故障诊断技术发展现状

故障诊断技术发展现状
故障诊断技术发展现状

安全检测与故障诊断

题目:故障诊断技术发展现状

导师:魏秀琨

学生姓名:刘典

学号:14114263

目录

1 引言 (3)

2 故障诊断的研究现状 (3)

1.1基于物理和化学分析的诊断方法 (3)

1.2基于信号处理的诊断方法对 (3)

1.3基于模型的诊断方法 (3)

1.4基于人工智能的诊断方法 (4)

2故障诊断研究存在的问题 (6)

2.1故障分辨率不高 (7)

2.2信息来源不充分 (7)

2.3自动获取知识能力差 (7)

2.4知识结合能力差 (7)

2.5对不确定知识的处理能力差 (7)

3发展方向 (8)

3.1多源信息的融合 (8)

3.2经验知识与原理知识紧密结合 (8)

3.3混合智能故障诊断技术研究 (9)

3.4基于物联网的远程协作诊断技术研究 (9)

4发展方向 (9)

1 引言

故障可以定义为系统至少有一个特性或参数偏离正常的范围,难于完成系

统预期功能的行为。故障诊断技术是一种通过监测设备的状态参数,发现设备的异常情况,分析设备的故障原因,并预测预报设备未来状态的技术,其宗旨是运用当代一切科技的新成就发现设备的隐患,以达到对设备事故防患于未然的目的,是控制领域的一个热点研究方向。它包括故障检测、故障分离和故障辨识。故障诊断能够定位故障并判断故障的类型及发生时刻,进一步分析后可确定故障的程度。故障检测与诊断技术涉及多个学科,包括信号处理、模式识别、人工智能、神经网络、计算机工程、现代控制理论和模糊数学等,并应用了多种新的理论和算法。

2 故障诊断的研究现状

1.1基于物理和化学分析的诊断方法

通过观察故障设备运行过程中的物理、化学状态来进行故障诊断,分析其声、光、气味及温度的变化,再与正常状态进行比较,凭借经验来判断设备是否故障。如对柴油机常见的诊断方法有油液分析法,运用铁谱、光谱等分析方法,分析油液中金属磨粒的大小、组成及含量来判断发动机磨损情况。对柴油机排出的尾气(包含有NOX,COX 等气体) 进行化学成分分析,即可判断出柴油机的工作状态。

1.2基于信号处理的诊断方法对

故障设备工作状态下的信号进行诊断,当超出一定的范围即判断出现了故障。信号处理的对象主要包括时域、频域以及峰值等指标。运用相关分析、频域及小波分析等信号分析方法,提取方差、幅值和频率等特征值,从而检测出故障。如在发动机故障领域中常用的检测信号是振动信号和转速波动信号。如以现代检测技术、信号处理及模式识别为基础,在频域范围内,进行快速傅里叶变换分析等方法,描述故障特征的特征值,通过采集到的发动机振动信号,确定了试验测量位置,利用加速传感器、高速采集卡等采集了发动机的振动信号,并根据小波包技术,提取了发动机故障信号的特征值。该诊断方法的缺点在于只能对单个或者少数的振动部件进行分析和诊断。而发动机振动源很多,用这种方法有一定的局限性。

1.3基于模型的诊断方法

基于模型的诊断方法,是在建立诊断对象数学模型的基础上,根据模型获得的预测形态和所测量的形态之间的差异,计算出最小冲突集即为诊断系统的最小诊断。其中,最小诊断就是关于故障元件的假设,基于模型的诊断方法具有不依赖于被诊断系统的诊断实例和经验。将系统的模型和实际系统冗余运行,通过对比产生残差信号,可有效的剔除控制信号对系统的影响,通过对残差信号的分析,就可以诊断系统运行过程中出现的故障。

它具有以下优点:

(1) 可以直接借用控制系统的设计模型而无须另行建模;

(2) 可以检测首次出现的故障而无须依赖系统运行的先前状况;

(3) 不但可以检测系统及元件故障,还可以检测传感器中出现的故障。

1.4基于人工智能的诊断方法

近年来,人工智能及计算机技术的迅猛发展为故障诊断技术提供了新的理论基础,出现了基于知识、不需要对象精确数学模型的故障诊断方法。

1.4.1基于神经网络的诊断方法

神经网络是一种通过模拟人脑而建立起来的自适应非线性动力学系统,它具有自学性和并行计算能力,可以实现分类、优化、自组织、联想记忆和非线性映射等功能。它以分布式的方式储存信息,利用网络的拓扑结构和权值分布实现非线性的映射,并利用全局并行处理实现从输入空间到输出空间的非线性信息变换。它在故障诊断中的具体应用方式有:

(1) 神经网络诊断系统。对特定问题建立适当的神经网络故障诊断系统,可以从其输入数据(代表故障症状) 直接推出输出数据(代表故障原因),从而实现故障检测与诊断;

(2) 采用神经网络产生或评价残差,并做进一步诊断;

(3) 采用神经网络做自适应误差补偿。但是,神经网络在故障诊断应用也存在一些局限性,比如无法融入经验性的知识,且需要足够的学习样本才能保障诊断的可靠性,其“黑箱”结构难以了解系统的行为,在对复杂系统进行诊断时,往往由于网络规模过于庞大和学习训练时间太长等问题,降低了神经网络的实用性等。目前的神经网络诊断方法主要运用于提取稳态特征参数。

1.4.2基于粗糙集的诊断方法

粗糙集理论是Pawlak教授于1982 年提出的一种刻画不完整性和不确定性的数学工具,能有效地分析和处理不精确、不一致及不完整等各种不完备信息,并从中发现隐含的知识,揭示潜在的规律。它最主要的优点是无需提供所需处理的数据集合之外的任何先验信息,对问题不确定性的描述和处理比较客观。基于粗糙集的故障诊断基本思想是把观察或测量到的故障征兆,作为对故障分类的条件属性,实际存在的故障作为决策属性,建立决策表,利用RS 理论强大的约简能力对原始决策表进行化简而得到多个与原始决策表等价的约简,然后对约简进一步化简,化简决策表删除多余的属性后就可以得到故障诊断规则。单一RS 理论要求采集的信息是准确完整的。但实际上得到的采集信息不可能永远是完备的,它会遇到噪声、数据丢失及海量数据等问题,且传统RS 不适合处理连续属性,因而实际应用过程中,RS 通常与其他智能技术融合起来使用。

1.4.3遗传算法

20 世纪60 年代中期,美国学者John Holland 在Fraser 等人提出了位串编码技术,并将该技术应用于自然和人工系统的自适应行为的研究。于1975 年出版了专著《Adaptation in Natural and Artificial Systems》,系统阐述了遗传算法的基本理论和方法。该算法以随机产生的一群候选解为初始群体,对群体中的每一个体进行编码,以字符串形式表示,然后根据对个体的适应度随机选择双亲,并对个体的编码进行繁殖、杂交和变异等操作,产生新的个体,组成新的种群,如此不断重复进行,使问题的解逐步向最优方向进化,直到得出在全局范围内具有较好适应值的解。它具有很强的全局优化搜索能力,和简单通用、鲁棒性强、隐并行处理结构等显著优点。将其应用于故障诊断中的专家系统推理和自学中,可克服专家系统存在的推理速度慢和先验知识很少的情况下知识获取困难的障碍,具有广阔的应用前景。另外,基于遗传算法的故障诊断在实际系统中也得到了应用,如变压器的故障诊断、轴承和

齿轮等旋转机械的故障诊断、发动机齿轮箱故障监测和诊断等。但事物都是一分为二的,遗传算法也不是完美无缺的,如何解决遗传算法群体过小带来的早熟、交叉率及变异率的选择等问题,使之成功应用于故障诊断系统还需要进一步研究。

1.4.4基于故障树的诊断方法

故障树模型是一个基于研究对象结构、功能特征的行为模型;是一种定性的因果模型;是一种体现故障传播关系的有向图。它从诊断对象最不希望发生的事件为顶事件,按照对象的结构和功能关系逐层展开,直到不可分事件(底事件) 为止。

故障树分析法原来用于系统的可靠性设计,现已广泛用于故障诊断领域。但是,由于故障树是建立在部件联系和故障模式分析的基础之上,因此不能诊断不可知的故障。故障诊断的结果严重依赖于故障树信息的完整程度。如果给定的故障树不完全、不详细、不精确,那么对应的诊断也会不完全、不详细、不精确。

1.4.5基于专家系统的诊断方法自1965 年以来,斯坦福大学DENDRAL 专家系统开始,专家系统的研究和应用迅速发展,具有人工智能的柴油机故障诊断专家系统也成为现代柴油机管理的研究方向。20 世纪70 年代美国通用电器公司研制出基于规则的内燃电缆机车故障诊断系统(DELTA专家系统),1996 年美国EMD 和Rockwell 公司联合开发的柴油机状态监视系统(ICM) 和诊断专家系统(EMD)。专家系统利用专家经验,从大量的样本中提取故障特征,描述故障和征兆之间的关系网。在进行故障诊断时,根据已知事实,采用基于推理机通过故障原因与征兆进行匹配。专家系统是诊断领域最引人注目,也是研究最多、应用最广的一类智能诊断技术。它主要应用于没有精确数学模型或者很难建立数学模型的复杂系统。在实际的运用中,有基于网络的故障诊断专家系统的诊断方法,此方法建立基于网络的智能诊断系统,并讨论在建立此系统时的诊断过程和相关困难。

1.4.6小波分析

小波分析法是20 世纪80 年代中期由法国学者Daubeches和Callet引入信号处理领域而发展起来的数学理论和方法,它能解决许多傅里叶变换难以解决的问题,被认为是傅里叶分析方法的突破性进展。其基本思想是用信号在一簇基函数张成空间上的投影表征该信号。小波分析优于傅里叶之处在于:小波分析在时域和频域同时具有良好的局部化性质,是一种窗口大小(即窗口面积) 固定但其形状、时间窗和频率都可以改变的时频局部化分析方法。即在低频部分具有较高的频率分辨率和较低的时间分辨率,能聚焦到信号的任意细节,对信号的突变有很强的识别能力,能有效地去噪和提取有用信号,被誉为分析信号的显微镜,小波分析在信号处理、图像处理、话音分析、模式识别、量子物理、生物医学工程、计算机视觉、故障诊断及众多非线性科学领域都有广泛的应用。基于小波分析的故障诊断方法是先对信号进行多级小波分解,得到各子带数据,通过对小波变换系数模极大值的检测来实现对信号奇异性的检测,从而确定故障发生的时间。

小波变换在故障诊断中的具体应用表现在以下几个方面:

利用小波变换检测信号的突变;

利用观测信号频率结构的变化;

利用脉冲响应函数的小波变换;

利用小波变换去噪提取系统波形特征;

利用小波网络。

虽然小波分析在信号处理方面得到了广泛的应用,但总体上说,小波变换理论和小波变换在故障诊断中的应用还处于发展阶段,主要存在以下问题:

(1) 由于小波变换及小波网络中的小波基的选择没有统一标准,选择不同的小波会得出不同的结论,在实际应用中往往根据经验来选择小波,带有一定的主观性;

(2) 如何根据信号的特征选择尺度、平移量,用最少的变化后的数据反映信号的特征,

以减少运算量;如果选择不当,将会增加运算量,降低推理速度,影响效率;

(3) 小波网络的新模型基学习算法也是当前研究的热点,近年来有人提出多层结构小波网络和局域连接型的小波网络。由于神经网络的研究正在向计算智能、生物智能方向发展,小波网络的研究也在不断吸收如混沌、进化等其他交叉学科的研究成果。正因为小波网络还在发展中,所以许多问题还有待于深入研究;

(4) 小波网络的收敛性、鲁棒性、计算复杂度等还有待于深入研究,小波网络在故障诊断中的硬件实现也是需要进一步探讨和解决的问题。

1.4.7基于模糊集的诊断方法

模糊集理论是美国控制论学者Zadeh于1965 年提出的为描述与处理广泛存在模糊的时间和概念的理论工具。它能够处理故障诊断中的不确定信息和不完整信息,基于模糊集的故障诊断方法主要是利用集合论中的隶属度函数和模糊关系矩阵的概念,解决故障与征兆之间的不确定关系。目前,模糊故障诊断有3种基本方法:

(1) 建立故障现象与故障征兆之间的模糊关系矩阵,再通过模糊关系方程进行故障诊断;

(2) 建立故障与征兆之间的模糊知识库,再进行模糊逻辑推理;

(3) 对原始采样数据进行模糊聚类处理,再通过评价划分系数和分离系数等进行故障诊断。

具体的应用形式有:基于模糊模型的故障诊断方法;基于自适应模糊阈值的残差评价方法;基于模糊聚类的残差评价方法;基于模糊逻辑的残差评价方法和基于模糊模式识别的故障诊断方法。基于模糊理论的故障诊断方法在实际中也有应用,例如空调试验装置冷却线圈的故障诊断,以及基于模糊理论的液压系统故障诊断。模糊变量表示可读性强,模糊推理逻辑严谨,类似人类思维过程,易于理解,但它也具有一些固有缺陷,主要表现在:

①模糊系统在推理时也要搜索知识库内一定的规则集才能得出结论,所以当系统比较大时,完成诊断的速度比较慢,效率比较低;

②当系统的结构发生变化时,模糊系统的知识库或相关规则的模糊度也要进行相应的修改,即模糊系统也存在维护的问题;

③模糊系统不具备学习能力。即模糊诊断方法利用模糊集合率中的隶属函数和模糊关系矩阵的概念来解决故障与征兆间的不确定关系,进而实现故障的早期预报和精确诊断。这种方法计算简单,应用方便,结论明确直观,但不能进行趋势分析;

④构造隶属函数、选择特征参数是实现模糊诊断的前提,由于隶属函数可由隶属曲线表示,是人为构造出来的,会有一定的主观因素,特征参数选择不合理,诊断精度会下降,甚至诊断失效;

⑤如果在征兆与故障的关系中含有未知因素,隶属函数无法构造出来,这时该方法将失效。

1.4.8其他故降诊断方法

除了上述理论和方法外,在故障诊断领域中,还有基于向量机的诊断方法,基于微粒群算法的诊断方法,基于灰色理论的诊断方法,基于云模型的诊断方法以及把各种诊断相结合的方法。

综上所述,单一的故障诊断技术有着各自的优缺点,难以满足复杂系统的诊断要求。因此,将各种不同的诊断方法有效地结合起来,对故障诊断有着重要的意义,是故障诊断技术发展的一个趋势。

2 故障诊断研究存在的问题

设备故障诊断技术虽然取得了不少进展,有些方面已有较成熟的理论和方法(如数字电

路的故障诊断),但仍有许多不足,特别是对复杂的大规模非线性系统故障诊断方法的研究更有待深入地探索。在技术方面,现有的不同等级和各种类型的故障诊断装置,能在不同程度上对被测对象进行故障诊断,但与实际的需求相比,还有相当大的距离。其主要的不足如下分析。

2.1故障分辨率不高

现代大多数故障诊断系统虽然能快速地进行故障诊断,但是由于设备越来越复杂,加上电路的非线性问题,使检测点和施加的测试信号受到限制,因此影响了可控性和可测性,同时造成故障诊断的模糊性和不确定性。另外,在模拟电路中,元器件的故障参数是一个连续量,测量响应的数据引入误差是不可避免的。最困难的是各元器件都有一定的容差,因此用字典法即使作硬故障的诊断,其效果也不如数字电路的字典诊断法。一般地说,字典法只能解决单故障诊断,在实际应用时几乎不可能实现对多故障的诊断。

2.2信息来源不充分

(1) 现有的诊断系统通常只搜集被测对象当前状态信息,而对其过去的状态和已做过的维护工作的信息、故障诊断系统本身的状态信息未加考虑。

(2) 对被诊断电路其测试的信号大多是电信号如电压和电流等,而对其他性质的信息较少测试,如温度、图像及电磁场信号等。因此有时根据诊断结果提出的维护措施不够准确有效。

2.3自动获取知识能力差

知识获取长期以来一直是专家系统研制中的瓶颈问题,对于故障智能诊断系统来说也是如此。目前多数的诊断系统在自动获取知识方面表现的能力还比较差,限制了系统性能的自我完善、发展和提高。虽然一些系统或多或少地加入了机器学习的功能,但基本上不能在运行的过程中发现和创造知识,系统的诊断能力往往仅局限于知识库中原有的知识。

2.4知识结合能力差

近年来,国外专家在对诊断与维修领域的专家系统研究中,越来越多地强调使用深知识。如Davis关于电器设备故障诊断用结构与原理的方法研究,Chand-rasekara等人研究的从医疗诊断领域中的深层知识进行编译和诊断等。然而他们在如何将领域问题的基本原理与专家经验知识结合得更好,这方面所做的工作还很少,使得这些系统不能具备与人类专家能力相似的知识或能力,影响了系统发挥更大的效能。

2.5对不确定知识的处理能力差

诊断系统中往往存在大量的不确定性信息,这些信息或是随机的、模糊的或是不完全的。如何对不确定性知识进行表达和处理,始终是诊断领域研究的热点问题。虽然有很多不确定

性理论在实际的故障诊断专家系统中得到了较好地应用,但是这一问题仍未得到十分有效的解决,在有效、合理、使用的不确定性知识处理方面存在着巨大的研究潜力。

总之,故障智能诊断系统无论在理论上还是在系统开发方面都已取得了很大的进步,但真正投入使用并且功能完善的系统并不多,大多数研究成果仍然停留在实验室阶段。造成这种理论与实践脱节有 2 个方面的原因,一方面是由于理论研究所限定的条件与实际应用时的情况相差甚远;另一方面是由于对诊断对象缺乏深刻的认识和研究,而且作为人工智能技术本身也有待于进一步发展和完善。

3 发展方向

故障诊断研究的目的是为了提高诊断的精度、速度、降低误报率和漏报率,确定故障发生的准确时间和部位,并估计出故障的大小和趋势。近10 年来,随着人工智能技术的迅速发展,特别是知识工程、专家系统、模糊逻辑和神经网络在诊断领域中的进一步应用,迫使人们对智能诊断问题进行更加深入与系统的研究,形成了一系列研究热点,也取得了一系列研究成果。但从分支学科的要求来看,无论是在理论体系的构建方面,还是在解决实际问题方面,故障诊断研究仍有一段艰巨的路程要走。目前和今后的主要研究可归纳为以下几个方面。

3.1多源信息的融合

在设备运行过程中,可以利用的状态信息有很多,比如机械的振动,声响、温度、压力,电气的输出功率、转速和扭矩等,如何对这些大量的信息进行融合,消除多传感器信息之间可能存在的冗余和矛盾,并加以互补,降低其不确定性,获得对故障设备的一致性描述,是今后故障诊断技术研究的重点方向。

3.2经验知识与原理知识紧密结合

在复杂设备故障智能诊断系统中,只有将领域问题的基本原理与专家的经验知识相结合,才能更好地解决诊断问题。因此在建造知识库时,不仅要重视浅知识的表达和处理,也要重视深知识的地位和作用。在该类模型中,深知识和浅知识各自用对它们最适合的方法表示,并构成两种不同类型的知识库(分别称为“原理专家”和“经验专家”),2 个知识库各有1 个推理机构,这样它们在各自的权力范围内自成1 个专家系统。这2 个系统通过协调机制模块构成1 个诊断特定问题的完整智能系统。

在诊断问题求解时,浅知识与深知识进行相互作用,什么类型的知识在诊断过程中起控制作用可能每时每刻都在发生变化。从一个知识源获得的信息很容易通过协调机制结构转化为另一个知识源的信息。当“经验专家”工作时,原理专家在一旁“观望”,一旦“经验专家”的求解能力下降,或者诊断失败,即刻就由“原理专家”携带着从“经验专家”那里获得的所有诊断信息开始工作。如果问题已知,“经验专家”常先用于诊断,这样找出问题的解是迅速的,因为其知识的根据是表面的启发式论据,即使没有理解它的含义,也能快速求解问题。如果求解失败,由于“经验专家”提供了大量有价值的信息,导致“原理专家”能更有效地求解。总之,快速求解依靠“经验专家”,而完整、良好的解释依靠“原理专家”,如此交替使用是非常有效的。

3.3混合智能故障诊断技术研究

目前,将多种不同的智能诊断技术结合起来的混合诊断系统是智能故障诊断研究的一个发展趋势。结合方式主要是基于规则的专家系统与神经网络的结合,CBR 与基于规则系统和神经网络的结合,模糊逻辑、神经网络与专家系统的结合等。其中模糊逻辑、神经网络与专家系统结合的诊断模型是最具发展前景的,也是目前人工智能领域的研究热点之一。这方面的研究刚开始,例如,模糊逻辑与神经网络的组合机理、组合后的实现算法、便于神经网络处理的模糊知识的表达方式等。混合智能故障诊断系统的发展有如下趋势:由基于规则的系统到基于混合模型的系统;由领域专家提供知识到机器学习;由非实时诊断到实时诊断;由单一推理控制策略到混合推理控制策略等。智能诊断系统在机器学习、诊断实时性等方面的性能改善,是决定其有效性和广泛应用性的关键。

3.4基于物联网的远程协作诊断技术研究

基于物联网的设备故障远程协作诊断是将设备诊断技术、信息传感设备(如射频识别装置、红外感应器、全球定位系统、激光扫描器等),与计算机网络技术相结合,用若干台计算机作为服务器,在企业的关键设备上建立状态监测点,采集设备状态数据,在技术力量较强的科研院所建立分析诊断中心,为企业提供远程技术支持和保障。利用先进的物联网技术,通过网络诊断软件,在办公室计算机上进行分析诊断设备的故障,网上发放检修计划,下达设备采购计划等工作。基于物联网的设备故障远程协作诊断系统在提高生产率及降低设备的故障率、降低设备维修成本等方面有很大优势,是未来故障诊断系统的发展方向。

4 发展方向

故障诊断是一门实用性很强的新兴研究领域,虽然经过领域专家多年的艰辛研究,无论在理论研究还是在工程实践应用上都取得较大进展,但仍有许多尚待解决的理论和工程应用技术问题有待更深入的研究。

无线通信发展趋势

无线通信发展趋势 编者按:本文主要从全球趋势:公众移动保持增长宽带无线热点持续;热点解析:五大技术引领风骚应用模式各展所长沸沸扬扬的WLAN标准之争;宽带无线技术新宠WiMAX;超宽带无线接入技术UWB;结束语;进行讲述。其中,主要包括:全球无线通信产业的两个突出特点体现在:一是公众移动通信保持增长态势,一些和地区增势强劲,但存有发展不均衡的现象;二是宽带无线通信技术热点持续,研究和应用十分活跃、传统的公众移动通信外,全球的宽带无线接入领域近期研究和应用十分活跃,热点持续出现,给无线通信业界带来了清新的空气、从技术角度来看,3G主流技术已经基本成熟。cdma2000因为技术本身的平滑演进特性,进入3G的障碍不大。WCDMA以前受版本持续更新的影响,防碍了商用进程,但目前主体标准已经定型,具备了规模商用的基础。TD-SCDMA技术要相对滞后一些、目前欧美等运营商已经进入了3G网络部署阶段。3G网络的商用部署正在全球一步步地铺展开来、目前3G还存有一些问题,主要表现在市场还处在启蒙阶段,杀手级的业务还没有呈现,终端还不够多,等。具体材料请详见: 一、全球趋势:公众移动保持增长宽带无线热点持续 当今,全球无线通信产业的两个突出特点体现在:一是公众移动通信保持增长态势,一些和地区增势强劲,但存有发展不均衡的现象;二是宽带无线通信技术热点持续,研究和应用十分活跃。 资料显示,在全球电信市场普遍低调的背景下,移动通信依然保持了较好的增长态势。统计显示,2003年全球移动用户数增长率在17%以上,总计达到13.54亿户。在市场值面,全球移动业务市场在2003年已达到4680亿欧元,比上年增长了11.3%以上。 尽管全球移动市场在增长,但这种增长也呈现出很大的不均衡性。从用户数来看,在北美、欧洲等发达和地区,因为移动用户普及率已经

光刻技术

职大09微电子 光刻技术 摘要:光刻(photoetching)是通过一系列生产步骤将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺,在此之后,晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。被除去的部分可能形状是薄膜内的孔或是残留的岛状部分。 关键词:光刻胶;曝光;烘焙;显影;前景 Abstract: photoetching lithography (is) through a series of steps will produce wafer surface film of certain parts of the process, remove after this, wafer surface will stay with the film structure. The part can be eliminated within the aperture shape is thin film or residual island. Keywords: the photoresist, Exposure; Bake; Enhancement; prospects

目录 第一章绪论 (2) 第二章光刻技术的原理 (3) 第三章光刻技术的工艺过程 (4) 1基本光刻工艺流程—从表面准备到曝光 (4) 1.1光刻十步法 (4) 1.2基本的光刻胶化学物理属性 (4) 1.2.1组成 (4) 1.2.2光刻胶的表现要素 (4) 1.2.3正胶和负胶的比较 (5) 1.2.4光刻胶的物理属性 (5) 1.3光刻工艺剖析 (5) 1.3.1表面准备 (5) 1.3.2涂光刻胶 (5) 1.3.3软烘焙 (6) 1.3.4对准和曝光(A&E) (6) 2基本光刻工艺流程—从曝光到最终检验 (6) 2.1显影 (6) 2.1.1负光刻胶显影 (6) 2.1.2正光刻胶显影 (7) 2.1.3湿法显影 (7) 2.1.4干法(或等离子)显影 (7) 2.2硬烘焙 (7) 2.3显影检验(develop inspect DI) (7) 2.3.1检验方法 (8) 2.3.2显影检验拒收的原因 (8) 2.4刻蚀 (8) 2.4.1湿法刻蚀 (8) 2.4.2干法刻蚀(dry etching) (9) 2.5光刻胶的去除 (10) 2.6最终目检 (10) 第四章光刻技术的发展与现状 (11) 1 .EUV 光刻技术 (11) 2 .PREVAIL 光刻技术 (12) 3.纳米压印光刻技术 (12) 4.展望 (14) 参考文献15

集成电路的现状与发展趋势

集成电路的现状与发展趋势 1、国内外技术现状及发展趋势 目前,以集成电路为核心的电子信息产业超过了以汽车、石油、钢铁为代表的传统工业成为第一大产业,成为改造和拉动传统产业迈向数字时代的强大引擎和雄厚基石。1999年全球集成电路的销售额为1250亿美元,而以集成电路为核心的电子信息产业的世界贸易总额约占世界GNP的3%,现代经济发展的数据表明,每l~2元的集成电路产值,带动了10元左右电子工业产值的形成,进而带动了100元GDP的增长。目前,发达国家国民经济总产值增长部分的65%与集成电路相关;美国国防预算中的电子含量已占据了半壁江山(2001年为43.6%)。预计未来10年内,世界集成电路销售额将以年平均15%的速度增长,2010年将达到6000~8000亿美元。作为当今世界经济竞争的焦点,拥有自主版权的集成电路已曰益成为经济发展的命脉、社会进步的基础、国际竞争的筹码和国家安全的保障。 集成电路的集成度和产品性能每18个月增加一倍。据专家预测,今后20年左右,集成电路技术及其产品仍将遵循这一规律发展。集成电路最重要的生产过程包括:开发EDA(电子设计自动化)工具,利用EDA进行集成电路设计,根据设计结果在硅圆片上加工芯片(主要流程为薄膜制造、曝光和刻蚀),对加工完毕的芯片进行测试,为芯片进行封装,最后经应用开发将其装备到整机系统上与最终消费者见面。 20世纪80年代中期我国集成电路的加工水平为5微米,其后,经历了3、1、0.8、0.5、0.35微米的发展,目前达到了0.18 微米的水平,而当前国际水平为0.09微米(90纳米),我国与之相差约为2-3代。 (1)设计工具与设计方法。随着集成电路复杂程度的不断提高,单个芯片容纳器件的数量急剧增加,其设计工具也由最初的手工绘制转为计算机辅助设计(CAD),相应的设计工具根据市场需求迅速发展,出现了专门的EDA工具供应商。目前,EDA主要市场份额为美国的Cadence、Synopsys和Mentor等少数企业所垄断。中国华大集成电路设计中心是国内唯一一家EDA开发和产品供应商。 由于整机系统不断向轻、薄、小的方向发展,集成电路结构也由简单功能转向具备更多和更为复杂的功能,如彩电由5片机到3片机直到现在的单片机,手机用集成电路也经历了由多片到单片的变化。目前,SoC作为系统级集成电路,能在单一硅芯片上实现信号采集、转换、存储、处理和I/O等功能,将数字电路、存储器、MPU、MCU、DSP等集成在一块芯片上实现一个完整系统的功能。它的制造主要涉及深亚微米技术,特殊电路的工艺兼容技术,设计方法的研究,嵌入式IP核设计技术,测试策略和可测性技术,软硬件协同设计技术和安全保密技术。SoC以IP复用为基础,把已有优化的子系统甚至系统级模块纳入到新的系统设计之中,实现了集成电路设计能力的第4次飞跃。

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浅谈系统仿真的现状和发展 一、系统仿真技术发展的现状 工程系统仿真作为虚拟设计技术的一部分,与控制仿真、视景仿真、结构和流体计算仿真、多物理场以及虚拟布置和装配维修等技术一起,在贯穿产品的设计、制造和运行维护改进乃至退役的全寿命周期技术活动中,发挥着重要的作用,同时也在满足越来越高和越来越复杂的要求。因此,工程系统仿真技术也就迅速地发展到了协同仿真阶段。其主要特征表现为: 1、控制器和被控对象的联合仿真:MATLAB+AMESIM,可以覆盖整个自动控制系统的全部要求。 2、被控对象的多学科、跨专业的联合仿真:AMESIM+机构动力学+CFD +THERMAL+电磁分析 3、实时仿真技术 实时仿真技术是由仿真软件与仿真机等半实物仿真系统联合实现的,通过物理系统的实时模型来测试成型或者硬件控制器。 4、集成进设计平台 现代研发制造单位,尤其是设计研发和制造一体化的大型单位,引进 PDM/PLM系统已经成为信息化建设的潮流。在复杂的数据管理流程中,系统仿真作为CAE工作的一部分,被要求嵌入流程,与上下游工具配合。 5、超越仿真技术本身 工程师不必是精通数值算法和仿真技术的专家,而只需要关注自己的专业对象,其他大量的模型建立、算法选择和数据前后处理等工作都交给软件自动完成。

这一技术特点极大地提高了仿真的效率,降低了系统仿真技术的应用门槛,避免了因为不了解算法造成的仿真失败。 6、构建虚拟产品 在通过建立虚拟产品进行开发和优化过程中,关注以各种特征值为代表的系统性能,实现多方案的快速比较。 二、系统仿真技术的发展趋势 1、屏弃单专业的仿真 单一专业仿真将退出系统设计的领域,专注于单一专业技术的深入发展。作为总体优化的系统级设计分析工具,必要条件之一是跨专业多学科协同仿真。 2、跟随计算技术的发展 随着计算技术在软硬件方面的发展,大型工程软件系统开始有减少模型的简化、减少模型解藕的趋势,力争从模型和算法上保证仿真的准确性。更强更优化的算法,配合专业的库,将提供大型工程对象的系统整体仿真的可能性。 在高性能计算方面,将支持包括并行处理、网格计算技术和高速计算系统等技术。 3、平台化 要求仿真工具能够提供建模、运算、数据处理(包括二次开发后的集成和封装)、数据传递等全部仿真工作流程要求的功能,并且通过数据流集成在更大的PDM/PLM平台上。同时,在时间尺度上支持全开发流程的仿真要求,在空间尺度上支持不同开发团队甚至是交叉型组织架构间的协同工作以及数据的管理。 4、整合和细分市场

机器视觉技术发展现状文献综述

机器视觉技术发展现状 人类认识外界信息的80%来自于视觉,而机器视觉就是用机器代替人眼来做 测量和判断,机器视觉的最终目标就是使计算机像人一样,通过视觉观察和理解 世界,具有自主适应环境的能力。作为一个新兴学科,同时也是一个交叉学科,取“信息”的人工智能系统,其特点是可提高生产的柔性和自动化程度。目前机器视觉技术已经在很多工业制造领域得到了应用,并逐渐进入我们的日常生活。 机器视觉是通过对相关的理论和技术进行研究,从而建立由图像或多维数据中获机器视觉简介 机器视觉就是用机器代替人眼来做测量和判断。机器视觉主要利用计算机来模拟人的视觉功能,再现于人类视觉有关的某些智能行为,从客观事物的图像中提取信息进行处理,并加以理解,最终用于实际检测和控制。机器视觉是一项综合技术,其包括数字处理、机械工程技术、控制、光源照明技术、光学成像、传感器技术、模拟与数字视频技术、计算机软硬件技术和人机接口技术等,这些技术相互协调才能构成一个完整的工业机器视觉系统[1]。 机器视觉强调实用性,要能适应工业现场恶劣的环境,并要有合理的性价比、通用的通讯接口、较高的容错能力和安全性、较强的通用性和可移植性。其更强调的是实时性,要求高速度和高精度,且具有非接触性、实时性、自动化和智能 高等优点,有着广泛的应用前景[1]。 一个典型的工业机器人视觉应用系统包括光源、光学成像系统、图像捕捉系统、图像采集与数字化模块、智能图像处理与决策模块以及控制执行模块。通过 CCD或CMOS摄像机将被测目标转换为图像信号,然后通过A/D转换成数字信号传送给专用的图像处理系统,并根据像素分布、亮度和颜色等信息,将其转换成数字化信息。图像系统对这些信号进行各种运算来抽取目标的特征,如面积、 数量、位置和长度等,进而根据判别的结果来控制现场的设备动作[1]。 机器视觉一般都包括下面四个过程:

无线传感器研究背景目的意义及现状与发展趋势教程文件

无线传感器研究背景目的意义及现状与发展趋势 1 研究背景 随着无线技术的快速发展和日趋成熟,无线通信也发展到一定的阶段,其发展的技术越来越成熟,方向也越来越多,越来越重要,大量的应用方案开始采用无线技术进行数据采集和通信。 微机电系统和低功耗高集成数字设备的发展,使得低成本、低功耗、小体积的传感器节点得以实现。这样的节点配合各类型的传感器,可组成无线传感器网络(WSN)。无线传感网络是一种开创了新的应用领域的新兴概念和技术。广泛应用于战场监视、大规模环境监测和大区域内的目标追踪等领域。传感技术、传感网络已经被认定为最重要的研究之一。因为无线传感器网络节点一般采用电池供电,工作环境通常比较恶劣,而且数量大、更换非常困难,所以低功耗是无线传感器网络最重要的设计准则之一,因此,它迫切需要对传统的嵌入式应用开发进行更新和改进,需要精心设计的软硬件系统,以使其可靠而耐用。 2003年,美国《技术评论》杂志论述未来新兴十大技术时,WSN被列为第一;美国《今日防务》杂志更认为WSN的应用和发展将引起一场划时代的军事技术革命和未来战争的变革。可以预测,WSN是信息感知和采集的一场革命,是21世纪最重要的技术之一[2]。低功耗无线传感模块,便是组成无线传感网络的节点。此方面的研究由来已久,是计算机应用的扩展,采用了大规模集成电路和嵌入式技术,使用智能微处理器对采集到的信息进行处理和加工。现已广泛应用于社会建设的各个层面和人们的日常生活当中。但过去的研究有的只考虑低功耗而性能不高,有的性能高但是功耗太大。 因此,在无线传感技术应用如此广泛的今天,在保证无线传感模块性能的同时又能实现其低功耗具有一定的理论和现实意义。 2 研究目的及意义 2.1 研究目的 当前对于无线传感技术的研究仍然处在一个高速发展的阶段,低功耗就是其发展方向之一,而低功耗与高性能的结合实现还不完全。因此,为了更好的实现无线传感模块的功能,增加模块的可靠性和使用寿命,通过对无线传感节点的硬件功耗的分析,确定无线传感模块各单元的基本功率消耗,并进行相应比较,确定需重点降耗的单元,在此基础上结合当前对低功耗无线传感模块的研究,通过对比分析选择合适的芯片完成对低功耗无线传输模块的自主设计和制作。并辅助软件开发人员完成各子模块的驱动编写,实现低功耗无线传感模块的整体通信功能。

浅谈无线通信技术的发展趋势

浅谈无线通信技术的发展趋势 【摘要】随着科技的进步,通信技术也在不断的发展,无线通信技术也可以实现更加快速的信息传递,为社会的现代化发展提供更加有力的保障,本文以现代无线通信技术的发展为基本研究对象,对无线通信技术的现状进行分析,并研究了未来的无线通信发展。 【关键词】无线通信技术现状发展前景 现代通信技术正朝着高效和绿色的方向不断发展,非传统的通信技术相比也有很大的进步,随着科学技术的不断改变,人们不断提升着无线通信技术的更新和速度,我国无线通信技术也日益完善和成熟,实现了更加高速的通信事业的发展。 一、无线通信的发展特点 无线通信技术具有两个基本的特点,首先,我国移动通信的使用量不断的增加,人们对无线网络的需求也越来越高,通信技术正在不断的更新和发展,无线通信技术也在不断的提高。近年来,更加科学的无线通信技术不断的投入使用,使我国的无线通信技术不断的向前发展,其次,无线通信不受空间和时间的约束,为无线通信事业的发展提供了更好的条件。无线通信技术另一个特点就是移动通信的公众使

用数量正在急剧上升,同时移动通信无线网络的速度和普及率都在不断的增加,为人们提供了更多的便利,也给运营商带来更多的财富。 二、无线通信技术的发展状况 无线通信技术是当前通信事业发展的,核心,无线通信技术正在不断的进步,在这个过程中,无线通信技术的发展呈现以下特点: 2.1宽带固定无线接入技术快速发展 宽带固定无线接入技术具有其优点,因为他网络速度快,且具有一定的灵活性,因此被人们广泛的使用和推广,也为无线接入技术的发展奠定了基本的基础,但宽带固定无线接入技术也存在一定的缺点,比如其技术到目前为止还不太成熟,也容易受到天气的影响而导致网络不佳的情况。为了更加突出地反映宽带固定无线技术的优点,在使用的过程中应注意扬长避短。 2.2蓝牙技术的不断发展 蓝牙技术的使用主要解决了无线通信技术短距离内的通信问题,另一方面蓝牙技术的使用也可以实现数据信息的短距离传送,通过蓝牙设备进行连接,这是无线通信技术未来发展的重要方向。 2.3 Wimax技术的发展 Wimax技术能够提高无线覆盖率,因此是目前无线通信

光刻技术及其应用的状况和未来发展

光刻技术及其应用的状况和未来发展 光刻技术及其应用的状况和未来发展1 引言 光刻技术作为半导体及其相关产业发展和进步的关键技术之一,一方面在过去的几十年中发挥了重大作用;另一方面,随着光刻技术在应用中技术问题的增多、用户对应用本身需求的提高和光刻技术进步滞后于其他技术的进步凸显等等,寻找解决技术障碍的新方案、寻找COO更加低的技术和找到下一俩代可行的技术路径,去支持产业的进步也显得非常紧迫,备受人们的关注。就像ITRS对未来技术路径的修订一样,上世纪基本上3~5年修正一次,而进入本世纪后,基本上每年都有修正和新的版本出现,这充分说明了光刻技术的重要性和对产业进步的影响。如图1所示,是基于2005年ITRS对未来几种可能光刻技术方案的预测。也正是基于这一点,新一轮技术和市场的竞争正在如火如荼的展开,大量的研发和开发资金投入到了这场竞赛中。因此,正确把握光刻技术发展的主流十分重要,不仅可以节省时间和金钱,同时可以缩短和用户使用之间的周期、缩短开发投入的回报时间,因为光刻技术开发的投入比较庞大。 2 光刻技术的纷争及其应用状况 众说周知,电子产业发展的主流和不可阻挡的趋势是"轻、薄、短、小",这给光刻技术提出的技术方向是不断提高其分辨率,即提高可以完成转印图形或者加工图形的最小间距或者宽度,以满足产业发展的需求;另一方面,光刻工艺在整个工艺过程中的多次性使得光刻技术的稳定性、可靠性和工艺成品率对产品的质量、良率和成本有着重要的影响,这也要求光刻技术在满足技术需求的前提下,具有较低的COO和COC。因此,光刻技术的纷争主要是厂家可以提供给用户什么样分辨率和产能的设备及其相关的技术。 以Photons为光源的光刻技术 2.1 以Photons为光源的光刻技术 在光刻技术的研究和开发中,以光子为基础的光刻技术种类很多,但产业化前景较好的主要是紫外(UV)光刻技术、深紫外(DUV)光刻技术、极紫外(EUV)光刻技术和X射线(X-ray)光刻技术。不但取得了很大成就,而且是目前产业中使用最多的技术,特别是前两种技术,在半导体工业的进步中,起到了重要作用。 紫外光刻技术是以高压和超高压汞(Hg)或者汞-氙(Hg-Xe)弧灯在近紫外(350~450nm)的3条光强很强的光谱(g、h、i线)线,特别是波长为365nm的i线为光源,配合使用像离轴照明技术(OAI)、移相掩模技术(PSM)、光学接近矫正技术(OPC)等等,可为0.35~0.25μm的大生产提供成熟的技术支持和设备保障,在目前任何一家FAB中,此类设备和技术会占整个光刻技术至少50%的份额;同时,还覆盖了低端和特殊领域对光刻技术的要求。光学系统的结构方面,有全反射式(Catoptrics)投影光学系统、折反射式(Catadioptrics)系统和折射式(Dioptrics)系统等,如图2所示。主要供应商是众所周知的ASML、NIKON、CANON、ULTRATECH 和SUSS MICROTECH等等。系统的类型方面,ASML以提供前工程的l:4步进扫描系统为主,分辨率覆盖0.5~0.25μm:NIKON以提供前工程的1:5步进重复系统和LCD的1:1步进重复系统为主,分辨率覆盖0.8~0.35μm和2~0.8μm;CANON以提供前工程的1:4步进重复系统和LCD的1:1步进重复系统为主,分辨率也覆盖0.8~0.35μm和1~0.8μm;ULTRATECH以提供低端前工程的1:5步进重复系统和特殊用途(先进封装/MEMS/,薄膜磁头等等)的1:1步进重复系统为主;而SUSS MICTOTECH以提供低端前工程的l:1接触/接近式系统和特殊用途(先进封装/MEMS/HDI等等)的1:1接触/接近式系为主。另外,在这个领域的系统供应商还有USHlO、TAMARACK和EV Group等。 深紫外技术

系统仿真技术发展现状

系统仿真技术发展现状和趋势 工程系统的仿真,起源于自动控制技术领域。从最初的简单电子、机械系统,逐步发展到今天涵盖机、电、液、热、气、电、磁等各个专业领域,并且在控制器和执行机构两个方向上飞速发展。 控制器的仿真软件,在研究控制策略、控制算法、控制系统的品质方面提供了强大的支持。随着执行机构技术的发展,机、电、液、热、气、磁等驱动技术的进步,以高可靠性、高精度、高反应速度和稳定性为代表的先进特征,将工程系统的执行品质提升到了前所未有的水平。相对控制器本身的发展,凭借新的加工制造技术的支持,执行机构技术的发展更加富于创新和挑战,而对于设计、制造和维护高性能执行机构,以及构建一个包括控制器和执行机构的完整的自动化系统也提出了更高的要求。 AMESIM软件正是能够提供平台级仿真技术的工具。从根据用户需求,提供液压、机械、气动等设计分析到复杂系统的全系统分析,到引领协同仿真技术的发展方向,AMESIM的发展轨迹和方向代表了工程系统仿真技术的发展历程和趋势。 一、系统仿真技术发展的现状 工程系统仿真作为虚拟设计技术的一部分,与控制仿真、视景仿真、结构和流体计算仿真、多物理场以及虚拟布置和装配维修等技术一起,在贯穿产品的设计、制造和运行维护改进乃至退役的全寿命周期技术活动中,发挥着重要的作用,同时也在满足越来越高和越来越复杂的要求。因此,工程系统仿真技术也就迅速地发展到了协同仿真阶段。其主要特征表现为: 1、控制器和被控对象的联合仿真:MATLAB+AMESIM,可以覆盖整个自动控制系统的全部要求。 2、被控对象的多学科、跨专业的联合仿真:AMESIM+机构动力学+CFD+THERMAL +电磁分析 3、实时仿真技术 实时仿真技术是由仿真软件与仿真机等半实物仿真系统联合实现的,通过物理系统的实时模型来测试成型或者硬件控制器。 4、集成进设计平台 现代研发制造单位,尤其是设计研发和制造一体化的大型单位,引进PDM/PLM 系统已经成为信息化建设的潮流。在复杂的数据管理流程中,系统仿真作为CAE 工作的一部分,被要求嵌入流程,与上下游工具配合。 5、超越仿真技术本身 工程师不必是精通数值算法和仿真技术的专家,而只需要关注自己的专业对象,其他大量的模型建立、算法选择和数据前后处理等工作都交给软件自动完成。这一技术特点极大地提高了仿真的效率,降低了系统仿真技术的应用门槛,避免了因为不了解算法造成的仿真失败。 6、构建虚拟产品 在通过建立虚拟产品进行开发和优化过程中,关注以各种特征值为代表的系统性能,实现多方案的快速比较。 二、系统仿真技术的发展趋势 2.1、屏弃单专业的仿真

语音识别发展现状与展望

中国中文信息学会第七次全国会员代表大会 暨学会成立30周年学术会议 语音识别发展现状与展望中科院自动化研究所徐波 2011年12月4日

报告提纲 ?语音识别技术现状及态势?语音识别技术的行业应用?语音识别技术研究方向?结论与展望

2010年始语音识别重新成为产业热点?移动互联网的兴起成为ASR最重要的应用环境。在Google引领下,互联网、通信公司纷纷把语音识别作为重要研究方向 –Android系统内嵌语音识别技术,Google语音 翻译等; –iPhone4S 上的Siri软件; –百度、腾讯、盛大、华为等都进军语音识别领 域; –我国语音技术领军企业讯飞2010年推出语音云识别、讯飞口讯 –已有的QQ2011版语音输入等等

成熟度分析-技术成熟度曲线 ?美国市场调查咨询公司Gartner于2011年7月发布《2011新兴技术成熟度曲线》报告:

成熟度分析-新兴技术优先矩阵?Gartner评出了2011年具有变革作用的技术,包括语音识别、语音翻译、自然语言问答等。其中语音翻译和自然语言问答有望在5-10年内获得大幅利用,而语音识别有望在2-5年内获得大幅利用;

三十年语音识别技术发展 ---特征提取与知识方面?MFCC,PLP,CMS,RASTA,VTLN;?HLDA, fMPE,neural net-based features ?前端优化 –融入更多特征信息(MLP、TrapNN、Bottle Neck Features等) ?特征很大特点有些是跟模型的训练算法相匹配?大规模FSN图表示,把各种知识源集中在一起–bigram vs. 4-gram, within word dependencies vs. cross-word

MIMO无线技术的研究现状与发展趋势

MIMO无线技术的研究现状与发展趋势 2009-07-28 17:19:47 https://www.360docs.net/doc/702193909.html, 来源:互联网 摘要MIMO无线技术是通信领域的一项重要技术突破,堪称新一代无线通信系统中的关键技术之一。文章详细探讨了MIM0无线通信技术的原理,并与智能天线技术进行对比,分析了国内外研究现状与发展趋势,包 ... 摘要 MIMO无线技术是通信领域的一项重要技术突破,堪称新一代无线通信系统中的关键技术之一。文章详细探讨了MIM0无线通信技术的原理,并与智能天线技术进行对比,分析了国内外研究现状与发展趋势,包括MIMO的算法开发、信道建模、天线设计、测试平台构建、芯片开发与技术标准化进展等,为深入认识与研究MIM0通信技术奠定了基础。 1、引言 随着无线互联网多媒体通信的快速发展,无线通信系统的容量与可靠性亟待提升,常规单天线收发通信系统面临严峻挑战。采用常规发射分集、接收分集或智能天线技术已不足以解决新一代无线通信系统的大容量与高可靠性需求问题。可幸的是,结合空时处理的多天线技术——多入多出(MIMO)通信技术,提供了解决该问题的新途径。它在无线链路两端均采用多天线,分别同时接收与发射,能够充分开发空间资源,在无需增加频谱资源和发射功率的情况下,成倍地提升通信系统的容量与可靠性。然而,与常规单天线收发通信系统相比,MIMO通信系统中多天线的应用面临大量亟待研究的问题。 2、MIMO无线通信技术 2.1传统单天线系统向多天线系统演进 传统无线通信系统采用一副发射天线和一副接收天线,称作单入单出(SISO)系统。SISO系统在信道容量上具有一个不可突破的瓶颈——Shannon容量限制。针对移动通信中的多径衰落与提高链路的稳定性,人们提出了天线分集技术。而将天线分集与时间分集联合应用,还能获得空间维与时间维的分集效益。因此,从传统单天线系统向多天线系统演进是无线通信发展的必然趋势。 2.2智能天线向多天线系统演进

激光光刻技术的研究与发展

第41卷第5期红外与激光工程2012年5月Vol.41No.5Infrared and Laser Engineering May.2012 激光光刻技术的研究与发展 邓常猛1,2,耿永友1,吴谊群1,3 (1.中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料重点实验室,上海201800; 2.中国科学院研究生院,北京100049; 3.功能无机材料化学省部共建教育部重点实验室(黑龙江大学),黑龙江哈尔滨150080) 摘要:光刻技术作为制备半导体器件的关键技术之一将制约着半导体行业的发展和半导体器件的性能。随着半导体工业的发展,集成电路的特征尺寸越来越小,光刻技术将面临新的挑战。分析了激光光刻技术,包括投影式光刻和激光无掩膜光刻技术的研究现状,着重介绍了极紫外光刻(EUVL)作为下一代光刻技术的发展前景和技术难点、激光无掩膜光刻技术的发展,特别是激光近场扫描光刻、激光干涉光刻、激光非线性光刻等新技术的最新进展及其在高分辨率纳米加工领域的应用前景。 关键词:投影式光刻;无掩膜光刻;发展趋势 中图分类号:TN305.7文献标志码:A文章编号:1007-2276(2012)05-1223-09 Research development of laser lithography technology Deng Changmeng1,2,Geng Yongyou1,Wu Yiqun1,3 (1.Key Laboratory of Material Science and Technology for High Power Lasers,Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics,Chinese Academy of Sciences,Shanghai201800,China;2.Graduate University of the Chinese Academy of Sciences,Beijing100049,China;3.Key Laboratory of Functional Inorganic Material Chemistry(Heilongjiang University), Ministry of Education,Harbin150080,China) Abstract:Lithography technology,as one of the key technologies in the manufacture of semiconductor devices,has played an important role in the development of semiconductor industry.As the critical dimension of integrated circuit is decreased to smaller and smaller,lithography technology will face new challenges.In this review,the progress and status on laser lithography were presented,including projection lithography and laser maskless lithography.The foreground and technology challenges of extreme ultraviolet lithography(EUVL),which was considered to be the next generation lithography,were analyzed.The progress and application prospect in high-resolution nano lithography patterning of laser maskless lithography,especially of near-field scanning optical microscopy,laser interference and nonlinearity lithography etc,were discussed. Key words:projection lithography;maskless lithography;development trend 收稿日期:2011-09-05;修订日期:2011-10-03 基金项目:国家自然科学基金(60977004,50872139) 作者简介:邓常猛(1985-),男,博士生,主要从事光刻技术和光刻材料方面的研究。Email:chmdeng@https://www.360docs.net/doc/702193909.html, 导师简介:吴谊群(1957-),女,研究员,博士生导师,主要从事高密度光存储和光电子学功能材料方面的研究。Email:yqwu@https://www.360docs.net/doc/702193909.html,

人脸识别技术的应用背景及研究现状

1.人脸识别技术的应用 随着社会的不断进步以及各方面对于快速有效的自动身份验证的迫切要求,生物特征识别技术在近几十年中得到了飞速的发展。作为人的一种内在属性,并且具有很强的自身稳定性及个体差异性,生物特征成为了自动身份验证的最理想依据。当前的生物特征识别技术主要包括有:指纹识别,视网膜识别,虹膜识别,步态识别,静脉识别,人脸识别等。与其他识别方法相比,人脸识别由于具有直接,友好,方便的特点,使用者无任何心理障碍,易于为用户所接受,从而得到了广泛的研究与应用。除此之外,我们还能够对人脸识别的结果作进一步的分析,得到有关人的性别,表情,年龄等诸多额外的丰富信息,扩展了人脸识别的应用前景。当前的人脸识别技术主要被应用到了以下几个方面:(1)刑侦破案公安部门在档案系统里存储有嫌疑犯的照片,当作案现场或通过其他途径获得某一嫌疑犯的照片或其面部特征的描述之后,可以从数据库中迅速查找确认,大大提高了刑侦破案的准确性和效率。 (2)证件验证在许多场合(如海口,机场,机密部门等)证件验证是检验某人身份的一种常用手段,而身份证,驾驶证等很多其他证件上都有照片,使用人脸识别技术,就可以由机器完成验证识别工作,从而实现自动化智能管理。 (3)视频监控在许多银行,公司,公共场所等处都设有24小时的视频监控。当有异常情况或有陌生人闯入时,需要实时跟踪,监控,识别和报警等。这需要对采集到的图像进行具体分析,且要用到人脸的检测,跟踪和识别技术。 (4)入口控制入口控制的范围很广,既包括了在楼宇,住宅等入口处的安全检查,也包括了在进入计算机系统或情报系统前的身份验证。 (5)表情分析根据人脸图像中的面部变化特征,识别和分析人的情感状态,如高兴,生气等。此外,人脸识别技术还在医学,档案管理,人脸动画,人脸建模,视频会议等方面也有着巨大的应用前景。 2.人脸识别技术在国外的研究现状 当前很多国家展开了有关人脸识别的研究,主要有美国,欧洲国家,日本等,著名的研究机构有美国MIT的Media lab,AI lab,CMU的Human-Computer I nterface Institute,Microsoft Research,英国的Department of Engineerin g in University of Cambridge等。综合有关文献,目前的方法主要集中在以下几个方面: (1)模板匹配 主要有两种方法,固定模板和变形模板。固定模板的方法是首先设计一个或几个参考模板,然后计算测试样本与参考模板之间的某种度量,以是否大于阈值来判断测试样本是否人脸。这种方法比较简单,在早期的系统中采用得比较

光刻技术及其应用的现状及展望

光刻技术及其应用的现状与展望

1 引言 光刻技术作为半导体及其相关产业发展和进步的关键技术之一,一方面在过去的几十年中发挥了重大作用;另一方面,随着光刻技术在应用术问题的增多、用户对应用本身需求的提高和光刻技术进步滞后于其他技术的进步凸显等等,寻找解决技术障碍的新方案、寻找COO更加低的技术和找到下一俩代可行的技术路径,去支持产业的进步也显得非常紧迫,备受人们的关注。就像ITRS对未来技术路径的修订一样,上世纪基本上3~5年修正一次,而进入本世纪后,基本上每年都有修正和新的版本出现,这充分说明了光刻技术的重要性和对产业进步的影响。2005年ITRS对未来几种可能光刻技术方案进行预测。也正是基于这一点,新一轮技术和市场的竞争正在如火如荼的展开,大量的研发和开发资金投入到了这场竞赛中。因此,正确把握光刻技术发展的主流十分重要,不仅可以节省时间和金钱,同时可以缩短和用户使用之间的周期、缩短开发投入的回报时间,因为光刻技术开发的投入比较庞大。 2 光刻技术的现状及其应用状况

众说周知,电子产业发展的主流和不可阻挡的趋势是“轻、薄、短、小”,这给光刻技术提出的技术方向是不断提高其分辨率,即提高可以完成转印图形或者加工图形的最小间距或者宽度,以满足产业发展的需求;另一方面,光刻工艺在整个工艺过程中的多次性使得光刻技术的稳定性、可靠性和工艺成品率对产品的质量、良率和成本有着重要的影响,这也要求光刻技术在满足技术需求的前提下,具有较低的COO和COC。因此,光刻技术的纷争主要是厂家可以提供给用户什么样分辨率和产能的设备及其相关的技术。 2.1 以Photons为光源的光刻技术 在光刻技术的研究和开发中,以光子为基础的光刻技术种类很多,但产业化前景较好的主要是紫外(UV)光刻技术、深紫外(DUV)光刻技术、极紫外(EUV)光刻技术和X射线(X-ray)光刻技术。不但取得了很大成就,而且是目前产业中使用最多的技术,特别是前两种技术,在半导体工业的进步中,起到了重要作用。 紫外光刻技术是以高压和超高压汞(Hg)或者汞-氙(Hg-Xe)弧灯在近紫外(350~450nm)的3条光强很强的光谱(g、h、i线)线,特别是波长为365nm的i线为光源,配合使用像离轴照明技术(OAI)、移相掩模技术(PSM)、光学接近矫正技术(OPC)等等,可为0.35~0.25μm的大生产提供成熟的技术支持和设备保障,在目前任何一家FAB中,此类设备和技术会占整个光刻技术至少50%的份额;同时,还覆盖了低端和特殊领域对光刻技术的要求。光学系统的结构方面,有全反射式(Catoptrics)投影光学系统、折反射式(Catadioptrics)系统和折射式(Dioptrics)系统等。主要供应商是众所周知的ASML、NIKON、CANON、ULTRATECH和SUSS MICROTECH等等。系统的类型方面,ASML以提供前工

电力系统仿真分析技术的发展趋势.doc

电力系统仿真分析技术的发展趋势 0 引言 随着化石能源逐渐枯竭,发展利用清洁能源和可再生能源成为世界各国的必然选择,也是新能源变革的主要内容。中国新能源变革的目标可以归纳为:以可再生能源逐步替代化石能源,提高化石能源的清洁高效利用水平,实现可再生能源(水能、风能、太阳能、地热能、生物质能)和核能利用在一次能源消耗占较大份额。在新能源变革形势下,电网的使命也将发生变化,智能电网是适应新能源变革和承担电网新使命的新一代电网。 中国自 21 世纪初就提出了建设特高压电网的设想,并逐步加以实施,近两年根据国际电力系统发展的最新动向,又进一步提出了建设智能电网的宏伟蓝图。中国的智能电网是以特高压电网为骨干网架、各级电网协调发展的坚强网架为基础,以通信信息平台为支撑,具有信息化、自动化、互动化特征,包含电力系统的发电、输电、变电、配电、用电和调度各个环节的现代电网。与此同时,随着电网规模的不断扩大,新能源、新设备的不断加入,当今电力系统已经日益变得复杂,这使得运行人员更加难于对其进行监视、分析和控制。近些年,国内外不断发生大规模的停电事故,这些事故都造成了很大的经济损失和社会影响,不断地为人们敲响警钟,也给电网的安全稳定运行提出了更高的要求。 在上述的大停电事故中,电力系统从第一次元件故障,到整个系统崩溃,一般会有一个较长的过程,如果这期间运行人员能够进行正确的处理,大停电是可以避免的。换言之,电网缺乏有效的在线监测和预警系统,不能及时掌握实时电网稳定情况并采取有效的控制措施是导致大停电事故发生的重要原因。 电力系统仿真分析是电力系统规划设计和调度运行的基础,涵盖的范围非常广泛,包括从稳态分析、动态分析到暂态分析的各个方面。根据实时电力系统动态过程响应时间与系统仿真时间的关系,可分为非实时仿真和实时仿真;根据仿真的数据来源,又可分为离线仿真、在线仿真。其中在线仿真是实现在线预警和决策支持的必要手段。 电力系统仿真分析涵盖电力系统、数学、计算机、通信等多学科技术领域,面对智能电网建设提出的要求,需要不断地引入先进的计算机和通信技术以及数学方法等,推动仿真分析技术在仿真的准确性、快速性、灵活性等方面的发展。具体体现在以下几个方面:1)可实现更大规模电网的仿真计算,同时仿真数据的粗细程度可根据需要自动调整。 2)仿真计算应具有更快的速度及更高的准确性。 3)仿真计算应具备更多的效用,并与环境、经济等相关领域相结合。 4)仿真建模应具备更大的灵活性,以适应智能电网中层出不穷的新元件、新设备建模的需要。 5)需加强对电力系统智能建模方法的应用以及仿真结果的智能化分析。 6)电网自愈对实时决策控制的要求。要求能实时跟踪评价电力系统行为,一旦发生故障,立即进行快速仿真并提供决策控制支持,防止大面积停电,并快速从紧急状态恢复到正常状态。 7)仿真试验应具备更大的灵活性。未来的仿真试验将可实现对多个异地试验设备的同步测试。 8)仿真计算应适应新的计算模式,如云计算、协同计算等。 9)可实现智能人机交互仿真,显著提高用户操作的便捷性和仿真系统的使用效率。 10)数据融合技术在仿真分析中应用,提高对仿真分析中对多源海量数据的整合能力。 本文将依据计算机、网络、通信等技术当前和未来可能的发展,探讨和预测新的先进计算技术(如云计算等)及其在电力系统仿真分析中的应用。 1 发展现状 1.1 电力系统仿真分析技术概述 如图 1 所示,电力系统仿真分析技术可分为电力系统建模、电力系统数字仿真分析方法、电力系统在线仿真分析和电力系统实时仿真等4项技术,其中电力系统建模技术包括建模方法和模型研究技术,电力系统数字仿真分析方法主要指针对各类仿真应用的基础方法,后2种技术则分别针对在线应用和实时应用。其中先进计算技术包括计算机及网络、与电力系统仿真分析相关的计算数学和计算模式这3项技术。下文分别描述上述各项技术的发展现状。

软光刻技术的研究现状

大连理工大学研究生试卷 系别:机械工程学院 课程名称:微制造与微机械电子系统 学号: 姓名: 考试时间:2015年1 月15日

PDMS软光刻技术的研究现状 摘要:软光刻技术作为一种新型的微图形复制技术,和传统的光刻技术相比,软光刻技术更加灵活,而且 有许多技术方面的优势。软光刻技术已经广泛应用于光学、生物技术、微电子、传感器以及微全分析系统 的加工诸领域,并且取得了一定的进展。本文,从软光刻技术的原理、分类、国内外以及我们实验室的应 用上来说明软光刻技术的研究现状,是一种很有发展的重要光刻技术。 关键词:软光刻技术研究现状应用 Research Status of PDMS Soft Lithography Abstract:Soft lithography technology as a new type of micro-replication technology graphics, and compared to conventional lithographic techniques, soft lithography technology is more flexible and has many technical advantages. Soft lithography technology has been widely used in optical processing areas such as biotechnology, microelectronics, sensors and micro total analysis system, and has made some progress. In this paper, the principle soft lithography techniques, classification, abroad and in our lab up on the status of the application of soft lithography, photolithography technique is a very important development. Keywords:Soft lithography technologyResearch StatusApplication 1. 软光刻技术概况 20世纪90年代末,一种新的微图形复制技术脱颖而出。该技术用弹性模(大多为PDMS 材料制作)替代传统光刻技术中使用的硬模来产生微结构或者微模具,被称作软光刻技术[1]。软光刻技术作为一种新型的微图形复制技术,和传统的光刻技术相比,软光刻技术更加灵活,而且有许多技术方面的优势,主要有:能制造复杂的多层结构或者三维结构,甚至能在不规则曲面上来制作模具,而且不受材料和化学表面的限制;能突破光刻技术100nm 的限制,实现更为精细的微加工等。此外,它所需设备比较简单,进而在制作成本上也比以前的光刻技术更经济使用。在普通的实验室环境下就能应用,因此软光刻是一种便宜、方便、适于实验室使用的技术。 目前,软光刻技术已经广泛应用于光学、生物技术、微电子、传感器以及微全分析系统的加工诸领域,并且取得了一定的进展。 1.1 软光刻技术的分类 软光刻的核心技术是制作弹性模印章(elastomeric stamp)。通过光刻蚀和模塑的方法,可以快速、高效的获得这种印章。PDMS,即聚二甲基硅氧烷,是软光刻中最常用的弹性模印章制作材料,在设计过程中应该注意防止在PDMS弹性模上产生缺陷,此外,由于PDMS 材料的弹性,过大的深宽比也会导致弹性模结构的倒塌。软光刻的关键技术包括:毛细管成模(micromolding in capillaries,MIMIC)、再铸模(replica molding,REM)、微接触印刷(microcontact printing,uCP)、溶剂辅助成模(solventassistedmicromolding,SAMIM)、

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