洁净间微粒浓度控制

洁净间微粒浓度控制

洁净间的浮游微粒浓度，若用高性能的送风系统，最高可达到无菌的水平，然而实际的生产现场，由于操作工、机器设备、周边机械的运行、房间有震动等发尘，以及原材料、产品运送时所接触的零件材料摩擦产尘等，在在制品周边扬起了微粒，造成元件表面的微粒污染。在前面两章，我写了污染的四大种类，其中特别提到了微粒污染，给出了相关的定义，可能的原因等，同时在另一篇中，特别详细说明了PM2.5的相关信息，在这里，特别整理了近这几年来，关于洁净间相关的微粒防控经验，供参考：

1、不携入:人、机、料进洁净间不携入微粒(1)进入洁净间的操作人员在更衣室按要求着装，对于不同级别的洁净间，要穿着不发尘（部分要求不产生静电的具特殊导电性纤维材质），不同款式的洁净服、帽、鞋、手套、口罩等，洗手更衣，再通过风淋室吹淋，高速干净的气流可除去附在衣服表面的粒子，吹淋完毕才能进入洁净间（有些不需要吹淋，按定义执行）。(2)机器、材料进洁净间前，应尽可能在密封状态下移入洁净备料间。保养后（如脱外包自净、并紫外杀菌后），经风淋传递窗吹淋后进入洁净间。(3)洁净间中须全程穿戴及使用洁净工具。

2、不发生:洁净间内动态环境下，机、料的不产生微粒（尽可能减少微粒的产生），采用必要的措施进行控制;在控制最大污染源：人，控制他们在洁净间内的微粒发尘量的同时，也应控制第二大污染源：生产设备，特别是控制机器设备运行时的发尘量。因物品或构件在移动时，会产生摩擦，接触剥离会造成大量的颗粒与粉尘，而且物品在移动时，也

会有微粒的产生。所以，为控制发尘量，尽可能地使其控制在最小限度，应采取以下措施：(1)减少接触剥离发尘的动作形态;(2)采用磨耗发尘小的材质;(3)采用经验证的发尘小的润滑油;

3、不储备：现实生产中，人和物品的频繁出入及机台的掣动(动态)均可能产生大量的微粒，洁净间要想达到动态洁净级别，如何做到“不储备”，如何使用过滤器技术，快速地除去已产生的微粒变得非常重要。通常已产生的微粒会因重力及静电吸附力而停留在周边的物体表面。突发性的振动及不稳定的气流会使这些累积微粒在空气中再度扬起，增加了重大微粒子污染的危险性。控制气流形态可效地防止微粒累积，然而，对于带电表面的微粒累积就很难防止。为了防止因静电吸附而引起的微粒附着，通常在洁净间内会使用带电程度在数十伏以下的导电性材料。而对于生产产品本身的带电，则采用带电能力很少的传送转运形态及接触材料，并藉由除电装置进行除电。

4、排除/除去在无法避免大量微粒发生的设备机台或操作工序（如称量）中，为了不让洁净间受到机台或操作工艺内产生的微粒影响，可以对部分区域或设备直接做对外排气的操作，即所谓的局部排气（如称量操作，下料操作，制粒操作，研磨操作等竺)。当然局部的排风操作，将对洁净间内的产生联锁的影响（如压差梯度等），需要特别注意。针对排气时洁净间压差梯度的不利影响的对策如下：导入同量的新风，这是十分必要的操作，但该操作会伴随大量的能源消耗，无法说是绝对理想的对策。尽可能地在压缩排气量的同时，采用不仅仅是向洁净间外排气，而应采用将除去粒子后的空气再回流到洁净间内，减少排风（如使用称量

罩），也是一个不错的对策。