第四章_半导体的导电性(1)
半导体材料的导电性

空穴 (b) 偏压情况下
因此有:
Ei q
微电子电路基础
半导体材料的导电性 17
载流子漂移
在导带的电子移动至右边,而动能则相当于其于能带边缘 (如对电子而言为EC)的距离,当一个电子经历一次碰撞,它 将损失部分甚至所有的动能(损失的动能散至晶格中)而掉回 热平衡时的位置。在电子失去一些或全部动能后,它又将开始 向右移动且相同的过程将重复许多次,空穴的传导亦可想象为 类似的方式,不过两者方向相反。 E
q n n p p
所以,电阻率亦为
1
1 q (n n p p )
微电子电路基础
.
苏州科技学院电子与信息工程系
半导体材料的导电性 20
载流子漂移
一般来说,非本征半导体中,由于两种载流子浓度有好几 次方的差异,只有其中一种对漂移电流的贡献是显著的。 如对n型半导体而言,可简化为(因为n>>p)
qE dEc dx
I E N型 电子 V
由于导带底部EC 相当于电子 的电势能,对电势能梯度而 言,可用与EC 平行的本征费 米能级Ei的梯度来代替,即
E 1 dEc q dx 1 dEi q dx
qV
EC EF Ei EV
引入静电势,其负梯度等于 电场 ,即
E d dx
I N型 电子 V
在外加电场的影响下, 载流子的运输会产生电流, 称为漂移电流(drift current)
qV
EC EF Ei EV
空穴 (b) 偏压情况下
苏州科技学院电子与信息工程系
微电子电路基础
半导体材料的导电性 18
载流子漂移
华南理工半导体物理—第四章

E=0 2
1 6 3 随机热运动 4
5
当一个小电场E施加于半导体时,每一个电子会从电场上 受到一个-qE的作用力,且在各次碰撞之间,沿着电场的反向 被加速。因此,一个额外的速度成分将再加至热运动的电子上 ,此额外的速度成分称为漂移速度(drift velocity) 一个电子由于随机 的热运动及漂移成分两 者所造成的位移如图所 示。 值得注意的是,电 子的净位移与施加的电 场方向相反。
电离杂质散射 • 半导体中的电离杂质形成正、负电中心, 对载流子有吸引或排斥作用,从而引起载 流子散射。
电离杂质散射几率
Pi N iT
3
2
上式表明,随着温度的降低,散射几率 增大。因此,这种散射过程在低温下是 比较重要的。
Байду номын сангаас
晶格振动散射
半导体晶体中原子的振动是引起载流子 被散射的主要原因之一。
mn n 0.26 0.911030 kg 1000104 m2 / V s c q 1.6 1019 C
1.48 1013 s 0.148 ps.
又
1 3 3kT 2 mn vth kT vth 107 cm / s 2 2 mn
所以,平均自由程则为
漂移运动,迁移率与电导率
• 漂移运动:载流子在电场力作用下的定向运动, 定向运动的速度称为漂移速度
j E
vd n E
j nqvd
jn nqn E
n nqn
J jn j p (nqn nq p ) E
(nqn nq p )
载流子散射
j E
dI dV J E ds dl
半导体中电流的大小还可以从另一个角度 来理解。
第半导体物理课件 第四章

用,对电子产生散射作用。
• 横声学波要引起一定的切变,对具有多极值、旋转椭球等 能面的锗、硅来说,也将引起能带极值的变化。
光学波散射
• 离子性半导体中,长纵光学波有重要的散射作用。 • 每个原胞内正负离子振动位移相反,正负离子形成硫密 相间的区域,造成在一半个波长区域内带正电,另一半 个波长区域内带负电,将产生微区电场,引起载流子散 射。 长声学波振动,声子的速度很小,散射前后电子能量基本不 变,--弹性散射 光学波频率较高,声子能量较大,散射前后电子能 量有较大的改变,--非弹性散射。
迁移率和杂质与温度关系
杂质浓度较低,迁移率随温度升高迅速减小,晶格散射起主要作用; 杂质浓度高,迁移率下降趋势不显著,说明杂质散射机构的影响为主。当 杂质浓度很高时,低温范围内,随温度升高,电子迁移率缓慢上升,直到
很高温度(约550K左右)才稍有下降,这说明杂质散射起主要作用。晶格 振动散射与前者比影响不大,所以迁移率随温度升高而增大;温度继续升 高后,又以晶格振动散射为主,故迁移随温度下降。
② 计算中假设散射后的速度完全无规则,即散射后载流子向各个方向运动 的几率相等。这只适用于各向同性的散射.对纵声学波和纵光学波的散射确 实是各向同性的.但是电离杂质的散射则偏向于小角散射。所以精确计算还 应考虑散射的方向性。
下节较精确地计算半导体的电导率,为简单起见,仍限于讨论各向同性的 散射。
5 玻耳兹曼方程· 电导率的统计理论
• 各向同性晶体特点:
a、声学波散射: Ps∝T3/2 b、光学波散射:P o∝[exphv/k0T)]-1
2)电离杂质散射:即库仑散射
散射几率Pi∝NiT-3/2(Ni:为杂质浓度总和)。
3)其它散射机构
半导体的导电性

当前研究的不足与挑战
半导体导电性的调控机制尚不完全清楚,需要进一步深入研究。
一些高性能的半导体材料和器件仍然依赖进口,需要加强自主创新和知识产权保护。
半导体产业的发展面临着技术、环境、资金等多方面的挑战,需要积极应对。
发展智能制造和绿色制造,提高半导体产业的核心竞争力。
加强基础研究和应用研究,推动半导体材料和器件的创新发展。
实现半导体材料和器件的全链条自主可控,保障国家安全和产业安全。
未来发展的趋势与展望
THANKS
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影响因素
迁移率与材料的晶体结构、杂质和温度等因素有关。
迁移率
载流子密度是衡量半导体材料中载流子数量的参数,定义为材料的电阻率与电阻率的乘积,即n=ρσ,其中ρ为电阻率。
定义
载流子密度与材料的纯度、晶体结构和掺杂等因素有关。
影响因素
载流子密度
03
半导体导电性的测量与实验技术
四探针电阻测量技术是一种非接触式测量方法,通过施加电流和测量电压来计算电阻率。
温度依赖Hall效应
通过测量不同温度下半导体内部的霍尔电压,研究温度对载流子浓度和迁移率的影响。
Hall效应测量
深能级瞬态谱技术
利用光脉冲激发半导体中的电子,并测量电子在各个时间点的分布情况,从而了解半导体中的缺陷、杂质等特性。
时间分辨深能级瞬态谱技术
通过使用超快激光脉冲,对半导体内部电子的动态行为进行高时间分辨率的测量,研究电子在半导体中的输运过程。
半导体导电性的基本概念
半导体导电主要通过自由电子和空穴两种载流子实现。
在半导体内部,自由电子和空穴的数量受温度、光照等因素影响。
当加电压时,自由电子和空穴的数量增加,从而导致电流增加。
08-第四章-半导体的导电性

en
vdx1 秒
平均自由时间
弛豫时间
系统从非平衡态恢复到平衡态 所需时间
* 的统计表示 t=0时,撤除电场,有N0个电子作定向运动 N(t)为t时刻还未遭到碰撞的电子数 P为单位时间内电子被碰撞的几率 在tt+dt时间内被碰撞的电子数可表示为:
N (t ) N (t dt) N (t ) Pdt dN (t ) PN (t )
n型半导体载流子浓度随温度的变化曲线ln(n)-1/T n型半导体载流子浓度随掺杂浓度ND的变化曲线 半导体费米能级随掺杂浓度ND - NA的变化曲线
N型半导体中的电子浓度随温度的变化关系
ln(n) 斜率:Eg/2k 斜率:ED/2k
1/T
n型半导体载流子浓度随掺杂浓度ND的变化曲线
p,n
n p
C N * 临界浓度 D 的估算
非简并 弱 简并
简并
强简并
-2kT
0
5kT
Ef-Ec
Ec
ND 3 EC ED KT N D dEf Ef ln 0 ln 2 2 2 N C dT 2NN D3
1 2 1 e t 2 r vd (0)t at * 2 m 2 e
在tt+dt时间内被碰撞的电子数为 PN (t )dt
这些电子定向位移之和为 rPN (t )dt
N0个电子定向位移之总和为 S 0 rPN (t )dt
S
0
1 e 2 e N 0 e 2 t PN exp( Pt ) dt N 0 0 * * * 2 me me P2 me
* 简并的温度范围 简并时的电中性方程:n N D
半导体的导电性

第四章半导体的导电性本章主要内容载流子在外加电场作用下的漂移运动半导体的迁移率、电导率和电阻率随温度和杂质浓度的变化规律迁移率的本质-----散射4.1 载流子的漂移运动迁移率1、欧姆定律对于金属,电流I = V(电压)/R(电阻)V-I关系是直线对于半导体,流过不同截面的电流强度不一定相同,“即电流分布不均匀,而欧姆定律不能说明材料内部各处电流的分布情况。
电流密度:通过垂直于电流方向的单位面积的电流J = ∆I/∆S单位:A/cm2或A/m2欧姆定律微分形式:上式把通过导体中某一点的电流密度和该处的电导率及电场强度直接联系了起来。
S故: 半导体导电= 电子导电J = Jn + Jp = (nqu平均自由程:载流子在连续两次散射间自由运动的平均路程平均自由时间:载流子通过平均自由程所需的平均时间τ电场:载流子加速---定向运动;散射:载流子运动方向改变---杂乱无章,各个方向;半导体的主要散射机构:离化杂质散射晶格散射中性杂质散射位错散射(P为散射几率)起因:常温下,浅施主带正电• 双曲线,电离杂质处于一个焦点 • 速度小,作用时间长,偏离角θ大,τ小 • 弹性散射,不改变入射电子能量,只改变运动方向 τ ∝ T3/2/NI 杂质浓度(2)、晶格散射 晶格原子在其平衡位置附近不断进行热振动,且各个 原子的振动不是孤立的。
分析表明:晶格中原子的振动都 是由若干不同的基本波动按波的叠加原理组合而成,这些 基本波动称为格波。
q代表格波波矢, q 的方向即波的传播方向晶格散射:载流子在运动过程中遭受振动的晶格原子的散射, 失去在电场中获得的能量,失去动量。
在能带具有单一极值的半导体中 起主要散射作用的是长波。
即波 长比原子间距大很多倍的格波。
电子热运动速度~105m/s 电子波波长约10-8m 根据动量守恒要求,声子波长 范围应在同一量级,即10-8m,而 晶体中原子间距为10-10m,因而 起主要散射作用的是长波。
半导体物理习题答案(1-3章)

第1章 半导体中的电子状态1. 设晶格常数为a 的一维晶格,导带极小值附近能量()c E k 和价带极大值附近能量()v E k 分别为2222100()()3c h k k h k E k m m -=+,22221003()6v h k h k E k m m =-0m 为电子惯性质量,112k a =, 0.314a =nm 。
试求:1) 禁带宽度;2) 导带底电子有效质量; 3) 价带顶电子有效质量;4) 价带顶电子跃迁到导带底时准动量的变化。
解:1) 禁带宽度g E ,根据22100()2()202c dE k h k k h k dk m m -=+=,可求出对应导带能量极小值min E 的k 值:min 134k k =, 由题目中()c E k 式可得:min 12min 3104()4c k k k h E E k k m ====; 根据20()60v dE k h k dk m =-=,可以看出,对应价带能量极大值max E 的k 值为:k max = 0;可得max 221max 00()6v k k h k E E k m ====,所以2221min max 2001248g h k h E E E m m a=-== 2) 导带底电子有效质量m n由于2222200022833c d E h h h dk m m m =+=,所以202238nc m h md E dk== 3) 价带顶电子有效质量vn m由于22206v d E h dk m =-,所以20226v nv m h m d E dk ==- 4) 准动量的改变量min max 133()48hh k h k k hk a∆=-==2. 晶格常数为0.25 nm 的一维晶格,当外加102 V/m 、107 V/m 的电场时,试分别计算电子自能带底运动到能带顶所需的时间。
解:设电场强度为E ,电子受到的力f 为dkf hqE dt==(E 取绝对值),可得h dt dk qE =, 所以12012ta h h t dt dk qE qE a===⎰⎰,代入数据得: 34619106.62108.310()1.6102(2.510)t s E E----⨯⨯==⨯⨯⨯⨯⨯ 当E = 102 V/m 时,88.310t s -=⨯;当E = 107 V/m 时,138.310t s -=⨯。
半导体物理学刘恩科第七版第4章导电性

q和关系称为色散关系。
(3)格波的数量:相同q的格波的数量。 一个晶体原胞中有一个原子, 每一原子对应一个q, 对 应每一q有3个格波.
对锗、硅及III-V族化合物半导体,原胞中含有 2个原子,对应一个q有6个不同的格波。6个格 波的频率和振动方式完全不同。
未电离杂质散射(重掺杂时):
散射: 晶格散射+掺杂+温度
若存在多种散射机制,显然,τ将发生变化,即迁移 率将发生变化(被加速时间变化)。
散射几率:
P P1 P2 P3
P 1 1 1 1 1
1 2 3
除以q/mn*, 得到
1 1 1 1 ......
1 2 3
1、2、3表示只有一种散射机制存在时载流子的迁移率
离子晶体的两个正、负离子振动位移相反,形成疏密 相同的区域。正离子的疏(密)区和负离子的密(疏)区 重合,对载流子产生附加的散射势场。
离子晶体中光学波对载流子的散射几率:
3
P0
(hvl ) 2
1
(k0T ) 2
1 [ exp( hvl
k0T
)
] 1
f
1 ( hvl k0T
)
光学波频率较高,声子能量较大。电子和光学 声子发生作用时,电子吸收或发射一个声子, 能量也改变一个h。
★格波与电子作用中,长波起重要作用。
★长声学波中,纵波起重要作用。
长声学波中,纵波对散射起主要作用。通过原子 间距发生疏密变化,体变产生附加势场。
特点:能量变化低。
一般而言(非绝对),长声学波由于能量较小, 散射前后电子的能量基本不变,为弹性散射。 光学波能量较高,为非弹性散射。
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ps T 3 2
横声学波引起一定的切变,不引起原子的疏密变化,因而不产生形变
势.但对Ge、Si等具有多能谷的情形,这一切变也引起能带极值的变化,
起到一定的散射作用。
26
4.2.2 载流子的散射 ② 光学波散射
在离子晶体和极性半导体中,当温度较高时,长纵光学波有重要的 散射作用。这是由于在极性或离子性半导体中光学波可建立很强的
6
4.1.2 半导体导电的宏观电流-欧姆定律的微分形式
实验表明,在电场不太大时,半导体中的电流与电压仍服从欧姆定律:
I
电阻为
U R
l R s
1
ρ为半导体的电阻率,单位为Ω·m 或Ω·cm 单位西门子/米(S/m或S/cm ) 电导率
s
--------欧姆定律的微分形式
vd E
令:
va E
vd n E
n
vd E
va p E
va p E
μ n和μ p分别称为电子迁移率和空穴迁移率。 物理意义:表示在单位场强下电子或空穴所获得的平均漂移速度大 小,单位为m2/V·s或cm2/ V·s.
13
4.2.1 漂移运动 迁移率与电导率
n
从而呈现出电流。
3
(b)E≠0
4.1.1 半导体导电的微观机理
理想的半导体:无限大的、既没有杂质和缺陷也没有晶格振动和电子间的 相互碰撞。 理想的半导体的电阻为零.
当能带只是部分填充时,在外电场作用下,所有电子波矢以相同速率变化:
qE x
dk x dt
从而使电子在布里渊区的分布不再对称,因而产生电流。
根据准动量守恒,声子动量应和电子动量具同数量级,即格波波长
范围也应是10-8m.晶体中原子间距数量级为10-10m,因此起主要散射 作用的是波长在几十个原子间距的长波。
23
4.2.2 载流子的散射
研究表明,在能带具有单一极值的半导体中起主要散射作用的是: 长纵声学波。 纵波在晶体中引起原子间距的变动,从而引起能带极值的变动, 即引起一个附加势场。
32
复习题:
1. 什么是迁移率?为什么说电子的迁移率要 比空穴迁移率大? 2. 为什么温度越高, 电离杂质对载流子的 散射越弱? 3. 在极性半导体中,为什么纵光学波而不 是横光学波对载流子的散射是主要的?
33
复习:
迁移率
vd n E
p
vp E
μn和μp分别称为电子迁移率和空穴迁移率。
如何求证欧姆定律的微分形式?
7
4.1.2 半导体导电的宏观电流-欧姆定律的微分形式
当电场作用于半导体时,电子获得一个和外电场反向的平均速 度,用 v d 表示其大小,空穴则获得与电场同向的速度,用 表示其大小。
v
a
若只考虑电子的运动, 在dt时 间内通过ds的电荷量就是A、B 面间小柱体内的电子电量,即
由于电子的状态是波矢的周期函数,波函数
在第一布里渊区边界两边的状态等价,总 体上不呈现电流。
2
4.1.1 半导体导电的微观机理
半满带:对被电子部分填充的能 带情况,电子对称地占据能量较 低的状态,如下图(a)所示,没有 外电场作用时不呈现出电流。
(a)E=0
当存在如下图(b)所示电场时,
电子在能带中的分布发生变化,
对于本征半导体(n=p=ni),则电导率为:
i n i q n + p
16
4.2.2 载流子的散射
载流子散射的根本原因:
周期性势场被破坏。
晶格的周期性被破坏后,与周期性势场相比,存在一附加势场, 使能带中的电子发生不同k状态间的跃迁,即遭到散射:
v (k ) v (k ' )
第四章 半导体的导电性
1
4.1
半导体的导电原理 4.1.1 半导体导电的微观机理
半导体在外电场作用下是否存在电流并不取决于 单个电子的行为,而是取决于整个晶体中所有电 子运动的总和。 1、从能带的角度理解半导体导电性: 满带: 在外加电场的作用下,电子从第一 布里渊区边界的一边流进,另一边流出。但
h l 3 2 1 f h l P0 1 2 nq
k0T
k 0T
n q=
exph a k0T 1
1
γl为声子频率, nq为平均声子数 ,f h γ k0T 为T的缓缓变函
l
其值值0.6变化到1.0
散射几率随温度的变化主要取决于 平均声子数,其随温度按指数上升:
电子重新趋于对称分布,电流变为零,即存在电阻。
5
4.1.1 半导体导电的微观机理
2、从晶格角度理解半导体的导电性: 在一定温度下,共价键上的电子e挣脱了价键的束缚,进入到晶格
空间中成为准自由电子,这个电子在外电场的作用下运动而形成电
子电流. 在价键上的电子进入晶格后留下空 穴,当这个空穴被电子重新填充后, 会在另一位置产生新的空穴,这一 过程即形成空穴电流。 晶格中空穴和电子 导电示意图
PO
exph a k0T 1
1
29
4.2.2 载流子的散射
当长声学波和长光学波两种散射作用同时存在时,晶格振动对载流子
的总散射概率为两种散射概率之和:
P 1 P s P 0
对于不同的半导体,这两种散射的相对强弱不同: 在共价结合的元素半导体中,如Si和Ge,长声学波的散射是主要的; 在极性半导体中,长纵光学波的散射是主要的.
39
4.3.1 迁移率的简单理论分析
而这些粒子的总的自由时间为:
tN0 P exp(Pt)dt
所有粒子的平均自由时间为:
1 N0 1 P
0
tN 0 P exp( Pt)dt
(4-31)
即:平均散射时间等于散射几率的倒数。
40
4.3.2 电导率、迁移率与平均自由时间的关系
根据载流子在电场中的加速以及它们的散射,可导出在一定电场下载
流子的平均漂移速度,从而获得载流子的迁移率和电导率的理论式。
设沿x方向施加电场E,且电子具有各向同性的有效质量 mn
令在t=0时,某个电子恰好遭到散射,散射后沿x方向的速度为 x0 ,经
35
4.3 迁移率与杂质浓度和温度的关系
36
4.3.1
迁移率的简单理论分析
平均自由时间:连续两次碰撞间的时间间隔。
平均自由时间和散射几率是描述散射过程的两个重要
参量,以电子运动为例来求两者关系。
散射几率是载流子速度的函数。先不考虑电子的速度 分布,即认为电子有统一的速度。
37
4.3.1 迁移率的简单理论分析
(a) 纵声学波
24
4.2.2 载流子的散射
纵声学波使晶体中原子形成线度疏
密相间的区域,造成晶体体积的局 部压缩与膨胀,如图4-9(a)所
示.晶格原子的疏密排列引起晶格
势场有一个周期性的畸变,因而能 带的能量将发生周期性的起伏,如
图4-10所示.对于载流子,就相当
于存在一个附加的势能.
25
4.2.2 载流子的散射
总漂移电流密度为:
J nqn +pqp E
与欧姆定律微分形式比较得
到半导体电导率表示式为:
nq n +pq p
电子和空穴的漂移运动
15
4.2.1 漂移运动
迁移率与电导率
对于n型半导体(n>>p),电导率为
nqn
对于p型半导体(p>>n),电导率为:
nqp
17
4.2.2 载流子的散射
晶格振动 电离杂质 产生附加势场 的原因 载流子 空位 中性杂质 位错
18
4.2.2 载流子的散射
散射几率(Pi):描述散射的强弱,它表示单位时间内一个载流 子受到散射的次数。
1)电离杂质散射----杂质电离产生库仑场
(a)电离施主散射 电离杂质散射示意图
19
4.2.2 载流子的散射
4
4.1.1 半导体导电的微观机理
当外电场除去后,因为:
dk x qE x dt
dk x 0 dt
电子在布里渊区的非对称分布不再变化,从而电流将保持下去。也就是
说,在外电场为零的情况下,电流仍不等于零。意味着电导率应为无穷大, 电阻率应为零。 实际晶体是不完整性,杂质、缺陷、晶格热振动将对电子产生散射,使
偶极矩或使半导体极化,电子和光学波的作用比在非极性或非离子
性半导体中强烈得多。
如,对于离子晶体,在光学波中,两个离子向相反的方向振动,
如图4-9(b),从而导致以半个波长为周期重复出现带正电和带负 电的区域,如图4-11。
27
4.2.2 载流子的散射
(b) 纵光学波
28
4.2.2 载流子的散射
可以证明,离子性半导体中光学波对载流子的散射概率与温度的关系:
物理意义:表示在单位场强下电子或空穴所获得的平均漂移速度大
小,单位为m2/V· s或cm2/ V· s.
34
复习:
电离杂质对载流子的散射概率:
pi NiT -3 2
声学波散射概率与温度的关系: 散射几率随温度的变化主要取决于 平均声子数,其随温度按指数上升:
ps T 3 2
PO exph a k0T 1 1
温度和杂质浓度与散射次数的关系 电离杂质对载流子的散射概率:
pi NiT -3 2
20
4.2.2 载流子的散射
2)晶格振动散射
4.2.2 载流子的散射
22
4.2.2 载流子的散射
①声学波散射
室温下电子热运动速度约为105m/s,由hk=m*v可估计电子波波长约为: