库特勒清洗机操作规程

1.目的

确保库特勒清洗机处于良好的运行状态

2.适用范围

库特勒清洗机的操作及保养

3.规范性引用文件

QP-6.3-1 设备和设施控制程序

4.术语和定义

无。

5.职责

5.1电池制造部操作人员负责设备的使用和日常的清洁工作。

5.2 电池设备部设备工程师负责设备的定期维护、保养维修及日常点检。

5.3 电池制造技术部工艺工程师负责工艺参数的确认。

6.内容

6.1开机流程

，冷却水阀门并检查其压力是否正常。压缩空气（0.6MP-0.7MP ）、压缩空气（0.3MP-0.5MP ）、氮气（0.3MP-0.5MP），纯水压力，冷却水压力（0.2MP-0.3MP）。见（图一）、（图二）、（图三）、（图四）

图一图二图三图四

6.1.2 打开电气柜上的主电源开关，然后打开电气柜内各断路器。（见图五、图六、图七）

图五图六图七

6.1.3打开PC柜的柜门，打开UPS电源（见图八），开启电脑。（见图九）

图八图九

6.1.4 进入电脑桌面后，打开程序文件（见图十、图十一）。

图十图十一

6.1.5 按下冷却机的电源启动按钮（绿色）。（见图十二）

图十二

6.1.6按下电气柜上的“控制电源RESET”，然后按下“控制电源ON”按钮（见图十三）。

图十三

6.1.7 打开集中供液处压缩空气（见图十四）。

图十四

6.1.8 打开集中供液电气箱的电源开关，使其处于“ON”状态，跳出操作屏幕（见图十五、图十六）。

图十五图十六

6.1.9在PC机上，点击用户名登录，输入所属用户名及其密码，点击确认登陆后，对设备进

行操作。比如对各工艺槽正常加药液及纯水等（见图十七）。

图十七

6.1.10设备从手动切换到自动状态，按起动按钮（见图十八）。

图十八

6.1.11在上料台光电开关感应一片后,设备开始预热（图十九）。

图十九

6.1.12 预热完后开始准备生产。

6.2生产流程

6.2.1 检查各槽体是否有工作液，若没有，则工艺人员需根据工艺要求设置相应参数，点击“配槽”按钮对其进行加液或加水（见图二十）。

配槽参数

图二十

6.2.2配槽所加药液是由集中供液提供。若集中供液某种化学药液无液则更换之，更换流程参

照《集中供液标准作业》（见图二十一、图二十二）。

图二十一图二十二

6.2.3设备预热处于待机状态后，用手在上料处感应一下，等待工作槽液位达到浸泡液位后，

准备生产（见图二十三）。

图二十三

6.2.4在上料处放片（见图二十四）。

图二十四

6.2.5检查流出的硅片。

6.2.6时刻注意硅片是否吹干，碎片是否多，若存在当中任何一个问题，设备人员需检查设备

并进行调整处理。

6.2.7 多晶工艺情况下，记录下减薄量及制绒温度。并时刻检查硅片的减薄量，绒面大小，若有问题通知工艺及设备人员。工艺对化学药液配比进行调整。若设备有问题，比如温度失控，则由设备人员对冷却机进行检查维修。（见图二十五、图二十六）

图二十五图二十六6.2.8收集的硅片装于承载盒内，记录所集硅片数，存放于传递窗内，流向下道工序。

6.2.9生产过程中工作槽内碎片太多，生产线员工需及时进行清理，以免由碎片造成更多碎片。

6.2.10产部门每个班交接时，需排掉各水洗槽的溶液，并重新加入纯水。

6.3关机流程

6.3.1检查并确认硅片已走完,停止工艺。

6.3.2对各槽药液进行处理。若排液需通知设施水站，以便水站处理废水。

6.3.3关闭集中供液处电源。

6.3.4关闭集中供液处纯水阀及压缩空气阀。

6.3.5关闭电脑及显示器电源以及UPS电源。

6.3.6 关闭冷却机电源。