气体设备的基础知识
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感温探测器
BSGS
可选项简述 5、管线伴热
有些气体气源压力很低，需要通过加热管道来增加 流量
6、HEATING 同样是一种通过加热管道，来增加流量的措施，对
于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法
7、抽风罩 气源在柜外有接头和吹扫用阀门，有些危险性气体
，需要监控接头的可靠性，此时需要配置抽风罩 如设备没有配置抽风罩，在发货时需要配置吹扫阀
BSGS 可选项简述 1、二级减压 当减压阀前后压差过大时，避免由于压降过大造成减压阀结露 严重，需采取两级减压，一级减压至一个中档的压力，二级减 压至需用的压力。
2、流量开关 流量开关主要是在管路中监控流量的大小。在流量高于某一个 设定点时候触发输出报警信号传递至控制部分
BSGS
可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置 这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到 控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生
同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求
隔膜阀配置，VCR接口 柜内负压测量 碳钢喷塑柜体，防爆玻璃视窗
VMB
•标准型半自动配置，远程紧急切断各支路阀门 •进气扩展口*1 •支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力表+ 出口气动关断阀
•手动N2吹扫功能 •手动抽真空功能
可
O2 N2 Ar
一般气体
H2
He
CO2
Ne
Xe
GR
•GR：气瓶架
GR的分类比较多，一般分有：
1、用于BSGS/GC的 吹扫的和保压 常用气体高纯氮气
VCR连接，高压端工艺管径1/4"， 低压段工艺管径1/4" 相同双瓶工艺气体高低压配置 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤
GR
•GR：气瓶架
常用阀门图例
常用位号定义
• PGI：Purge Gas Isolation Valve，吹扫隔离阀 • HPI：Process Gas Supply Isolation Valve，高压隔离阀 • LPI：Process Gas Supply Isolation Valve，低压隔离阀 • REG：regulator 调压阀 • LPV：Process Gas Delivery Vent Valve，低压排放阀 • HPV：Process Gas Supply Vent Valve，高压排放阀 • TAP：Test Access Port，氦检漏阀 • PIV：Purge Isolation Valve，吹扫隔离阀 • GNBV：Vacuum Venturi Supply Valve，抽真空氮气针孔阀 • PNBV：Purge Gas Bleed Valve，吹扫氮气针孔阀 • HPIV：High Pressure Isolation Valve，高压保压隔离阀 • HPT: Supply Pressure Transducer，高压传感器 • HPG: Supply Pressure Gauge，高压压力表 • LPT：Delivery Pressure Transducer，低压传感器 • LPG：Delivery Pressure Gauge，低压压力表
气体设备的基础知识
2020年4月28日星期二
一.气体设备种类
➢ 面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类 ➢ 气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、安全稳定、连续
备。 • BSGS：大流量特殊气体输送柜 • GC：气瓶柜 • GR：气瓶架 ➢ 气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，同时保证生产 • VMB：阀组箱 • VMP：阀组盘
二级调 压
流量开 关
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*
auto guard
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抽风罩 *
GS2
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全自动控制 高压端工艺管径1/2"，低压段工艺管径1/2" 高低压自动吹扫功能 自动切换 ，可远程紧急关断阀门 autoguard防止误拆卸 高压气源过滤功能 10寸彩色触摸屏实现人机交互
"ü"必备功能；"*"为可选功能
• 标准型全手动配置 • 进气扩展口*1 • 支路配置：手动隔膜
表+出口手动关断阀 • 手动N2吹扫功能 • 手动抽真空功能
VMP
•VMP：阀组盘 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置， 用于向一个或多个工艺设备提供特种气体
同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求
GR的分类比较多，一般分有：
2、大宗气体气源处理 根据介质性质，选择自吹扫和带 吹扫
VCR连接，高压端工艺管径1/4"， 低压段工艺管径1/4" 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤 自动切换，远程紧急切断阀门
VMB
•VMB：阀组箱
特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个 工艺设备提供特种气体
工艺气 体管路 调压
流量开 关
auto guard
C1A
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C5A
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"ü"必备功能；"*"为可选功能
GR
•GR：气瓶架
气源在柜外的气源处理设备 大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备，一 般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种无 毒害气体供应系统
区分
气体名称
VMP
隔膜阀配置，VCR接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动隔膜阀+标准型调 压阀+压力表
隔膜阀配置，VC 标准型全手动配 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口
VMP
球阀配置，卡套接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动球阀+标准型调压 阀+压力表
球阀配置，卡套 标准型全手动配 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口
BSGS
•BSGS：大流量特殊气体输送柜
气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，储存量大于50ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱL的特种气体储存和送气系 常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、NH3等高流量气体系统
Y瓶
T瓶
BSGS
功能 型号
GS1
PLC控制 ü
彩色触 摸屏面
高低压 自动吹
扫
自动切 换
紧急切 断
高压气 源过滤
一级调 压
门、单向阀、钢瓶接头和接头锁
面盘管道加热
GC
•GC：气瓶柜
气源在柜内的气源处理设备
特种气体使用的封闭式气瓶放置与气 体输送设备，一般情况下，储存量为 47L的气体钢瓶。应用于多种特殊气体 供应系统
功能 型号
PLC控制
彩色触 摸屏面
高压保 压
自动吹 扫
自动切 换
紧急切 断
远程自 动关断
高压气 源过滤
BSGS
可选项简述 5、管线伴热
有些气体气源压力很低，需要通过加热管道来增加 流量
6、HEATING 同样是一种通过加热管道，来增加流量的措施，对
于流量要求比较高时采用的一种加速流量的方法
7、抽风罩 气源在柜外有接头和吹扫用阀门，有些危险性气体
，需要监控接头的可靠性，此时需要配置抽风罩 如设备没有配置抽风罩，在发货时需要配置吹扫阀
BSGS 可选项简述 1、二级减压 当减压阀前后压差过大时，避免由于压降过大造成减压阀结露 严重，需采取两级减压，一级减压至一个中档的压力，二级减 压至需用的压力。
2、流量开关 流量开关主要是在管路中监控流量的大小。在流量高于某一个 设定点时候触发输出报警信号传递至控制部分
BSGS
可选项简述 2、UV/IR火焰 3、感温装置 4、感烟装置 这三个选项根据介质的属性判断是否使用， 一旦气体泄漏，发生危险时，立即发出警告，信号给到 控制器，关断使用设备，避免更多的危害产生
同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求
隔膜阀配置，VCR接口 柜内负压测量 碳钢喷塑柜体，防爆玻璃视窗
VMB
•标准型半自动配置，远程紧急切断各支路阀门 •进气扩展口*1 •支路配置：手动隔膜阀+标准型调压阀+压力表+ 出口气动关断阀
•手动N2吹扫功能 •手动抽真空功能
可
O2 N2 Ar
一般气体
H2
He
CO2
Ne
Xe
GR
•GR：气瓶架
GR的分类比较多，一般分有：
1、用于BSGS/GC的 吹扫的和保压 常用气体高纯氮气
VCR连接，高压端工艺管径1/4"， 低压段工艺管径1/4" 相同双瓶工艺气体高低压配置 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤
GR
•GR：气瓶架
常用阀门图例
常用位号定义
• PGI：Purge Gas Isolation Valve，吹扫隔离阀 • HPI：Process Gas Supply Isolation Valve，高压隔离阀 • LPI：Process Gas Supply Isolation Valve，低压隔离阀 • REG：regulator 调压阀 • LPV：Process Gas Delivery Vent Valve，低压排放阀 • HPV：Process Gas Supply Vent Valve，高压排放阀 • TAP：Test Access Port，氦检漏阀 • PIV：Purge Isolation Valve，吹扫隔离阀 • GNBV：Vacuum Venturi Supply Valve，抽真空氮气针孔阀 • PNBV：Purge Gas Bleed Valve，吹扫氮气针孔阀 • HPIV：High Pressure Isolation Valve，高压保压隔离阀 • HPT: Supply Pressure Transducer，高压传感器 • HPG: Supply Pressure Gauge，高压压力表 • LPT：Delivery Pressure Transducer，低压传感器 • LPG：Delivery Pressure Gauge，低压压力表
气体设备的基础知识
2020年4月28日星期二
一.气体设备种类
➢ 面盘类设备主要分为：气源处理和气源分配2类 ➢ 气源处理：将钢瓶气源调整到设备所需压力、安全稳定、连续
备。 • BSGS：大流量特殊气体输送柜 • GC：气瓶柜 • GR：气瓶架 ➢ 气源分配：将输入管路调整为所需的输出管路，同时保证生产 • VMB：阀组箱 • VMP：阀组盘
二级调 压
流量开 关
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抽风罩 *
GS2
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全自动控制 高压端工艺管径1/2"，低压段工艺管径1/2" 高低压自动吹扫功能 自动切换 ，可远程紧急关断阀门 autoguard防止误拆卸 高压气源过滤功能 10寸彩色触摸屏实现人机交互
"ü"必备功能；"*"为可选功能
• 标准型全手动配置 • 进气扩展口*1 • 支路配置：手动隔膜
表+出口手动关断阀 • 手动N2吹扫功能 • 手动抽真空功能
VMP
•VMP：阀组盘 特种气体在输送过程中使用的开放式管道分配装置， 用于向一个或多个工艺设备提供特种气体
同时供应数台机台 根据气体种类进行分类 将工艺气体纯化、过滤、减压，达到客户需求
GR的分类比较多，一般分有：
2、大宗气体气源处理 根据介质性质，选择自吹扫和带 吹扫
VCR连接，高压端工艺管径1/4"， 低压段工艺管径1/4" 相同双瓶工艺气体双低压配置 高低压气体过滤 自动切换，远程紧急切断阀门
VMB
•VMB：阀组箱
特种气体在输送过程中使用的封闭式管道分配箱体，用于向一个或多个 工艺设备提供特种气体
工艺气 体管路 调压
流量开 关
auto guard
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"ü"必备功能；"*"为可选功能
GR
•GR：气瓶架
气源在柜外的气源处理设备 大宗气体使用的开放式气瓶放置与气体输送设备，一 般情况下，储存量为47L的气体钢瓶。应用于多种无 毒害气体供应系统
区分
气体名称
VMP
隔膜阀配置，VCR接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动隔膜阀+标准型调 压阀+压力表
隔膜阀配置，VC 标准型全手动配 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口
VMP
球阀配置，卡套接口 标准型全手动配置 进气扩展口*1 支路配置：手动球阀+标准型调压 阀+压力表
球阀配置，卡套 标准型全手动配 进气扩展口*1 主进管路调压 支路配置：出口
BSGS
•BSGS：大流量特殊气体输送柜
气源在柜外的气源处理设备，一般情况下，储存量大于50ቤተ መጻሕፍቲ ባይዱL的特种气体储存和送气系 常用气源类型有Y瓶、T瓶。适用于SiH4、NH3等高流量气体系统
Y瓶
T瓶
BSGS
功能 型号
GS1
PLC控制 ü
彩色触 摸屏面
高低压 自动吹
扫
自动切 换
紧急切 断
高压气 源过滤
一级调 压
门、单向阀、钢瓶接头和接头锁
面盘管道加热
GC
•GC：气瓶柜
气源在柜内的气源处理设备
特种气体使用的封闭式气瓶放置与气 体输送设备，一般情况下，储存量为 47L的气体钢瓶。应用于多种特殊气体 供应系统
功能 型号
PLC控制
彩色触 摸屏面
高压保 压
自动吹 扫
自动切 换
紧急切 断
远程自 动关断
高压气 源过滤