氧碳含量测试SOP

氧碳含量测试SOP

镇江荣德新能源科技有限公司

序号图片演示描述关键点与解释序号图片演示描述关键点与解释

1.1配液

准备工作:将瓶装

HF、HNO3、

CH3COOH液体放置

滴定台旁,使用洁

净的量杯进行配液

抛光液配比:

CH3COOH(冰醋

酸):HF(47%):HNO3

(70%):醋酸

=1:1:3(体积比)

抛光液可按照配

比100*放大进行

配液;配液顺序

依次为HF—HNO3

—纯水;配液时

员工需佩戴好手

套、口罩在抽风

较好的滴定台进

行。

1.2

取样

取不同类型锭-中

心晶砖。如R2/R3

中心锭的底部、顶

部各1片,插好放

置在承载盒中。

(或者将头尾样片

破碎成小块进行测

试)

样片最好是小锭

的头尾厚片,一

次取样4片(如取

小样块进行测试-

最小样品尺寸在

3*5cm以上)

1.3抛光腐蚀

将1.1配好的液体

倒入左图的反应箱

中,要求液体高度

淹没1.2中承载盒

水平放置硅片的高

度;将反应箱放在

抽风较好的滴定台

注意:在向清洁

的反应箱中倾倒

液体时,要缓慢

有序-防止液体溅

出。

1.4

腐蚀反应

将有承载盒的硅片

(或样块)浸泡在

1.3中的反应箱

中,硅片会与抛光

液快速反应,并随

着有大量的NO-NO2

棕红色烟雾产生;

反应时间在3~5min

反应过程中:为

保证硅片表面充

分和腐蚀液反

应,需要手不断

晃动反应箱

1.5腐蚀后处理

将左侧的洁净反应

箱中盛满纯水,待

1.4反应结束后,

迅速将硅片取出放

入纯水中进行清

洗;待侵泡3min

后,将硅片在流动

纯水下冲淋硅片

2min

硅片使用纯水清

洗时需要将正方

免的残留酸和反

应物冲洗干净,

然后将硅片放入

另1个洁净的承载

盒中

1.6

硅片处理

将清洗好的硅片

(或者样块)进行

烘干或者吹干

样片抛光后表面

如镜面效果硅锭氧碳含量测试

1、

Doc#:1/1Rev#:

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