非制冷红外焦平面阵列最新进展

非制冷红外焦平面阵列最新进展
非制冷红外焦平面阵列最新进展

文章编号:1008-2980(2003)02-0093-04

非制冷红外焦平面阵列最新进展

Ξ

杜玉杰

(滨州师范专科学校,山东滨州256604)

摘要:非制冷红外焦平面技术在过去的几年内得到了飞速发展,并在军

事、商业和民事中得到成功应用.过去曾是制冷型焦平面占据的应用领域,现在逐渐为价格低、重量轻、功耗低、体积小、性能可靠、操作方便的非制冷红外探测器所代替.非制冷焦平面阵列基本上有两类:一类是铁电-热电型

辐射计;另一类为电阻型测辐射计.关键词:非制冷;焦平面;铁电;测辐射热计

中图分类号:O 463 文献标识码:A

0 引 言

红外热成像技术在军事、商业和民事方面都有很广泛的应用,尤其在军事方面,由于它可以突破黑夜的障碍,实施夜间行动和作战,大幅度提高武器系统的作战能力.

红外热成像系统分为制冷型和非制冷型.目前用的最多的为制冷型焦平面阵列,但价格昂贵,主要是由于必须有一套完整的制冷设备.常用的制冷器结构复杂,容易发生故障,占据的空间很大,功耗约为非制冷型传感器的10倍.同时,利用长波HgCd Te 材料仍不能做出高质量、高产出的HgCd Te 探测器,严重限制了长波HgCd Te 的使用范围.[1,2]1 非制冷红外焦平面研制动态1.1 铁电型焦平面阵列探测器研究动态

用于研制铁电型焦平面探测器的材料主要有锆钛酸铅(PZT )、钛酸锶钡(BST )等.信价比最高的非致冷系统使用的是混合式铁电探测阵列.英国的GEC Marconi 和美国的TI 两家公司在这种技术上占优势.

德州公司在20世纪70年代中期开始研究非致冷成像,在1979年,Hopper 申请了铁电-热电混合装置的专利.1987年演示了第一个100×100元的混合非致冷成像阵列,使用BST 晶体切片倒装焊接在读出电路(RO IC )上,其N ETD 值为500m K .

TI 公司使用的几种商业和军事产品在非致冷红外系统中取得领先地位.在一个48.5μm 的中心上建

立了一种328×245像素的阵列.在带有f/1.0光学的系统上已经测得的N ETD 值至少低于40m K ,无水平

第19卷第2期Vol.19,No.2 滨州师专学报Journal of Binzhou Teachers College

 2003年6月

J un.,2003Ξ

收稿日期:2003-02-21

作者简介:杜玉杰(1973-),男,山东滨州人,南京理工大学电光学院在读硕士,滨州师专物理系,讲师,从事光电子信息技术与系统的研究.

噪声和其他的损耗纠正系统.

单片式铁电型探测器正处于研究阶段.[3]固态微机械加工技术(M EMS)作为一种对物理微传感器和微执行器的重要技术,使得在一块普通的半导体衬底上能够支撑起传感器、电子元件和执行器,对单片式铁电传感器的发展起着巨大地推动作用.

在微机械加工集成的传感器的制作上用得最广泛有3种热释电薄膜材料:氧化锌(ZnO)、钛酸铅(Pb TiO3)和钛酸铅锆(PZT).表1给出的是以Pb TiO3作为热释电材料制备的64×64像素的热释电红外成像芯片的性能.

表1 PbTiO3硅基底的红外探测器阵列的集成系统性能

参 数性 能

像素尺寸30×30μm2

阵列尺寸64×64像素

芯片大小1×1cm2

热释电响应率90±10nC/cm2K

30Hz下的黑体电压响应率 1.2±0.2×104V/W

297K,30Hz下的探测率D3 2.0±0.4×108cmHz1/2/W

1.2 电阻型焦平面阵列探测器研究动态

电阻型热探测器的传感元是热敏电阻,目前用的比较多的材料为氧化钒(VO x)和非晶硅(α-Si),其电阻温度系数分别为1.5%~2.5%和2%~3%.电阻型微辐射热计的主要研究和生产单位在美国.

1983年美国Honeywell制作了一个有80000个像素的装置,N ETD值为300m K,使用的是电阻辐射计.1989年演示了一个64×128元的器件.1993年,提供了320×240元的阵列,采用的α-Si材料,间距为51μm.在f/1.0的光学透镜和30Hz帧速下的N ETD值小于56m K,是较好的热像仪.

1993年后,美国的Rockwell、Raytheon、Lockheed Martin等公司从Honeywell得到了该技术的转让权,开始了电阻型微测辐射热计的研制和生产.如表2为Sanders IRIS和Raytheon公司采用VO x材料制备的焦平面阵列.

表2 Sanders IRIS和Raytheon公司的焦平面阵列

公 司材料阵列规模中心距/μm N ETD/m K波段/μm备 注

Sanders IRIS

(Lockheed Martin company)VO x

160×120468~14

320×24046<268~14

320×24028<1138~14整机性能

640×48028558~14

Raytheon α-Si15×1351<100

VO x

320×2405020

320×2402535

8~14

美国桑德斯红外成像公司,从80年代初开始设计和发展非制冷红外技术,生产出一系列以氧化矾微测辐射热计为基础的非制冷红外焦平面阵列,包括中心距为46μm的160×120、320×240阵列和28μm的320×240、640×480阵列.46μm的320×240非阵列焦平面阵列,具有高的灵敏度、宽动态范围和短的热时间常数,使用焦平面阵列时的瞬时噪声等效温差,在偏压为1.75V时小于26m K.26μm的640×480阵列是该公司第一种高分辨率非制冷焦平面阵列.以这种阵列为基础,制造并演示了红外热像仪.[4] Raytheon红外公司设备的像素尺寸为25μm×25μm的320×240焦平面的性能参数如表3所示.代表了目前电阻型微测辐射热计发展的最高水平.

49 滨州师专学报 第19卷

法国Sofradir 和L ETI/GEA 公司在非制冷微测辐射热计上的发展打破了美国在这方面的垄断.

L ETI/GEA 公司从1992年开始从事α-Si 微测辐射热计的研究,取得了较好的成果,[5,6]2000年,Sofradir 从L ETI/GEA 公司得到技术转让,开始α-Si 微测辐射热计的研究,现在已有部分产品走向货架.如表4为法国Sofradir 和L ETI/GEA 公司的部分非制冷型微测辐射热计性能参数.其中心距从开始的50μm ,45μm ,逐渐发展到现在的35μm.

中心距为45μm 的微测辐射热计在60K 的动态范围下,平均N ETD 小于100m K (相当于尺寸为50μm 的微测辐射热计的N ETD 80m K ),响应率约为4.5mV/K ,非均匀性为3%,焦平面像素的可操作性大于99%.

2001年,Sofradir 公司报道了像素尺寸缩小到35μm 的320×240元微测辐射热计,N ETD 接近35m K.

芯片与CMOS 读出电路集成在一起,读出电路芯片上提供非均匀性校正和温度补偿,响应波段为7~14μm.

表3 Raytheom 红外公司25μm 微测辐射热计FPA 的性能表(2001)参 数性 能

参 数性 能

阵列规模像素尺寸帧速光谱响应信号响应率(f/1.0)

 

320×24025μm ×25μm

60Hz 8~14μm 2.5×107V/W 或

20mV/K

输出噪声热响应时间光填充因子

TCR

非均匀性偏移量

N ETD f/1.0,30Hz

1.0mVRMS 3~9ms >70%>

2.2%/C <150mV <50m K

表4 法国S ofradir 非制冷型微测辐射热计焦平面性能参数

像素数

中心间距/μm

热阻抗/m K ?W -1

热时间常数/ms

N ETD/m K

256×64(1992年)5014410320×240(2000年)4514 3.2100320×240(2001年)3514210180320×240(2001年)

35

42

1210

36

英国、德国、瑞典、加拿大等国家也在积极发展非制冷焦平面.英国QinetiQ 非制冷热成像小组的技术

负责人希望年底能得到热像仪样品,明年制作出集成超大阵列样品(384×288像素,间距为40μm ),N ETD 为20~30m K.3 讨 论

从目前非制冷焦平面阵列的发展趋势看,非制冷焦平面阵列的发展目标是小像素、高灵敏度、大阵列(至少640×480元),并且焦平面的集成度也越来越高.Sanders IRIS 的中心距为46μm 的320×240焦平面阵列就是采用片上A/D 转换,在数字图像处理时不再需要专门的高速A/D 转换器,从而简化系统设计.同时,探测器信号不需放大到很高的值,从而减少系统噪声,提高信噪比.

参 考 文 献:

[1] 吴永生.非制冷红外焦平面阵列研制现状和开发前景[A ].第十五届全国红外科学技术交流会全国

光电技术学术交流会论文集(上)[C].宁波:红外与激光工程编辑部编辑出版,2001.63-69.

5

9第2期 杜玉杰 非制冷红外焦平面阵列最新进展

69 滨州师专学报 第19卷

[2] 张维力,王京平.红外非制冷焦平面热成像探测器、机芯及整机[A].第十五届全国红外科学技术交

流会全国光电技术学术交流会论文集(上)[C].宁波:红外与激光工程编辑部编辑出版,2001.146-148.

[3] Hanson.Advances in monolithic ferroelectric uncooled IRFPA technology[A],SPIE[C],1998.3379:60

-68.

[4] 美国非制冷红外技术的最新进展[J].红外热成像技术快报,2001.71(5):1-3.

[5] Murphy R.Recent Developments in Uncooled IR Technology[A],SPIE[C],2000.4028:12-16.

[6] Eric MO TTIN.Enhanced amorphous silicon technology for320×240microbolometer arrays with a pitch of35μm[A],SPIE[C],2001.4369:250-256.

R ecent Development in U ncooled IRFPA

DU YuΟjie

(B i nz hou Teachers College,B i nz hou256604,Chi na)

Abstract:Uncooled Infrared Focal Plane Array(U FPA)technology has been developed at very fast speed in recent years,and applied successfully in military,commerce and civil affairs.The fields,once occupied by cooled focal plane array in the past,have gradually been taken by the U FPA for its lower cost,lighter weight,lower power,smaller bulk,more reliable performance and convenient operation.There are two types of U FPA.One is the ferro-therom electric bolometer,and the other is the resistant bolometer.

K ey w ords:uncooled;focal plane array;ferroelectric;bolometer

读者?作者?编者

别字和参选词举例

科技文献中的别字和参选词常有发现,兹举出一部分,以期作者引以为戒.

别字(括号中为正确的)

成象(像) 顶蓬(篷) 幅(辐)射 柑桔(橘) 藉(借)以 既(即)使 介(界)面 兰(蓝)色 粘(黏)度 粘(黏)土 粘(黏)膜 凭藉(借) 岐(歧)途 松驰(弛) 水份(分) 拓朴(扑) 消(削)弱 尤(犹)如 予(预)先 予(预)混 组份(分) 分辩(辨)力 天燃(然)气 下功(工)夫 桔杆(秸秆) 截止(至)目前 香烟燎(缭)绕 象(像)潮水般 一如即(既)往 再接再励(厉) 征稿启示(事) 所雇佣(用)的工人 即(既)……又……

参选词(括号中为首选词)

撤消(撤销) 成份(成分) 呆着(待着) 繁琐(烦琐) 涵义(含义) 推诿(推委) 唯一(惟一) 无需(无须) 想象(想像) 盈利(赢利) 帐目(账目)

非制冷红外焦平面热成像测温系统

非制冷红外焦平面热成像测温系统 红外技术四个主要部分: 1.红外辐射的性质,其中有受热物体所发射的辐射在光谱、强度和方向的分布;辐射在媒质中的传播特性--反射、折射、衍射和散射;热电效应和光电效应等。 2.红外元件、部件的研制,包括辐射源、微型制冷器、红外窗口材料和滤光电等。 3.把各种红外元、部件构成系统的光学、电子学和精密机械。 4.红外技术在军事上和国民经济中的应用。由此可见,红外技术的研究涉及的范围相当广泛,既有目标的红外辐射特性,背景特性,又有红外元、部件及系统;既有材料问题,又有应用问题。 而在红外热成像技术研究领域中,红外探测器是核心,探测器的技术水平决定了热成像技术的技术水平。基于光电效应的光子探测器和基于热电效应的热电探测器一直是红外热成像技术的两大支柱。为获得高性能必须在低温(典型的是液氮温度77K)下工作。正是由于需要制冷以及成本等原因,使光电探测器类热成像技术在民用领域仍难形成很大的市场。而热电探测器类热成像技术由于灵敏度和响应速度方面的限制,只有采用热电摄像管的热成像系统(即热电视)获得一些应用,而且一般用于要求较低的民用领域。 但90年代以后,非致冷红外焦平面技术的突破和实用化,使其与致冷红外热像技术相比所具有的低成本,低功耗,长寿命,小型化和可靠性等优势得到很好发挥,成为当前红外热成像技术中最引人注目的突破之一,在军用和民用领域的应用前景将“使传感器领域发生变革”。 非致冷红外焦平面技术属于热电探测器类热成像技术。 其焦平面阵列由热探测器,如测辐射热计、热释电探测器、热电堆等,与硅多路传输器,如CCD、MOSf:EF、C协05读出电路等,通常用锢柱互连而成。 测辐射热计的工作原理是被热绝缘的金属薄膜(典型的是入膜)或半异体薄膜(典型的是氧化钒VOZ或非晶硅a一Si薄膜或多晶硅)在吸收红外辐射时会引起其电阻值的变化实现光电变换。此类探测器可全部采用Si集成电路工艺制作,与51信号处理电路之间可形成单片式结构,不需要低温制冷装置,不需要特殊材料,不需要斩波,制作工艺也成熟。以它为核心制成的红外热成像系统成像清晰度高、重量轻、功耗低、易便携,适于野外工作场所。 热释电探测器的工作原理是由具有良好热释电特性的铁电材料,如错酸铅(PZT)陶瓷、PbTIO,陶瓷、PbTIO:,薄膜和LITao,晶体制成的热探测器与51多路传输器互连而成。其中,LITaO,特性格外好,它不仅有大的热释电系数(p二2.3x1osC/cm),还有小的介电常数(£,=54)和高的居里温度(兀二618’’C)。以它为核心制成的红外热像系统灵敏度较高,且适合于红外成像。 本系统结合红外测温技术和非致冷焦平面热成像技术原理,开发并完成了一套非致冷红外焦平面热成像测温系统。 系统建立了非致冷红外焦平面热成像系统测温计算的数学模型;对计算中可能产生的各种误差进行了分析和计算;对系统成像的非均匀性进行了分析和校正;提出了精确测量发射率的新算法;结合热成像的原理对红外热图像的特征进行了分析,对红外热像进行了新型直方图均衡和伪彩色增强等处理。 在降低了成本的同时,保证了精度。 基于辐射源的方法较为常用,其中包括两点校正法,多点校正法,非线性拟合校正法,和低次插值校正法等,基于他们各自的特点,此论文中选用了精度相对比较高的一种:非线性拟合校正法。这种校正方法考虑了光敏单元的非线性响应,使得其校正效果比传统的两点校正算法具有更大的动态范围和更高的精度,同时,每个光敏单元的校正只需要3次乘法和2次

【CN110006538A】一种无TEC非制冷红外焦平面阵列读出电路【专利】

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 (43)申请公布日 (21)申请号 201910213758.6 (22)申请日 2019.03.20 (71)申请人 北京安酷智芯科技有限公司 地址 100080 北京市海淀区中关村鼎好大 厦A座3层太库产业孵化器C05室 (72)发明人 施薛优 陈光毅  (74)专利代理机构 北京辰权知识产权代理有限 公司 11619 代理人 肖文文 (51)Int.Cl. G01J 5/24(2006.01) (54)发明名称 一种无TEC非制冷红外焦平面阵列读出电路 (57)摘要 本发明公开一种无TEC非制冷红外焦平面阵 列读出电路,涉及非制冷红外焦平面阵列技术领 域。所述读出电路包括偏压产生电路、列级模拟 前端电路及行级电路;行级电路,包括行级镜像 像元,受行选开关控制,能够输出第三偏置电压; 偏压产生电路,与行级电路连接,其输入端连接 行级电路的输出端;根据输入的恒压及第三偏置 电压生成并输出第一偏置电压和第二偏置电压; 列级模拟前端电路,包括盲元;列级模拟前端电 路与偏压产生电路连接,其输入端连接偏压产生 电路的输出端,得到两路电流,并对所产生的两 路电流之差进行跨阻放大并作为电压输出。采用 本发明的技术方案,使电路具有不受衬底温度和 自加热效应影响的稳定输出点,增强了电路的稳 定性。权利要求书4页 说明书18页 附图3页CN 110006538 A 2019.07.12 C N 110006538 A

权 利 要 求 书1/4页CN 110006538 A 1.一种无TEC非制冷红外焦平面阵列读出电路,其特征在于,包括偏压产生电路、列级模拟前端电路及行级电路;其中, 所述行级电路中包括行级镜像像元(Rsm)和行选开关(RSEL);当所述行级电路受所述行选开关(RSEL)控制而被选通时,向所述偏压产生电路输出第三偏置电压(V Rsm); 所述偏压产生电路的输入端连接所述行级电路的输出端;根据输入的恒压(V b)及所述第三偏置电压(V Rsm)生成并输出第一偏置电压(Veb)和第二偏置电压(V fid); 所述列级模拟前端电路中包括盲元(Rd);所述列级模拟前端电路的输入端连接所述偏压产生电路的输出端,根据所述第一偏置电压(Veb)和所述第二偏置电压(V fid)得到两路电流,并对所产生的两路电流之差(I diff)进行跨阻放大并作为输出电压(V agc)输出。 2.根据权利要求1所述的电路,其特征在于,所述偏压产生电路至少包括第一偏压产生子电路和第二偏压产生子电路,分别输出所述第一偏置电压(Veb)和所述第二偏置电压(V fid)。 3.根据权利要求2所述的电路,其特征在于,当所述恒压(V b)输入时,将所述第一偏压产生子电路中PMOS管的栅极电压作为所述第一偏置电压(Veb),输出至所述列级模拟前端电路; 所述第二偏压产生子电路根据所述第三偏置电压(V Rsm)生成第二偏置电压(V fid),利用第二偏压产生子电路中的源跟随结构电路将所述第二偏置电压(V fid)复制并输出至所述列级模拟前端电路。 4.根据权利要求2所述的电路,其特征在于,所述第一偏压产生子电路与所述第二偏压产生子电路、所述行级电路、所述列级模拟前端电路连接;至少包括第一镜像电路、第二镜像电路、第一运算放大器(OPA1)、第一镜像盲元(R dm0)、第二镜像盲元(R dm1)及电源(Vsk); 所述第一镜像电路分别与所述第二镜像电路、所述第一运算放大器(OPA1)、第一镜像盲元(R dm0)、第二镜像盲元(R dm1)连接。 5.根据权利要求4所述的电路,其特征在于,所述第一镜像电路包括第一PMOS管(MP1)和第二PMOS管(MP2),所述第一PMOS管(MP1)的栅极与所述第二PMOS管(MP2)的栅极连接;所述第二镜像电路包括第一NMOS管(MN1)和第二NMOS管(MN2),所述第一NMOS管(MN1)的栅极与所述第二NMOS管(MN2)的栅极连接; 所述第一镜像盲元(R dm0)的第一端、所述第二镜像盲元(R dm1)的第一端均与所述电源(Vsk)连接;所述第一PMOS管(MP1)的源极、漏极分别与所述第一镜像盲元R dm0的第二端、所述第一NMOS管(MN1)的漏极连接;所述第二PMOS管(MP2)的源极、漏极分别与所述第二镜像盲元(R dm1)的第二端、所述行级电路连接;所述第二NMOS管(MN2)的漏极与所述第二偏压产生子电路连接;所述第一NMOS管(MN1)的源极、所述第二NMOS管(MN2)的源极均接地; 所述第一运算放大器(OPA1)的负输入端、正输入端、输出端分别与所述第一PMOS管(MP1)的源极、恒压(V b)、所述第一PMOS管(MP1)的栅极连接。 6.根据权利要求5所述的电路,其特征在于,在所述第一偏压产生子电路中,当所述恒压输入时,将所述第一镜像电路中的第一PMOS管(MP1)的栅极和所述第二PMOS管(MP2)的栅极电压作为所述第一偏置电压(Veb),输出至所述列级模拟前端电路。 7.根据权利要求4所述的电路,其特征在于,所述第一偏压产生子电路还包括去耦电容(C1);所述去耦电容(C1)的第一端、第二端分别与所述电源(Vsk)、所述第一镜像电路连接。 2

非制冷红外技术及应用

非制冷红外技术及应用 蓝海光学招募:镜头装配主管,镜头销售人员光学人生,你的精彩人生!一、红外热成像技术简介自然界所有温度在绝对零度(-273℃)以上的物体都会发出红外辐射,红外图像传感器则将探测到的红外辐射转变为人眼可见的图像信息。红外成像技术涵盖了红外光学、材料科学、电子学、机械工程技术、集成电路技术、图像处理算法等诸多技术,红外成像装置的核心为红外焦平面探测器。 二、非制冷红外技术概述2.1 非制冷红外技术原理非制冷红外探测器利用红外辐射的热效应,由红外吸收材料将红外辐射能转换成热能,引起敏感元件温度上升。敏感元件的某个物理参数随之发生变化,再通过所设计的某种转换机制转换为电信号或可见光信号,以实现对物体的探测。 非制冷红外焦平面探测器分类2.2 非制冷红外探测器的关 键技术 热释电型红外辐射使材料温度改变,引起材料的自发极化强度变化,在垂直于自发极化方向的两个晶面出现感应电荷。通过测量感应电荷量或电压的大小来探测辐射的强弱。热释电红外探测器与其他探测器不同,它只有在温度升降的过程中才有信号输出,所以利用热释电探测器时红外辐射必须经过调制。探测材料:硫酸三甘肽、钽酸锂、钽铌酸钾、钛(铁

电)酸铅、钛酸锶铅、钽钪酸铅、钛酸钡热电堆由逸出功不同的两种导体材料所组成的闭合回路,当两接触点处的温度不同时,由于温度梯度使得材料内部的载流子向温度低的一端移动,在温度低的一端形成电荷积累,回路中就会产生热电势。(塞贝克效应Seebeck)而这种结构称之为热电偶。一系列的热电偶串联称为热电堆。因而,可以通过测量热电堆两端的电压变化,探测红外辐射的强弱。二极管型利用半导体PN结具有良好的温度特性。与其他类型的非制冷红外探测器不同,这种红外探测器的温度探测单元为单晶或多晶PN结,与CMOS工艺完全兼容,易于单片集成,非常适合大批量生产。热敏电阻型(微测辐射热计)利用热敏电阻的阻值随温度变化来探测辐射的强弱。一般探测器采用悬臂梁结构,光敏元吸收红外热辐射,由读出电路测量热敏材料电阻变化而引起的电流变化,通过读出电路对电信号采集分析并读出。探测器一般采用真空封装以保证绝热性好。探测材料:氧化钒、非晶硅、钛、钇钡铜氧等氧化钒VOx的TCR 一般为2%~3%,特殊方法制备的单晶态VO2和V2O5可达4%。VOx具有电阻温度系数大,噪声小的特点,被广泛用作非制冷式红外焦平面传感器的热敏材料。全球的非制冷红外热像仪市场中,使用VOx非制冷红外探测器的占80%以上。氧化钒VOx的制备方法:溅射法、溶胶-凝胶法、脉冲激光沉积法、蒸发法。读出电路IC技术ROIC对微弱的红

红外焦平面阵列简介

红外焦平面阵列简介 自从赫谢尔利第一次发现了红外辐射以来,人们就开始不断运用各种方法对红外辐射进行检测,并根据红外光的特点而加以应用,相继制成了各种红外探测器。进入20世纪后,红外探测器技术取得了惊人的进展,特别是冷战时期,军备竞赛各方投入巨资进行研究,突破了诸多难题,使红外探测器技术从30年代单一的PbS器件发展到现在的多个品种,从单元器件发展到目前焦平面信号处理的大型红外焦平面阵列。红外焦平面阵列技术作为红外探测技术发展的一个里程碑,正在急速地拓展新的应用领域和市场,渗透到工业监测探测、执法、安全、医疗、遥感、设备等商业用领域,改变了其长期以来主要用于军用领域的状况。 红外焦平面阵列是红外系统及热成像器件的关键部件,是置于红外光学系统焦平面上,可使整个视场内景物的每一个像元与一个敏感元相对应的多元平面阵列红外探测器件,在军事领域得到了广泛应用,拥有巨大的市场潜力和应用前景。目前许多国家,尤其是美国等西方军事发达国家,都花费大量的人力、物力和财力进行此方面的研究与开发,并获得了成功。 下面依次介绍其原工作原理、分类以及读出电路,并简述国内外发展情况以及展望其发展方向。 一、红外焦平面阵列原理 焦平面探测器的焦平面上排列着感光元件阵列,从无限远处发射的红外线经过光学系统成像在系统焦平面的这些感光元件上,探测器将接受到光信号转换为电信号并进行积分放大、采样保持,通过输出缓冲和多路传输系统,最终送达监视系统形成图像。 二、红外焦平面阵列分类 1、根据制冷方式划分 根据制冷方式,红外焦平面阵列可分为制冷型和非制冷型。制冷型红外焦平面目前主要采用杜瓦瓶快速起动节流致冷器集成体和杜瓦瓶斯特林循环致冷器集成体[5]。由于背景温度与探测温度之间的对比度将决定探测器的理想分辨率,所以为了提高探测仪的精度就必须大幅度的降低背景温度。当前制冷型的探测器其探测率达到~1011cmHz12W-1,而非制冷型的探测器为~109cmHz12W-1,相差为两个数量级。不仅如此,它们的其他性能也有很大的差别,前者的响应速度是微秒级而后者是毫秒级。 2、依照光辐射与物质相互作用原理划分 依此条件,红外探测器可分为光子探测器与热探测器两大类。光子探测器是基于光子与物质相互作用所引起的光电效应为原理的一类探测器,包括光电子发射探测器和半导体光电探测器,其特点是探测灵敏度高、响应速度快、对波长的探测选择性敏感,但光子探测器一般工作在较低的环境温度下,需要致冷器件。热探测器是基于光辐射作用的热效应原理的一类探测器,包括利用温差电效应制成的测辐射热电偶或热电堆,利用物体体电阻对温度的敏感性制成的测辐射热敏电阻探测器和以热电晶体的热释电效应为根据的热释电探测器。这类探测器的共同特点是:无选择性探测(对所有波长光辐射有大致相同的探测灵敏度),但它们多数工作在室温条件下。 3、按照结构形式划分 红外焦平面阵列器件由红外探测器阵列部分和读出电路部分组成。因此,按照结构形式分类,红外焦平面阵列可分为单片式和混成式两种。其中,单片式集成在一个硅衬底上,即读出电路和探测器都使用相同的材料。混成式是指红外探测器和读出电路分别选用两种材料,如红外探测器使用HgCdTe,读出电路使用Si。混成式主要分为倒装式和Z平面式两种。 4、按成像方式划分 红外焦平面阵列分为扫描型和凝视型两种,其区别在于扫描型一般采用时间延迟积分技术,采用串行方式对电信号进行读取;凝视型式则利用了二维形成一张图像,无需延迟积分,

红外焦平面阵列简介

红外焦平面阵列简介.doc 红外焦平面阵列简介 自从赫谢尔利第一次发现了红外辐射以来,人们就开始不断运用各种方法对红外辐射进行检测,并根据红外光的特点而加以应用,相继制成了各种红外探测器。进入20世纪后,红外探测器技术取得了惊人的进展,特别是冷战时期,军备竞赛各方投入巨资进行研究,突破了诸多难题,使红外探测器技术从30年代单一的PbS器件发展到现在的多个品种,从单元器件发展到目前焦平面信号处理的大型红外焦平面阵列。红外焦平面阵列技术作为红外探测技术发展的一个里程碑,正在急速地拓展新的应用领域和市场,渗透到工业监测探测、执法、安全、医疗、遥感、设备等商业用领域,改变了其长期以来主要用于军用领域的状况。 红外焦平面阵列是红外系统及热成像器件的关键部件,是置于红外光学系统焦平面上,可使整个视场内景物的每一个像元与一个敏感元相对应的多元平面阵列红外探测器件,在军事领域得到了广泛应用,拥有巨大的市场潜力和应用前景。目前许多国家,尤其是美国等西方军事发达国家,都花费大量的人力、物力和财力进行此方面的研究与开发,并获得了成功。 下面依次介绍其原工作原理、分类以及读出电路,并简述国内外发展情况以及展望其发展方向。 一、红外焦平面阵列原理 焦平面探测器的焦平面上排列着感光元件阵列,从无限远处发射的红外线经过光学系统成像在系统焦平面的这些感光元件上,探测器将接受到光信号转换为电信号并进行积分放大、采样保持,通过输出缓冲和多路传输系统,最终送达监视系统形成图像。二、红外焦平面阵列分类 1、根据制冷方式划分

根据制冷方式,红外焦平面阵列可分为制冷型和非制冷型。制冷型红外焦平面目前主要采用杜瓦瓶快速起动节流致冷器集成体和杜瓦瓶斯特林循环致冷器集成体[5]。由于背景温度与探测温度之间的对比度将决定探测器的理想分辨率,所以为了提高探测仪的精度就必须大幅度的降低背景温度。当前制冷型的探测器其探测率达到,1011cmHz12W-1,而非制冷型的探测器为,109cmHz12W-1,相差为两个数量级。不仅如此,它们的其他性能也有很大的差别,前者的响应速度是微秒级而后者是毫秒级。 2、依照光辐射与物质相互作用原理划分 依此条件,红外探测器可分为光子探测器与热探测器两大类。光子探测器是基于光子与物质相互作用所引起的光电效应为原理的一类探测器,包括光电子发射探测器和半导体光电探测器,其特点是探测灵敏度高、响应速度快、对波长的探测选择性敏感,但光子探测器一般工作在较低的环境温度下,需要致冷器件。热探测器是基于光辐射作用的热效应原理的一类探测器,包括利用温差电效应制成的测辐射热电偶或热电堆,利用物体体电阻对温度的敏感性制成的测辐射热敏电阻探测器和以热电晶体的热释电效应为根据的热释电探测器。这类探测器的共同特点是:无选择性探测(对所有波长光辐射有大致相同的探测灵敏度),但它们多数工作在室温条件下。 3、按照结构形式划分 红外焦平面阵列器件由红外探测器阵列部分和读出电路部分组成。因此,按照结构形式分类,红外焦平面阵列可分为单片式和混成式两种。其中,单片式集成在一个硅衬底上,即读出电路和探测器都使用相同的材料。混成式是指红外探测器和读出电路分别选用两种材料,如红外探测器使用HgCdTe,读出电路使用Si。混成式主要分为倒装式和Z平面式两种。 4、按成像方式划分

非制冷焦平面探测器品牌推荐

非制冷红外焦平面探测器由许多MEMS微桥结构的像元在焦平面上二维重复排列构成,每个像元对特定入射角的热辐射进行测量: a):红外辐射被像元中的红外吸收层吸收后引起温度变化,进而使非晶硅热敏电阻的阻值变化; b):非晶硅热敏电阻通过MEMS绝热微桥支撑在硅衬底上方,并通过支撑结构与制作在硅衬底上的COMS独处电路相连; c):CMOS电路将热敏电阻阻值变化转变为差分电流并进行积分放大,经采样后得到红外热图像中单个像元的灰度值。 为了提高探测器的响应率和灵敏度,要求探测器像元微桥具有良好的热绝缘性,同时为保证红外成像的帧频,需使像元的热容尽量小以保证足够小的热时间常数。利用细长的微悬臂梁支撑以提高绝热性能,热敏材料制作在桥面上,桥面尽量轻、薄以减小热质量。在衬底制作反射层,与桥面之间形成谐振腔,提高红外吸收效率。像元微桥通过悬臂梁的两端与衬底内的CMOS读出电路连接。所以,非制冷红外焦平面探测器是CMOS-MEMS单体集成的大阵列器件。

应用领域 非制冷红外探测器在军事和商用领域具有非常广泛的应用: (a)军事领域 军事领域应用包括武器热观瞄(TWS)、便携式视觉增强、车载视觉增强(DVE)、远程武器站(RWS)、无人机(UAV)、无人驾驶地面车辆、观察指挥车、火控和制导等。 (b)热像测温领域 热像测温用于预防性检测,例如对电力输电线路、发电设备、机械设备等通过红外热像仪检测异常发热区域,可以预防重大停机以及事故的发生。在建筑方面,用于检测房屋的隔热效果、墙壁外立面、空鼓、渗水和霉变等。其它的领域还包括产品研发、电子制造、医学测温和制程控制等 (c)商用视觉增强领域 商用视觉增强的主要应用包括消防营救、安防监控、车载、船载的红外视觉增强等。主要是利用红外成像无需外界光源、较强的穿透烟雾的能力、作用距离远、成像对比度强等优势,对人眼视觉进行有效的补充。

氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究

〈材料与器件〉 氧化钒非制冷红外焦平面探测器芯片工艺研究 袁 俊,太云见,雷晓虹,何雯瑾,陈 妞 (昆明物理研究所,云南昆明,650223) 摘要:非制冷红外探测器具有成本低廉、无需制冷等优异特点,在红外探测和红外成像领域占有极其重要的地位。从氧化钒非制冷焦平面探测器的牺牲层、支撑层、氧化钒等制备工艺进行了研究,为国内非制冷焦平面探测器工程化研究奠定了坚实的技术基础。 关键字:非制冷;红外焦平面;氧化钒;工艺 中图分类号:TN215 文献标识码:A 文章编号:1001-8891(2009)01-0001-04 Research on Fabrication of VO x UFPA Detectors YUAN Jun,TAI Yun-jian,LEI Xiao-hong,HE Wen-jing,CHENG Niu (Kunming Institute of Physics, Kunming Yunnan 650223, China) Abstract:High performance and inexpensive VO x infrared detectors play an important role in the field of thermal detection and imaging of objects, because of the advantages of high sensitivity at long-wavelength and room-temperature operation without cooling system. This paper focused on fabrication of sacrificial layers, supporting layers, vanadium oxides film, and so on, which is technology foundation for domestic uncooled infrared focal plane array. Key words:uncooled;infrared focal plane array;VO x film;sacrificial layers 引言 非制冷焦平面探测器按工作模式可分为3种类型:微测辐射热计(Microbolometer)、热释电型和热电堆。按结构可分为单片式和混成式,单片式非制冷焦平面探测器是在读出电路上用热隔离臂支撑悬空(即微桥结构)的红外探测敏感元列阵;而混成式非制冷焦平面探测器则是分别制作焦平面敏感元列阵和CMOS信号读出电路,最后采用铟柱倒装焊技术将二者组装在一起的红外焦平面列阵。与混成技术相比,单片式结构可消除伪边缘、晕圈和频闪等效应,其列阵邻近像元之间的完全隔离几乎消除了串音、图像拖影和模糊现象,因此,单片式的非制冷焦平面探测器较之混成式焦平面探测器具有潜在的性能优势[1]。 目前广泛使用的单片式非制冷焦平面探测器是微测辐射热计,所使用的热敏电阻材料主要是氧化钒、非晶硅和多元复合氧化物薄膜,并且以氧化钒(VO x)薄膜和非晶硅薄膜为热敏材料的焦平面探测器在国外已投入大批量的生产,而国内目前仍处于实验室阶段,产品更是空白。为此本文将展开对单片式红外焦平面探测器芯片工艺研究。 1 研究方案 320×240 VO x非制冷焦平面探测器组件由读出电路、微桥结构列阵、VO x薄膜材料、封装组成。其中VO x薄膜的作用是将红外辐射转变成电信号;微桥结构将在其上的VO x薄膜悬空起来,其极小的热容量和热导保证探测元有足够高的热灵敏度;读出电路将每个探测元的信号读出,变空间分布的电信号为时序信号,以便于实现凝视热成像,同时作为微桥结构的支撑衬底[2, 4]。为此我们采用了如图1的工艺流程对氧化钒非制冷焦平面探测器芯片展开了研究。 2 研制过程 2.1牺牲层制备

非制冷红外热像仪完整版

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红外成像阵列与系统 —非制冷红外热像仪简述 2013年11月8日 非制冷红外热像仪简述 摘要:非制冷红外热像仪是目前主流的夜视观察仪器之一,因其较高的可靠性在军事领域的低端应用、民用等方面有广阔的前景。它通过被测物体向外界发出的辐射能量来得到物体对应的温度。本文主要就非制冷红外热像仪的测温原理、发展状况、系统设计及其性能参数做简单的分析及介绍。比较了两种不同情况下的测温公式的优劣并且做出了相关推导,简单介绍了基于FPGA的非制冷红外热像仪的电路系统和通用型非制冷红外热像仪的性能参数及其一般测定方法。对以后的红外热成像系统的学习起到了一定帮助。 关键字:非制冷红外热像仪;测温原理;发展状况;系统设计;性能参数 The brief description of uncooled infrared thermal imager Yu Chun-kai, Wang Hui-ting, Qi Xiao-yun, Xu Jian Abstract: Currently, uncooled infrared thermal imager is one kind of mainstream devices on night vision. Because of its high reliability, uncooled infrared thermal imager has a broad prospect of application in military and civil field. It gains temperature of the detected object by the infrared radiation the object emits. This paper simply analyses and introduces temperature measuring principle, development status, system design and performance parameter on uncooled infrared thermal imager. We compared two different temperature measuring formulae in their respective situations and did the relevant derivation. We also introduced the circuit system which based on FPGA in uncooled infrared thermal imager and the performance parameter of general uncooled infrared thermal imager. This paper provides us much promotion about the future study of infrared thermal imaging system.

制冷式与非制冷式红外热像仪 菲力尔FLIR

科学/研发应用红外热像仪堪称功能强大的无创性工具。借助一款此类红外热像仪,你可以在设计阶段及早发现问题,以便在发展成更为严重且维修代价高昂的故障之前,将其记录在案并予以纠正。 应用于研发环境的红外热像仪 红外热像仪会接收无法被人眼所察觉热辐射,并将其转化为描绘某个目标物或场景中热量变化的图像。所有温度高于绝对零度的物体均会放射热能,热能由某些波段的电磁波谱辐射出来,而且辐射量会随着温度的上升而增加。FLIR 红外热像仪可用于实时捕获和记录热分布和热变化,有助于工程师和研究人员看清并精确测量设备、产品和工艺过程中的发热方式、热耗散、热泄漏以及其他温度因素。其中部分红外热像仪可区分细微至0.02?C 的温 度变化。它们均搭载了先进的探测技术和高级数学算法,以实现高性能,以及在-80?C 至+3000?C 之间精确测温。研发用红外热像仪系列整合了极高的成像性能和精确的测温功能,并配备强大的分析报告工具和软件,从而造就其成为范围广泛的研究、热试验和产品验证应用的理想之选。制冷式和非制冷式红外热像仪 研发/科学应用的红外热像仪系统拥有大量选择。因此,我们经常听到这样的问题:“我应该使用制冷式还是非制冷式红外热像仪系统? 哪种系统更具有成本效益?”事实上,如今市场上售有两种类型的红外热像仪系统:制冷式和非制冷式系统。这两种类型的系统的组件成本大相径庭,因而决定选择哪种系统则变得极 为重要。 多年来,科学家、研究人员和研发专家热衷于将红外热像仪运用于广泛的应用领域中,包括工业研发、学术研究、无损检测(NDT)和材料检测,以及国防与航空航天等。但是,并非所有打造的红外热像仪均具有同等的品质功能,或者可用于一些专门的应用。譬如,如要获得精确的测量值,则需要配备高速定格动画功能的先进红外热像仪。 制冷式与非制冷式红外热像仪 配备制冷式探测器的红外热像仪可在快速移动活动中产生清晰的热图像。 FLIR A6700sc 是一款配备制冷锑化铟 (InSb) 探测器的紧凑型红外热像仪,价格极为经济实惠。 FLIR T650sc 非制冷式研发用红外热像仪具有较高的分辨率。高分辨率的图像可获得精确结果和可靠的测温 精确度。 世界第六感

非制冷红外热像仪完整版

红外成像阵列与系统 —非制冷红外热像仪简述

2013年11月8日 非制冷红外热像仪简述 摘要:非制冷红外热像仪是目前主流的夜视观察仪器之一,因其较高的可靠性在军事领域的低端应用、民用等方面有广阔的前景。它通过被测物体向外界发出的辐射能量来得到物体对应的温度。本文主要就非制冷红外热像仪的测温原理、发展状况、系统设计及其性能参数做简单的分析及介绍。比较了两种不同情况下的测温公式的优劣并且做出了相关推导,简单介绍了基于FPGA的非制冷红外热像仪的电路系统和通用型非制冷红外热像仪的性能参数及其一般测定方法。对以后的红外热成像系统的学习起到了一定帮助。 关键字:非制冷红外热像仪;测温原理;发展状况;系统设计;性能参数

The brief description of uncooled infrared thermal imager Yu Chun-kai, Wang Hui-ting, Qi Xiao-yun, Xu Jian Abstract: Currently, uncooled infrared thermal imager is one kind of mainstream devices on night vision. Because of its high reliability, uncooled infrared thermal imager has a broad prospect of application in military and civil field. It gains temperature of the detected object by the infrared radiation the object emits. This paper simply analyses and introduces temperature measuring principle, development status, system design and performance parameter on uncooled infrared thermal imager. We compared two different temperature measuring formulae in their respective situations and did the relevant derivation. We also introduced the circuit system which based on FPGA in uncooled infrared thermal imager and the performance parameter of general uncooled infrared thermal imager. This paper provides us much promotion about the future study of infrared thermal imaging system. Key words: uncooled infrared thermal imager; temperature measuring principle; development status; system design; performance parameter

非制冷红外成像技术及其应用

非制冷红外成像技术及其应用 蔡毅 昆明物理研究所,云南,昆明,650223 摘要:红外成像技术与微光图像增强技术是夜视技术的主要组成部分。非制冷红外成像技术包括量子型和热探测型成像技术两种,都是红外热成像技术的最新成就之一。在本文中,比较了这两种技术的特点,讨论了非制冷红外成像技术的优点、发展趋势和应用。 关键词:非制冷,红外成像,应用 Uncooled Infrared Imaging Technology and It’s Application CAI Yi Kunming Insitute of Physics, Kunming, Yunnan, P.R.China, 650223 Abstract: Night vision technology includes low-light-level image intensifier technology and infrared image technology. Uncooled infrared imaging technology is one of the newest achievements of infrared thermal imaging technology. Characterizations of the low-light-level image intensifier and Uncooled infrared imaging technologies are compared, then advantage, development and application of Uncooled infrared imaging technology is discussed in the paper. Keywords: Infrared Imaging,Uncooled Infrared Imaging,Application 1.红外成像技术与微光图像增强技术的比较 用于夜间观察的微光和热成像装置一般由信号接收、转换、处理和显示等四大部分组成。实现夜间观察不同的技术路线,必然要在这四大部件上反映出来。 夜间观察的基本矛盾是光强不足。解决问题的办法有:1)尽可能多的得到光能量,例如使用大口径望远镜,就可以有限的改善人眼在黄昏和明亮的夜晚的观察能力;微光和热成像装置也使用大口径的望远镜,如有的地面用热像仪口径达到245毫米;2)设法对光信号进行放大,不同的技术基础形成不同的技术路线;如应用真空光电子技术形成了一系列的微光成像器件,而以红外物理、半导体、微电子、真空、制冷、精密光学机械等技术则形成了一系列的热成像仪(TI)。3)在红外光谱波段观察目标的红外图像,克服光强不足的困难。如在微光技术中,将光电阴极的光谱响应延伸到近红外区,可以获取目标表面反射的近红外光,得到更多的光能量,改善微光成像器件的成像质量。而直接获取目标自身发射的热辐射信息,在长波红外区观察目标的热图像,则实现了真正意义上的夜视。 在微光图像增强器(L3I)中,用光电阴极将微弱的可见光和近红外光图像转换成相应的电子密度图像,其光阴极是连续和均匀的一个薄膜。在红外成像仪(IRI)中,用若干个分离探测元组成的探测器列阵将红外光转换成电信号。 微光成像器件的信号处理有五大特点:1)信号并行处理,2)信号在空域处理,3)信号是电子数量,4)信号是模拟量,5)信号原位处理。在半导体、微电子技术还不发达时,电真空技术的这些特点占尽优势,成为夜视技术的主流。 非制冷焦平面组件(UFPA)的信号处理有五大特点:1)信号串行处理,2)信号在时域处理,3)信号是电脉冲电平值,4)信号是数字量,5)信号分离处理,便于进行复杂的图像处理 163

非制冷红外热成像技术的发展与现状

非制冷红外热成像技术的发展与现状 邢素霞,张俊举,常本康,钱芸生 (南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京 210094) 摘 要:非制冷红外焦平面技术在过去的几年内飞速发展,非制冷焦平面由原来的小规模,发展到中、大规模320@240和640@480阵列,在未来的几年内有望获得超大规模的1024@1024非制冷焦平面阵列。像素尺寸也由50L m 减小到25L m,提高了焦平面的灵敏度,使非制冷红外热成像 系统在军事领域得到了成功应用,部分型号已经装备于部队,并受到好评。今后,随着焦平面阵列规模的不断增大、像素尺寸的进一步减小,非制冷热成像系统在军事领域的应用将越来越广泛,尤其在轻武器瞄具、驾驶员视力增强器、手持式便携热像仪等轻武器方面,非制冷热成像系统在近年内有望逐步取代价格高、可靠性差、体积大等笨重的制冷型热成像系统。 关键词:非制冷焦平面阵列; 红外热成像; 轻武器 中图分类号:TN21 文献标识码:A 文章编号:1007-2276(2004)05-0441-04 Recent development and status of uncooled IR thermal imaging technology XING Su -xia,Z HANG Jun -ju,C HANG Ben -kang,QI AN Yun -sheng (Opto -electronics Academy,Nanjing Universi ty of Science &Technology,Nanji ng 210094,China) Abstract:From small scale to medium and large scale 320@240,640@480unc ooled focal plane array (UFPA),uncooled infrared technology has been developed rapidly in recent years,and 1024@1024FPAs are expec ted in the future.The pixel pitch is also developed from 50~25L m,and the sensitivity is improved largely,so that the thermal imaging system is applied successfully in military affairs.Part model has been armed in military and measured well.In the future,with the developing larger scale and smaller pixel of UF -P A,the application of unc ooled thermal imaging system will be wider,especially in light thermal weapon,such as light weapon vision,driver vision enhancer and handle ther mal system,uncooled ther mal imaging syste m is expected to replace the high price,low reliability,big bulk cooled thermal imaging system gradually in recent years. Key words:Uncooled focal plane array; Infrared thermal imaging; Light weapon 0 引 言 红外热成像仪是一种可探测目标的红外辐射,并 通过光电转换、电信号处理等手段,将目标物体的温 度分布图像转换成视频图像的设备,是集光、机、电等尖端技术于一体的高新技术产品。在军事领域,它可以突破黑夜的障碍,实施夜间行动和作战,大幅度提 收稿日期:2003-11-07; 修订日期:2003-12-29 作者简介:邢素霞(1975-),女,山东菏泽人,博士生,主要从事红外热成像系统方面的研究。 第33卷第5期 红外与激光工程 2004年10月 Vol.33No.5 Infrared and Laser Engineering Oct.2004

非制冷焦平面探测器生产厂家

红外焦平面探测器是热成像系统的核心部件,是探测、识别和分析物体红外信息的关键,在军事、工业、交通、安防监控、气象、医学等各行业具有广泛的应用。 红外焦平面探测器可分为制冷型红外焦平面探测器和非制冷红外焦平面探测器,制冷型红外焦平面探测器的优势在于灵敏度高,能够分辨更细微的温度差别,探测距离较远,主要应用于高端军事装备;非制冷红外焦平面探测器无需制冷装置,能够工作在室温状态下,具有体积小、质量轻、功耗小、寿命长、成本低、启动快等优点。虽然在灵敏度上不如制冷型红外焦平面探测器,但非制冷红外焦平面探测器的性能已可满足部分军事装备及绝大多数民用领域的技术需要。近年来,随着非制冷红外焦平面探测器技术的不断进步和制造成本的逐渐下降,其性价比快速提升,为推动非制冷红外焦平面探测器的大规模市场应用创造了良好条件。 据悉,红外焦平面探测器是热成像系统的核心部件,是探测、识别和分析物体红外信息的关键,探测器的性能直接决定了热成像系统的最终性能。非制冷红外焦平面探测器无需制冷装置,能够在室温状态下工作,具有启动快、功耗低、

体积小、重量轻、寿命长、成本低等诸多优点。 大立科技公司研制的核心芯片是非制冷红外焦平面探测器。除满足自用需求,还以机芯组件(非制冷探测器+图像处理电路)的形式销售给其他用户单位使用,用户范围现已涵盖国内主要军工集团及科研院所。大立科技表示,公司连续承担了“十二五”、“十三五”国家“核高基”重大专项,现已形成探测器产业化能力,实现完全替代进口。2017年在国内实现百万像素级探测器产业化,产品入选工信部《民参军技术与产品推荐目录》。 大立科技是国内少数拥有完全自主知识产权,能够独立研发、生产热成像技术相关核心器件、机芯组件到整机系统全产业链完整的高新技术企业,是国内规模大、综合实力强的民用红外热像仪生产厂商之一。 更多详情请拨打咨询热线或登录浙江大立科技股份有限公司官网https://www.360docs.net/doc/0a15619691.html,/咨询。