水煤浆技术发展现状及其新进展
光刻技术
职大09微电子 光刻技术 摘要：光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺，在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜内的孔或是残留的岛状部分。 关键词：光刻胶；曝光；烘焙；显影；前景 Abstract: photoetching lithography (is) through a series of steps will produce wafer surface film of certain parts of the process, remove after this, wafer surface will stay with the film structure. The part can be eliminated within the aperture shape is thin film or residual island. Keywords: the photoresist, Exposure; Bake; Enhancement; prospects
目录 第一章绪论 (2) 第二章光刻技术的原理 (3) 第三章光刻技术的工艺过程 (4) 1基本光刻工艺流程—从表面准备到曝光 (4) 1.1光刻十步法 (4) 1.2基本的光刻胶化学物理属性 (4) 1.2.1组成 (4) 1.2.2光刻胶的表现要素 (4) 1.2.3正胶和负胶的比较 (5) 1.2.4光刻胶的物理属性 (5) 1.3光刻工艺剖析 (5) 1.3.1表面准备 (5) 1.3.2涂光刻胶 (5) 1.3.3软烘焙 (6) 1.3.4对准和曝光（A&E） (6) 2基本光刻工艺流程—从曝光到最终检验 (6) 2.1显影 (6) 2.1.1负光刻胶显影 (6) 2.1.2正光刻胶显影 (7) 2.1.3湿法显影 (7) 2.1.4干法（或等离子）显影 (7) 2.2硬烘焙 (7) 2.3显影检验（develop inspect DI） (7) 2.3.1检验方法 (8) 2.3.2显影检验拒收的原因 (8) 2.4刻蚀 (8) 2.4.1湿法刻蚀 (8) 2.4.2干法刻蚀（dry etching） (9) 2.5光刻胶的去除 (10) 2.6最终目检 (10) 第四章光刻技术的发展与现状 (11) 1 .EUV 光刻技术 (11) 2 .PREVAIL 光刻技术 (12) 3.纳米压印光刻技术 (12) 4.展望 (14) 参考文献15
集成电路的现状与发展趋势
集成电路的现状与发展趋势 1、国内外技术现状及发展趋势 目前，以集成电路为核心的电子信息产业超过了以汽车、石油、钢铁为代表的传统工业成为第一大产业，成为改造和拉动传统产业迈向数字时代的强大引擎和雄厚基石。1999年全球集成电路的销售额为1250亿美元，而以集成电路为核心的电子信息产业的世界贸易总额约占世界GNP的3%，现代经济发展的数据表明，每l~2元的集成电路产值，带动了10元左右电子工业产值的形成，进而带动了100元GDP的增长。目前，发达国家国民经济总产值增长部分的65%与集成电路相关；美国国防预算中的电子含量已占据了半壁江山（2001年为43.6%）。预计未来10年内，世界集成电路销售额将以年平均15%的速度增长，2010年将达到6000~8000亿美元。作为当今世界经济竞争的焦点，拥有自主版权的集成电路已曰益成为经济发展的命脉、社会进步的基础、国际竞争的筹码和国家安全的保障。 集成电路的集成度和产品性能每18个月增加一倍。据专家预测，今后20年左右，集成电路技术及其产品仍将遵循这一规律发展。集成电路最重要的生产过程包括：开发EDA（电子设计自动化）工具，利用EDA进行集成电路设计，根据设计结果在硅圆片上加工芯片（主要流程为薄膜制造、曝光和刻蚀），对加工完毕的芯片进行测试，为芯片进行封装，最后经应用开发将其装备到整机系统上与最终消费者见面。 20世纪80年代中期我国集成电路的加工水平为5微米，其后，经历了3、1、0.8、0.5、0.35微米的发展，目前达到了0.18 微米的水平，而当前国际水平为0.09微米（90纳米），我国与之相差约为2-3代。 （1）设计工具与设计方法。随着集成电路复杂程度的不断提高，单个芯片容纳器件的数量急剧增加，其设计工具也由最初的手工绘制转为计算机辅助设计（CAD），相应的设计工具根据市场需求迅速发展，出现了专门的EDA工具供应商。目前，EDA主要市场份额为美国的Cadence、Synopsys和Mentor等少数企业所垄断。中国华大集成电路设计中心是国内唯一一家EDA开发和产品供应商。 由于整机系统不断向轻、薄、小的方向发展，集成电路结构也由简单功能转向具备更多和更为复杂的功能，如彩电由5片机到3片机直到现在的单片机，手机用集成电路也经历了由多片到单片的变化。目前，SoC作为系统级集成电路，能在单一硅芯片上实现信号采集、转换、存储、处理和I/O等功能，将数字电路、存储器、MPU、MCU、DSP等集成在一块芯片上实现一个完整系统的功能。它的制造主要涉及深亚微米技术，特殊电路的工艺兼容技术，设计方法的研究，嵌入式IP核设计技术，测试策略和可测性技术，软硬件协同设计技术和安全保密技术。SoC以IP复用为基础，把已有优化的子系统甚至系统级模块纳入到新的系统设计之中，实现了集成电路设计能力的第4次飞跃。
2019年我国城市燃气行业发展研究
2019年我国城市燃气行业发展研究 （一）城市燃气行业概况 1、城市燃气的主要种类 城市燃气（包括民用、商业和工业燃气等）是由几种气体组成的混合气体，目前主要使用的城市燃气种类包括天然气（NG）、液化石油气（LPG）和人工燃气（MG）。 天然气是理想的城市气源，由于开采、储运和使用既经济又方便，天然气在全球的应用非常广泛。液化石油气是一种化工基本原料和新型燃料，在化工生产方面，其用来生产合成塑料、合成橡胶、合成纤维及生产医药、炸药、染料等产品。人工燃气是指以固体或液体可燃物为原料经各种热加工制得的可燃气体，主要作为民用燃料使用。发行人经营的燃气品种为天然气。
2、全球城市燃气行业发展概况 由于全球资源分布的不均衡性和世界经济发展地区性差异，各个国家和地区 天然气消费水平存在明显的不同，城市燃气发展水平存在明显差异。发达国家是 天然气的主要消费者，城市燃气的普及率较高。 3、我国城市燃气行业发展概况 作为城市基础设施的重要组成部分，城市燃气的发展对城市现代化具有极其 重要的作用。提高城市燃气化水平，对于提高城市居民生活质量、改善城市环境、 提高能源利用率，具有十分重要的意义。目前我国城市燃气已经从原先以人工燃 气为主、天然气和液化石油气为辅全部转向了优先采用天然气的发展格局。 根据《天然气发展“十三五”规划》，“十三五”期间，我国城镇化率目标 为60%。城镇化率每提高一个百分点，每年将增加相当于8,000万吨标煤的能源消费量。当前我国城镇化水平仍然偏低，新型城镇化对高效清洁天然气的需求将 不断增长，加快推进新型城镇化建设必将进一步促进天然气利用。
（二）天然气行业概况 天然气是一种多组分的混合气态化石燃料，主要成分是烷烃，其中甲烷占绝 大多数。它主要存在于气田、油田、煤层和页岩层。天然气燃烧后无废渣、废水 产生，相较煤炭、石油等能源有热值高、洁净等优势。 作为一种清洁高效的化石能源，天然气是低碳经济的代表，是化石能源向新 能源过渡的桥梁。随着近几十年天然气消费量的大幅度增长，天然气领域内的投 入、储运、产量和贸易量也呈快速增长态势，天然气在世界能源多元化过程中发 挥越来越重要的作用。按现有发展速度推测，2020 年以后世界天然气产量将超过煤炭和石油，天然气将成为能源消费主力，21 世纪将迎来“天然气的时代”。 1、全球天然气行业概况 （1）全球天然气资源概况 上世纪70 年代以来，随着勘探技术的突破、新气田的发现以及深海勘探开 发技术水平的提高，全球天然气探明储量持续增加。截至2018 年年底，全球天然气探明储量为196.9 万亿立方米，储产比为50.9。其中：伊朗、俄罗斯、卡塔
国防焊接技术研究应用现状与发展
焊 接是应用最广泛、最重要的材料永久连接方法。它涉及能源、冶金、 材料、电子、力学等学科，应用范 围覆盖钢铁材料及铝、镁、铜、钛等有色金属和金属基复合材料，焊接工艺方法从传统的电弧焊发展到先进的激光束流焊及搅拌摩擦焊等精密和清洁焊接方法，生产方式由手工操作发展到机器人自动化焊接生产，工艺管理模式由落后的工艺卡方式上升到工艺数据库和专家系统管理，是现代武器装备制造工程中不可或缺的关键技术。 1 “十五”以来，我国国防焊接技术取得长足进步 围绕武器装备发展和载人航天等重大科技专项的需求，针对大型厚壁／薄壁构件、薄壁复杂构件焊接制造的瓶颈问题，在国防基础科研、总装预研等计划的支持下，先进焊接工艺、质量检测与控制、自动化系统集成等多项关键技术获得突破，形成了一系列应用于型号研制和生产的工艺与装备成果。主要体现在以下几个方面： 1.1 搅拌摩擦焊工艺与装备技术研究与应用发展迅速 搅拌摩擦焊技术是近年来国际上发展较快的技术之一，是一种低温连接方法，具备对被焊材料损伤小、焊接变形低、焊缝强度高和绿色制造特点，被誉为“当代最具革命性的焊接技术”。国外开始将该技术应用于航空航天的产品制造中，最具代表性的是欧盟的阿里亚娜火箭、美国的德尔塔和宇宙神火箭等。国内以 国防焊接技术 研究应用现状与发展 国防科技工业焊接自动化技术研究应用中心 陈彦宾 北京航空制造工程研究所为主，重点开展系列 铝合金焊接工艺、组织控制、断裂机制等基础工艺研究工作，为加快工艺成熟和推广奠定了扎实的基础，装备国产化的步伐迅速，研制出 数十套用于研究和生产的装备。 航天科技集团一院首都航天机械公司首次在用于运载火箭燃料贮箱纵缝中采用了搅拌摩擦焊技术，标志着搅拌摩擦焊技术在我国的运载火箭燃料贮箱制造上进入了工程应用阶段，大大地提升了我国运载火箭关键结构的制造技 术水平和能力。搅拌摩擦焊技术在航天、电子及船舶行业有了新进展，已经研制成功厚壁铝合金和船舶铝合金壁板的专用焊接设备，初步形成了面向华东地区，服务于航天、电子、船舶等行业的研究推广平台。 1.2 激光焊接技术军工应用实现突破 激光焊接具有可焊各种金属材料、焊接速度快（是传统弧焊的几倍，甚至是几十倍）、焊缝深宽比大（最大达12:1）、焊接变形小、 陈彦宾 1962年生，哈尔滨工业大学教授，国防科技工业焊接自动化技术研究应用中心主任，主要从事激光材料加工基础与工程、焊接自动化系统集成技术等方向的基础与应用研究，发表论文一百余篇、专著一部，省部级奖励两项。现任中国焊接学会常务理事，热切割专业委员会主任；高能束流焊接专业委员会委员；中国光学学会激光加工专业委员会委员；国防基础科研工艺与装备技术领域专家，航天科工集团第二研究院工艺专家。
电子信息产业发展的现状及应对方法
电子信息产业发展的现状及应对方法 我国电子信息产业初步形成了珠三角、长三角和环渤海为主的成熟区域。本文主要探讨了我国电子信息产业的区域发展现状，并提出了相关问题解决对策。 前言 信息产业不仅在各种经济领域中有广泛的应用，同时在国防也有其更重要的应用。这不仅关系到国家的经济利益，而且也直接关系到国家的国防与主权，尤其是在奉行实力政策的国际舞台上，这就显得尤为重要。因此，加大对信息产业开发的投入不仅是经济上的利益问题，同时对国家的主权以及人民的尊严都有着深远的意义。 一、我国电子信息产业发展现状 1.东莞、长江三角洲、天津电子信息产业集群模式三地发展模式特点在我国珠江三角洲、长江三角洲、环渤海湾地区电子信息产业集群的形成有很强的外资直接投资推动、政府间接培育、中央政策鼓励大量引进外资，地方政府建立经济技术开发区、高新技术产业园区，利用各种优惠政策吸引外资的特点。但不同区域由于地方发展历史的不同，具有不同的发展轨迹，呈现出较有代表性的三种模式。东莞卫星平台式集群模式。其特点：发展基础来自对国际产业转移的承接，“台湾接单（含研发和运筹），东莞生产，香港出口。最大的特点是，在更大范围、更大规模上，更低成本地嫁接了台湾IT产业发展的模式，即透过企业间十分发达的网络化联系实现灵活的生产协作，大中小企业合作，上下游联动，形成了典型的卫星平台式集群结构。长江三角洲大、中企业聚集模式。起步于20世纪90年代中期，成型于21世纪初，起步晚，但起点高，并以大中企业的聚集为主。发展机制可归结为台湾产业界与电子信息业世界著名跨国公司战略布局互动的结果。产业群的发展趋势是，大型跨国公司逐渐成为集群的核心。特点是价值链分工以若干个大企业为核心，新企业的衍生多为基于这些大企业的纵向衍生，同时也伴有少量横向衍生的模式。集群中辅助性企业都以这些大企业为核心进行衍生，在企业之间以市场交易的方式配置资源，在核心大企业之外存在大量辅助性企业，它们大多与某一大企业建立长期合作关系，成为其外围。天津：单核状集群模式。天津信息产业集群形成的直接动力是来自美、日、韩的跨国公司，产业群成长的根本动力是建立在供给与需求机制上的跨国公司与当地国有企业之间产业链的融合。产业群的形成使得天津信息产业的发展速度明显快于其他产业，并成为天津市的主导产业。天津的电子信息产业群呈现出明显的单核状结构特征。产业群的单核企业为大型跨国公司。 2.三地发展模式之比较 东莞集群模式：台湾接单（含研发和运筹），东莞生产，香港出口。典型的卫星平台式集群结构，该模式地方根植性不足，企业容易发生区位转移，有产业“空洞化”风险。长江三角洲集群模式：发展机制可归结为台湾产业界f包括资金、企业家和技术等）与电子信息业世界著名跨国公司战略布局互动的结果。大型跨国公司成为产业集群形成的核心力量。起步晚但起点高，是一种大、中企业的聚集型的集群发展模式。天津集群模式：群集形成的根本动力是建立在供给与需求机制上的跨国公司与当地国有企业之间产业链的融合。大企业从非核心业务中退出，给本地中小企业留出了发展空间，呈现出明显的“单核状结构特征。 二、我国电子信息产业发展中存在的问题 1.产业规模效应明显不足 我国电子信息产业类企业总体规模相对偏小，产业的规模效应明显不足。缺乏重大产业项目支撑，与发达国家相比差距明显，缺乏国际竞争力，很多应用领域还没有形成良好的商业模式或完整的产业链，市场化程度不高，在国际、国内影响力有限。 2.产业发展联动效应较弱 传统产业与电子信息产业互动性较弱，未形成明显的相互促进作用。信息化与电子信息产业的互动发展有待深化，信息化的推进没有成为电子信息产业聚集发展的需求和市场基
光刻技术及其应用的状况和未来发展
光刻技术及其应用的状况和未来发展 光刻技术及其应用的状况和未来发展1 引言 光刻技术作为半导体及其相关产业发展和进步的关键技术之一，一方面在过去的几十年中发挥了重大作用；另一方面，随着光刻技术在应用中技术问题的增多、用户对应用本身需求的提高和光刻技术进步滞后于其他技术的进步凸显等等，寻找解决技术障碍的新方案、寻找COO更加低的技术和找到下一俩代可行的技术路径，去支持产业的进步也显得非常紧迫，备受人们的关注。就像ITRS对未来技术路径的修订一样，上世纪基本上3～5年修正一次，而进入本世纪后，基本上每年都有修正和新的版本出现，这充分说明了光刻技术的重要性和对产业进步的影响。如图1所示，是基于2005年ITRS对未来几种可能光刻技术方案的预测。也正是基于这一点，新一轮技术和市场的竞争正在如火如荼的展开，大量的研发和开发资金投入到了这场竞赛中。因此，正确把握光刻技术发展的主流十分重要，不仅可以节省时间和金钱，同时可以缩短和用户使用之间的周期、缩短开发投入的回报时间，因为光刻技术开发的投入比较庞大。 2 光刻技术的纷争及其应用状况 众说周知，电子产业发展的主流和不可阻挡的趋势是"轻、薄、短、小"，这给光刻技术提出的技术方向是不断提高其分辨率，即提高可以完成转印图形或者加工图形的最小间距或者宽度，以满足产业发展的需求；另一方面，光刻工艺在整个工艺过程中的多次性使得光刻技术的稳定性、可靠性和工艺成品率对产品的质量、良率和成本有着重要的影响，这也要求光刻技术在满足技术需求的前提下，具有较低的COO和COC。因此，光刻技术的纷争主要是厂家可以提供给用户什么样分辨率和产能的设备及其相关的技术。 以Photons为光源的光刻技术 2.1 以Photons为光源的光刻技术 在光刻技术的研究和开发中，以光子为基础的光刻技术种类很多，但产业化前景较好的主要是紫外(UV)光刻技术、深紫外(DUV)光刻技术、极紫外(EUV)光刻技术和X射线(X-ray)光刻技术。不但取得了很大成就，而且是目前产业中使用最多的技术，特别是前两种技术，在半导体工业的进步中，起到了重要作用。 紫外光刻技术是以高压和超高压汞(Hg)或者汞-氙(Hg-Xe)弧灯在近紫外(350～450nm)的3条光强很强的光谱(g、h、i线)线，特别是波长为365nm的i线为光源，配合使用像离轴照明技术(OAI)、移相掩模技术(PSM)、光学接近矫正技术(OPC)等等，可为0.35～0.25μm的大生产提供成熟的技术支持和设备保障，在目前任何一家FAB中，此类设备和技术会占整个光刻技术至少50％的份额；同时，还覆盖了低端和特殊领域对光刻技术的要求。光学系统的结构方面，有全反射式(Catoptrics)投影光学系统、折反射式(Catadioptrics)系统和折射式(Dioptrics)系统等，如图2所示。主要供应商是众所周知的ASML、NIKON、CANON、ULTRATECH 和SUSS MICROTECH等等。系统的类型方面，ASML以提供前工程的l:4步进扫描系统为主，分辨率覆盖0.5～0.25μm：NIKON以提供前工程的1：5步进重复系统和LCD的1：1步进重复系统为主，分辨率覆盖0.8～0.35μm和2～0.8μm；CANON以提供前工程的1：4步进重复系统和LCD的1：1步进重复系统为主，分辨率也覆盖0.8～0.35μm和1～0.8μm；ULTRATECH以提供低端前工程的1：5步进重复系统和特殊用途(先进封装／MEMS／，薄膜磁头等等)的1：1步进重复系统为主；而SUSS MICTOTECH以提供低端前工程的l：1接触／接近式系统和特殊用途(先进封装／MEMS／HDI等等)的1：1接触／接近式系为主。另外，在这个领域的系统供应商还有USHlO、TAMARACK和EV Group等。 深紫外技术
中国城市燃气事业现状及发展前景
中国城市燃气事业现状及发展前景 我所代表的中国都市煤气协会是在建设部领导下，由都市燃气企业(包括天然气、液化石油气、人工煤气)、燃气设备制造企业、相关大专院校、科研设计单位组成的社会团体，现有会员1400多个。目前在中国大陆地区的三十二个省级行政区内，已有29个省级燃气协会(除西藏、甘肃、香港)成为中国都市煤气协会的团体会员，并在各自区域内开展活动。中煤协1988年5月成立以来，为中国燃气事业进展做出了各种努力，各工作机构组织和参与了许多专业性、技术性的会议，包括国际会议、国际展览会等，促进了中国燃气界和世界燃气界交流和合作，较好地发挥了政府与企业、企业与企业之间的桥梁和纽带作用。中煤协期望着加强与国际国内同行的联系，共同为燃气事业的进展做出新的努力。 借此机会，我们向大会介绍我们对中国都市燃气事业的现状及进展前景的认识。 一、中国燃气事业进展的历史及现状中国是一个大国，人口众多，各地区经济进展和资源条件极不平稳。东、西、南、北、沿海与内地均有专门大的差距，因而造成了中国都市燃气事业起步早，进展晚的状况。中国于公元三世纪在四州就有用竹子做管道输送天然气用于制盐业的记载，做为都市燃气，则从1865年由英商在上海建水平炉生产煤气用于照明设立了最早的煤气公司开始，但进展极为缓慢。到1949年，全国只有上海、大连、沈阳、鞍山、抚顺、长春、锦州、哈尔滨、丹东九个都市有煤制气。 新中国成立以后，燃气事业有了较大的进展。五十年代燃气进展要紧是改造和兴建小焦炉和利用冶金工业的焦炉余气。六十年代初，四川、东北、华北等地区先后供应部分天然气，随着石油工业的进展，大中都市以LPG和开发重油制气技术为气源。七十年代，由于LPG和天然气受资源和政策限制仅略有进展，较多的依旧建设以煤和石油产品为原料的煤气厂。八十年代，国内LPG的供应量逐步增加，做为优质民用燃料进入千家万户。九十年代，由于大量进口国外的LPG和天然气的开采利用使中国都市燃气事业得到了专门大进展，并己成为都市建设的重要基础设施和现代化都市的重要标志。 依照建设部统计公报，到1997年底，全国共有都市668个。非农业人口1．95亿人中，已有1．47亿人用上了各种燃气，普及率达到了75．71％。在燃气构成中，人工煤气呈下降趋势，天然气和LPG呈增加趋势。那个地点需要说明的是目前多种气源供应，是中国都市燃气进展的特点。相当长一段时刻，中国的都市燃气的进展遵循着“多种气源，多种用途，因地制宜，合理利用资源”的方针。到目前气源资源依然是煤、石油(轻油或重油)、天然气和LPG，由于能源价格逐步向国际价靠拢，因而产生了各种能源资源(包括电力在内)的替代关系，中国在由打算经济向市场经济的转变中，使燃气的决策和进展变得更加复杂和困难。煤炭是中国制气的要紧原料，煤炭价格上涨使煤制气企业连年处于亏损状态，产生了与国际上煤制气衰落的相同情形。近几年来，中国液化石油气用户进展专门快，这是因为LPG工程具有投资省、建设快、少污染等优点，加之国内LPG生产量不断增长，沿海地区又能够国际价进口LPG，对都市燃气事业起到了良好的推动作用，也使LPG成为进展都市燃气的一种可替代能源。并由此形成了一个经济比较的对比指标。即凡燃气价格低于LPG项目工程应是可取的。凡高于LPG工程项目的是不可取的。这也是市场经济条件下进展中国燃气事业的一个重大进步，为向国际接轨迈近了一步。因此LPG工程的缺点也应考虑。国际上价格最低的是天然气，但进口LNC受经济规模限制，达到一定的规模后才有经济价值，因登陆后要配之以管道运输，投资较大，通常差不多上结合发电和地区性的环保要求来进行论证，这也是LPG因此成为过渡性气源的要紧缘故。近几年来天然气作为都市气源进展较快，是应该优先使用的一种都市燃气气源，但天然气气源在中国分布不均，由于资源相对分散，大部分就地使用。远距离输送要做到发达国家国内联网、国际联网还有待我国综合国力以及天然气资源的进展规模来定。目前，中国的天然气作都市气源己达到本世纪
铆接技术原理与工艺特点
关于铆接技术 一、 铆接技术原理与工艺特点 常见的铆接技术分为冷铆接和热铆接，冷铆接是用铆杆对铆钉局部加压，并绕中心连续摆动或者铆钉受力膨胀，直到铆钉成形的铆接方法。冷铆常见的有摆碾铆接法及径向铆接法。摆碾铆接法较易理解，该铆头仅沿着圆周方向摆动碾压。 而径向铆接原理较为复杂，它的铆头运动轨迹是梅花状或者说是以圆为中心向外扩展的，铆头每次都通过铆钉中心点。冷铆接最常见的铆接工具有铆接机，压铆机，铆钉枪和铆螺母枪，铆钉枪和铆螺母枪是最常见单面冷铆接所用的工具。这是冷铆接工艺中最具代表性的冷铆接方法，因为使用方便，也只需在工件的一侧进行铆接，相对双面铆接的铆钉锤来说更方便。 就两种铆接法比较而言，径向铆接面所铆零件的质量较好，效率略高，并且铆接更为稳定，铆件无须夹持，即使铆钉中心相对主轴中心略有偏移也能顺利完成铆接工作。而摆碾铆接机必须将工件准确定位，最好夹持铆件。然而径向铆接机因结构复杂，造价高，维修不方便，非特殊场合一般不采用。相反地，摆碾铆接机结构简单，成本低，维修方便，可靠性好，能够满足90％以上零件的铆接要求，因而受到从多人士的亲睐。此外，利用摆碾铆接的原理，还可以制造适宜于多点铆接的多头铆接机，在现代工业生产中有其独特的优势。 热铆接是将铆钉加热到一定温度后进行的铆接。由于加热后铆钉的塑性提高、硬度降低，钉头成型容易，所以热铆时所需的外力比冷铆要小的多；另外，在铆钉冷却过程中，钉杆长度方向的收缩会增加板料间的正压力，当板料受力后可产生更大的摩擦阻力，提高了铆接强度。热铆常用在铆钉材质塑性较差、铆钉直径较大或铆力不足的情况下。
冷铆接法是以连续的局部变形便铆钉成形，其所施压力离铆钉中心越远越大，这恰恰符合材料变形的自然规律。因此，采用冷铆接技术所需设备小，节省费用。能提高铆钉的承载能力，强度高于传统铆接的80%。铆钉材料具有特别好的形变性能，铆杆不会出现质量问题，寿命较高，同时，只要改变铆头（不同的接杆和不同的铆接配件铆螺母铆钉等）的形状，就可以铆接多种形状。 二、 按工作方式分，铆接可分为手工铆接和自动钻铆。手工铆接由于受工人熟练程度和体力等因素的限制，难以保证稳定的高质量连接。而自动钻铆是航空航天制造领域应自动化装配需要而发展起来的一项先进制造技术。自动钻铆技术即利用其代替手工，自动完成钻孔、送钉及铆接等工序，是集电气、液压、气动、自动控制为一体的，在装配过程中不仅可以实现组件溅部件)的自动定位，同时还可以一次完成夹紧、钻孔、送钉、铆接／安装等一系列工作。它可以代替传统的手工铆接技术，提高生产速率、保证质量稳定、大大减少人为因素造成的缺陷。随着我国航空航天产业在性能、水平等方面的不断提高，在铆接装配中发展、应用自动钻铆技术，己经势在必行。具体原因如下： (1)自动钻铆技术减少操作时间。 ①减少成孔次数，一次钻孔完成； ②自动夹紧，消除了结构件之间的毛刺，节约了分解、去毛刺和重新安装工序； ③制孔后在孔边缘的毛刺可以得到控制： ④送钉、定位、铆接。 (2)自动钻铆机提高制孔质量。 ①制孔孔径公差控制在士0．015mm之内； ②内孔表面粗糙度最低为Ra3．2urn； ③制孔垂直度在士0．50以内； ④制孔时结构件之间无毛刺，背部毛刺控制在0．12ram之内； ⑤孔壁无裂纹。 (3)与手工铆接相比，在成本上有大幅度降低，通过比较人工与自动钻铆机安装相同数量的紧固件，所耗费的工时上，可以看出，对于大量同种类的紧固件的安装，自动钻铆机可以节约的工时成倍数增长。
电子信息产业发展现状和趋势
电子信息产业发展现状和趋势 发表时间：2017-11-01T10:41:21.157Z 来源：《基层建设》2017年第21期作者：邱彪 [导读] 摘要：我国是电子信息产业大国，目前我国电子信息产业规模已位列世界第二。我国电子信息产业较欧美的国家相比起步晚、起点低 电子科技大学广东电子信息工程研究院广东东莞 523000 摘要：我国是电子信息产业大国，目前我国电子信息产业规模已位列世界第二。我国电子信息产业较欧美的国家相比起步晚、起点低，虽然在产业规模上已成为电子信息产业大国，但是由于技术的差距，还是存在着诸多的问题。为了贯彻落实党的群众路线教育活动和十八届四中全会精神，提升电子信息产业结构调整与加快改革，实现由电子信息产业大国向电子信息产业强国转型，针对电子信息产业发展现状和现存问题，笔者提出了几点电子信息产业发展的探索性建议。 关键词：电子信息；产业发展；现状和趋势 1导言 近年来，随着社会的发展，科技的进步，电子信息产业在全球发展趋势迅猛，我国的电子信息产业发展速度不断加快，得到了突破性的进展，可以说，我国的电子信息产业的发展前景是明朗的，是乐观的，但是我国的电子信息产业与发达国家相比还是有很大的差距，我国的电子信息产业的发展是迅猛的，但也是不成熟的、不稳定的，总而言之，我国的电子信息产业还存在着许多的问题，是需要我们及时发现并解决的。 2电子信息技术的深刻内涵 现代社会中电子信息技术的发展在企业乃至国家的发展中都起着至关重要的作用。所谓电子信息技术指的是获取、传输、存储、处理、分析信息，并对其进行管理、规范、整合的技术，其主要内容包括计算机技术、通信技术、光纤技术以及与计算机有关的语言和游戏及其他应用方面的技术。简言之，电子信息技术就是依靠计算机以及通信技术来获取信息，对其进行加工，经过分析，得以存储、交换和传输，进而为其他设备提供信息服务。其主要特征是高效快捷化、智能集成化、网络数字化，当今计算机一个很重要的发展方向就是向智能化迈进，其主要表现为计算机技术对人类思维以及行动的模仿，进而能够像人脑一样综合处理信息，进行集成化分析。电子信息技术的高效快捷化在当今社会已经深入人心，人们足不出户便可与外界进行沟通交流，现在甚至只有拥有一台多媒体设备和网络便可达到任何想要的，电子信息技术极大地方便了人们生活。电子信息技术数字化的信息存储能力以及高效的信息处理能力，使其越来越应用于社会的每个阶层。数字化网络数字化则主要体现在信息资源的共享与交流上。 3我国电子信息技术的发展现状 我国的电子信息技术起步于二十世纪中期，近年来随着科学技术的不断发展，电子信息技术日新月异，我国在电子信息技术方面也有了明显进步，应用范围明显增加，在国际范围内具有了一定的影响力。我国电子信息技术产业主要经过了四次阶段性的转型，树立了强大的产业动力，产品结构方面发生了较大的变化，技术与开发水平有了明显提高，产品出口额有了明显增加，基本上实现在满足我国部分电子信息市场需求的基础上，走出国门的愿景。 3.1环境资源匮乏 环境资源匮乏是限制我国电子信息技术发展的一个重要问题，目前而言我国电子信息产业混乱，假冒伪劣、知识侵权现象猖獗，盗版产品走私贩卖以及企业间的不良竞争的现象屡见不鲜，这些均严重危害了我国信息产业的发展，使得我国电子信息技术研发缓慢，这在很大程度上降低了我国电子信息技术在国际市场的竞争力，遏制了我国电子信息技术的发展潜力。除了产业内部环境存在很大问题，我国法律对电子信息技术的保护力量薄弱也是很大原因造成盗版猖獗的一个原因，因为缺乏保护使得电子信息技术的科研成果很容易被不法分子窃取，科研工作者呕心沥血研究而得新技术在随后的盗版中被大量侵占，很大程度上降低了科研工作者的信心，再加上国内市场电子产品的走私、贩卖现象猖獗，导致国内电子信息技术开发企业缺乏竞争优势。所以缺乏有效严格的法律环境也是我国致使我国电子信息技术问题频发的又一原因。 3.2电子信息技术产业结构不合理 我国电子信息技术产业起步于20世纪80年代的“863”计划，经过30多年的发展，产业规模迅速扩大，但也因为产业界限模糊，使得产业结构问题凸显，技术创新体系并不明显，使得我国的电子产品不能与国外顶尖电子产品相提并论。产业结构不合理，投入产出差距明显，使得我国电子信息技术产业创新力薄弱，所以只有改变传统产业结构，重构科学合理的产业结构，才能改变目前我国进步缓慢的电子信息产业的现状。 3.3科研能力不足、从业人员素质不高 作为以技术为首要驱动力的电子信息产业，科研能力的强弱决定了技术进步快慢，而产业内从业人员的素质又在很大程度上决定了技术创新能力的强弱。随着我国教育普及程度的增加，不可否认的是，我国信息技术方面的人才不少，可以说还在不断增加中，各方面的技术人员也很完备，但是很多人才都是单一型，他们或许是某一方面可以登峰造极，但是却缺乏其他方面的知识储备，甚至可以说毫无了解。现在社会越来越需要复合型人才，而我国电子信息产业方面更需要这方面的复合型人才，也正是因为人才的缺乏，也严重的制约了电子信息技术的创新，目前我国仍有许多技术需要购买国外的先进专利，这种强依赖性，也是因为复合型人才的严重欠缺。 4电子信息产业的发展趋势 4.1我国对于电子信息产业的支持力度不断增大 科学技术是第一生产力，我国对于科学技术的重视程度是很强的，国家对于科研人才的培养是十分用心的，因此，近些年来，我国已经涌现出了一大批科学技术人才。另外，国家对于这方面的资金投入也是在不断增加的，例如，在2009年我国政府投资了接近4万亿元人民币于市场中，用于扩大内需，而且中央也出台了一系列的政策，让货币政策更加宽松，从而为电子信息产业创设出良好的发展黄精，更加有利于融资。另外，我国已经多次提高了出口退税率，这些方案和政策所面对的大多是机电产品，对于缓解企业的资金链紧张有重要帮助。 4.2电子信息产业的国际化趋势更加明显了 这是一个十分重要的发展趋势，近些年来，世界上的国家联系越来越紧密，这不但包括人文上的交流，更包括经济上的交流，经济一
激光光刻技术的研究与发展
第41卷第5期红外与激光工程2012年5月Vol.41No.5Infrared and Laser Engineering May.2012 激光光刻技术的研究与发展 邓常猛1,2，耿永友1，吴谊群1,3 (1.中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料重点实验室，上海201800； 2.中国科学院研究生院，北京100049； 3.功能无机材料化学省部共建教育部重点实验室(黑龙江大学)，黑龙江哈尔滨150080) 摘要：光刻技术作为制备半导体器件的关键技术之一将制约着半导体行业的发展和半导体器件的性能。随着半导体工业的发展，集成电路的特征尺寸越来越小，光刻技术将面临新的挑战。分析了激光光刻技术，包括投影式光刻和激光无掩膜光刻技术的研究现状，着重介绍了极紫外光刻(EUVL)作为下一代光刻技术的发展前景和技术难点、激光无掩膜光刻技术的发展，特别是激光近场扫描光刻、激光干涉光刻、激光非线性光刻等新技术的最新进展及其在高分辨率纳米加工领域的应用前景。 关键词：投影式光刻；无掩膜光刻；发展趋势 中图分类号：TN305.7文献标志码：A文章编号：1007-2276(2012)05-1223-09 Research development of laser lithography technology Deng Changmeng1,2,Geng Yongyou1,Wu Yiqun1,3 (1.Key Laboratory of Material Science and Technology for High Power Lasers,Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai201800,China;2.Graduate University of the Chinese Academy of Sciences,Beijing100049,China;3.Key Laboratory of Functional Inorganic Material Chemistry(Heilongjiang University), Ministry of Education,Harbin150080,China) Abstract:Lithography technology,as one of the key technologies in the manufacture of semiconductor devices,has played an important role in the development of semiconductor industry.As the critical dimension of integrated circuit is decreased to smaller and smaller,lithography technology will face new challenges.In this review,the progress and status on laser lithography were presented,including projection lithography and laser maskless lithography.The foreground and technology challenges of extreme ultraviolet lithography(EUVL),which was considered to be the next generation lithography,were analyzed.The progress and application prospect in high-resolution nano lithography patterning of laser maskless lithography,especially of near-field scanning optical microscopy,laser interference and nonlinearity lithography etc,were discussed. Key words:projection lithography;maskless lithography;development trend 收稿日期：2011-09-05；修订日期：2011-10-03 基金项目：国家自然科学基金(60977004，50872139) 作者简介：邓常猛(1985-)，男，博士生，主要从事光刻技术和光刻材料方面的研究。Email:chmdeng@https://www.360docs.net/doc/e213848433.html, 导师简介：吴谊群(1957-)，女，研究员，博士生导师，主要从事高密度光存储和光电子学功能材料方面的研究。Email:yqwu@https://www.360docs.net/doc/e213848433.html,
中国城市燃气事业的现状与发展(c)(1)
中国城市燃气事业的现状与发展 中国城市燃气协会秘书长 迟国敬 女士们、先生们，大家好！ 做为中国城市燃气协会的代表，很高兴应邀出席今天的研讨会，借主办方提供的学习交流机会，我向各位介绍一下我们协会的概况及中国城市燃气事业的现状与发展。 一、中国城市燃气协会概况 中国城市燃气协会是在建设部领导下、由城市燃气经营企业（包括天然气、人工煤气、液化石油气），燃气设备制造企业、相关大专院校、科研、设计单位组成的社会团体，现有会员1800多个。 中国城市燃气协会自1988年成立以来，本着为会员服务的宗旨、围绕主管部门的中心工作，一直注重发挥政府与企业、企业与企业之间的桥梁和纽带作用，为中国燃气事业发展做出了各种努力。协会各工作机构参与和组织了许多专业性、技术性的会议，包括国际会议和国际展览会，促进了中国燃气界和国际燃气界的交流和合作。我们期望着加强与世界各国燃气界的联系，共同为燃气事业的发展做出新的努力。 二、中国城市燃气基本状况 1．主要特点 中国的城市燃气行业已发展了140多年，到目前已经形成了较大的规模，并具备了快速发展的条件。行业中既有最原始的人工煤气生产供应方式，也有当今世界上较为先进的LPG、油制气、天然气（包括CNG和LNG）的生产供应方式。人工煤气、LPG、天然气三种气源并存仍然是我国城市燃气的主要特点。 2．发展规模 根据建设部统计年报2003年末，全国660个设市城市中，有157个城市有人工煤气（销售量202亿m3），645个城市有LPG（销售量1126万吨），167个城市有天然气（销售量142亿m3），其中一些大城市中三种气源都有。 660个城市中，城市人口33805万人，其中使用各种燃气的25946万人（使用人工煤气的4792万人，使用LPG的16834万人，使用天然气的4320万人），城市气化率为76.75%。用气结构中，LPG占64.9%，人工煤气占18.4%，天然气占16.7%。 3．城市化进程给燃气发展带来机会 2002年末，全国660个城市中，100万人以上特大超大城市171个，50-100万人口的大城市279个，50万人口以下的中小城市210个，建制镇2万个以上。全国总人口128453万人，其中含在城镇中生活半年以上的农业人口的城镇人口为50212万人，城市化率为39.1%。
国内外自动钻铆技术的发展现状及应用
国内外自动钻铆技术的发展现状及应用 西飞国际设备维修中心 楼阿莉 当代飞机制造技术的发展，对疲劳寿命、密封、防腐的要求越来越高，为了满足飞机对各种性能的要求，航空制造领域发展了各种先进技术，其中机械连接技术的干涉配合无头铆钉自动钻铆技术就是其中之一。国外铆接装配技术几十年的应用证明，采用自动钻铆机后装配效率至少比手工铆接装配提高１０倍，并能节约安装成本，改善劳动条件，更主要的是能够确保安装质量，大大减少人为因素造成的缺陷。现在采用自动钻铆机已成为改善飞机性能的主要工艺措施之一。 美国是最早发展自动钻铆技术的国家，早在 ５０ 年代初就已在飞机铆接装配生产线上应用了自动钻铆机，经过 ５０ 多年的发展，现在世界各航空工业发达国家都已广泛采用这项技术。自动钻铆技术主要包含以下内 容： （１） 设备的研制、开发。以不同 飞机的结构为对象，发展多种型号的 数控自动钻铆系统，不仅能铆接壁 板，而且还可铆接各种组件，如肋、 框、梁、翼面、前缘等，从而使自动 钻铆系统的工作覆盖面大幅度增加， 使整个飞机的铆接工作有较大的改 观。 （２） 对各种干涉配合新型紧固件 进行自动安装。通过增加附件，可以 对两件型紧固件进行自动安装，如环 槽钉、高锁螺栓、锥形螺栓等，也可 对无头铆钉进行干涉配合铆接，从而 提高铆接结构疲劳寿命５～６倍，对提 高飞机整体油箱的密封铆接质量有重 大意义。 （３） 自动钻铆工艺。结构铆接的 整个过程通过预先编程全部由ＣＮＣ 程序控制，自动钻铆工艺是在一台设 备上一次性地连续完成夹紧、钻孔、 锪窝、注胶、放铆、铣平等工序。由 于机床带有高速、高精度的转削主轴 头，一次进给即能钻出０．００５ｍｍ以 内高精度的孔，同时埋头窝的深度也 可精确控制在±０．０１ｍｍ以内，再加 上机床由数控系统控制各轴运动，并 采用精密自动化工装夹具，使得铆钉 镦头高度保持一致，不受人为因素的 影响。所有这些因素均使钉杆在孔中 充填质量大为改善，从而有利于提高 细节疲劳强度许用值。此外，由于钻 孔时铆接件处在高的夹紧力下，层间 不会产生毛刺和进入切削，可以减小 疲劳载荷下发生磨蚀损伤的程度，这 些均有利于提高接头的疲劳强度。 （４） 数字化铆接的实现。现代飞 自动钻铆技术不只是工艺机械化、自动化的要求，更主要的还是飞机本 身性能的要求。目前世界各航空工业发达国家都已广泛采用自动钻铆技 术。随着我国航空工业研制的新机种的性能、水平不断提高，在铆接装 配中发展自动钻铆技术已经势在必行 50航空制造技术２００５年第６期 FORUM
成都高新区电子信息产业发展调研报告
成都高新区电子信息产业发展调研报告 何瑶 目前，电子信息产业已经成为当今工业发达国家和地区众多产业中最活跃、最有生命力的先导性高技术产业，其发展水平已经成为衡量一个国家和地区经济发展水平的重要标志。具有中西部地区唯一的“中国软件名城”之称的成都，经过多年的发展，其电子信息产业在集成电路、光电显示、智能终端、网络通信、电子元器件、软件及服务外包等领域已经形成了比较完整的产业体系，上下游配套也逐渐成熟，聚集了戴尔、联想、富士康、华为、西门子、中兴等一批国内外知名企业，在全球产业格局中的影响力日益提升。成都高新区作为成都市电子信息产业的主要承载体，在新的历史时期，承担着建设国家自主创新示范区的重要历史使命，其电子信息产业的发展情况至关重要，将直接影响到成都建设全面体现新发展理念的国家中心城市的总体目标。 1发展现状分析 1.1国内及成都市电子信息产业现状 （1）国内电子信息产业现状。2016年我国电子信息行业发展可以概括为稳中有进，进中有难。2016年，规模以上电子信息制造业增加值增长10%，高于全国工业平均水平4个百分点以上，实现利润总额约6464亿元，同比增长16.1%，行业平均利润率达到5.3%，比上年提高0.6个百分点。电子制造业与软件业收入规模合计超过17万亿元，同比增长10.8%。电子信息行业500万元以上项目完成固定资产投资额10464亿元，同比增长15.8%，高于全国制造业投资增速11.6个百分点。电子信息产品进出口总额12245亿美元，同比下降6.4%。 （2）成都市电子信息产业现状。2016年，成都市电子信息产业（含软件业务）实现主营业务收入约4984.4亿元，增长3.5%。其中电子信息制造业主营业务收入2634.3亿元、软件业务收入2350.1亿元，电子信息产业增加值占全市GDP 的总量超过了13%。其中集成电路产业的规模达到了470亿，增长36%，占全市电子信息产业比重超过了9%。