制绒工序

清洗制绒工序

初始配比：2#槽HNO3:HF=3:176(L)，设定温度3度；4#槽NaOH=52(L)，设定温度20度；6#槽HF: HCl =32:64(L)

常见问题：

A：新换制绒液

1．新换制绒液，为保证片子不发白和保证绒面大小正常，前几张单子的减薄量控制在0.27～0.300克之间；添加酸前后的减薄量波动较大。

新换制绒液做出的片子减薄量偏小，但绒面正常；因此新换液减薄量要比老液小(＞0.275g即可接受，正常要求0.32-0.34g)。

2．开始时减薄量小，为了防止高温现象和温度波动过大，采取了降低传动带速；生产稳定后，逐渐调整到1.2M/S。

3．制绒槽新换制绒液，刚开始片子表面有污渍没洗干净，在碱槽中加20升NaOH后正常。

1．制绒槽硝酸流量计记数错误，导致硝酸加不进；设备维修。

2．制绒槽的HF的流量计不准，当加入80升时就液位超高，打开循环泵后继续加，当加到98升时自动排液，远未达到设定值176升，所以流量计的误差太大；更换新流量计。

添加液的量决定溶液配比浓度，故流量计应能准确计量。

3．PECVD二线有一个舟有问题，镀出膜边缘发红，舟已经换掉；4线由于清洗间新换制绒液(绒面偏大)，员工没有及时更改镀膜时间，用770秒镀膜使800多片片子发白，更改到750秒后正常。

PECVD镀膜时间与绒面相关：绒面大镀膜时间短，绒面小镀膜时间长。另外：镀膜后片子边沿状况可以反映出舟的状态。

5．制冷机的乙二醇的液位传感器松动了，使制冷机无法正常工作；设备维修。

6．制绒槽风刀一端有点偏高，致使第4、第5道的片子边缘有残留液带出；片子镀完膜后有白边；调整风刀后正常。

7．制绒槽的风刀压力过大，液位过高；

9．制绒槽温度在9点30分时温度突然升高，立刻停止生产，但制绒槽里没片子温度还是从3.7度升高到7.5度；KUTTLER的厂家派出工程师维修，修改控制程序。10．单晶制绒槽体温度测试，液体上表面的温度为80度，液体底为79.5度，相差很小。11．制绒槽温度在2.1℃~3.0℃之间，减薄量不稳定（变换趋势0.30~0.36~0.30~0.36）今天中午突然停电，造成了很多片子绒面较大，还有一些由于在碱槽中浸泡时间过长，片子发亮，晶界较明显。

12．片子厚薄不均(170-200um)，停电时由于制绒槽体液位不停的回流使一些片子的单片绒面差异较大，从新制绒后效果没有明显的改善。

14．白班六线由于把片子拿到其他线做，停的很早，夜班开始生产时导致减薄量做不上去，没有假片，只能加入较多的酸，酸液浓度高，导致开始正常生产由于酸液浓度偏高使得减薄量不稳定，忽高忽低，且中间出现连续20片减薄量超大的片子，

在这段片子前后的片子都是正常的，原因不明，在这之后的片子又基本正常。

16．刚生产时，第一张单子由于8号槽的风刀吹不干，片子全部返工；设备加大风刀

的压力和角度后解决。

19．亮点色斑改善试验：碱槽原始配槽为NaOH 70(L)，酸槽原始配槽为HCl :HF =84:

52(L)。

20．一线制绒液，HNO 3:HF=100:40 (L) ,O H 2 40 L 。

21．1线六号槽旁和冷却机旁的地漏在下午五点四十左右突然冒出黄烟，确认为硝酸反

应后生成的NO 、NO2，发现后及时通知设施、设备和当班主管，导致原因暂时无法确定。

23．记录各线的异常温度峰值，及正常工作时的温度图形上的波峰，波谷值，及每条

线的停机时间，以及开始时的补液情况

24．4线开始生产时上料台和制绒槽的传动坏死，片子停留在机器里，对停留在2号槽

的片子作返工处理，另外有少量的抛光片已正常往下流；机器由设备和厂家维护。

25．六线生产一段时间后，员工擅自把压缩空气的阀门关掉，制绒槽制冷剂的气动阀

无法正常工作，导致2号槽温度升到6.5度，少量片子抛光。

26．6线在刚开始生产时，2号槽体温度超高，造成了将近1张单子绒面较大的片子；

停机关闭泵浦降温后正常。

27．1线的滚轮印片子经过丝网和烧结后，滚轮印看不出来，没有降级。

29．六线的计量秤开口较大，加之上方空气流动不规则（正上方有中央空调），致使减

薄量不准确。

30．添加盒时有延时；

31．开始时滚轮印比较严重；把泵浦流量加大5%之后基本没有滚轮印，减薄量正常。

32．设备维护时，未通知工艺直接排掉一部份制绒液，导致2#槽低液位，无法正常生

产；手动添加HF10L 、HNO 32L 后液位正常，减薄量正常。

33．生产时又出现别面多孔硅去处不干净的现象；往四号槽添加15L 碱液，问题基本

解决，表面有多孔硅的片子有一面是好的，将好的一面作扩散面已正常流到下道工序生产。

34．减薄量不稳定，可能造成色差。

35．2#槽制绒液回涌，造成吹干效果不好；降低泵浦流量后正常。

36．6号槽的酸液溢到5号槽中；降低泵浦流量。

37．一线由于风刀问题第三道的片子上有残留液，造成了一些片子的出现了绒面色斑；

38．加大HF 补液频率实验；

39．刘仁中调节加水后，未及时把水的添加参数改变，造成减薄量上不去；HF:5L 、

HNO3:2L 添加4次后正常。

40．4号碱槽发现为酸液，用PH 试纸确认；更换碱液，槽体清洗，重新换液。

42．制绒槽的风刀放斜了，导致4道风刀吹后的片子残留液较多，局部反应不均匀。

43．风刀压力过大，片子表面边缘残留液较多；

44．新设备，碎片多，有吹不干现象；开始减薄量在正常范围内偏大，片子上下绒面差异大，主要因为是老配方，且流量计不准；经调节，绒面基本正常，上下绒面差异不明显。

45．2#槽液位不足，泵浦打不上来，机器停产，让厂家维护；没找到原因，加55LHF 后液位正常，到晚上6点，又显示液位不足，对减薄量控制有影响。

46．碎片较多,下午设备将传动全部更换掉,情况较好。

47．片子很脏，做不干净，加大浓度后片子表面干净，绒面偏大。

48．制冷机坏了，致使300片绒面较大，厂家以修好。

49．六号槽正常配液后液位不足，无法循环，后手动加水补足液位。

50．生产过程中出现卡片；由设备和厂家维修。

51．上表面滚轮印很严重,设备更换1根滚轮后仍然不好,严重的已经背面扩散,并通知PECVD工艺,后联系技术部通过调整新液浓度有明显好转。