粗糙度

表面（粗糙度）结构

一、表面粗糙度的基本概念

二、表面粗糙度的评定

三、粗糙度参数及数值的选择

四、表面粗糙度在图样上的标注

表面结构

?什么是表面结构?

?表面结构是表面粗糙度、表面波纹度、表面缺陷、表面几何形状的总称。

表面结构的形成:大多

数表面是由于粗糙

度、波纹度及形状误

差综合影响产生的结

果。由于三种特性对

零件功能影响各不相

同，所以，分别测出

它们是很有用的。

表面粗糙度、表面波纹度和形状误差，三者通常按波距（间距）来划分：

?波距小于1mm 的属于表面粗糙度；

?波距在1～10mm的属于表面波纹度；

?波距大于10mm 的属于形状误差。

表面粗糙度、表面波纹

度和形状误差，也可按波距

和幅度的比值来划分：

?比值小于50的属于表面粗

糙度；

?比值在50～1000的属于表

面波纹度；

?比值大于1000的属于形状

误差。

一、表面粗糙度的基本概念

为了正确地测量和评定表面粗糙度以及在零件图上正确地标注其要求，以保证零件的互换性，我国发布了

GB/T10610-1998《产品几何技术规范表面结构轮廓法评定表面结构的规则和方法》

GB/T3505-2000《产品几何技术规范表面结构轮廓法表面结构的术语、定义及参数》

GB/T15757-2002《产品几何技术规范(GPS)表面缺陷术语、定义及参数》

GB/T131-2006《产品几何技术规范(GPS)技术产品文件中表面结构的表示法》

一、表面粗糙度的基本概念

1.定义

加工表面上具有的

间距很小(小于1mm)的

微小峰谷所形成的微观

几何形状特征。

3.对零件使用性能的影响

(1)耐磨性

相互运动的两零件表面，只能在轮廓的峰顶间接触，当表面间产生相对运动时，峰顶的接触将对运动产生摩擦阻力，使零件磨损。

相互运动的表面越粗糙，实际有效接触面积就越小，压应力就越大，磨损就越快。

表面粗糙度影响润滑的有效性，也影响润滑破坏以后粗糙峰之间碰撞的概率和严酷程度（应力水平和变形大小）。

3.对零件使用性能的影响

(2)配合性质的稳定性

相互配合的表面微小峰被去掉后，它们的配合性质会发生变化。对于过盈配合，由于压入装配时，零件表面的微小峰被挤平而使有效过盈减小，降低了联结强度；对于有相对运动的间隙配合，工作过程中表面的微小峰被磨去，使间隙增大，影响原有的配合要求。

3.对零件使用性能的影响

(3)耐疲劳性

受交变应力作用的零件

表面，疲劳裂纹易在微小谷

的位置出现，这是因为在微

观轮廓的微小谷底处产生应

力集中，使材料的疲劳强度

降低，导致零件表面产生裂

纹而损坏。

3.对零件使用性能的影响

(4)抗腐蚀性

在零件表面的微小谷

的位置容易残留一些腐蚀

性物质，由于其与零件的

材料不同，故而形成电位

差，对零件产生电化学腐

蚀。表面越粗糙，电化学

腐蚀越严重。

3.对零件使用性能的影响

(5) 耐密封性

密封件表面存在微小的

峰谷时，密封性变差。对于

静态密封表面，密封面上的

凸凹不平在密封面间留下微

隙，会引起渗漏；对于动态

密封表面，由于有相对运

动，表面间应含有润滑油

层，表面不能太光滑，以便

储存润滑油。

3.对零件使用性能的影响

(6)表面接触刚度

由于表面的凸凹不平，

实际表面间的接触面积有的只

有公称面积的百分之几。接触

面积愈小，单位面积受力就愈

大，粗糙峰顶处的局部变形也

愈大，接触刚度便会降低，影

响机件的工作精度和抗振性。

3.对零件使用性能的影响

(7)导电性与导热性

一方面由于表面的凸凹不

平，实际表面间的接触面积减

少，降低导电、导热效率；另

一方面，由于界面间渗入氧气

使导电导热性变坏，表面最好

有突出的尖峰均布，以保障能

划透阻碍导电、导热性能的氧

化膜。

3.对零件使用性能的影响(8)表面反射能力

3.对零件使用性能的影响

(10)影响表面涂层质量

表面粗糙度会影响金属

板的喷涂特性和喷涂表面的美

观程度。

对于电镀的机体表面，建

议采用车削或端铣，而不用磨

削，并控制纹路间距和沟槽截

面形状，以使镀层牢固。

二、表面（粗糙度）结构的评定

零件表面的粗糙度是否满足设计要求，需要进行测量和评定。

为了使测量和评定结果统一，根据国家标准的要求，应规定取样长度、评定长度、基准线和评定参数，且测量方向应垂直于表面的加工纹理方向。

二、表面（粗糙度）结构的评定

1.取样长度l

指测量或评定表面粗糙度时所规定的一段

表示。

基准长度，用符号l

在评定表面粗糙度时，一般情况下，选用的取样长度应包含5个波峰和5个波谷。但对于微观不平度间距较大的端铣、滚铣及其他大进给量走刀的加工表面应选较大的取样长度。

表面粗糙度定义与检测

第五章表面粗糙度及其检测学时：4 课次：2 目的要求： 1．了解表面粗糙度的实质及对零件使用性能的影响。 2．掌握表面粗糙度的评定参数（重点是轮廓的幅度参数）的含义及应用场合。 3．掌握表面粗糙度的标注方法。 4．初步掌握表面粗糙度的选用方法。 5．了解表面粗糙度的测量方法的原理。重点内容： 1．表面粗糙度的定义及对零件使用性能的影响。 2．表面粗糙度的评定参数（重点是轮廓的幅度参数）的含义及应用场合。 3．表面粗糙度的标注方法。 4．表面粗糙度的选用方法。 5．表面粗糙度的测量方法难点内容：表面粗糙度的选用方法。教学方法：讲+实验教学内容：（祥见教案）一、基本概念 1．零件表面的几何形状误差分为三类：（1）表面粗糙度：零件表面峰谷波距<1mm。属微观误差。（2）表面波纹度：零件表面峰谷波距在1~10mm。（3）形状公差：零件表面峰谷波距>10mm。属宏观误差。图5-1 零件的截面轮廓形状 2．表面粗糙度对零件质量的影响：（1）影响零件的耐磨性、强度和抗腐蚀性等。（2）影响零件的配合稳定性。（3）影响零件的接触刚度、密封性、产品外观及表面反射能力等。二．表面粗糙度的基本术语

1、取样长度lr ：取样长度是在测量表面粗糙度时所取的一段与轮廓总的走向一致的长度。规定：取样长度范围内至少包含五个以上的轮廓峰和谷如图5-2所示。图5-2 取样长度、评定长度和轮廓中线 1．评定长度ln ：评定长度是指评定表面粗糙度所需的一段长度。规定：国家标准推荐ln = 5lr ，对均匀性好的表面，可选ln > 5lr, 对均匀性较差的表面，可选ln < 5lr 。 2．中线：中线是指用以评定表面粗糙度参数的一条基准线。有以列两种：（1）轮廓的最小二乘中线在取样长度内，使轮廓线上各点的纵坐标值Z （x ）的平方和为最小，如图5-2 a 所示。（2）轮廓的算术平均中线在取样长度内，将实际轮廓划分为上下两部分，且使上下面积相等的直线。如图5-2 b 所示。三．表面粗糙度的评定参数国家标准GB/T3505—2000规定的评定表面粗糙度的参数有：幅度参数2个，间距参数1个，曲线和相关参数1个，其中幅度参数是主要的。 1、轮廓的幅度参数（1）轮廓的算术平均偏差Ra 在一个取样长度内，纵坐标Z （x ）绝对值的算术平均值，如图5-3a 所示。 Ra 的数学表达式为： Ra = lr 1 lr x Z 0）（dx 测得的Ra 值越大，则表面越粗糙。一般用电动轮廓仪进行测量。

各种加工方法能达到的表面粗糙度分析

各种加工方法能达到的表面粗糙度 ID 加工方法表面粗糙度Ra(μm) 1 自动气割、带锯或圆盘锯割断 50～12.5 2 切断（车） 50～12.5 3 切断（铣） 25～12.5 4 切断（砂轮） 3.2～1.6

5 车削外圆（粗车） 12.5～3.2 6 车削外圆（半精车金属） 6.3～3.2 7 车削外圆（半精车非金属） 3.2～1.6 8 车削外圆（精车金属） 3.2～0.8 9 车削外圆（精车非金属） 1.6～0.4 10 车削外圆（精密车或金刚石车金属）

0.8～0.2 11 车削外圆（精密车或金刚石车非金属）0.4～0.1 12 车削端面（粗车） 12.5～6.3 13 车削端面（半精车金属） 6.3～3.2 14 车削端面（半精车非金属） 6.3～1.6 15 车削端面（精车金属） 6.3～1.6

16 车削端面（精车非金属 6.3～1.6 17 车削端面（精密车金属）0.8～0.4 18 车削端面（精密车非金属）0.8～0.2 19 切槽（一次行程） 12.5 20 切槽（二次行程） 6.3～3.2 21 高速车削

0.8～0.2 22 钻（≤φ15mm）6.3～3.2 23 钻（＞φ15mm）25～6.3 24 扩孔、粗（有表皮）12.5～6.3 25 扩孔、精 6.3～1.6 26 锪倒角（孔的） 3.2～1.6

27 带导向的锪平面 6.3～3.2 28 镗孔（粗镗） 12.5～6.3 29 镗孔（半精镗金属） 6.3～3.2 30 镗孔（半精镗非金属） 6.3～1.6 31 镗孔（精密镗或金刚石镗金属）0.8～0.2 32 镗孔（精密镗或金刚石镗非金属）

表面处理检验标准2016_01

表面处理检验规程 1、目的规检验操作，发现、控制不良品，防止批量不良品输入下道工序。同时给检验工作提供引导及接收标准。 2、围适用于进料、外协制品回厂、成品的检验接收及顾客退货的挑选检验。喷砂、拉丝等金属表面处理的检验。 3、定义本标准适用于变形铝及铝合金以保护和装饰为主要目的，在阳极氧化膜表面涂装有机聚合物膜得到的阳极氧化复合膜。 3.1 A面：指表面处理要求的正面（在使用过程中能直接看到的表面）。 3.2 B 面：指表面处理要求的四侧边（需将表面处理件偏转45~90 °才能看到的四周边）。 3.3 膜厚：必须符合图纸规定。 4、职责 4.1 品质部负责不合格的发现、记录和标识，组织处理不合格品。 4.2 生产部负责进料中不合格品与供应商的联络。 5.术语和定义 5.1 A级表面：在使用过程中总能被客户看见的部分（如：面壳的正面和顶面，后壳的顶面，手柄，透镜，按键及键盘正面，探头整个表面等）。 5.2 B级表面：在使用过程中常常被客户看见的部分（如：面壳的左右侧面，底壳或后壳的左右侧面及背面等）。这些表面允许有轻微不良，但是不致引起挑剔客户不购买产品。 5.3 C级表面：在使用过程中很少被客户注意到的表面部分（如：面壳的底面，底壳或后壳的底面，部零件表面）。此表面的外观缺陷应合理而且不至于给客户觉得该产品质量不佳。 5.4 金属表面：包括电镀、氧化、钝化等表现为金属质感的表面，非喷涂表面。 5.5 基材花斑：电抛光、电镀或氧化前因基体材料腐蚀、或者材料中的杂质、材

料微孔等原因所造成的、与周围材质表面不同光泽或粗糙度的斑块状花纹外观。 5.6 抛光区：对基材上的腐蚀、划伤、焊接区、铆接区等部位进行机械打磨抛光后表现出的局部高光泽、光亮区域。 5.7 浅划痕：镀(膜/塑/漆)层表面划伤，但未伤及底层（即底层未暴露）；对其它无镀(膜/塑/漆)层表面则为：目测不明显、手指甲触摸无凹凸感、未伤及材料本体的伤痕。数控冲床加工中机床台面对板材的摩擦产生的轻微痕迹属于此类划痕。 5.8 深划痕：镀(膜/塑/漆)层表面划伤，且已伤至底层（即底层已暴露出来）；对其它无镀(膜/塑/漆) 层表面则为：目测明显、手指甲触摸有凹凸感、伤及材料本体的伤痕。 5.9 凹坑：由于基体材料缺陷，或在加工过程中操作不当等原因而在材料表面留下的小坑状痕迹。 5.10 凹凸痕：因基材受撞击或校形不良等而呈现出的明显变形、凹凸不平的现象，手摸时有不平感觉。 5.11 烧伤：拉丝、电抛光、电镀处理时因操作不当、造成零件表面过热而留下的烧蚀痕迹。 5.12 水印：电镀、氧化或电抛光后因清洗水未及时干燥或干燥不彻底所形成的斑纹、印迹。 5.13 露白：镀锌钝化膜因磨擦而被去除、露出新层，或因缝隙截留溶液导致的无钝化膜现象，呈现为区别于周围颜色的白色。 5.14 修补：因膜层损伤而用涂料所作的局部遮盖。 5.15 色点：由材料、模具、环境或设备中的灰尘或夹杂物等影响，在表面处理层中形成不同色的斑点。 5.16 颗粒：因材料夹杂物或外来物（如焊渣）的影响而在表面形成的、颜色与正常表面一致的凸起现象。 5.17 挂具印：指电镀、电抛光、氧化、喷涂等表面处理生产过程中，因装挂用辅助工具的遮挡而使其与零件相接触的部位产生局部无表面处理层的现象。

表面粗糙度测量系统

. 精密仪器专业课程设计说明书姓名：学号：U200910840 班级：测控0903班指导老师： 2013年3月22日

目录一、需求分析 (2) 1、设计题目 (2) 2、粗糙度定义 (2) 3、系统性能要求 (2) 二、设计方案及原理 (4) 1、系统原理 (4) 2、系统分析 (5) 3、系统说明 (5) 三、传感器选型 (6) 四、系统工作台设计 (7) 1、导轨及支承结构选型 (7) 2、传动机构选型 (9) 3、电机选型 (11) 4、光栅尺选型 (13) 5、限位开关选型 (14) 6、工作台精度分析 (15)

五、信号处理电路设计 (17) 1、正弦波发生器 (17) 2、信号跟随及反相电路 (19) 3、比较器电路 (19) 4、信号输入及带通滤波电路 (20) 5、相敏检波电路 (21) 6、低通滤波电路 (22) 7、工频陷波电路 (22) 六、设计不足及可扩展之处 (24) 七、总结 (26) 附录参考文献 (27) 一、需求分析 1、设计题目二维表面粗糙度自动测量系统 2、粗糙度定义

表面粗糙度是指加工表面上具有的较小间距和峰谷所组成的微观几何形状特性，一般是由所采用的加工方法或其它外部因素造成，它是评定机械零件表面质量的重要指标之一。根据定义，非切削加方法所获得的表面微观几何形状特性属于表面粗糙度的范畴，但是，零件表面的物理特性(如表面应力、硬度、光亮程度、颜色及斑纹等)和表面缺陷(如硬伤、划伤、裂纹、毛刺、砂眼及鼓包等)则不属于表面粗糙度的范畴。零件表面粗糙度的形成，首先要受加工方法的影响。这是因为零件表面的粗糙度，主要来自金属被加工时切削工具的切削刀刃在其上留下的切削痕迹。不同的加工方法、机床的精度、振动及调整状况、工件的装夹、塑性变形和刀具与工件之间的摩擦、操作技术以及加工环境的温度、振动等主要因素，都会不同程度地直接影响零件加工表面的粗糙度。综上所述，切削加工方法不同，所得的零件加工表面粗糙度也不同。由于表面粗糙度是在切削加工过程中上述诸种因素共同作用的结果，而且这些因素的作用过程是极其复杂和不断变化的，因此，即使采用一种加工方法，在同样的切削条件下，加工出同一批零件，甚至同一零件的同一表面上的不同部位，所得的表面粗糙度也不尽相同。 3、系统性能要求 1>工作台运行范围25mm； 2>运行速度：最大达1mm/s； 3>工作台定位分辨率<0.002mm； 4>垂直分辨率：+-0.01um；

轴承表面粗糙度分析

轴承表面粗糙度分析轴承在磨加工过程中，其工作表面是通过高速旋转的砂轮进行磨削的，因此在磨削时如果不按规定进行操作和调整设备，就会在轴承工作表面出现种种粗糙度缺陷，以致影响轴承的整体质量。轴承在精密磨削时，由于表面粗糙度要求很高，工作表面出现的磨削痕迹往往能用肉眼观察到，其表面磨削痕迹主要有以下几种。一、表现出现交叉螺旋线痕迹出现这种痕迹的原因主要是由于砂轮的母线平直性差，存在凹凸现象，在磨削时，砂轮与工件仅是部分接触，当工件或砂轮数次往返运动后，在工件表现就会再现交叉螺旋线且肉眼可以观察到。这些螺旋线的螺距与工件台速度、工件转速大小有关，同时也与砂轮轴心线和工作台导轨不平行有关。（一）螺旋线形成的主要原因： 1.砂轮修整不良，边角未倒角，未使用冷却液进行修整； 2.工作台导轨导润滑油过多，致使工作台漂浮； 3.机床精度不好； 4.磨削压力过大等。（二）螺旋线形成的具体原因： 1.V形导轨刚性不好，当磨削时砂轮产生偏移，只是砂轮边缘与工作表面接触； 2.修整吵轮时工作台换向速度不稳定，精度不高，使砂轮某一边缘修整略少； 3.工件本身刚性差； 4.砂轮上有破碎太剥落的砂粒和工件磨削下的铁屑积附在砂轮表面上，为此应将修整好的砂轮用冷却水冲洗或刷洗干净； 5.砂轮修整不好，有局部凸起等。二、表面出现鱼鳞状表面再现鱼鳞状痕迹的主要原因是由于砂轮的切削刃不够锋利，在磨削时发生“啃住”现象，此时振动较大造成工件表面出现鱼鳞状痕迹的具体原因是： 1. 砂轮表面有垃圾和油污物； 2. 砂轮未修整圆；

3. 砂轮变钝，修整不够锋利； 4. 金刚石紧固架不牢固，金刚石摇动或金刚石质量不好不尖锐； 5. 砂轮硬度不均匀等。三、工作面拉毛表面再现拉毛痕迹的主要原因是由于粗粒度磨粒脱落后，磨粒夹在工件与砂轮之间而造成。工件表面在磨削时被拉毛的具体原因是： 1. 粗磨时遗留下来的痕迹，精磨时未磨掉； 2. 冷却液中粗磨粒与微小磨粒过滤不干净； 3. 粗粒度砂轮刚修整好时磨粒容易脱落； 4. 材料韧性有效期或砂轮太软； 5. 磨粒韧性与工件材料韧性配合不当等。四、工件表面有直波形痕迹我们将磨过的工件垂轴心线截一横断面并放大，可看到其周边近似于正弦波。使其中心沿轴心线无转动平移，正弦波周边的轨迹便是波形柱面，亦称这为多角形。产生直波形的原因是砂轮相对工件的移动或者说砂轮对工件磨削的压力发生周期性变化而引起振动的原故。这种振动可能是强迫振动，也可能是自激振动，因此工件上的直波频往往不止一种。产生直波形痕迹的具体原因是： 1. 砂轮主轴间隙过大； 2. 砂轮硬度太高； 3. 砂轮静平衡不好或砂轮变钝； 4. 工件转速过高； 5. 横向进刀太大； 6. 砂轮主轴轴承磨损，配合间隙过大，产生径向跳动； 7. 砂轮压紧机构或工作台“爬行”等。五、工件表面再现烧伤痕迹工件表面在磨削过程中往往会烧伤，烧伤有几种类型，一是烧伤沿砂轮加工方向，呈暗黑色斑块；二是呈线条或断续线条状。工件表面在磨加工过程中被烧伤，归纳起来有以下几种原因： 1. 砂轮太硬或粒度太细组织过密；

表面粗糙度选择原则及其机加工方法

表面粗糙度选择很详细的 37．表面粗糙度如何选择？答：表面粗糙度的选择既要满足零件表面的使用功能要求，又要考虑加工的经济性。 38．用类比法确定表面粗糙度时，对高度参数一般按哪些原则选择？答：同一零件上，工作表面的表面粗糙度值应小于非工作表面。摩擦表面的表面粗糙度值应小于非摩擦表面；滚动摩擦表面的表面粗糙度值应小于滑动摩擦表面；运动速度高、单位压力大的表面粗糙度值应小。受循环载荷的表面及易引起应力集中的部位（如圆角、沟槽）表面粗糙度值应选得小些。配合性质要求高的结合表面，配合间隙小的配合表面以及要求连接可靠，受重载的过盈配合表面等都应取较小的表面粗糙度值。配合性质相同，零件尺寸越小，其表面粗糙度值应越小。同一精度等级，小尺寸比大尺寸、轴比孔的表面粗糙度值要小。对于配合表面，其尺寸公差、形状公差、表面粗糙度应当协凋，一般情况下有一定的对应关系。 39．表面粗糙度Ra为50-100μm时，表面形状什么特征，如何应用？答：表面形状特征为明显可见刀痕，应用于粗造的加工面，一般很少采用。铸、锻、气割毛坯可达此要求。 40．表面粗糙度Ra为25μm时，表面形状什么特征，如何应用？答：表面形状特征为可见刀痕，应用于粗造的加工面，一般很少采用。铸、锻、气割毛坯可达此要求。 41．表面粗糙度Ra为12.5μm时，表面形状什么特征，如何应用？答：表面形状特征为微见刀痕, 应用于粗加工表面比较精确的一级，应用范围较广，如轴端面、倒角、螺钉孔和铆钉孔的表面、垫圈的接触面等。 42．表面粗糙度Ra为6.3μm时，表面形状什么特征，如何应用？答：表面形状特征为可见加工痕迹，应用于半粗加工面，支架、箱体、离合器、皮带轮侧面、凸轮侧面等非接触的自由表面，与螺栓头和铆钉头相接触的表面，所有轴和孔的退刀槽，一般遮板的结合面等。 43．表面粗糙度Ra为3.2μm时，表面形状什么特征，如何应用？答：表面形状特征为微见加工痕迹，应用于半精加工面，箱体、支架、盖面、套筒等和其他零件连接而没有配合要求的表面，需要发蓝的表面，需要滚花的预先加工面，主轴非接触的全部外表面等。是车削等基本切削加工方法较为经济地达到的表面粗糙度值。 44．表面粗糙度Ra为1.6μm时，表面形状什么特征，如何应用？答：表面形状特征为看不清加工痕迹，应用于表面质量要求较高的表面，中型机床工作台面（普通精度），组合机床主轴箱和盖面的结合面，中等尺寸平皮带轮和三角皮带轮的工作表面，衬套滑动轴承的压入孔，一般低速转动的轴颈。航空、航天产品的某些重要零件的非配合表面。 45．表面粗糙度Ra为0.8μm时，表面形状什么特征，如何应用？答：表面形状特征为可辨加工痕迹的方向，应用于中型机床（普通精度）滑动导轨面，导轨压板，圆柱销和圆锥销的表面，一般精度的刻度盘，需镀铬抛光的外表面，中速转动的轴颈，定位销压入孔等。是配合表面常用数值，中、重型设备的重要配合处，磨削加工经济。

实验三表面粗糙度测量

实验三表面粗糙度测量实验3—1 用双管显微镜测量表面粗糙度一、实验目的 1. 了解用双管显微镜测量表面粗糙度的原理和方法。 2. 加深对粗糙度评定参数轮廓最大高度Rz 的理解。二、实验内容用双管显微镜测量表面粗糙度的Rz 值。三、测量原理及计量器具说明参看图1，轮廓最大高度Rz 是指在取样长度lr 内，在一个取样长度范围内，最大轮廓峰高Rp 与最大轮廓谷深Rv 之和称之为轮廓最大高度。即 Rz = Rp + Rv 图1 图2 双管显微镜能测量80~1μm 的粗糙度，用参数Rz 来评定。双管显微镜的外形如图2所示。它由底座1、工作台2、观察光管3、投射光管11、支臂7和立柱8等几部分组成。双管显微镜是利用光切原理来测量表面粗糙度的，如图3所示。被测表面为P 1、P 2阶梯表面，当一平行光束从450方向投射到阶梯表面上时，就被折成S 1和S 2两段。从垂直于光束的方向上就可在显微镜内看到S 1和S 2两段光带的放大象1 S '和2S '。同样，S 1和S 2之间距离h 也被放大为1S '和2S '之间的距离1h '。通过测量和计算，可求得被测表面的不平度高度 h 。图4为双管显微镜的光学系统图。由光源1发出的光，经聚光镜2、狭缝3、物镜4以 450方向投射到被测工件表面上。调整仪器使反射光束进入与投射光管垂直的观察光管内，经物镜5成象在目镜分划板上，通过目镜可观察到凹凸不平的光带（图5 b ）。光带边缘即工件表面上被照亮了的h 1的放大轮廓象为h 1′，测量亮带边缘的宽度h 1′，可求出被测表面的不平度高度h 1： Z p 2 lr Z v 6 Z v 5 Z p 6 Z p 5 Z p 4 Z p 3 Z v 4 Z v 3 Z p 1 R z 中线 Z v 1 Z v 2

零件表面粗糙度和轮廓测量及分析

零件表面粗糙度和轮廓测量及分析一、实验目的了解零件表面形貌的概念；掌握粗糙度标准样板（比较法）和粗糙轮廓仪（针描法）测量表面粗糙度；掌握粗糙轮廓仪测量零件形状误差；二、实验装置 1．表面粗糙度比较样块； 2．零件样品若干； 3．霍梅尔T8000粗糙轮廓仪(精度0.03μm)。三、实验原理（一）概述被加工零件表面的形状是复杂的，一般包括表面粗糙度、表面波纹度和形状误差，可以按波距（波形起伏间距）λ来划分：波距λ＜1mm属于表面粗糙度波距λ在1~10mm属于表面波纹度波距λ＞10mm属于形状误差

粗糙度——反映零件微观几何形状特性。主要由加工工艺因素产生。这些微观不平度包括横向进给的痕迹和刀具、砂轮或其它与加工有关因素的痕边。波纹度——由于机床——刀具——工件系统的强迫振动、刀具进给的不规则和回转质量的不平衡等原因，在零件表面留下波距较大且具有较强周期性的误差。形状误差——在加工过程中，由于刀具导轨倾斜等原因造成的宏观的误差。（二） T8000粗糙轮廓仪的介绍霍梅尔T8000粗糙轮廓仪是专门用来检测零件的表面粗糙度、表面轮廓的精密计量仪器。包括粗糙度测量系统、直接轮廓测量系统和形状测量系统。它可以测量和评估粗糙度和直接轮廓参数，还可以测量角度、圆弧半径、相互位置等形状参数。它采用触针与被测零件直接接触的方式来测定表面粗糙度和表面轮廓，通过传感器和专用软件定量地测量零件表面的几何形状，计算各种所需参数，按需要显示、存储、打印数据和图像。粗糙轮廓仪见下图所示由主机、电脑、电气控制箱、打印机组成，其中主机包括大理石平台、立柱升降系统、驱动器、传感器。驱动器可随升降套在立柱上垂直移动，万能工作台置于大理石平台上，可前后左右移动，粗糙度传感器和轮廓传感器可水平左右移动。

粗糙度与加工方法

粗糙度与加工方法表面粗糙度选用与加工方法表面粗糙度选用序号=1 Ra值不大于\μm=100 表面状况=明显可见的刀痕加工方法=粗车、镗、刨、钻应用举例=粗加工的表面，如粗车、粗刨、切断等表面，用粗镗刀和粗砂轮等加工的表面，一般很少采用序号=2 Ra值不大于\μm=25、50 表面状况=明显可见的刀痕加工方法=粗车、镗、刨、钻应用举例=粗加工后的表面，焊接前的焊缝、粗钻孔壁等序号=3 Ra值不大于\μm=12.5 表面状况=可见刀痕加工方法=粗车、刨、铣、钻应用举例=一般非结合表面，如轴的端面、倒角、齿轮及皮带轮的侧面、键槽的非工作表面，减重孔眼表面序号=4 Ra值不大于\μm=6.3 表面状况=可见加工痕迹加工方法=车、镗、刨、钻、铣、锉、磨、粗铰、铣齿应用举例=不重要零件的配合表面，如支柱、支架、外壳、衬套、轴、盖等的端面。紧固件的自由表面，紧固件通孔的表面，内、外花键的非定心表面，不作为计量基准的齿轮顶圈圆表面等序号=5 Ra值不大于\μm=3.2 表面状况=微见加工痕迹加工方法=车、镗、刨、铣、刮1～2点/cm^2、拉、磨、锉、滚压、铣齿应用举例=和其他零件连接不形成配合的表面，如箱体、外壳、端盖等零件的端面。要求有定心及配合特性的固定支承面如定心的轴间，键和键槽的工作表面。不重要的紧固螺纹的表面。需要滚花或氧化处理的表面序号=6 Ra值不大于\μm=1.6 表面状况=看不清加工痕迹加工方法=车、镗、刨、铣、铰、拉、磨、滚压、刮1～2点/cm^2铣齿应用举例=安装直径超过80mm的G级轴承的外壳孔，普通精度齿轮的齿面，定位销孔，V型带轮的表面，外径定心的内花键外径，轴承盖的定中心凸肩表面

表面粗糙度选用标准

表面粗糙度选用 ----------------------------------------------------------- 序号=1 Ra值不大于\μm=100 表面状况=明显可见的刀痕加工方法=粗车、镗、刨、钻应用举例=粗加工的表面，如粗车、粗刨、切断等表面，用粗镗刀和粗砂轮等加工的表面，一般很少采用 ----------------------------------------------------------- 序号=2 Ra值不大于\μm=25、50 表面状况=明显可见的刀痕加工方法=粗车、镗、刨、钻应用举例=粗加工后的表面，焊接前的焊缝、粗钻孔壁等 ----------------------------------------------------------- 序号=3 Ra值不大于\μm=12.5 表面状况=可见刀痕加工方法=粗车、刨、铣、钻应用举例=一般非结合表面，如轴的端面、倒角、齿轮及皮带轮的侧面、键槽的非工作表面，减重孔眼表面 ----------------------------------------------------------- 序号=4 Ra值不大于\μm=6.3 表面状况=可见加工痕迹加工方法=车、镗、刨、钻、铣、锉、磨、粗铰、铣齿应用举例=不重要零件的配合表面，如支柱、支架、外壳、衬套、轴、盖等的端面。紧固件的自由表面，紧固件通孔的表面，内、外花键的非定心表面，不作为计量基准的齿轮顶圈圆表面等 ----------------------------------------------------------- 序号=5 Ra值不大于\μm=3.2 表面状况=微见加工痕迹加工方法=车、镗、刨、铣、刮1～2点/cm^2、拉、磨、锉、滚压、铣齿应用举例=和其他零件连接不形成配合的表面，如箱体、外壳、端盖等零件的端面。要求有定心及配合特性的固定支承面如定心的轴间，键和键槽的工作表面。不重要的紧固螺纹的表面。需要滚花或氧化处理的表面 ----------------------------------------------------------- 序号=6 Ra值不大于\μm=1.6 表面状况=看不清加工痕迹加工方法=车、镗、刨、铣、铰、拉、磨、滚压、刮1～2点/cm^2铣齿

各种加工方法对应表面粗糙度值.doc

用普通材料和一般生产过程所能得到的典型粗糙度数值方法粗糙度数值 Ra(μm) 光洁 25 12.5 6.3 3.2 1.6 0.8 0.4 0.2 0.1 0.05 0.025 度值 50 火焰切割粗磨锯刨和插钻削化学铣电火花加工铣削拉削铰孔镗、车削滚筒光整电解磨削滚压抛光磨削珩磨抛光研磨超精加工砂型铸造热滚轧煅永久模铸造熔模铸造挤压冷轧冷拔压铸 2 ～ 3 2 ～ 4 2 ～ 5 2 ～7 4 ～ 6 4 ～ 6 5 ～ 6 4 ～7 5 ～7 5 ～7 4 ～8 7 ～9 7 ～9 8 ～9 6 ～10 7 ～10 8 ～10 8 ～11 9 ～11 2 ～ 3 2 ～ 3 3 ～ 5 5 ～ 6 5 ～ 6 5 ～7 5 ～7 注 :粗实线为平均适用 ,虚线为不常适用 . 6 ～7 机械加工表面的特征粗糙度等级Ra 50(▽1) 25(▽2) 12.5(▽ 3) 6.3( ▽4) 3.2( ▽5) 1.6( ▽6) 0.8( ▽7) 0.4( ▽8) 0.2( ▽9) 0.1(▽ 10) 0.05(▽ 11) 0.025(▽12) 0.0125(▽13) 0.006(▽14) 表面状况粗明显可见的刀痕可见的刀痕面微见的刀痕可见加工痕迹半光微见加工痕迹面看不见加工痕迹光可辩加工痕迹方向微辩加工痕迹方向面不可辩加工痕迹方向暗光泽面最亮光泽面光镜状光泽面面雾状光泽面镜面加工方法举例应用举例粗锯断、粗车、粗铣、粗刨、钻不接触表面或不重要的接触加工孔及用粗锉刀、粗砂轮加工面。如螺栓孔、机座底面等半精车、精铣、粗铰、粗拉、精不产生相对运动的接触面或相对运动速度不高的接触面。精刨、扩孔、粗镗、粗磨、精锉、加如键和键槽的工作面机盖与机工粗刮。体的结合面精金刚石车刀的精车、精镗、精相对运动速度较高的接触面，加磨、精刮、粗研、精铰、精拉削、要求很好密合的接触面。如齿工挤压、粗珩轮的工作面轴承的重要表面。光抛光、细磨、精研、精珩、超极重要的摩擦表面。如发动机加气缸内表面、精密量具的工作精加工。工表面。

表面粗糙度的测量方法

表面粗糙度的测量方法众所周知，表面粗糙度表征了机械零件表面的微观几何形状误差。对粗糙度的评定，主要分为定性和定量两种评定方法，所谓定性评定就是将待测表面和已知的表面粗糙度比较样块相互比较，通过目测或者借助于显微镜来判别其等级；而定量评定则是通过某些测量方法和相应的仪器，测出被测表面的粗糙度的主要参数，这些参数是Ra，Rq，Rz，Ry ；他们代表的意义是：Ra 是轮廓的算术平均偏差，即在取样长度内被测轮廓偏距绝对值之和的算术平均值。 Rq 是轮廓的均方根偏差：在取样长度内轮廓偏距的均方根值。 Rz 是微观不平度的10点高度：在取样长度内5个最大的轮廓峰高与5个最大的轮廓谷深的平均值之和。 Ry 是轮廓的最大高度：在取样长度内轮廓的峰顶线与轮廓谷底线中线的最大距离。目前常用的表面粗糙度测量方法主要有样板比较法，光切法，干涉法，触针法等。 1. 比较法它是在工厂里常用的方法，用眼睛或放大镜，对被测表面与粗糙度样板比较，或用手摸靠感觉来判断表面粗糙度的情况；这种方法不够准确，凭经验因素较大，只能对粗糙度参数值较大情况，给个大概范围的判断。 2. 光切法它是利用光切原理来测量表面粗糙度的方法。在实验室中用光切显微镜或者双管显微镜就可实现测量，它的测量准确度较高，但它是与对Rz，Ry 以及较为规则的表面测量，不适用于对测量粗糙度较高的表面及不规则表面的测量。 3. 干涉法它是利用光学干涉原理测量表面粗糙度的一种方法。这种方法要找出干涉条纹，找出相邻干涉带距离和干涉带的弯曲高度，就可测出微观不平度的实际高度；这种方法调整仪器比较麻烦，不太方便，其准确度和光切显微镜差不多；

4. 触针法它是利用仪器的测针与被测表面相接触，并使测针沿其表面轻滑过测量表面粗糙度的测量方法。采用这种方法的仪器最广泛的就是电动轮廓仪，它的特点是：显示数值直观，可测量许多形状的被测表面，如轴类，孔类，锥体，球类，沟槽类工件，测量时间少，方便快捷。它可分为便携式和台式电动轮廓仪，便携式仪器可在现场进行测量，携带方便；带记录仪的电动轮廓仪，可绘制出表面的轮廓曲线，带微机的轮廓仪可显示轮廓的形状情况，并有打印机打印出数据和表面的轮廓线，便于分析和比较。它的测量范围较大：Ra 值一般在0.02—50μm 。这里我们对电动轮廓仪的原理和仪器常见的故障排除方法进行讨论；电动轮廓仪的工作原理采用的是触针法。仪器利用驱动箱拖动电感传感器在工件表面上以一定的速度滑行，电感传感器触针随同被测表面轮廓的峰谷起伏，产生上下位移，这个线值位移量引起传感器内测量桥路两臂中电感量的变化，从而使得电桥输出与触针位移成比例的条幅信号，这个微弱的电信号经过电子装置放大整流后，成了代表工件截面轮廓的信号。将它输入记录仪，就得到了截面轮廓的放大图；或者把信号通过适当的环节进行滤波和计算后，由电表直接读出Ra 参数评定的表面粗糙度的值。电动轮廓仪由底座，驱动箱，传感器，控制器，放大器或电子装置，记录仪等附件组成。使用电动轮廓仪测量前，要对仪器预热，对一般测量件，预热5分钟左右；对精密件，预热约20-30分钟。对于不同形状的工件表面，选用不同的测量附件，例如对平和外圆柱表面，采用基本传感器，控制器，V型块和合适的滑块，并选好合适的行程长度，截止转换开关位置等。对于阶梯表面的测量，选用凹坑传感器；滑块选用凹坑专用滑块；对于曲轴表面的测量，选用传感器和控制器是基本的；滑块用直角附件中的专用滑块；这里不一一列举了。在掌握了它的测量方法的同时，对该仪器设备的维护也是非常重要的，对底座上的立柱位置，驱动箱，传感器，控制器，放大器电子装置的相关位置定期检查，对仪器出现的常见故障也能够排除；常见的故障如下：

机械制图_表面粗糙度符号分析

表面粗糙度符号、代号及其注法 Mechanical drawings— Surface roughness symbols and methods of indicating 1993-11-09 批准 1994-07-01 实施国家质量技术监督局发布本标准等效采用国际标准ISO 1302—1992《技术制图——标注表面特征的方法》。 1 主题内容与适用范围本标准规定了零件表面粗糙度符号、代号及其在图样上的注法。本标准适用于机电产品图样及有关技术文件。其他图样和技术文件也可参照采用。 2 引用标准 GB 1031 表面粗糙度参数及其数值 GB／T 13911 金属镀覆和化学处理表示方法 GB 3505 表面粗糙度术语表面及其参数 GB 4054 涂料涂覆标记 GB 10610 触针式仪器测量表面粗糙度的规则和方法 GB 12472 木制件表面粗糙度参数及其数值 3 表面粗糙度符号、代号 3.1图样上所标注的表面粗糙度符号、代号是该表面完工后的要求。 3.2有关表面粗糙度的各项规定应按功能要求给定。若仅需要加工(采用去除材料的方法或不去除材料的方法)但对表面粗糙度的其他规定没有要求时，允许只注表面粗糙度符号。 3.3图样上表示零件表面粗糙度的符号见表1。表1

3.4当允许在表面粗糙度参数的所有实测值中超过规定值的个数少于总数的16%时，应在图样上标注表面粗糙度参数的上限值或下限值。当要求在表面粗糙度参数的所有实测值中不得超过规定值时，应在图样上标注表面粗糙度参数的最大值或最小值。 3.5表面粗糙度高度参数轮廓算术平均偏差R a值的标注见表2，R a在代号中用数值表示(单位为微米)，参数值前可不标注参数代号。表2 3.6表面粗糙度高度参数轮廓微观不平度十点高度R z、轮廓最大高度R y值(单位为微米)的标注见表3，参数值前需标注出相应的参数代号。表3 3.7取样长度应标注在符号长边的横线下面，见图1。

表面粗糙度设定规范

粗糙度设定规范目录 1.粗糙度的定义-----------------------------------------------------------------2 2.内容-----------------------------------------------------------------------------2 4.1粗糙度介绍--------------------------------------------------------------2 4.1.1粗糙度产生的原因-------------------------------------------------2 4.1.2粗糙度的评价标准-------------------------------------------------3 4.1.3表面粗糙度代（符）号及其注法------------------------------6 4.2表面粗糙度的选用----------------------------------------------------11 4.2.1表面粗糙度的选用原则-----------------------------------------11 4.2.2表面粗糙度参数值的适用表面--------------------------------12 4.2.3轴和孔的表面粗糙度参数推荐值-----------------------------13 4.2.4各种常用加工方法可能达到的表面粗糙度-----------------14 4.2.5座椅常用部品粗糙度设定--------------------------------------15 4.3表面粗糙度的检测方法----------------------------------------------16 3.相关文件---------------------------------------------------------------------17 4.实施要求---------------------------------------------------------------------17 5.附件---------------------------------------------------------------------------17

表面粗糙度的成因及其影响因素分析

河南科技学院 2009届本科毕业论文（设计）论文题目：表面粗糙度的成因及其影响因素分析学生姓名：霍鹏所在院系：机电学院所学专业：机械设计制造及其自动化导师姓名：马利杰完成时间：2008年5 月28 日

摘要表面粗糙度是指零件表面上具有较小间距和微小峰谷所组成的微观几何形状特征。它主要是由机械加工形成的（表面粗糙度、表面波纹度、表面缺陷、表面几何形状）,直接影响机械零件的配合性质，表面的耐磨性、抗腐蚀性、疲劳强度、密封性、导热性及使用寿命。首先，对表面粗糙度的基础知识进行了简要介绍；其次，着重分析了影响零件表面粗糙度的因素及其影响规律和趋势；在此基础上，探寻改善和提高表面粗糙度的措施和方法；最后，举例说明表面粗糙度的一些选择和测量。关键词: 粗糙度相关分析控制 1

Analysis of formation mechanism of surface roughness and it’s influence factor Abstract Surface roughness is the distance between the surface and has a smaller peak which consists of tiny micro-geometry characteristics. It is mainly formed by machining (surface roughness, surface waviness, surface defects, surface geometry), a direct impact on the nature of mechanical components with the surface of the wear resistance, corrosion resistance, fatigue strength, tightness, thermal conductivity and useful life. First, the basics of surface roughness have been briefed; Secondly, the focus on an analysis of the impact of parts of the surface roughness factors, and impact of laws and trends; On this basis, ways to improve and enhance the surface roughness of the measures and methods ; Finally, examples of surface roughness and measurement of the number of options. Keywords : Roughness, Relation Analysis, Control 2

机加工表面粗糙度

基本概念 4.1.1 表面粗糙度的定义表面粗糙度（Surface roughness）是指加工表面上具有的较小间距和峰谷所组成的微观几何形状特性性它是一种微观几何形状误差，也称为微观不平度。表面粗糙度应与形状误差（宏观几何形状误差）和表面波度区别开。通常，波距小于1mm 的属于表面粗糙度，波距在1~10mm 的属于表面波度，波距大于10mm 的属于形状误差，如图4-1 所示。 4.1.2 表面粗糙度对机械零件使用性能的影响表面粗糙度的大小对零件的使用性能和使用寿命有很大影响。 1. 影响零件的耐磨性表面越粗糙，摩擦系数就越大，相对运动的表面磨损得越快。然而，表面过于光滑，由于润滑油被挤出或分子间的吸附作用等原因，也会使摩擦阻力增大和加速磨损。 2. 影响配合性质的稳定性零件表面的粗糙度对各类配合均有较大的影响。对于间隙配合，两个表面粗糙的零件在相对运动时会迅速磨损，造成间隙增大，影响配合性质；对于过盈配合，在装配时表面上微观凸峰极易被挤平，产生塑性变形，使装配后的实际有效过盈减小，降低联接强度；对于过渡配合，因多用压力及锤敲装配，表面粗糙度也会使配合变松。！ 3. 影响疲劳强度承受交变载荷作用的零件的失效多数是由于表面产生疲劳裂纹造成的。疲劳裂纹主要是由于表面微观峰谷的波谷所造成的应力集中引起的。零件表面越粗糙，波谷越深，应力集中就越严重。因此，表面粗糙度影响零件的抗疲劳强度。 4. 影响抗腐蚀性粗糙表面的微观凹谷处易存积腐蚀性物质，久而久之，这些腐蚀性物质就会渗入到金属内层，造成表面锈蚀。此外，表面粗糙度对接触刚度、密封性、产品外观、表面光学性能、导电导热性能以及表面结合的胶合强度等都有很大影响。所以，在设计零件的几何参数精度时，必须对其提出合理的表面粗糙度要求，以保证机械零件的使用性能。表面粗糙度的选用 4.3.1 评定参数的选用、 1. 幅度参数的选用

粗糙度定义

表1　代表的な表面粗さの定義 ※Ra：Ry，Rzの評価長さはカットオフ値、基準長さをそれぞれ５倍にした値です。 1.　表面粗さの定義対象物の表面からランダムに抜き取った各部分における、表面粗さを表すパラメータである算術平均粗さ(Ra )、最大高さ(Ry )、十点平均粗さ(Rz )、凹凸の平均間隔(Sm )、局部山頂の平均間隔(S )及び負荷長さ率(tp )のそれぞれの算術平均値。表2　算術平均粗さ(Ra )と従来の表記の関係

表面粗糙度仪(光洁度)的国家标准主要术语及定义友情提示：时代公司作为“国家表面粗糙度标准”的起草和制定的重要成员之一，热诚欢迎尊敬的阁下共同学习探讨表面粗糙度的相关问题！本资料给出的参数符合GB/T3505-2000《产品几何技术规范表面结构轮廓法表面结构的述语、定义及参数》、符合GB/T6062-2002《产品几何量技术规范（GPS）表面结构轮廓法接触（触针）式仪器的标称特性》。图一：放大n倍后的工件截面/表面粗糙度及轮廓：图二：各种加工方法能得到的表面光度：图三：常见的表面粗糙度仪的工件测量：

表面粗糙度关键技术术语： (1)表面粗糙度：取样长度L 取样长度是用于判断和测量表面粗糙度时所规定的一段基准线长度，它在轮廓总的走向上取样。 (2)表面粗糙度：评定长度Ln 由于加工表面有着不同程度的不均匀性，为了充分合理地反映某一表面的粗糙度特性，规定在评定时所必须的一段表面长度，它包括一个或数个取样长度，称为评定长度Ln。 (3)表面粗糙度：轮廓中线（也有叫曲线平均线）M

轮廓中线M是评定表面粗糙度数值的基准线。评定参数及数值: 国家规定表面粗糙度的参数由高度参数、间距参数和综合参数组成。表面粗糙度高度参数共有三个: (1)轮廓算术平均偏差Ra ：在取样长度L内，轮廓偏距绝对值的算术平均值。 (2)微观不平度十点高度Rz 在取样长度L内最大的轮廓峰高的平均值与五个最大的轮廓谷深的平均值之和。

表面粗糙度的检测

课题三表面粗糙度的检测表面粗糙度的检测方法主要有比较法、针触法、光切法、光波干涉法。 1．比较法用比较法检验表面粗糙度是生产车间常用的方法。它是将被测表面与粗糙度样块进行比较来评定表面粗糙度。如图3-1所示。比较法可用目测直接判断或借助于放大镜、显微镜比较或凭触觉、来判断表面粗糙度。缺点是精度较差，只能作定性分析比较。图3-1表面粗糙度比较样板 2．针触法针触法是通过针尖感触被测表面微观不平度的截面轮廓的方法，它实际是一种接触式电量方法。所用测量仪器为轮廓仪，它可以测定Ra为0.025～5um。该方法测量范围广，速度可靠、操作简便并易于实现自动测量和微机数据处理。但被测表面易被触针划伤。如图3-2所示。图3-2针触法测量原理图 3．光切法光切法就是利用“光切原理”来测量被测零件表面的粗糙度，采用仪器是光切显微镜又称双管显微镜。该仪器适宜测量车、铣、刨或其它类似的方法加工的金属零件的平面或外圆表面。光切法通常用于测量

Ra=0.5～80μm的表面。 4．光波干涉法干涉显微镜是利用光波干涉原理测量表面粗糙度。干涉显微镜测量的范围一般为0.03～1μm。也可作Rz、Ry参数评定。本课题结合课堂讲授的典型零件的标注，分析并检测表面粗糙度，根据国家标准评定表面粗糙度。选用方法为光切法和光波干涉法。

实验3-1 用光切显微镜检测表面粗糙度一、实验目的 1．了解用光切显微镜测量表面粗糙度的原理和方法 2．正确理解表面粗糙度的评定参数，加深对微观不平度十点高度Rz的理解二、测量原理及仪器说明双管显微镜又撑光切显微镜，它是利用被测表面能反射光的特性，根据“光切法原理”制成的光学仪器，其测量范围取决于选用的物镜的放大倍数，一般用于测量 Z R=0.8-80um的表面粗糙度。图3-3光切显微镜 1—底座；2—立柱；3—升降螺母；4—微调手轮；5—支臂；6—支臂锁紧螺钉；7—工作台；8—物镜组；9—物镜锁紧机构；10—遮光板手轮；11—壳体；12—目镜测微器；13—目镜仪器外型如图3-3所示，它由底座6，支柱5，横臂2，测微目镜13，可换物镜8及工作台7等部分组成。仪器备有四种不同倍数（7X、14X、30X、60X）物镜组，被测表面粗糙度大小（估测）来选择相应倍数的物镜组（见表3-1）。表3-1 双管显微镜测量参数物镜倍数总放大倍数视场直径mm 系数E （um/格）测量范围um 7X 60X 2.7 1.28 15～50 14X 120X 1.3 0.63 5～15 30X 260X 0.6 0.29 1.5～5 60X 520X 0.3 0.16 0.8～1.5