FEMAG晶体生长仿真软件介绍(Chinese_Version)

F E M A

G -C Z

F E M A

G -D SS

F E M A

G -F Z

F E M A

G -V B

YOUR P ROC E SS

F E M A

G -P V T

F E M A

G -L EC

软件产品

C o mp a ny

FEMAGSoft 软件股份公司成立于 2003 年，是比利时鲁汶大学（法语）的衍生企业，致力于开发、销 售和支持晶体生长数值模拟专用软件产品。

原材料

单晶

晶片

产品与服务

FEMAG Soft 擅长所有类型晶体材料生长方面的工艺模拟专业技术 , 例如 : 直拉法 (Czochralski)

定向凝固法 (Directional Solification) 区熔法 (Floating Z one ) Bridgman 法

物理气相传输法 (P V T )

FEMAG Soft 致力于通过提供最实用、可靠的服务来优化客户在软件投资方面的回报率：

软件许可与技术支持 合作与咨询

应用范围

20 多年来，FEMAG Soft 公司所开发的软件产品获

得了国际上诸多专业生产企业的青睐, 在以下类型

的企业中得到广泛应用：

集成电路用单晶硅生产企业

光伏技术用晶体硅生产企业

LED 光电技术用氧化物晶体

蓝宝石晶体生产企业

模拟软件

晶体生长模拟软件能够提供重现晶体生长炉内部环境及晶体生长过程，从而为生产商提供必要的信息，以便分析晶体生长过程特征及其工艺优缺点是否符合市场需求。通过模拟软件提供的功能，生产商可以提高工艺改进、优化时的目标与优先次序

模拟软件所提供的虚拟实验使晶体生长商在物理实现之前设计、检验他们的生产工艺。虚拟实验不但操

作方便、经济实惠、而且基本上不存在任何技术限制。

设计工程

?保温罩和反射体的形状、材质和位置

设计

?加热器的位置

?辅助加热器 / 多加热器设计

?保温层的选择及其设计

质量控制工程

?热应力

?位错

?氧含量分布与控制

?掺杂物发布与控制

?缺陷控制 ( 点缺陷和微观缺陷等 ) 成本控制工程

?能耗

?气耗

?原料辅料 (成本、使用寿命等等)

?提高晶体生长速度的同时防止固-液界面变形过大和裂纹

应用范围

FE M AG S o f t公司的模拟软件应用于开发、优化以下类型的晶体生长工艺：

IC 级单晶硅和光伏级晶体硅

III-V 族化合物半导体晶体材料，如GaAs/GaP 等

锗单晶

蓝宝石、氧化物和卤化物

碳化硅

F E M A G-F Z

IC 级区熔法单晶硅锭内部温度预测结

果。

F E M A G-C Z 光伏级单晶生长炉内温度场

计算结果可视化呈现。

F E M A G-D SS 精确的固液界面计算是对

晶粒大小控制的基础与前提

F E M A G-V B

VB 法砷化镓单晶生长过程的精确计算结

果