用吉时利4200-SCS和590+CV分析仪测试MOS结构的界面态

用吉时利4200-SCS和590 CV分析仪测试MOS结构的界面态

作者：董金珠， 刘海涛， 张建新， 江美玲， 梁平治

作者单位：董金珠,刘海涛,张建新(中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100049)， 江美玲,梁平治(中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083)

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