电子气体化学品应用与安全培训资料
化学品安全操作培训
化学品安全管理 制度：建立完善 的化学品安全管 理制度，确保各 项安全措施得到 有效执行
化学品安全培训 与教育：加强员 工化学品安全培 训与教育，提高 员工安全意识和 操作技能
化学品安全管理制度的制定与执行
制定化学品安全管理制度：明确化学品安全管理的目标、原则、流程和 责任人
执行化学品安全管理制度：确保员工遵守安全操作规程，定期进行安全 检查和评估
培训员工：提高员工对化学品安全的认识和操作技能，增强安全意识
建立应急预案：针对可能发生的化学品事故，制定应急预案并进行演练， 确保员工能够迅速应对突发事件
化学品安全监督与检查的流程与标准
监督检查的流程：明确监督检查的目的、范 围和内容，制定详细的检查计划，按照规定 的程序进行现场检查，并记录检查结果。
化学品事故的预 防与处理
化学品事故的预防措施
严格遵守安全操作规程 定期进行设备检查和维护 加强员工安全培训和教育 建立应急预案和响应机制
化学品事故的处理流程与措施
立即疏散人员，确保人员安全
迅速报告相关部门，启动应急 预案
采取适当的措施，防止事故扩 大
对事故现场进行清理和恢复
化学品事故的报告与记录管理
提高员工安全意识，预防 事故发生
规范操作流程，确保生产 安全
增强员工应急处理能力， 减少损失
提高企业形象，增强社会 责任感
化学品安全培训的内容与形式
培训内容：化学品分类与标识、化学品危害与风险评估、化学品安全操作规程等 培训形式：线上培训、线下培训、现场操作培训等 培训对象：化学品使用人员、管理人员、技术人员等 培训效果评估：通过考试、操作考核等方式对培训效果进行评估
化学品安全操作培训
汇报人：
目录
安全使用化学品的培训教材
安全使用化学品的培训教材第一章介绍化学品在我们的日常生活中起着重要的作用，但同时也存在一定的安全风险。
正确地使用化学品是保证人身安全和环境安全的重要举措。
本培训教材旨在提供有关安全使用化学品的基本知识和技能，以帮助学员全面了解化学品的使用方法和注意事项，并实现安全操作的目标。
第二章化学品分类和标识2.1 化学品分类化学品可根据其性质和用途进行分类。
根据化学品的性质，我们可以将其分为酸性、碱性、腐蚀性、易燃性等。
而根据化学品的用途，我们可以将其分为溶剂、试剂、清洁剂等。
2.2 化学品标识为了保证化学品使用的安全性，各国都采用了化学品标识系统。
常见的标识包括化学品名称、危险性符号、危险性码等。
在使用化学品时，务必仔细阅读标签上的信息，并严格遵守相关规定。
第三章化学品存储和保存3.1 化学品存储要求正确地存储化学品是减少事故发生的重要措施。
化学品的存储环境应干燥、通风良好，并远离火源和易燃材料。
同时，不同种类的化学品应分开存放，以避免发生不必要的反应。
3.2 化学品保存方法化学品的保存方法应根据其性质和要求来确定。
一般来说，应将化学品保存在密封的容器中，并避免阳光直射。
部分化学品还需要储存在低温环境中，以延长其有效期。
第四章化学品使用的安全操作4.1 个人防护装备在使用化学品时，必须佩戴适当的个人防护装备，包括防护眼镜、防护手套、防护服等。
不同的化学品可能对人体造成不同的伤害，因此选择适合的个人防护装备至关重要。
4.2 操作前的准备工作在进行化学品操作之前，必须进行充分的准备工作。
这包括检查操作区域是否干净整洁，准备好所需工具和仪器，以及熟悉操作步骤和安全注意事项。
4.3 使用化学品的技巧在使用化学品时，应注意以下几点技巧：遵循正确的配比和使用方法、避免与其他化学品混合、小心处理易燃化学品等。
同时，操作过程中应做好通风和排放有害气体的措施。
第五章废弃化学品的处理废弃化学品的处理是保护环境的重要环节。
废弃化学品应分类存储，并遵循相关的废弃物管理法规。
化学品安全培训教材(大全)
化学品安全培训教材（大全）一、引言化学品在现代工业生产和日常生活中扮演着重要角色。
然而，化学品的使用也伴随着潜在的安全风险。
为了保障工作人员的生命安全和身体健康，提高化学品的安全管理水平，本教材对化学品安全知识进行了全面、系统的介绍，旨在帮助读者掌握化学品安全知识，提高化学品安全意识。
二、化学品基础知识1.化学品的定义与分类化学品是指一种或多种物质组成的物质，具有特定的物理、化学性质，可以用于生产、科研、生活等领域。
化学品按照其危险特性分为以下几类：（1）爆炸品：如硝化甘油、火药等。
（2）压缩气体和液化气体：如氧气、乙炔等。
（3）易燃液体：如汽油、酒精等。
（4）易燃固体、自反应物质和遇水放出易燃气体的物质：如镁粉、铝粉等。
（5）氧化性物质和有机过氧化物：如过氧化氢、高锰酸钾等。
（6）有毒物质和感染性物质：如氰化物、农药等。
（7）放射性物质：如铀、钴等。
（8）腐蚀性物质：如硫酸、盐酸等。
（9）其他危险物质：如有害废弃物、混合危险物质等。
2.化学品的安全标识化学品安全标识是化学品安全管理的重要手段，主要包括以下几种：（1）危险品标志：用于标识危险化学品的包装、容器、设备等。
（2）安全数据表（SDS）：提供化学品的危险特性、安全使用注意事项、应急处理措施等信息。
（3）化学品标签：提供化学品的名称、成分、危险特性、安全使用注意事项等信息。
三、化学品的安全管理1.化学品采购与储存（1）采购：应选择具有合法经营资质、信誉良好的供应商，确保化学品质量合格。
（2）验收：验收时需核对化学品名称、规格、数量、包装等信息，确保无误。
（3）储存：化学品应按照其危险特性分区、分类、分库储存，遵循“先进先出”的原则。
2.化学品使用与操作（1）使用：遵循“安全第一、预防为主”的原则，严格按照操作规程使用化学品。
（2）操作：操作人员应具备相应的专业知识、技能和操作经验，佩戴个人防护装备。
3.化学品废弃与处置（1）废弃：废弃化学品应交由具有危险废物经营资质的单位进行处理。
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事故报告程序
一旦发生化学品泄漏、火灾等事故 ，应立即启动应急预案，组织救援 力量进行处置，并及时向上级主管 部门报告。
事故调查与处理
应对事故进行深入调查，查明原因 和责任，总结经验教训，采取有效 措施防止类似事故再次发生。
03
化学品使用操作规范
个人防护措施及装备选择
皮肤防护
穿戴适当的防护服，如防化服、 围裙、袖套等，避免皮肤直接接 触化学品。
化学品安全数据表（SDS）解读
SDS定义
化学品安全数据表（SDS）是一份详细描述化学品的物理和化学性质、危险性、安全操作要求、应急处理措施 等信息的文件。
SDS内容解读
SDS内容包括化学品的识别信息、危险性概述、成分/组成信息、急救措施、消防措施、泄漏应急处理、操作处 置与储存、接触控制/个体防护、理化特性、稳定性和反应性、毒理学信息、生态学信息、废弃处置、运输信息 、法规信息以及其他信息等。通过对SDS的解读，可以全面了解化学品的危险性和安全操作要求，从而保障人 们的生命财产安全。
《中华人民共和国安全生产法》
规定了生产经营单位的安全生产保障、从业人员的安全生产权利义务、 安全生产的监督管理、生产安全事故的应急救援与调查处理等方面的内 容。
《危险化学品安全管理条例》
对危险化学品的生产、储存、使用、经营和运输等方面进行了详细规定 ，以保障人民生命财产安全。
03
《工作场所安全使用化学品规定》
05
应急管理与救援体系建设
应急预案编制和演练实施
应急预案重要性
明确应急预案在应对化学 品事故中的关键作用，包 括减轻事故后果、保障人 员安全等。
编制步骤
阐述应急预案的编制流程 ，包括危险源辨识、风险 评估、应急资源调查等。
电子气体化学品管理务实 2011Q4
电子气体化学品系统的操作安全管理
• 所有人员在对气体化学品进行操作时,必须正确 穿戴PPE
–
– – – – – –
呼吸防护具 噪音防护具 眼睛及脸部防护具 头部防护具 足部防护具 手部防护具 身体防护具
电子气体化学品系统的操作安全管理
Safety Management
电子气体化学品系统的操作安全管理
• 化学品桶的更换
Normal Operation
• 化学品桶的更换
电子气体化学品系统的日常操作
• 值班抄表,每日点检
Normal Operation
电子气体化学品系统的日常操作
• 对气体化学品用量每日统计并记录材料的保质 期. • 这些记录在每日晨会是都需要看.
ESG 用量统计
钢瓶保质期记录表
Jan-08
Feb-08
Mar-08
Apr-08
May-08
Jun-08
Jul-08
Aug-08
Sep-08
Oct-08
Nov-08
N2
capacity
forecast
FABXX N2 Unit Consumption & Wafer Out
300 270 240 50000 45000
(M / w 3 afer)
• 我们能提供哪些服务
系统运行风险诊断及改善，以确保系统的稳定运行。 系统运行作业规范编制及长期的技术支持。 帮助客户进行厂务营运团队建设,并进行人员培训，由正帆职 业培训学校资深教官通过封闭式教学，为客户输送高素质人才。 气体化学品运行管理服务（TGCM），通过专业团队对高危险性 系统进行全面的管理，使客户的系统更加安全。 工厂节能减排解决方案，是客户拥有一套绿色环保的厂务系统。 24小时全天候驻厂式维保服务，使客户的问题能在最短的时间 内得到圆满解决。 常用耗材及备件的供应，通过全国范围内众多服务网点的集中 采购，为客户提供最为优惠的价格。
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在处理废弃化学品时，应采取必要的防护措施，如佩戴个 人防护服、手套等，以保护工作人员的安全和健康。
03
化学品事故应急处理
化学品泄漏应急处理
化学品泄漏应急处理
在发生化学品泄漏时，应迅速撤离泄 漏污染区人员至上风处，并进行隔离 。同时切断火源，尽可能切断泄漏源 ，合理通风，加速扩散。
化学品安全培训(全)教 程课件
汇报人：可编辑 2023-12-25
目录
CONTENT
• 化学品基础知识 • 化学品安全操作规程 • 化学品事故应急处理 • 化学品安全防护措施 • 化学品安全法律法规与标准 • 化学品安全培训与教育
01
化学品基础知识
化学品的定义与分类
总结词
了解化学品的定义和分类是化学品安全培训的基础，有助于更好地理解和掌握 化学品的特性和危害。
全操作的重视程度。
减少事故发生
通过培训，使员工掌握正确的 化学品使用和处理方法，降低 事故发生的概率。
保障员工健康
通过培训，使员工了解如何预 防化学品对人体的危害，保护 员工的健康。
提高企业形象
通过培训，提升企业形象，增 强员工对企业的认同感和归属
感。
化学品安全培训的内容与方法
化学品分类与特性
培训员工了解化学品的分类、危险特 性、健康危害等信息。
配备急救箱和急救器材
在化学品工作区域附近提供急救设备 ，以便在发生意外时进行初步救治。
建立紧急联系机制
确保在发生意外时能够迅速联系到相 关部门和医疗机构进行救援。
05
化学品安全法律法规与 标准
国际化学品安全法律法规
化学品安全使用培训教材
化学品安全使用培训教材化学品是在工业生产、科学研究、农业生产等诸多领域中广泛应用的物质，在推动社会进步的同时，也带来了一定的安全隐患。
为了确保人员在使用化学品过程中的安全，培训教材的设计和编写至关重要。
下面是一份关于化学品安全使用的培训教材，通过培训学习使使用者能够正确、安全地操作化学品。
一、知识导入1.化学品的定义和分类- 化学品的定义及其在日常生活和工作中的普遍应用。
- 根据危险性对化学品分类的原则和常见分类。
二、化学品安全管理的基本原则1.化学品的储存和运输- 储存场所的选址和设计原则。
- 储存环境的温湿度、通风要求。
- 化学品储存区的标识和分区。
- 化学品运输中的注意事项。
2.化学品的个人防护措施- 化学品接触对人体的伤害途径。
- 个人防护用品的选择和使用方法。
三、化学品事故应急处理1.常见的化学品事故类型及应急处理方法- 化学品泄漏事故的不同类型及相应的处理方法。
- 化学品火灾事故的处理方法。
2.应急装置和设施- 应急装置和设施的种类和功能。
- 灭火器的选择和使用方法。
四、化学品安全操作技术1.化学品的正确使用和操作方法- 化学品的包装打开和倒装方法。
- 根据化学品性质正确选择使用的工具和设备。
2.化学品的标识和标签- 化学品标识和标签的含义及其使用方法。
- 常见标识和标签的解读。
五、案例分析与讨论1.常见的化学品安全事故案例- 对于曾经发生过的化学品安全事故进行案例分析，分析事故原因和教训。
2.化学品安全使用的注意事项- 在实际操作中应注意的重点和细节。
六、化学品安全使用的考核1.理论知识测试- 对于教材中所介绍的相关理论知识进行测试。
2.实际操作考核- 对于学员正确使用化学品和采取正确防护措施的能力进行实际操作考核。
通过本教材的学习，使用者能够全面掌握化学品安全使用的基本知识和操作技巧，并能在实践中灵活运用，确保化学品使用过程中的安全与环境保护。
同时，也提醒使用者在日常工作和生活中始终保持高度的安全意识，以防止潜在的危险和化学品事故的发生。
化学品安全管理培训教材(汇总)
化学品安全管理培训教材（汇总）一、引言化学品在生产、储存、运输和使用过程中，存在着诸多安全风险。
为了保障员工的生命安全和企业的财产安全，加强化学品安全管理至关重要。
本教材旨在提高员工对化学品安全管理的认识和技能，确保企业安全生产。
二、化学品基础知识1.化学品的定义与分类化学品是指由一种或多种物质组成的，具有确定化学结构和特定物理化学性质的物质。
根据危险特性的不同，化学品可分为以下几类：（1）爆炸品：遇火源、高温、撞击、摩擦等易发生爆炸的化学品。
（2）压缩气体和液化气体：压缩至一定压力或冷却至一定温度呈液态的气体。
（3）易燃液体：闪点低于60℃的液体。
（4）易燃固体、自反应物质和遇水放出易燃气体的物质：易燃固体、自反应物质以及遇水产生易燃气体的物质。
（5）氧化性物质和有机过氧化物：具有氧化性的物质和有机过氧化物。
（6）有毒物质和感染性物质：有毒物质和能引起感染的物质。
（7）放射性物质：能自然衰变并放射出一定能量的物质。
（8）腐蚀性物质：能与皮肤、黏膜、金属等发生化学反应的物质。
（9）杂项危险物质和物品：以上各类以外的危险物质和物品。
2.化学品的安全标识化学品安全标识是传递化学品危险特性的重要手段。
主要包括以下内容：（1）危险公示：化学品名称、危险特性、预防措施等。
（2）警示词：如“危险”、“警告”等。
（3）象形图：表示化学品危险特性的图形。
（4）危险说明：简要描述化学品的危险特性。
（5）防范说明：建议采取的预防措施。
三、化学品安全管理法规与标准1.相关法规《中华人民共和国安全生产法》：规定了企业安全生产的基本要求、法律责任等内容。
《危险化学品安全管理条例》：明确了危险化学品的生产、储存、使用、经营、运输等方面的安全管理要求。
《职业病防治法》：规定了职业病防治的基本制度和措施。
2.相关标准GB13690-2009《化学品分类和危险性公示通则》：规定了化学品的分类和危险性公示要求。
GB30000-2013《化学品分类、警示标签和危险说明》：规定了化学品的分类、警示标签和危险说明。
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大宗气体
N 、Ar、He、H 、O 长管拖车
用于大宗气体难于液 化气体
特殊气体
可燃气体 腐蚀性气体 毒性气体 氧化性气体 惰性气体
集气格
用于高压难于液化气 体
大宗气体：BSGS 非大宗气体：GC/GR
BSGS多配置加热器， 主要形式有：
ISO Tank、Tube Traller、Y-Cylinder
气体输送系统
2、气柜的作用：
⑴、实现对工艺设备的连续供气：采用双瓶切换系统； ⑵、安全地输送工艺气体至工艺设备：
①、对工艺设备的安全考虑：压力调节、气体净化、吹扫； ②、对操作人员的安全考虑：柜体隔离、排风系统、报警系统、紧急切断、 全自动控制系统； ③、对环境的安全考虑：工艺生产要求、气体的不同性质、当前项目预算、 将来项目扩展需求。
电子气体化学品 应用与安全
本节内容
一、气体输送系统 二、化学品输送系统 三、气体化学品监测系统 四、工艺安全管理及事故案例分析 五、个人防护用品（PPE）及应急反应 六、厂务运行管理实务
一、气体输送系统
1、半导体厂常用气体分类及其输送方式
半导体厂常用气体 属性
输送方式
液罐
备注
多用于液化气体，低 温液体，体积膨胀率 大，会产生烟雾
当探测器检测到火焰产生的 红外线（IR）或紫外线（UV） 工作环境要求：-10~50℃， 时，经过内部逻辑判断，输 相对湿度10~90%；输出信号： 出报警信号给出GMS系统联 继电器，RS485通讯 动
气体化学品监测系统
液体泄漏感知带 液体泄漏传感器 浮球液位开关 报警塔灯
当化学品遇到感知带，引起 感知带导电孔间短路，导致 感知带阻值改变，从而判断 是否有化学品泄漏
3、化学品输送系统操作安全
⑴、化学系统运行需要的证照与认证 操作人员的安全管理非常重要，所有操作人员应具备以下资质：
压力容器操作许可证 危险化学品操作许可证 叉车操作许可证（如有使用）
化学品输送系统
⑵、熟知化学品安全技术说明书（MSDS/CSDS） 操作人员可以从中学习到化学品的特性，毒性，危害性，中毒预防措施，紧急 事故处理等。 ⑶、化学品系统的PPE使用 如酸桶更换作业时需使用的PPE：全面式呼吸器、防酸手套、防化服、安全鞋。
⑴、必须监测气体种类 自然气体（如SiH4），可燃性气体（如CH4/H2）、毒性气体（如PH3/AsH3）、 腐蚀性气体（如HCL/HBR）、氧化性气体（如O2/CL2）、惰性气体密闭区域 （安装O2探头） ⑵、侦测器安装 ①、侦测器取样管长度规定： 烷类气体和氢气取样管最长30米，氨气取样管最长10米，HCL等酸类气体取样 管最长5米 ②、侦测器安装高度要求： 距地面1.扩散电流
Sensor工作环境0~40℃；
Sensor使用寿命2年（1年）
被侦测气体与纸带反应产生 色斑，色斑颜色深浅对光学 分析产生不同结果，判断气 体泄露浓度大小
输出信号：继电器，4~20mA 模拟量，RS485；取样管道 最长90米；工作环境要求 10~40℃,20-80%rH；纸带使 用寿命：3月（1月）
电容式传感器原理，当传感 器下侧面有液体（化学品或 水），传感器会感测到信号， 并输出电压信号至控制单元， 进行泄漏报警和动作连锁
通过收液槽位上升带动浮球 位置升高，浮球内置磁铁触 发内置磁感开关动作，从而 输出报警信号至控制单元， 启动泄漏报警和连锁响应
高亮LED显示
气体化学品监测系统
2、气体监控系统设计
气体输送系统
⑻、气柜最好配置双瓶切换，这样可以一侧气瓶用尽，另一侧自动供气，这样 可以实现对工艺设备的连续供气。 ⑼、不同特气对减压阀的选型也会有不同的要求，对于阀门的选型也是需要注 意的地方。比如如果我们有阀门坏了，需要更换，就需要注意更换阀门的型号。 ⑽、过流保护开关是个非常有必要安装的部件，作用就是气体流量异常变大的 时候可以把气体停掉，一般正帆都会建议客户安装过流保护开关。
二、化学品输送系统
1、化学品在半导体工艺中的作用：
清洗芯片上的杂质、微粒子； 刻蚀芯片图案； 显影芯片图案； 研磨芯片； 清洗制程设备零配件
2、常用化学品性质和分类：
⑴、酸性： 腐蚀性：H SO 、HCL、HNO 、HF、H PO 毒性：HF、Acetone
化学品输送系统
⑵、碱性：NH OH、KOH、Developer ⑶、有机溶剂：IPA、光阻液 EKC、EBR、HMDS ⑷、氧化性：H SO 、H O ⑸、悬浮液（Slurry）：Oxlde（SS-25）、Tungsten（W-2000）
气体化学品监测系统
③、侦测器取样点位置规定： 特气设备释放源壳体排风，特气相对密度小于或等于0.75时，取样点同时放置 在释放源上方和厂方最高点易积气处；特气相对密度大于0.75时，取样点设置 在释放源下方距地面高度0.5米处 ④、侦测器安装环境要求： 环境温度0至40℃，环境湿度20%至80%RH，远离强电干扰 ⑶、侦测器探头选型 ①、每种特气原则上采用对应气体探头 ②、同类型气体混合排放采用毒性最强特气探头 ③、混合气体侦测，采用最先到达报警浓度值特气探头 ④、特殊化学品泄露侦测，根据空气反应决定特气探头
3、气柜使用中常见问题及注意事项：
⑴、调压时不准或者不稳： 原因是减压阀具有机械滞后性，工作使用中可将调压阀调至比所需压力低一些，
气体输送系统
然后再等一会看压力是否稳定在所需压力。 ⑵、日常工作如需操作气柜，只需开窗操作，只有在换瓶时才开门! ⑶、换钢瓶时需要至少2个人共同操作，一个人操作，另一个人需要确认每一步 是否正确、规范。 ⑷气源、气瓶的配管要用塑料管或者尼龙管，这样发生燃烧事故时可烧掉从而 切断气源，降低危险性。 ⑸、气柜上的过流保护开关参数不可调，安装时必须垂直安装。 ⑹、SiH 等易燃气体的钢瓶最好配置Auto Guard（钢瓶接口保护器），以防止 在换钢瓶时发生事故。 ⑺、对于在我们管线分布上有潜在泄露点的地方，比如焊接点等连接点，要配 置带抽风的罩子，这样可以更好的对人员和设备进行保护。
4、化学品输送管道材质：
酸碱类：内管PFA，外管CPVC 溶剂类：工艺管线SUS316EP，或外管SUS304+PFA内管方式
三、气体化学品监测系统
1、气体化学品监控系统关键部件
部件名称
工作原理
规格参数
电化学气体侦测器 纸带式侦测器 火焰侦测器（UV/IR）
输出信号：继电器，4~20mA
被测气体在电解液表面反应， 模拟量，POE网络信号；