选粉机结构及工作原理

选粉机结构及工作原理
选粉机结构及工作原理

选粉机结构及工作原理

V型选粉机是20世纪90年代磨开发的一种新型选粉机、一般与辊压机配套构成各种辊压粉磨系统。V选粉机将辊压机辊压出的料饼打散、分级、根据工艺需要还可以对物料进行烘干,V型选粉机的出现给辊压粉磨系统带来了新的生命力。为满足不同工艺方案对V型选粉机带料量和带料细度的不同要求,vx系列选粉机比表面积150-200kg

Vx选粉机是一种完全靠重力打散、靠风力分选的静态选粉机,用于分离无粘性,低水分的物料,除了用于辊压机系统外,也可用于出磨或出磨选粉工艺线。

被分选物料水分较大时,可在选粉机进风口通入热风烘干。

使用限制

选粉机不能用于粘性和半流体物料,要求被选粉物料综合水分小于5%

超过300°C的高温会降低耐磨件使用寿命,所以要求被分选的物料最高温度不超过300°C,通入热风最高温度不超过300°,通常情况下,物料和热风的温度应控制在40-80°C之间。为了更好的应用选粉机,进入选粉机的最大物料力度小于35mm,这决定于工艺线物料的类型。

由于选粉机本身不能自动操作,因此要有风循环设计,通常配套细分分离装置、风机、管道、和节流阀。

结构:壳体、进料管、进风壳体、v型打散隔栅、选粉延伸叶栅和到风叶调节装置。

工作原理:选粉空气从进风壳体的进风口进入选粉机,流经选粉室中部的v型隔栅,从出风口排出。被分选的物料从选粉机上部进料口喂入,经v型隔栅多次摔打分散后,由选粉空气进行分选,细粉随选粉空气从排风口排出,由旋风筒或袋收尘分离。粗粉下落汇集到出料口回辊压机再加工,分选完全依靠风力完成。通过调节风机的风量来控制选粉机的选粉机细度和带料量,要尽量减少进料口和出料口的漏风以免对选粉机造成不良影响。调剂5组叶栅可以调节v型隔栅局部截面选粉风速,控制v型隔栅切割粒径,调节叶栅的位置在调试阶段确定。

选粉机操作

最佳数据:通过设备的风量

喂料量

系统温度

通过选粉机的风量可以通过风机的节流阀或风机变频电机调节;

最新o-sepa选粉机的原理及构造资料讲解

2008-03-28 | 浅析高效选粉机为何不高效 标签:选粉机分级颗粒sepa物料 谭传德 点击祥情 摘要:本文介绍了O-Sepa选粉机的工作原理;分析其不高效的原因和不足;提供了改造的方法和途径。使大家对O-Sepa选粉机在使用过程中存在的问题有一个正确的认识,同时为解决实际生产中存在的问题,提供了行之有效的方法。 关键词:粉磨,圈流,高效选粉机,选粉效率,分级。 O-Sepa选粉机,作为第三代选粉机的典型代表,具有很高的选粉效率,以高效著称,被人们誉为高效选粉机,而多年来,在我国经过上百家大中型水泥厂的使用,发现O-Sepa选粉机实际使用效果跟我们预期的希望值还有差距,还存在不少问题:弯管内陶瓷挂片磨损严重,使用寿命短;导流叶片易变形;壳体易磨损;壳体内易积料;特别是选粉效率普遍不高。据调查:O-Sepa选粉机在我国水泥厂实际使用中选粉效率一般都波动在19%~45%范围,使用较好的厂家其选粉效率也不过在50%左右,致使粉磨系统过粉磨现象严重,磨机台时产量不能得到应有的提高,造成吨产品电耗高、粉磨系统不经济。 人们都说O-Sepa选粉机的涡流分级原理先进合理,选粉力场稳定,分级精度高,为何在实际中选粉效率普遍不高呢?笔者对此作一简要的分析。 1.工作原理 O-Sepa选粉机的结构是一个涡壳形旋风筒,内装笼形转子,转子外圈装有一圈导向叶片,转子上部是900弯头的出风管和进料口,转子的下部是粗粉锥。工作原理:被选物料从顶部的进料口进入,落在旋转的撒料盘上,由于离心力的作用物料被抛撒出去,撞到缓冲板而改变方向自由下落,在转子和导向叶片之间的环形空间内形成料幕。一次风、二次风从壳体两侧互成1800的两个切向进风口进入,通过导向叶片导向,与转子的旋转作用相结合,形成强烈的水平旋转流分离场(涡流场),强大的剪切力能将物料团块打碎,给高效选粉创造条件,较细颗粒因离心力作用小于气流的向心吸力随气流穿过转子叶片进入转子内,从中间风管被抽出,由除尘器收集;较粗颗粒在下落的过程中,因离心力作用大于气流的向心吸力撞向导向叶片,且不断受到水平切向气流的冲刷,将粘附在其上的细粉不断地冲刷下来,进入到笼形转子的中间。落入灰斗粗粉中的合格细粉,会被灰斗上圆周均布的三个三次风的清洗,使细粉选出。 2.分级的三个环节

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图

OSEPA选粉机说明书

OSEPA选粉机说明 书 1

诚信贵于金,包容宽于海,道德高于 山 O-Sepa选粉机 说 明 书 中国·江苏 盐城市兰丰环境工程科技有限公司 地址:江苏省盐城市盐都区丰宇工业园邮编:224014 销售热线:服务热线:

一、概述 (2) 二、型号说明 (2) 三、结构及工作原理 (3) 四、技术参数表与性能特点 (4) 五、安装 (7) 六、调试 (9) 七、使用、操作和维护 (11) 八、定货须知 (13) 说明:1)若因我公司技术改进所产生的结构和技术参数的变化,在不影响使用性能的情况下,我公司恕不另行通知; 2)若说明书中内容与实物不相符,以实物为准。 ( 3月版 / 3月印刷/ 本次印刷 100 本)

一、概述 1979年日本小野田公司创造了O-Sepa选粉机,1986年中国开始引进,当前国内的O-Sepa选粉机技术均起源于日本小野田技术,不同厂家针对国内O-Sepa选粉机的使用环境和国内现有的操作技术不断改进,我公司为了提高新型干法生产线粉磨技术,大力推进O-Sepa选粉机的使用,消化吸收了国外先进技术的基础上结合具体生产实践,在选粉机上做了大量的改进,推出了使用效果更好、效率更高的改进型O-Sepa选粉机。 二、型号说明 1.品种、规格 我公司生产的改进型O-Sepa选粉机是第三代选粉机的发展和延伸,一般粉体工业用的规格包括N500~N5000。 型号的组成及代表意义 N □□□□ 选粉机标准状况下的处理风量(Nm3/min) O-Sepa选粉机代号 2.用途及适用范围 改进型O-Sepa选粉机在水泥生产过程中主要是水泥圈流粉磨系统中的分级设备。也广泛应用于其它物料的分级,它具有高产低耗、处理量大、操作维护简单、产品颗粒级配范围窄等特点。 3.使用环境条件: 使用环境要求:温度: -25℃~+45℃; 湿度: ≤50%(40℃),≤90%(20℃) 海拔: ≤1000m

喷砂系统工作原理

喷砂系统工作原理 全自动机械回收式喷砂房是根据产品加工工艺流程及产品本身特性而设计的,适用于大型铸件锻件、焊接钢结构、工程机械、工业锅炉、化工机械、船舶修造等表面去氧化皮、除锈、强化,提高涂料的附着力等。其结构及配套设备主要由喷砂室、喷砂系统、磨料回收系统、通风和除尘系统、照明和电气控制系统六大部分组成 一、喷砂室 喷砂室是喷砂工人面对工件进行喷砂清理的地方。 喷砂室采用砖墙结构,防水性能好,且具有很好的防震效果。 室内采用耐磨橡胶皮保护,能有效保护室内设施。喷砂室地面铺设钢格栅,防止磨料在操作平台上积聚,对喷喷砂工人的安全造成威胁。磨料回收斗铺设钢板网,防止杂物进入喷丸系统。 为了喷砂工人的安全,喷砂室的两侧均设计有安全门,这是喷砂工人在遭遇危险时能及时逃生的需要。喷砂室两侧布置有观察窗,方便随时了解喷砂工人的作业情况。 该喷砂室建在室外,因此一定要注意做好防风挡雨的工作,防止雨水进入喷砂室,防止被雨淋湿的工件进入喷砂室。 二、喷砂系统 喷砂系统由喷砂机和喷砂工人的专用防护用具组成。 喷砂作业的工作效率和作业安全都与喷砂 作业机具有着密不可分的关系。该喷砂系统采用双腔连续工作型喷砂机为喷砂清理机具。 1、设备结构: (1)桶体 由二级料仓组成,上仓与下仓,以保证连续加砂。 (2)自动加砂: 由上仓料位感应器、下仓料位感应器及加料阀等组成。 (3喷砂部分 由进气阀、磨料阀、喷砂管、喷嘴等组成。 (4)控制部分 由电控箱及电缆线、气动遥控开关等组成。 2、设备工作原理; 该机为自动添料可供两人连续工作的喷砂机。 连续工作型喷砂机在上下两仓分别配有满仓料位仪和空仓料位仪。当下仓内的磨料料位下降到空仓料位仪的感应杆以下时,料位仪发出空仓信号,使上仓升压,控制上仓内的磨料流入下腔。在设定时间内,上仓进气阀自动关闭,上仓排气阀自动打开,上仓排气卸压,上仓加料阀打开(气缸控制),上仓添料备用。 连续工作型喷砂机与磨料储砂箱配套使用,当上仓料位升高到满仓料位仪感应杆的高度时,料位仪发出满仓信号,将加料阀关闭,停止加料。 3、设备性能特点 (1)该设备采用双仓结构,因此,可达到连续作业的要求,喷砂工作可连续作业,不需一般喷砂机的停机加砂,大大提高了喷砂效率。 (2)该设备配置了下仓空仓料位仪和上仓满仓料位仪,并与储砂箱加料阀、进气电气控制联动,以保证当下仓无料时,始终能得到补充;上仓料满时,加料阀会自动关闭。控制系统中设置了延时继电器,按照实际工作情况,延时继电器可调,以满足各种工况条件下使用。(3)该系统的气动遥控阀件都采用了汤姆森磨料阀,动作灵活、反应灵敏、耐磨性强,特别是气动遥控磨料阀采用超耐磨复合材料,寿命长、流量调节方便,磨料阀采用斜体45°结

螺旋榨油机的榨油原理

螺旋榨油机的榨油原理 螺旋榨油机主要用于个体家加工用的榨油机。该产品属于液压全自动榨油机的一种,产量不大,但是简单方便。现在主要的产品是螺旋榨油机。冷榨的也有螺旋榨油机,价格比较低廉,但是出油率不高。正如日中天的是全自动螺旋榨油机,它是十多年前国内在韩国引进的技术,用真空过滤,自动温控功能。出来的产品油质量好。味道香,出油率还高。现在主要是农村地区做加工用的。或者是在城市市区做现场加工用的,这样看起来生产更透明化,让客户更放心。对生意的开展有很大的好处。好多地区现在都照这个模式经营,利润相当的丰厚。 几乎所有的油料作物都能通过螺旋榨油机来压榨。包括花生,大豆,油葵,菜籽,核桃,棉籽,等等。尤其是花生油和香油,这个因为价格比较贵。市场上经常有造假和浸出油,对健康不利,所以现场加工的方式经营比较满足重视货真价实的用户的需要。是现在城市地区的主要使用方式。 榨油机运转时,经过处理好的油料从料斗进入榨膛。由榨螺旋转使料胚不断向里推进,进行压榨。由于料胚在榨油机的榨膛内是在运动状态下进行的,在榨膛高压的条件下,料胚和榨螺、料胚和榨膛之间产生了很大的摩擦阻力,这样就能使料胚微料之间产生摩擦,造成相对运动。另一方面,由于榨螺的根园直径是逐渐增粗,螺距是逐渐减少的,因而当榨螺转动时,螺纹使劲料胚即能向前推进,又能向外翻转,同时靠近榨螺螺纹表面的料层还随着榨轴转动。这样在榨膛内的每个料胚微粒都不是等速度,同方向运动,而是在微粒之间也存在着相对运动。由摩擦产生的热量又满足了榨油工艺操作上所必须的热量,有助于促使料胚中蛋白质热变性,破坏了胶体,增加了塑性,同时也降低了有的粘性容易析出油来,因而提高了螺旋榨油机的出油率,使有料中的油压榨出来,并从园排缝隙和条排缝隙流出。 使用螺旋榨油机应注意的事项 螺旋榨油机主要用于个体商户加工食用油的,如花生,大豆,油葵,菜籽,核桃,棉籽等等,几乎所有的油料作物都能通过榨油机来压榨,同时它也是农村一些经营加工食用油商户的首选设备。而且榨油机不受气候的制约,南北四季皆宜,因油盘装置采用了加热温控系统,可根据环境温度,自动调节毛油温度,以达到快速精滤的效果,所以不受季节、气候的影响,一年四季均可压榨经营。螺旋榨油机有出油率高、节能、省工、用途广、油质纯、占地小、出油率高、四季皆宜,不受限制、高效精滤、快速方便、广泛压榨,一机多用等优势。它是商户经营食用油加工设备的首先之一。 而我们在使用螺旋榨油机时应注意以下几点: 一、使用液压榨油机之前,首先应准备好全部辅助器具和容器,检查并调整传动带松紧程度,然后开动电动机,使机器空运转15min左右,检查榨螺轴的转速。一般转速应在33dmin左右。空转时要注意齿轮箱内齿轮的啮合情况及声音是否正常,各轴承部位和电机是否正常,榨油机空转时,电动机电流应为3A 左右,如电流过高,应立即停车检查,调整后再开机。 二、空载正常后,备好原料,准备投入进料斗。注意开始压榨时进料不能太快,否则榨膛内压力突然增加,榨螺轴转不动,造成榨膛堵塞,甚至使榨笼破裂,发生重大事故。因此开始压缩时,进料应均匀缓慢地投入进料斗,使榨油机进行跑合。如此反复多次,持续3~4h以上,使榨油机温度逐渐升高,甚至冒青烟(这是正常现象)。开始压榨时榨膛温度低,可缓慢拧动,凋节螺柱上的手柄,加大出饼厚度,同时提高入榨胚料的水分,待榨膛温度。升至90℃左右,榨油机正常运转后,可将出饼厚度调至1.5~2.5mm,并将紧

茶叶色选机主要的原理

茶叶色选机主要的原理 茶叶色选机是利用色选光电传感器/CCD镜头对茶物料中异色叶片进行筛选工作。由于茶叶烘干后极易破碎,所以为在保证茶物料品相前提下提高色选精度顾茶叶色选机选择多层阶梯式机械结构。正常工作前,要根据不良茶物料的比例和种类,设置色选模式和机器产量;然后将待分选的茶物料通过专用茶叶提升机输送到色选机的摆动进料斗里,经摆动进料斗至振动喂料器,后通过振动喂料器振动向上层溜槽滑道(即色选通道)供料,茶物料在溜槽滑道中通过找正轨道排列,形成速率较为均匀的茶物料流下滑到上色选光电传感器检测区或上CCD镜头检测分选区进行扫描、分辨、判别,茶物料流中得不良米由高速喷气嘴喷气剔除茶物料中得不良品。通过上层分选的茶物料落入下层料斗进入下层溜槽滑道再次利用色选光电传感器检测区或上CCD镜头检测分选区进行扫描、分辨、判别,剔除,分选后经良品与二次次品仓进入下道工序。专门茶叶色选机工作原理见图1。 现以中瑞微视茶叶色选机对绿茶拣梗为例进行茶叶色选机的拣梗原理说明(参数值借用该品牌性能参数)。在进行绿茶拣梗时,其色差测定系统对茶叶色泽组成参数进行测定,从而得出茶叶色泽偏绿或偏黄的程度,一般情况下“-a*”值表示茶叶色泽偏绿的程度,“b*”值表示茶叶色泽偏黄的程度,“L”值代表茶叶的明亮度。而所有名优绿茶的插条和茶梗颜色存在颜色差别即色差,一般插条色泽绿翠,而茶梗色泽偏黄。故色差测定系统进行测定时,色泽偏绿的茶叶,“-a*”值也就偏大,并且茶条越嫩,“-a*”值就越大,满足一定要求的茶叶会被装有绿色色彩信号色差感应系统的茶叶摄像用彩色CCD镜头所捕捉,并进行摄影,然后将所摄影像输入计算机,通过计算,发出指令,使茶叶通过茶叶通道进入第2次拣梗或

主要设备工作原理

一、轧胚机的主要结构 1、喂料机构:沿轴长均匀给料。喂料的多少是用挡料门上的连接螺栓和左、右旋螺母来确定的。当放料需增大时,先松开连接螺栓,再把左、右旋螺母距离缩短,反之,增大左右旋螺母距离。 2、磁选机构:去除物料中的金属硬物。 3、轧辊机构:当喂料电机停止时,轧辊靠电气连锁动作自动分开,当喂料斗内达到上料位时,料位计发出信号,开始合辊,并用延时继电器来控制挡料门和喂料电机开启。 4、液压紧辊机构:液压系统通过手动换向阀和液压电磁换向阀来实现松、合辊动作。 5、定位机构:轧辊合拢时的限位,在保证胚片厚度的前提下,有效地防止轧辊碰撞。 6、刮刀装置:去除粘在辊间的胚片,使胚片的质量得到保证。 二、轧胚机的工作原理 1、经过筛选、去石后的蓖麻籽,均匀地进入具有一定压力和间隙且相对旋转的两辊间,经过对辊的挤压使蓖麻籽外皮破碎。 2、如有异硬物混入料中,则异硬物将使两辊受到一个正常反作用力,有时将强行撑开轧辊,使紧辊油缸活塞外移,油缸工作腔容积减小,而压力增高,增高的压力通过蓄能器来平衡,以保持系统压力不变。当异硬物过后,蓄能器将释放储存的能量,使轧胚机重新正常工作。液压轧胚机的特点

1液压轧胚机的特点液压轧胚机与弹簧轧胚机相比较,具有很多优点:产量高、操作简单省力,产品质量稳定。液压轧胚机从根本上改变了弹簧轧胚机生产的落后面貌,可以全部取代目前国产的轧胚机,使我国制油工艺进入了新的发展阶段,推动了我国制油工业的发展。与弹簧轧胚机相比较,液压轧胚机具有以下的特点:1.1轧胚机的进给与退出、轧辊间的压力调整、异物掉入辊间时轧辊瞬间脱开以及轧辊的装卸等动作都是由操作液压泵站来实现的,可以大大地减轻工人的劳动强度,同时也提高了该机的调整精度和自动化程度。1.2整个操作过程均由液压控制,各部件的动作灵敏,轴间压力高,压力均衡、平稳,轧制出的物料破碎率高。 蒸炒锅 蒸炒锅有卧式蒸炒锅、立式蒸炒锅、环式蒸胚机等,我们所使用的是立式蒸炒锅。下面我们详细介绍立式蒸炒锅。 立式蒸炒锅是由几个单体蒸炒锅重叠装置而成的层式蒸炒设备。重叠方式是呈圆柱形重叠排列。由于这种争吵设备操作方便易于密闭,所以通常都采用比较普遍。 生胚从进料口进入到锅体1后,由于每层锅体的边层和低层均为蒸汽夹层,一次首先受到间接蒸汽的加热。同时,通过第一层锅体搅拌刮刀的搅拌,在下料口之前有直接蒸汽管,将直接蒸汽均匀地喷入生胚内。在搅拌刮刀的作用下,料胚经自动料门3落入下一层。经蒸炒后的料胚最后从底层锅体的处理澳门4排出锅外。 下面我们分述一下蒸炒锅的结构 1、锅体 锅体是立式蒸炒锅最主要的部件之一。根据生产能力的大小,它的内径有1000、1200、1500、1700和2100mm等几种规格,而其层数又有三、四、五、六层之分、每层锅体的结构基本相同,主要由边层、底层、落料孔、排气口和检修门等部分所组成。对于底层锅体则无落料孔,而装有可调节的出料门。我们的蒸炒锅夹层为外夹层,这种结构虽然不够美观,保温敷设也比较麻烦,但是这种结构锅体有效容积相对较大,而且不容易有物料的堆积,焦化结块等现象相对较少。 底夹层

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,

榨油机设备全套价格厂家直销多少钱

很多投资榨油设备的客户会问榨油机全套设备多少钱,在选购榨油机设备时,型号、类型很多,榨油机分螺旋榨油机和液压榨油机,其榨油机全套设备具体价格多少主要根据您选择的榨油机型号以及所需求的配置来决定。根据榨油工艺不同,榨油设备配置不同,价格也不同。 (详情点击进入官网或来电咨询) 榨油机全套设备多少钱?这是根据客户选择的配置来决定的,基本的榨油生产流程为:原料—脱壳—炒制—压榨—过滤—精滤—成品,榨油机设备在面对各种可压榨的油料时,在其配置上需要作出不同的选择。 压榨花生油,就需要配置花生剥壳机去除花生的外壳再进行压榨,出油率会更高。像菜籽、芝麻压榨,都无须配置脱壳设备,需配置炒锅、热榨螺旋榨油机、真空过滤、离心式滤油机即可。榨油机全套设备压榨的油料需冷榨,需要的配置

有冷榨螺旋榨油机、真空过滤、离心式滤油机。榨油机全套设备可根据榨油工艺分为热榨和冷榨,这两种不同的工艺所配置的设备也是不同的。热榨一般由油料先进行炒制,然后进行压榨,最后经过过滤后灌装,在进行榨油的过程还可以配置上料和输送设备。冷榨由输送设备将油料送入榨油机内,经压榨后通过滤油机进行过滤出成品油并进行灌装。 (详情点击进入官网或来电咨询) 榨油机全套设备主要包括剥壳机、炒锅、提升机、榨油机、滤油机等设备,通过榨油机全套设备的加工,可以实现油料作物向食用油的转变过程。 全自动榨油机根据它的性能不同,产量不同,效率不同价位也不尽相同,一般

价位都在2万元左右及以上。配置低的一套榨油机包括炒锅、全自动榨油机等设备,按照螺旋榨油机时加工产量100kg来计算,这样一套榨油机一般来说需要大约3万元,配置高的一套榨油机包括油料清理设备、蒸炒锅、全自动榨油机、油冷却机等设备。这样一套配置的同产量榨油机则需要4万元 以上就是关于榨油机设备全套价格厂家直销多少钱的相关回答,更多问题欢迎来电咨询,联系客服领取各型号榨油机图片资料、价格、补贴额度、利润回报等信息。 益加益专注榨油机20年,凭借精良的生产技术、优质的售后服务,市场占有率稳步上升;连续12年获得部级推广鉴定,产品得到官方认证,质量可靠;获得多项国家专利,技术不断更新,产品始终领先;全国拥有20多个直销部、150多个售后服务站点,确保服务方便快捷!免费安装调试,现场培训操作,终身提供技术支持。汇聚上万家成功用户的榨油经验和经营模式,可为您量身定制经营指导方案,帮助您获得更大利润空间。售后无忧,设备保修一年,终身维修,并赠送“益加益”油品《注册商标》使用权,免费提供城市店面油坊所需要的门头横幅和工作服等。

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

带钢抛丸机结构及工作原理

结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成 抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理 被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室,由两台清理机组成,第一台粗抛、第二台精抛,抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面),将清理工件的弹丸加速,击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉,清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部,经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内,分离器将锈氧化皮等混合物分开,合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用;中间弹丸(未完全分离干净)回室体内再循环;破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱(用户自备)。 3. 各部件主要结构 3.1抛丸器由钢板焊接而成,采用无型钢骨架结构,室体内衬有金属防护板,用耐磨的包铸螺母固定在室体上。 室体上共设八扇维修工作门,门体上侧设有触点开关,无论那扇门开启时,抛丸器都不启动。结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成 抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理

被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室,由两台清理机组成,第一台粗抛、第二台精抛,抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面),将清理工件的弹丸加速,击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带钢表面上的氧化皮或锈斑清除掉,清理后的混合弹丸由两套纵、横向螺旋输送器送至提升机下部,经提升机由螺旋输送器将弹丸送入分离器内,分离器将锈氧化皮等混合物分开,合格弹丸经闸门进入抛丸器继续使用;中间弹丸(未完全分离干净)回室体内再循环;破碎弹丸及灰尘排出并进入废料箱(用户自备)。 3. 各部件主要结构 3.1抛丸器由钢板焊接而成,采用无型钢骨架结构,室体内衬有金属防护板,用耐磨的包铸螺母固定在室体上。 室体上共设八扇维修工作门,门体上侧设有触点开关,无论那扇门开启时,抛丸器都不启动。 结构及工作原理 1. 本机主要由下列部件组成 抛丸室与室体防护板、抛丸器、弹丸循环系统、托辊机构、转刷、吹刮丸机构、气动系统、电气控制系统等。 2. 机器的工作原理 被清理的工件由用户提供的动力压辊机构拉紧送至抛丸室,由两台清理机组成,第一台粗抛、第二台精抛,抛丸机每台设4台抛丸器分别对着带钢的上表面或下表面),将清理工件的弹丸加速,击打带钢的外表面。使带钢在运行过程中将带

手动喷砂机的设计和工作原理之令狐文艳创作

令狐文艳 手动喷砂机的设计与工作原理 一、手动喷砂机用途: 上海良时专业设计制造的手动喷砂机,专用于小批量产品(重量小于20kg)工件外表面湿喷砂处理,达到表面光饰、清除毛刺、氧化皮等要求,亦可用于电镀前处理,如有其它的特别要求,需要重新设计手动湿喷砂机。 二、工作原理: 本机采用吸入式喷砂,即利用压缩空气负压将机内磨液贮箱里的砂水混合料通过输砂管吸入喷枪内,然后随压缩空气流由喷嘴高速射到工件表面,达到湿喷砂加工目的。 三、喷砂特点: 1.砂液循环使用,耗砂低,喷嘴磨耗小,成本低。

2.密闭性佳,不会产生粉尘污染。 3.操作简单,故障少、密闭式空间,噪音低。 4.具窗口清洗功能,使用时视线佳。 5.不锈钢制之机身,经久耐用。 6.配备清水清洗枪,可手动清洗工件。 7.工作区域内设置有过滤网,目的是为了防止工人在上班工作时不小心或者由于机器故障的原因,较大杂物掉入高压砂泵槽内,损坏高压砂泵的叶片,造成不应有的损失而影响正常的生产。 四、加工范围: 适用于小批量产品(每次加料约15~20kg)表面湿喷砂。 五、喷砂介质:

46#~120#白刚玉、棕刚玉、玻璃珠等多种砂料。 六、加工效率: 使用φ8mm喷嘴时,理论喷砂效率约2~3m2/分钟,实际喷砂效率以产品喷砂效果定。 七、喷砂加工流程: 本机喷砂加工时,工人只进行开关机的操作和装入工件的工作,其余完全由机器完成,其工作程序如下: 1.喷砂前,工人应检查机舱底部的磨液是否全部将砂泵的叶轮淹没,水和砂料的比例是否符合喷砂的工艺要求,然后打开总电源开关,启动照明开关,启动排雾风扇。 2.喷砂前工人将一定量的工件放入机舱内(工件放入量由加工工件的大小而定,最重≤20kg)后关闭舱门。 3.启动主机电源,操作者用手握牢喷枪,然后用脚踩住气囊开关启动喷枪,用喷枪按所需角度方位对工件进行喷砂。

商用榨油机 全自动灌装

商用中型榨油机全套设备,全自动榨油机价格报价约为8000元/台。本机是结合95型和100型榨油机的优点改进的机型, 主要特点之一是节能,马达为7. 5KW . 这款全自动商用榨油机是目前油料加工机械中较为先进的机械,具有结构简单,操作方便,出油率高适应性强并能连续作业等特点。对各种植物油料,如:花生,大豆,菜籽,棉籽,芝麻,橄榄,葵籽,椰子,可可等植物油料均可压榨,适用于中小型油脂厂和个体专业户使用,也可以用于浸出油厂的予榨。 加工能力400~600桶/时电源220V/50Hz 电机功率0.75Kw灌装头2(可定制4/6/12灌装头)工作压力0.6~0.7Mpa外形尺寸1350*800*1450mm (详情点击进入官网或来电咨询)

全自动灌装压盖一体榨油机适合各种规格瓶型的油类液体灌装,广泛应用于花生油,菜籽油,色拉油,橄榄油,调和油,豆油,香油,花椒油等植物油的自动化灌装。灌装过程中不污染瓶外壁.采用高强度不锈钢框架,拆装简便,易清洗,符合GMP要求。定量精确可靠,直接设定灌装量,灌装量和灌装速度调整简单,由触摸屏操作和显示,外形美观。灌装范围和速度可依据用户需求来设计不同的灌装头数。 以上是关于商用榨油机全自动灌装灌装压盖一体机的介绍,联系榨油机客服可获取各型号榨油机产品图片、价格、补贴额度、利润回报分析等资料。购榨油机,建议咨询榨油专家,厂家直销,不仅价格优惠,品质有保障,还可以量身制定适合您的方案。 益加益专注榨油机20年,凭借精良的生产技术、优质的售后服务,市场占有率稳步上升;连续12年获得部级推广鉴定,产品得到官方认证,质量可靠;获得多项国家专利,技术不断更新,产品始终领先;全国拥有20多个直销部、150多个售后服务站点,确保服务方便快捷!免费安装调试,现场培训操作,终身提供技术支持。汇聚上万家成功用户的榨油经验和经营模式,可为您量身定制经营指导方案,帮助您获得更大利润空间。售后无忧,设备保修一年,终身维修,并赠送“益加益”油品《注册商标》使用权,免费提供城市店面油坊所需要的门头横幅和工作服等。

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X

喷砂机技术参数

喷砂机技术参数 移动气动喷砂机(单枪) 由于磨料对工件表面的冲击和切削作用,使工件的表面获得一定的清洁度和不同的粗糙度,使工件表面的机械性能得到改善,因此提高了工件的抗疲劳性,增加了它和涂层之间的附着力,延长了涂膜的耐久性,也有利于涂料的流平和装饰,把表面的杂质、杂色及氧化层清除掉,同时使介质表面粗化,消除工件残余应力和提高基材表面硬度的作用。分类 吸入式 1.一般组成 喷砂机 喷砂机 一个完整的吸入式干喷砂机一般由六个系统组成,即结构系统、介质动力系统、管路系统、除尘系统、控制系统和辅助系统。 2. 工作原理是吸入式干喷砂机是以压缩空气为动力,通过气流的高速运动在喷枪内形成的负压,将磨料通过输砂管吸入喷枪并经喷嘴射出,喷射到被加工表面,达到预期的加工目的。在吸入式干喷砂机中,

压缩空气既是供料动力又是射流的加速动力。 压入式 高压喷砂机 对于压入式干喷砂机我们重点介绍压入式喷砂工作单元,即由压力罐和喷枪组成的基本工作单元。 1.一般组成 一个完整的压入式干喷砂机工作单元一般由四个系统组成,即压力罐、介质动力系统、管路系统、控制系统。 2.压入式干喷砂机的工作原理 压入式干喷砂机是以压缩空气为动力,通过压缩空气在压力罐内建立的工作压力,将磨料通过出砂阀压入输砂管并经喷嘴射出,喷射到被加工表面达到预期的加工目。在压入式干喷砂机中,压缩空气既是供料动力又是射流的加速动力。 液体式 液体喷砂机相对于干式喷砂机来说,最大的特点就是很好地控制了喷砂加工过程中粉尘污染,改善了喷砂操作的工作环境。下面将对液体喷砂机的结构组成和工作原理进行详细地介绍。

1.一般组成 一个完整的液体喷砂机一般由五个系统组成,即结构系统、介质动力系统、管路系统、控制系统和辅助系统。 2.工作原理 液体喷砂机是以磨液作为磨液的供料动力,通过磨液泵将搅拌均匀的磨液(磨料和水的混合液)输送到喷枪内。压缩空气作为磨液的加速动力,通过输气管进入喷枪,在喷枪内,压缩空气对进入喷枪的磨液加速,并经喷嘴射出,喷射到被加工表面达到预期的加工目的。在液体喷砂机中,磨液泵为供料动力,压缩空气为加速动力。 冷冻喷砂机,全称为自动喷射式冷冻修边机,冷冻喷砂理论起源于上世纪70年代欧美,后被日本昭和炭酸株式会社发明改良该设备主要用于替代手工对橡胶模压件、精密注塑及压铸件产品进行去毛边处理,此类设备从70年代末开始已经在发达国家被广泛使用,国内也在2000年后开始逐步推广并成为橡塑合金行业必备的后道工序设备之一。 特点 1、操作简单:普通工人经过半小时培训即可熟练操作机器,并且有先进的自动控制系统可防止工人误操作。

榨油机结构的设计

目录 摘要 (1) 关键词 (1) 1 前言 (1) 1.1选题的背景、目的和意义 (1) 1.2国内外研究状况和相关领域中已有的研究成果 (2) 1.3方案的确定 (3) 1.4螺旋榨油机的工作原理 (4) 2 螺旋榨油机相应参数的确定 (5) 2.1 榨膛的容积比ε (5) 2.2 进料端榨膛容积比Vj的计算 (5) 2.3 功率消耗 (5) 2.4 榨膛压力 (5) 2.5 榨膛压缩比曲线 (6) 2.6榨螺轴的设计计算 (6) 2.6.1 榨螺轴尺寸表 (7) 2.6.2 榨螺齿型 (7) 2.6.3 榨螺材料 (7) 3 螺旋榨油机传动机构设计 (7) 3.1电动机的选取 (8) 3.2 总传动比分配 (8) 3.3各轴传递的功率 (8) 3.4 Ⅰ轴和Ⅱ轴啮合齿轮的计算 (9) 3.4.1 齿轮的选用 (9)

3.4.2 确定小齿轮的齿型参数 (13) 3.5 轴的计算校核 (13) 3.5.1 选材及表面预处理 (13) 3.5.2 轴的结构设计 (14) 3.6 皮带轮的设计计算 (16) 3.7 键的校核设计 (16) 3.7.1 键的选择 (16) 3.7.2 键的校核计算 (17) 3.8 轴承的设计 (17) 3.8.1 轴承寿命 (17) 3.8.2 验算轴承寿命 (18) 4 螺旋榨油机的结构设计 (18) 4.1 榨螺轴的设计 (18) 4.2 榨笼的构造 (18) 4.3 齿轮箱及入料器的构造 (18) 4.4 带轮的结构设计 (18) 4.5 调节装置的设计 (19) 4.6 滚动轴承的选择 (20) 4.6.1 Ⅲ轴上的轴承的选择 (20) 4.6.2 Ⅰ轴和Ⅱ轴的轴承 (20) 4.7 榨螺轴与齿轮轴的联接设计 (21) 4.8本章小结 (21) 5螺旋榨油机操作过程中出现的故障及排除 (21) 6结论 (22) 参考文献 (23) 致谢 (23) 榨油机的结构设计

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要: 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变,传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字:光刻;原理;提高性能;浸没式光刻;下一代光刻 引言: 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸,是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此,了解光刻技术的基本原理,了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理: 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上,然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形,首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日,已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前,对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有:甩胶、喷胶和气相沉积,但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转,将多余的胶甩出去,而在芯片上留下一层均匀的胶层,通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性(边缘除外)。胶层的厚度由下式决定: 式中:F T为胶层厚度,ω为角速度,η为平衡时的粘度,ρ为胶的密度,t为时间。由该式可见,胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系,此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有:气泡、彗星(胶层上存在的一些颗粒)、条纹、边缘效应等,其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

选粉机说明书

NHX—Ⅲ系列高效转子式选粉机 使 用 说 明 书

目录 一、概述 二、工作原理 三、结构特性 四、规格与性能 五、选粉机外形尺寸 六、基础布臵尺寸参考图 七、安装与试运要求 八、操作维修及检验 九、产品细度的调节 十、使用注意事项 十一、主轴轴承目录 十二、磨机圈流改造注意点

一、概述 在水泥工业生产中,为提高粉磨系统的效率及降低产品的能耗,现普遍采用圈流粉磨系统。而作为该系统的重要组成部分的选粉机,其性能的先进与否直接影响到系统的工作效率。因此,选粉机的研制工作一直受到各科研院所及工矿企业的重视。 NHX-Ⅲ系列高效抗结露组合型双转子选粉机是我公司技术人员结合国内外先进选粉机技术,将平面涡流理论较好地运用在旋风式选粉机上,自行研制开发的最新型选粉机设备。经使用证明,选粉效率达到85~90%,且细度调节方面灵活,性能稳定可靠。 二、工作原理 NHX-Ⅲ系列高效抗结露组合型双转子选粉机的系统结构示意图1,其工作原理为: 1、调节阀 2、调速电机 3、主轴 4、进料口 5、风岔管 6、上转子 7、旋风管 8、选粉室 9、撒料盘10、下转子11、滴流装置12、外锥13、内锥14、粗粉出口15、细粉出口16、风机

1、出磨物料由选粉机上部料斗进入选粉机内壳,落到与转子成一体的组合式螺旋桨撒料盘上,在撒料盘的高速旋转作用下向四周撒出,同时受螺旋桨撒料盘叶片产生的上升气流作用向上扬起,在撒料盘螺旋桨叶片上形成物料沸腾。物料中较细的颗粒向上飘起,呈悬浮分散状态,而较粗或较重的物料被撒料盘叶片分散沿筒壁落下,完成第一次选粉。 2、撒料盘下方设有下笼形转子10,下笼形转子主轴一起转动,形成涡旋气流,将沿筒壁落下的粗重的物料再次打散,其中的细粉向上扬起,重新回到循环风中,再次分级,粗粉经滴流装臵,从内锥体排出。 3、撒料盘上方设有上笼形转子6。在选粉室内,上笼形转子分级圈表面附近的气流及分散于气流中的物料在分级圈的带动下与分级圈一起作高速转动,在分级圈周围形成均匀强烈的涡旋气流。在此区域内,任何位臵的离心力与抽吸力的关系都恒定不变,气流中的物料所受的离心力,大小可通过调速电机2主轴3的转速来调节。当转速增大时,该力也增大,此时如果保持风量一定,则切割粒径减小,产品变细;若转速减低,则产品变粗。 4、经上笼形转子分级后的细颗粒随循环风进入外部各个旋风集尘器进风口加设了导风板,在内锥筒增设了反射屏,下端增设了减速板,从而使旋风集尘器流体阻力大幅度下降。循环风在导板作用下,以较高的风速进入旋风收集器。在蜗牛角扩大部分风速突然降低,加速颗粒沉降,也提高了旋风集尘器的集尘效率。 三、结构特性 与传统选粉机相比,NHX-Ⅲ系列高效抗结露组合型双转子选粉机具有以下独特的优点: 1、采用可拆换组合式螺旋桨撒料盘。既具有撒料作用,又产生了上升气流使撒料盘叶面上的物料颗粒沸腾呈分散状态,可使物料颗粒增设分级、分散性能。 2、分级原理先进。结合多种选粉机理,利用方向相反的离心力和气流向心吸力的相平衡,物料都经过分级界面分明的选粉区,故分级精度高。 3、串联而成的下笼形转子可将上选粉室分离的粗粉物料颗粒重新扬起

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