硅片生产工艺

硅片生产工艺 Prepared on 24 November 2020

1.切方磨圆

将矽单晶圆棒按尺寸要求，切割成矽单晶准方棒，并将切割

后的准方棒四角，用滚磨机磨圆。

2.酸洗

将检测合格的矽单晶准方棒放入配好的酸液中，除去表面杂

质，使其清洁便于下道工序。

3.粘胶

将清洁干净的矽单晶准方棒与工件板进行粘接。

4.切片

将粘好的矽单晶准方棒安装在切片机的切割工位上，通过设定好的工艺参数，将其切割成片。

5.清洗脱胶

将切割后的矽片进行预清洗，除去表面附着的切削液等杂质

，并将预清洗后的矽片进行脱胶。

6.超声波清洗

将脱过胶的矽片插在矽片盒里并放入超声波清洗机中进行清

洗。

7.甩干

将超声波清洗后的矽片连盒插在甩干机的甩干工位上，通过

离心和加热将其表面甩干。

8.检片包装

对矽片进行检测，主要包括外观、厚度、电阻率、TTV与翘

曲度等，并将检测后的矽片按等级和发货类型进行分类并包装。