TEM操作步骤及注意事项教学提纲

精品文档

FEI TECNAI 20透射电镜

目录

电镜操作面板...................................... - 2 - 使用步骤：.......................................... - 4 -

一.放置样品 ..................................... - 4 -

二.合轴 ............................................. - 4 -

三.拍形貌 ......................................... - 5 -

四.踩带轴 ......................................... - 6 -

五、拍衍射 ...................................... - 6 -

六、能谱分析 .................................. - 7 -

七、高分辨 ...................................... - 7 -

八、拔样品杆及关机 ...................... - 8 -

电镜操作面板

镜筒

注意事项

1. 使用电镜时，首先要观察电镜的状态。

2. 有黄色背景的按钮，要谨慎。

3. 观察一系列数值，包括：最佳电流值、Spot size 、样品各坐标是否都归零等。

使用步骤：

一.放置样品

1.放样品时，夹子不能碰到银环，放置后，用手振动玻璃管，使样品至中间状态，然后用螺丝帽压紧（不可过紧，固定住即可）

2.插入样品杆时，要使杆上小柱的位置对准左上角螺丝，插至凹槽完全进入，然后连上数据线。确认在双束（双倾台不是双束）下，点两下回车。打开抽真空示意图→Vacuum Overview ，开始抽真空。

3.两次抽真空完毕后，逆时针旋转小柱对准Close ，插入。抽真空共分成两段时间，第二个倒计时结束后，即红灯一灭，必须在20秒内将样品杆逆时旋入。旋入样品杆时，要一手拿着，一手托着，放置进入过快。然后点Tube on 。然后点Col Values Closed 。

检查

4．关灯，取下蒙皮。

5.点击→Search ，即可看到样品所在位置。开始找样品中心空洞。

二.合轴

1.在Spot size 为1，低倍（6200X 或8700X ）下找到薄区（朝着光亮处找）。然后调焦。选择最佳物镜电流值9

2.5854（按Eucentric focus ）。 2.放大倍数至86000X ，然后将光斑移至孔区域，开始合轴。观察光斑是否为圆形，非圆形时要进行调圆→condenser ，调圆后点→

None

3.即2.6合轴。在Tune菜单下进行操作。

（1）Spot size 2→Gun shift→光斑移至中间→Done

（Spot size大小用R3和L3进行加减。）

（2）Spot size6→Beam shift→光斑移至中间→Done

重复以上步骤，直至光斑在中间位置。

（3）然后将Spot size 降至1→光斑缩小并移至中心(确认光斑在顺时针放大逆时针缩小状态)→点击

Beam shift PPX→调动多功能钮至两个圆重合→Done

Beam shift PPY→调节多功能钮至两个圆重合→Done （4）移动样品杆，将样品边缘对准中间小黑点，然后抬起左侧的小镜子→Rotation Center→调节多功能钮至视野中样品上下跳动（不能左右晃动）→Done

三.拍形貌

1.找空洞

2．2、6合轴，散开光斑。

3.倍数在2250X—86000X下都可以进行拍摄。套上物镜光阑，先用最大的光阑找区域，然后换成小号。用物镜光阑套住感兴趣的区域。

4.然后将光斑散开，时刻注意右边的红绿条，要保证方框始终在绿色区域（其目的是为了保护相机）。

5.相机参数：Camera View 为0.5，Camera Acquire为1.0。按钮