各电气设备工作原理(精品)

各电气设备工作原理(精品)
各电气设备工作原理(精品)

各电气设备工作原理

目录

光伏组件 (1)

逆变器 (2)

变压器 (3)

电流互感器(二次侧不可开路) (5)

电压互感器(二次侧不可短路) (6)

母线 (7)

电抗器 (7)

电容器 .............................................................. 错误!未定义书签。

光伏组件

太阳能光伏组件:太阳能光伏组件,太阳能光伏组件是一种光能有效应转换成电力的器件(由太阳能电池构建太阳能电池板)。太阳能光伏组件,能产生光伏效应的材料有许多种,如:

单晶硅,多晶硅,非晶硅,砷化镓,硒铟铜等。它们的发电原理基本相同,现以晶体为例描述光发电过程。P型晶体硅经过掺杂磷可得N型硅,形成P-N结。当光线照射太阳电池表面时,一部分光子被硅材料吸收;光子的能量传递给了硅原子,使电子发生了越迁,成为自由电子在P-N结两侧集聚形成了电位差,当外部接通电路时,在该电压的作用下,将会有电流流过外部电路产生一定的输出功率。这个过程的实质是:光子能量转换成电能的过程

逆变器

逆变器是一种由半导体器件组成的电力调整装置,主要用于把直流电力转换成交流电力。一般由升压回路和逆变桥式回路构成。升压回路把太阳电池的直流电压升压到逆变器输出控制所需的直流电压;逆变桥式回路则把升压后的直流电压等价地转换成常用频率的交流电压。

工作原理:逆变器主要由晶体管等开关元件构成,通过有规则地让开关元件重复开-关(ON-OFF),使直流输入变成交流输出。当然,这样单纯地由开和关回路产生的逆变器输出波形并不实用。一般需要采用高频脉宽调制(SPWM),使靠近正弦波两端的电压宽度变狭,正弦波中央的电压宽度变宽,并在半周期内始终让开关元件按一定频率朝一方向动作,这样形成一个脉冲波

列(拟正弦波)。然后让脉冲波通过简单的滤波器形成正弦波。

变压器

变压器的基本原理是电磁感应原理,现以单相双绕组变压器为例说明其基本工作原理:当一次侧绕组上加上电压ú1时,流过电流í1,在铁芯中就产生交变磁通?1,这些磁通称为主磁通,作用下,两侧绕组分别感应电势é1,é2,感应电势公式为:E=4.44fN?m

式中:E--感应电势有效值

f--频率

N--匝数

?m--主磁通最大值

由于二次绕组与一次绕组匝数不同,感应电势E1和E2大小也不同,当略去内阻抗压降后,电压ú1和ú2大小也就不同. 当变压器二次侧空载时,一次侧仅流过主磁通的电流(í0),这个电流称为激磁电流.当二次侧加负载流过负载电流í2时,也在铁芯中产生磁通,力图改变主磁通,但一次电压不变时,主磁通是不变的,一次侧就要流过两部分电流,一部分为激磁电流í0,一部分为用来平衡í2,所以这部分电流随着í2变化而变化.当电流乘以匝数时,就是磁势.上述的平衡作用实质上是磁势平衡作用,变压器就是通过磁势平衡作用实现了一、二次侧的能量传递.

变压器---利用电磁感应原理,从一个电路向另一个电路传递电能

或传输信号的一种电器是电能传递或作为信号传输的重要元件1.变压器---- 静止的电磁装置变压器可将一种电压的交流电能变换为同频率的另一种电压的交流电能,变压器的主要部件是一个铁心和套在铁心上的两个绕组。与电源相连的线圈,接收交流电能,称为一次绕组与负载相连的线圈,送出交流电能,称为二次绕组设一次绕组的二次绕组的电压相量U1 电压相量U2电流相量I1 电流相量I2电动势相量E1 电动势相量E2匝数N1 匝数N2同时交链一次,二次绕组的磁通量的相量为φm ,该磁通量称为主磁通请注意各物理量的参考方向确定。

二.变压器的结构简介

1.铁心

铁心是变压器中主要的磁路部分。通常由含硅量较高,厚度为0.35 或0.5 mm,表面涂有绝缘漆的热轧或冷轧硅钢片叠装而成铁心分为铁心柱和铁轭俩部分,铁心柱套有绕组;铁轭闭合磁路之用,铁心结构的基本形式有心式和壳式两种

2.绕组

绕组是变压器的电路部分,它是用纸包的绝缘扁线或圆线绕成。变压器的基本原理是电磁感应原理,现以单相双绕组变压器为例说明其基本工作原理(如上图):当一次侧绕组上加上电压ú1时,流过电流í1,在铁芯中就产生交变磁通?1,这些磁通称为主磁通,在它作用下,两侧绕组分别感应电势é1,é2,感应电势公式为:E=4.44fN?m

式中:E--感应电势有效值

f--频率

N--匝数

?m--主磁通最大值

由于二次绕组与一次绕组匝数不同,感应电势E1和E2大小也不同,当略去内阻抗压降后,电压ú1和ú2大小也就不同。当变压器二次侧空载时,一次侧仅流过主磁通的电流(í0),这个电流称为激磁电流。当二次侧加负载流过负载电流í2时,也在铁芯中产生磁通,力图改变主磁通,但一次电压不变时,主磁通是不变的,一次侧就要流过两部分电流,一部分为激磁电流í0,一部分为用来平衡í2,所以这部分电流随着í2变化而变化。当电流乘以匝数时,就是磁势。上述的平衡作用实质上是磁势平衡作用,变压器就是通过磁势平衡作用实现了一、二次侧的能量传递。

电流互感器(二次侧不可开路)

电流互感器(current transformer,简称CT),其原理是依据电磁感应原理,由闭合的铁心和绕组组成。它的一次绕组匝数很少,串在需要测量的电流的线路中,因此它经常有线路的全部电流流过,二次绕组匝数比较多,串接在测量仪表和保护回路中,电流互感器在工作时,它的2次回路始终是闭合的,因此测量仪表和保护回路串联线圈的阻抗很小,电流互感器的工作状态接近短路。电流互感器起到变流和电气隔离作用,它是电力系统中测

量仪表、继电保护等二次设备获取电气一次回路电流信息的传感器,电流互感器将高电流按比例转换成低电流,电流互感器一次侧接在一次系统,二次侧接测量仪表、继电保护等。

电压互感器(二次侧不可短路)电压互感器工作原理与变压器相同,基本结构也是铁心和原、副绕组。特点是容量很小且比较恒定,正常运行时接近于空载状态。电压互感器本身的阻抗很小,一旦副边发生短路,电流将急剧增长而烧毁线圈。为此,电压互感器的原边接有熔断器,副边可靠接地,以免原、副边绝缘损毁时,副边出现对地高电位而造成人身和设备事故。测量用电压互感器一般都做成单相双线圈结构,其原边电压为被测电压(如电力系统的线电压),可以单相使用(Y-Y),也可以用两台接成V-V形作三相使用。实验室用的电压互感器往往是原边多抽头的,以适应测量不同电压的需要。供保护接地用电压互感器还带有一个第三线圈,称三线圈电压互感器。三相的第三线圈接成开口三角形(Y0-Y0/△),开口三角形的两引出端与接地保护继电器的电压线圈联接。正常运行时,电力系统的三相电压对称,第三线圈上的三相感应电动势之和为零。一旦发生单相接地时,中性点出现位移,开口三角的端子间就会出现零序电压使继电器动作,从而对电力系统起保护作用。

线圈出现零序电压则相应的铁心中就会出现零序磁通。为此,这种三相电压互感器采用旁轭式铁心(10KV及以下时)或采用三台单相电压互感器。对于这种互感器,第三线圈的准确度要求不高,但要求有一定的过励磁特性(即当原边电压增加时,铁心中的磁通密度也增加相应倍数而不会损坏)。

母线

分配和汇集电能

电抗器

最通俗的讲,能在电路中起到阻抗的作用的东西,我们叫它电抗器。

电抗器的工作原理

电抗器电力网中所采用的电抗器,实质上是一个无导磁材料的空心线圈。它可以根据需要布置为垂直、水平和品字形三种装配形式。在电力系统发生短路时,会产生数值很大的短路电流。如果不加以限制,要保持电气设备的动态稳定和热稳定是非常困难的。因此,为了满足某些断路器遮断容量的要求,常在出线断路器处串联电抗器,增大短路阻抗,限制短路电流。

由于采用了电抗器,在发生短路时,电抗器上的电压降较大,所以也起到了维持母线电压水平的作用,使母线上的电压波动较小,保证了非故障线路上的用户电气设备运行的稳定性。电抗器的作用

电力系统中所采取的电抗器常见的有串联电抗器和并联电抗器。串滤波电抗器联电抗器主要用来限制短路电流,也有在滤波器中与电容器串联或并联用来限制电网中的高次谐波。220kV、110kV、35kV、10kV电网中的电抗器是用来吸收电缆线路的充电容性无功的。可以通过调整并联电抗器的数量来调整运行电压。超高压并联电抗器有改善电力系统无功功率有关运行状况的多种功能,主要包括:

(1)轻空载或轻负荷线路上的电容效应,以降低工频暂态过电压。

(2)改善长输电线路上的电压分布。

(3)使轻负荷时线路中的无功功率尽可能就地平衡,防止无功功率不合理流动同时也减轻了线路上的功率损失。

(4)在大机组与系统并列时降低高压母线上工频稳态电压,便于发电机同期并列。

(5)防止发电机带长线路可能出现的自励磁谐振现象。

(6)当采用电抗器中性点经小电抗接地装置时,还可用小电抗器补偿线路相间及相地电容,以加速潜供电流自动熄灭,便于采用。

电抗器的接线分串联和并联两种方式。

串联电抗器通常起限流作用,并联电抗器经常用于无功补偿。

依靠线圈的感抗阻碍电流变化的电器。按用途分为7种:

①限流电抗器。串联于电力电路中,以限制短路电流的数值。

②并联电抗器。一般接在超高压输电线的末端和地之间,起无功补偿作用。

③通信电抗器。又称阻波器。串联在兼作通信线路用的输电线路中,用以阻挡载波信号,使之进入接收设备。

④消弧电抗器。又称消弧线圈。接于三相变压器的中性点与地之间,用以在三相电网的一相接地时供给电感性电流,以补偿流过接地点的电容性电流,使电弧不易起燃,从而消除由于电弧多次重燃引起的过电压。

⑤滤波电抗器。用于整流电路中减少竹流电流上纹波的幅值;也可与电容器构成对某种频率能发生共振的电路,以消除电力电路某次谐波的电压或电流。

⑥电炉电抗器。与电炉变压器串联,限制其短路电流。

⑦起动电抗器。与电动机串联,限制其起动电流。

电抗器的作用:电抗器的限流和滤波作用

为了限制输电线路的短路电流,保护电力设备,必须安装电抗器,电抗器能够减小短路电流和使短路瞬间系统的电压保持不

变。在电容器回路安装阻尼电抗器(即串联电抗器),电容器回路投入时起抑制涌流的作用。同时与电容器组一起组成谐波回路,起各次谐波的滤波作用。

电抗器在无功补偿装置中的作用

电抗器是无功补偿装置的重要组成部分之一,并联电抗器用来提供感抗值消耗电力系统过剩的电容性无功功率,这在电力系统初期输送功率较小的时候以及电力系统后期在每日深夜轻负荷的时候都是十分必要的。因为在上述两种情况下,输电线路的无功功率损耗小,由于电容效应,输电线路产生的无功功率大于输电线路消耗的无功功率,在整个电力系统中存在剩余的无功功率(电容性),必须安装并联电抗器来消耗这部分剩余的无功功率,满足电力系统无功平衡的需要,维持电力系统的电压水平。否则电力系统的电压过高,无法安全运行。

电容器在原理上相当于产生容性无功电流的发电机。其无功补偿的原理是把具有容性功率负荷的装置和感性功率负荷并联在同一电容器上,能量在两种负荷间相互转换。这样,电网中的变压器和输电线路的负荷降低,从而输出有功能力增加。在输出一定有功功率的情况下,供电系统的损耗降低。比较起来电容器是减轻变压器、供电系统和工业配电负荷的最简便、最经济的方法。因此,电容器作为电力系统的无功补偿势在必行。当前,采用并联电容器作为无功补偿装置已经非常普遍。

2电力电容器补偿的特点

2.1优点

电力电容器无功补偿装置具有安装方便,安装地点增减方便;有功损耗小(仅为额定容量的0.4%左右);建设周期短;投资小;无旋转部件,运行维护简便;个别电容器组损坏,不影响整个电容器组运行等优点。

2.2缺点

电力电容器无功补偿装置的缺点有:只能进行有级调节,不能进行平滑调节;通风不良,一旦电容器运行温度高于70℃时,易发生膨胀爆炸;电压特性不好,对短路稳定性差,切除后有残余电荷;无功补偿精度低,易影响补偿效果;补偿电容器的运行管理困难及电容器安全运行的问题未受到重视等。

3无功补偿方式

3.1高压分散补偿

高压分散补偿实际就是在单台变压器高压侧安装的,用以改善电源电压质量的无功补偿电容器。其主要用于城市高压配电中。

3.2高压集中补偿

高压集中补偿是指将电容器装于变电站或用户降压变电站6kV~10kV高压母线的补偿方式;电容器也可装设于用户总配电室低压母线,适用于负荷较集中、离配电母线较近、补偿容量较大的场所,用户本身又有一定的高压负荷时,可减少对电力系统

无功的消耗并起到一定的补偿作用。其优点是易于实行自动投切,可合理地提高用户的功率因素,利用率高,投资较少,便于维护,调节方便可避免过补,改善电压质量。但这种补偿方式的补偿经济效益较差。

3.3低压分散补偿

低压分散补偿就是根据个别用电设备对无功的需要量将单台或多台低压电容器组分散地安装在用电设备附近,以补偿安装部位前边的所有高低压线路和变压器的无功功率。其优点是用电设备运行时,无功补偿投入,用电设备停运时,补偿设备也退出,可减少配电网和变压器中的无功流动从而减少有功损耗;可减少线路的导线截面及变压器的容量,占位小。缺点是利用率低、投资大,对变速运行,正反向运行,点动、堵转、反接制动的电机则不适应。

3.4低压集中补偿

低压集中补偿是指将低压电容器通过低压开关接在配电变压器低压母线侧,以无功补偿投切装置作为控制保护装置,根据低压母线上的无功符合而直接控制电容器的投切。电容器的投切是整组进行,做不到平滑的调节。低压补偿的优点:接线简单、运行维护工作量小,使无功就地平衡,从而提高配变利用率,降低网损,具有较高的经济性,是目前无功补偿中常用的手段之一。

4电容器补偿容量的计算

无功补偿容量宜按无功功率曲线或无功补偿计算方法确定,

其计算公式如下:

QC=p(tgφ1-tgφ2)或是QC=pqc(1)

式中:Qc:补偿电容器容量;

P:负荷有功功率;

COSφ1:补偿前负荷功率因数;

COSφ2:补偿后负荷功率因数;

5电力电容器的安全运行

5.1允许运行电流

正常运行时,电容器应在额定电流下运行,最大运行电流不得超过额定电流的1.3倍,三相电流差不超过5 %。

5.2允许运行电压

电容器对电压十分敏感,因电容器的损耗与电压平方成正比,过电压会使电容器发热严重,电容器绝缘会加速老化,寿命缩短,甚至电击穿。因此,电容器装置应在额定电压下运行,一般不宜超过额定电压的 1.05倍,最高运行电压不宜超过额定电压的 1.1倍。当母线超过1.1倍额定电压时,须采取降温措施。

5.3谐波问题

由于电容器回路是一个LC电路,对于某些谐波容易产生谐振,易造成高次谐波,使电流增加和电压升高。且谐波的这种电流对电容器非常有害,极容易使电容器击穿引起相间短路。因此,当电容器在正常工作时,在必要时可在电容器上串联适当的感抗值的电抗器,以限制谐波电流。

5.4继电保护问题

继电保护主要由继电保护成套装置实现,目前国内几个知名电气厂家生产的继电保护装置技术都已经非常成熟,安全稳定、功能强大。继电保护装置可以有效的切除故障电容器,是保证电力系统安全稳定运行的重要手段。主要的电容器继电保护措施有:①三段式过流保护;②为防止系统稳态过压造成电容器损坏而设置的过电压保护;③为避免系统电源短暂停投引起电容器瞬时重合造成的过电压损坏而设置的低电压保护;④反映电容器组中电容器的内部击穿故障而配置的不平衡电压保护、不平衡电流保护或三相差电压保护。

5.5合闸问题

电容器组禁止带电重合闸。主要是因电容器放电需要一定时间,当电容器组的开关跳闸后,如果马上重合闸,电容器是来不及放电的,在电容器中就可能残存着与重合闸电压极性相反的电荷,这将使合闸瞬间产生很大的冲击电流,从而造成电容器外壳膨胀、喷油甚至爆炸。所以,电容器组再次合闸时,必须在断路器断开3 min之后才可进行。因此,电容器不允许装设自动重合闸装置,相反应装设无压释放自动跳闸装置。

一些终端变电站往往配置有备用电源自动投切装置,装置动作将故障电源切除,然后经过短暂延时投入备用电源,在这个过程中,如果电容器组有低压自投切功能,那么电容器组将在短时

间内再次合上,这就会发生以上所说的故障。所以,安装有备用电源自动投切装置的系统与电容器组的投切问题,应值得充分的重视。

5.6允许运行温度

电容器正常工作时,其周围额定环境温度一般为40 ℃~-25 ℃;其内部介质的温度应低于65 ℃,最高不得超过70 ℃,否则会引起热击穿,或是引起鼓肚现象。电容器外壳的温度是在介质温度与环境温度之间,不应超过55 ℃。因此,应保持电容器室内通风良好,确保其运行温度不超过允许值。

5.7运行中的放电声问题

电容器在运行时,一般是没有声音的,但在某些情况下,其在运行时也会存在放电声的问题。如电容器的套管露天放置时间过长时,一旦雨水进入两层套管之间,加上电压后,就有可能产生放电声;当电容器内缺油时,易使其套管的下端露出油面,这时就有可能发出放电声;当电容器内部若有虚焊或脱焊,则会在油内闪络放电;当电容器的芯子与外壳接触不良时,会出现浮动电压,引起放电声。

一旦出现以上几种出现放电声状况,应针对每种情况做出处理,即其处理方法依次为:将电容器停运并放电后把外套管卸出,擦干重新装好;添加同种规格的电容器油;如放电声不止,应拆开修理;将电容器停运并放电后进行处理,使其芯子和外壳接触好。

5.8爆炸问题

电容器在运行过程中,如出现电容器内部元件击穿、电容器对外壳绝缘损坏、密封不良和漏油、鼓肚和内部游离、鼓肚和内部游离、带电荷合闸或是温度过高、通风不良、运行电压过高、谐波分量过大、操作过电压等情况,都有可能引起电容器损坏爆炸。为预防电容器爆炸事故,正常情况下,可根据每组相电容器通过的电流量的大小,按1.5倍~2倍,配以快速熔断器,若电容被击穿,则快速熔断器会熔化而切断电源,保护电容器不会继续产生热量;在补偿柜上每相安装电流表,保证每相电流相差不超过±5 %,若发现不平衡,立即退出运行,检查电容器;监视电容器的温升情况;加强对电容器组的巡检,避免出现电容器漏油、鼓肚现象,以防爆炸。

综上所述,无功补偿技术是提高电网供电能力、减少电压损失和降低网损的一种有效措施。电力电容器具有无功补偿原理简单、安装方便、投资小,有功损耗小,运行维护简便、安全可靠等优点。因此,在当前,随着电力负荷的增加,要想提高电网系统的利用率,通过采用补偿电容器进行合理的补偿,是能够提高供电质量并取得明显的经济效益的。

汽轮机润滑油系统工作原理

600MW汽轮机润滑油系统工作原理及调试探讨 东方汽轮机有限公司宫传瑶 摘要本文初步探讨了几种常见的汽轮机润滑油系统,对我公司600MW汽轮机所采用的供油方式进行了初步探讨,比较了与其它方式的优缺点。 关键词主油泵油涡轮调试系统 1 概述 随着机组向着大型化、自动化方面发展。机组故障停机次数将严重影响电站运行的经济性。汽轮机供油系统的故障不但要影响到电站运行的经济性,而且对机组的损害影响也是很大的。由于润滑系统的特殊性,在一般的情况下是不允许在线检修的。这样系统设计及设备运行的可靠性及其前期的调试试验工作显得尤其重要。 2 几种典型系统的比较 常见的电站润滑系统主要有以下几种。一:电动油泵、蓄能装置与调节阀系统;二:汽轮机转子驱动主油泵与注油装置系统;我厂600MW汽轮机采用汽轮机转子驱动主油泵与油涡轮升压泵供油方式。 3 系统安全性分析 对于系统来说除去系统本身的因素外,其可靠性主要取决于系统组成元件的可靠性。对于电动油泵系统其可靠性主要取决于电机及其电源的可靠性,由于电机及其相关电气元件制造水平的限制,其可靠性的高低将直接影响系统的可靠性。但是其优点在于系统简单。 对于汽轮机转子驱动主油泵与注油装置系统,由于大大减少了中间环节,这样对于主油

泵运行的可靠性大大提高。由于主油泵采用高位布置,这样在客观要求在主油泵的入口增设供油装置。我厂采用的注油装置主要有射油器与升压泵两种。 4 600MW汽轮机润滑系可靠性探讨 我厂600MW汽轮机润滑系统是我厂转化日立的系统。在系统中采用升压泵为供油装置。油涡轮升压泵作为系统的主要设备起着给主油泵供油,同时将高压油转化为低压油对汽轮发电机组进行润滑。起着参数匹配的作用。而在我公司300MW汽轮机润滑系统中起到此作用的是供油及润滑射油器。系统设计的好坏及相关部件工作的可靠性直接关系到机组运行的安全性。对于我公司600MW汽轮机润滑系统可靠主要取决于主油泵与油涡轮的可靠性。同时对系统的调试及机组启动过程中的监视至关重要。 5 系统简介 600MW汽轮机润滑系统主要分为以下三个分系统。 供油系统由主油泵、节流阀,滤网、喷嘴隔板、叶轮、升压泵组成。 主要作用维持主油泵正常工作。 润滑系统由主油泵、节流阀,滤网、喷嘴隔板、叶轮、溢流阀、轴承组成。 主要作用供给机组润滑油。 旁路系统由一只节流阀将工作油系统节流阀后与与叶轮后连接起来。 主要作用平衡润滑系统与供油系统。 同时在涡轮排油部分安装有溢流阀。主要作用稳定润滑油路压力。系统工作原理:由油涡轮的排油来润滑机组,同时高压油带动升压泵工作给主油泵供油。 润滑油系统图(图0-1-1所示)

注塑结构及工作原理

(一)注塑机结构分析及其工作原理 0…… 一、注塑机的工作原理 注塑成型机简称注塑机。 注塑成型是利用塑料的热物理性质,把物料从料斗加入料筒中,料筒外由加热圈加热,使物料熔融,在料筒内装有在外动力马达作用下驱动旋转的螺杆,物料在螺杆的作用下,沿着螺槽向前输送并压实,物料在外加热和螺杆剪切的双重作用下逐渐地塑化,熔融和均化,当螺杆旋转时,物料在螺槽摩擦力及剪切力的作用下,把已熔融的物料推到螺杆的头部,与此同时,螺杆在物料的反作用下后退,使螺杆头部形成储料空间,完成塑化过程,然后,螺杆在注射油缸的活塞推力的作用下,以高速、高压,将储料室内的熔融料通过喷嘴注射到模具的型腔中,型腔中的熔料经过保压、冷却、固化定型后,模具在合模机构的作用下,开启模具,并通过顶出装置把定型好的制品从模具顶出落下。 注塑机作业循环流程如图1所示。 图1 注塑机工作程序框图 二、注塑机的分类 按合模部件与注射部件配置的型式有卧式、立式、角式三种 (1)卧式注塑机:卧式注塑机是最常用的类型。其特点是注射总成的中心线与合模总成的中心线同心或一致,并平行于安装地面。它的优点是重心低、工作平稳、模具安装、操作及维修均较方便,模具开档大,占用空间高度小;但占地面积大,大、中、小型机均有广泛应用。 (2)立式注塑机:其特点是合模装置与注射装置的轴线呈一线排列而且与地面垂直。具有占地面积小,模具装拆方便,嵌件安装容易,自料斗落入物料能较均匀地进行塑化,易实现自动化及多台机自动线管理等优点。缺点是顶出制品不易自动脱落,常需人工或其它方法取出,不易实现全自动化操作和大型制品注射;机身高,加料、维修不便。 (3)角式注塑机:注射装置和合模装置的轴线互成垂直排列。根据注射总成中心线与安装基面的相对位置有卧立式、立卧式、平卧式之分:①卧立式,注射总成线与基面平行,而合模总成中心线与基面垂直;②立卧式,注射总成中心线与基面垂直,而合模总成中心线与基面平行。角式注射机的优点是兼备有卧式与立式注射机的优点,特别适用于开设侧浇口非对称几何形状制品的模具。

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图

辊压机结构及原理

辊压机的结构与工作原理 辊压机主要由给料装臵、料位控制装臵、一对辊子(一个为定辊,另一个为动辊)、传动装臵(电动机、皮带轮、齿轮轴)、液压系统、横向防漏装臵等几大部分所组成。固定辊的轴承座与底架端部之间有橡皮垫起缓冲作用,活动辊的轴承座底部衬有聚四氟乙烯。两个辊子中,一个是支承在轴承上的固定辊;另一个是运动的辊子,通过动辊对物料层施加挤压力,两个辊子以相同的速度相向旋转,辊子两端的密封装臵(心形片)防止物料在高压作用下从辊子横向间隙中排出。两个辊子,通过四个重型滚动轴承安装在一个机架上,其中一个是固定辊,另一个是由油缸施加较大压力的活动辊,活动辊的轴承在机架上可以前后移动,机架由纵梁和横梁组成,它是由铸钢件通过螺栓连接而成的。液压缸使活动辊以一定压力向固定辊靠近,如压力过大,则液压油排至蓄能器,使活动辊后移,起到保护机器的作用。辊子之间的作用力由机架上的剪切销钉承受,使螺栓不受剪力。粉碎作用主要决定于料粒间的压力,而不是决定于间隙。 辊压机工作时,当活动辊被电动机带动转动时,松散的物料由上方喂入两辊的间隙中,并向下运动,到下面受到破碎和挤压,形成密实的料床,经150-200Mpa的高压处理后,物料颗粒内部都产生强大的应力,当应力达到颗粒的破碎应力时,这些颗粒就相继被粉碎,或粒径变小,或成粉状,或部分颗粒产生微小裂纹,增大了物料的易磨性,从辊压机卸出的物料成片状料饼,但强度很低,经打散机打散后的颗粒物料中,有70-80%〈2mm,有20-30%〈0.05mm。物料在两辊间是以一个料层或一个料床得到破碎压实,料床在高压下形成,压力导致一部分颗粒挤压其它邻近的颗粒,直至其主要部分破碎、断裂、产生裂缝或劈开。

水性印刷机机械结构及工作原理

水性印刷机机械结构及工作原理——课程小结 一、水性印刷机的种类 1、水性印刷机的组成:主要由送纸单元、印刷单元、开槽单元、模切单元、堆叠单元组成。 2、水性印刷机的种类:低档型、中档型、高档型。 二、水性印刷机各部位名称及功能 ◆中档上印带开槽模切机构造原理图 1、工作原理: 此类型机是采用后踢式送纸(或前缘吸附滚轮摩擦方式),利用每个机组单元的带纸压轮传送瓦楞纸板;在纸板传送过程中,纸板的面纸与印刷滚筒上的印版相接触,通过压印辊和印版的压力印刷出图文后,进入压线开槽和模切单元作业,最终成纸箱未接合形状。 2、送纸单元各部位名称及功能: 送纸单元主要由:前、后、左、右挡板,推板,吸风装置,除尘毛刷和上、下送纸胶辊构成。 3、印刷单元各部位名称及功能: 印刷单元主要由:胶辊、网纹辊、印刷辊、底压辊、带纸压轮和输墨装置构成。 4、开槽单元各部位名称及功能: 开槽单元主要由:预压线轮、压线轮和开槽刀轮构成。 5、模切单元各部位名称及功能: 模切单元主要由:模版辊、砧垫辊、修磨装置和带纸压轮构成。 6、堆叠单元各部位名称及功能: 堆叠单元主要由:接纸臂、输送台和收纸台构成。 ◆高档下印带开槽模切机构造原理图 1、工作原理: 此类机型是采用前缘吸附滚轮摩擦方式送纸,利用每个印刷单元的真空吸附系统,将所要生产的瓦楞纸板背面平整的吸附在传送小轮上,在纸板传送过程中,纸板的面纸与印刷滚筒上的印版相接触,通过压印辊和印版的压力印刷出图文后进入干燥单元,干燥单元配有的干燥装置将对纸板表面的水墨进行干燥,最后进入压线开槽和模切单元作业成纸箱未接合形状。 2、送纸单元各部位名称及功能:

送纸单元主要由:前、后、左、右挡板,前缘送纸机构,吸风装置,除尘毛刷和上、下送纸胶辊构成。 3、印刷单元各部位名称及功能: 印刷单元主要由:腔式刮刀(或胶辊)、网纹辊、印刷辊、压印辊、真空吸附机构、传送小轮和输墨装置构成。 4、干燥单元各部位名称及功能: 干燥单元主要由:真空吸附机构、传送小轮和干燥装置(热风装置、红外线装置等)构成。 5、开槽单元各部位名称及功能: 开槽单元主要由:预压线轮、压线轮和开槽刀轮构成。 6、模切单元各部位名称及功能: 模切单元主要由:模版辊、砧垫辊、修磨装置和带纸压轮构成。 7、堆叠单元各部位名称及功能: 堆叠单元主要由:震动接纸臂、输送台和收纸台构成。 三、揭开网纹辊的神秘面纱 1、网纹辊的作用:定量均匀的向印版传递油墨。 2、网纹辊分为“金属网纹辊”和“陶瓷网纹辊”两大类。 3、金属网纹辊的特点: ①制造成本低;②适合印刷普通文字、线条和实地;③加工速度慢,加工精度低;④网墙宽阔,网孔形状一般为菱形;⑤网穴排列角度为45°;⑥网纹辊线数较低;⑦耐磨性差、使用寿命短。 4、陶瓷网纹辊的特点: ①陶瓷层化学稳定性好,辊面耐腐蚀性佳,使用寿命长;②网穴平滑,载墨量大,传墨性好;③蜂巢形网穴排布,且网穴墙壁薄细坚硬,可获得较均匀的水墨墨层,图文色调再现性好;④能加工成高网线数,改善印刷精美度,并可抑制网点扩大现象。 5、网纹辊网穴的形状: 网穴(也称网孔)是指在网纹辊辊体表面上,雕刻出形状一致、分部均匀的细小凹孔。其形状有斜齿形、四棱锥形、六棱锥形、四棱台型和六棱台型等。目前被广泛采用的网穴形状多是六棱台形的。 6、网纹辊网穴结构: ◆单个网穴的结构: 网穴开口:表示网纹辊表面单个细小网孔的宽度; 网穴深度:表示网纹辊表面单个细小网孔的深度; 网墙:表示相邻两个网孔之间的隔离距离。 7、载墨量:网纹辊网穴储存水墨的能力,单位为BCM/in2。 8、传墨量:水墨自网纹辊网穴中转移到印版的能力,单位为BCM/in2。 9、网纹辊的线数与传墨性能的关系:网纹辊的线数是指单位长度里的网线的线数,单位为线/英寸(LPI 或Lin)或线/厘米(LPCM或L/cm)。网纹辊的线数决定着:传墨量的大小;传墨量的均匀性。 10、网纹辊的日常保养技巧 ◆要注重的细节 ①保持设备的清洁干净;②使用干净的水性油墨;③保证擦版布的干净;④注意原纸的质量;⑤严禁对网纹辊进行刮、碰、撞。 ◆做好网纹辊的清洁工作 1)、日常清洗 ①要有足够的清洗时间;②用铜刷(金属网纹辊)或钢刷(陶瓷网纹辊)进行清洗;③用洗机水或专用网纹辊清洗液清洗。 2)、定期清洗 ①使用网纹辊专用清洗液进行清洗;②低压喷射清洗法;③超声波清洗法;④化学溶剂浸泡法。3)、其他方面 ①使用干净的水清洗网纹辊;②定期清洁夹持刮刀的金属板;③防止网纹辊靠近热源。 11、网纹辊的检查方法:①外观检查②用放大镜检查网穴

辊压机的工作原理及特性

辊压机的工作原理极其特点: 1.1 工作原理: 一种粉碎设备工作效率的高低,取决于它们的工作原理。而它们的工作原理又与物料粉碎的机理息息相关。因此系统地研究物料的粉碎机理和全面地描述粉碎设备的工作状况非常必要,这样才能通过使用某种设备实现物料的粉碎机理,达到高效节能的目的。这就要进行下列方面的研究工作: 1. 粉碎的物理过程; 2. 单颗粒的粉碎研究; 3. 料层粉碎研究; 4. 粉碎过程的数学模拟; 5. 粉碎设备的工况及优化控制。 物料颗粒通过粉碎机械所施加的机械力的作用,发生变形,继而碎裂。物料颗粒由大变小完全是物理过程,应用单颗粒粉碎研究和料层粉碎研究可以揭示这个过程的内在关系。 (1)单颗粒粉碎 德国的学者从60年代起对单颗粒粉碎进行了大量的研究,使用的主要设备有压力试验机,压剪联合试验机和对辊机等。试验表明,物料颗粒仅受纯压力比受剪力产生的应变要大得多。这就是辊压机产生的理论基础。 管磨机的粉碎方式基本属于单颗粒粉碎的范畴。管磨机内物料颗粒在研磨介质之间和研磨介质与衬板之间被冲击和研磨而粉碎,物料颗粒由大变小的过程具有很大的随机性。也就是说,磨球运动产生的能量分布频谱很宽,过大或过小的能量不能及时合理地被物料在粉碎过程中所吸收,因而能量有效利用率极低。由于研磨介质之间存在较大孔隙,理论上是点或线接触,所以,物料属于单粒粉碎的范畴。 管磨机在粉碎物料过程中,研磨介质和衬板的表面常吸附一层细粉.起缓冲垫层作用。这层细粉一方面吸收能量进行再粉磨,物料颗粒过细,即造成所谓的“过粉磨’,消耗不必要的能量;另一方面,对真正需要研磨的物料颗粒又得不到充分的冲击能量。磨内研磨体在其运动轨迹中总有一个滞留带,在该区域内研磨体基本作无用功,浪费了能量。管磨机内的一个研磨体,循环冲击1000次,只有一次冲击在物料颗粒上进行粉碎工作,其余的冲击全是无效的,可是提升它

《汽轮机原理》习题及答案_

第一章绪论 一、单项选择题 1.新蒸汽参数为13.5MPa的汽轮机为(b) A.高压汽轮机B.超高压汽轮机 C.亚临界汽轮机D.超临界汽轮机 2.型号为N300-16.7/538/538的汽轮机是( B )。 A.一次调整抽汽式汽轮机 B.凝汽式汽轮机 C.背压式汽轮机 D.工业用汽轮机 第一章汽轮机级的工作原理 一、单项选择题 3.在反动级中,下列哪种说法正确?( C ) A.蒸汽在喷嘴中的理想焓降为零 B.蒸汽在动叶中的理想焓降为零 C.蒸汽在喷嘴与动叶中的理想焓降相等 D.蒸汽在喷嘴中的理想焓降小于动叶中的理想焓降 4.下列哪个措施可以减小叶高损失?( A ) A.加长叶片 B.缩短叶片 C.加厚叶片 D.减薄叶片 5.下列哪种措施可以减小级的扇形损失?( C ) A.采用部分进汽 B.采用去湿槽 C.采用扭叶片 D.采用复速级 6.纯冲动级动叶入口压力为P1,出口压力为P2,则P1和P2的关系为(C)A.P1P2 C.P1=P2 D.P1≥P2 7.当选定喷嘴和动叶叶型后,影响汽轮机级轮周效率的主要因素( A ) A.余速损失 B.喷嘴能量损失 C.动叶能量损失 D.部分进汽度损失 8.下列哪项损失不属于汽轮机级内损失( A ) A.机械损失 B.鼓风损失 C.叶高损失 D.扇形损失 9.反动级的结构特点是动叶叶型( B )。 A. 与静叶叶型相同 B. 完全对称弯曲 C. 近似对称弯曲 D. 横截面沿汽流方向不发生变化 10.当汽轮机的级在( B )情况下工作时,能使余速损失为最小。

A. 最大流量 B. 最佳速度比 C. 部发进汽 D. 全周进汽 1.汽轮机的级是由______组成的。【 C 】 A. 隔板+喷嘴 B. 汽缸+转子 C. 喷嘴+动叶 D. 主轴+叶轮 2.当喷嘴的压力比εn大于临界压力比εcr时,则喷嘴的出口蒸汽流速C 1 【 A 】 A. C 1C cr D. C 1 ≤C cr 3.当渐缩喷嘴出口压力p 1小于临界压力p cr 时,蒸汽在喷嘴斜切部分发生膨胀, 下列哪个说法是正确的?【 B 】 A. 只要降低p 1 ,即可获得更大的超音速汽流 B. 可以获得超音速汽流,但蒸汽在喷嘴中的膨胀是有限的 C. 蒸汽在渐缩喷嘴出口的汽流流速等于临界速度C cr D. 蒸汽在渐缩喷嘴出口的汽流流速小于临界速度C cr 4.汽轮机的轴向位置是依靠______确定的?【 D 】 A. 靠背轮 B. 轴封 C. 支持轴承 D. 推力轴承 5.蒸汽流动过程中,能够推动叶轮旋转对外做功的有效力是______。【 C 】 A. 轴向力 B. 径向力 C. 周向力 D. 蒸汽压差 6.在其他条件不变的情况下,余速利用系数增加,级的轮周效率η u 【 A 】 A. 增大 B. 降低 C. 不变 D. 无法确定 7.工作在湿蒸汽区的汽轮机的级,受水珠冲刷腐蚀最严重的部位是:【 A 】 A. 动叶顶部背弧处 B. 动叶顶部内弧处 C. 动叶根部背弧处 D. 喷嘴背弧处 8.降低部分进汽损失,可以采取下列哪个措施?【 D 】 A. 加隔板汽封

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

汽轮机原理试题与答案

绪论 1.确定CB25-8.83/1.47/0.49型号的汽轮机属于下列哪种型式?【 D 】 A. 凝汽式 B. 调整抽汽式 C. 背压式 D. 抽气背压式 2.型号为N300-16.7/538/538的汽轮机是【B 】 A. 一次调整抽汽式汽轮机 B. 凝汽式汽轮机 C. 背压式汽轮机 D. 工业用汽轮机 3.新蒸汽压力为15.69MPa~17.65MPa的汽轮机属于【C 】 A. 高压汽轮机 B. 超高压汽轮机 C. 亚临界汽轮机 D. 超临界汽轮机 4.根据汽轮机的型号CB25-8.83/1.47/0.49可知,该汽轮机主汽压力为8.83 ,1.47表示汽轮机的抽汽压 力。 第一章 1.汽轮机的级是由______组成的。【C 】 A. 隔板+喷嘴 B. 汽缸+转子 C. 喷嘴+动叶 D. 主轴+叶轮 2.当喷嘴的压力比εn大于临界压力比εcr时,则喷嘴的出口蒸汽流速C1【A 】 A. C1 C cr D. C1≤C cr 3.当渐缩喷嘴出口压力p1小于临界压力p cr时,蒸汽在喷嘴斜切部分发生膨胀,下列哪个说法是正确的? 【B 】 A. 只要降低p1,即可获得更大的超音速汽流 B. 可以获得超音速汽流,但蒸汽在喷嘴中的膨胀是有限的 C. 蒸汽在渐缩喷嘴出口的汽流流速等于临界速度C cr D. 蒸汽在渐缩喷嘴出口的汽流流速小于临界速度C cr 4.汽轮机的轴向位置是依靠______确定的?【D 】 A. 靠背轮 B. 轴封 C. 支持轴承 D. 推力轴承 5.蒸汽流动过程中,能够推动叶轮旋转对外做功的有效力是______。【C 】 A. 轴向力 B. 径向力 C. 周向力 D. 蒸汽压差 6.在其他条件不变的情况下,余速利用系数增加,级的轮周效率ηu【A 】 A. 增大 B. 降低 C. 不变 D. 无法确定 7.工作在湿蒸汽区的汽轮机的级,受水珠冲刷腐蚀最严重的部位是:【A 】 A. 动叶顶部背弧处 B. 动叶顶部内弧处 C. 动叶根部背弧处 D. 喷嘴背弧处 8.降低部分进汽损失,可以采取下列哪个措施?【D 】 A. 加隔板汽封 B. 减小轴向间隙 C. 选择合适的反动度 D. 在非工作段的动叶两侧加装护罩装置 9.火力发电厂汽轮机的主要任务是:【B 】 A. 将热能转化成电能 B. 将热能转化成机械能

起重机的机械组成及工作原理

起重机的组成及工作原理 起重机由驱动装置、工作机构、取物装置、操纵控制系统和金属结构组成。通过对控制系统的操纵,驱动装置将动力的能量输入,转变为机械能,在传递给取物装置。取物装置将被搬运物体与起重机联系起来,通过工作机构单独或组合运动,完成物体搬运任务。可移动金属结构将各组成部分连接成一个整体,并承载起重机的自重和吊重。 起重机的组成及工作原理 图2-3起重机的工作原理 一、驱动装置 驱动装置是用来驱动工作机构的动力设备。常见的驱动设备有电力驱动、内燃机驱动和人力驱动等,电能是清洁、经济的能源,电力驱动是现代起重机的主要驱动方式。 二、工作机构 工作机构包括:起升机构、运行机构。 a)起升机构是用来实现物体的垂直升降的机构是任何起重机部可缺少的部分,因此它是起重机最主要、最基本的机构。 b)运行机构是通过起重机或起升小车来实现水平搬运物体的机构,可分为有轨运行和无轨运行。 三、取物装置 取物装置是通过吊钩将物体与起重机联系起来进行物体吊运的装置。根据被吊物体不同的种类、形态、体积大小,采用不同种类的取物装置。合适的取物装置可以减轻工作人员的劳动强度,大大提高工作效率。防止吊物坠落,保证工作人员的安全和吊物不受损伤时对取物装置安全的基本要求。 四、金属结构 金属结构是以金属材料轧制的型钢和钢板做为基本构件,通过焊接、铆接、螺栓连接等方法,按一定的组成规则连接,承受起重机的自重和载荷的钢结构。

金属结构的重量大约是整台起重机的40%-70%左右,重型起重机可达到90%;金属结构按照它的构造可分为实腹式和格构式两类,组成起重机的基本受力构件。起重机金属结构的工作特点有受力复杂、自重大、耗材多和整体可移动性。起重机的金属结构是起重机的重要组成部分,它是整台起重机的骨架,将起重机的机械和电气设备连接组合成一个有机的整体,承受和传递作用在起重机上的各种载荷并形成一定的作业空间,以便使起吊的重物搬运到指定的地点。 五、控制操纵系统 通过电气系统控制操纵起重机各机构及整机的运动,进行各种起重作业。 控制操纵系统包括各种操纵器、显示器及相关元件和线路,是人机对话的接口。该系统的状态直接影响到起重机的作业、效率和安全等。 起重机与一般的机器的显着区别是庞大、可移动的金属结构和多机构组合工作。间歇式的循环作业、起重载荷的不均匀性、各机构运动循环的不一定性、机构负载的不等时性、多人参与的配合作业的特点,又增加了起重机的复杂性、安全隐患多、危险范围大。 纽科伦(新乡)起重机有限公司

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X

合肥院辊压机维修手册

合肥院水泥磨辊压机 维修手册

目录 一、技术参数 (2) 二、工作原理及结构描述 (3) 1、工作原理 (3) 2、结构描述 (3) 三、设备维修 (5) 1、主轴承的更换 (5) 1.1、工具器准备 (5) 1.2、辊系拆卸 (6) 1.3、主轴承的拆卸 (7) 1.4、辊系的安装 (7) 2、进料装置侧挡板的更换 (10) 3、耐磨板的更换 (11) 4、辊面维护 (11) 4.1.1、堆焊辊子的磨损及最佳维护时机 (11) 4.1.2、堆焊辊辊面维护工艺技术标准 (11) 4.2.1、合金复合辊面的使用注意事项 (14) 4.2.2、合金复合辊面的磨损及最佳维护时机 (14) 4.2.3、合金复合辊面维护工艺技术标准 (15) 4.2.4、特别事项说明 (16)

一、技术参数 (一)辊压机型号及主要参数 1、辊压机型号:160-140 2、辊径:1600 3、辊宽:1400 4、辊压线速度:1.58 5、最大单位辊宽粉碎力:70 6、正常工作辊隙:35~45 7、最大喂料粒径:80 8、最大喂料温度:120℃ 9、处理后的物料中细粉含量(<80μm),22~30% (二)主电机参数 1、型号:560-4 2、功率:2×1120 3、转速:1440 4、工作电压:6 (三)传动系统参数 1、主减速机 型号:62 公称传动化:80 安装型式:悬挂式 额定功率:1120 2、万向节传动轴 型号:5—2B 额定扭矩:35 最大倾角:12° (四)液压系统参数 1、主液压缸 油缸内径Ф500Ф200 油缸行程:100 2、系统压力 工作压力:7.0~9.0 系统最大工作压力:10.0 3、泵站油泵 型号:4-2 流量:40 额定压力:14.0 最大压力:31.5 4、油泵电机: 型号:Y1604 功率:15 转速:1500 (五)润滑系统参数 1、多点润滑泵

工业机器人内部结构及基本组成原理详解

工业机器人内部结构及基本组成原理详解 工业机器人详解你对工业机器人有着什么样的了解?关于工业机器人,我们过去也反反复复推送了很多的文章,在这一次,我们将尝试解决有关--- 在工业环境中使用的最常见的机器人和作业时经常会遇到的问题。关于工业机器人定义什么可以被认为是一个工业机器人?什么不能被称为工业机器人?工业机器人直到最近才能避开这种混乱。不是在工业环境中使用的每个机电设备都可以被认为是机器人。根据国际标准组织的定义,工业机器人是一种可编程的三自由度或多轴自动控制的可编程多用途机械手。这几乎是在谈论工业机器人时被接受的定义。工业机器人自中年以来发生了什么变化?越来越多的工程师和企业家正在寻找越来越多的机器人技术,帮助在工业环境中优化工作流程的方式。随着时代的发展和机器人技术的进步,机器人手臂必须为诸如仓储中使用的群组AGV 等新手铺路。我们经常说典型的工业机器人由工具,工业机器人手臂,控制柜,控制面板,示教器以及其他外围设备组成。那么这些是什么?这些部分通常都在一起,控制柜类似于机器人的大脑。控制面板和示教器构成用户环境。工具(也称为末端执行器)是为特定任务设计的设备(例如焊接或喷涂)。机器人手臂基本上是移动工具的 东西。但并不是每个工业机器人都像一个手臂。不同机器人有不同 类型的结构。控制面板--- 操作员使用控制面板来执行一些常规任

务。(例如:改变程序或控制外围设备)。应用“机器人工人” --------------- 什么时候应该使用工业机器人而不是 人工?相信这个问题大家思考的次数并不少了。理想情况下,这应该是双赢的。想快速看到效果,你需要知道什么是别人最不喜欢的工作。想得最多的是那些重复的,乏味的工作,需要从工作人员那边进行大量单调的行动,这个思考是正确的,因为正是如此,例如从一个输送机到另一个输送机。如果总是相同的任务,您可以使用专门针对您的需求量身定制的自动化解决方案。工厂的工作处理需要越来越灵活,在这些情况下,正确的解决方案是:可以试用用于不同任务的可重新编程的机器人进行任务操作。此外,就是那些对人类工作有害的任务。(例如:用危险化学品进行表面处理,这是在有害环境中工作。在许多情况下,长期使用机器人比聘用工人更聪明和便宜。)当然,还有的是人类难以操作的工作。(例如:举或搬运重物或在不适合人类生活的条件下工作。)同样,在许多这些情况下,可以应用特定的自动化解决方案。然而,如果任务需要灵活性处理,还需要考虑要用到的机器人。以下是最常见的机器人应用程序列表:电弧焊、部件、涂层、去毛刺、压铸、造型、物料搬运、选择、码垛、打包、绘画、点焊、运输,仓储关于工 业机器人的结构-- 如何构建机器人手臂?(这很重要)在 本文中,将只列出工业机器人中使用的最常见的机器人结构类型。(详细内容公众号历史记录在“机器人类型”部分深入介绍这些类

光刻机的技术原理和发展趋势

光刻机的技术原理和发展趋势 王平0930******* 摘要: 本文首先简要介绍了光刻技术的基本原理。现代科技瞬息万变,传统的光刻技术已经无法满足集成电路生产的要求。本文又介绍了提高光刻机性能的关键技术和下一代光刻技术的研究进展情况。 关键字:光刻;原理;提高性能;浸没式光刻;下一代光刻 引言: 光刻工艺直接决定了大规模集成电路的特征尺寸,是大规模集成电路制造的关键工艺。作为光刻工艺中最重要设备之一,光刻机一次次革命性的突破,使大模集成电路制造技术飞速向前发展。因此,了解光刻技术的基本原理,了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。本文就以上几点进行了简要的介绍。 光刻技术的基本原理: 光刻工艺通过曝光的方法将掩模上的图形转移到涂覆于硅片表面的光刻胶上,然后通过显影、刻蚀等工艺将图形转移到硅片上。 1、涂胶 要制备光刻图形,首先就得在芯片表面制备一层均匀的光刻胶。截止至2000年5月23日,已经申请的涂胶方面的美国专利就达118项。在涂胶之前,对芯片表面进行清洗和干燥是必不可少的。目前涂胶的主要方法有:甩胶、喷胶和气相沉积,但应用最广泛的还是甩胶。甩胶是利用芯片的高速旋转,将多余的胶甩出去,而在芯片上留下一层均匀的胶层,通常这种方法可以获得优于+2%的均匀性(边缘除外)。胶层的厚度由下式决定: 式中:F T为胶层厚度,ω为角速度,η为平衡时的粘度,ρ为胶的密度,t为时间。由该式可见,胶层厚度和转速、时间、胶的特性都有关系,此外旋转时产生的气流也会有一定的影响。甩胶的主要缺陷有:气泡、彗星(胶层上存在的一些颗粒)、条纹、边缘效应等,其中边缘效应对于小片和不规则片尤为明显。

辊压机使用与操作

辊压机使用与操作 一.辊压机的基本结构 对此大家可能都比较清楚,在此简要叙述一下:它主要由轴线平行一对辊子组成,辊子通过辊轴两端的轴承座安设在框架内,一个辊子相对框架是固定的,称为定辊,另一辊子的轴承座可以在框架内沿滑道作水平往复运动,称为动辊,工作时两辊向中间作相向转动,液压系统施加的压力通过动辊轴承座将定辊推向定辊,机械限位保持两辊间存在一定间隙,此时压力通过机械限位传递给框架,当有物料喂入两辊之间时,物料被咬入,两辊被撑开,此时液压系统施加的压力通过动辊传给物料,再经定辊、定辊轴承座、定位销、传给框架,在此过程中,两辊间通过物料产生作用力及反作用力,使物料得到粉碎。由于两辊的转动,物料被不断的咬入,并被强制卸出,从而实现连续的粉碎作业。 二.辊压机的工作原理 与辊压机结构比较相近的一种设备是辊式破碎机,但他们的工作原理是绝然不同的,辊式破碎机是但颗粒破碎,而辊压机是根据料床粉碎的原理设计的,即在较高的压力作用下,物料颗粒之间相互挤压而产生破碎,要实现这种作用,必须保证辊压机的过饱和喂料,即要求在两辊上方存续有一定的料柱高度,保持一定的料压。这也是辊压机系统必须设置称重仓的原因之一。 三.介绍一下与辊压机使用有关的两个主要参数 1.辊压 压力是决定辊压效果的最基本参数。液压系统压力是一个设备操作参数,并不是工艺参数。它并不能直接反映辊压机磨辊对物料的挤压应力,必须通过辊压机的液压缸数量和活塞有效面积,才能换算成两磨辊间的总压力,进而求出表征辊压各种量值。下列为表征辊压机辊压的几个量值的计算式 ▲辊压机总力 F(kN) F= n·S·Pr(1) 式中: n一液压缸数 S一液压缸有效面积(m2)

辊压机的主要结构

辊压机的主要结构 Document number:NOCG-YUNOO-BUYTT-UU986-1986UT

辊压机的主要结构 辊压机设计有两个辊子及两个侧挡板。两个辊子在传动装置驱动下做慢速的相对运动,其中一个辊子的轴承座固定,辊子仅转动,另一个辊子可以做水平方向的滑动;两侧挡板分别由蝶型弹簧压于两辊子两端的轴肩,两个辊子及两个侧挡板形成四周封闭的空间,容易形成稳定的料床。物料由辊压机上部连续喂入该封闭空间,并通过两个相对运动的辊子之间的间隙,水平活动辊子上施加以液压力使物料受到挤压而粉碎。 1、机架 机架采用焊接结构,由于辊压机形式的不同具体结构不同,一般由上、下横梁及立柱组成。 2、辊子及其轴承 辊子是辊压机的重要部件,辊面堆焊耐磨材料的质量直接影响辊压机的使用及维修。 辊压机形式的不同所选用辊子的轴承形式也不同,有用双列球面调心滚子轴承的,有用多排圆柱轴承及推力轴承的。我们生产的G120-80辊压机所用的轴承为前者,生产的GYJ140-100辊压机所用的轴承为后者。所用轴承不同,其水平活动辊子水平方向滑动的方式不同,轴承座的结构也就不同。使用双列球面调心滚子轴承,运行时辊缝如不均匀,其活动辊子轴线与轴承座孔端面可产生不垂直现象,动力输入端的轴承座其上下设有导向键槽,该端轴承座不

能作轴向滑动,男一端轴承座可有轻微轴向滑动以适应辊缝不均;使用多排圆柱轴承及推力轴承,运行时辊缝如不均匀,因该轴承不能调心其活动辊子两端轴承座必须要有水平摆动。所以该活动辊子两端轴承座下部设有销轴及滑块与机架定位,销轴与滑块间可相对转动,滑块又可在下机架槽内滑动。 3、喂料装置 喂料装置是满足辊压机满料操作要求的重要装置。它由蝶型弹簧承压的侧挡板及调整喂料的调节插板组成,通过该插板的调节可改变喂料量并与料饼厚度相适应。 4、传动装置 目前生产的辊压机,其传动装置都是落地式的.由行星减速机、液力偶合器、万向联轴节及电动机组成。万向联轴节可适应活动辊的摆动。 5、液压系统 液压系统为辊子提供压力使物料得以粉碎。主要自液压站、蓄能器组、液压缸及管路组成。蓄能器组用于液压系统的保压、吸收压力冲击;液压站设有压力变送器,系统压力低时,压力变送器发信号启动液压泵使其供油;系统压力达到设定值或过高时,压力变送器发信号使液压泵停止供油或相应电磁阀动作而卸压。液压缸与相关部件的连接形式由于辊压机形式不同而不同。

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