微电子学技术发展的瓶颈和出路

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2023年微电子科学与工程专业就业前景调查报告

2023年微电子科学与工程专业就业前景调查报告

2023年微电子科学与工程专业就业前景调查报告随着信息化时代的到来,微电子技术作为信息技术的重要组成部分,对于现代社会的发展起着至关重要的作用。

微电子科学与工程专业在其中具有不可替代的作用。

那么,微电子科学与工程专业的就业前景如何呢?接下来,本文基于一些数据和分析,就此问题进行探讨。

一、行业前景分析据统计,2019年,国内芯片市场规模达到了约5254亿元人民币,同比增长了约20%,而且未来还有持续增长的趋势。

在国家政策的支持下,国内的微电子产业将迎来新的机遇和发展。

伴随着“芯片强国”战略的推进,国家将大力发展集成电路产业,把IC设计、制造、封装、测试、设备及材料等整个产业链关键环节都放在重点培育之列,这也为微电子专业人才的就业提供了广阔的空间。

二、就业方向1. 芯片设计方向:集成电路设计是微电子科学的重要分支,是挑战最大、难度最大的一个领域之一。

近年来随着芯片复杂度、工艺技术的不断进步,严谨的设计流程、精湛的设计技巧和庞大的设计团队也才能保证芯片的成功。

可见,这个方向所需要的人才很多。

例如,华为、中芯国际、紫光国微等集成电路公司都需要大量的集成电路设计专家。

2. IC工艺方向:通过精准的工艺流程制造出更小、更快、更节能的芯片,是微电子工艺人员所追求的目标。

此方向要求人才拥有扎实的物理学和工艺学等基础知识和技术,能够操作各种微电子制造设备。

3. 芯片测试/验证与可靠性方向:芯片测试是芯片制造过程中非常重要的一环,泛指对集成电路、系统芯片进行逻辑测试,以确保产品质量、功能、性能都符合要求。

在IC生产流程中,主要是侧重于设计验证、芯片测试和成品测试等环节。

如意法半导体、艾利美特、泛林集成电路等公司的研究与开发部门需要大量的芯片测试人员。

三、就业机会微电子科学与工程专业的优秀毕业生可以在以下机构和企业内找到就业机会:1. 国家集成电路设计工程技术研究中心2. 国内集成电路设计公司3. 国内IC制造企业和代工企业4. 国际IC设计和制造企业,如三星、Intel、台湾联发科(MediaTek)5. 国内科研院所和高等院校的微电子研究室和实验室四、薪酬水平据中国计算机学会发布的数据,中国信息技术行业从业人员的平均薪酬为18000元/月左右。

微电子技术和芯片设计

微电子技术和芯片设计

微电子技术和芯片设计在当今信息时代,微电子技术和芯片设计已成为重要的科技领域。

随着微型化、高性能、低功耗等需要的增加,这一领域的发展进入了一个新的时代。

本文将从微电子技术和芯片设计的发展历程、技术应用、未来趋势等方面进行探析。

一、微电子技术和芯片设计的发展历程微电子技术是集电子、物理、化学、材料、光学等学科于一体的新兴学科。

其核心是对微小的电子器件进行设计、制备和应用,目的是为了实现高速、高集成度、低功耗的电子器件。

微电子技术的发展历程可以分为4个阶段。

第一阶段:1950年代到1960年代,微电子技术刚刚诞生,主要是以硅为基础的微电子器件的研究和开发。

这个阶段的主要发明是晶体管,其应用推动了半导体工业的崛起。

第二阶段:1970年代到1980年代,微电子技术进入了高集成度时代。

大规模集成电路(LSI)和超大规模集成电路(VLSI)得到了广泛应用。

同时,加工工艺和自动化技术的不断进步也为集成度的提高提供了支持。

第三阶段:1990年代到21世纪初,微电子技术进入了系统级集成时代。

系统级集成是指将多种芯片模块集成到一个芯片上,形成一个完整的系统。

此时,计算机、通信等领域的重要应用得到了极大的发展。

第四阶段:21世纪至今,微电子技术正在向纳米级别迈进。

纳米技术可以实现器件功能的单一化和可重构性,大大提高芯片的性能和功能。

随着芯片尺寸的缩小和集成度的提高,微电子技术在人类生活、商业发展和国家安全等领域中的作用也越来越大。

二、微电子技术和芯片设计的技术应用微电子技术和芯片设计在许多领域都有广泛的应用。

比如:1. 通信领域:通过微电子技术和芯片设计,可以开发出更高速、更稳定、更低功耗的通信设备。

手机、无线通信技术、卫星通信技术等都是微电子技术的应用。

2. 汽车产业:汽车电子化越来越普及,汽车电子控制单元(ECU)也越来越重要。

通过微电子技术和芯片设计,可以降低汽车的油耗、减少排放、提高安全性等。

3. 医疗行业:微电子技术和芯片设计在医疗行业的应用非常广泛。

微电子技术发展趋势及我国发展战略

微电子技术发展趋势及我国发展战略

陆剑侠王效平李正孝东北微电子研究所1引言微电子技术是当今世界发展最快的技术之一,是信息化产业的基础和核心技术。

90年代以来,由于微电子技术的突破和微电子新产品的不断问世和广泛应用,使信息化产业以惊人的速度发展,信息化产业在国民生产总值(GNP)中所占份额不断提高,已成为全球主流产业。

专家预测,不久的将来,以微电子技术及其产品为主导的信息化产业将超过钢铁工业,成为世界的支柱性产业。

现在,微电子技术已成为衡量一个国家科学技术进步和综合国力的重要标志。

2国外微电子技术发展概况2.1集成电路(IC))技术现状与发展趋势集成电路(IC)出现于60年代,根据摩尔定律,每经过18~24个月,IC的集成度增长一倍;人们也发现IC的特征尺寸每隔3年减小30%,IC芯片面积增加1.5倍,Ic芯片的速度增加1.5倍,同时硅晶圆片的直径也逐渐增加,集成电路每代间隔三年。

1994年美国半导体工业协会(sIA)根据美国半导体公司的主流生产线技术发展的情况,制定了美国半导体技术发展蓝图,1997年美国SIA又根据情况变化制定了美国半导体公司先进水平生产线技术发展蓝图,如表1所示。

墨!羞垦主曼签夔莶垄垦壁圉年代1997199920012003200620092012最小特征尺寸(Ⅲ)2501801501301007050臻篇赫c)256M1G一4G16G64G256G舞蒜善曩瑟11M21M40M76M200M500M1400M溜甚昌籀釜产750120014001600200025003000金属化最多层数66.777.88.999最低供电电压(v)1.8.2.51.5.1.81.2.1.51.2.1.5o.9.1.2o6.o.9o5.o.6茎在勰尹片200300300300300450450人们正在研究摩尔定律能沿用多久,实际上它受两个因素制约:首先是商业限制,随着芯片集成度的提高,特征尺寸的缩小,生产成本几乎呈指数增长;其次是物理限制,当芯片特征尺寸进到原子量级时就会遇到统计学的问题。

微电子的技术发展方向

微电子的技术发展方向

1 微电子技术发展方向21世纪初微电子技术仍将以尺寸不断缩小的硅基CMOS工艺技术为主流;随着IC设计与工艺水平的不断提高,系统集成芯片将成为发展的重点;并且微电子技术与其他学科的结合将会产生新的技术和新的产业增长点。

1.1 主流工艺——硅基CMOS电路硅半导体集成电路的发展,一方面是硅晶(圆)片的尺寸愈来愈大,另一方面是光刻加工线条(特征尺寸)愈来愈细。

从硅片尺寸来看,从最初的2英寸,经过3英寸、4英寸、5英寸、6英寸发展到当今主流的8英寸。

据有关统计,目前世界上有252条8英寸生产线,月产片总数高达440万片,现在还在继续建线。

近几年来又在兴建12英寸生产线,硅晶片直径达12英寸(300mm),它的面积为8英寸片(200mm)的2.25倍。

1999年11月下旬,由Motorola与Infineon Technologies联合开发的全球首批300mm 晶片产品面市。

该产品是64M DRAM,采用的是0.25µm工艺技术,为标准的TSOP 封装。

据介绍,300mm晶片较200mm晶片,每个芯片的成本降低了30%~40%。

到目前,已经达到量产的12英寸生产线已有6条,它们是:(1)Semiconductor 300公司,位于德国德累斯顿,开始月产1500片,由0.25µm进到0.18µm。

(2)Infineon公司,位于德国德累斯顿,0.14µm,开始月产4000片。

(3) TSMC公司,位于我国台湾新竹, Fab12工厂生产线,由0.18µm进到0.15µm以至0.13µm,开始月产4500片。

(4)三星公司,位于韩国,Line 11生产线,0.15/0.13µm,开始月产1500片。

(5)Trecenti公司,位于日本那珂N3厂,月产能7000片,0.15/0.13µm。

(6)Intel公司的D1C厂,开始月产4000片,0.13µm。

微电子科学与工程专业就业前景与就业方向分析【优秀2篇】

微电子科学与工程专业就业前景与就业方向分析【优秀2篇】

微电子科学与工程专业就业前景与就业方向分析【优秀2篇】微电子科学与工程专业培养德、智、体全面发展,具有扎实的数理基础和电子技术基础理论,掌握新型微电子器件和集成电路分析、设计、制造的基本理论和方法;具备本专业良好的实验技能,能在微电子及相关领域从事科研、教学、科技开发、工程技术、生产管理与行政管理等工作的高级专门人才。

主要课程:高等数学、大学物理及实验、电路分析基础及实验、模拟电路及实验、数学物理方法、C++语言、数字电路及实验、信号与系统及实验、半导体物理及实验、固体电子学、微电子器件、微电子集成电路、集成电路设计与制造、电子设计自动化、集成电路CAD、微下面是小编精心为大家整理的微电子科学与工程专业就业前景与就业方向分析【优秀2篇】,希望大家可以喜欢并分享出去。

本科微电子就业方向篇一微电子科学与工程本科就业前景可选择到中、高等职业院校从事专业教学和管理工作,或到集成电路制造厂家、集成电路设计中心以及通信和计算机等信息科学技术领域从事研究、开发及管理等工作,也可选择微电子科学与工程、固体电子学、通信、计算机科学等学科继续深造,攻读硕士研究生。

微电子科学与工程本科就业方向有哪些毕业生主要去向是报考微电子学、固体电子学、通信、计算机科学等学科的研究生,到集成电路制造厂家、集成电路设计中心以及通信和计算机等信息科学技术领域从事开发和研究工作。

微电子科学与工程本科需要掌握哪些能力1.掌握数学、物理等方面的基本理论和基本知识;2.掌握固体物理学、电子学和VLSI设计与制造等方面的基本理论和基本知识,掌握集成电路和其它半导体器件的分析与设计方法,具有独立进行版图设计、器件性能分析和指导VLSI工艺流程的基本能力;3.了解相近专业的一般原理和知识;4.熟悉国家电子产业政策、国内外有关的知识产权及其它法律法规;5.了解VLSI和其它新型半导体器件的理论前沿、应用前景和最新发展动态,以及电子产业发展状况;6.掌握资料查询、文献检索及运用现代信息技术获取相关信息的基本方法;具有一定的实验设计,创造实验条件,归纳、整理、分析实验结果,撰写论文,参与学术交流的能力。

2023年微电子科学与工程专业介绍及就业方向

2023年微电子科学与工程专业介绍及就业方向

2023年微电子科学与工程专业介绍及就业方向微电子科学与工程专业是一门集电子、计算机、材料等学科知识于一身,研究微电子器件设计、制造、测试与应用的学科。

随着信息技术的飞速发展,微电子技术在计算机、通讯、医疗、汽车、航空等领域拥有广泛应用。

本文将介绍微电子科学与工程专业的学习内容、就业前景和就业方向。

一、学习内容微电子科学与工程专业的学习内容主要分为以下几个方面:1. 半导体物理学基础:包括晶体的结构与性质、半导体基础、能带理论等。

2. 微电子器件制造技术:包括集成电路制造工艺、光刻技术、薄膜技术、芯片封装与测试技术等。

3. 微电子器件设计:包括器件电路设计、电路优化、系统创新与设计等。

4. 微电子器件性能测试:包括器件测试技术、系统测试与验证等。

5. 微电子材料:包括半导体材料、光电材料、微电子封装材料等。

二、就业前景微电子产业一直是高科技产业中的重要组成部分。

目前,在智能手机、平板电脑、电视机、汽车、医疗设备和航空等领域,微电子技术已广泛应用。

据统计,未来十年微电子市场规模将会翻倍。

因此,微电子科学与工程专业的就业前景非常广阔。

三、就业方向微电子科学与工程专业毕业后,可以在以下领域岗位上就业:1. 微芯片设计:负责设计芯片的电路原理,优化芯片的功耗、速度及面积。

2. 芯片工艺工程师:研究、开发和设计微型制半导体器件及精密电路。

3. 集成电路测试工程师:负责集成电路测试、分析及验证。

4. 产品工程师:根据市场需求和客户要求,设计、调试和实现电路板及系统级别的产品。

5. 微电子材料工程师:研究、开发和制造半导体材料和微电子器件的封装材料。

6. 微电子设备应用工程师:主要负责微电子器件的应用,解决应用问题。

7. 软件工程师:主要开发微电子器件控制的软件系统。

总之,微电子科学与工程专业的就业岗位非常广泛。

未来,微电子技术将成为世界科技的核心驱动力之一。

【发展】微电子技术的发展

【发展】微电子技术的发展

【关键字】发展什么是集成电路和微电子学集成电路(Integrated Circuit,简称IC):一半导体单晶片作为基片,采用平面工艺,将晶体管、电阻、电容等元器件及其连线所构成的电路制作在基片上所构成的一个微型化的电路或系统。

微电子技术微电子是研究电子在半导体和集成电路中的物理现象、物理规律,病致力于这些物理现象、物理规律的应用,包括器件物理、器件结构、材料制备、集成工艺、电路与系统设计、自动测试以及封装、组装等一系列的理论和技术问题。

微电子学研究的对象除了集成电路以外,还包括集成电子器件、集成超导器件等。

集成电路的优点:体积小、重量轻;功耗小、成本低;速度快、可靠性高;微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向;衡量微电子技术进步的标志要在三个方面:一是缩小芯片器件结构的尺寸,即缩小加工线条的宽度;而是增加芯片中所包含的元器件的数量,即扩大集成规模;三是开拓有针对性的设计应用。

微电子技术的发展历史1947年晶体管的发明;到1958年前后已研究成功一这种组件为根底的混合组件;1958年美国的杰克基尔比发明了第一个锗集成电路。

1960年3月基尔比所在的德州仪器公司宣布了第一个集成电路产品,即多谐振荡器的诞生,它可用作二进制计数器、移位寄存器。

它包括2个晶体管、4个二极管、6个电阻和4个电容,封装在0.25英寸*0.12英寸的管壳内,厚度为0.03英寸。

这一发明具有划时代的意义,它掀开了半导体科学与技术史上全新的篇章。

1960年宣布发明了能实际应用的金属氧化物—半导体场效应晶体管(metal-oxide-semiconductor field effect transistor ,MOSFET)。

1962年生产出晶体管——晶体管逻辑电路和发射极耦合逻辑电路;由于MOS电路在高度集成和功耗方面的优点,70年代,微电子技术进入了MOS电路时代;随着集成密度日益提高,集成电路正向集成系统发展,电路的设计也日益复杂、费事和昂贵。

2022年微电子技术专业就业前景和就业方向分析

2022年微电子技术专业就业前景和就业方向分析

2022年微电⼦技术专业就业前景和就业⽅向分析培养⽬标:培养掌握⼤规模集成电路及其半导体器件的设计⽅法和制造⼯艺,具有从事芯⽚⽣产过程的⼯艺加⼯、设备维护、器件测量能⼒的⾼级技术应⽤性专门⼈才。

就业⽅向:本专业学⽣毕业后可在集成电路制造⼚家、集成电路设计中⼼以及通信和计算机等信息科学技术领域从事开发和研究⼯作。

2022年微电⼦技术专业就业就业薪酬统计通过11份微电⼦技术专业就业状况分析,微电⼦技术专业平均薪酬⽔平为 7820 元。

若按照⼯作经验和⼯龄来统计,微电⼦技术专业应届毕业⽣⼯资5000,0-2年⼯资9000,6-7年⼯资9000,3-5年⼯资12500。

你认为上⾯关于微电⼦技术专业的就业薪酬统计准确吗?太⾼还是太低了?2022年微电⼦技术专业就业排名统计微电⼦技术专业就业前景怎么样?根据123份就业数据分析出:1. 微电⼦技术专业在所有 1099个专业中,就业排名第829;2. 微电⼦技术专业在电⼦信息61个专业中,就业排名第48;3. 微电⼦技术专业在电⼦信息类28个专业中,就业排名第20。

除了微电⼦技术专业之外,⼩编建议参考下下⾯⼏个就业前景也不错的专业(按照就业热度排名):就业排名专业名称所属类别就业热度1信息安全技术电⼦信息类248232智能产品开发电⼦信息类153903应⽤电⼦技术电⼦信息类87014电⼦⼯艺与管理电⼦信息类54515信息技术应⽤电⼦信息类45826信息技术应⽤电⼦信息类45827⽆线电技术电⼦信息类12638数字媒体技术电⼦信息类10379电⼦电路设计与⼯艺电⼦信息类86210光电⼦技术电⼦信息类771微电⼦技术专业就业区域和⽅向统计微电⼦技术专业就业⽅向有哪些?哪个地区需求量⽐较⼤?根据123份就业数据分析出:1. 需求微电⼦技术专业最多的地区是北京,占35%;2. 需求微电⼦技术专业最多的⽅向是电⼦技术/半导体/集成电路,占44%。

除了上述就业地区和⽅向外,微电⼦技术专业在下⾯地区和⽅向中也特别受欢迎:⼀、微电⼦技术专业就业⽅向分布排名⽅向占⽐1电⼦技术/半导体/集成电路44%2计算机软件21%3仪器仪表/⼯业⾃动化6%4通信/电信/⽹络设备5%5互联⽹/电⼦商务4%6计算机硬件4%7教育/培训/院校3%8新能源3%9环保2%10航天/航空2%⼆、微电⼦技术专业就业地区分布排名地区占⽐1北京35%2上海21%3深圳15%4朝阳8%5西安6%6⼴州4%7武汉3%8东莞2%9厦门2%10⼤连2%以上关于微电⼦技术专业就业前景和就业⽅向的各种数据分析仅供参考。

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微电子学技术发展的瓶颈和出路

黄璇 黄德欢

在当今的信息社会中,电子学的应用显得越来越重要。信息的获取、放大、存储、处理、传输、转换和显示都离不开电子学。电子学技术早已经成为人类经济的 命脉。电子学未来的发展,将以“更小、更快、更冷”为目标。“更小”是进一步提高芯片的集成度,“更快”是实现更高的信息运算和处理速度,而“更冷”则是 进一步降低芯片的能耗。只有在这三方面都得到同步的发展,电子学技术才能取得新的重大突破。数年前,根据电子器件“更小、更快、更冷”的发展目标,美国国 防高等技术研究署(DARPA)提出了超电子学(ultra electronics)研发计划,要求未来的电子器件要比现有的微电子器件的存储密度高5~100倍,速度快10~100倍,而能耗则要小于现有器件能 耗的2%,最终希望达到“双十二”,即1012位的存储器容量和1012次/秒的运算器速度,且廉价而节能。这显然对未来的微电子加工技术提出了更高的要 求。

本文在分析微电子加工技术和超大规模集成电路发展的基础上,剖析它们面临的发展瓶颈。随着对集成电路芯片的要求越来越高,微电子器件将过渡到纳米电子器件,后者将成为21世纪信息时代的核心。

微电子学技术的巨大成就 微电子学技术及超大规模集成电路的飞速发展使得人类在计算机、电子通讯、航空航天等重大经济领域取得了突飞猛进的进展,它们已经成为当代各行各业智能工作的基石。

2000年10月10日,瑞典皇家科学院宣布,2000年度诺贝尔物理奖授给俄罗斯圣彼得堡约费物理技术研究所的阿尔费罗夫(Z. Alferov)、美国加州大学圣巴巴拉分校的克勒默(H. Kroemer)和美国得克萨斯仪器公司的基尔比(J. Kilby)。阿尔费罗夫和克勒默因为发明了基于半导体层状异质结构的快速光电子和微电子元件,获得了本届诺贝尔物理奖。利用这种半导体层状异质结构技术 制造的快速晶体管和激光二极管,分别在卫星无线电通信和移动电话通信,以及条形码阅读仪和光盘播放机等技术上得到了广泛应用。基尔比则因在发明和开发集成 电路芯片中所作的杰出贡献而同时获得诺贝尔物理奖。集成电路的发明,使微电子元件成为现代技术的基础。在诺贝尔奖的百年历史上,把物理奖颁给一种技术是极 为少见的。20世纪的最后一顶物理学王冠之所以会戴在微电子学技术的头上,是因为它对人类的影响实在是太大了,在当代社会中有着举足轻重的地位。

半个世纪以来,电子学技术领域发生了两次重大技术革命,一是晶体管取代真空电子管,二是集成电路取代传统的导线连接电路。这两次技术革命对人类以计算 机和信息技术为基础的新技术的发展起到了巨大的推动作用。特别是超大规模集成电路的出现,导致了现代计算机技术和通信技术翻天覆地的变化,催生出了一个巨 大的计算机产业,并进而孕育出了一个崭新的信息时代。如今,人们享受着“信息的阳光”,诸如,手里拿的手机、桌上摆的计算机、小巧方便的掌上电脑、无处不 在的网络,以及各种各样的电子设备与系统等等。而这些信息时代的高科技产物都离不开一种最核心的部件,那就是集成电路。

集成电路从1950年代末开始发展,已有40余年的历史。它的发展从小规模(SSI,1950年代末,集成度仅102个晶体管)、中规模 (MSI,1960年代末,集成度为103个晶体管)、大规模(LSI,1970年代初,集成度约为104个晶体管) 、超大规模(VLSI,1970年代末,集成度在105个晶体管)、直至现在的特大规模(ULSI,1980年代开始,集成度现已达到107 ~ 108个晶体管)阶段。集成电路的集成度越高表明制造工艺中的制程精度越高(即光刻加工的最小线宽越小),电路中的晶体管尺寸也就越小。

近30年来,全球最大的芯片制造商英特尔公司(Intel)计算机芯片的主要发展过程,代表了全球集成电路发展的历程。

自1971年英特尔公司发布第一枚计算机芯片以来,至今已经更新换代十几次,芯片的电子特性和集成度在不断地更新换代当中得到大幅度的提高。例 如,1971年,英特尔的4004芯片,时钟速度才为108千赫,内有晶体管2300个,制程精度(最小线宽)为10微米;到1999年,英特尔的 Pentium III芯片(奔腾III芯片),时钟速度已经接近1吉赫,在面积为217平方毫米的芯片内有晶体管2800万个,制程为0.18微米。2002年8月投产 的Pentium IV计算机芯片,其时钟速度已经高达2.8吉赫,制程也达到了0.13微米。尽管Pentium IV 芯片的面积降低到116 平方毫米,但芯片内的晶体管数却超过了5500万个。30年来,计算机芯片的时钟速度和集成度都提高了约25000倍;制程则从1971年的10微米缩小 到今天的0.13微米,用于集成电路加工的制程精度提高了约76倍。

计算机芯片时钟速度的提高确实出乎人们的预料。虽然从最早计算机4004芯片时的108千赫发展到Pentium IV 芯片的2吉赫总共用了30年时间,但从1吉赫到2吉赫却只用了1年。而且,时钟速度还在继续飞速提高,人们普遍相信10年后将会达到30~100吉赫。

1965年,英特尔创始人摩尔(G. Moore)曾对计算机芯片未来的发展趋势作了一个重要预测,他认为“每隔18个月新芯片的晶体管数量要比先前的增加一倍,同时性能也会提升一倍”。事实 已经证明,摩尔定律(Moore's law)在过去的30多年里准确地代表着芯片技术的发展趋势。但是,随着集成电路的集成度越来越高,晶体管的尺寸和集成电路的最小线宽也越来越小,摩尔定 律受到了极大的挑战。因为按照摩尔定律的发展趋势,近年内微电子加工技术的制程精度将达到0.1 微米以下,现代微电子学光刻加工技术也已经接近它的物理极限,现行的半导体制造工艺的发展空间将十分有限。

微电子学技术发展的限制 尽管微电子学技术给人类带来了前所未有的巨大进步,但它进一步发展的空间却已经受到了极大的限制。这些限制已经成为微电子学技术继续发展的重大瓶颈。能否突破这些瓶颈是微电子学技术发展所面临的极大挑战。 光刻技术限制 集成电路的加工设备中,光刻是核心。30年来,集成电路之所以能飞速发展,光刻技术的支持起到了极为关键的作用,因为它直接决定了单个晶体管器件的物理尺 寸。每一代新的集成电路的出现,总是以光刻所获得的最小线宽为主要标志。光刻技术的不断发展从三个方面为集成电路的进步提供了技术保证: (1)大面积均匀曝光,在同一块硅片上加工出大量的器件和芯片,保证了批量化的生产水平,硅片的尺寸也从最初的2英寸直径,逐渐发展到4英寸、6英寸、8 英寸直至现在的12英寸直径;(2) 光刻的最小线宽不断缩小(现已达到0.13微米),使芯片的集成度不断提高,生产成本也随之下降;(3)集成电路中的晶体管尺寸不断缩小后,随着晶体管的 时钟速度的不断加快,集成电路的性能也得以持续不断地提高。

缩小晶体管的尺寸和线宽的基本方法在于改进光刻技术,也就是使用更短波长的曝光光源,经掩模曝光,把刻蚀在硅片上的晶体管做得更小、连接晶体管的导线 做得更细来实现。在光刻加工技术中,最小线宽的加工取决于所选用的光波的波长(光刻的光斑直径等于半波长)。目前,光刻中使用的光源是深紫外光,所以现行 的光刻技术也被称为深紫外光光刻技术。在微电子加工中已经得到成功应用的深紫外光源有: 波长为248纳米的KrF准分子激光光源和193纳米的ArF准分子激光光源。但是,即使是使用较短波长的ArF准分子激光光源,其光刻精度仍然无法达到 小于0.1微米。也就是说,当集成电路最小线宽的要求小于0.1微米时,现行的光刻技术将无能为力而面临着失败。

为了实现更高的光刻精度,人们仍在不断探索更短波长的F2激光光源(波长为157纳米)光刻技术,它的使用有望使光刻的最小线宽达到90纳米 以下。但是,这种更短波长的紫外光很容易被空气吸收,要想获得最终应用还需要探索新的光学及掩模衬底材料。总之,157纳米光源的光刻技术开发给当今微电 子加工技术带来了新的希望,但还有很多技术难关需要取得突破,也是一个不争的事实。最近,英特尔公司和台积电公司宣布,它们将在2003年推出0.09微 米的光刻生产线,这说明,在光刻精度上人类再次取得了重大突破。

材料和制造工艺的限制 随着集成电路集成度的提高,芯片中晶体管的尺寸会越来越小,这就对制作集成电路的半导体单晶硅材料的纯度要求也越来越高。哪怕是极其微小的缺陷或杂 质,都有可能使集成电路中的某个或数个晶体管遭到破坏,最终导致整个集成电路的失败。同时,集成电路集成度的提高还会引发另一个十分棘手的问题。随着集成 块上晶体管器件之间绝缘厚度的减小,当小到5个原子的厚度时(特别容易出现在绝缘层的缺陷处),量子隧道效应将会出现,即传输电荷的电子将会穿过绝缘层, 使晶体管器件之间的绝缘失效。

在制造工艺方面,随着光刻精度的提高,也需要相应提高硅片(基板)和光刻掩模板的表面平整度,对于数十纳米的最小线宽制程,表面平整度几乎是原子尺 度。除此之外,光刻精度的提高对基板和掩模板之间的平行度要求也越来越高。这些十分苛刻的制造工艺条件,无疑也将成为提高光刻精度的另一个重要瓶颈。

能耗和散热的限制 微电子学技术除了在光刻加工技术上和半导体材质上存在着急待突破的技术限制之外,它还受到了器件能耗过大和芯片散热困难的严重困扰。随着集成电路芯片 中晶体管数量大幅度增多,芯片工作时产生的热量也同样在大幅度增加,芯片的散热问题已经成为当今超大规模集成电路进一步发展的严重障碍,降低器件的能耗和 解决芯片的散热也已成为微电子学技术进一步发展的一个主要技术瓶颈。

当今的微电子器件(如场效应晶体管),由于本身的工作能耗太大,已经很难适应更大规模集成的需要。换句话说,即使通过芯片的新设计(如多层芯片设计技 术)和光刻加工技术的改进(如极紫外光光刻技术)在一定程度上可以提高芯片的集成度,但由于目前微电子器件的工作电流和能耗都太大,大量的发热使集成电路 很难保证其正常的工作状态。同时,芯片的过热还会造成其使用寿命缩短、可靠性降低等严重问题。

对此,英特尔公司微处理器研究实验室负责人齐勒(J. Ziller)指出“芯片的能耗是提高集成度的一堵难以逾越的障碍”。微处理器速度可望在10年后达到30~100吉赫,运算次数则达到10000亿次/ 秒,高速运行的微处理器芯片的发热量将和它们的速度一样也大得惊人,几乎与核反应产生的热量、或太阳表面的热量不相上下。所以,能够满足“更冷”要求的低 能耗芯片技术的开发是芯片得以进一步发展的当务之急。

不过,限制微处理器的能耗并不是一件容易的事情。为使微处理器能耗降低,必须在材料性能和晶体管结构上进行大量的改进,例如: (1) 美国IBM公司首倡的以铜代铝技术,即芯片中采用铜线代替原先的铝线连接技术,由于铜比铝导电性更好,可以提高器件间的传输速率,降低连线的电阻,在提高 芯片性能的同时,也能够在一定程度上降低芯片的发热量;(2) 在芯片设计上进行一些重大的革新,包括开发双内核微处理器,开发向微处理器的部分区域输送少量电流的小型能量来源,以及寻找能够代替或使硅的性能得到进一 步增强的新型化合物。

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