SWAGELOK扩增DRPTM系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出可人为调整的阀门

SWAGELOK扩增DRPTM系列铁弗龙隔膜阀产品线,推出

可人为调整的阀门

张弛

【期刊名称】《电子与封装》

【年(卷),期】2005(005)004

【摘要】全球领先的半导体设备元件供应厂商Swagelok日前宣布，推出Swagelok DRP系列超高纯度铁弗龙隔膜阀，可精确地控制流体，落实继续符合或超越超高纯度聚合系统元件SEMI Standard F57-0301标准的承诺。DRP 系列产品最新的架构应用相当广泛，包括具侵蚀性的CMP半流体、酸性、化学及超高纯度DI水配送系统。

【总页数】1页(46)

【关键词】隔膜阀;推出;产品线;M系列;Standard;阀门;调整;人为;超高纯度;DRP系列;设备元件;高纯度铁;SEMI;系统元件;系列产品;配送系统;半导体;半流体;CMP;侵蚀性

【作者】张弛

【作者单位】无

【正文语种】中文

【中图分类】TN305

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