，达到最大压紧力，电机切断电源，停止转动，由于丝杆和固定丝母有可靠的自锁螺旋角，能可靠地保证工作过程中的压紧状态，退回时，电机反转，当压紧板上的压块，触压到行程开关时退回停止。 C、液压压紧：液压压紧机构的组成由液压站、油缸、活塞、活塞杆以及活塞杆与压紧板连接的哈夫兰卡片液压站的结构组成有：电机、油泵、溢流阀（调节压力）换向

阀、压力表、油路、油箱。液压压紧机械压紧时，由液压站供高压油，油缸与活塞构成的元件腔充满油液，当压力大于压紧板运行的摩擦阻力时，压紧板缓慢地压紧滤板，当压紧力达到溢流阀设定的压力值（由压力表指针显示）时，滤板、滤框（板框式）或滤板（厢式）被压紧，溢流阀开始卸荷，这时，切断电机电源，压紧动作完成，退回时，换向阀换向，压力油进入油缸的有杆腔，当油压能克服压紧板的摩擦阻力时，压紧板开始退回。液压压紧为自动保压时，压紧力是由电接点压力表控制的，将压力表的上限指针和下限指针设定在工艺要求的数值，当压紧力达到压力表的上限时，电源切断，油泵停止供电，由于油路系统可能产生的内漏和外漏造成压紧力下降，当降到压力表下限指针时，电源接通，油泵开始供油，压力达到上限时，电源切断，油泵停止供油，这样循环以达到过滤物料的过程中保证压紧力的效果。 3、过滤机构过滤机构由滤板、滤框、滤布、压榨隔膜组成，滤板两侧由滤布包覆，需配置压榨隔膜时，一组滤板由隔膜板和侧板组成。隔膜板的基板两侧包覆着橡胶隔膜或聚丙烯隔膜，隔膜外边包覆着滤布，侧板即普通的滤板。物料从止推板上的进料孔进入各滤室，固体颗粒因其粒径大于过滤介质（滤布）的孔径被截留在滤室里，滤液则从滤板下方的出液孔流出。滤饼需要榨干时，除用隔膜压榨外，还可用压缩空气或蒸气，从洗涤口通入，气流冲去滤饼中的水份，以降低滤饼的含水率。（1）过滤方式滤液流出的方式分明流过滤和暗流过滤。 A、明流过滤：每个滤板的下方出液孔上装有水咀，滤液直观地从水咀里流出。 B、暗流过滤：每个滤板的下方设有出液通道孔，若干块滤板的出液孔连成一个出液通道，由止推板下方的出液孔相连接的管道排出。（2）洗涤方式滤饼需要洗涤时，有明流单向洗涤和双向洗涤，暗流单向洗涤和双向洗涤。 A、明流单向洗涤是，洗液从止推板的洗液进孔依次进入，穿过滤布再穿过滤饼，从无孔滤板流出，这时有孔板的出液水咀处于关闭状态，无孔板的出液水咀是开启状态。 B、明流双向洗涤是，洗液从止推板上方的两侧洗液进孔先后两次洗涤，即洗液先从一侧洗涤再从另一侧洗涤，洗液的出口同进口是对角线方向，所以又叫双向交叉洗涤。 C、暗流单向流涤是，洗液从止推板的洗液进孔依次进入有孔板，穿过滤布再穿过滤饼，从无孔滤板流出。

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm（正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，

电动机结构与工作原理

电动机结构与工作原理三相异步电动机实现电能与机械能相互转换的电工设备总称为电机。电机是利用电磁感应原理实现电能与机械能的相互转换。把机械能转换成电能的设备称为发电机，而把电能转换成机械能的设备叫做电动机。在生产上主要用的是交流电动机，特别三相异步电动机，因为它具有结构简单、坚固耐用、运行可靠、价格低廉、维护方便等优点。它被广泛地用来驱动各种金属切削机床、起重机、锻压机、传送带、铸造机械、功率不大的通风机及水泵等。对于各种电动机我们应该了解下列几个方面的问题：（1）基本构造；（2）工作原理；（3）表示转速与转矩之间关系的机械特性；（4）起动、调速及制动的基本原理和基本方法；（5）应用场合和如何正确使用。三相异步电动机的结构与工作原理 1．三相异步电动机的构造三相异步电动机的两个基本组成部分为定子（固定部分）和转子（旋转部分）。此外还有端盖、风扇等附属部分，如图5-1所示。 1）．定子三相异步电动机的定子由三部分组成：

2）．转子三相异步电动机的转子由三部分组成：鼠笼式电动机由于构造简单，价格低廉，工作可靠，使用方便，成为了生产上应用得最广泛的一种电动机。为了保证转子能够自由旋转，在定子与转子之间必须留有一定的空气隙，中小型电动机的空气隙约在0.2~1.0mm之间。 2．三相异步电动机的转动原理 1）．基本原理为了说明三相异步电动机的工作原理，我们做如下演示实验，如图5-2所示。

(1)．演示实验：在装有手柄的蹄形磁铁的两极间放置一个闭合导体，当转动手柄带动蹄形磁铁旋转时，将发现导体也跟着旋；若改变磁铁的转向，则导体的转向也跟着改变。 (2)．现象解释：当磁铁旋转时，磁铁与闭合的导体发生相对运动，鼠笼式导体切割磁力线而在其内部产生感应电动势和感应电流。感应电流又使导体受到一个电磁力的作用，于是导体就沿磁铁的旋转方向转动起来，这就是异步电动机的基本原理。转子转动的方向和磁极旋转的方向相同。 (3)．结论：欲使异步电动机旋转，必须有旋转的磁场和闭合的转子绕组。

光刻机和光掩膜版

十三章光刻II 光刻机和光掩膜版前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里，我们介绍如何将图形转移到硅片表面上，包括以下内容：a)将图形投影到硅片表面的装置（即光刻对准仪或光刻翻版机），由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具（即光掩模版和中间掩模版）。在介绍光刻机或掩模版之前，把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。在讨论光学原理之前，有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征：a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。通常，分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的，我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而，和光刻机的分辨率一样，最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解，但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小，且各层都需正确匹配，所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此，首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形，然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。加工产率是重要但不是最重要加工特征。例如，如果一个器件只能在低生产率但高分辨率的光刻机制版，这样也许仍然是经济的。不过，在大部分生产应用中，加工和机器的产率是很重要的，也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的，因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的，所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制，而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的，那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念，包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。衍射·一致性·数值孔径和分辨率图（1）：一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

各种压滤机以及说明

1.压滤机是一种间歇性分离细微悬浮的过滤机械，既可适用于分离低浓度悬浮液，又能分离粘度高或接近于饱和状态的悬浮液是固液分离的理想设备。厢式压滤机为无滤框之压滤机，当压紧后，两邻滤板间所形成的空间即起滤室作用。该机操作压力较高，适用于难过滤物料，更多应用于含微量固体杂质的液相澄清。压紧板的压紧和松开均采用液压操作，结构简单，使用方便，广泛应用于化工、石油、冶金、染料，制药、食品环保等部门。 ▲滤板采用增强聚丙稀（玻纤改性）热塑模压成型制板，强度高、重量轻、无毒无味、耐酸、碱、盐溶液。 ▲采用复式油缸，液压压紧，压紧板行程650，700mm，下料方便，操作简便，安全可靠，没有顶缸现象。 ▲滤板型腔设计先进可靠，没有脱点、脱框现象，使用寿命长。 ▲流道设计独特，过滤速度快，缩短生产周期产量高 2. 带式压滤脱水机 2-1.用途带式压滤机主要用于给排水工程中污泥的脱水，使其体积减少，以利于进一步进行填埋、焚烧等处理。工作原理及构造：通过带式压滤机上一系列的辊及滚筒，将上下两层滤带张紧，滤带上的污泥在剪力作用下，污泥中的游离小不断被挤出，从而完成泥水分离过程。脱水过程

一般分为三个阶段：重力脱水段，楔形预压榨段，中、高压剪切脱水段。压滤机一般由架体、辊、纠偏装置、张紧装置、布泥系统、滤带、刮泥板、冲洗系统等组成。 2-2.特点 ①结构紧凑、整体刚性好。 ②无级调速电动机，可以随时调节运行速度，适应性强。 ③特制冲洗喷嘴及防堵塞装置，使滤带冲洗干净。 ④控制系统自动纠偏，并有限位开关保护滤带，确保设备正常运行。 ⑤处理量大，脱水效果好，运行费用低。 ⑥附属设备选用名牌产品，性能可靠。 ⑦可提供PLC远程控制接口，利用管理。压滤机是一种常用的固液分离设备，在18世纪初就应用于化工生产，至今仍广泛应用于化工、制药、冶金、染料、食品、酿造、陶瓷以及环保等行业。基本概述名称：压滤机定义：利用一种特殊的过滤介质，对对象施加一定的压力，使得液体渗析出来的一种机械设备。功能：使混合液中的固体提取出来，实现固、液分离的作用。用途：医药、化工、标准件、制药、冶金、非标螺丝、染料、食品、酿造、陶瓷、炼油、污水处理等环保行业。特点：过滤板具有性能稳定、操作方便、安全、省力；金属榨筒由无缝钢管加工、塑钢滤板精铸成型，耐高温、高压，经久耐用。功能配置手动压紧、电机压紧、自动液压压紧、自动保压、电气控制/电脑程控、自动拉板、自动接液翻板等进料方式、液流形式中进料、或角进料、中上进料明流出液、暗流出液

板框压滤机的选型及工作原理

板框压滤机的选型及工作原理板框压滤机由交替排列的滤板和滤框构成一组滤室。滤板的表面有沟槽，其凸出部位用以支撑滤布。滤框和滤板的边角上有通孔，组装后构成完整的通道，能通入悬浮液、洗涤水和引出滤液。板、框两侧各有把手支托在横梁上，由压紧装置压紧板、框。板、框之间的滤布起密封垫片的作用。由供料泵将悬浮液压入滤室，在滤布上形成滤渣，直至充满滤室。滤液穿过滤布并沿滤板沟槽流至板框边角通道，集中排出。过滤完毕，可通入清洗涤水洗涤滤渣。洗涤后，有时还通入压缩空气，除去剩余的洗涤液。随后打开压滤机卸除滤渣，清洗滤布，重新压紧板、框，开始下一工作循环。板框压滤机对于滤渣压缩性大或近于不可压缩的悬浮液都能适用。适合的悬浮液的固体颗粒浓度一般为10%以下，操作压力一般为0.3～0.6兆帕，特殊的可达3兆帕或更高。过滤面积可以随所用的板框数目增减。板框通常为正方形，滤框的内边长为 320～2000毫米，框厚为16～80毫米，过滤面积为1～1200米2。板与框用手动螺旋、电动螺旋和液压等方式压紧。板和框用木材、铸铁、铸钢、不锈钢、聚丙烯和橡胶等材料制造。板框式压滤机主要由止推板(固定滤板)、压紧板(活动滤板)、滤板和滤框、横梁(扁铁架)、过滤介质(滤布或滤纸等)、压紧装置、集液槽等组成(参见附图一-一八)，其中过滤介质和集液槽由用户自备，也可由本厂代配。板框压滤机有手动压紧、机械压紧和液压压紧二种形式。手动压紧是螺旋千斤顶推动压紧板压紧；机械压紧是电动机配H型减速箱，经机架传动部件推动压紧板压紧；液压压紧是有液压站经机架上的液压缸部件推动压紧板压紧。两横梁把止推板和压紧装置连在一起构成机架，机架上压紧板与压紧装置饺接，在止推板和压紧板之间依次交替排列着滤板和滤框，滤板和滤框之间夹着过滤介质；压紧装置推动压紧板，将所有滤板和滤框压紧在机架中，达到额定压紧力后，即可进行过滤。悬浮液从止推板上的进料孔进入各滤室(滤框与相邻滤板构成滤室)，固体颗粒被过滤介质截留在滤室内，滤液则透过介质，由出液孔排出机外。压滤机的出液有明流和暗流两种形式，滤液从每块滤板的出液孔直接排出机外的称明流式，明流式便于监视每块滤板的过滤情况，发现某滤板滤液不纯，即可关闭该板出液口；若各块滤板的滤液汇合从一条出液管道排出机外的则称暗流式，暗流式用于滤液易挥发或滤液对人体有害的悬浮液的过滤。压滤机根据是否需要对滤渣进行洗涤，又可分为可洗和不可洗两种形式，可以洗涤的称可洗式，否则称为不可洗式。可洗式压滤机的滤板有两种形式，板上开有洗涤液进液孔的称为有孔滤板(也称洗涤板)，未开洗涤液进液孔的称无孔滤板(也称非洗涤板)。可洗式压滤机

各种过滤设备工作原理及结构分析(动画演示)

各种过滤设备工作原理及结构分析（动画演示）更多好内容：化工707网下载此文档：化工707论坛过滤设备是用来进行过滤的机械设备或者装置，是工业生产中常见的通用设备。过滤设备总体分为真空和加压两类，真空类常用的有转筒、圆盘、水平带式等，加压类常用的有压滤、压榨、动态过滤和旋转型等。按操作方式分类：间歇过滤机、连续过滤机按操作压强差分类：压滤、吸滤和离心过滤工业上使用的典型过滤设备：板框压滤机（间歇操作）转筒真空过滤机（连续操作）过滤式离心机1 板框压滤机1）结构由许多块带凹凸纹路的滤板与滤框交替排列组装于机构成。主要包括滤板、滤框、夹紧机构、机架等组成。滤板：凹凸不平的表面，凸部用来支撑滤布，凹槽是滤液的流道。滤板右上角的圆孔，是滤浆通道；左上角的圆孔，是洗水通道。

洗涤板：左上角的洗水通道与两侧表面的凹槽相通，使洗水流进凹槽；非洗涤板：洗水通道与两侧表面的凹槽不相通。滤框：滤浆通道：滤框右上角的圆孔洗水通道：滤框左上角的圆孔为了避免这两种板和框的安装次序有错，在铸造时常在板与框的外侧面分别铸有一个、两个或三个小钮。非洗涤板为一钮板，框带两个钮，洗涤板为三钮板。 2）操作过程板框压滤机为间歇操作，每个操作循环由装合、过滤、洗涤、卸饼、清理5个阶段组成。装合：将板与框按1-2-3-2-1-2-3的顺序，滤板的两侧表面放上滤布，然后用手动的或机动的压紧装置固定，使板与框紧密接触。过滤：悬浮液在指定压强下送进滤浆通道，由通道流进每个滤框里；滤液分别穿过滤框两侧的滤布，沿滤板板面的沟道至滤液出口排出；颗粒被滤布截留而沉积在滤布上，待滤饼充满全框后，停止过滤。根据滤液排出方式分为：明流和暗

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准，其标记的对准精度能达到±0.4μm （正态分布曲线的3σ值）。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次，而对准精度直接影响硅片的套刻精度，所以硅片的对准精度非常的关键。由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围，它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm，所以硅片被传送到工件台上进行对准之前，需要在预对准工件台上先后完成两次对准，即机械预对准和光学预对准，以便满足精细对准的捕捉范围。注意：本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成：照明（对准光源）部分，双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示，在图中可以看出，对准系统中用了两个完全相同的光路，这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能由于对准系统中的两条完全相同，所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中，照明部分的主要部件就是激光发射器，它产生波长为633nm的线性极化光，避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光（硅片曝光用的光为紫外光）。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元，该激光将从双折射单元底部射出，通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上；而经过硅片表面的反射后由原路返回，第二次经过双折射单元，由双折射单元的顶部射出，再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。在对准单元内，硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后，将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象，Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号，由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。硅片上的对准标记如图2所示，标记分为四个象限，每个象限有8μm或8.8μm的对准条，其中有两个象限的对准条用来对准X向，另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限，当在Q-CELL检测器的每一个单元中，两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候，就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束，一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器，而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准，但是由于它们是同步的，彼此之间几乎看不到有何不同，所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分对准系统的电路部分主要的功能是： 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。光学调制器的驱动：该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号，其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理：在对准的时候，工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动，进行X轴向对准，当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时，将产生一个对准电信号，该信号以中断信号的形式输入计算机，X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时，计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候，一个标记中两个象限的光栅同时参与，在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数，但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同，如图2所示。在对准扫描的过程中，每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号，由于两个象限的光栅条纹间距不同，所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号，而这个点就是在X

带式压滤机工作原理

带式压滤机工作原理三、工作原理该设备主要由驱动装置、传动滚筒、输送带、槽型上托辊、下托辊、机架、清扫器、拉紧装置、改向滚筒、导料槽、重锤张紧装置及电器控制装置等组成。输送带绕经传动滚筒和尾部改向滚筒形成环行封闭带。托辊承载输送带及上面输送的物料。张紧装置使输送带具有足够的张力，保证与传动滚筒间产生摩擦力使输送带不打滑。工作时，减速电机带动传动滚筒，通过摩擦力驱动输送带运行，物料由进料装置进入并随输送带一起运动，经过一定的距离到达出料口转入下一道工艺环节。四、结构和控制特点上托辊采用槽形托辊，利于承载松散物料。回程托辊采用V型托辊，有效防止皮带机跑偏。在空段清扫器前后安装下平托辊有利于清除物料。输送带张紧采用螺旋张紧和重锤张紧两套装置。螺旋张紧装置还可以调整皮带机的跑偏。在输送带的工作面两侧，沿输送带全长安装有导料槽，导料槽由槽板和橡胶板组合而成，橡胶板与输送带接触，形成槽形断面，起到增加输送量的作用，同时也防止物料洒落。导料槽板同橡胶板的固定方式采用螺栓和压板压紧的形式，橡胶板不需要钻孔，同时可以根据橡胶板的磨损情况，方便的进行调整，保证橡胶板保持同输送带的密封状态。在输送机头部和尾部安装有头部及空段清扫器。头部清扫器为重锤刮板式结构，安装于传动滚筒下方，用于清除输送带工作面的粘料。空段清扫器为刮板式结构，安装于靠近尾部的输送带非工作面的上方，用于清除输送带非工作面上的物料。

输送带采用聚酯帆布带，具有耐油、耐酸碱的性质。接头采用硫化接头，接头安全系数10-12。输送机一侧安装有拉绳开关，当发生紧急情况时拉动开关上的钢丝绳启动此开关，可以立即停机。故障排除后，拉动复位销开关可复位。输送机头尾部安装有跑偏开关，当输送带发生跑偏时，输送带带动开关上的立辊旋转并倾斜，倾斜大于一级动作角度12?时，发出一组开关信号;如立辊继续倾斜大于二级动作角度30?时，发出另一组开关信号。两组信号分别用于报警和停机。当输送机恢复正常运行后，立辊自动复位。五、安装调试 1.输送机的各支腿、立柱或平台用化学锚栓牢固地固定于地面上。 2.机架上各个部件的安装螺栓应全部紧固。各托辊应转动灵活。托辊轴心线、传动滚筒、改向滚筒的轴心线与机架纵向的中心线应垂直。 3.螺旋张紧行程为机长的 1,,1.5,。 4.拉绳开关安装于输送机一侧，两开关间用覆塑钢丝绳连接，松紧适度。 5.跑偏开关安装于输送机头尾部两侧，成对安装。开关的立辊与输送带带边垂直，且保证带边位于立辊高度的1/3处。立辊与输送带边缘距离为50,70mm。 6.各清扫器、导料槽的橡胶刮板应与输送带完全接触，否则，调节清扫器和导料槽的安装螺栓使刮板与输送带接触。 7.安装无误后空载试运行。试运行的时间不少于2小时。并进行如下检查: (1)各托辊应与输送带接触，转动灵活。 (2)各润滑处无漏油现象。 (3)各紧固件无松动。 (4)轴承温升不大于40?C，且最高温度不超过80?C。 (5)正常运行时，输送机应运行平稳，无跑偏，无异常噪音。

各种过滤器的原理及结构资料

各种过滤器的原理及结构株洲海润公司郑胜春（摘录）石英砂过滤器主要用于去除水中的悬浮物。该设备与其它水处理设备配合，广泛地应用在给水净化、循环水净化污水处理等各类水处理工程中。活性碳过滤器主要用于吸附水中游离氯（吸附力达99％），对有机物和色度也有较高的去除率。是软化、除盐系统制纯水工艺的预处理设备。滤料为活性碳。设备主要材质为碳钢防腐、玻璃钢和不锈钢等。活性碳过滤器技术参数过滤速度：8-10m3/h 进水浊度：≤5mg/L；工作温度：常温工作压力：≤0.6Mpa; 反洗压缩空气量：18-25L/m2.S 滤料层高：1000-1200mm 反洗强度：4-12L/m2.S; 反冲洗时间：4-6分钟石英砂过滤器技术参数： 1、运行参数 2、水质参数设计滤速：8-10米/时期终水头损失：1.7米进水浊度小于15度，出水浊度小于3度。反清洗强度：4-15升/秒·平方米进水浊度小于10度，出水浊度小于2度。冲洗历时：5-7分钟滤料：石英砂3、水压垫层厚度：200-400毫米滤层厚度：800毫米进水水压：≥0.04Mpa 反冲洗进水水压：≥0.15Mpa 盘式过滤器原理与应用分析工厂制水的预处理系统以前采用的是纤维过滤法，在近几年的运行过程中，这种方法暴露出许多问题：过滤效率明显下降，运行阻力增加，树脂破碎率升高，制水成本逐年上升；出现纤维扭曲，发生“粘连抱团”现象，纤维束不能垂直竖立，下移动不能复位；过滤器内部气囊破损严重，无法正常发挥松散纤维的作用。为了改善制水预处理系统的现状，转而采用盘式过滤器代替高效纤维过滤，取得了良好的效果。一、盘式过滤器机理 1盘式过滤器的原理：利用相邻盘片之间的沟槽纹交叉点实现对固体颗粒的拦截，运行时14组过滤头并联，在水和弹簧的压力作用下过滤滤芯的滤盘被压紧，水从盘片的端面进入，水中的颗粒杂质被压紧的盘片截留，从而起到过滤的作用。反洗时，其中一组进水阀关闭，排污阀打开，其他13组过滤单元的部分出水反向进入这组过滤单元，在反洗水压下促使碟片横向旋转和纵向颤动。滤芯盘片松开，同时反洗水沿管线方向冲向过滤盘片，导致盘片高速旋转，使截留在盘片上的杂物在离心力和水流冲洗的共同作用下脱离盘片，并经反洗水的作用排除。冲洗过程仅需十几秒钟，一个滤头反洗结束后，再对其它几组依次进行反洗。阿速德盘式过滤器又有其独到之处：旋转设计。水流进入到过滤器单元内时，沿外壳的切向进入，在过滤单元内高速旋转，没有真正进入盘式过滤器之前，系统已经将大部分的泥沙等杂质从水中分离，减轻了过滤器的负担，使其工作寿命是同类产品的10倍左右。

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势王平0930******* 摘要：本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变，传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。关键字：光刻；原理；提高性能；浸没式光刻；下一代光刻引言：光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸，是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此，了解光刻技术的基本原理，了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。光刻技术的基本原理：光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上，然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶要制备光刻图形，首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日，已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前，对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有：甩胶、喷胶和气相沉积，但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转，将多余的胶甩出去，而在芯片上留下一层均匀的胶层，通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性（边缘除外）。胶层的厚度由下式决定：式中：F T为胶层厚度，ω为角速度，η为平衡时的粘度，ρ为胶的密度，t为时间。由该式可见，胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系，此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有：气泡、彗星（胶层上存在的一些颗粒）、条纹、边缘效应等，其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

8.2压滤机工作原理及操作规程

板框压滤机工作原理及操作规程一、自动板框压滤机压榨操作方法 1、压榨系统示意图：压榨泵压滤泵 2、压榨操作方法： 1、关闭压滤泵出口阀门H,关闭压滤泵电源后再将压滤泵出口阀H打开，压滤泵进口阀始终处于开启状态，便于压榨时管道内酸液回流至滤液槽。 2、检查确认阀门B、C、F处于关闭状态，阀门E、G处于开启状态后启动压榨泵，缓慢开启压榨泵出口阀门F，通过调整回流阀E的开度将压力表D的压力调整到1Mpa. 3、压力调整好之后缓慢开启压榨水管进水阀门B，注意观察压榨水管道上压力表A，待表A压力达到1Mpa后保压，待出料管口几乎无酸液流出后关闭进水阀门B，关闭压榨泵出口阀门F，停泵。 4、缓慢开启泄压阀C，让膜板内压榨水回流至压榨水槽内，待压力表A

指针回到0刻度后方可松开滤板、清理滤饼。 5、压滤机正常压滤工作时，泄压阀C必须处于开启状态。二、安全注意事项 1.在特殊的操作环境中，请操作人员佩戴好防护器具，如呼吸面罩、耳罩、安全鞋、安全手套等等。· 2.滤板必须按次序和规定的数量放置，禁止在少于规定数量滤板的情况下开机操作，以防止操作造成事故。 3.过滤压力，压榨压力和进料温度必须按所签订合同进行严格控制，严禁随意提高压力，如工艺需要及时与供应商联系。否则可能造成严重后果，发生人身伤害。 4.压滤机工作时，液压缸后禁止人员停留，压紧与松开时必须有人看守，各类液压阀件不得随意调整，以防压力失控造成设备损坏或人身伤害。 5.仔细检查滤布规格是否符合工艺要求，有无破损，安装时是否平整无折叠。滤板密封面和滤布无污物沉积。以免滤板压紧时脱离直线，产生过载或主梁变形。 6.电控柜要保持干燥，各种电器防止飞溅水或用水冲洗，以防止短路引起事故。压力表、电磁阀线圈及各类电气元件要定期检查，以确保设备正常工作。 7.隔膜压滤机进料时，压榨系统排水或排气阀门必须在开启状态，压榨时应缓慢开启进水或进气阀门，压榨完毕后，隔膜板腔室内水或

翻盘真空过滤机基本结构与工作原理

【中国塑料机械交易网】小编讯：翻盘真空过滤机的基本结构与工作原理。水平的环形面积内设置了若干个独立的偏心梯形滤盘，滤盘通过两端轴承座安装在内外转盘上，滤盘的滤室上方配有滤板、滤网、滤布，滤盘内圈方向通过旋转接头输液胶管连接至上分配头。转盘置于若干个托轮上并被圆周上若干个挡轮径向定心，转盘圆周装有柱销齿与传动装置，星轮啮合带动转盘以及转盘上滤盘公转，同时通过上分配头上的浮动拨杆带动上分配头同步旋转，每个滤盘又通过翻盘叉组件配合周边导轨控制滤盘自转卸料，分配头连通真空系统及反吹空气接管。料浆通过加料斗从滤盘上方，相对过滤机公转的逆方向均布于滤布上，在真空吸力下，料浆滤液穿过滤布经滤盘U形底槽、抽液管轴、旋转接头、胶管到上分配头，流向下分配头过滤腔室出品排出，而在滤布上形成滤饼，滤饼在过滤区继续真空脱水。经过过滤区后滤饼受到一次洗液洗涤，此时仍处于真空吸力下，洗涤液经过滤饼带走残余过滤有效成分。脱水后的滤饼继续按工艺接受二次洗液洗涤。此逆流多级洗涤法非常节省洗涤液，因为第二级洗涤所得稀薄洗涤液可作为第一级洗液。最后，滤盘旋转至反吹卸料区，滤盘逆公转方向自转倾覆，滤饼被压缩空气吹松，靠重力并借助压缩空气卸料，此时滤盘通过上分配头同下分配头的压缩空气腔室相连。卸料后的滤布紧接着受到冲洗水冲洗再生，这时滤盘不与压缩空气或真空相连。然后接通真空吸干滤布上残余冲洗水，接着滤盘翻回水平位置，重新加料。至此，公转一周完成过滤、一洗、二洗、翻盘反吹卸料、滤布冲洗及吸干、复位加料这样一个循环过程。其中，过滤与洗涤区大小可调，洗涤次数、干渣下料或湿渣下料可选。过滤、洗涤区间属于有效过滤区，其对应面积即为有效过滤面积。过滤机的每个滤盘小端部都通过吸液胶管与中心分配头的上错气盘各孔一一对应相通，并与其同步水平回转。下错气盘上开着许多分别与过滤、洗涤、吸干等各真空系统相连的按比例分配的腰形孔相通，并固定在机座上不动。翻盘真空过滤机展开的原理：各滤盘在绕中心分配头回转时完成加料、过滤、一洗、二洗(三洗)的过滤操作，并通过大端部的翻盘滚轮沿周边的曲线轨道进行机械的翻盘动作，完成反吹、排渣、冲洗滤布、滤布吸干、滤盘复位等辅助操作过程。整个过程周而复始地连续操作。系统采用逆流洗涤法，并将各区所得不同的滤液浓度严格分开处理。翻盘真空过滤机具有以下主要特点。 1、由若干个偏心梯形滤盘组成，滤盘组成，滤盘自身倾翻卸料。 2、可以连续完成加料、过滤、洗涤、卸料、滤布再生等操作工序。 3、采用了滤盘倾翻结合压缩空气反吹实现卸料，使得卸料比其他刮料的方式更干净、更彻底，滤布几乎不发生机械损伤且再生效果非常好。 4、过滤区(角度)、洗涤区(角度)可按工艺需要调节。 5、采用的滤布压紧机构使滤布拆卸更换方便，且不损伤滤布。 6、可进行多级逆流洗涤，用较少的洗涤液可获得较高的洗涤效果。 7、制造成本较高，占地面积较大。