S-3400 BSED(背散射电子探头)安装手册

S-3400 BSED(背散射电子探头)安装手册

请务必小心应对检测组件，因为检测组件很薄并且容易破裂。

关闭电源开关后再继续工作。

1.机械调整

（确认BSE组件的安装和组件的轴调整）

1）顺时针方向旋转X方向调节旋钮(X direction adjustment knob),退出BSE组件。

2）松离图中所示的2根电缆(Cable)。

3）拧下图示中的两颗十字槽盘头螺钉、垫圈和弹簧垫圈(M3 pan head machine screw)。

分离BSE的机械部分和板部分。

4）旋下BSED的固定螺丝钉(BSED fixation screw)，同时从下面托住限高板和BSE的机械部分，这样它们就不可能突然掉落。（取下BSED后，小心的平放在垫了干净纸或塑料布的桌面上。）

5）拔出BSE组件和PCB电路板间的电缆(Cable)。

6）旋下用于固定BSE组件的一颗Z轴方向调节螺丝钉(Z direction adjustment screw(M5))和四颗内六角圆柱头螺钉(Hexagon socket head cap screws)。

7）用新的BSE组件更换下已经损坏的BSE组件，根据步骤6）安装BSE组件并用螺丝钉固定。

8）将步骤5）拔掉的BSE组件和PCB电路板间的电缆插入到BSE组件的连接器中。9）插入步骤2）中拔掉的两条电缆，然后再用两颗十字槽盘头螺钉、垫圈和弹簧垫圈安装好步骤3）拆下的板部分。

10).安装BSED的机械部分和限高板。

旋转X方向的调节旋钮使PD盖(PD cover)轻轻的紧挨着物镜底部，并且确认使BSED 的末端能平稳的移动。用BSED固定螺丝钉安装BSED的机械部分和限高板，完全检查并校准限高板的高低。

11）微调BSED末端Y/Z方向的安装位置。在完成步骤10）后，旋转X方向调节旋钮，确认BSED末端能平稳的移动。

如果BSE的末端不能平稳的移动，并且由于PD盖的U形槽的影响，使得BSE组件的孔和物镜的孔不匹配，则再做一次步骤10）。微调BSE机械部分上的Y和Z方向调节钮，额外的调整必须在做完步骤10）之后。（Y和Z方向的调节钮）

12）当推入样品台慢慢的靠近限高板时，确认样品到Z轴调节旋钮的距离大于限高板到样品的距离。如果这个距离较小，就要松开BSED的固定螺丝，同时从底部压紧BSED 的机械部分，并且降低限高板，用固定螺丝拧紧。

13）在BSED插入后，确认BSED组件的白影能在显示器上被均匀的观察到。

（观察条件）HV：10KV/探针电流50/WD:10mm

放大倍率：最低放大倍率（×18）

在这样的观察条件下调节焦点位置到4mm，确认白影能被均匀的观察到。

14）在步骤13）后，白影均匀的显示，通过螺帽校准X方向的调节旋钮，这点的螺钉用在板上是为了保护X方向调节旋钮的位置。

当白影没有均匀显示时，微调BSED尖端X/Y方向的安装位置。（X方向调旋钮，Y方向调螺丝钉）

松开X方向调节螺丝钉的螺帽，通过X方向调节旋钮微调X方向的位置。在微调后，通过适用于板的螺丝钉的螺帽固定X方向调节螺丝钉，松开两个Y方向的调节螺丝钉，在Y方向调节它，同时用手托住BSE的机械部分。在调节后再次拧紧Y方向的调节螺

丝钉。

2.调节在PDAMP2 PCB(主要放大器)上的VR(可变电阻)

（1）每个通路的偏移调节

概述

为A-E的每个BSED装置调节所有放大电路的偏移量。改变每个通路组件的（+,－,OFF）

设置，然后以OFF设置为参考来调节，以便于信号波形反向颠倒。调节器具有五个可

变电阻（VR1-VR5）。PDAMP2 PCB安装在主机体正前方的右边。（见Fig.1）

调节步骤：

1）选择BSED图像[BSE Gain 选择3（standard）]，并显示图像。

观察条件：HV:30KV；Probe current:50；movable aperture:3；WD:5mm；放大倍率：1000 显示一段波形（选择波形显示模式）

2）执行A通路的偏移调节。

2-1）在DETECTOR界面选BSE时，按下“Detail”钮，OFF掉A-E的所有组件。

2-2）调节VR1使A通路的偏移量达到最小。（见Fig.3）

具体来说，用BSE对话框来调整，以便于使当仅A通路被分别设置为（+）和（－）时，信号波形被反向颠倒。（Fig.4说明的是正确的例子，Fig.5说明的是错误的例子）

(VR可变电阻的操作)调节器的VR调节波形取决于旋转方向，如同Fig.6所示。

Fig.6 VR旋转方向和信号波形间的关系

在OFF设置期间，以一个适当的光标（以图形方式显示的水平线）调整亮度，然后在（+）和（－）设置下核对波形，以便于调节。当标记区域( + 字号)被显示时，亮度也

可以用线显示（以图形方式显示水平线：亮度的中心点）被校正。（由Utility表内框选area maker以显示+ 字号。）

2-3）用VR2(B通路)-VR5（E通路）以同样方式执行偏移量的调节。

（2）对比度调节IC的0V补偿。

概述

由于对比度调节器IC(AD835)的偏移量电压高，当对比度设为0或对比度过高而亮度显得过低时，黑和白可能会发生反转：这个调节能防止这种现象。

三个调节可变电阻VRs(VR6,VR7,VR8)被用于这种补偿。

1．VR6 X 调节

目的：补偿AD835的（X）输入端的偏移量，以使得对比度设为0时，BSE图像不会反转。

步骤：

1）BSE Gain 选3（standard），选择COMP模式的图像[BSE图像：（+）A-D，（OFF）E]，设置适当的灯丝电流并显示图像。同时，选择较高的探针电流模式，可移动接物孔片选择1号或2号孔，最大限度的得到更多信号。然后显示波形（设置波形显示模式）。2）设置对比度为0，然后调节VR6使TP8(BSED:IC40-5)或信号波形变平。

2．VR8 Z 调节

目的：补偿AD835的（Z）输入端的偏移量，以使得对比度较高时，BSE图像亮度变化减至最低。

步骤：1）调节1-2）后，再调节VR8使TP8(BSED:IC40-5)的电压为0V。

3．VR7 Y 调节

目的：补偿AD835的（Y）输入端的偏移量，以使得对比度较高时，BSE图像亮度变化减至最低。

步骤：1）在上面的2-1）后，设置灯丝电流为0，对比度为最大值（4095）。调节VR7，使TP8(BSED:IC40-5)为最小值（理想值为0V）。