压力传感器工作原理

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压力传感器工作原理

电阻应变式压力传感器工作原理细解

2011-10-14 15:37元器件交易网

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中心议题:

电阻应变式压力传感器工作原理

微压力传感器接口电路设计

微压力传感器接口系统的软件设计

微压力传感器接口电路测试与结果分析

解决方案:

电桥放大电路设计

AD7715接口电路设计

单片机接口电路设计

本文采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出的模拟变量,然后用INA118放大器将此信号放大,用7715A/D 进行模数转换,将转换完成的数字量经单片机处理,最后由LCD将其显示,采用LM334 做的精密5 V 恒流源为电桥电路供电,完成了微压力传感器接口电路设计,既能保证检测的实时性,也能提高测量精度。

微压力传感器信号是控制器的前端,它在测试或控制系统中处于首位,对微压力传感器获取的信号能否进行准确地提取、处理是衡量一个系统可靠性的关键因素。后续接口电路主要指信号调节和转换电路,即能把传感元件输出的电信号转换为便于显示、记录、处理和控制的有用电信号的电路。由于用集成电路工艺制造出的压力传感器往往存在:零点输出和零点温漂,灵敏度温漂,输出信号非线性,输出信号幅值低或不标准化等问题。本文的研究工作,主要集中在以下几个方面:

(1)介绍微压力传感器接口电路总体方案设计、系统的组成和工作原理。

(2)系统的硬件设计,介绍主要硬件的选型及接口电路,包括A/D 转换电路、单片机接口电路、1602显示电路。

(3)对系统采用的软件设计进行研究,并简要阐述主要流程图,包括主程序、A/D 转换程序、1602显示程序。

1 电阻应变式压力传感器工作原理

电阻应变式压力传感器是由电阻应变片组成的测量电路和弹性敏感元件组合起来的传感器。当弹性敏感元件受到压力作用时,将产生应变,粘贴在表面的电阻应变片也会产生应变,表现为电阻值的变化。这样弹性体的变形转化为电阻应变片阻值的变化。把4 个电阻应变片按照桥路方式连接,两输入端施加一定的电压值,两输出端输出的共模电压随着桥路上电阻阻值的变化增加或者减小。一般这种变化的对应关系具有近似线性的关系。找到压力变化和输出共模电压变化的对应关系,就可以通过测量共模电压得到压力值。

当有压力时各桥臂的电阻状态都将改变,电桥的电压输出会有变化。

式中:Uo 为输出电压,Ui 为输入电压。

当输入电压一定且ΔRi <

对于全等臂电桥, R1= R2= R3= R,各桥臂电阻应变片灵敏系数K相同,式(2)可简化为

由于ΔRi<

式(4)为电桥转换原理的一般形式。ΔU 为电桥输出电压。作为全等臂电桥,ΔR1 = ΔR2 = ΔR 3= ΔR4 ,式(4)变为ΔU =UKε 。

2 微压力传感器接口电路

应用微压力传感器对压力的感应特性,将压力转换为模拟的电压输出,此输出信号不能直接由单片机处理。因此,需要经A/D 转换为数字量。单片机通过对此数字量的处理,获得实际的压力值,并通过液晶屏显示。

图1 微压力传感器接口电路框图

由图1 可以看出,整个电路的设计分4 大部分:电桥电路、放大电路、A/D 转换电路、LCD显示电路。

2.1 电桥放大电路

由于所测出的微压力传感器两端的电压信号较弱,所以电压在进行A/D 转换之前

必须经过放大电路的放大(见图2)。INA118 由3 个运算放大器组成差分放大结构,置输入过压保护,且可通过外置不同大小的电阻实现不同的增益(从1 到1 000),因而应用围很广。

图2 电桥放大电路

通过在脚1 和脚8 之间外接一电阻Rg 来实现不同的增益,该增益可从1 到1 000 不等。电阻Rg 为式中G 为增益。由于Rg 的稳定性和温度漂移对增益有影响,因此,在需要获得高精度增益的应用中对Rg 的要求也比较高,应采用高精度、低噪声的金属膜电阻。此外,高增益的电路设计中的Rg 值较小,如G=100时的Rg 值为1.02 kΩ;G=1 000 时的Rg 值为50.5Ω。

2.2 AD7715 接口电路

为了实现对微压力的实时测量,使用 16 位的AD7715 对输出电压进行采样测量,其中AD780 提供2.5V 高精度基准电压。P3.1 脚提供了AD 工作所需的时钟,P1.4 和P1.5 脚接收和发送通讯数据,P1.6 是片选信号,P1.7 接DRDY ,AT89S52 可以通过查询P1.7 的状态来判断是否可以读取AD 转换结果。A/D 接口电路如图3所示。

图3 A/D 转换电路

2.3 单片机接口电路

AT89S52 是一个低功耗,高性能C MO S 8 位单片机,兼容标准MCS-51 指令系统及80C51 引脚结构。

本设计使用的复位电路是由22μF 的电容,1 kΩ的电阻及IN4148 二极管组成。在满足单片机可靠复位的前提下,该复位电路的优点在于降低复位引脚的对地阻抗,可以显着增强单片机复位电路的抗干扰能力。

二极管可以实现快速释放电容电量的功能,满足短时间复位的要求。本设计的单片机连接电路如图4 所示,输入信号为经7715A/D 转换的模拟电压,单片机进行计算处理后输入到LCD1602 液晶显示,显示出相应的压力值。

图4 单片机连接电路

3 系统的软件设计

3.1 主程序流程图

在系统加电后,主程序首先完成系统初始化,其中包括A/D、串行口、中断等工作状态的设定,给系统变量赋初值,显示上次设定值等。执行相应的功能子程序。当启动键按下后,根据设定值、校正等参数计算对应输出的数字量,如图5 所示。

图5 主程序流程图

3.2 模数转换程序

首先对AD7715 芯片进行初始化,对部寄存器写入相应代码,然后才能对其它寄存器进行读写。AD7715 的大多数寄存器是8 位寄存器,只有数据寄存器、零点校准寄存器和满量程校准寄存器是16 位寄存器。对它们分别写入数据,判断DRDY 是否为零,为零时读寄存器数据,不为零时重新写寄存器。

3.3 1602 显示程序

本系统采用定时中断0 来实现逐位动态显示,使LCD 输出非常稳定,不用考虑定时刷新显示,使得该显示子程序简单灵活,适用性广。LCD1602的数据引脚与控制引脚与单片机的I/O 口直接相连,DB0~DB7 分别连接单片机的P1.0~P1.7 口,数据并行传输速度快,Vo 亮度调节引脚直接接地,显示最亮状态。

4 测试与结果分析

4.1 测试容与测试结果

在单片机控制的场合,将因单片机不能直接测量的信号传感器大多为电压输出型,要使用压力传感器将测量信号转换为0~5 V 电压输出,通过模拟数字转换电路转换为数字信号供单片机读取、控制。

4.2 测试结果分析

对于微压力传感器,在电路设计时只需选择合适的降压电阻,通过A/D 转换器直接将电阻上的电压转换为数字信号即可,电路调试及数据处理都比较简单。电路在实际测量中存在一定的误差,主要是由于温漂和一些外部干扰造成的,见表1。

表1 测量数据

由压力传感器产生电压与放大器形成电压回路,从而在取样电阻上产生一定压降,并将此电压值输入到放大器INA118 的3 脚。INA118 与其相连接的电阻构成可调整电压放大电路,将压力传感器电流在取样电阻上的电压值进行放大并通过INA118 的1 脚输出至模拟数字转换电路,供单片机AT89S52读入,通过数据处理将压力传感器的电压在屏幕上以压力值的形式显示出来。

4.3 电路的优缺点

电压输出型压力传感器抗干扰能力差,有时输出的直流电压上还叠加有交流成分,使单片机产生误判断,控制出现错误,严重时还会损坏设备。因为本电路的结构非常简单,使用的芯片在精度方面的欠缺以及其它一些相应条件的限制,所以在准确度上有一些不足。

(1)本电路的主要优点:①电路结构简单;②元器件价格低廉;③操作方便;④电源单独、统一、稳定。

(2)本电路的主要缺点:①存在温漂;②受人为因素影响比较大;③携带不方便。

5 结束语

通过对微压力传感器的应用、特点及工作特性等方面的研究,并对微压力传感器接口电路进行了设计,在电路框图中充实了各个部分的容。首先采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出的变量,然后用INA118放大器将此信号放大,再用7715A/D 转换器驱动LCD 将其显示。完善了微压力传感器接口电路,使电路在功能性、稳定性、可靠性及小型化等方面都有所增强。

压力传感器的安装方法及使用要求

●检查安装孔的尺寸 如果安装孔的尺寸不合适,传感器在安装过程中,其螺纹部分就很容易受到磨损。这不仅会影响设备的密封性能,而且使压力传感器不能充分发挥作用,甚至还可能产生安全隐患。只有合适的安装孔才能够避免螺纹的磨损(螺纹工业标准1/2-20 UNF 2B),通常可以采用安装孔测量仪对安装孔进行检测,以做出适当的调整。 ●保持安装孔的清洁 保持安装孔的清洁并防止熔料堵塞对保证设备的正常运行来说十分重要。在挤出机被清洁之前,所有的压力传感器都应该从机筒上拆除以避免损坏。在拆除传感器时,熔料有可能流入到安装孔中并硬化,如果这些残余的熔料没有被去除,当再次安装传感器时就可能造成其顶部受损。清洁工具包能够将这些熔料残余物去除。然而,重复的清洁过程有可能加深安装孔对传感器造成的损坏。如果这种情况发生,就应当采取措施来升高传感器在安装孔中的位置。 ●选择恰当的位置 当压力传感器的安装位置太靠近生产线的上游时,未熔融的物料可能会磨损传感器的顶部;如果传感器被安装在太靠后的位置,在传感器和螺杆行程之间可能会产生熔融物料的停滞区,熔料在那里有可能产生降解,压力信号也可能传递失真;如果传感器过于深入机筒,螺杆有可能在旋转过程中触碰到传感器的顶部而造成其损坏。一般来说,传感器可以位于滤网前面的机筒上、熔体泵的前后或者模具中。 ●仔细清洁 在使用钢丝刷或者特殊化合物对挤出机机筒进行清洁前,应该将所有的传感器都拆卸下来。因为这两种清洁方式都可能会造成传感器的震动膜受损。当机筒被加热时,也应该将传感器拆卸下来并使用不会产生磨损的软布来擦拭其顶部,同时传感器的孔洞也需要用清洁的钻孔机和导套清理干净。 ●保持干燥 尽管传感器的电路设计能够经受苛刻的挤出加工环境,但是多数传感器也不能绝对防水,在潮湿的环境下也不利于正常运行。因此,需要保证挤出机机筒的水冷装置中的水不会渗漏,否则会对传感器造成不利影响。如果传感器不得不暴露在水中或潮湿的环境下,就要选择具有极强防水性的特殊传感器。

常用压力传感器原理分析

常用压力传感器原理分析 振膜式谐振压力传感器 振膜式压力传感器结构如图(a)所示。振膜为一个平膜片,且与环形壳体做成整体结构,它和基座构成密封的压力测量室,被测压力 p经过导压管进入压力测量室内。参考压力室可以通大气用于测量表压,也可以抽成真空测量绝压。装于基座顶部的电磁线圈作为激振源给膜片提供激振力,当激振 频率与膜片固有频率一致时,膜片产生谐振。没有压力时,膜片是平的,其谐振频率为 f0;当有压力作用时,膜片受力变形,其张紧力增加,则相应的谐振频率也随之增加,频率随压力变化且为单值函数关系。 在膜片上粘贴有应变片,它可以输出一个与谐振频率相同的信号。此信号经放大器放大后,再反馈给激振线圈以维持膜片的连续振动,构成一个闭环正反馈自激振荡系统。如图(b)所示 压电式压力传感器 某些电介质沿着某一个方向受力而发生机械变形(压缩或伸长)时,其内部将发生极化现象,而在其某些表面上会产生电荷。当外力去掉后,它又会重新回到不带电 的状态,此现象称为“压电效应”。常用的压电材料有天然的压电晶体(如石英晶体)和压电陶瓷(如钛酸钡)两大类,它们的压电机理并不相同,压电陶瓷是人造 多晶体,压电常数比石英晶体高,但机械性能和稳定性不如石英晶体好。它们都具有较好特性,均是较理想的压电材料。 压电式压力传感器是利用压电材料的压电效应将被测压力转换为电信号的。由压电材料制成的压电元件受到压力作用时产生的电荷量与作用力之间呈线性关系: Q=kSp 式中 Q为电荷量;k为压电常数;S为作用面积;p为压力。通过测量电荷量可知被测压力大小。 图1为一种压电式压力传感器的结构示意图。压电元件夹于两个弹性膜片之间,压电元件的一个侧面与膜片接触并接地,另一侧面通过引线将电荷量引出。被测压力 均匀作用在膜片上,使压电元件受力而产生电荷。电荷量一般用电荷放大器或电压放大器放大,转换为电压或电流输出,输出信号与被测压力值相对应。 除在校准用的标准压力传感器或高精度压力传感器中采用石英晶体做压电元件外,一般压电式压力传感器的压电元件材料多为压电陶瓷,也有用高分子材料(如聚偏二氟乙稀)或复合材料的合成膜的。

压力传感器的论文

压力传感器的论文 合理进行压力传感器的误差补偿是其应用的关键。压力传感器主要有偏移量误差、灵敏度误差、线性误差和滞后误差,本文将介绍这四种误差产生的机理和对 测试结果的影响,同时将介绍为提高测量精度的压力标定方法以及应用实例。 目前市场上传感器种类丰富多样,这使得设计工程师可以选择系统所需的压力传感器。这些传感器既包括最基本的变换器,也包括更为复杂的带有片上电路的高集成度传感器。由于存在这些差异,设计工程师必须尽可能够补偿压力传感器的测量误差,这是保证传感器满足设计和应用要求的重要步骤。在某些情况 下,补偿还能提高传感器在应用中的整体性能。 本文以摩托罗拉公司的压力传感器为例,所涉及的概念适用于各种压力传感器的设计应用。 摩托罗拉公司生产的主流压力传感器是一种单片压阻器件,该器件具有3类: 1. 基本的或未加补偿标定; 2. 有标定并进行温度补偿; 3. 有标定、补偿和放大。 偏移量、范围标定以及温度补偿均可以通过薄膜电阻网络实现,这种薄膜电阻网络在封装过程中采用激光修正。 该传感器通常与微控制器结合使用,而微控制器的嵌入软件本身建立了传感器数学模型。微控制器读取了输出电压后,通过模数转换器的变换,该模型可以将电压量转换为压力测量值。 传感器最简单的数学模型即为传递函数。该模型可在整个标定过程中进行优化,并且模型的成熟度将随标定点的增加而增加。 从计量学的角度看,测量误差具有相当严格的定义:它表征了测量压力与实际压力之间的差异。而通常无法直接得到实际压力,但可以通过采用适当的压力标准加以估计,计量人员通常采用那些精度比被测设备高出至少10倍的仪器作为测量标准。 由于未经标定的系统只能使用典型的灵敏度和偏移值将输出电压转换为压力,测得的压力将产生如图1所示的误差。 这种未经标定的初始误差由以下几个部分组成: a. 偏移量误差。由于在整个压力范围内垂直偏移保持恒定,因此变换器扩散和激光调节修正的变化将产生偏移量误差。 b. 灵敏度误差,产生误差大小与压力成正比。如果设备的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的递增函数(见图1)。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是压力的递减函数。该误差的产生原因在于扩散过程的变化。 c. 线性误差。这是一个对初始误差影响较小的因素,该误差的产生原因在于硅片的物理非线性,但对于带放大器的传感器,还应包括放大器的非线性。线性误差曲线可以是凹形曲线,也可以是凸形曲线。 d. 滞后误差:在大多数情形中,滞后误差完全可以忽略不计,因为硅片具有很高的机械刚度。一般只需在压力变化很大的情形中考虑滞后误差。 标定可消除或极大地减小这些误差,而补偿技术通常要求确定系统实际传递函数的参数,而不是简单的使用典型值。电位计、可调电阻以及其他硬件均可在补偿过程中采用,而软件则能更灵活地实现这种误差补偿工作。 一点标定法可通过消除传递函数零点处的漂移来补偿偏移量误差,这类标定方法称为自动归零。

(完整版)四种压力传感器的基本工作原理及特点

(1) 1 dR d R dA A 四种压力传感器的基本工作原理及特点 一:电阻应变式传感器 1 1电阻应变式传感器定义 被测的动态压力作用在弹性敏感元件上, 使它产生变形,在其变形的部位粘 贴有电阻应变片,电阻应变片感受动态压力的变化,按这种原理设计的传感器称 为电阻应变式压力传感器。 1.2电阻应变式传感器的工作原理 电阻应变式传感器所粘贴的金属电阻应变片主要有丝式应变片与箔式应变片 箔式应变片是以厚度为0.002―― 0.008mm 的金属箔片作为敏感栅材料,,箔 栅宽度为0.003――0.008mm 。丝式应变片是由一根具有高电阻系数的电阻丝 (直 径0. 015--0. 05mm ),平行地排成栅形(一般2――40条),电阻值60――200 ?, 通常为 120 ?,牢贴在薄纸片上,电阻纸两端焊有引出线,表面覆一层薄纸,即 制成了纸基的电阻丝式应变片。测量时,用特制的胶水将金属电阻应变片粘贴于 待测的弹性敏感元件表面上,弹性敏感元件随着动态压力而产生变形时, 电阻片 也跟随变形。如下图所示。B 为栅宽,L 为基长。 I 绘式应吏片 b )笹式应变片 材料的电阻变化率由下式决定:

式中; R—材料电阻2

3 —材料电阻率 由材料力学知识得; K —金属电阻应变片的敏感度系数 式中K 对于确定购金属材料在一定的范围内为一常数,将微分 dR 、dL 改写成增 量出、/L,可得 由式(2)可知,当弹性敏感元件受到动态压力作用后随之产生相应的变形 而形应变值可由丝式应变片或箔式应变片测出,从而得到了 ZR 的变化,也就得 到了动态压力的变化,基于这种应变效应的原理实现了动态压力的测量。 1.3电阻应变式传感器的分类及特点 「测低压用的膜片式压力传感器 常用的电阻应变式压力传感器包括彳测中压用的膜片一一应变筒式压力传感器 -测高压用 的应变筒式压力传感器 1.3.1膜片一一应变筒式压力传感器的特点 该传感器的特点是具有 较高的强度和抗冲击稳定性,具有优良的静态特性、 动态特性和较高的自震频率,可达30khz 以上,测量的上限压力可达到9.6mp a 。 适于测量高频脉动压力,又加上强制水冷却。也适于高温下的动态压力测量,如 火箭发动机的压力测量,内燃机、压气机等的压力测量。 1.3.2膜片式应变压力传咸器的特点 A 这种膜片式应变压力传感器不宜测量较大的压力,当变形大时,非线性 较大。但小压力测量中由于变形很小,非线性误差可小于 0.5%,同时又有较高 的灵敏度,因此在冲击波的测量中,国内外都用过这种膜片式压力传感器。 B 这种传感器与膜片一应变筒式压力传感器相比, 自振频率较低,因此在低dR "R [(1 2 ) C(1 2 )]

MEMS压力传感器论文

基于MEMS实现SOI压力传感器的设计研究 学院:机械与材料工程学院 专业班级:机械(专研)-14 学号:2014309020127 学生姓名:王宇 指导教师:赵全亮 撰写日期:2015年1月6日

目录 1.MEMS传感器概述 (1) 1.1 MEMS传感器研究现状 (1) 1.2 MEMS压力传感器分类 (1) 1.3MEMS压力传感器应用 (2) 2.基于MEMS实现SOI压力传感器的设计研究 (2) 2.1 SOI压力传感器简介 (2) 2.2 SOI压力传感器的理论及结构设计 (3) 2.3 SOI压力传感器总结 (6) 3.MEMS压力传感器发展趋势 (7)

1.MEMS传感器概述 1.1 MEMS传感器研究现状 进入21世纪以来,在市场引导、科技推动、风险投资和政府介入等多重作用下,MEMS传感器技术发展迅速,新原理、新材料和新技术的研究不断深入,MEMS传感器的新产晶不断涌现。目前,MEMS传感器正向高精度、高可靠性、多功能集成化、智能化、微型化和微功耗方向发展。 其中,MEMS技术也是伴随着硅材料及其加工技术、IC技术的成熟而发展起来的,它的运用带来了传感器性能的大幅度提升,其特点主要包括:1)质量和尺寸的减少;2)标准的电路避免了复杂的线路和外围结构;3)可以形成传感器阵列,获取阵列信号;4)易于处理和长的寿命;5)低的生产成本,这包括低的能源消耗,较少的用材;6)可以避免或者少用贵重的和对环境有损害的材料,其中压力传感器是影响最为深远且应用最为广泛的MEMS传感器。 1.2 MEMS压力传感器分类 MEMS传感器的发展以20世纪60年代霍尼韦尔研究中心和贝尔实验室研制出首个硅隔膜压力传感器和应变计为开端。压力传感器是影响最为深远且应用最广泛的MEMS传感器,其性能由测量范围、测量精度、非线性和工作温度决定。从信号检测方式划分,MEMS压力传感器可分为压阻式、电容式、压电式和谐振式等,其特点如下: 1)压阻式:通过测量材料应力来测量压力大小,它具有体积小、全动态测量范围的高线性度、较高的灵敏度、相对较小的滞后和蠕变的特点,此类型传感器多采用惠斯通电桥来消除温度影响; 2)电容式:通过测量电容变化来测量压力大小,相比较压阻式的传感器,它具有很高的灵敏度、低温度敏感系数、没有滞后、更高的长期稳定性,但同时它也有更高的非线性度、更大的体积,需要更复杂的检测电路和更高的生产成本; 3)谐振式:通过测量频率或频率的微分变化来测量压力大小,它可以通过诸如热、电磁和静电效应来改变膜片频率,并且可以通过真空封装来提高传感器精度; 4)压电式:压电传感器是利用某些电介质受力后产生的压电效应制成的传

压力传感器原理及应用-称重技术

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前言 本说明书详细地介绍了GF型风流压力传感器的使用方法及使用注意事项,使用者在使用前请务必仔细阅读。GF型风流压力传感器在生产过程中执行的是煤炭科学研究院重庆分院的企业标准Q/MKC 56-2005。 I

目次 前言…………………………………………………………………………………………I 1 概述 (1) 2 工作原理与结构 (2) 3 技术特性 (3) 4 尺寸、重量 (4) 5 使用、调校 (4) 6 典型故障处理 (5) 7 维护、保养 (6) 8 运输、贮存 (6) 9 开箱及检查 (6) 10 其它 (7) II

GF型风流压力传感器 1 概述 GF型风流压力传感器,是一种专门用于监测煤矿井下巷道及瓦斯抽放管道负压的模拟量传感器,对于监测井下风压变化,确保矿井正常通风、配风及瓦斯抽放管路安全等方面有着重要作用,用于老塘漏风,隔墙密闭质量的连续监测的重要传感器,能就地数字显示风压或管道压力变化。 1.1 产品特点 1.1.1 GF型风流压力传感器在设计中采用了新型单片微机和高集成数字化电路,简化了电路结构,提高了整机性能的可靠性,便于维护与调试。 1.1.2 本传感器在整机的零点、灵敏度调校上实现了红外遥控调校功能,方便了仪器的调校工作。 1.1.3 本传感器在电源设计上采用新型开关电源,大大降低了整机功耗,增加了传感器的传输距离。 1.1.4 本传感器增设了故障自检功能,方便了使用与维护。 1.1.5本传感器的外壳采用了高强度结构,使整机具有很强的抗冲击能力。 1.2 主要用途和适用范围 1.2.1 主要用途 GF型风流压力传感器主要用于老塘漏风,隔墙密闭质量的连续监测。 1.2.2 适用范围 井下煤尘巷道、回风巷的通风配风、瓦斯抽放管道的负压监测。 1.3 型号的组成及其代表意义 G F □□ (A) 设计序列号 F代表负压传感器,Z代表正压传感器 测量范围 风流压力 传感器 1.4 环境条件 1.4.1 工作条件 a) 工作温度: 0 ℃~40 ℃; b) 相对湿度: ≤95 %; c) 大气压力: 80 kPa~106 kPa; 1

压力传感器工作原理

压力传感器 压力传感器是工业实践、仪器仪表控制中最为常用的一种传感器,并广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。 力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 1、压阻式压力传感器原理与应用: 压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。 压阻效应 当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异,因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计,前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变化,后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应变),而且前者的灵敏度比后者大50~100倍。 压阻式压力传感器结构 压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构成全桥。

压力传感器应用论文.

传感器的应用 压 力 传 感 器 姓名:白智伟 学号:2011081403 班级:2011级电本2班 压力传感器 摘要:压力传感器以stc11f04e单片机为中心控制系统. 主要由弹性体、电阻应变片电缆线等组成,内部线路采用惠更斯电桥,当弹性体承受载荷产生变形时,电阻应变片受到拉伸或压缩应变片变形后,它的阻值将发生变化,从而使电桥失去平衡,产生相应的差动信号,再经相应的测量电路把这一电阻变化转换为电信号,然后用放大器将此信号放大。用双积分型A/D转换电路转换,将转变的数字量经单片机处理。最后由LCD将其显示。 关键词:stc11f04e;传感器;双积分型A/D转换电路。 一.系统设计 1.总体设计思路:

本设计主要由压力传感器,运算放大器,双积分型A/D转换电路,单片机,LCD显示屏构成。总体框架如下图1。 图1总体电路框图 二.各个单元电路设计 1.压力传感器的设计 采用电阻应变式压力传感器。是由电阻应变片组成的测量电路和弹性敏感元件组合起来的传感器。当弹性敏感元件受到压力作用时,将产生应变,粘贴在表面的电阻应变片也会产生应变,表现为电阻值的变化。这样弹性体的变形转化为电阻应变片阻值的变化。把 4 个电阻应变片按照桥路方式连接,两输入端施加一定的电压值,两输出端输出的共模电压随着桥路上电阻阻值的变化增加或者减小。一般这种变化的对应关系具有近似线性的关系。找到压力变化和输出共模电压变化的对应关系,就可以通过测量共模电压得到压力值。 2.输入放大电路的设计 由于所测出的微压力传感器两端的电压信号较弱,所以电压在进行A/D 转换之前必须经过放大电路的放大。输入放大的主要作用是提高输入阻抗和,本设计采用OP07集成运算放大器构成同相比例放大电路,以提高电路的输入阻抗,以达到设计要求。 3.双积分式A/D转换器的设计

压力变送器的工作原理

压力变送器的工作原理 压力变送器的工作原理 压力变送器主要由测压元件传感器(也称作压力传感器)、放大电路和支持结构件三类组成。它能将测压元件传感器测量到的气体、液体等物理压力参数变化转换成电信号(如4~20mA等),以提供指示报警仪、记载仪、调理器等二次仪表进行显示、指示和调整。 压力变送器用于测量液体、气体或蒸汽的液位、密度和压力,然后转换为成4~20mA 信号输出。 压差变送器也称差压变送器,主要由测压元件传感器、模块电路、显示表头、表壳和过程连接件等组成。它能将接收的气体、液体等压力差信号转变成标准的电流电压信号,以供给指示报警仪、记录仪、调节器等二次仪表进行测量、指示和过程调节。 差压变送器根据测压范围可分成一般压力变送器(0.001MPa~20MPA)和微差压变送器(0~30kPa)两种。 差压变送器的测量原理是:流程压力和参考压力分别作用于集成硅压力敏感元件的两端,其差压使硅片变形(位移很小,仅μm级),以使硅片上用半导体技术制成的全动态惠斯登电桥在外部电流源驱动下输出正比于压力的mV级电压信号。由于硅材料的强性极佳,所以输出信号的线性度及变差指标均很高。工作时,压力变送器将被测物理量转换成mV级的 电压信号,并送往放大倍数很高而又可以互相抵消温度漂移的差动式放大器。放大后的信号经电压电流转换变换成相应的电流信号,再经过非线性校正,最后产生与输入压力成线性对应关系的标准电流电压信号。 压力传感器工作原理 压力传感器是工业实践中最为常用的一种传感器,其广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、智能建筑、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业,下面就简单介绍一些常用传感器原理及其应用 1 、应变片压力传感器原理与应用 力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式

压力传感器工作原理

电阻应变式压力传感器工作原理细解 2011-10-14 15:37元器件交易网 字号: 中心议题: 电阻应变式压力传感器工作原理 微压力传感器接口电路设计 微压力传感器接口系统的软件设计 微压力传感器接口电路测试与结果分析 解决方案: 电桥放大电路设计 AD7715接口电路设计 单片机接口电路设计 本文采用惠斯通电桥滤出微压力传感器输出的模拟变量,然后用INA118放大器将此信号放大,用7715A/D 进行模数转换,将转换完成的数字量经单片机处理,最后由LCD 将其显示,采用LM334 做的精密5 V 恒流源为电桥电路供电,完成了微压力传感器接口电路设计,既能保证检测的实时性,也能提高测量精度。 微压力传感器信号是控制器的前端,它在测试或控制系统中处于首位,对微压力传感器获取的信号能否进行准确地提取、处理是衡量一个系统可靠性的关键因素。后续接口电路主要指信号调节和转换电路,即能把传感元件输出的电信号转换为便于显示、记录、处理和控制的有用电信号的电路。由于用集成电路工艺制造出的压力传感器往往存在:零点输出和零点温漂,灵敏度温漂,输出信号非线性,输出信号幅值低或不标准化等问题。本文的研究工作,主要集中在以下几个方面:

(1)介绍微压力传感器接口电路总体方案设计、系统的组成和工作原理。 (2)系统的硬件设计,介绍主要硬件的选型及接口电路,包括A/D 转换电路、单片机接口电路、1602显示电路。 (3)对系统采用的软件设计进行研究,并简要阐述主要流程图,包括主程序、A/D 转换程序、1602显示程序。 1 电阻应变式压力传感器工作原理 电阻应变式压力传感器是由电阻应变片组成的测量电路和弹性敏感元件组合起来的传感器。当弹性敏感元件受到压力作用时,将产生应变,粘贴在表面的电阻应变片也会产生应变,表现为电阻值的变化。这样弹性体的变形转化为电阻应变片阻值的变化。把4 个电阻应变片按照桥路方式连接,两输入端施加一定的电压值,两输出端输出的共模电压随着桥路上电阻阻值的变化增加或者减小。一般这种变化的对应关系具有近似线性的关系。找到压力变化和输出共模电压变化的对应关系,就可以通过测量共模电压得到压力值。 当有压力时各桥臂的电阻状态都将改变,电桥的电压输出会有变化。 式中:Uo 为输出电压,Ui 为输入电压。 当输入电压一定且ΔRi <

PTP503压力传感器使用说明书

油压传感器,油压压力变送器,河南压力传感器 正负压压力变送器,恒压供水压力传感器,投入式液位变送器,防雷击液位变送器,锅炉压力传感器,微差压变送器,超高温压力传感器,超高压压力传感器,平膜压力传感器,防腐蚀压力变送器,通风管道压力变送器,高温微压变送器,空压机压力变送器,空调风压变送器,PY500智能数字压力控制仪表,动静态汽车称重设备,称重测力传感器 PTP503压力传感器/变送器采用全不锈钢封焊结构,具有良好的防潮能力及优异的介质兼容性。广泛用于工业设备、水利、化工、医疗、电力、空调、金刚石压机、冶金、车辆制动、楼宇供水等压力测量与控制。 量程:0~1~150(MPa) 综合精度:0.2%FS、0.5%FS、1.0%FS 输出信号:4~20mA(二线制)、0~5V、1~5V、0~10V(三线制) 供电电压:24DCV(9~36DCV) 介质温度:-20~85~150℃ 环境温度:常温(-20~85℃) 负载电阻:电流输出型:最大800Ω;电压输出型:大于50KΩ 绝缘电阻:大于2000MΩ(100VDC 密封等级:IP65 长期稳定性能:0.1%FS/年 振动影响:在机械振动频率20Hz~1000Hz内,输出变化小于0.1%FS 电气接口(信号接口):四芯屏蔽线、四芯航空接插件、紧线螺母 机械连接(螺纹接口):1/2-20UNF、M14×1.5、M20×1.5、M22×1.5等,其它螺纹可依据客户要求设计

产品名称:PY602压力温度仪表 规格: 产品备注:数显压力温度控制仪表|智能压力温度表|佛山市博润测控仪表有限公司 产品说明 PY602数显压力-温度控制仪表 产品特点及结构: 具有整机体积小、重量轻、耗电省、功能齐全、工作可靠、使用方便灵活,配用我公司PT100-系列高温熔体压力传感器或常温压力传感器,作为高精度压力测量与控制,可广泛地使用于液压、石油、塑料、橡胶、印染、纺织等行业的压力显示和自动化控制场合,还可与其他厂家的电阻应变式压力传感器配套使用;可以设定上下限值报警,具有发光管报警指示、继电器触点输出控制外部执行机构;具有高精度的电压输出模块、电流输出模块、继电器输出控制模块以及通讯模块供用户选择 主要技术参数: 显示器:双层四位高亮度绿色和红色发光数码管 显示分辨率:0001 显示数值范围:-001~-999~0001~9999Mpa(小数点可变),温度:000.1-400.0 仪表精度:0.25%FS±1位 压力输入信号:2mV/V、3.3mV/V、4-20mA、0-5VDC、0-10DC(定货时说明) 温度输入信号:J、K、E型热电偶 采样速度:20次/秒 输出控制:与满量程信号成线性的电压或电流输出;RS232;RS485 报警范围:-001~-999~0001~9999Mpa(小数点可变) 效准指示:显示传感器满量程80%值(传感器应空载),效准指示(CAE)亮 使用温度及湿度:0-55℃,≤80%RH 电源要求:85-265VAC50Hz-60Hz 外型尺寸:96×96×100mm 开孔尺寸:92×92mm

压电式压力传感器原理

压电式压力传感器原理、特点及应用 压电式压力传感器的原理 压电式压力传感器的原理主要是压电效应,它是利用电气元件和其他机械把待测的压力转换成为电量,再进行相关测量工作的测量精密仪器,比如很多压力变送器和压力传感器。压电传感器不可以应用在静态的测量当中,原因是受到外力作用后的电荷,当回路有无限大 的输入抗阻的时候,才可以得以保存下来。但是实际上并不是这样的。因此压电传感器只可以应用在动态的测量当中。它主要的压电材料是:磷酸二氢胺、酒石酸钾钠和石英。而石英呢,其实是一种天然的晶体,而压电效应就是在此晶体的基础上发现的。在规定的范围里, 压电性质是不会消失,而是一直存在的。但是如果温度在这个规定的范围之外,压电性质就会彻底地消失不见。当应力发生变化的时候,电场的变化很小很小,其他的一些压电晶体就会替代石英。酒石酸钾钠,它是具有很大的压电系数和压电灵敏度的,但是,它只可以使用在室内的湿度 和温度都比较低的地方。磷酸二氢胺是一种人造晶体,它可以在很高的湿度和很高的温度的环境中使用,所以,它的应用是非常广泛的。随着技术的发展,压电效应也已经在多晶体上得到应用了。例如:压电陶瓷,铌镁酸压电陶瓷、铌酸盐系压电陶瓷和钛酸钡压电陶瓷等等都包括在内。

压电式压力传感器的特点 以压电效应为工作原理的传感器,是机电转换式和自发电式传感器。它的敏感元件是压电的材料制作而成的,而当压电材料受到外力作用的时候,它的表面会形成电荷,电荷会通过电荷放大器、测量电路的放大以及变换阻抗以后,就会被转换成为与所受到的外力成正比关系的电量输出。 它是用来测量力以及可以转换成为力的非电物理量,例如:加速度和压力。它有很多优点:重量较轻、工作可靠、结构很简单、信噪比很高、灵敏度很高以及信频宽等等。但是它也存在着某些缺点:有部分电压材料忌潮湿,因此需要采取一系列的防潮措施,而输出电流的响应又比较差, 那就要使用电荷放大器或者高输入阻抗电路来弥补这个缺点,让仪器更好地工作。 压电式压力传感器的应用 压电式压力传感器的应用领域很广泛:电声学、生物医学和工程力学等等。它能够测量发动机里面的燃烧压力,也能够应用在军事方面。它可以测量在膛中的枪炮子弹在击发的那一刻,膛压的改变量以及炮口所受到的冲击波压力。它能够测量很小的压力,也能够测量大 的压力。由于它的使用寿命很长、重量较轻、体积较小、结构较简单,因此它所涉及的领域远远不止这些。在对建筑物、桥、汽车和飞机等的冲击和震动的测量,也是非常广泛的。特别是在宇航和航空的领域

压力传感器及其应用电路

压力传感器及其应用电路 摘要:目前在工业生产中用得最广的压力传感器是硅压阻式压力传感器,它通过感触压力的 变化来改变其中的应变元件的电阻,从而输出相应的电压变化,实现将压力参数转变 成电信号参数。本文探讨了MPX2000系列压力传感器的应用电路以及MC33079型号运 算放大器在其中的应用的相关知识。 关键词:压力传感器;MPX2000;MC33079 引言 在工业测量中,压力的测量极为广泛,利用压力测量可以直接或间接测得很多物理参数,例如大型储液罐的液位、储气罐的压力、海洋的水深、山的高度,医疗方面可以测量血压、呼吸压等,航空方面测量飞机的飞行高度、飞行速度、升降速度以及气体管道流量等。但目前在实际中用得最多的是由膜片、波纹管、弹簧管和机械式传动、放大机构组成的指针式压力表。它的优点是结构简单、生产成本低,但测量精度低,如果要对压力参数进行遥测、记录或集中观察(监控)、自动调节或控制,则需要用到压力传感器,通过压力传感器将压力参数变成电信号输出。 一、硅压阻式压力传感器 压阻式压力传感器是利用单晶硅的压阻效应制成的器件,也就是在单晶硅的基片或硅杯上用扩散工艺、离子注入工艺或溅射工艺制成一定形状的应变元件,当压力传感器受到压力时,传感器中的应变元件的电阻 发生变化,从而输出相应的电压变化。很多压阻式压力传感器 是在硅膜片上制作四个等值电阻的应变元件,形成电桥。当受 到压力作用时,一对桥臂电阻变大△R ,而另一对桥臂电阻变小△R ,电桥失去平衡,这时便有一个与压力成正比的电压u o 输出,其工作原理如图(a)所示。 二、压力传感器的应用电路 典型的压力传感器应用电路如图(b)所示。它是一种适合于MPX2000系列的通用放大电路。MPX2000系列压力传感器是一种 带有温度补偿的压阻式压力传感器,其内部有温度补偿电阻网 络,并经激光校准,如图(c)所示。经过激光校准后,传感器的零输出、满量程输出及输出一致性、温度补偿特性等都达到较 好的性能指标。它的基本性能指标是:零位输出小于±1mV ,满 量程输出40mV ±1.5mV ,在0~+85℃范围内有较好的温度补偿效果;线性度可达±0.1%FS ~±0.25%FS ;工作温度范围为-40℃~+125℃,允许过载为400%(MPX2100)、200%(MPX2050)。(MPX2100与MPX2050的主要参数与极限参数详见附录一和附录二) 另外,在压力传感器的应用电路中,大多都采用仪用放大器电路结构。这是由于仪用放大器电路具有高输入阻抗的特点(传感信号两端均由同相端输入),两运放A1、A2的特性相同时,就可以很好地减小温漂,增强抗共模干扰的能力,且当改变增益时对放大器特性无影响。这种放大电路能测量小信号并具有较高的精度。 三、应用电路的分析 典型的压力传感器应用电路中,A 1、A 2构成同相比例运算电路,它们的同相端连接硅压阻式传感器的输出端,A 3组成一个差分比例运算电路,它将双端输入信号变为单端输出的输 R+△R R-△R R-△R R+△R u 0 I 0(a)

数字压力传感器使用手册

CY200数字压力传感器 使用手册 成都泰斯特电子信息有限公司 2014年4月

目录 1.CY200数字压力传感器简介 ................................................. - 1 - 2.CY200结构及附件 (2) 2.1. CY200结构及尺寸 (2) 2.2. 485-USB转换器 (2) 2.3. Pin5-Pin5连接线 (3) 2.4. 485-20集线器 (3) 3.CY200的连接方式 (3) 4.压力测试软件 (5) 4.1. 网络设置 (5) 4.2. 网线定义 (6) 4.3. 驱动的安装 (6) 4.4. 插件程序安装 (9) 4.5. Smart Sensor4.10 应用程序安装 (11) 5.Smart Sensor使用说明 (14) 5.1. 传感器连接 (14) 5.2. 采集参数设置 (16) 5.3. 传感器参数设置 (16) 5.4. 观察曲线分析 (17) 6.常用快捷功能键 (18) 7.数据查看、保存及回放 (26) 7.1. 观察传感器即时值 (26) 7.2. 数据保存及其他 (26) 8.附录_Smart Sensor压力测试系统 (29) 8.1. 附录1 二进制数据.stst文件格式 (29) 8.2. 附录2 文本文件格式 (30)

1.CY200数字压力传感器简介 CY200系列智能数字压力传感器用目前国际最新的SOC(单片机系统)芯片,结合MEMS加工的压阻硅晶体为敏感器件,充分利用微处理器的处理和存储能力,实现对敏感部件拾取的压力信号进行滤波、放大、A/D转换、校正等功能,直接输出可显示存储的数字信号。 CY200系列智能数字压力传感器融合了高精密度、高稳定度参考源技术、信号采集处理、通讯、总线等一系列的高新技术,为成都泰斯特公司又一自主研制成功的的高技术含量产品。 ●数字化:数字量输出,无需其它数据采集设备,直接在计算机上读出压力值; ●智能化:内置电子表单,设备编号、量程、校正参数自动加载; ●高精度:24位A/D转换器; ●便捷:485总线,长线传输,USB即插即用,同时拥有; ●网络化:自动寻址,TCP/IP协议组成网络化压力测试系统; ●使用灵活:单只、多只、远距离传输、分布式网络等都有解决方案; ●支持专用:通讯协议开放,自有技术,支持专用开发。 CY200智能数字压力传感器系列下,有细分型号,如CY201、CY205,未特别标明处,本说明书均适用。

压力传感器的工作原理

压力传感器的工作原理 您需要登录后才可以回帖登录|注册发布 压力传感器是工业实践、仪器仪表控制中最为常用的一种传感器,并广泛应用于各种工业自控环境,涉及水利水电、铁路交通、生产自控、航空航天、军工、石化、油井、电力、船舶、机床、管道等众多行业。 力学传感器的种类繁多,如电阻应变片压力传感器、半导体应变片压力传感器、压阻式压力传感器、电感式压力传感器、电容式压力传感器、谐振式压力传感器及电容式加速度传感器等。但应用最为广泛的是压阻式压力传感器,它具有极低的价格和较高的精度以及较好的线性特性。下面我们主要介绍这类传感器。 压阻式压力传感器原理与应用: 压阻式压力传感器是利用单晶硅材料的压阻效应和集成电路技术制成的传感器。压阻式传感器常用于压力、拉力、压力差和可以转变为力的变化的其他物理量(如液位、加速度、重量、应变、流量、真空度)的测量和控制。 压阻效应 当力作用于硅晶体时,晶体的晶格产生变形,使载流子从一个能谷向另一个能谷散射,引起载流子的迁移率发生变化,扰动了载流子纵向和横向的平均量,从而使硅的电阻率发生变化。这种变化随晶体的取向不同而异,因此硅的压阻效应与晶体的取向有关。硅的压阻效应不同于金属应变计,前者电阻随压力的变化主要取决于电阻率的变

化,后者电阻的变化则主要取决于几何尺寸的变化(应变),而且前者的灵敏度比后者大50~100倍。 压阻式压力传感器结构 压阻式压力传感器采用集成工艺将电阻条集成在单晶硅膜片上,制成硅压阻芯片,并将此芯片的周边固定封装于外壳之内,引出电极 引线。压阻式压力传感器又称为固态压力传感器,它不同于粘贴式应变计需通过弹性敏感元件间接感受外力,而是直接通过硅膜片感受被测压力的。硅膜片的一面是与被测压力连通的高压腔,另一面是与大气连通的低压腔。硅膜片一般设计成周边固支的圆形,直径与厚度比约为20~60。在圆形硅膜片(N型)定域扩散4条P杂质电阻条,并接 成全桥,其中两条位于压应力区,另两条处于拉应力区,相对于膜片中心对称。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上扩散制作电阻条?,两条受拉应力的电阻条与另两条受压应力的电阻条构 成全桥。 电子血压计中压力传感器的原理应用及常见故障 压力传感器是工业生应用中最为常见的一种传感器,其广泛应 用于各种工业自控环境,在医用中常见于电子血压计,下面,便来为您简单介绍一些压力传感器原理应用及常见故障。 电子血压计压力传感器的工作原理及应用 压力传感器一般有电容式的和压阻式的。电容式的利用两片金 属间的电容变化来对应压力值,压阻式利用电阻值变化来对应压力值。 电子血压计压力传感器的常见问题

(完整版)四种压力传感器的基本工作原理及特点

四种压力传感器的基本工作原理及特点 一:电阻应变式传感器 1 1电阻应变式传感器定义 被测的动态压力作用在弹性敏感元件上,使它产生变形,在其变形的部位粘贴有电阻应变片,电阻应变片感受动态压力的变化,按这种原理设计的传感器称为电阻应变式压力传感器。 1.2 电阻应变式传感器的工作原理 电阻应变式传感器所粘贴的金属电阻应变片主要有丝式应变片与箔式应变片。 箔式应变片是以厚度为0.002——0.008mm 的金属箔片作为敏感栅材料,,箔栅宽度为0.003——0.008mm 。丝式应变片是由一根具有高电阻系数的电阻丝(直径0.015--0.05mm),平行地排成栅形(一般2——40条),电阻值60——200 ?,通常为120 ?,牢贴在薄纸片上,电阻纸两端焊有引出线,表面覆一层薄纸,即制成了纸基的电阻丝式应变片。测量时,用特制的胶水将金属电阻应变片粘贴于待测的弹性敏感元件表面上,弹性敏感元件随着动态压力而产生变形时,电阻片也跟随变形。如下图所示。B 为栅宽,L 为基长。 材料的电阻变化率由下式决定: d d d R A R A ρρ=+ (1) 式中; R —材料电阻

由材料力学知识得; [(12)(12)]dR R C K μμεε=++-= (2) K —金属电阻应变片的敏感度系数 式中K 对于确定购金属材料在一定的范围内为一常数,将微分dR 、dL 改写成增量ΔR 、ΔL,可得 R L K K R L ε??== (3) 由式(2)可知,当弹性敏感元件受到动态压力作用后随之产生相应的变形ε,而形应变值可由丝式应变片或箔式应变片测出,从而得到了ΔR 的变化,也就得到了动态压力的变化,基于这种应变效应的原理实现了动态压力的测量。 1.3电阻应变式传感器的分类及特点 测低压用的膜片式压力传感器 常用的电阻应变式压力传感器包括 测中压用的膜片——应变筒式压力传感器 测高压用的应变筒式压力传感器 1.3.1膜片——应变筒式压力传感器的特点 该传感器的特点是具有较高的强度和抗冲击稳定性,具有优良的静态特性、动态特性和较高的自震频率,可达30khz 以上,测量的上限压力可达到9.6mp a 。适于测量高频脉动压力,又加上强制水冷却。也适于高温下的动态压力测量,如火箭发动机的压力测量,内燃机、压气机等的压力测量。 1.3.2 膜片式应变压力传咸器的特点 A 这种膜片式应变压力传感器不宜测量较大的压力,当变形大时,非线性较大。但小压力测量中由于变形很小,非线性误差可小于0.5%,同时又有较高的灵敏度,因此在冲击波的测量中,国内外都用过这种膜片式压力传感器。 B 这种传感器与膜片—应变筒式压力传感器相比,自振频率较低,因此在低ρ—材料电阻率

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