SECS

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半導體廠自動化之通訊協定SECS I/II & GEM

李文猶陳玉雲蔡嘉鴻

870508@https://www.360docs.net/doc/1917087748.html,.tw

半導體機台與CIM(Computer Integrated Manufacturing,電腦整合製造)主機之通訊協定為SECS(SEMI Equipment Communication Standard,半導體設備通訊標準),此協定乃是由SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International,半導體設備與材料國際連盟)[1]所製定。半導體機台必須於運轉生產期間與主機保持密切的通連,以接受來自主機電腦的控制或詢問,並且能即時回應主機之要求與回報執行結果;除此之外亦需主動回報目前機台的異常狀況。

SECS 通訊之SECS Message(Stream Function)

一顆專用IC(Integrated Circuit)由HDL(Hardware Description Language,硬體描述語言)進行電路設計,而後送到半導體廠進行生產製造。IC由矽砂到封裝完成,所需的製造程序繁複,所需用到的半導體機台或半導體材料種類超過千種。為確保晶圓在每一道製程均能做到完美,或排除前一製程的不良品,生產的過程中不斷地有來自主機或機台的運轉訊息要相互傳遞,因此SEMI將SECS 的主要訊息分類為:

1.機台狀態(Equipment Status)。

2.機台控制及診斷(Equipment Control and Diagnostics)。

3.材料狀態(Material Status)

4.材料控制(Material Control)。

5.例外處置(Exception Handling)。

6.資料收集(Data Collection)。

7.機台操作管理(Process Program Management, Recipe)。

8.控制程式傳送(Control Program Transfer)。

9.系統錯誤(System Errors)。

10.終端機服務(Terminal Services)。

11.主機檔案服務(Host File Services)。

12.晶圓定位(Wafer Mapping)。

13.資料組傳送(Data Set Transfers)。

14.物件服務(Object Services)。

15.配方管理(Recipe Management)。

16.程序處理管理(Processing Management)。

17.子系統控制與資料(Subsystem Control and Data)。

這些主要訊息內所包含的常用子訊息為:

1.要求建立連線(Establish Communication):主機與機台建立連線。

2.機台操作配方:指定機台的運作的程序及執行參數。

3.遠端控制(Remote Control):由主機主動下令機台進行局部區域之

操作。

4.錯誤訊息(Error Message):回報主機所傳送的Stream Function或

參數有誤。

5.警報訊息(Alarm Message):機台回報警報訊息給主機。

6.動態事件回報(Dynamic Event Report):機台主動回報特殊狀況訊

息給主機。

7.變數資料收集(Variable Data Collection):收集機台耗材或零件損

耗及變化之資料。

8.狀態資料收集(Status Data Collection):收集目前機台之操作狀

態。

9.晶圓訊息:傳遞與晶圓或晶舟相關的訊息。

10.緩衝暫存(Spooling):主機與機台之連線在通訊中斷的時間內或通

訊的狀況下,機台會將指定為Spooled的訊息放入緩衝暫存區,

待回復連線後由主機以S6F23來詢問通訊中斷時間內機台所要

發出的訊息,主機則可用S2F43來指定保留於緩衝暫存區的訊

息。一般Stream one(S1Fx)不適合Spooled,一旦主機致能

Spooling功能後,在連線過程中被指定為Spooled的Steam

Function都會放入緩衝暫存區內,等待主機自行來取得,而不是

如其它訊息一樣直接傳給主機。

在SECS的標準中又將這些訊息分以不同的Stream Number搭配不同的Function Number來表示,其先以Stream Number來區分不同訊息種類,再以Function Number 來分類訊息意涵。二者的編號範圍Stream Number為0~127 ;Function Number為 0~255,並以Sn,Fm來表達。目前在SEMI中並未完全定義,其對應方式如下所示。

表一 Steam Function 對照表

訊息種類習用訊息種類Stream Number (n)Function Number (m)機台狀態10~20

機台控制及診斷20~50

材料狀態晶圓狀態30~26

材料控制晶圓控制40~42

例外處置警報訊息50~18

資料收集動態事件回報60~30

機台操作管理配方管理70~36

控制程式傳送80~4

系統錯誤錯誤訊息90~14

終端機服務100~10

主機檔案服務11已被SEMI刪除

晶圓定位120~20

資料組傳送130~16

物件服務140~18

配方管理150~48

程序處理管理160~28

機台控制及診斷170~14

子系統控制與資料180~14

常見的Stream Number為1、2、3、4、5、6、7、9與10。SECS以RS232通訊協定做為其傳輸標準,為使命令均能有效的傳達,主機與設備機台間採半雙工一問一答的方式相互溝通。發話者以單數之Function Number(Primary Message)做為其訊息代號,而受話者(回話者)若必須回覆發話者則以Function Number + 1(Secondary Message)做為其回覆訊息代號,所以表一的Function Number均以偶數結束。每一半導體機台所用到的Stream Function並不會相同,而且大部份機台實際所用到的Stream Function總數約為50個(單數之Function Number),這完全依機台操作的複雜度及動作需求來決定。

Stream Function之發送接收,主機或設備機台並非每一代號均可使用,有些只有主機才可以發送,部份則為設備專屬,當然也有二者均可發送的Stream Function,收話者若必需回話則一律以Function Number + 1回覆,常用的Stream Function如表二所示,表中灰色項目為具有標準機台介面(Standard Mechanical InterFace ,SMIF)的自動化生產系統( Automatic Manufacturing system)較常選用之Stream Function通訊訊息。

表二常用的Stream Function

Stream Function訊息意涵Host??Equip. S1F1Are you There??

S1F2On Line Data??

S1F3Selected Status Request?

S1F4Selected Status Request?

S1F5Formatted Status Request?

S1F6Formatted Status Data?

S1F9Material Transfer Status Data?

S1F10Material Transfer Status Data?

S1F11Status Variable Namelist Request?

S1F12Status Variable Namelist Reply?

S1F13Connect Request??

S1F14Connect Request Acknowledge??

S2F13Equipment Constant Request?

S2F14Equipment Constant Data?

S2F15New Equipment Constant Send?

S2F16New Equipment Constant Send Acknowledge?

S2F17Date and Time Request??

S2F18Date and Time Data??

S2F21Remote Command Send?

S2F22Remote Command Acknowledge?S2F23Trace Initial Send?S2F24Trace Initial Acknowledge?S2F25Diagnostic Loopback Request?S2F26Diagnostic Loopback Data?S2F27Initiate Processing Request?S2F28Initiate Processing Acknowledge?S2F29Equipment Constant Namelist Request?S2F30Equipment Constant Namelist Reply?S2F31Date and Time Send?S2F32Date and Time Acknowledge?S2F33Define Report?S2F34Define Report Acknowledge?S2F35Link Event Report?S2F36Link Event Report Acknowledge?S2F37Enable/Disable Event Report?S2F38Enable/Disable Event Report Acknowledge?S2F39Multi-Block Inquire?S2F40Multi-Block Grant?S2F41Remote Command with Parameters?S2F42Remote Command Acknowledge?S2F43Reset Spooling Streams and Functions?S2F44Reset Spooling Acknowledge?S2F47Variable Limit Attribute Request?S2F48Variable Limit Attribute Send?S2F49Enhanced Remote Command?S2F50Enhanced Remote Command Acknowledge?S2F65Reset Spooling Streams and Functions?S2F66Reset Spooling Streams and Functions Ack.?S2F85Variable Limit Attribute Request?S2F86Variable Limit Attribute Send?S2F87Define Variable Limit Attributes?S2F88Define Variable Limit Attributes Ack?S3F1Material Status Request?S3F2Material Status Data?S3F11Material ID Request?S3F12Material ID Request Acknowledge?S3F13Material ID Send?S3F14Material ID Acknowledge?S4F1Ready to Send Material??S4F2Ready to Send Acknowledge??S4F3Handshake Complete??S4F5Not Ready to Send??S4F17Request to Receive Material??S4F18Request to Receive Material Acknowledge??S5F1Alarm Report Send?S5F2Alarm Report Acknowledge?S5F3Enable/Disable Alarm Send?

S5F4Enable/Disable Alarm Acknowledge?S5F5List Alarm Request?S5F6List Alarm Data?S5F7List Enable Alarm Request?S5F8List Enable Alarm Acknowledge?S5F73Alarm Notification Send?S5F73Alarm Notification Acknowledge?S6F1Trace Data Send?S6F2Trace Data Acknowledge?S6F3Discrete Variable Data Send?S6F4Discrete Variable Data Acknowledge?S6F5Multi-block Data Send Inquire?S6F6Multi-block Grant?S6F9Formatted Variable Send?S6F10Formatted Variable Acknowledge?S6F11Event Report Send?S6F12Event Report Acknowledge?S6F13Annotated Event Report Send?S6F14Annotated Event Report Acknowledge?S6F15Event Report Request?S6F16Event Report Data?S6F17Annotated Event Report Request?S6F18Annotated Event Report Data?S6F19Individual Report Request?S6F20Individual Report Data?S6F21Annotated Individual Report Request?S6F22Annotated Individual Report Data?S6F23Request Spooled Data?S6F24Request Spooled Data Acknowledgement Send?S6F65Request Spooled Data?S6F66Request Spooled Data Acknowledge?S7F1Process Program Load Inquire?S7F2Process Program Load Grant?S7F3Process Program Send?S7F4Process Program Acknowledge?S7F5Process Program Request?S7F6Process Program Data?S7F7Process Program ID Request?S7F8Process Program ID Data?S7F17Delete Process Program Send?S7F18Delete Process Program Acknowledge?S7F19Current EPPID Request?S7F20Current EPPID Data?S9F1Unrecognized Device ID?S9F3Unrecognized Stream Type?S9F5Unrecognized Function Type?S9F7Illegal Data?S9F9Transaction Timer Timeout?

S9F11Data Too Long?

S9F13Conversation Timeout?

S9F67Incorrect System Bytes Received?

S10F1Terminal Request?

S10F2Terminal Request Acknowledge?

S10F3Terminal Display Single?

S10F4Terminal Display Single Acknowledge?

S10F5Terminal Display Multi-block?

S10F6Terminal Display Multi-block Acknowledge?

S10F9Broadcast?

S10F10Broadcast Acknowledge?SECS Message之資料結構

半導體廠所需的半導體生產設備來自不同的國家不同的公司,這些設備串起了半導體廠生產線,因此必須製定一個機台間的標準通訊方法及通訊資料格式。SECS之標準分為二部分SECS I [2] 及SECS II [3];SECS I定義了SECS通訊的電氣規格、傳輸速度、交握碼(Handshake Codes)、資料長度(Length Byte)、訊息前部(Message Header)、Checksum與等待時間限制,SECS II規範傳遞資料的標準結構。

SECS I:

1.以RS232為串列通訊標準,8N1的傳輸協定,並且採用半雙工方

式通訊。

2.通訊速度,Baud Rate為300~9600 bps,目前均為9600 bps,少數

為19200 bps。

3.交握碼,當機台或主機要開始傳送SECS Message 前要先送一個

ENQ告知對方要傳送資料(SECS Message)過去,等到對方回應

一個EOT時才開始傳送資料,而待資料收齊後則比對Checksum

是否相符,若相符則發出ACK告知對方;若不相符則發出NAK

告知對方再重傳一次。

表三交握碼

Name Binary Code Hex Function

ENQ0000 010105Request to Send

EOT0000 010004Ready to Receive

ACK0000 010106Correct Reception

NAK0001 010115Incorrect Reception

4.資料長度,為一個位元組,用以表示此一區塊(Block)內含多少

位元組,不含資料長度位元組及Checksum二個位元組,其值為

10~254。

5. 訊息Header ,共有10個位元組(10 Bytes )。每一Stream Function 所包含的資料最多可達7.99百萬位元組,這些資料則以254位元組為一Block ,最多32767個Blocks 。每一Block 含有一Header 及244位元組的資料。Header 內的訊息包括:裝置識別碼(Device ID ),訊息識別碼(Message ID / Stream Function ),區塊序號(Block No.),系統位元組(System Bytes )。以及R 、W 與E 三位元(bit ),分別表示傳輸者的地位(主機或設備機台)、是否要回覆訊息與是否為最後一個Block 。

6. Checksum ,2個位元組(2Bytes )。將Header 及Data 內的資料的加總,所得之二個位元組即為Checksum 。

7. R bit :R=0

Host ? Equipment ;R=1 Host ? Equipment 。

8. W bit :W=0 不必回覆訊息;W=1 必須回覆訊息。9. E bit :E=0 尚有Block ;E=1 此為最後一個Block 。

10. System Bytes ,必須每一Block 均相同,且在交談的過程每一Primary SECS Message 之System Bytes 均為唯一。主機或設備端自行維護其Primary Message 之System Bytes ,System Bytes 之規劃兩者無關,一般以累加的方式來產生。Secondary Message 之System Byte 則必須與Primary Message 之System Byte 相同。表四 一個SECS Message Block 的結構名稱數值意義註解位元組Length Byte 10~254資料長度

0Upper Device ID R 0~127

1Lower Device ID 0~256裝置試別碼,自行定義。2Upper Message ID W 0~127

Stream No.3Lower Message ID 0~255Function No.4Upper Block No.E 0~127

區塊序號5Lower Block No.1~255區塊序號6System Bytes 0~2557System Bytes 0~2558System Bytes 0~2559System Bytes 0~255系統比對用資料。

10Data

0~255SECS II 定義11

~254Upper Checksum 0~255255Lower Checksum

0~255

第1位元組至第254位元組之總和

256

11.等待時間限制:在資料傳遞的過程中,由於機台資料傳送的延遲或

因機台當機無法再傳遞資料,都會造成資料的不完整。必需重新傳

送,或告知主機通知設備工程師檢修機台。等待的時間有四種,而

傳輸錯誤之重試次數亦有規定。如表五所示。實際的時間限制則可

由機台的特性來訂定。

12.Inter Character Timeout:位元組(Byte)間的傳輸延遲上限。

13.Protocol Timeout:發出ENQ後至收到對方回EOT的等待時間上

限。

14.Reply Timeout:發出Primary Message完畢後等待對方回Secondary

Message的等待時間上限。

15.Inter-Block Timeout:在多區塊(Multi-Block)的場合下,判斷區

塊間的傳遞延遲時間上限。

16.Retry Limit:當對方發生Timeout未回應,再次重試的次數。

表五 Timeout 之分類

T Timeout名稱SEMI標準範圍精度

T1Inter-Character0.5(秒)0.1~10(秒)0.1(秒)

T2Protocol10(秒)0.2~25(秒)0.2(秒)

T3Reply45(秒)1~120(秒)1(秒)

T4Inter-Block45(秒)1~120(秒)1(秒)

RTY Retry Limit3(次)0~31(次)1(次)

SECS II

SECS II定義了Stream Function的結構及資料型態,一個Primary Message 可傳送的資料長度最多可達7.99百萬位元組。Primary Message的資料(Data)則由一些項目(Item)依序串接組成,共15種不同資料型態(Format Code)的Item,每一Item包含了2~4個位元組的Header用來記錄Item的資料型態及長度,其結構如下表六及表七所示。

表六Item Header Format

名稱

Bit Number

8 7 6 5 4 3 2 1位元組

資料型態(Format Byte)Format Code NLB1

長度(Length Byte, MSB)0~2552

長度(Length Byte)0~2553

長度(Length Byte, LSB)0~2554

Item的資料0~255 5 ~7.99 million 表七長度位元組的的數目(Number of Length Bytes)

NLB Maximum Length of Bytes

1255

264k

37.99 million

其中格式碼(Format Code)共有15種,可指定14種資格型態及一個分支碼(List),分支碼則可使得Message具的樹狀結構,更容易以文字表達說明,由此所成之結構語言即稱為SML(SECS Message Language)。分支碼沒有跟隨的資料只有2~4個位元組的Header,說明在分支碼下共包含幾個資料Item。格式碼分類如表八所示。

表八格式碼分類

Binary Bit 876543

八進位

(Octal)

十六進位(Hex)

(假設NLB=1)

代號意義

0000000001L LIST 0010001021B Binary 0010011125BOOLEAN Boolean 010*******A ASCII 010*******J JIS-8 0110003061I88-byte integer(signed) 0110013165I11-byte integer(signed) 0110103269I22-byte integer(signed) 0111003471I44-byte integer(signed) 1000004081F88-byte floating point 1001004491F44-byte floating point 10100050A1U88-byte integer(unsigned) 10100151A5U11-byte integer(unsigned) 10101052A9U22-byte integer(unsigned) 10110054B1U44-byte integer(unsigned) SECS Message 範例

一個最簡單的而且是必備的SECS Message 為S1F1,Say Hello,回應者必須回以S1F2。這個SECS Message只有10個位元組的Header,用來詢問對方是否在線,同時藉由Device ID來判斷是否彼此認識,透過SECS I的規範分別將0~10位元組送出即可。資料串如表九所示。其Checksum = 0249(Hex)。

表九由機台發出之S1F1 SECS Message

位元組資料數值(Hex)說明

00A共有10個位元組

181由Equipment發出

205Device ID = 0105

381對方必須回覆

401Message ID = S1F1

580最後一個區塊

601第一個區塊

700System Byte=000000C0

800System Byte=000000C0

900System Byte=000000C0

10C0System Byte=000000C0

而收到S1F1者則回以S1F2,在實際應用上主機端回應之S1F2除了修改表九之10個位元組外,還須再加上一個不具長度的L Item,其Checksum = 014B (Hex)。如表十所示,其SML如下所示。

S1F2:

>

表十由主機發出之S1F2

位元組資料數值(Hex)說明

00C共有12個位元組

101由Host發出

205Device ID = 0105

301對方不須回覆

402Message ID = S1F2

580最後一個區塊

601第一個區塊

700System Byte=000000C0

800System Byte=000000C0

900System Byte=000000C0

10C0System Byte=000000C0

1101L分支,一個Length Byte

1200沒有資料

但若S1F1由主機發出(表九之第1個位元組改成01,Checksum = 0109(Hex))則機台在回S1F2時必須再加上長度均為6位元組之Model Number及Software Version,如表十一所示。

S1F2:

>

表十一由機台發出之S1F2(Checksum = 0514(Hex))

位元組資料數值(Hex)說明

01C共有28個位元組

181由Equipment發出

205Device ID = 0105

301對方不須回覆

402Message ID = S1F2

580最後一個區塊

601第一個區塊

700System Byte=000000C0

800System Byte=000000C0

900System Byte=000000C0

10C0System Byte=000000C0

1101L分支,一個Length Byte

1202共有2個分支Item

1341A,一個Length Byte

1405這個Item共有6個Byte

1549第一筆 =‘I’

1654第二筆 =‘T’

1752第三筆 =‘R‘

1849第四筆 =‘I‘

1930第六筆 =‘0’

2031第七筆 =‘1’

2141A,一個Length Byte

2206這個Item共有6個Byte

2330第一筆 =‘0’

2430第二筆 =‘0’

2532第三筆 =‘2‘

262E第四筆 =‘.‘

2730第五筆 =‘0‘

2831第六筆 =‘1’

其它的SECS Message的內容則隨著機台與功能的不同而變化,當由SECS II 所規劃出來的SECS Message超過244位元組時,則必須先將其分割成小於等於224位元組為一區塊,再分別依序包裝成【區塊長度+ Message Header +(1~224位元組)+ Checksum】的資料,然後再依SECS I的標準送出,以下以一個S1F3及S1F4為範例。

S1F3:Status Request。此訊息乃是主機通知機台,要求機台回報特定的狀態變數。在此Message主機發出其所需求的狀態變數識別碼(Status Variable ID, SVID),告知機台回覆此Message中所指定的SVID之目前狀態值。在此中主機要求機台回覆SVID分別為0005及0008這兩個參數目前的數值,MSB先送出。當主機只發出L Item而長度為零時,則表主機要求機台回應所有的狀態變數。R=0(由Host發出),W=1(必須回覆),E=1(最後一個區塊)。Checksum =0332(Hex)。

S1F3:

>

表十二由主機發出之S1F3 SECS Message

位元組資料數值(Hex)說明

014共有20個位元組

101由Host發出

205Device ID = 0105

381對方必須回覆

403Message ID = S1F3

580最後一個區塊

601第一個區塊

700System Byte=000000C1

800System Byte=000000C1

900System Byte=000000C1

10C1System Byte=000000C1

1101L分支,一個Length Byte

1202共有2個分支Item

13A9U2型態,一個Length Byte

1402這個Item共有2個Byte

1500

1605第一筆 =0005

17A9U2型態,一個Length Byte

1802這個Item共有2個Byte

1900

2008第一筆 =0008

S1F4:Status Data。此為機台回應主機S1F3之訊息,回應主機要求狀態變數之數值,機台依主機送過來的SVID的順序回應。若主機所發出之SVID有誤或不存在,則機台回應L Item而長度為零。R=1(由Equipment發出),W=0(不必回覆),E=1(最後一個區塊)。Checksum = 02CA(Hex)。

S1F4:

34>

>

表十三由機台回應之S1F4 SECS Message

位元組資料數值(Hex)說明

022共有個34位元組

181由Equipment發出

205Device ID = 0105

301對方不須回覆

404Message ID = S1F4

580最後一個區塊

601第一個區塊

700System Byte=000000C1

800System Byte=000000C1

900System Byte=000000C1

10C1System Byte=000000C1

1101L分支,一個Length Byte

1205共有5個分支Item

13A9U2,一個Length Byte

1402這個Item共有2個Byte

1500

1640第一筆 =0040

31A9U2,一個Length Byte

3202這個Item共有2個Byte

3300

3422第一筆 =0022

滿足SECS II之必要條件

以上所談的Stream Function機台無需完全具備,因此必須定義機台的基本SECS功能。首先必須滿足前文的規範,接著SECS II在交換訊息的過程(Transaction Level)中必須擁有以下五項要求,方可稱為具有SECS機台。

1.具有S1F1及S1F2。

2.若機台收到無法處理的訊息時,至少必須有能力回應以下訊息S9-

F1,F3,F5,F7,F11。

3.所提供之SECS Message,不論是否為目前所定義或自行定義之Stream

Function,均須遵守SECS II Message設計規範。

4.交換訊息之時間延遲超過機台設定,則機台以S9F9通知機台。

5.若機台發出Primary Message後,主機回應之Secondary Message為F0

(Function 0)之訊息,則表要求機台中斷停止此交談,同時機台不可對

此訊息發出錯誤訊息給主機。

主機與機台的對話模式

對於特定的機台運作,會有不同的交談內容,所以交談的內容會有如劇本般的排序,在SECS通訊中則將此一來一往的交談稱為Scenario。對談的內容及劇本則依機台與主機間的協議而定,但也有SEMI已定義的Scenario。例如在發出Multi-Block的訊息前必須先以S6F5詢問對方是否接受具有Multi-Block的訊息,回話則以S6F6回應。而基本的七種對話則模式分述於下,

1.無需回應的對話:當發話者(Originator)認為收話者(Interpreter)無需

回報收話後的處理結果,或即使被拒絕也無妨時,則可告知收話者無需

回應(No Reply),此為最簡單的Primary Message,必須為single-block

SECS II message。

2.要求/資料的對話:發話者要求收話者回覆其所需的資料。

3.傳送/確認的對話:發話者發出single-block SECS II message後,會等待

收話者回覆確認(Acknowledge)訊息。

4.要求/同意/發送/確認:當發話者要發出multi-block SECS II message時,

須先詢問(Inquire)收話者的是否可接受multi-block的訊息,等收話者

回以同意(Grant)後,才開始發送(Send)訊息,而後會等待收話者回

覆確認(Acknowledge)訊息。

5.具有未格式化的資料在主機與機台間傳遞的交談。

6.在機台間有關晶圓控管的交談,此部份定義於Stream 4,請詳閱在此的

劇本[5],於此有描述晶圓傳送的詳細流程及應有的交談。

7.當發話者要求收話者回覆其所需之資訊時,回話者可能有三種不同的回

覆,1.資訊已回覆,2. 無法回覆發話者的資訊,3. 收話者告知發話者其

所要的資料將在隨後的交談中回覆。在第三種情況中,收話者必須在準

備好資料後主動與發話者交談,回覆先前發話者所要求獲得的資料。

話中插話

SECS II中一個比較具挑戰的定義為,插入(Interleaving)。Interleaving可是在不同Message間發生,也可以在區塊(Block)間發生。訊息插入(Message Interleaving)的場合為多重的發出或接收SECS Message,即在收話者未回覆前一訊息的情況下,發話者又發出多個訊息,此又稱為開放式交談(Open Transaction)。在多重區塊的場合下,亦可發生Interleaving;在未發完所有區塊前發話者發出另一訊息稱之為Block Interleaving。另外一般機台或主機亦會支援偵測重覆區塊(Duplicate Block)的功能。

設備控制用通訊協定GEM

Generic model for communications and control of manufacturing equipment(GEM) [4],就是SECS II的一個子集合如圖1所示。由前文可知SECS II是半導體設備與主機的一個標準通訊協定,但實際在機台設備上所會用到的並非全部,因此若可找出設備控制上所需的控制項,同時針對這些控制項來撰寫程式及設計機台,則將可省下可觀的研發費用。Global Information & Control Committee在1992年提出了GEM的規範,只要滿足GEM所定訂的規範與功能需求之機台或設備,即可稱之為滿足SECS I,SECS II 及GEM之機台,或直接稱GEM機台。

圖1 GEM的範圍

符合GEM規範的設備應具備的功能及處理訊息之能力,

建立連線:

1.建立通訊(Establish Communications):主機與設備相互要求對方建

立線。相關之Stream Function 為S1,F1/F2,S1,F13/F14。

資料收集:

2.事件告知(Even Notification):在設備的運作過程中,回報特定點

的資料給主機,主機無需以輪詢的方式來獲得設備資料。相關之Stream Function 為S6,F5/F6,S6,F11/F12與S6,F15/F16。

3.動態事件回報規劃(Dynamic Event Report Configuration):提供在一

些製程環境可彈性要求設備提供所需的資料,主機可任意的增加或減少設備資料的輸出量。相關之Stream Function 為S2,F39/F40,S2,F33/F34,S2,F35/F36與S2,F37/F38。

4.變數資料收集(Variable Data Collection):主機可用來詢問設備之資

料變數,在初始化及使通訊同步化的過程用處很大。相關之Stream Function 為S6,F19/F20。

5.追蹤資料收集(Trace Data Collection):要求機台以固定週期來取樣

所需的資料,可用來追蹤變數變化的趨勢與監看其數值。相關之Stream Function 為S2,F23/F24,S6,F1/F2與S2,F23/F24。

6.極限監控(Limits Monitoring):此項功能可使主機在必要的時候修

改監看的參數值範圍(上限與下限),提供主機一個具有彈性,有效率及非同步的方法來監控設備的狀況。此一功能已被應用在生產操作及診斷/測試上,同時也可應用在程序控制統計(Statistical Process Control, SPC)。相關之Stream Function 為S2,F45/F46,S2,F39/F40與S2,F47/F48。

7.狀態資料收集(Status Data Collection):此功能為主機要求設備回覆

指定的狀態訊息,在與設備狀態進行同步化時頗有效益。相關之

Stream Function 為S1,F3/F4與S1,F11/F12。

8.線上辨識(On-line Identification):滿足SEMI E5之基本要求,設備

回應設備模式型式及軟體版本。相關之Stream Function 為S1,F1/F2。

警報管理:

9.警報管理(Alarm Management):使主機可以通告與管理在機台上所

發生的警報情況。相關之Stream Function 為S5,F3/F4,S5,F5/F6,S5,F1/F2與S6,F11/F12。

遠端控制:

10.遠端控制(Remote Control):提供主機一個比設備更高的控制權

限。其可用的命令有,

--- 啟動製造程序(Start processing)

--- 選擇製程程式或配方(Select a process program or recipe)

--- 停止製造程序(Stop processing)

--- 暫時停止製造程序(Temporarily suspend processing)

--- 再啟動暫停中的製造程序(Resume processing)

--- 放棄製造程序(Abort processing)

相關之Stream Function 為S2,F41/F42, S2,F49/F50與

S6,F11/F12。

設備常數:

11.設備常數(Equipment Constant):提供一個主機可以取得及變更設

備常數的方法,主機可在不同情況下修改設備參數以獲得更佳的生產品質或產出。相關之Stream Function 為S2,F15/F16,S2,F13/F14,S2,F19/F20,S2,F29/F30與S6,F11/F12。

製程程式管理:

12.製程程式管理(Process Program Management):主要目的為在主機

與設備間傳送製程程式配方與管理這些製程配方。主機將設備運作的程序配方(Recipes)下載並儲存於設備中,供其編輯,驗證及執行。工程師所規劃的不同配方以及設備狀態不同的條件下,每一批貨都會有不同的結果。因此配方的下達所需考量的情況相當多,這也是半導體廠最重要的一道生產程序。相關之Stream Function 為S6,F11/F12,S7,F17/F18,S7,F19/F20,S7,F25/F26,S7,F5/F6,S7,F1/F2,S7,F23/F24,S7,F3/F4,S7,F29/F30,S7,F27/F28,S6,F11/F12,S15,F35/F36,S14,F1/F2,S15,F31/F32,S15,F1/F2,S15,F21/F22,S15,F27/F28,S15,F29/F30。

材料搬移:

13.材料搬移(Material Movement):此功能包括了在設備、暫存區與

存放區間晶圓的相互轉送,晶圓的轉送可藉由AGV機械人、軌道

車以及一些專門用來搬運的設備。相關之Stream Function 為

S6,F11/F12。

設備終端服務:

14.設備終端服務(Equipment Terminal Services):允許主機在機台之

顯示裝置上顯示一些訊息,或顯示由操作員傳送到主機的訊息。相

關之Stream Function 為S10,F3/4,S10,F1/F2,S10,F3/F4,

S6,F11/F12,S10,F5/F6以及S10,F7。

錯誤訊息:

15.錯誤訊息(Error Message):提供主機由機台偵測到的一些有關特

殊訊息或通訊失敗的原因。相關之Stream Function 為S9,F1,S9,F3,

S9,F5,S9,F7,S9,F9,S9,F11,S9,F13。

時間:

16.時間(Clock):機台提供主機一個動作的參考時間以及多個設備間

的時間參考,這個時間可提供EVENT或 ALARM發生的時間以供

辨讀。相關之Stream Function 為S2,F17/F18,S2,F31/F32。SEMI所定之GEM Stream Function

表十四SEMI所定之GEM Stream Function

Stream Function訊息意涵Host??Equip. S1F1Are you There??

S1F2On Line Data??

S1F3Selected Status Request?

S1F4Selected Status Request?

S1F11Status Variable Namelist Request?

S1F12Status Variable Namelist Reply?

S1F13Connect Request??

S1F14Connect Request Acknowledge??

S1F15Request OFF-LINE?

S1F16OFF-LINE Acknowledge?

S1F17Request ON-LINE?

S1F18ON-LINE Acknowledge?

S2F13Equipment Constant Request?

S2F14Equipment Constant Data?

S2F15New Equipment Constant Send?

S2F16New Equipment Constant Send Acknowledge?

S2F17Date and Time Request??

S2F18Date and Time Data??

S2F23Trace Initial Send?

S2F24Trace Initial Acknowledge?

S2F29Equipment Constant Namelist Request?

S2F30Equipment Constant Namelist Reply?

S2F31Date and Time Send?S2F32Date and Time Acknowledge?S2F33Define Report?S2F34Define Report Acknowledge?S2F35Link Event Report?S2F36Link Event Report Acknowledge?S2F37Enable/Disable Event Report?S2F38Enable/Disable Event Report Acknowledge?S2F39Multi-Block Inquire?S2F40Multi-Block Grant?S2F41Remote Command with Parameters?S2F42Remote Command Acknowledge?S2F43Reset Spooling Streams and Functions?S2F44Reset Spooling Acknowledge?S2F47Variable Limit Attribute Request?S2F48Variable Limit Attribute Send?S2F49Enhanced Remote Command?S2F50Enhanced Remote Command Acknowledge?S5F1Alarm Report Send?S5F2Alarm Report Acknowledge?S5F3Enable/Disable Alarm Send?S5F4Enable/Disable Alarm Acknowledge?S5F5List Alarm Request?S5F6List Alarm Data?S6F1Trace Data Send?S6F2Trace Data Acknowledge?S6F5Multi-block Data Send Inquire?S6F6Multi-block Grant?S6F11Event Report Send?S6F12Event Report Acknowledge?S6F15Event Report Request?S6F16Event Report Data?S6F19Individual Report Request?S6F20Individual Report Data?S6F23Request Spooled Data?S6F24Request Spooled Data Acknowledgement Send?S7F1Process Program Load Inquire?S7F2Process Program Load Grant?S7F3Process Program Send?S7F4Process Program Acknowledge?S7F5Process Program Request?S7F6Process Program Data?S7F17Delete Process Program Send?S7F18Delete Process Program Acknowledge?S7F19Current EPPID Request?S7F20Current EPPID Data?S7F23Formatted Process Program Send??S7F24Formatted Process Program Acknowledge??

S7F25Formatted Process Program Request??

S7F26Formatted Process Program Data??

S7F27Process Program Verification Send??

S7F28Process Program Verification Acknowledge??

S7F29Process Program Verification Inquire?

S7F30Process Program Verification Grant?

S9F1Unrecognized Device ID?

S9F3Unrecognized Stream Type?

S9F5Unrecognized Function Type?

S9F7Illegal Data?

S9F9Transaction Timer Timeout?

S9F11Data Too Long?

S9F13Conversation Timeout?

S10F1Terminal Request?

S10F2Terminal Request Acknowledge?

S10F3Terminal Display Single?

S10F4Terminal Display Single Acknowledge?

S10F5Terminal Display Multi-block?

S10F6Terminal Display Multi-block Acknowledge?

S10F9Broadcast?

S10F7Multi-block Not Allowed?

S14F1GetAttr Request??

S14F2GetAttr Data??

S15F1Recipe Management Multi-block Inquire??

S15F2Recipe Management Multi-block Grant??

S15F21Recipe Action Request??

S15F22Recipe Action Request??

S15F27Recipe Download Request?

S15F28Recipe Download Acknowledge?

S15F29Recipe Verify Request?

S15F30Recipe Verify Acknowledge?

S15F31Recipe Upload Request?

S15F32Recipe Upload Data?

S15F35Recipe Delete Request?

S15F36Recipe Delete Acknowledge?

結論

文中以討論半導體廠所使用之設備與電腦整合主機間的通訊協定,SECS I 談的是電氣規格的製定,SECS II是通訊內容的協定,GEM則是為一機台控制所製定出來的一個精簡版SECSII。SECS Message雖為半導體電腦整合製造所製定的規範,但仍可適用於其它電腦整合製造的產業。一個好的通訊協定並不容易有週延的製定,況且此一通訊協定已行之八年以上,穩定性及可靠性均已測試改良過,若能好好的運用應可從中獲得很多的助益。文中並未詳述所有的訊息格式或更新的資料,但基本框架均已備齊,讀者可由參考文獻中獲得完整的資料。

參考文獻

1.“Standard for SEMI Equipment Communication Standard Message Service,”

Global Information & Control Committee, SEMI E13, 1999.

2.“SEMI equipment communications standard 1 message transfer,” Global

Information & Control Committee, SEMI E4-0699, 1999.

3.“SEMI equipment communications standard 2 message content,” Global

Information & Control Committee, SEMI E5-0299, 1998.

4.“Generic model for communications and control of manufacturing

equipment,” Global Information & Control Committee, SEMI E30-0600,

2000.

5.“Specification for Cassette Transfer Parallel I/O Interface,” Global

Information & Control Committee, SEMI E23, 1999.

6.本部門網站,https://www.360docs.net/doc/1917087748.html,.tw。

7.其它相關網站,https://www.360docs.net/doc/1917087748.html,、

https://www.360docs.net/doc/1917087748.html,/web/wmagazine.nsf以及http://www.selete.co.jp。

通信协议(ASCII)

组态王与单片机协议 1.通讯口设置: 通讯方式:RS-232,RS-485,RS-422均可。 波特率:由单片机决定(2400,4800,9600and19200bps)。 注意:在组态王中设置的通讯参数如波特率,数据位,停止位,奇偶校验必须与单片机编程中的通讯参数一致 2.在组态王中定义设备地址的格式 格式:##.# 前面的两个字符是设备地址,范围为0-255,此地址为单片机的地址,由单片机中的程序决定; 后面的一个字符是用户设定是否打包,“0”为不打包、“1”为打包,用户一旦在定义设备时确定了打包,组态王将处理读下位机变量时数据打包的工作。 注意:在组态王中定义变量时,一个X寄存器根据所选数据类型(BYTE,UINT,FLOAT)的不同分别占用一个、两个,四个字节,定义不同的数据类型要注意寄存器后面的地址,同一数据区内不可交叉定义不同数据类型的变量。为提高通讯速度建议用户使用连续的数据区。 例如, 1、在单片机中定义从地址0开始的数据类型为BYTE型的变量: 则在组态王中定义相应的变量的寄存器为X0、X1、X2、X3、X4。。。。。。。。,数据类型为BYTE,每个变量占一个字节 2、在单片机中定义从地址100开始的数据类型为UINT型的变量: 则在组态王中定义相应的变量的寄存器为X100、X102、X104、X106、X108。。。。。。。。,数据类型UINT,每个变量占两个字节 3、在单片机中定义从地址200开始的数据类型为FLOAT型的变量: 则在组态王中定义相应的变量的寄存器为X200、X204、X208、X212。。。。。。。,数据类型FLOAT,每个变量占四个字节 3.组态王与单片机通讯的命令格式:

串口通信协议

串口通讯—通信协议 所谓通信协议是指通信双方的一种约定。约定包括对数据格式、同步方式、传送速度、传送步骤、检纠错方式以及控制字符定义等问题做出统一规定,通信双方必须共同遵守。因此,也叫做通信控制规程,或称传输控制规程,它属于ISO'S OSI七层参考模型中的数据链路层。 目前,采用的通信协议有两类:异步协议和同步协议。同步协议又有面向字符和面向比特以及面向字节计数三种。其中,面向字节计数的同步协议主要用于DEC公司的网络体系结构中。 一、物理接口标准 1.串行通信接口的基本任务 (1)实现数据格式化:因为来自CPU的是普通的并行数据,所以,接口电路应具有实现不同串行通信方式下的数据格式化的任务。在异步通信方式下,接口自动生成起止式的帧数据格式。在面向字符的同步方式下,接口要在待传送的数据块前加上同步字符。 (2)进行串-并转换:串行传送,数据是一位一位串行传送的,而计算机处理数据是并行数据。所以当数据由计算机送至数据发送器时,首先把串行数据转换为并行数才能送入计算机处理。因此串并转换是串行接口电路的重要任务。 (3)控制数据传输速率:串行通信接口电路应具有对数据传输速率——波特率进行选择和控制的能力。 (4)进行错误检测:在发送时接口电路对传送的字符数据自动生成奇偶校验位或其他校验码。在接收时,接口电路检查字符的奇偶校验或其他校验码,确定是否发生传送错误。 (5)进行TTL与EIA电平转换:CPU和终端均采用TTL电平及正逻辑,它们与EIA采用的电平及负逻辑不兼容,需在接口电路中进行转换。 (6)提供EIA-RS-232C接口标准所要求的信号线:远距离通信采用MODEM时,需要9根信号线;近距离零MODEM方式,只需要3根信号线。这些信号线由接口电路提供,以便与MODEM或终端进行联络与控制。 2、串行通信接口电路的组成 为了完成上述串行接口的任务,串行通信接口电路一般由可编程的串行接口芯片、波特率发生器、EIA 与TTL电平转换器以及地址译码电路组成。其中,串行接口芯片,随着大规模继承电路技术的发展,通用的同步(USRT)和异步(UART)接口芯片种类越来越多,如下表所示。它们的基本功能是类似的,都能实现上面提出的串行通信接口基本任务的大部分工作,且都是可编程的。才用这些芯片作为串行通信接口电路的核心芯片,会使电路结构比较简单。 3.有关串行通信的物理标准 为使计算机、电话以及其他通信设备互相沟通,现在,已经对串行通信建立了几个一致的概念和标准,这些概念和标准属于三个方面:传输率,电特性,信号名称和接口标准。 1、传输率:所谓传输率就是指每秒传输多少位,传输率也常叫波特率。国际上规定了一个标准波特率系列,标准波特率也是最常用的波特率,标准波特率系列为110、300、600、1200、4800、9600和19200。大多数CRT终端都能够按110到9600范围中的任何一种波特率工作。打印机由于机械速度比较慢而使传输波特率受到限制,所以,一般的串行打印机工作在110波特率,点针式打印机由于其内部有较大的行缓冲

电脑通讯协议

电脑通讯协议 数据格式说明: 0XAF,0XAF:同步头 0X00,0X00:ID码(一般是0X00,0X00) 0XAF:头 0X80,0X00:命令码(上位机发码是0X80,YY,单片几发码给电脑0X00,YY)LEN:数据长度是从LEN开始到CS的数据个数,不包括LEN和CS CS:是验证码,CS前面所有数据之和%0XFF 结束码:0X0D 0X0A 举例: 设置空中参数为9600代码为: AF AF 00 00 AF 80 03 02 04 00 96 0D 0A 读取空中参数代码为: AF AF 00 00 AF 80 04 02 00 00 93 0D 0A //******************************************************************* 02发码设置串口 AF AF 00 00 AF 80 01 LEN XX YY CS 0D 0A XX:01-1200 02-2400 03-4800 04-9600 05-19200 06-38400 07-56700 08-115200 YY:00-无验证 01-偶验证 02-奇验证 答应回码 AF AF 00 00 AF 00 01 LEN XX YY CS 0D 0A XX:01-1200 02-2400 03-4800 04-9600 05-19200 06-38400

07-56700 08-115200 YY:00-无验证 01-验证 02-奇验证 //******************************************************************* 03读串口参数 //读串口参数 //AF AF 00 00 AF 80 02 LEN 00 00 CS 0D 0A //答应参数 //AF AF 00 00 AF 00 02 LEN XX YY CS 0D 0A XX:01-1200 02-2400 03-4800 04-9600 05-19200 06-38400 07-56700 08-115200 YY:00-无验证 01-偶验证 02-奇验证 //******************************************************************* 04设空中参数// //AF AF 00 00 AF 80 03 LEN XX YY CS 0D 0A //XX 01-1200 02-2400 03-4800 04-9600 05-19200 06-38400 07-56700 08-115200 YY=0 //答应参数 //AF AF 00 00 AF 00 03 LEN XX YY CS 0D 0A //XX 01-1200 02-2400 03-4800 04-9600 05-19200 06-38400 07-56700 08-115200

常用网络通信协议简介

常用网络通信协议简介 常用网络通信协议 物理层: DTE(Data Terminal Equipment):数据终端设备 DCE(Data Communications Equipment):数据电路端接设备 #窄宽接入: PSTN ( Public Switched Telephone Network )公共交换电话网络 ISDN(Integrated Services Digital Network)ISDN综合业务数字网 ISDN有6种信道: A信道 4khz模拟信道 B信道 64kbps用于语音数据、调整数据、数字传真 C信道 8kbps/16kbps的数字信道,用于传输低速数据 D信道 16kbps数字信道,用于传输用户接入信令 E信道 64kbps数字信道,用于传输内部信令 H信道 384kbps高速数据传输数字信道,用于图像、视频会议、快速传真等. B代表承载, D代表Delta. ISDN有3种标准化接入速率: 基本速率接口(BRI)由2个B信道,每个带宽64kbps和一个带宽16kbps的D信道组成。三个信道设计成2B+D。 主速率接口(PRI) - 由很多的B信道和一个带宽64Kbps的D信道组成,B信道的数量取决于不同的国家: 北美和日本: 23B+1D, 总位速率1.544 Mbit/s (T1) 欧洲,澳大利亚:30B+2D,总位速率2.048 Mbit/s (E1) FR(Frame Relay)帧中继

X.25 X.25网络是第一个面向连接的网络,也是第一个公共数据网络. #宽带接入: ADSL:(Asymmetric Digital Subscriber Line)非对称数字用户环路 HFC(Hybrid Fiber,Coaxial)光纤和同轴电缆相结合的混合网络 PLC:电力线通信技术 #传输网: SDH:(Synchronous Digital Hierarchy)同步数字体系 DWDM:密集型光波复用(DWDM:Dense Wavelength Division Multiplexing)是能组合一组光波长用一根光纤进行传送。这是一项用来在现有的光纤骨干网上提高带宽的激光技术。更确切地说,该技术是在一根指定的光纤中,多路复用单个光纤载波的紧密光谱间距,以便利用可以达到的传输性能(例如,达到最小程度的色散或者衰减)。 #无线/卫星: LMDS:(Local Multipoint Distribution Services)作区域多点传输服务。这是一种微波的宽带业务,工作在28GHz附近频段,在较近的距离双向传输话音、数据和图像等信息。 GPRS:(General Packet Radio Service)通用分组无线服务技术。 3G:(3rd-generation,3G)第三代移动通信技术 DBS:(Direct Broadcasting Satellite Service)直播卫星业务 VAST: 协议:RS-232、RS-449、X.21、V.35、ISDN、FDDI、IEEE802.3、IEEE802.4、IEEE802.5等。 RS-232:是个人计算机上的通讯接口之一,由电子工业协会(Electronic Industries

网络协议大全

网络协议大全 在网络的各层中存在着许多协议,它是定义通过网络进行通信的规则,接收方的发送方同层的协议必须一致,否则一方将无法识别另一方发出的信息,以这种规则规定双方完成信息在计算机之间的传送过程。下面就对网络协议规范作个概述。 ARP(Address Resolution Protocol)地址解析协议 它是用于映射计算机的物理地址和临时指定的网络地址。启动时它选择一个协议(网络层)地址,并检查这个地址是否已经有别的计算机使用,如果没有被使用,此结点被使用这个地址,如果此地址已经被别的计算机使用,正在使用此地址的计算机会通告这一信息,只有再选另一个地址了。 SNMP(Simple Network Management P)网络管理协议 它是TCP/IP协议中的一部份,它为本地和远端的网络设备管理提供了一个标准化途径,是分布式环境中的集中化管理的重要组成部份。 AppleShare protocol(AppleShare协议) 它是Apple机上的通信协议,它允许计算机从服务器上请求服务或者和服务器交换文件。AppleShare可以在TCP/IP协议或其它网络协议如IPX、AppleTalk上进行工作。使用它时,用户可以访问文件,应用程序,打印机和其它远程服务器上的资源。它可以和配置了AppleShare协议的任何服务器进行通信,Macintosh、Mac OS、Windows NT和Novell Netware都支持AppleShare协议。 AppleTalk协议 它是Macintosh计算机使用的主要网络协议。Windows NT服务器有专门为Macintosh服务,也能支持该协议。其允许Macintosh的用户共享存储在Windows NT文件夹的Mac-格式的文件,也可以使用和Windows NT连接的打印机。Windows NT共享文件夹以传统的Mac文件夹形式出现在Mac用户面前。Mac 文件名按需要被转换为FAT(8.3)格式和NTFS文件标准。支持MAc文件格式的DOS和Windows客户端能与Mac用户共享这些文件。 BGP4(Border Gateway Protocol Vertion 4)边界网关协议-版本4 它是用于在自治网络中网关主机(每个主机有自己的路由)之间交换路由信息的协议,它使管理

通讯协议大全

T C P/I P TCP/IP是网络中使用的基本的通信协议。 TCP/IP协议包括TCP、IP、UDP、ICMP、RIP、TELNETFTP、SMTP、ARP、TFTP等许多协议,这些协议一起称为TCP/IP协议。 IPX/SPX(多用于局域网) 是基于施乐的XEROX’S Network System(XNS)协议,而SPX是基于施乐的XEROX’S SPP (Sequenced Packet Protocol:顺序包协议)协议 NetBEUI 即NetBios Enhanced User Interface,或NetBios增强用户接口。 网络通信协议: RS-232-C、RS-449、V.35、X.21、HDLC 简单网络管理协议: 简单网络管理协议SNMP、点到点协议PPP 3G标准: WCDMA(欧洲版)、CDMA2000(美国版)和TD-SCDMA(中国版) Modbus协议 Modbus就是工业控制器的网络协议中的一种 包括ASCII、RTU和TCP

现在Modbus已经是工业领域全球最流行的协议。此协议支持传统的RS-232、RS-422、RS-485和以太网设备。许多工业设备,包括PLC,DCS,智能仪表等都在使用Modbus协议作为他们之间的通讯标准。有了它,不同厂商生产的控制设备可以连成工业网络,进行集中监控。 网络协议大全 1、ARP(address resolution protocol)地址解析协议 2、SNMP(simple network management P)网络管理协议,是TCP/IP的一部分 3、AppleShare protocol(AppleShare 协议) 4、AppleTalk 协议 5?、BOOTP协议(Bootstrap?Protocol)?应用一个基于TCP/IP协议的协议,该协议主要用于有无盘工作站的局域网 6、CMIP(Common Management Information Protocol)通用管理信息协议,它是建立在开放系统互连通信模式上的网络管理协议。相关的通用管理信息服务(CMIS)定义了访问和控制网络对象,设备和从对象设备接收状态信息的方法。 7、 DHCP协议、Dynamic?Host?Configuration?Protocol(动态主机配置协议),应用:在Windows中要启用DHCP协议,只要将IP地址设置为“自动获得IP地址”即可 9、Connection-oriented Protocol/Connectionless Protocol面向连接的协议/无连接协议 10 、Discard Protocol抛弃协议它的作用就是接收到什么抛弃什么,它对调试网络状态

检修界限划分规定

****有限公司 设备设施检修界线划分规定 第一章总则 第一条划分检修界线的目的 为更加积极有效开展设备检修工作,确保公司生产安全、平稳、连续正常运行。确保投运设备“用、管、修”到位,避免设备失修、漏修、欠修,以及因此而导致设备故障、事故发生。 第二条本规定适用于****有限公司(以下简称公司)。 第三条定义或概念(说明) 本规定的检修范围为厂区内的所有设备及管网。 第二章规范的事项 第四条本办法规范以下事项 明确各单位设备检修范围、内容、界线,根据此进一步明确设备使用、维护、检修的职责。 第三章具体工作内容、程序 第五条设备的检修内容、范围及界线包括以下工作内容:(一)电解一、二分厂设备的检修内容、范围及界线 1、电解槽 A、检修内容 电解槽短路口、阳极提升机构、出铝气缸、打壳气缸、氧化铝下料系统、氟化盐下料系统、不锈钢滤袋、气控柜及管路、槽上阀件、分格板

B、检修界线 短路口归检修综合分厂检修,包括短路口操作,短路口维护、日常清洁由电解分厂负责; 上述电解槽其他设备由电解分厂检修,其中提升机构电机拆、接线由计算机站负责,电解分厂负责操作、维护。 2、电解多功能天车、轨道、滑线 A、检修内容 电解多功能天车、轨道、滑线 B、检修界线 电解多功能天车、轨道及滑线由检修综合分厂负责检修、以及空压机、液压站、配电箱的维护,电解分厂负责操作、清洁及其他维护,各种仪器仪表、衡器由检控中心负责校检维护; 3、电解厂房内超浓相输送设备 A、检修内容 超浓相溜槽、管道及阀门。 B、检修界线 厂房内超浓相输送设备以软连接上连接口为界,以上部分归检修综合分厂检修,净化分厂操作、维护;以下部分归电解分厂检修、操作、维护。 4、电解厂房内电解烟气净化设备 A、检修内容 手动插板阀、绝缘管、电动碟阀及控制箱 B、检修界线

通讯方式和通讯协议介绍

目录 一、RS232的串口通讯 (2) 应用 (2) 工作方式 (2) 接口标准 (2) 电路组成 (3) 概述 (3) 简介 (3) 二、RS485串行通讯 (3) 简介 (3) 接口 (4) 电缆 (4) 布网 (5) 区别 (5) 三、串行通信 (6) 概念 (6) 分类 (7) 同步通信 (7) 异步通信 (7) 特点 (7) 形式和标准 (7) 调幅方式 (7) 调频方式 (8) 数字编码方式 (8) 数据传输率 (8) 发送时钟和接收时钟 (9) 异步通信协议 (9) 通信协议 (10) 普遍协议 (10) USB (11) IEEE 1394 (11) 相关应用 (12) 四、通讯协议 (12) 简介 (12) 详细介绍 (13) TCP/IP (13) IPX/SPX (13) NetBEUI (14) 通信协议 (14) RS-232-C (14) RS-449 (14) V.35 (15) X.21 (15) HDLC (15) 管理协议 (15) SNMP (15) PPP (16)

一、RS232的串口通讯 应用 随着计算机系统的应用和微机网络的发展,通信功能越来越显得重要.这里所说的通信是指计算机与外界的信息交换.因此,通信既包括计算机与外部设备之间,也包括计算机和计算机之间的信息交换.由于串行通信是在一根传输线上一位一位的传送信息,所用的传输线少,并且可以借助现成的电话网进行信息传送,因此,特别适合于远距离传输.对于那些与计算机相距不远的人-机交换设备和串行存储的外部设备如终端、打印机、逻辑分析仪、磁盘等,采用串行方式交换数据也很普遍.在实时控制和管理方面,采用多台微机处理机组成分级分布控制系统中,各CPU 之间的通信一般都是串行方式.所以串行接口是微机应用系统常用的接口。许多外设和计算机按串行方式进行通信,这里所说的串行方式,是指外设与接口电路之间的信息传送方式,实际上,CPU 与接口之间仍按并行方式工作. 工作方式 由于CPU 与接口之间按并行方式传输,接口与外设之间按串行方式传输,因此,在串行接口中,必须要有" 接收移位寄存器" (串→并)和" 发送移位寄存器" (并→串). 在数据输入过程中,数据1 位1 位地从外设进入接口的" 接收移位寄存器",当" 接收移位寄存器" 中已接收完1 个字符的各位后,数据就从" 接收移位寄存器" 进入" 数据输入寄存器" . CPU 从" 数据输入寄存器" 中读取接收到的字符.(并行读取,即D7~D0 同时被读至累加器中). " 接收移位寄存器" 的移位速度由" 接收时钟" 确定. 在数据输出过程中,CPU 把要输出的字符(并行地)送入" 数据输出寄存器"," 数据输出寄存器" 的内容传输到" 发送移位寄存器",然后由" 发送移位寄存器" 移位,把数据1 位 1 位地送到外设. " 发送移位寄存器" 的移位速度由" 发送时钟" 确定. 接口中的" 控制寄存器" 用来容纳CPU 送给此接口的各种控制信息,这些控制信息决定接口的工作方式. " 状态寄存器" 的各位称为" 状态位",每一个状态位都可以用来指示数据传输过程中的状态或某种错误.例如,用状态寄存器的D5 位为"1" 表示" 数据输出寄存器" 空,用D0 位表示" 数据输入寄存器满",用D2 位表示" 奇偶检验错" 等. 能够完成上述" 串<- -> 并" 转换功能的电路,通常称为" 通用异步收发器" (UART :Universal Asynchronous Receiver and Transmitter),典型的芯片有:Intel 8250/8251,16550 接口标准 ⑴实现数据格式化:因为来自CPU的是普通的并行数据,所以,接口电路应具有实现不同串行通信方式下的数据格式化的任务。在异步通信方式下,接口自动生成起止式的帧数据格式。在面向字符的同步方式下,接口要在待传送的数据块前加上同步字符。

协议号大全

协议号大全 Decimal Keyword Protocol References -------- ------------- ---------------------------- ---------------- 0 HOPOPT IPv6 Hop-by-Hop Option [RFC1883] 1 ICMP Internet Control Message [RFC792] 2 IGMP Internet Group Management [RFC1112] 3 GGP Gateway-to-Gateway [RFC823] 4 IP IP in IP (encapsulation) [RFC2003] 5 ST Stream [RFC1190,RFC1819] 6 TCP Transmission Control [RFC793] 7 CBT CBT [Ballardie] 8 EG P Exterior Gateway Protocol [RFC888,DLM1] 9 IG P any private interior gateway [IANA] (used by Cisco for their IGRP) 10 BBN-RCC-MON BBN RCC Monitoring [SGC] 11 NVP-II Network Voice Protocol [RFC741,SC3] 12 PUP PUP [PUP,XEROX] 13 ARGUS ARGUS [RWS4] 14 EMCON EMCON [BN7] 15 XNET Cross Net Debugger [IEN158,JFH2] 16 CHAOS Chaos [NC3] 17 UDP User Datagram [RFC768,JBP] 18 MUX Multiplexing [IEN90,JBP] 19 DCN-MEAS DCN Measurement Subsystems [DLM1] 20 HMP Host Monitoring [RFC869,RH6] 21 PRM Packet Radio Measurement [ZSU] 22 XNS-IDP XEROX NS IDP [ETHERNET,XEROX] 23 TRUNK-1 Trunk-1 [BWB6] 24 TRUNK-2 Trunk-2 [BWB6] 25 LEAF-1 Leaf-1 [BWB6] 26 LEAF-2 Leaf-2 [BWB6] 27 RDP Reliable Data Protocol [RFC908,RH6] 28 IRTP Internet Reliable Transaction [RFC938,TXM] 29 ISO-TP4 ISO Transport Protocol Class 4 [RFC905,RC77] 30 NETBLT Bulk Data Transfer Protocol [RFC969,DDC1] 31 MFE-NSP MFE Network Services Protocol [MFENET,BCH2] 32 MERIT-INP MERIT Internodal Protocol [HWB] 33 DCCP Datagram Congestion Control Protocol 34 3PC Third Party Connect Protocol [SAF3] 35 IDPR Inter-Domain Policy Routing Protocol [MXS1] 36 XTP XTP [GXC] 37 DDP Datagram Delivery Protocol [WXC] 38 IDPR-CMTP IDPR Control Message Transport Proto [MXS1] 39 TP++ TP++ Transport Protocol [DXF] 40 IL IL Transport Protocol [Presotto] 41 IPv6 Ipv6 [Deering]

5.4青年节年龄界限标准

5.4青年节年龄界限标准 5.4青年节关于青年年龄界限的划分标准 我国青年年龄划分标准 1.共青团 共青团章程第一条对团员的年龄作出了明确规定:年龄在14周岁以上,28周岁以下的中国青年,承认团的章程,愿意参加团组织并在其中积极工作、执行团的决议和按期交纳团费的,可以申请加入中国共产主义青年团。 团员年满28周岁,没有担任团内职务的,应该办理离团手续。这意味着,此次享受假期青年的年龄限制和团员恰好一致。 2.国家统计局 统计部门对青少年的划分是0岁至14岁。 对老年人的划分标准有两个,分别是60岁以上,65岁以上,但是对青年年龄段没有划分。 3.杰出青年 以国内非常权威的十大杰出青年评选来看,参评年龄段一般是18岁至40岁。比如,20xx年评出的第十八届全国十大杰出青年中,有两位是1968年出生的,今年正好40岁。

从各省市来看,对“十大杰出青年”的年龄上限更是各不相同,陕西省是39岁,江苏省是45岁,XX市是45岁,XX市是40岁。 国际上的“青年”划分标准 1.联合国 曾在一份文件中把14岁至25岁的人称为“青年人口” 2.世界卫生组织 44岁以下的人被列为青年;45~59岁的人被列为中年;60~74岁的人为较老年;75~89岁的人为老年;90岁以上为长寿者。5.4青年节的由来 五四青年节是为纪念1919年5月4日中国学生爱国运动而设立的节日。 1919年5月4日,北京的青年学生为了抗议帝国主义国家在巴黎和会上支持日本对我国的侵略行动,举行了声势浩大的游行示威,最后发展成为全国人民参加的反帝反封建的爱国运动。“五四”运动表现了中国人民保卫民族独立与争取民主自由的坚强意志,标志着中国新民主主义革命的开始。1949年政务院正式宣布每年的5月4日为“中国青年节”。 五四青年节的由来背景1918年11月11日,延续4 年之久的第一次世界大战以英、美、法等国的胜利和德、奥

通信协议

常用通信协议汇总 一、有线连接 1.1RS-232 优点:RS-232是为点对点(即只用一对收、发设备)通讯而设计的,其驱动器负载为3kΩ~7kΩ。所以RS-232适合本地设备之间的通信。 缺点:(1)接口的信号电平值较高,易损坏接口电路的芯片,又因为与TTL 电平不兼容故需使用电平转换电路方能与TTL电路连接。 (2)传输速率较低,在异步传输时,最高速率为20Kbps。 (3)接口使用一根信号线和一根信号返回线而构成共地的传输形式,而发送电平与接收 电平的差仅为2V至3V左右,所以其共模抑制能力差,再加上双绞线上的分布电容,其传送距离最大为约15米。 1.2RS-485 RS485有两线制和四线制两种接线,四线制只能实现点对点的通信方式,现很少采用,现在多采用的是两线制接线方式,这种接线方式为总线式拓朴结构,传输距离一般在1~2km以下为最佳,如果超过距离加"中继"可以保证信号不丢失,而且结点数有限制,结点越多调试起来稍复杂,是目前使用最多的一种抄表方式,后期维护比较简单。常见用于串行方式,经济实用。 1.3CAN 最高速度可达1Mbps,在传输速率50Kbps时,传输距离可以达到1公里。在10Kbps速率时,传输距离可以达到5公里。一般常用在汽车总线上,可靠性高。 1.4TCP/IP 它可以用在各种各样的信道和底层协议(例如T1和X.25、以太网以及RS-232串行接口)之上。IP数据包是不可靠的,因为IP并没有做任何事情来确认数据包是按顺序发送的或者没有被破坏。IP数据包中含有发送它的主机的地址(源地址)和接收它的主机的地址(目的地址)。 1.5ADSL 基于TCP/IP 或UDP协议,将抄表数据发送到固定ip,利用电信/网通现有的布线方式,速度快,性能比较可以,缺点是不适合在野外,设备费用投入较大,对仪表通讯要求高。 1.6FSK 可靠通信速率为1200波特,可以连接树状总线;对线路性能要求低,通信距离远,一般可达30公里,线路绝缘电阻大于30欧姆,串联电阻高达数百欧姆都可以工作,适合用于大型矿井监控系统。主要缺点是:系统造价略高,通信线路要求使用屏蔽电缆;抗干扰性能一般,误码率略高于基带。 1.7光纤方式 传输速率高,可达百兆以上;通信可靠无干扰;抗雷击性能好,缺点:系统造价高;光纤断线后熔接受井下防爆环境制约,不宜直达分站,一般只用于通信干线。 1.8电力载波 1.9利用现有电力线,通过载波方式将模拟或数字信号进行高速传输的技术。由于使用坚固可靠的电力线作 为载波信号的传输媒介,因此具有信息传输稳定可靠,路由合理、可同时复用远动信号等特点,不需要线路投资的有线通信方式,但是开发费用高,调试难度大,易受用电环境影响,通讯状况用户的用电质量关系紧密。 二、无线连接 2.1Bluetooth 蓝牙是一种支持设备短距离通信的无线电技术。它是一种无线数据与语音通信的开放性全球规范,它以低

常用几种通讯协议

常用几种通讯协议 Modbus Modbus技术已成为一种工业标准。它是由Modicon公司制定并开发的。其通讯主要采用RS232,RS485等其他通讯媒介。它为用户提供了一种开放、灵活和标准的通讯技术,降低了开发和维护成本。 Modbus通讯协议由主设备先建立消息格式,格式包括设备地址、功能代码、数据地址和出错校验。从设备必需用Modbus协议建立答复消息,其格式包含确认的功能代码,返回数据和出错校验。如果接收到的数据出错,或者从设备不能执行所要求的命令,从设备将返回出错信息。 Modbus通讯协议拥有自己的消息结构。不管采用何种网络进行通讯,该消息结构均可以被系统采用和识别。利用此通信协议,既可以询问网络上的其他设备,也能答复其他设备的询问,又可以检测并报告出错信息。 在Modbus网络上通讯期间,通讯协议能识别出设备地址,消息,命令,以及包含在消息中的数据和其他信息,如果协议要求从设备予以答复,那么从设备将组建一个消息,并利用Modbus发送出去。 BACnet BACnet是楼宇自动控制系统的数据通讯协议,它由一系列与软件及硬件相关的通讯协议组成,规定了计算机控制器之间所有对话方式。协议包括:(1)所选通讯介质使用的电子信号特性,如何识别计算机网址,判断计算机何时使用网络及如何使用。(2)误码检验,数据压缩和编码以及各计算机专门的信息格式。显然,由于有多种方法可以解决上述问题,但两种不同的通讯模式选择同一种协议的可能性极少,因此,就需要一种标准。即由ISO(国际标准化协会〉于80年代着手解决,制定了《开放式系统互联(OSI〉基本参考模式(Open System Interconnection/Basic Reference Model简称OSI/RM)IS0- 7498》。 OSI/RM是ISO/OSI标准中最重要的一个,它为其它0SI标准的相容性提供了共同的参考,为研究、设计、实现和改造信息处理系统提供了功能上和概念上的框架。它是一个具有总体性的指导性标准,也是理解其它0SI标准的基础和前提。 0SI/RM按分层原则分为七层,即物理层、数据链路层、网络层、运输层、会话层、表示层、应用层。 BACnet既然是一种开放性的计算机网络,就必须参考OSIAM。但BACnet没有从网络的最低层重新定义自己的层次,而是选用已成熟的局域网技术,简化0SI/RM,形成包容许多局 域网的简单而实用的四级体系结构。 四级结构包括物理层、数据链路层、网络层和应用层。

智能家居通讯协议大汇总

智能家居无疑是这几年来热门的研究对象之一,各类协议不停的更新最新版本及改进缺点,导致目前没有一种真正意义上国际标准化用于智能家居、智能照明的通讯协议。本文主要针对各种方案的原理,技术特点及优缺点作出了一个对比并以此展望了智能家居市场的未来。 下面我们将一一介绍这些协议: 一、ZigBee协议: Zigbee是IEEE 802.15.4协议的简称,它来源于蜜蜂的八字舞,蜜蜂(bee)是通过飞翔和“嗡嗡”(zig)抖动翅膀的“舞蹈”来与同伴传递花粉所在方位信息,而ZigBee协议的方式特点与其类似便更名为ZigBee。ZigBee主要适合用于自动控制和远程控制领域,

可以嵌入各种设备,其特点是传播距离近、低功耗、低成本、低数据速率、可自组网、协议简单。 ZigBee的主要优点如下: 1. 功耗低 对比Bluetooth与WiFi,在相同的电量下(两节五号电池)可支持设备使用六个月至两年左右的时间,而Bluetooth只能工作几周,WiFi仅能工作几小时。 2. 成本低 ZigBee专利费免收,传输速率较小且协议简单,大大降低了ZigBee设备的成本。 3. 掉线率低 由于ZigBee的避免碰撞机制,且同时为通信业务的固定带宽预留了专用的时间空隙,使得在数据传输时不会发生竞争和冲突;可自组网的功能让其每个节点模块之间都能建立起联系,接收到的信息可通过每个节点模块间的线路进行传输,使得ZigBee传输信息的可靠性大大提高了,几乎可以认为是不会掉线的。 4. 组网能力强 ZigBee的组网能力超群,建立的网络每个有60,000个节点。 5. 安全保密

ZigBee提供了一套基于128位AES算法的安全类和软件,并集成了IEEE 802.15.4的安全元素。 6. 灵活的工作频段 2.4 GHz,868 MHz及915 MHz的使用频段均为免执照频段。 ZigBee的缺点如下: 1. 传播距离近 若在不适用功率放大器的情况下,一般ZigBee的有效传播距离一般在10m-75m,主要还是适用于一些小型的区域,例如家庭和办公场所。但若在牺牲掉其低掉线率的优点的前提下,以节点模块作为接收端也作为发射端,便可实现较长距离的信息传输。 2. 数据信息传输速率低 处于2.4 GHz的频段时,ZigBee也只有250 Kb/s的传播速度,而且这单单是链路上的速率且不包含帧头开销、信道竞争、应答和重传,去除掉这些后实际可应用的速率会低于100 Kb/s,在多个节点运行多个应用时速率还要被他们分享掉。 3. 会有延时性 ZigBee在随机接入MAC层的同时不支持时分复用的信道接入方式,因此在支持一些实时的应用时会因为发送多跳和冲突会产生延时。 二、Bluetooth(蓝牙协议)

设备通讯协议

设备通信协议

目录 1.适用范围 (3) 2.协议框架 (3) 3.协议内容 (3) 3.1设备内部组网协议(或者MCU透传模式协议) (3) 3.1.1 通讯命令格式 (3) 3.1.2 配对机制 (3) 3.1.3 连接机制 (4) 3.1.4 心跳机制 (5) 3.2 设备与云端通讯协议 (5) 3.2.1 通讯命令格式 (5) 3.2.2 连接流程 (5) 3.3 数据包格式定义 (6) 3.3.1 设备间通讯数据格式 (6) 3.3.2 设备与云、APP通讯数据格式 (11) 4. ..............................................................................................................................................公共命令定义 11 5. ........................................................................................................................................................... 编码表 18 5.1节点类型编码表 (18) 5.2命令回应编码表 (18)

1.适用范围 本协议定义WiFi模块与MCU控制单元,WiFi模块与云APP间,以及主从模块之间的通讯协议框架。 2.协议框架 协议基于二进制协议框架,完成命令发送接收、命令上报、内部组网等功能。 3.协议内容 3.1设备内部组网协议(或者MCU透传模式协议) 备内部组网协议包括设备配对、连接、心跳机制等,目的是将一个子设备加入到设备组中,并保持连接。3.1.1 通讯命令格式 采用二进制的通讯协议格式,包格式如下表: 详细的包格式在后续章节介绍 3.1.2 配对机制 配对机制仅适用于设备内组网模式,MCU透传模式不需要组网协议。 进入配对模式由主从设备分别触发,只有在进入配对模式后,才处理相关的配对命令。 从设备进入配对模式后定时发送配对请求,直到收到请求回应。 主设备收到请求后分配一个设备ID给从设备,标识此ID被占用,并等待采集器的上线通知,一定时间内收到通知之后确认存入设备列表,如果没有上线通知,则认为设备没有配对成功,从子设备中删除。 从设备收到配对回应后存储设备ID,并且发送上线通知,收到上线通知后完成配对。 配对的过程如下图所示:

标准化导则

标准化导则 【 标准化导则是标准化工作标准化的重要标准之一,它的实施将能够有效地保证标准的编写质量。该标准的规定用以指导如何起草我景区标准,它是编写标准的标准。 标准化导则的主要技术内容为:规定了编写标准的原则、标准的结构、起草标准中的各个要素的规则、要素中条款内容的表述、标准编写中涉及的各类问题的规则以及标准的编排格式。 一、编写标准的原则 编写标准的原则,是对这些原则的总体把握,能够更加深入地理解编写标准的具体规定,并能够将相应的规定更好地贯彻于标准编制的全过程。 1. 统一性 统一性是对标准编写及表达方式的最基本的要求。统一性强调的是标准内部(即标准的每个部分、每项标准或系列标准内)的统一,包括:标准结构的统一,即标准的章、条、段、表、图和附录的排列顺序的一致;文体的统一,即类似的条款应由类似的措辞来表达,相同的条款应由相同的措辞来表达;术语的统一,即同一个概念应使用同一个术语;形式的统一,即标准的表述形式,诸如标准中条标题、图表标题的有无应是统一的。 2. 协调性 协调性是针对标准之间的,它的目的是“为了达到所有标准的整体协调”。为了达到标准系统整体协调的目的,在制定标准时应注意和已经发布的标准进行协调。遵守基础标准和采取引用的方法是保证标准协调的有效途径。标准中的附

录A给出了最通用的部分基础标准清单。遵守这些标准将能够有效地提高标准的协调性。 ~ 3. 适用性 适用性指所制定的标准便于使用的特性,主要针对以下两个方面的内容。第一,适于直接使用。第二,便于被其他文件引用,对于层次设置、编号等的规定都是出于便于引用的考虑。 4. 一致性 一致性指起草的标准应以对应的公司文件为基础并尽可能与规范文件保持一致。起草标准时如有对应的公司文件,首先应考虑以这些规范文件为基础制定公司内部标准,在此基础上还应尽可能保持与规范文件的一致性,并确定一致性程度,即等同、修改或非等效。 5. 规范性 规范性指起草标准时要遵守与标准制定有关的基础标准以及相关的保障标准。 二、标准的结构 从内容和层次两个方面对标准的结构进行了规定。搭建标准的结构是正式起草标准之前必不可少的工作。 、 1. 按照内容划分 对标准的内容进行划分可以得到不同的要素,依据要素的性质、位置、必备和可选的状态可将标准中的要素归为不同的类别。 (1)按照要素的性质划分,可分为: ——规范性要素:声明符合标准而需要遵守的条款的要素;

通信模块协议汇总

通信模块3GPP协议汇总 1.AT Command TS 27.007 AT command set for User Equipment (UE) 2.SMS TS 24.011 Point-to-Point (PP) Short Message Service (SMS) support on mobile radio interface TS 23.040 Technical realization of the Short Message Service (SMS) 3.SMS CB TS 23.041 Technical realization of Cell Broadcast Service (CBS) TS 24.012 Short Message Service Cell Broadcast (SMSCB) Support on the Mobile Radio Interface 4.MMS TS 22.140 M ultimedia Messaging Service Stage 1 TS 23.140 M ultimedia Messaging Service Stage 2 TS 26.140 M MS Media formats and codes 5.Encode and Decode of USSD/SMS/CB etc TS 23.038 Alphabets and language-specific information https://www.360docs.net/doc/1917087748.html,yer 3 (Voice call/MM/GMM/SM etc) TS 24.007 Mobile radio interface signalling layer 3; General Aspects TS 24.008 Mobile radio interface Layer 3 specification; Core network protocols; Stage 3 7.MMI Code TS 22.030 Man-Machine Interface (MMI) of the User Equipment (UE) https://www.360docs.net/doc/1917087748.html,SD TS 22.090 Unstructured Supplementary Service Data (USSD); Stage 1 TS 23.090 Unstructured Supplementary Service Data (USSD); Stage 2 TS 24.090 Unstructured Supplementary Service Data (USSD); Stage 3 9.Supplementary services TS 22.004 General on supplementary services TS 22.081 Line Identification supplementary services; Stage 1 . TS 23.081 Line Identification supplementary services; Stage 2 TS 24.081 Line Identification supplementary services; Stage 3 TS 22.082 Call Forwarding (CF) Supplementary Services; Stage 1 . TS 23.082 Call Forwarding (CF) supplementary services; Stage 2 . TS 24.082 Call Forwarding (CF) supplementary services; Stage 3 TS 22.083 Call Waiting (CW) and Call Hold (HOLD) supplementary services; Stage 1 TS 23.083 Call Waiting (CW) and Call Hold (HOLD) supplementary services; Stage 2

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