数显自准直仪 自准直仪

数显自准直仪 自准直仪
数显自准直仪 自准直仪

数显自准直仪自准直仪

型号BY.12-99 图片

简介一、用途

99数显自准直仪是一种高精度测量仪器,该仪器主要用于小角度的精密测量,如多面棱体的检定、多齿分度台的检定,也可测量高精度导轨等精密零件的直线性、平行性、垂直性及相对位置,在精密测量和仪器检定中还可用于非接触式定位。该仪器具有安装、使用方便等特点,是精密机械、精密测量、仪器制造及相关科研、计量部门必不可少的检测仪器。仪器外形如见图:

1.目镜

2.光电头

3.光源调节盖

4.灯座

5.光管座

6. 基座调节钉

7.顶紧螺钉

8.物镜

9.反射镜 10.调零旋钮 11.功能键 12.测试指示灯 13.测量指示灯v

二.技术规格

99数显自准直仪有两只规格,即99型和99Ⅱ型,具体见下表:

型号99型99II型

精度等级1级2级2级

测量精度(")±0.1/±10内±0.2/±10内±1/±70内

测量范围(")±10±70

显示范围(")±19.99±79.9

物镜焦距(mm)860300

通光口径(mm)Φ48

视场(′)2080

有效分辨力(")0.10.1

最小显示读数(")0.010.1

瞄准重复性(")0.10.2

外型尺寸准直仪(mm)420×150×170300×150×170电箱(Kg)320×280×120320×280×120

重量

准直仪(mm) 4.53电箱(Kg)33电源220V, 50Hz交流电

功耗< 25瓦

三、工作原理

(一)光机部分

99型数显自准直仪运用自准直法为基本原理,通过光电瞄准对被测件的角位移进行精密测量。其光学系统如图v

1.光源

2.毛玻璃

3.聚光镜

4.十字分划板

5.立方棱镜

6.物镜组

7.反射镜

8.立方棱镜

9.刻度分化板 10.目镜组 11.振动狭缝 12 振子 13聚光镜 14光敏电阻

当光源透过位于物镜焦平面上的十字线,并通过物镜后,成一束与光轴平行的平行光射向平面反射镜。当反射镜垂直于光轴时,光线仍按原路返回,经物镜后仍成象在原十字线象上,与原目标重合。当反射镜位置与光轴产生倾斜,则反射回来的十字线象就产生相应一个位移量Δs,由Δs可得出反射镜的倾斜量Δα。按反射定律和几何光学原理,光线经反射镜后其偏转是反射镜倾斜角的2倍(如图所示)

(二)电路原理

电路原理如图四所示:

电路系统主要由振荡器、主放大器、相敏检波器、单片机电路、实验电路等部分组成。

振荡器产生38HZ信号,这是仪器的工作信号,它提供振子的振荡信号,相敏检波器的参考信号及实验电路的输入信号。

主放大器对原始测量信号进行放大及滤波,其放大倍数可变,并根据输入信号的大小自动控制。

检波电路实现对包含在测量信号中角度信号的提取,并送A/D转换。

单片机电路完成对测量信号的最终处理及显示,并可实现对主放大器放大倍数的自动控制。其RS232接口可输出测量结果。

实验电路可产生与被测工件的偏转相当的信号,使电表显示正、负及零三种信号,相似于被测件的偏左、偏右及对中三种情况。利用这个信号可以方便地检查校对仪器,使整个电路在没有光电信号的情况下能正常工作。

四、使用说明

1、在使用前首先布置好光管与被测件上反射镜的相对位置,将光管的物镜中心基本上对准反射镜中心,光管与反射镜安置必须稳定,并要求光管与被测件放在同一基座上。

2、将光管上六芯插头插入电箱相应的插座,再将电箱接上电源线,然后打开电箱后面的电源开关,即可进行仪器初调。

3、上下移动光管(有条件者可借助找像器在视场内及时找到反射像),在目镜视场中找到反射十字像,用肉眼观察视场内亮度照明是否均匀,如发现有明显的明暗现象,则应调正发光二极管位置。一手持调节盖,一手左旋灯座,可旋松光源调节盖(见图1-3),前后适当移动灯头,见视场亮度最大且比较均匀后旋紧光源调节盖并锁紧灯头。请操作者注意视场亮度的强弱将直接影响光敏电阻接受能量的强弱,直接影响仪器灵敏度。当反射镜镜面面积缩小时,就会出现仪器示值不稳定甚至不显示,故光源位置的调整是仪器使用中的重要环节,要求视场越亮越好。如发现灯头仍松动,则表示与光电头相联的制紧螺母已松开,此时应将整个锁紧灯头拧紧,而后再松开调节盖重新调整灯头位置并固紧。(注意:测量中必须固紧灯头)。

4、对无经验的计量人员,视场亮度的调整也可借助于功能键进行。先将开关关掉,并按住面板上的功能键,再开电源开关即进入“光管功能”调整监视功能,数字表将显示表示光管相对“光学光能”的0——1024的数值,同时各指示灯以“流水式”循环亮暗作本特殊状态指示。此时重复上面方法,前后左右调整灯头位置和旋转灯头360°中至数显值最大时为(光能最强的)最佳位置后锁紧固定。按经验一般仪器在大反射镜(反射镜镜面直径大于光管通光口径)上调整时的“光学光能”数值应在500以上。

5、实际检测中应首先调整光管位置使物镜射出来的光束初瞄被测件的反射镜面上,进而调整

被测件上的反射镜反回去的光对准自准直光管的物镜。最后通过目镜观察使十字象调至刻度分划板十字线的中间处并大致重合时,电箱即有数值显示。并请操作者注意在每次精密测试前必须考虑反射镜面与光轴垂直,否则有可能产生较大测量误差。最简单的调整方法是:当调整完十字反射像与刻度分划板像重合后,水平方向左右稍转动反射镜(或光管部分),如果十字反射像的水平线沿读数分划板水平线移动,则表示反射镜镜面与光轴垂直,反之不垂直。其后简便的方法是松开光管顶紧螺钉左右微转镜筒,使上下已偏位的十字反射像水平线与读数分划板水平线相重合,然后重复水平方向左右转动反射镜,直至两水平线重合移动位置,并锁紧镜筒,当再调整两个像重合后,仪器即可进入正式工作。当数显表出现“----”时,则表示反射像已移出工作范围或无反射像而停止工作。

6、按功能键,具有一般测量、平均值测量、测试(+)、测试(0)、测试(-)共五个功能。其中绿灯亮表示一般正常测量按功能键,具有一般测量、平均值测量、测试(+)、测试(0)、测试(-)共五个功能。其中绿灯亮表示一般正常测量值,接着按功能键,测量绿灯自动闪烁,表示平均测量值(3秒内8次采样去掉最大和最小值后的平均测量值)。三个测试功能(红灯亮)表示内信号的工作稳定性和左右对称情况。一般出厂时内信号已调至正、负对称、零位基本是零,如有一定偏差也不影响测量状态。

7、调零旋钮,在某些测量工作状态时,为便于使用者读数、计算、调整等方便,在零位附近可以微调至零。平时使用者可将旋钮调至中间为合适。一般调节旋钮在(0)测试键工作时读数为零的旋钮位置是表的真实零位。

8、为了保证仪器工作的可靠性,在仪器正式使用前,先将仪器预热半小时,然后即可进行正式测量。对于不稳定的电源系统,在仪器输入电源前应加一交流稳压器供电为妥。

9、99Ⅱ型数显自准直仪因物镜焦距较短,故当工作距离>200mm时视场将会相应减小。。

10、图一为仪器检测水平方向直线性和水平角的示意图,对于垂直方向上的直线性和角值的测量可按图1安装位置,光管旋转90°即可。

11、如有需要将光管从基座拉出时,只要松开顶紧螺钉(图1-7)即可。

五、维护与保养

1、光管的基座和反射镜的基座保持清洁,用毕后应擦净并涂防锈油。

2、光学零件不能接触油垢,一般不要随意擦洗,特别是反射镜表面严禁手摸。应用吹气球吹去灰尘或用毛笔轻轻拭去表面灰尘,然后用洁净的脱脂棉沾少许无水乙醇轻轻擦拭。

3、仪器再在搬运和使用中应小心防止碰撞,在使用中避免振动。

4、在光电瞄准时如发现视场内光线暗淡仪器灵敏度明显下降时,应更换发光二极管。

5、光管及其电箱在出厂前是经过精密调正和检定过的,一

般情况下不要随意拆装,应由专业检修人员进行检修。对于修理

后的自准直仪应重新进行检定调正,合格后才能继续使用。

六、仪器成套性

光管 1套

自准器光管管架 1台

底脚 3只

数显电箱 1个

大反射镜 1个

LED发光二极管 1只

0.5A保险丝 2只

产品合格证 1份

产品说明书 1份

七、仪器选购附件(另订)

微机与软件(自选)

泰山青花岗岩工作台(自选)

找象器

直角五棱镜(25×25、40×40)两种自选金属多面棱体(自选)

棱体心轴

标准光学角规(±10")

多齿分度台(自选)

激光准直仪操作规程(内容清晰)

激光准直仪操作规程 激光准直测量系统由半导体激光器、光学分光及转向系统、光电接收系统及液晶显示模块组成。激光光束经转向系统后出射两条相互平行的基准光束,作为导轨的安装检测基准。该系统利用二维PSD作为光电接收器件,采用液晶显示模块显示导轨偏差,可快速、直接、准确地测量导轨安装的偏移量,从而提高导轨安装的精度和速度。实验结果显示测量系统在X,Y方向上的标准偏差分别为: 0.002mm,0.005mm。 1、主要参数 序号项目单位指标 1 工作范围m 2-50 2 激光光轴与主机机械轴的同轴 度 mm ±0.05+0.002L 3 激光光轴漂移量mm/h 0.005 4 激光波长nm 635 5 电源电压V 3 6 系统准备时间min 15 7 环境温度℃5-40 8 环境湿度% ≤90 2、主机由半导体激光器、空间位相调制器、壳体、底座、和电源所组成。 3、激光准直仪的特点与工作原理 1)仪器的特点是采用了空间位相调制器。激光束在任意测距上,其横截面均为一组良好的、红黑反差很大的同心圆环,中心光斑亮且小,利于定位。而且在不同测距进行测量时是不用调焦的,实现了无调焦运行差。 中心光斑直径随着工作距离的增大而增大,符合下列参数: L=2.5米时?0.1mm L=20米时?1.2mm L=50米时?2.5mm 2)将仪器固定在主机的回转轴上后用百分表测量仪器端部的测环在盘车处于不同位置时的差值,通过调整仪器底座上的调整螺钉,使其差值越来越小,只要主机轴系配合良好,可以调至±0.02~0.03mm。然后利用置于远离主机15米左右的平面反射镜,将仪器射出的激光束反射至位于仪器附近的测微光靶。在主机盘车时调整仪器壳体上的四只调整螺钉,(必要时适当调整反射镜的角度),使反射回来的激光束画的圆的半径越来越小,最后调至±0.1mm以内为止,此时应再次检查盘车360°时,百分表所显示波动值的范围和测微光靶的测量差值,准确无误时即可用此光轴代替主机的机械轴。

第3章第2节平板玻璃平行差测量

§3-2平板玻璃平行差测量 光学系统分两大类 (1)共轴球面系统coaxial spherical system A、球面 B、非球面 (2)平面镜棱镜系统plane mirror—prism system 平面反射镜、平行玻璃板、光楔、棱镜:反射棱镜、折射棱镜 §3-2-1平行玻璃板平行差测量(光楔的楔角测量)measurement of different of plane parallel 平行玻璃板主要做:保护玻璃滤光片、分划板等 平行差θ主要由色散给定,有时也考虑光轴偏(如航测相机的保护玻璃和滤光片) δˊC F=(n F-n C) θ δˊ=(n-1) θ 事先将工作台反射面自准 1)测量原理 (1)当平行玻璃板口径小于测角仪物镜口径时,径工作台上平面反射镜自准,成象在视场中心光线I经平板玻璃上表面反射,方向如光线II,I、II间夹角为2θ。 光线I经平板玻璃上表面折射后,又由下表面反射,最后经上表面折射,方向为III。

I i n i n ''=sin sin ’ 当I 很小时i n ni ''= θ=1i n n i i θ =='∴1 由图知θθθn n n i i i 1 112-= -='-= θn n i i 1 22-= =' θθθθθn n n n i i i 1 21)90(9022003-=-+='+=+'--= θ)12(33-=='n ni i 取n=1.5则 Ⅰ、Ⅱ间夹角θ?21= Ⅰ、Ⅲ间夹角θθ?≈-=)22(2n Ⅱ、Ⅲ间夹角θθ???32210≈=+=n

n 2? θ= 讨论当第一面垂直于光轴时 011='=i i θ='=2 2i i θθ22 3=+'=i i θn ni i 233 ==' n 2? θ= 2) 被测件口径大于测角仪望远镜口径,只能看到II 、III 象。 2、测量装置和测量方法 1) 装置 比较测角仪:自准直望远镜加测量机构

安立频谱仪使用说明

安立频谱仪介绍

安立频谱仪使用章程 频谱分析仪的正面图如下: 下面介绍这些按键的功能: 第三章按键功能 硬键 硬键是指在面板上用黑色和蓝色标注的按键,他们有着特殊的功能。功能硬键有四种,他们位于下端,而右端则有17个硬键,这17个硬键中有12个硬键有着双重的功能,这就要看当前所使用的模式而决定它们的功能了。 功能硬键 模式 按一下“MODE(模式)”键,然后用“UP/DOWN(上下)”键来选 择所要操作的模式,然后再按“ENTER(回车)”键来确认所选的模 式。 FREQ/SPAN (频率/频宽)

按一下“FREQ/SPAN(频率/频宽)”键后便会出现“CENTER(中心)、 FREQUENCY(频率)、SPAN(频宽)、START(开始频率)和STOP(截 至频率)的选项。我们可以通过相应的软键来选择相应的功能。AMPLITUDE (幅度) 按一下“AMPLITUDE(幅度)”键后便会出现“REFLEVEL(参考电平)、 SCALE(刻度)、ATTEN(衰减)、REF LEVEL OFFSET(参考电平偏移)、 和UNITS(单位)”选项,我们可以通过相应的软键来选择相应的功能。BW/SWEEP (带宽/扫描) 按一下“BW/SWEEP(带宽/扫描)”键后便会出现“RBW、VBW、 MAXHOLD(保持最大值)、A VERAGE(平均值)和DETECTION(检 测)”选项,我们可以通过相应的软键来选择相应的功能。KEYPAD HARD KEYS (面板上的硬键) 下面的这些按键是用黑色字体标注的 0~9 是当需要进行测量或修改数据时用来输入数据的。 +/- 这个键可以使被操作的数值的符号发生变化即正负变化。 . 入小数点。 ESCAPE CLEAR 这个键的功能是退出当前操作或清楚显示。如果您在进行参数修改时 按一下这个键,则该参数值只保存最后一次操作的有效值,如果再按 一次该键则关闭该参数的设置窗口。再正常的前向移动(就是进入下 层目录)中,按一下这个键则返回上层目录。如果在开该仪器的时候 一直按下该键则仪器将恢复出厂时的设置。 UP/DOWN ARROWS

局部放电测试仪校准装置

JFD-401 局放仪校验装置使用说明书 一、概述 按照DL/T846.4-2004《局部放电测量仪》、GB7354-2003《局部放电测量》、JJG(机械)145 -93《局部放电检测装置》检定规程的要求,检定局放仪需用仪器有:示波器、正弦信号发生器、脉冲发生器、双脉冲发生器、频率计、电压表、电流表、电容电桥、兆欧表等。上述仪器中除脉冲发生器、双脉冲发生器外,均为常规测试仪器。而脉冲发生器要求电压覆盖范围宽,脉冲波形满足特殊规定要求;双脉冲发生器需输出脉冲时延可调的双脉冲,固均需专门研制。本校准系统的核心即为一台高性能的校准脉冲发生器和一台双脉冲发生器,校准脉冲发生器可以满足局放仪视在放电量测量线性度误差、正负脉冲响应不对称误差、开关换档误差、检测灵敏度等主要检定项目检定的要求;双脉冲发生器可以满足局放仪低重复率脉冲响应误差、脉冲分辨时间测量、脉冲频率测量、数字式局放仪等检定项目检定的要求。另配的校准回路箱提供屏蔽的校准回路,使检定时干扰水平大大降低,保证检定的顺利进行以及检定的测量精度。 二、原理和结构 JFD-401 校准系统分为四大部分:JFD-401C校准脉冲发生器、JFD-401J 积分系统、JFD-401S双脉冲发生器和JFD-401H校准回路箱。校准脉冲发生器可输出幅值大范围可调、波形符合要求的校准脉冲。双脉冲发生器可输出脉冲频率可调、两脉冲间隔脉冲时延可调、波形符合要求的校准脉冲并可进行脉冲计数、积分系统用于以积分方式检定局放仪方波发生器。校准回路箱可以调节试品电容及耦合电容,使其满足检测阻抗的调谐范围。上述四部分分别装在独立的金属机箱里,保证屏蔽效果良好。 三、技术参数 JFD-401C 校准脉冲发生器的技术指标如下: 1、校准脉冲上升时间:<60nS 2、校准脉冲电压幅值可调范围:粗调档分0db,-20db,-40db三档;细调档可从1.0V至110V无级调节;实际上可以做到从10mV至100V连续可调。 3、校准脉冲电容档:20pF,50PF,100pF,500pF,1000PF,2000PF 共六档。 4、校准脉冲值允许误差:±1% 5、校准脉冲发生器输出内阻:<100Ω(对应校准电容为100pF) 6、工作定时时间可调:3分钟~∞ 7、具备与工频电源同步的功能,为感应同步方式。 8、正脉冲和负脉冲可分别单独或同时输出。 JFD-401S双脉冲发生器的技术指标如下:

数显自准直仪 自准直仪

数显自准直仪自准直仪 型号BY.12-99 图片 简介一、用途 99数显自准直仪是一种高精度测量仪器,该仪器主要用于小角度的精密测量,如多面棱体的检定、多齿分度台的检定,也可测量高精度导轨等精密零件的直线性、平行性、垂直性及相对位置,在精密测量和仪器检定中还可用于非接触式定位。该仪器具有安装、使用方便等特点,是精密机械、精密测量、仪器制造及相关科研、计量部门必不可少的检测仪器。仪器外形如见图: 1.目镜 2.光电头 3.光源调节盖 4.灯座 5.光管座 6. 基座调节钉 7.顶紧螺钉 8.物镜 9.反射镜 10.调零旋钮 11.功能键 12.测试指示灯 13.测量指示灯v 二.技术规格 99数显自准直仪有两只规格,即99型和99Ⅱ型,具体见下表: 型号99型99II型 精度等级1级2级2级 测量精度(")±0.1/±10内±0.2/±10内±1/±70内 测量范围(")±10±70 显示范围(")±19.99±79.9 物镜焦距(mm)860300 通光口径(mm)Φ48 视场(′)2080 有效分辨力(")0.10.1 最小显示读数(")0.010.1

瞄准重复性(")0.10.2 外型尺寸准直仪(mm)420×150×170300×150×170电箱(Kg)320×280×120320×280×120 重量 准直仪(mm) 4.53电箱(Kg)33电源220V, 50Hz交流电 功耗< 25瓦 三、工作原理 (一)光机部分 99型数显自准直仪运用自准直法为基本原理,通过光电瞄准对被测件的角位移进行精密测量。其光学系统如图v 1.光源 2.毛玻璃 3.聚光镜 4.十字分划板 5.立方棱镜 6.物镜组 7.反射镜 8.立方棱镜 9.刻度分化板 10.目镜组 11.振动狭缝 12 振子 13聚光镜 14光敏电阻 当光源透过位于物镜焦平面上的十字线,并通过物镜后,成一束与光轴平行的平行光射向平面反射镜。当反射镜垂直于光轴时,光线仍按原路返回,经物镜后仍成象在原十字线象上,与原目标重合。当反射镜位置与光轴产生倾斜,则反射回来的十字线象就产生相应一个位移量Δs,由Δs可得出反射镜的倾斜量Δα。按反射定律和几何光学原理,光线经反射镜后其偏转是反射镜倾斜角的2倍(如图所示) (二)电路原理 电路原理如图四所示:

1401精密自准直仪使用说明书

研润企业MC030-1401 双向精密自准直仪使用说明书 上海研润光机科技有限公司

目录 1.概述 (3) 1.1仪器的用途 1.2仪器特点 1.3工作条件 2.技术特性 (3) 2.1技术规格 2.1仪器组成 3.工作原理与结构特征 (4) 3.1仪器的工作原理 3.2仪器的结构特征 3.3附件的组成 3.4个单元结构之间的机电联系 3.5辅助装置的功能结构及其工作原理 4.使用、操作 (13) 4.1使用前的准备和检查 4.2找像与读数 4.3水平面的直线度测量 4.4垂直于水平面的测面的直线度测量 4.5垂直面的直线度和垂直度测量 4.6直线移动导轨运动误差的测量 4.7平面度的测量 4.8圆分度误差的测量 4.9小角度误差测量 5.故障分析与排除 (27) 5.1光学零件发霉 5.2光学零件生雾

5.3附着物 5.4分划线刻线脱色 6.保养、维护 (28) 6.1日常维护、保养 6.2运行时的维护、保养 6.3正常检修周期 7.开箱及检查 (29) 7.1开箱注意事项 7.2开箱检查内容 8.运输、贮存 (29) 8.1吊装运输注意事项 8.2贮存条件,贮存期限及注意事项 9.验收项目、方法及数据 (29)

1.概述 1.1仪器的用途 双向自准直仪是利用自准直法,对小角度范围内的微小角度变化进行测量的精密仪器。 仪器主体和平面反射镜联合使用,可测量工件的直线度,平板的平面度;与光学直角器,带磁反射镜联合使用,可测量垂直导轨的平直度和垂直度;与多面体联合使用,可测量度盘的圆分度误差。 本仪器特别适合与生产现场。 1.2仪器特点 双向自准直仪具有原理、结构简单,体积小,精度高,使用方便,配以一定的附件后,能扩大使用范围的特点。 1.3工作条件 工作室应保持清洁,无尘,无振动,电源为220V 50Hz交流电,室温20°±3℃,其温度变化每小时不超过1℃。 2.技术特性 2.1技术规格 工作距离----------------------------------------------------0-10米 物镜焦距----------------------------------------------------400毫米 物镜口径----------------------------------------------------42毫米 目镜放大倍率------------------------------------------------17.5倍 测微鼓轮分度值(每格相当于) 线度值-----------------------------------------------L/200微米 角度值--------------------------------------------1.03秒≈1秒此处L为反射镜基座有效长度(毫米) 目镜分划板分度值(每格相当于) 线度值----------------------------------------------100×L/200微米 角度值----------------------------------------------100×1.03秒示值范围----------------------------------------------------1600格 示值精度

实验报告-光学测角仪的调整与使用

实验报告 姓名:班级:学号:实验成绩: 同组姓名:实验日期:08.03.03 18:00指导教师:批阅日期: 光学测角仪的调整与使用 【实验目的】 1.了解光学测角仪的主要构造,正确掌握调整光学测角仪的要求和方法; 2.测定三棱镜的顶角,观察三棱镜对汞灯的色散现象; 3.测定玻璃三棱镜对各单色光的折射率 【实验原理】 1.三棱镜顶角的测量 (1)自准法测量三棱镜的顶角 自准法测三棱镜顶角 图2是自准法测量三棱镜顶角的示意图.利用望远镜自身产生平行光,固定平台(或固定望远镜),转动望远镜光轴(或转动小平台),先使棱镜AB面反射的十字像落在分划板上“╪”准线上部的交点上(即望远镜光轴与三棱镜AB 面垂直),记下刻度盘对称游标的方位角读数θ1、θ 2.然后再转动望远镜(或小平台)使AC面反射的十字像与“╪”准线的上交点重合(即望远镜光轴与AC 面垂直),记下读数θ 1′和θ 2′(注意θ 1与θ1′为同一游标上读得的望远镜方位角,而θ 2与θ 2′则为另一游标上读得的方位角),两次读数相减即得顶角α的补角.α = 180°-? ,可以证明

(1) (2)反射法测量三棱镜的顶角 图3为反射法测量三棱镜顶角的示意图.将三棱镜放在载物台上,使平行光管射出的光束投射到棱镜的两个折射面上,从棱镜左面反射的光可将望远镜转至Ⅰ处观察,使用望远镜微调螺丝,使“╪”准线的中心垂直线对准反射狭缝像,从两个游标读出方位角读数?1和?2,再将望远镜转至Ⅱ处观测从棱镜左面反射的狭缝像,又可分别读得方位角读数?1′和?2′.由图3可知,三棱镜的顶角 (2) 反射法测三棱镜顶角 2.由各单色光的最小偏向角求折射率: 通过光的反射定律和折射定律可以求得折射率n (3) 式中i1,i2,δmin分别为某一单色光的入射角、折射角和最小偏向角,α则为三棱镜的顶角.

频谱仪使用手册

在测量心中没有数的信号之前,使检查有没有不可接受的高电压。也推荐开始测量时用最大的衰减量和最宽的扫频范围(1000MHz)。使用者也应该考虑是否不频率范围以外(例如1200MHz)的超高信号幅度可能出现,虽然看不到它。 0Hz—150KHz频率范围内在频谱仪中是没有指标的。若此范围出现显示,则幅度是不准确的。 技术指标 频率范围:0.15—1050MHz 中心频率显示精度:±100KHz 标记精度:±0.1%频宽+100KHz 频率分辨率:100KHz(1.5位LED) 扫频精度:±10% 频率稳定度:优于150KHz/小时 中频带宽(-3dB):400KHz和20KHz 视频滤波器(开):4KHz 扫描频率:43Hz 幅度范围:-100—+13dBm 屏幕幅度显示范围:80dB(10dB/格) 参考电平:-27dBm—+13dBm(500MHz)(每级10dB) 电平精度:±20dB 平均噪声电平:-90dBm(20KHz带宽,典型值-99dBm) 失真:2次3次谐波<-55dBc,3阶交调:-70dBc(二个信号相隔>3MHz) 灵敏度:优于-90dBm 对数刻度真实度:±2dB(不加衰减)500MHz 输入衰减器:0—40dB(4×10dB) 输入衰减精度:±1dB/10dB 输入最大电平:+10dBm±25VDC(衰减0dB)+20dBm(衰减40dB) 扫频宽度:100KHz/格—100MHz/格,1-2-5分档和0Hz/格(0扫描) 跟踪发生器 输出频率:0.15—1050MHz 输出衰减器:0—40dB(4×10dB) 输出衰减精度:±1dB 频率响应:±1.5dB 输出阻抗:50Ω(BNC) 射频干扰(RFI):<20dBc 输出电平:-50—+1dB(10dB步进和可变调节) 操作旋钮 (1)电源:电源开关。 (2)亮度:光点亮暗调节。 (3)聚焦:光点锐度调节。 (4)水平调节:即使有磁性(铍镆合金)屏蔽,地球磁场对水平扫描线的影响仍不可能避免。通过一个内装的电位器可用来调整它,使水平扫描线与水平刻度

HC1000型 高精度双轴光电自准直仪

HC1000型高精度双轴光电自准直仪 产品简介: HC1000型高精度双轴光电自准直仪采用光学自准直原理设计,结合半导体发光元件及线扫描CCD成像技术,通过内部嵌入式处理器进行高速实时信号处理,可同时对大范围二维角度独立进行精密测量;全系列准直仪产品均采用了专利电子目镜技术,去除了传统目镜瞄准结构,找 准直观且方便,配合专用激光找准附件,可进行最长达25 米的测量距离。 本机结合了我公司电子目镜专利技术、高分辨率图像 传感技术和高速嵌入式数字图像处理技术,可同时对两个 方向的角度进行测量,提供最高0.2角秒的测量精度和最高 1KHz的动态频响。 本机由高精度电子读数头、物镜管、可调底座、反光镜、显示控制器(或PC机)、激光快速找准器等构成。运 行于显示控制器的测量软件可显示大视野的电子目镜及测 量数据,并可将数据保存为Excel兼容格式;激光快速找准器用于快速找准和调整,采用LVDS接口的型号可提供高速测量的同时,电缆连接长度可达到30米。 用户可通过选配其它测量配附件及测量软件完成动态测量应用,包括对角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、同轴度等的高精度测量。是精密机械制造、光学加工、航空航天、计量实验室理想的角度测量仪器。 本机采用模块化设计,由高精度光电读数头、准直光管和显示控制单元组成;根据接口的不同,系列产品可分为两大类,一类是USB 2.0高速总线接口,符合即插即用规范,兼顾了便携性和测量精度,非常适合于现场检测;另一类则通过专用PCI插卡和计算机连接,适合于抗干扰要求较高的工业现场和实验室使用,可以适配最长为30米的通讯线缆。 每一台出厂的HC1000型高精度双轴光电自准直仪均经过独立的装配和调校,校准参数保存于光电读数头内,以保证每一个产品的质量和精度,通过选配相应的机械、光学附件及应用测量软件模块,本机可广泛地用于工业生产、装配、质量检测、计量、科研等各种测量领域。 适用范围: 本机适合于要求极高测量精度的应用场合,如航空航天、高精度光学系统装配等,同时也是各省市计量机构、高等院校和科研院所作为基准角度参考器具的理想选择。 应用场合: 1、实验室基准角度器具; 2、精密旋转台检测; 3、航空航天; 4、光学产品装配及调整; 5、精密机械安装定位; 6、计量机构; 7、机械产品直线度、平面度、垂直度、平行度等精度保障; 8、物理及光学实验室; 性能特点: ?X、Y双轴同时检测,无关联性; ?无盲区; ?电子目镜技术,找准迅速; ?科学级高分辨率线扫描CCD成像技术; ?高达上万小时寿命的半导体发光组件; ?自动测量软件及多种配附件系统;

频谱仪的简单操作使用方法

. R3131A频谱仪简单操作使用方法 一.R3131A频谱仪简介。 R3131A频谱仪是日本ADVANTEST公司的产品,用于测量高频信号,可测量的频率范围为9K —3GHz。对于GSM手机的维修,通过频谱仪可测量射频电路中的以下电路信号, (维修人员可以通过对所测出信号的幅度、频率偏移、干扰程度等参数的分析,以判断出故障点,进行快速有效的维修): 1.手机参考基准时钟(13M,26M等); 2.射频本振(RFVCO)的输出频率信号(视手机型号而异); 3.发射本振(TXVCO)的输出频率信号(GSM:890M—915M;DCS:1710—1785M); 4.由天线至中频芯片间接收和发射通路的高频信号; 5.接收中频和发射中频信号(视手机型号而异)。 面板上各按键(如图-1所示)的功能如下: A区:此区按键是其他区功能按键对应的详细功能选择按键,例如按下B区的FREQ键后,会在屏幕的右边弹出一列功能菜单,要选择其中的“START”功能就可通过按下其对应位置的键来实现。 屏幕亮度调节旋钮数值微调旋钮

A区 D区 E区 (图-1)连接测试探针端口 B区:此区按键是主要设置参数的功能按键区,包括:FREQ—中心频率; SPAN—扫描频率宽度;LEVEL—参考电平。此区中按键只需直接按下对应键输入数值及单位即可。 C区:此区是数字数值及标点符号选择输入区,其中“1”键的另一个功能是“CAL(校.. . ”-),此功能要先按下“SHIFT(蓝色键”后再按下“1”键进行相应选择才起作用;“准)”是退格删除键,可删除错误输入。确ENTER(时间的单位,其中“Hz”键还有“频率、D区:参数单位选择区,包括幅度、电平、”的作用。认),二功能选择键有键控制区,较常使用的“SHIFT”第:E区系统功能按”调用存储的设置信息键,SHIFT+CONFIG(PRESET)“RECALL”选择系统复位功能,“)”选择将设置信息保存功能。“SHIFT+RECALL(SA VE区:信号波形峰值检测功能选择区。F”扫描时SWEEP其他参数功能选择控制区,常用的有“区:BW”信号带宽选择及“G”是指显示屏幕从左边到右边扫描一次的时间。,“SWEEP间选择)-2所示。显示屏幕上的信息(如图参考电平线REF LEVEL=15dBm 输入预衰减值A TT=20dB 日期 参数数值每格代表峰值状态的电平SPAN=10MHz 10dB 902.4M-5M=897.4M 902.4M+5M=917.4M -2)

局放检验仪使用说明

GSJFY 局放测试仪 产品操作手册 福州亿森电力设备有限公司

尊敬的用户: 感谢您购买本公司GSJFY局放测试仪。在您初次使用该产品前,请您详细地阅读本使用说明书,将可帮助您熟练地使用本仪器。 我们的宗旨是不断地改进和完善公司的产品,如果您有不清楚之处,请与公司售后服务部联络,我们会尽快给您答复。 注意事项 ●使用产品时,请按说明书规范操作 ●未经允许,请勿开启仪器,这会影响产品的保修。自行拆卸厂方概不负责。 ●存放保管本仪器时,应注意环境温度和湿度,放在干燥通风的地方为宜, 要防尘、防潮、防震、防酸碱及腐蚀气体。 ●仪器运输时应避免雨水浸蚀,严防碰撞和坠落。 本手册内容如有更改,恕不通告。没有武汉国电西高电气有限公司的书面许可,本手册任何部分都不许以任何(电子的或机械的)形式、方法或以

任何目的而进行传播。 目录 一、概述 (4) 二、主要技术指标 (4) 三、系统工作原理 (7) 四、结构说明 (9) 五、操作说明 (11) 六、使用期限 (16) 七、售后服务 (16) 附一:校正脉冲发生器使用说明书 (18) 附二:局部放电试验中的局放和干扰图例 (20)

GSJFY局放测试仪 一、概述 GSJFY局放测试仪是近年来新研制生产的又一新颖局部放电检测仪。广泛适用于变压器、互感器、高压开关、氧化锌避雷器、电力电缆等各种高电压电工产品的局部放电的测量,产品的型式试验,绝缘的运行监督等。 本仪器检测灵敏度高,试样电容复盖范围大,适用试品范围广,输入单元(检测阻抗)配备齐全,频带组合多(九种)。仪器经适当定标后能直读放电脉冲的放电量,指针式表头和数字式表头同时显示,指针式表头能按需要方便地选择对数刻度或线性刻度指示。 本仪器是电力部门、制造厂商和科研院所等单位广泛使用的实用的局部放电测试仪器。 二、主要技术指标 1.使用条件 (1)环境温度:0~40℃±2℃。

自准直仪原理

自准直仪是利用光学自准直原理测量微小角度的长度测量工具。 自准直原理: 自准直原理:光线通过位于物镜焦平面的分划板后,经物镜形成平行光。平行光被垂直于光轴的反射镜反射回来,再通过物镜后在焦平面上形成分划板标线像与标线重合。当反射镜倾斜一个微小角度α角时,反射回来的光束就倾斜2α角。 自准直仪的光学系统:由光源发出的光经分划板、半透反射镜和物镜后射到反射镜上。如反射镜倾斜,则反射回来的十字标线像偏离分划板上的零位。 自准直仪分类: 因读数系统的不同分为如下几大类: 光学自准直仪:直接或利用测微装置或可动分划板从分划板或读数鼓轮上读出α角的分值和秒值。光学自准直仪的分度值有约1分到十数秒,精度最低。当以斜率(例如1/200)表示分度值时,通常称这种自准直仪为平面度测量仪。 光学自准直仪:当以光电瞄准对线代替人工瞄准对线时,就称为光电自准直仪。也有几种不同的类型,光电瞄准(对线)原理与振子式光电显微镜的相似、光栅式或其它,精度较传统自准直仪有所提高。 数字自准直仪:基于DSP、计算机及CCD或CMOS技术的新式自准直仪。也分为几种,最大差异的分类是按面阵和线阵,面线阵CCD 只能测试一个方向的数据,可以测试两个方向线阵的自准直仪是将两个线阵组合或通过光学方式组合,精度相对差些,最主要的一般都有

测试盲点,但是线阵式有时可以做得测试范围更大些。 一般数字自准直仪具有动态响应和跟踪功能,也称为动态自准直仪,部分光电自准直仪也具有此功能。 自准直仪应用: 常用于测量导轨的直线度、平板的平面度(这时称为平面度测量仪)等,也可借助于转向棱镜附件测量垂直度等。光电自准直仪多应用于航空航天、船舶、军工等要求精密度极高的行业,例如机械加工工业的质量保证(平直度、平面度、垂直度、平行度等)、计量检定行业中角度测试标准、棱镜角度定位及监控、光学元件的测试及安装精度控制等等。

局放仪使用说明书

TEV在线局放仪 一、概述 局部放电检测仪可配合使用特高频传感器、TEV传感器、声电组合传感器、超声传感器和宽频带电流互感器(HFCT)在线检测变压器、高压开关柜、GIS、电缆接头等高压设备的局部放电情况。 携带方便、测量快速,抗干扰能力强,便于现场使用。 其配置软件具有实时波形图、最大峰值显示、定位等功能,软件也可以详查分析某个相位波形,窗口随意放大和缩小,也可以对该段数据进行频谱分析,分析放电波形的频谱含量,使放电波形之间更具可比性,全面统计分析试验数据,减少试验中非稳定性因素对试验结果的影响。 本仪器采用自动或手动记录保存试验数据和瞬态放电波形,提供后期数据分析参考。 二、技术参数 (一)技术特性

(二)显示 (三)存储 (四)接口 (五)通用说明

(六)配置清单

三、引用标准 高压开关设备和控制设备标准的共用技术要求DL/T 593 3.6kV~~40.5kV 交流金属封闭开关设备和控制设备DL/T 404 3.6kV~~40.5kV 交流金属封闭开关设备和控制设备GB 3906 局部放电测量GB/T 7354 电力设备局部放电现场测量导则DL/T 417 高电压试验技术 *部分:一般试验要求GB/T 16927.1 高电压试验技术第二部分:测量系统GB/T 16927.2 高电压试验技术第3 部分: 现场试验的定义及要求GB/T 16927.3 四、变压器测量 (一)超声波法检测原理 当变压器部产生放电信号时,除产生放电脉冲电流沿容性回路传输外,同时还会激发出机械波(超声波)信号通过变压器油向四周辐射传播。虽然电力变压器的结构较为复杂,但是变压器的整个器身充满了变压器油,而绕组、绝缘材料、支撑、夹件、引线等部件均浸在油中,由于变压器油为超声波的良好传播媒介,这为在箱壁外侧检测局放产生的超声信号提供了有力条件。所以, 在变压器的箱壁外侧安放超声波传感器可以接收到部较大的放电信号。

自准直仪

自准直仪 科技名词定义 中文名称:自准直仪 英文名称:autocollimator 定义:利用光学自准直原理测量微小角度变化的仪器。也可以对平面度和直线度进行间接测量。 应用学科:机械工程(一级学科);光学仪器(二级学科);光学计量仪器(三级学科) 本内容由全国科学技术名词审定委员会审定公布 光电自准直仪是依据光学自准直成像原理,通过LED发光元件和线阵CCD成像技术设计而成。由内置的高速数据处理系统对CCD信号进行实时采集处理,同时完成两个维度的角度测量。 目录 编辑本段原理 自准直仪

自准直原理:光线通过位于物镜焦平面的分划板后,经物镜形成平行光。平行光被垂直于光轴的反射镜反射回来,再通过物镜后在焦平面上形成分划板标线像与标线重合。当反射镜倾斜一个微小角度α角时,反射回来的光束就倾斜2α角。 编辑本段光学系统 自准直仪的光学系统:由光源发出的光经分划板、半透反射镜和物镜后射到反射镜上。如反射镜倾斜,则反射回来的十字标线像偏离分划板上的零位。 编辑本段分类 因读数系统的不同分为如下几大类: 光学自准直仪:直接或利用测微装置或可动分划板从分划板或读数鼓轮上读出α角的分值和秒值。光学自准直仪的分度值有约1分到十数秒,精度最低。当以斜率(例如1/200)表示分度值时,通常称这种自准直仪为平面度测量仪。 自准直仪 光电自准直仪:当以光电瞄准对线代替人工瞄准对线时,就称为光电自准直仪。也有几种不同的类型,光电瞄准(对线)原理与振子式光电显微镜的相似、光栅式或其它,精度较传统自准直仪有所提高。 数字自准直仪:基于DSP、计算机及CCD或CMOS技术的新式自准直仪。也分为几种,最大差异的分类是按面阵和线阵,面线阵CCD只能测试一个方向的数据,可以测试两个方向线阵的自准直仪是将两个线阵组合或通过光学方式组合,精度相对差些,最主要的一般都有测试盲点,但是线阵式有时可以做得测试范围更大些。 一般数字自准直仪具有动态响应和跟踪功能,也称为动态自准直仪,部分光电自准直仪也具有此功能。 编辑本段应用 常用于测量导轨的直线度、平板的平面度(这时称为平面度测量仪)等,也可借助于转向棱镜附件测量垂直度等。光电自准直仪多应用于航空航天、船舶、军工等要求精密度极高的行业,例如机械加工工业的质量保证(平直度、平面度、垂直度、平行度等)、计量检定行业中角度测试标准、棱镜角度定位及监控、光学元件的测试及安装精度控制等等。

光学测角仪的调整与使用

光学测角仪的调整与使用实验 光的反射定律和折射定律定量描述了光线在传播过程中发生偏折时角度间的相互关系。同时,光在传播过程中的衍射、散射等物理现象也都与角度有关。一些光学量如折射率、光波波长、衍射极大和极小位置等都可通过直接测量角度去确定。故在光学技术中,精确测量光线偏折的角度,具有十分重要的意义。 光学测角仪<又称分光计)是一种能精确测量角度的典型光学仪器,常用来测量折射率、光波波长、色散率和观测光谱等。由于该装置比较精密,操纵控制部件较多而复杂,故使用时必须按一定的规则严格调整,方能获得较高精度的测量结果。对于初学者来说,往往会感到一些困难,但只要在调整、实验过程中,明确调整要求,注意观察现象,并努力运用已有的理论知识去分析、指导操作,一般也是能够掌握的。b5E2RGbCAP 光学测角仪的调整思想、方法与技巧,在光学仪器中有一定的代表性,学会对它的调节和使用,有助于掌握操作更为复杂的光学仪器。p1EanqFDPw 【实验目的】 1、了解光学测角仪的主要构造。 2、掌握光学测角仪的调节; 3、学会使用光学测角仪的方法。 【仪器介绍】

光学测角仪又称分光计,是一种精密测量平行光线偏转角的光学仪器,它 常被用于测量棱镜顶角、光波波长和观察光谱等。DXDiTa9E3d 1、结构 光学测角仪的型号很多,结构基本相同,都有四个部件组成:平行光管、自准直望远镜、载物小平台和读数装置<参阅附图1)。分光计的下部是一个三脚底座,中心有一个竖轴,称为分光计的中心轴。现将JJY-1型分光计介绍如下:RTCrpUDGiT (1>平行光管:管的一端装有会聚透镜,另一端内插入一套筒,其末端为一宽度可调的狭缝。 如附图2所示。当狭缝位于透镜的焦 平面上时,就能 附图1 JJY-1型分光计外形图 1-狭缝装置;2-狭缝装置锁紧螺钉;3-平行光管镜筒;4-游标盘制动架;5-载物台; 6-载物台调平螺钉<3只);7-载物台锁紧螺钉;8-望远镜镜筒;9-目镜筒锁紧螺钉; 10-阿贝式自准直目镜;11-目镜视度调节手轮;12-望远镜光轴仰角调节螺钉;13-望 远镜光轴水平方位调节螺钉;14-支撑臂;15-望远镜方位微调螺钉;16-转座与度盘止动 螺钉;17-望远镜止动螺钉;18-望远镜制动架;19-底座;20-转盘平衡块;21-度盘; 22-游标盘;23-立柱;24-游标盘微调螺钉;25-游标盘止动螺钉;26—平行光管光轴 水平方位调节螺钉;27-平行光管光轴仰角调节螺钉;28-狭缝宽度调节手轮

频谱仪的简单操作使用方法

R3131A频谱仪简单操作使用方法 一.R3131A频谱仪简介。 R3131A频谱仪是日本ADV ANTEST公司的产品,用于测量高频信号,可测量的频率范围为9K—3GHz。对于GSM手机的维修,通过频谱仪可测量射频电路中的以下电路信号, (维修人员可以通过对所测出信号的幅度、频率偏移、干扰程度等参数的分析,以判断出故障点,进行快速有效的维修): 1.手机参考基准时钟(13M,26M等); 2.射频本振(RFVCO)的输出频率信号(视手机型号而异); 3.发射本振(TXVCO)的输出频率信号(GSM:890M—915M;DCS:1710—1785M); 4.由天线至中频芯片间接收和发射通路的高频信号; 5.接收中频和发射中频信号(视手机型号而异)。 面板上各按键(如图-1所示)的功能如下: A区:此区按键是其他区功能按键对应的详细功能选择按键,例如按下B区的FREQ 键后,会在屏幕的右边弹出一列功能菜单,要选择其中的“START”功能就可通过按下其对 (图-1) B区:此区按键是主要设置参数的功能按键区,包括:FREQ—中心频率; SPAN—扫描频率宽度;LEVEL—参考电平。此区中按键只需直接按下对应键输入数值及单位即可。 C区:此区是数字数值及标点符号选择输入区,其中“1”键的另一个功能是“CAL(校

准)”,此功能要先按下“SHIFT(蓝色键)”后再按下“1”键进行相应选择才起作用; “-”是退格删除键,可删除错误输入。 D 区:参数单位选择区,包括幅度、电平、频率、时间的单位,其中“Hz ”键还有“ENTER(确认)”的作用。 E 区:系统功能按键控制区,较常使用的有“SHIFT ”第二功能选择键,“SHIFT+CONFIG(PRESET )”选择系统复位功能,“RECALL ”调用存储的设置信息键,“SHIFT+RECALL(SA VE )”选择将设置信息保存功能。 F 区:信号波形峰值检测功能选择区。 G 区:其他参数功能选择控制区,常用的有“BW ”信号带宽选择及“SWEEP ”扫描时间选择,“SWEEP ”是指显示屏幕从左边到右边扫描一次的时间。 显示屏幕上的信息(如图-2所示)。 二.一般操作步骤。[“ ”表示的是菜单面板上直接功能按键,“ ” 表 示单个菜单键的详细功能按键(在显示屏幕的右边)]: 1) 按Power On 键开机。 2) 每次开始使用时,开机30分钟后进行自动校准,先按 Shift+7(cal ) ,再选择 cal all 键,校准过程中出现“Calibrating ”字样,校准结束后如通过则回复校准前状态。校准过程约进行3分钟。 3) 校准完成后首先按 FREQ 键,设置中心频率数值,例如需测中心频率为902.4M 的信

精密自准直仪使用说明书

研润企业 MC030-1401 双向精密自准直仪使用说明书 上海研润光机科技有限公司

目录 1.概述 (3) 1.1仪器的用途 1.2仪器特点 1.3工作条件 2.技术特性 (3) 2.1技术规格 2.1仪器组成 3.工作原理与结构特征 (4) 3.1仪器的工作原理 3.2仪器的结构特征 3.3附件的组成 3.4个单元结构之间的机电联系 3.5辅助装置的功能结构及其工作原理 4.使用、操作 (13) 4.1使用前的准备和检查 4.2找像与读数 4.3水平面的直线度测量 4.4垂直于水平面的测面的直线度测量 4.5垂直面的直线度和垂直度测量 4.6直线移动导轨运动误差的测量 4.7平面度的测量 4.8圆分度误差的测量 4.9小角度误差测量 5.故障分析与排除 (27) 5.1光学零件发霉 5.2光学零件生雾

5.3附着物 5.4分划线刻线脱色 6.保养、维护 (28) 6.1日常维护、保养 6.2运行时的维护、保养 6.3正常检修周期 7.开箱及检查 (29) 7.1开箱注意事项 7.2开箱检查内容 8.运输、贮存 (29) 8.1吊装运输注意事项 8.2贮存条件,贮存期限及注意事项 9.验收项目、方法及数据 (29)

1.概述 1.1仪器的用途 双向自准直仪是利用自准直法,对小角度范围内的微小角度变化进行测量的精密仪器。 仪器主体和平面反射镜联合使用,可测量工件的直线度,平板的平面度;与光学直角器,带磁反射镜联合使用,可测量垂直导轨的平直度和垂直度;与多面体联合使用,可测量度盘的圆分度误差。 本仪器特别适合与生产现场。 1.2仪器特点 双向自准直仪具有原理、结构简单,体积小,精度高,使用方便,配以一定的附件后,能扩大使用范围的特点。 1.3工作条件 工作室应保持清洁,无尘,无振动,电源为220V 50Hz交流电,室温20°±3℃,其温度变化每小时不超过1℃。 2.技术特性 2.1技术规格 工作距离----------------------------------------------------0-10米 物镜焦距----------------------------------------------------400毫米 物镜口径----------------------------------------------------42毫米 目镜放大倍率------------------------------------------------17.5倍 测微鼓轮分度值(每格相当于) 线度值-----------------------------------------------L/200微米 角度值--------------------------------------------1.03秒≈1秒此处L为反射镜基座有效长度(毫米) 目镜分划板分度值(每格相当于) 线度值----------------------------------------------100×L/200微米 角度值----------------------------------------------100×1.03秒示值范围----------------------------------------------------1600格 示值精度

光电检测技术——激光扫描式光电自动对准(光刻机)

§4-4 激光扫描式光电自动对准(光刻机) 一、 硅片生产: 光刻工艺: 拉单晶(元筒);切片(元片2英寸(inch)、3英寸(75mm)、4英寸(100mm));表面抛光(镜面);光刻(电阻、电容、二极管、三极管、集成电路、MOEMS 、小机构);切成小块。 最新报导(97.9.9):15英寸375mm 硅片 电阻、电容、二极管、三极管、集成电路 掩模光刻 表面有光刻胶 远紫外 光曝光 渗杂 (只渗杂 图形部分) 光刻(十几次) X Y θ 对准

二、对准原理 左标记右标记

(1)一次扫描完成三维对准。 当21T T =及54T T =时则对准 (2)硅片相对掩模的偏差量(θ???,,y x )[三者为0,则对准] 虚线表示掩模与硅片完全对准位置:则 ①对于单个标记 H P x 0=? HP y =? (1)

而: )/2L -(L L -)/2L (L '5455400=+==E E E P 2/)(]2/)[('2112100L L L L L BB P B --=-+== 2 '''2'''2' '000000PoE P B P B E P P B P B E B H P +-=-+=-= 4 22/)(2/)(5 4215421L L L L L L L L -+-=-+-= (2) 4) ()(2)/2L -(L )/2L -(L - 2''2'''5421542100L L L L E P P B E B HE HP -+--= +=+== = (3) 综合(1)、(2)、(3)式得 4 /)]()([4/)(54215421L L L L y L L L L x -+--=?-+-=? 设激光束扫过AB ,BC ,CD ,DE ,EF 之间的时间间隔分别为T 1,T 2,T 3,T 4,T 5,扫描速度V=2.6m/s ,则 V T T T T x 4) ()(5421-+-= ? (m ) (m) 4 ) ()(5412V T T T T y -+-= ? 这就是单个标记的偏移量 ②对于具有左、右标记的对准方式而言 硅片中心的偏移量及整体转角为: 20R L X X x ?+?= ? 2 0R L Y Y Y ?+?=? ]/)[(Sin -1L Y Y L R -?=?θ 硅片只需按这些误差,反向调整,

JDY-IV型发电机局部放电监测仪说明书new

国家电力公司武汉高压研究所 北京科奇天朗电子仪器制造中心

工控机存储一台监测仪的数据 工控机存储两台监测仪的数据

一、概 述 (4) 二、仪器特点与技术性能 (5) 三、工作原理 (6) 四、安装与校准 (9) 五、面板操作 (12) 六、微机使用与操作 (13) 七、运行须知 (14) 八、产品成套性 (14) 九、售后服务 (14) 附图:仪器柜尺寸图及附件图

一、概述 大型发电机运行的可靠性直接关系到电网系统的正常运行。而确保电力系统的正常运行,对国计民生具有重要的战略意义和现实意义。在发电机发生的重大事故中,定子绝缘隐患所产生的局部放电是引起事故原因之一。它起始于发电机绝缘老化、放电;定子线圈内股线断股;槽内槽楔固定松动;渗油污染线圈产生爬电;水冷机组线圈渗、漏水引起的绝缘放电;空冷机组产生的电晕等。总之,故障放电是电气设备运行过程中电气绝缘劣化的一种表现,是发展成为绝缘击穿短路事故的必经过程。预防性试验不能完全保证发电机绝缘在一个检验周期内安全运行,尤其是无法掌握运行中发电机绝缘放电的状态变化。因而有必要寻求一种绝缘放电的在线监测仪器,随时监测运行中发电机定子绝缘的正常放电值和异常放电值,依据放电的性质、放电量的大小和次数及变化趋势,可以早期判断发电机是否存在绝缘劣化,甚至绝缘损坏,为故障检修及周期维护提供有效数据。同时为电力系统运行监测的自动化,提高电厂现代化管理水平打下基础。 JDY-Ⅳ型发电机局部放电监测仪是以绝缘放电测试理论为依据而研制开发的一种新型发电机绝缘放电在线监测仪器。其主要依据发电机绝缘在形成故障过程中所产生的局部放电和局部放电所具有的特征为判断依据,进行定量测量、定性分析,同时示波器显示放电相位和波形,以利综合判断及采取措施。该仪器采用PC(微微库仑)作为量值,具有数字化、智能化等先进技术,经串行接口与计算机进行数据传输。通过运行我单位开发的监测软件,可实时地在计算机屏幕上显示采集的数据,并观测放电波形。本仪器适用于不同容量、各类型发电机组的在线连续监测。 随着现代科学技术的迅猛发展和全国各电厂自动化水平的不断提高,国内各大发电厂对我厂生产的发电机局部放电监测仪这种在线监测仪器在数据传输方面的准确性和及时性提出了更高的要求,为了能更好地为各电厂提供服务来确保电力系统的正常运行,我们适应市场的需要积极地改进了我们的仪器,实现网络的数据实时传输。

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