遥感传感器综述

遥感传感器综述
遥感传感器综述

遥感传感器综述

一、遥感传感器的概念

遥感传感器是测量和记录被探测物体的电磁波特性的工具,是遥感技术系统的重要组成部分。

遥感传感器根据不同工作的波段,适用的传感器是不一样的。目前遥感中常用的传感器大致上可分为如下几类:

1)摄影类型的传感器

2)扫描类型的传感器

3)雷达成像类型的传感器

4)非图像类型的传感器

摄影机主要用于可见光波段范围。红外扫描器、多谱段扫描器除了可见光波段外,还可记录近紫外、红外波段的信息。雷达则用于微波波段。

二、遥感传感器的基本组成

遥感传感器主要由以下系统组成:

无论哪一种传感器,它们基本是由收集系统、探测系统,信息转化系统和记录系统四部分组成。

(1)收集系统:遥感应用技术是建立在地物的电微波谱特性基础之上的,要收集地物的电磁波必须要有一种收集系统,该系统的功能在于把接收到的电磁波进行聚集,然后关往探测系统。不同的遥感器使用的收集元件不同,最基本的收集元件是透镜、反射镜或天线。对于多波段遥感,收信系统还包括按波段分波束的元件,一般采用各种散元个成分光之件,例如:滤光片、棱镜、光栅等。

(2)探测系统:遥感器中最重要的部分就是探测元件,它是真正接收地物电磁辐射的器件,常用的探测元件有感光胶片,光电敏感元件,固体敏感元件和波导等。

(3)信号转化系统:除了摄影照相机中的感胶片,电广从光辐射输入到光信号记录,无须信号转化之外,其它遥感器都有信号转化问题,光电敏感元件,固体敏感元件和波导等输出的都是电信号,从电信号转换到光信号必须有一个信号转化系统,这个转换系统可以直接进行电光转化,也可进行间接转换,先记录在磁带上,再经磁带加放,仍需经电光转换,输出光信号

(4)记录系统:遥感器的最终目的是要把接收到的各种电磁波信息,用适当的方式输出,输出必须有一定的记录系统,遥感影像可以直接记录在摄影胶片等上,也可记录在磁带上等。

三、遥感影像的分辨率

1 空间分辨率

2 波谱分辨率

3 辐射分辨率(辐射灵敏度)

1 空间分辨率:能把两个相邻目标作为两个清晰实体记录下来的两目标间的最小距离。取决于:

(1)象元大小(pixel size):每个象元对应地面的范围

(2)象解率(photographic resolution):胶片上1毫米间隔内包含的线对数,用线对/毫米来表示。一条白线加一条黑线构成一个线对。象解率可以转换成为相应的象元大小

(3)瞬时视场角(IFOV aInstantaneous Field Of View):电子传感器的瞬时视域,用毫弧度表示。瞬时视场角小,空间分辨率高;反之,空间分辨率低

(4)视场角(FOV field of view):整个传感器能够受光的角度。相当于视场角的地面距离叫观测宽度或叫扫描宽度

2 波谱分辨率:指传感器在接收目标辐射的波谱时,能分辨的最小波长间隔.取决于:(1)传感器的工作波段数目

(2)工作波段波长

(3)波长间隔(谱带宽度)

3 辐射分辨率:指传感器探测原件在接收波谱辐射信号时,能分辨的最小辐射差。

(1)取决于传感器辐射灵敏度

(2)数据的位数

四、光学遥感器的特性

光学遥感器所获取的信息中最重要的特性有三个,即光谱特性,辐射度量特性和几何特性,这些特性确定了光学遥感器的性能。

(1)光谱特性主要包括遥感器能够观测的电磁波的波长范围,各通道的中心波长等。在照相胶片型的遥感器中,其光谱特性主要由所用的胶片的感光特性和能用滤光片的透射特性率决定;而在扫描型的遥感器中,则主要由所用的探测元件及分光元件的特性来决定。

(2)光学遥感器的辐射度量特性主要包括遥感器的探测精度(包括所测亮度的绝对精度和相对精度)、动态范围(可测量的最大信号与遥感器的可检测的最小信号之比),信噪比(有意义的信号功率与噪声功率之比)等等,除些之外,还有把模拟信号转换为数字量时所产生的量化等级,量化噪声等。

(3)几何特性是用光学遥感器的获取的图像的一些几何学特征的物理量的描述的,主要指标有视场角,瞬时视场,波段间的配准等,视场角(FieldOf View-FOV)指遥感器能够感光的空间范围,也叫立体角,它与摄影机的视角扫描仪的扫描宽度意义相同;瞬时视场(IntantaneousField OfView-IFOV)是指探测系统在某一瞬时视场辐射列成像仪的总的辐射通量,而不管这个瞬时视场内有多少性质不同的目标。也就是

说,遥感器不能分辩出小于瞬时视场的目标。因此,通常也把遥感器的瞬时视场称为它的“空间分辩率”,即遥感器所能分辨的最小目标的尺寸;波段面的配准用来衡量基准波段与其它波段的位置偏差。

五、扫描成像类传感器

依靠探测元件和扫描镜对目标地物以瞬时视场为单位进行的逐点、逐行取样,以得到目标地物电磁辐射特性信息,形成一定谱段的图像,这类传感器就叫做扫描成像类传感器。

扫描成像系统主要有以下三种:

1用分离探测器和扫描镜的光/机扫描系统

2线性阵列的固体自扫描系统

3线阵或面阵高光谱成像光谱扫描系统

1光/机扫描成像

1)概念:

依靠机械传动装置使光学镜头摆动,形成对目标地物逐点逐行扫描。探测元件把接受到的电磁波能量能转换成电信号,在磁介质上记录或再经电/光转换成为光能量,在设置于焦平面的胶片上形成影像。

2)光/机扫描仪工作原理:

扫描镜在机械驱动下,随遥感平台的前进运动而摆动,依次对地面进行扫描,地面物体的辐射波束经扫描镜反射,并经透镜聚焦和分光分别将不同波长的波段分开,再聚焦到感受不同波长的探测元件上。

3)几种常见的光/机扫描仪

红外扫描仪:接受地物的红外辐射能量,并把它传给探测元件。

多光谱扫描仪(MSS):与红外扫描仪基本类似,其不同之处是,外加一个分光系统,把来自地物的电磁波信号,分成若干个不同的波段,同时用多个探测器同步记录相应波段的信息。而红外扫描仪只在红外波段工作。

专题制图仪TM:专题制图仪TM的成像原理与MSS一致,与MSS相比,空间分辨率由80米提高到30米;探测波段由4个增加到7个

4)几种常见光/机扫描仪的特点

利用光电探测器解决了各种波长辐射的成像方法。

输出的电学图像数据,存储、传输和处理方面十分方便。

装置庞杂,高速运动使其可靠性差;

在成像机理上,存在着目标辐射能量利用率低的致命弱点。

2固体自扫描成像

1)固体自扫描是用固定的探测元件,通过遥感平台的运动对目标地物进行扫描的一种成像方式。

2)电子藕合器件CCD:是一种用电荷量表示信号大小,用耦合方式传输信号的探测元件。具有感受波谱范围宽、畸变小、体积小、重量轻、系统噪声低、灵敏度高、动耗小、寿命长、可靠性高等一系列优点。

3)扫描方式上具有刷式扫描成像特点。探测元件数目越多,体积越小,分辨率就越高。电子藕合器件CCD逐步替代光学机械扫描系统。

3高光谱成像光谱扫描

虽然多光谱遥感(MSS、TM、SPOT)较摄影遥感(单波段或少量波段)有许多优势。但是他们十分有限的波段、较宽的波段间隔均难以真实地反映地物的光谱反射特性的细微差异。成像光谱仪:既能成像又能获取目标光谱曲线的“谱像合一”的技术,称为成像光谱技术。按该原理制成的扫描仪称为成像光谱仪。

高光谱成像扫描仪的特点:

高光谱成像仪是遥感进展的新技术,其图像是多达数百个波段的非常窄的连续的光谱波段组成,光谱波段覆盖了可见光、近红外、中红外和热红外区域全部光谱带。

光谱仪成像时多采用扫描式和推帚式,可以收集200或200以上波段的数据。使图像中的每一像元均得到连续的反射率曲线,而不像其他一般传统的成像光谱仪在波段之间存在间隔。

六、雷达成像仪

1 雷达的定义

发射电磁波信号并接收在其作用范围内的观测物体(目标)的回波的装置

2 雷达成像原理

侧视雷达在飞机(或卫星)飞行时间向垂直于航线的方向发射一个很窄波束,这个波束在航向上很窄,在距离方向很宽,复盖了地面上一个很窄条带,飞机在飞行时不断发射这样的波束,并不断接收地面窄带上的各种地物的反射信号,于是由这些波束扫视地面一条带状区域,形成图中的成像带.每个波束是由所发射的一个短的脉冲形成,这个脉冲遇到目标后,一部分能量由地物反射返回雷达天线,即回标.地面上与飞机距离不同的目标反射的回波,由雷达天线和接收机按时间的先后次序接收下来,并由同步的亮度调制的光点在摄影胶片上按回波的强度大小记录下来,一条视频回波线就记录了窄条带上各种地物的图像.

3 微波遥感的特点

1)能全天候、全天时工作;

2)对某些地物具有特殊的波谱特征;

3)对冰、雪、森林、土壤等具有一定穿透力;

4)对海洋遥感具有特殊意义;

5)分辨率较低,但特性明显。

微波传感器的分辨率比较低,是由于其波长较长,衍射现象显著。

传感器技术文献综述_百度文库重点

传感器技术文献综述 学校邕江大学专业 09信息学号 40号姓名赵丽霞 一、摘要 传感器技术是综合多种学科的复合型技术, 是一门正在蓬勃发展的现代化传感器技术。本文通过将所看的传感器相关文献总分为传感器、智能传感器以及无线传感器网络三个类别, 对每一类别进行综述, 分析每类别传感器研究中所存在的不足,探讨了相应的解决方案。 二、关键词:传感器 三、引言 传感器技术是一门正在蓬勃发展的现代化传感器技术, 是涉及微机械与微电子技术、计算机技术、信号处理技术、电路与系统、传感技术、神经网络技术以及模糊控制理论等多种学科的综合性技术, 而该技术也广泛应用到了军事、太空探索、智能家居、农业、医疗等领域。在伴随着“信息时代” 的到来,作为获取信息的重要手段——传感器技术得到飞速发展, 其应用领域越来越广, 人们对其要求越要越高, 需求也越来越迫切。但传感器技术的广泛应用以及飞速发展并不代表着该技术已经成熟, 相反在很多方面它还只是一项新兴的技术, 依然存在很多的问题等待我们去解决。如何能够让我们的传感器装置很快的适应周围的环境, 迅速准确的处理传输客户所需求的信号, 并可以根据客户的要求作出相应的反应以及如何可以尽量的延长传感器装置的生存时间等等。这些问题都是我们在研究传感器技术的过程中所应该解决的问题。 四、传感器 传感器是一种物理装置, 能够探测、感受外界的信号、物理条件 (如光、热、温度、湿度等或化学组成, 并将探知到的信息传递给其他装置。该装置相当我们的人类的眼睛、鼻子、舌头、耳朵以及皮肤等一些感知器官。这样,精确快速地感

受外界的信号就是迅速正确作出反应实施行动的前提条件。现在的物理传感器、生物传感器都是力图解决感知、精确以及快速这三个难题。例如气体流量监测就有很多种的感知方法,但每种方法都存在着精确以及反应速率方面的问题, 所以还需要不断的改进。然而,有很多的问题大自然已经很好的为我们解决了, 我们应该取其精华。因此, 我认为仿生传感器一定会解决很多传感器方面的问题。 模仿沙漠蚂蚁利用太阳偏振光在沙漠中很好的辨别方向机理设计了偏振测角传感器。在我们的生活中, 大自然还有很多聪明的发明, 这些都可以应用到我们现在所讨论的传感器技术中。比如鲸鱼、鸽子能够探测到地球微弱的磁场并根据其来确定旅行路线; 双髻鲨能都根据探测到微弱的生物电来捕食, 在它的双髻上分布着许多微小的孔,传感器也可以设计成与此相同的结构来探测微弱的电磁波, 并可以将此项技术应用到医学中来检测人体的健康;苍蝇的嗅觉特别灵敏,远在几千米外的气味也能嗅到,仿生学家根据苍蝇嗅觉器官的结构和功能,利用活的苍蝇,把非常纤细的微电极插到苍蝇的嗅觉神经上仿制成一种十分奇特的小型气体分析仪,用来检测舱内气体的成分。此外,还有很多的动物都具有特异功能,可以利用这些大量的自然资源来实现我们对自然界一些信息的需求,可以直接利用动物,降低成本,可以根据研究其特异功能的机制, 改进现在的传感器。 目前的传感器往往仅能感知一种或几种物理量。因此, 要尽量集成传感器的功能。在实际中, 需要检测的物理量往往不是唯一的, 这样就需要多种传感器共同工作来完成对这些物理量的检测, 浪费了大量资源, 比如人力资源——我们要花费大量的时间与精力去部署以及维护这些节点, 通信资源——每个节点都会向基站发送信号, 占用带宽, 容易造成数据拥堵。要求一种传感器可以同时感知多种物理量比较困难, 这样可以将多种传感器固定在同一装置上, 通过程序让它们在分配间隙时间内轮流工作发送数据, 间隙时间越短, 该传感器的整体测量效率也就越高。但如果对测量的实时性要求不高的话, 一个传感器装置就可以达到预期效果。也可以在监测区域分布多个的装置, 编制程序, 使在同一时刻能够测量到多种物理量。 五、智能传感器

(完整版)传感器的目前现状与发展趋势综述

传感器的目前现状与发展趋势 吴伟 1106032008 材控2班 摘要:传感器是高度自动化系统乃至现代尖端技术必不可少的一个关键组成部分。传感器技术是世界各国竞相发展的高新技术,也是进入21 世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器技术所涉及的知识领域非常广泛,其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。本文首先介绍了传感器的基本知识和传感器技术的发展历史。之后,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究状况。最后,展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 关键词:传感器技术;传感器;研究现状;趋势 引言 当今社会的发展,是信息化社会的发展。在信息时代,人们的社会活动将主要依靠对信息资源的开发及获取、传输与处理。而传感器是获取自然领域中信息的主要途径与手段,是现代科学的中枢神经系统。它是指那些对被测对象的某一确定的信息具有感受(或响应)与检出功能,并使之按照一定规律转换成与之对应的可输出信号的元器件或装置的总称。传感器处于研究对象与测控系统的接口位置,一切科学研究和生产过程所要获取的信息都要通过它转换为容易传输和处理的电信号。如果把计算机比喻为处理和识别信息的“大脑”,把通信系统比喻为传递信息的“神经系统”,那么传感器就是感知和获取信息的“感觉器官”。 传感器技术是现代科技的前沿技术,发展迅猛,同计算机技术与通信技术一起被称为信息技术的三大支柱,许多国家已将传感器技术列为与通信技术和计算机技术同等重要的位置。现代传感器技术具有巨大的应用潜力,拥有广泛的开发空间,发展前景十分广阔。 1 传感器的基本知识

1.1 传感器的定义和组成 广义地说,传感器是指将被测量转化为可感知或定量认识的信号的传感器。从狭义方面讲,感受被测量,并按一定规律将其转化为同种或别种性质的输出信号的装置。传感器一般由敏感元件、转换元件、测量电路和辅助电源四部分组成,其中敏感元件和转换元件可能合二为一,而有的传感器不需要辅助电源。 1.2 传感器技术的基本特性 在测试过程中,要求传感器能感受到被测量的变化并将其不失真地转换成容易测量的量。被测量有两种形式:一种是稳定的,称为静态信号;一种是随着时间变化的,称为动态信号。由于输入量的状态不同,传感器的输入特性也不同,因此,传感器的基本特性一般用静态特性和动态特性来描述。衡量传感器的静态特性指标有线性度、灵敏度、迟滞、重复性、分辨率和漂移等。影响传感器的动态特性主要是传感器的固有因素,如温度传感器的热惯性等,动态特性还与传感器输入量的变化形式有关。 2 传感器技术的发展历史与回顾 传感器技术是在20世纪的中期才刚刚问世的。在那时,与计算机技术和数字控制技术相比,传感技术的发展都落后于它们,不少先进的成果仍停留在实验研究阶段,并没有投入到实际生产与广泛应用中,转化率比较低。在国外,传感器技术主要是在各国不断发展与提高的工业化浪潮下诞生的,并在早期多用于国家级项目的科研研发以及各国军事技术、航空航天领域的试验研究。然而,随着各国机械工业、电子、计算机、自动化等相关信息化产业的迅猛发展,以日本和欧美等西方国家为代表的传感器研发及其相关技术产业的发展已在国际市场中逐步占有了重要的份额。 我国从20世纪60年代开始传感技术的研究与开发,经过从“六五”到“九五”的国家攻关,在传感器研究开发、设计、制造、可靠性改进等方面获得长足的进步,初步形成了传感器研究、开发、生产和应用的体系,并在数控机床攻关中取得了一批可喜的、为世界瞩目的发明专利与工况监控系统或仪器的成果。但从总体上讲,它还不能适应我国经济与科技的迅速发展,我国不少传感器、信号

红外传感器文献综述

单位代码01 学号 分类号TN7 密级 文献综述 关于红外报警器的综述 院(系)名称信息工程学院 专业名称电子信息工程 学生姓名 指导教师 2013年3月20日

关于红外线报警器的综述 摘要 随着社会的发展,科学技术的进步和安全防范意识的增强,人们越来越注重自身所处的环境是否安全。当家中无人或者仅有老人孩子在家时,必须考虑家庭成员生命和财产的绝对安全。目前,许多住宅小区的安防主要依靠安装防盗窗、防盗门以及人工防范。这样不仅有碍美观,不符合防火的要求,而且不能有效地防止坏人的侵入。报警器的应用类型非常多,但热释电红外线报警器是最广泛的,因为它的制作简单、成本低,安装比较方便,而且防盗性能比较稳定,抗干扰能力强、灵敏度高、安全可靠。这种防盗器安装隐蔽,不易被盗贼发现,具有较高的应用价值。 本文简要通过对红外报警器组成的个个模块进行分析,介绍了红外报警器的两种常见方式即:主动式和被动式,进而又分析了两种方式的选择原则,最后有对红外线报警器的发展前景进行了预测。 关键词:红外线,热释电传感器,报警器,单片机

引言 随着社会经济的飞速发展和人民生活水平的不断提高,人们对其住宅的要求也越来越高,表现在不仅希望拥有舒适、温馨的住所,而且对安全性、智能性等方面也提出了更高的要求。相反地,经济的快速增长也带来了相当大的负面社会效应,城乡、区域收入差距进一步拉大,流动人口也开始迅速增加,盗窃、入室抢劫等刑事案件也呈现出了增长趋势,人们越来越渴望有一个安全生活的空间,但是犯罪分子的作案手段越来越高明,他们甚至采用一些高科技的作案手段,使得以往那种依靠安装防盗门窗、或靠人防的防范方式越来越不能满足人们日常防范的要求。这时,传统的家庭住宅显然己经远远不能满足人们的需求。人们迫切需要一种智能型的家庭防盗报警系统,能可靠的进行日常安全防范工作,及时发现各种险情并通知户主,以便将险情消灭在萌芽状态,这样人们便可安心工作,同时也保证了居民的生命财产不受损失。于是有关家庭、办公室和仓库等处的安全防范和自动报警系统的开发研制日益被科研单位和生产厂家所重视,现在市场上也出现了各种名目繁多的报警装置,但多由于可靠性较差、功能单一或造价高而难于普及。 而随着电子通讯技术的飞速发展,单片微机以其具有体积小、价格低、集成度高、性价比高等突出优点已在工业控制、智能仪表、数控机床、数据采集以及各种家用电器等方面得到了广泛应用。因此利用单片机和一些简单的外围器件来开发一种适合于家庭的低价位、运行可靠的智能型安全防范报警系统安全防范系统,对室内出现入室盗窃等自动发出报警信息并通知户主进行及时处理已经势在必行。 报警器的类型多种多样,例如:红外监控无线报警器,超声波防盗报警器,红外线防盗报警器,高灵敏红外报警器,触摸式延时防盗报警器, 触摸式防盗报警器,红外报警器, 红外线声光报警器等。 红外线作为一种不可见光,有很强的隐蔽性和保密性,因此在防盗、警戒等安保装置中得到了广泛的应用。所以在众多报警器的分类方式中,红外线报警器由于简单实用,抗干扰能力强、灵敏度高、安全可靠而被广泛应用。红外报警器直接决定系统的灵敏度与稳定性,是整个系统品质的保障,红外防盗报警器又称红外探测器。中国安防厂商在这些年,无论在技术的掌握与生产能力的提升上,均有明显的改善,这都归功于中国厂商的产品设计和生产技术,并致力于降低成本,使中国安防产品开始得到厂商们的认可,加上低价对于甲方有着重要的吸引力,使得本国产品在市场上成长迅速。虽然本国产品的品质仍与进口产品有段差距,但在用户对安防产品不熟悉的情况下,中国安防产品扔

传感器技术的研究现状

传感器技术综述 Luqingsong@https://www.360docs.net/doc/bf14600127.html, 摘要:本文简介了传感器技术的原理、分类和应用,以位移传感器为例概述了传感器技术的研究现状,在此基础上分析了我国传感器技术发展中存在的问题和解决方法,分析了传感器技术的发展方向。 关键词:传感器技术应用研究发展方向 1传感器 传感器是一种检测装置,一般由敏感元件、传感元件和其他辅助件组成,有时也将信号调节也转换电路、辅助电源作为传感器的组成部分。能感受到被测量的信息,并能将感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器通常可以按照一系列方法进行分类。根据用途分类,传感器常以测别的物理量命名,如位移传感器、速度传感器、温度传感器、压力传感器等;根据工作原理分类,传感器可以依据工作原理进行命名,如振动传感器、磁敏传感器、生物感器等;按输出信号,可分为模拟传感器和数字传感器等;还可按照传感器的制造工艺、构成、作用形式等进行分类。[1] 随着微电子技术、微机械加工技术、光电科学以及当代生物科学等高新技术的推动下,传感器己经从过去单一功能转变为功能多样、科技含量高的新型产品。传感器技术是当前代表国家综合科研水平的重要技术,传感器技术的具体应用是传感器技术转化的重要途径和方法。其所涉及的知识领域非常广泛,研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。 2主要传感技术分类[2][5] 2.1光电传感技术 光电式传感器是以光为测量媒介、以光电器件为转换元件的传感器,它具有非接触、响应快、性能可靠等卓越特性。随着光电科技的飞速发展,光电传感器己成为光电传感器己成为各种光电检测系统中实现光电转换的关键元件,并在传感器应用中占据着重要的地位,其中在非接触式测量领域更是扮演者无法替代的角色。光电传感器工作时,光电器件负责将光能(红外辐射、可见光及紫外辐射)信号转换为电学信号。光电器件不仅结构简单、经济性好,且具有响应快、可靠性强等优势,在自动控制、智能化控制等方面应用前景十分广阔。此外,光电传感器除了对光学信号进行测量,还能够对引起光源变化的构件或其它被测量进行

图像传感器综述

图像传感器综述 通过前几篇文章,相信大家可能对数码图像和色彩有了一定的认识。从这篇文章开始,我们将会对大家拍摄使用的“武器”--数码相机进行全方位的介绍。首先我们来了解一下数码相机的核心部件--图像传感器。 一、图像传感器的历史 与传统相机不同,数码相机并不是使用胶片来感光,而是使用图像传感器来捕捉图像。图像传感器的历史可以说非常的悠久:早在1873年,当时科学家约瑟·美(Joseph May)及伟洛比·史密夫(WilloughbySmith)就发现了硒元素结晶体感光后能产生电流,这是电子影像发展的开始。以后陆续有组织和学者研究电子影像,发明了几种不同类型的图像传感器。其中重要的发明有20世纪50年代诞生的光学倍增管(Photo Multiplier Tube,简称PMT)和70年代出现的电荷耦合装置(Charge Coupled Device,简称CCD)。 20世纪末,又有三种新型的图像传感器问世了,它们分别是互补氧化金属半导体(Complementary Metal Oxide Semiconductor,简称CMOS)、接触式图像传感器(Contact lmage Sensor,简称CIS)和LBCAST传感器系统(Lateral Buried Charge Accumulator, Sensing Transistor Array)。 二、PMT PMT是最早出现的图像传感器,从五十年代发展到现在,技术已经非常成熟,是目前性能最好的传感器。它就像一个圆柱体小灯泡,直径约一寸,长度约二寸;内置多个电极,将进入的光信号转化为电信号,即使很微弱的光线也可准确补捉。其最高动态范围可达4.2,相对于其它类型只能达到3.2-3.6的传感器,PMT要胜出不少;而且它非常耐用,可以运作十万小时以上。但是由于其造价相当高,只能应用于专业的印刷、出版业扫描仪及工程分析仪等。类似小灯泡的传感器“PMT” 三、CCD CCD是美国贝尔实验室于1969年发明的,与电脑晶片CMOS技术相似,也可作电脑记忆体及逻辑运作晶片。CCD是一种特殊的半导体材料,由大量独立的感光二极管组成,一般这些感

生物传感器综述

生物传感器综述

————————————————————————————————作者: ————————————————————————————————日期: ?

生物传感器课程论文 论文题目:生物传感器技术在环境分析 与检测方面的应用研究进展专业: 分析化学 姓名:雷杰 学号:12015130529 指导教师:晋晓勇 时间:2015年10月23日

生物传感器技术在环境分析与检测方面的应用研究进展 摘要:生物传感器作为一类新兴传感器,它是以生物分子敏感元件,将化学信号、热信号、光信号转换成电信号或者直接产生电信号予以放大输出,从而得到检测结果。文章综述了生物传感器在环境监测,包括水环境、大气环境等领域的应用和最新进展,并展望了环境监测生物传感器的发展前景及发展方向。 关键词:生物传感器技术;环境分析检测;

0.前言 生物传感器这门课属于分析化学和生物化学的一门交叉学科,它涉及到生物化学、电化学等多个基础学科。就目前生物传感器研究的历史阶段,它仍然处于十分活跃的研究阶段,生物传感器的研究逐渐变得专业化、微型化、集成化、也有一些生物相容的生物传感器,生物可控和智能化的传感器制成[1]。基于生物传感器的基本结构和性能,从它的选择性,稳定性,灵敏度和传感器系统的集成化发展的特点和趋势,科研人员主要研究生物传感器在医疗、食品工业和环境监测等方面,它的发展对生产生活都有极大影响,尤其是生物传感器专一性好、易操作、设备简单、可现场检测、便携式、测量快速准确、适用范围广,从而深受研究者的青睐。本文主要概述了近三年来生物传感器在环境分析与检测方面的应用研究,从而对以后生物传感器技术的研究有所帮助与借鉴。 1.生物传感器技术 1.1生物传感器的组成及工作原理 生物传感器主要是由生物识别和信号分析两部分组成。生物识别部分是由具有分子识别能力的生物敏感识别元件构成,包括细胞、生物素、酶、抗体及核酸。信号分析部分通常叫换能器。它们的工作原理一般是根据物质电化学、光学、质量、热量、磁性等,物理化学性质将被分析物与生物识别元件之间反应的信号转变成易检测、量化的另一种信号,比如电信号、焚光信号等,再经过信号读取设备的转换过程,最终得到可以对分析物进行定性或定量检测的数据[2]。 生物传感器识别和检测待测物的工作原理:首先,待测物分子与识别元素接触;然后,识别元素把待测物分子从样品中分离出来;接着,转换器将识别反应相应的信号转换成可分析的化学或物理信号;最后,使用现代分析仪器对输出的信号进行相应的转换,将输出信号转化为可识别的信号。生物传感器的各个部分包括分析装置、仪器和系统也由此构成。生物传感器中的识别元素决定了传感器的特异性,是生物定性识别的决定因素;识别元素与待测分子的亲合力,以及换能器和检测仪表的精密度,在很大程度上决定了传感器的灵敏度和响应速度。

汽车传感器论文浅谈传感器技术在汽车领域的应用

浅谈传感器技术在汽车领域的应 用 院系信息工程系 专业 年级 学生姓名 指导教师

目录 1 摘要 1.1 汽车传感器举足轻重 1.2 国内传感器生产水平低 1.3 汽车上的主要传感器 1.4 汽车传感器的发展趋势 2 传感器类型 2.1里程表传感器 2.2安全气囊传感器 2.3 速度传感器 3 基本原理和发展 致谢 参考文献

1 摘要汽车传感器发展综述 在20世纪60年代,汽车上仅有机油压力传感器、油量传感器和水温传感器,它们与仪表或指示灯连接。 进入70年代后,为了治理排放,又增加了一些传感器来帮助控制汽车的动力系统,因为同期出现的催化转换器、电子点火和燃油喷射装置需要这些传感器来维持一定的空燃比以控制排放。80年代,防抱死制动装置和气囊提高了汽车安全性。 今天,传感器有用来测定各种流体温度和压力(如进气温度、气道压力、冷却水温和燃油喷射压力等)的传感器;有用来确定各部分速度和位置的传感器(如车速、节气门开度、凸轮轴、曲轴、变速器的角度和速度、排气再循环阀(EGR)的位置等);还有用于测量发动机负荷、爆震、断火及废气中含氧量的传感器;确定座椅位置的传感器;在防抱死制动系统和悬架控制装置中测定车轮转速、路面高差和轮胎气压的传感器;保护前排乘员的气囊,不仅需要较多的碰撞传感器和加速度传感器。面对制造商提供的侧量、顶置式气囊以及更精巧的侧置头部气囊,还要增加传感器。随着研究人员用防撞传感器(测距雷达或其他测距传感器)来判断和控制汽车的侧向加速度、每个车轮的瞬时速度及所需的转矩,使制动系统成为汽车稳定性控制系统的一个组成部分。 老式的油压传感器和水温传感器是彼此独立的,由于有着明确的最大值或最小值的限定,其中一些传感器的实际作用就相当于开关。随着传感器向电子化和数字化方向发展,它们的输出值

气体传感器文献综述

` 气体传感器的发展概况 和发展方向 玛日耶姆·图尔贡 107551600545 Word文档

气体传感器的发展概况和发展方向 【摘要】本文对气体传感器进行分类,介绍了半导体型气体传感器、电阻型气体传感器、非电阻型气体传感器等几种常见气体传感器的特性、总结了这些气体传感器的工作原理,并阐述这几种气体传感器在日常生活及特殊场合中的应用及其选用时的原则。探讨了气体检测仪器在检测对象、检测围和检测方式上向小型化、智能化、多功能化和通用化等方面不断向前发展的方向。 【关键词】气体传感器;特性;应用;发展方向 一、前言 目前,随着人们环保意识的提高,环境问题日益受到政府和社会关注。环境问题变成了重要的民生问题,影响到人民生活幸福感,甚至环境问题严重威胁群众健康。 近年来生态环境污染状况日趋严重,各种工业废水,废气直接排入水体及空气,造成极为严重的环境污染。影响着人们的正常生活和生存发展,并导致环境污染的气体进行处理是十分急迫的问题。随着科学技术的发展,人们生活水平的提高,对气体传感器的需求已有所不同;同时,随着近年酸雨、温室效应、臭氧层破坏、环境污染等,严重影响了人类的健康和生存,这就给气体传感器提出了新的研究课题和增加了新的研究容和难度。检测气体的种类由原来的还原性气体(H2、 C4、 H10、 CH4等)扩展到毒性气体(CO、NO2、 H2S、NO、NH3、 PH3等)以及食品有关的气体(鱼、肉鲜度(CH3)3、醋酸乙脂等)[1]。气体传感器作为气体检测最基础的部分,为了满足这些需求,气体传感器必须具有较高的灵敏度和选择性,重复性和稳定性要好,而且能批量生产,性能价格要高等。 随着人们环保意识的增强以及各国对有毒气体排放和污染物排放方面的严格立法,各种气体传感器正在得到越来越广泛的应用。目前,随着生命科学、人工智能、材料科学等学科的发展,气体传感器的应用领域越来越广泛,在大气监测、食品工业、汽车尾气快速实时测定、有毒气体检测安全检查和航空航天等方面,越来越多地显示出气体传感器的重要作用[2]。 二、气体传感器的发展概况 2.1气体检测仪 气体检测仪是一种气体泄露浓度检测的仪器仪表工具,主要是指便携式/手持式气体检测仪。主要利用气体传感器来检测环境中存在的气体种类。气体检测的目的是分析各种气体混合物中各组分的含量或其中某一组分的含量。气体检测仪表一般由传感器、信号放大、处理单元、显示单元以及控制单元组成,其中传感器是最关键的部分。 2.2传感器 传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器按其基本效应可分为:物理传感器,化学传感器,生物传感器。按检测对象,化学传感器分为气体传感器、湿度传感器、离子传感器。 物理传感器 传感器生物传感器气体传感器 化学传感器离子传感器 湿度传感器

遥感原理与应用复习题(Final Version)

遥感原理与应用复习题 一、名词概念 1. 遥感 广义:泛指一切无接触的远距离探测,包括对电磁场、力场、机械波(声波、地震波)等的探测。 狭义:是应用探测仪器,不与探测目标相接触,从远处把目标的电磁波特性记录下来,通过分析,揭示出物体的特征性质及其变化的综合性探测技术。 2. 传感器 传感器是遥感技术中的核心组成部分,是收集和记录地物电磁辐射能量信息的装置,如光学摄影机、多光谱扫描仪等,是获取遥感信息的关键设备。 3. 遥感平台 遥感平台是转载传感器进行探测的运载工具,如飞机、卫星、飞船等。按其飞行高度不同可分为近地平台、航空平台和航天平台。 4. 地物反射波谱曲线 地物的反射率随入射波长变化的规律称为地物反射波谱,按地物反射率与波长之间的关系绘成的曲线称为地物反射波谱曲线(横坐标为波长值,纵坐标为反射率) 5. 地物发射波谱曲线 地物的发射率随波长变化的规律称为地物的发射波谱。按地物发射率与波长之间的关系绘成的曲线称为地物发射波谱曲线。(横坐标为波长值,纵坐标为总发射) 6. 大气窗口 通常把通过大气而较少被反射、吸收或散射的透射率较高的电磁辐射波段称为大气窗口。 7. 瑞利散射 当微粒的直径比辐射波长小许多时,也叫分子散射。 8. 遥感平台 遥感平台:遥感中搭载传感器的工具统称为遥感平台。 遥感平台按平台距地面的高度大体上可分为地面平台、航空平台和航天平台三类。 9. TM 即专题测图仪,是在MSS基础上改进发展而成的第二代多光谱光学-机械扫描仪,采用双向扫描。 10. 空间分辨率 图像的空间分辨率指像素所代表的地面范围的大小,即扫描仪的瞬间视场或地面物体能分辨最小单元,是用来表征影像分辨地面目标细节能力的指标。通常用像元大小、像解率或视场角来表示。 11. 时间分辨率 时间分辨率指对同一地点进行遥感采样的时间间隔,即采样的时间频率,也称重访周期。 12. 波谱分辨率 波谱分辨率指传感器在接收目标辐射的波谱时能分辨的最小波长间隔,也称光谱分辨率。间隔愈小,分辨率愈高。 13. 辐射分辨率 指传感器接收波谱信号时,能分辨的最小辐射度差。 14. 传感器 传感器,也叫敏感器或探测器,是收集、探测并记录地物电磁波辐射信息的仪器。

气体传感器文献综述

气体传感器的发展概况 和发展方向 玛日耶姆·图尔贡 107551600545

气体传感器的发展概况和发展方向 【摘要】本文对气体传感器进行分类,介绍了半导体型气体传感器、电阻型气体传感器、非电阻型气体传感器等几种常见气体传感器的特性、总结了这些气体传感器的工作原理,并阐述这几种气体传感器在日常生活及特殊场合中的应用及其选用时的原则。探讨了气体检测仪器在检测对象、检测范围和检测方式上向小型化、智能化、多功能化和通用化等方面不断向前发展的方向。 【关键词】气体传感器;特性;应用;发展方向 一、前言 目前,随着人们环保意识的提高,环境问题日益受到政府和社会关注。环境问题变成了重要的民生问题,影响到人民生活幸福感,甚至环境问题严重威胁群众健康。 近年来生态环境污染状况日趋严重,各种工业废水,废气直接排入水体及空气,造成极为严重的环境污染。影响着人们的正常生活和生存发展,并导致环境污染的气体进行处理是十分急迫的问题。随着科学技术的发展,人们生活水平的提高,对气体传感器的需求已有所不同;同时,随着近年酸雨、温室效应、臭氧层破坏、环境污染等,严重影响了人类的健康和生存,这就给气体传感器提出了新的研究课题和增加了新的研究内容和难度。检测气体的种类由原来的还原性气体(H2、 C4、 H10、 CH4等)扩展到毒性气体(CO、NO2、 H2S、NO、NH3、 PH3等)以及食品有关的气体(鱼、肉鲜度(CH3)3、醋酸乙脂等)[1]。气体传感器作为气体检测最基础的部分,为了满足这些需求,气体传感器必须具有较高的灵敏度和选择性,重复性和稳定性要好,而且能批量生产,性能价格要高等。 随着人们环保意识的增强以及各国对有毒气体排放和污染物排放方面的严格立法,各种气体传感器正在得到越来越广泛的应用。目前,随着生命科学、人工智能、材料科学等学科的发展,气体传感器的应用领域越来越广泛,在大气监测、食品工业、汽车尾气快速实时测定、有毒气体检测安全检查和航空航天等方面,越来越多地显示出气体传感器的重要作用[2]。 二、气体传感器的发展概况 2.1气体检测仪 气体检测仪是一种气体泄露浓度检测的仪器仪表工具,主要是指便携式/手持式气体检测仪。主要利用气体传感器来检测环境中存在的气体种类。气体检测的目的是分析各种气体混合物中各组分的含量或其中某一组分的含量。气体检测仪表一般由传感器、信号放大、处理单元、显示单元以及控制单元组成,其中传感器是最关键的部分。 2.2传感器 传感器是一种检测装置,能感受到被测量的信息,并能将检测感受到的信息,按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出,以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求。传感器按其基本效应可分为:物理传感器,化学传感器,生物传感器。按检测对象,化学传感器分为气体传感器、湿度传感器、离子传感器。 物理传感器 传感器生物传感器气体传感器 化学传感器离子传感器 湿度传感器

单片机传感器参考文献

[1] 王青云. 基于单片机的温度测量系统[J] 2010,(05). [2] 彭立,张建洲,王少华. 自适应温度控制系统的研制[J]东北师大学报(自然科学版), 1994,(01) . [3] Jack Shandle. 即将来临的32位浪潮——ARM构架在32位微控制器领域的应用[J]单片机与嵌入式系统应用, 2004,(03) . [4] 刘侃,张永泰,刘洛琨. ARM程序设计优化策略与技术[J]单片机与嵌入式系统应用, 2004,(04) . [5] 何立民.从Cygnal 80C51F看8位单片机发展之路.单片机与嵌入式系统应用[M],2002年,第5期:P5~8 [6] 夏继强. 单片机实验与实践教程. 北京:北京航空航天大学出版社, 2001 [7] 徐惠民、安德宁.单片微型计算机原理接口与应用.第1版[M].北京:北京邮电大学出版社,1996 [8] 张媛媛,何怡刚,徐雪松. 基于C8051F020的温湿度控制箱设计[J]国外电子元器件, 2004,(10) . [9] 江孝国,王婉丽,祁双喜. 高精度PID温度控制器[J]电子与自动化, 2000,(05) . [10] 于洋. 高低温试验箱微机自动控制系统的设计[J]工业仪表与自动化装置, 2003,(02) . [11] 沈聿农.传感器及应用技术[M].北京:化学工业出版社,2001. [12] 范晶彦.传感器与检测技术应用[M].北京:机械工业出版社,2005. [13] 王俊峰,孟令启.现代传感器应用技术[M].北京:机械工业出版社,2007. [14] 金发庆.传感器技术与应用[M].北京:机械工业出版社,2006. [15] Goldman JM, Petterson MT, Kopotic RJ, Barker SJ.Masimosignal extraction pulse oximetry[J].J Clin Monit Comput.2000;16(7):7 5-83. [16] D. Tulone. On the feasibility of global time estimation under isolation conditions in wireless sensor networks. [17] 王春晖. 环境试验箱中制冷系统的原理分析及优化概述[J]电子质量, 2003,(12) [18] 李建中. 单片机原理及应用[M]西安电子科技大学出版社,2010.(02) [19] 周航慈.单片机应用程序设计技术[M].北京:北京航空航大大学出版社,2005. [20] 何立民.单片机高级教程[M].北京:北京航空航天大学出版社,2001. [21] 夏继强.单片机实验与实践教程[M].北京:北京航空航天大学出版社, 2001. [22] 徐惠民,安德宁.单片微型计算机原理接口与应用[M].北京:北京邮电大学出版社,1996. [23] 李广第.单片机基础[M].北京:北京航空航天大学出版社,1999. [24] 赵晓安. MCS-51单片机原理及应用[M]. 天津:天津大学出版社,2001. [25] 杨清梅,孙建民.传感器与测试技术[M].哈尔滨: 哈尔滨工程大学出版社,2005. [26] 范晶彦.传感器与检测技术应用[M].北京:机械工业出版社,2005. [27] 王俊峰,孟令启.现代传感器应用技术[M].北京:机械工业出版社,2007. [28] 宋文绪,杨帆.自动检测技术[M].北京:高等教育出版社,2000. [1] 王青云. 基于单片机的温度测量系统[J] 2010,(05). [2] 彭立,张建洲,王少华. 自适应温度控制系统的研制[J]东北师大学报(自然科学版), 1994, [3] YD. Tulone. Is it possible to ensure strong data guarantees in highly mobile [4] Jack Shandle. 即将来临的32位浪潮——ARM构架在32位微控制器领域的应用[J]单片机与嵌入式系统应用, 2004,(03) .

学年论文-传感器技术的研究现状与发展趋势

山东工商学院 学年论文 题目:传感器技术的研究现状与发展趋势姓名:xxx 学号:200905xxxx 专业:电子信息工程 指导老师:xxx

传感器技术的研究现状与发展趋势 姓名 (山东工商学院信息与电子工程学院,山东烟台 264005) 摘要: 传感器是高度自动化系统乃至现代尖端技术必不可少的一个关键组成部分。传感器技术是世界各国竞相发展的高新技术,也是进入21世纪以来优先发展的十大顶尖技术之一。传感器技术所涉及的知识领域非常广泛,其研究和发展也越来越多地和其他学科技术的发展紧密联系。本文首先介绍了传感器的基本知识和传感器技术的发展历史。之后,综述了近几年高端前沿的光电传感器技术和生物传感器技术的主要研究状况。最后,展望了现代传感器技术的发展和应用前景。 关键词:传感器技术;传感器;研究现状 The Sensor Technology Current Research And Development Trend CHEN Cxxxx-xxx (School of Information and Electronic Engineering, Shandong Institute of Business and Technology, Yantai, 264005,China) Abstract:Sensor is an essential and critical component of highly automated system and cutting-edge technology. Sensor Technique is what many developed countries are competing in. It is also one of the ten top technologies with priority in the 21st century. There are a large amount of areas of knowledge involved in Sensor Technique. Meanwhile, it also has been in close relation with the advance of other fields of technologies. This paper first introduces the basic knowledge of the Sensor and the history of the Sensor Technology .Then it summarizes the main investigation on Sensor Technique of Photoelectric Sensor and Biosensor in recent years .Last,it forecasts the development and future applied fields of the modern Sensor Technology. Key words:Sensor Technique; Sensor; Current Research; trend

传感器综述例题+习题教学提纲

传感器综述例题+习题

第一章绪论 [例题分析] 例题1-1一台精度为0.5级、量程范围600~1200℃的温度传感器,它最大允许绝对误差是多少?检验时某点最大绝对误差是4℃,问此表是否合格? 解: 根据精度定义表达式100.??=S F Y A A %,并由题意已知A=0.5%,YF.S=(1200-600)℃,得最多允许误差 △ A=A·YF.S=0.5%×(1200-600)=+/-3℃ 此温度传感器最大允许误差位3℃。检验某点的最大绝对误差为4℃,大于3℃,故此传感器不合格。 例题1-2已知电感压力传感器最小检测量为0.5mmH 2O ,测量范围为0~250mmH 2O ,输出电压为0~500m V,噪声系数C=2;另一个电容压力传感器最小检测量为0.5mmH 2O ,测量范围为0~100mmH 2O ,输出电压为0~300m V,噪声系数C=2。问:哪个传感器噪声电平大?大多少? 解: 根据传感器灵敏度计算式 x y k ??=,得 电感压力传感器 O mmH mV k 21/202500 500=--= 电容压力传感器 O mmH mV k 22/30 1000 300=--= 由最小检测量计算式K CN M =,得噪声电平C KM N =,分别计算结果如下: 电感压力传感器 mV C M K N 5.025 .02111=?== 电容压力传感器 mV C M K N 75.02 5 .03222=?== 答:电容压力传感器噪声电平大。mV N N N 25.012=?-?=?。

例题1-3已知某传感器静态特性方程X e Y =,试分别用切线法、端基法及最小二乘法,在0<X<1范围内拟和刻度直线方程,并求出相应的线性度。 解:(1)切线法:如图1-1所示,在X=0处做 切线为拟合直线①KX a Y +=0。 当X=0,则Y=1,得0a =1;当X=1, 则Y=e,得10 === ==X X X e dX dY K 。 故切线法刻度直线方程为Y=1+X。 最大偏差m ax Y ?在X=1处,则 7182.0)1(1 max =+-=?=X X X e Y 切线法线性度 %8.41%1001 7182 .0%100.max =?-=??= e Y Y S F L δ (2)端基法:在测量两端点间连直线为拟合直线②KX a Y +=0。则0a =1, 718.10 11 =--= e K 。得端基法刻度直线方程为Y=1+1.718X。 由 0] 718.1[=-dX X e d x 解得X=0.5413处存在最大偏差 2118.0)718.11(5413 .0max =+-=?=X x X e Y 端基法线性度 %3.12%1001 2118 .0%100.max =?-=??= e Y Y S F L δ (3)最小二乘法:求拟合直线③KX a Y +=0。根据计算公式测量范围分成6等分取n=6,,列表如下:

遥感平台与传感器

遥感平台与传感器 时间:2010-04-09 21:17来源:未知作者:admin 点击: 109次 遥感是从远离地面的不同工作平台上通过传感器,对地球表面的电磁波(辐射)信息进行探测,并经信息的传输、处理和判读分析,对地球的资源与环境进行 探测和监测的综合性技术。常见的遥感平台有:气球、飞机、火箭、人造地球 卫星、宇宙飞船、航天飞机、高塔等 遥感是从远离地面的不同工作平台上通过传感器,对地球表面的电磁波(辐射)信息进行探测,并经信息的传输、处理和判读分析,对地球的资源与环境进行 探测和监测的综合性技术。常见的遥感平台有:气球、飞机、火箭、人造地球 卫星、宇宙飞船、航天飞机、高塔等。 遥感平台是指装载遥感器的运载工具,按高度,大体可分为地面平台,空中平 台和太空平台三大类。地面平台包括三角架、遥感塔、遥感车(船)、建筑物 的顶部等,主要用于在近距离测量地物波谱和摄取供试验研究用的地物细节影像;空中平台包括在大气层内飞行的各类飞机、飞艇、气球等,其中飞机是最 有用、而且是最常用的空中遥感平台;太空平台包括大气层外的飞行器,如各 种太空飞行器和探火箭。在环境与资源遥感应用中,所用的航天遥感资料主要 来自于人造卫星。在不同高度的遥感平台上,可以获得不同面积,不同分辨率 的遥感图像数据,在遥感应用中,这三类平台可以互为补充、相互配合使用。 表可应用的遥感平台

800m以下遥感平台还有: 常用的传感器: 航空摄影机(航摄仪) 全景摄影机 多光谱摄影机 多光谱扫描仪(Multi Spectral Scanner,MSS) 专题制图仪(Thematic Mapper,TM) 反束光导摄像管(RBV) HRV(High Resolution Visible range instruments)扫描仪合成孔径侧视雷达(Side-Looking Airborne

压力传感器文献综述

压力传感器文献综述 摘要:传感器技术是综合多种学科的复合型技术,是一门正在蓬勃发展的现代化传感器技术。本文通过部分文献资料对压力传感器的发展过程、研究现状和发展趋势做一简要介绍。关键词:压力;传感器; 1 压力传感器的发展历程 现代压力传感器以半导体传感器的发明为标志,而半导体传感器的发展可以分为四个阶段(1) 发明阶段(1945 - 1960 年) :这个阶段主要是以1947 年双极性晶体管的发明为标志。此后,半导体材料的这一特性得到较广泛应用。史密斯与1945 发现了硅与锗的压阻效应,即当有外力作用于半导体材料时,其电阻将明显发生变化。依据此原理制成的压力传感器是把应变电阻片粘在金属薄膜上,即将力信号转化为电信号进行测量。此阶段最小尺寸大约为1cm。 (2) 技术发展阶段(1960 - 1970 年) :随着硅扩散技术的发展,技术人员在硅的(001) 或(110) 晶面选择合适的晶向直接把应变电阻扩散在晶面上,然后在背面加工成凹形,形成较薄的硅弹性膜片,称为硅杯。这种形式的硅杯传感器具有体积小、重量轻、灵敏度高、稳定性好、成本低、便于集成化的优点,实现了金属- 硅共晶体,为商业化发展提供了可能。(3) 商业化集成加工阶段(1970 - 1980 年) :在硅杯扩散理论的基础上应用了硅的各向异性的腐蚀技术,扩散硅传感器其加工工艺以硅的各项异性腐蚀技术为主,发展成为可以自动控制硅膜厚度的硅各向异性加工技术,主要有V 形槽法、浓硼自动中止法、阳极氧化法自动中止法和微机控制自动中止法。由于可以在多个表面同时进行腐蚀,数千个硅压力膜可以同时生产,实现了集成化的工厂加工模式,成本进一步降低。(4) 微机械加工阶段(1980 年- 今) :上世纪末出现的纳米技术,使得微机械加工工艺成为可能。通过微机械加工工艺可以由计算机控制加工出结构型的压力传感器,其线度可以控制在微米级范围内。利用这一技术可以加工、蚀刻微米级的沟、条、膜,使得压力传感器进入了微米阶段。 2 压力传感器国内外研究现状 传感器是新技术革命和信息社会的重要技术基础,是现代科技的开路先锋。美、日、英、法、德和独联体等国都把传感器技术列为国家重点开发关键技术之一。美国长期安全和经济繁荣至关重要的22项技术中就有6项与传感器信息处理技术直接相关。关于保护美国武器系统质量优势至关重要的关键技术,其中8项为无源传感器。。正是由于世界各国普遍重视和投入开发,传感器发展十分迅速。目前,我国传感器行业规模较小,应用范围较窄。为此,我们亟须转变观念,将传感器的研发由单一型传感器的研发,转化为高度集成的新型传感器研发。新型传感器的开发和应用已成为现代系统的核心和关键,它将成为21世纪信息产业新的经济增长点。改革开放30年来,我国传感器技术及其产业取得了长足进步,主要表现在:建立了传感技术国家重点实验室、微米/纳米国家重点实验室、国家传感技术工程中心等研究开发基地;MEMS、MOEMS等研究项目列入了国家高新技术发展重点;在“九五”国家重科技攻关项目中,传感器技术研究取得了51个品种86个规格新产品的成绩,初步建立了敏感元件与传感器产业;2007年传感器业总产量达到20.93亿只,品种规格已有近6000种,并已在国民经济各部门和国防建设中得到一定的应用。压力传感器的发展动向主要有以下几个方向: 2.1光纤压力传感器 这是一类研究成果较多的传感器,但投入实际领域的并不是太多。光纤传感器基本原理是将光源发出的光经光纤送入调制区,在调制区内,外界被测参数与进入调制区的光相互作用,使光的强度、频率、相位、偏振等发生变化成为被调制的信号光,再经光纤送入光探测器、

相关文档
最新文档