特气气柜部件介绍

过流开关
EFS
高限（increase）和低限（decrease） 开关量输出，报警点不可调
安装：
1)必须安装在竖直管线上（±7°），且箭 头向上 2）周围1”范围内无铁材料 3）只适应于气体介质
高温ห้องสมุดไป่ตู้头
高温报警 设定点不可调（63℃） 开关量输出（NC/NO） 一直高温会损坏
H.T
火焰探测器
UV/IR
若硅烷钢瓶在运输途中，有人打开钢瓶阀门，然后再关闭。你在拧 掉这样钢瓶的堵头时会怎样？？吓得扔掉扳手逃跑？还是动作迅捷的 将CGA堵头拧紧？
SRPV
膜阀（气动/手动）
主要厂商： Swagelok Parker APTech Rotarex Ham-let Fujikin Kitz TK
手动膜阀
直手柄和圆手柄 90°和3/4开度 高压和低压 接口（VCR和焊接）及尺寸大小 Cv值大小 阀座材质（PCTFE/Vespel） 阀体材 质（SS316L/哈氏合金） Ra值（10μ、7μ和5μ） 工作温度（一般最大60C）
真空发生器
Vacuum Generator
V.G: 真空发生器产生真空的原理和传统真空泵是不一样的。它是 让压缩空气或氮气 在泵体内形成高速气流，大家知道，气体的流动速度越高，当地 的气体压力就越低 （从柏努利方程可以得出），因此就具有越强的抽吸能力。真空 发生器就是利用这 种原理制成的。 最大真空度：-13psig
气动膜阀
SRPV
PT/PG/PGS
PT
可将信号输入PLC 输出信号（电流/电压） 量程 量程越大越易漂移（温度、磁场、 湿度等）
PT/PG/PGS
PG
2寸不锈钢表 直立和背接 本地显示，较直观 量程（正压单位：bar/psi； 负压单位： in Hg）
PT/PG/PGS
PGS
背接和直立 带灯与不带灯 输出信号（开关量:NO/NC；高报 或低报时输出） 报警点设定可参考具体手册
SRPV
SRPV 44 升或B 29 升或B (AL)
49 升或A
气 瓶
16 升或C
8 升或D1 3 升或D
SRPV
Y钢瓶
T钢瓶
SRPV
为保护阀门，在移动过程中 始终必须盖上 决不要在通风口处使用扳手开启 若戴手套开启困难，请使用夹带扳 手
SRPV
1-钢瓶帽 2-钢瓶阀手柄 3-钢瓶阀包装螺母 4-泄压装置 5-客户使用连接处（CGA） 6-钢瓶帽连接螺纹 7-CGA堵头 8-DOT编号 9-钢瓶序列号 10-初次水压测试日期
过滤器和纯化器
过滤器（Filter）： 1）过滤颗粒 2）精度：0.003μm 3）腐蚀性气体– Ni基金属过滤膜；其他 － PTFE过滤膜 4） CO和O3不能使用Ni基金属过滤膜
纯化器（Purifier）： 1）在线式纯化器 2）主要除：H2O、O2
双套管组件
Double Tube
外套管封死保压型： 1）外管两头封死 2）正压/负压保压，并用压力开关检测 3）压力开关信号给GDS/GMS 外套管吹N2+毒气探头型
SRPV
使用新钢瓶：
1.将钢瓶固定在气柜内后，再移走钢瓶帽。 2.拆除瓶帽后，务必确认阀门关闭金属丝和塑料袋 是否完整？！ 3.钢瓶是否有泄漏迹象？！ 4. 拆CGA堵头前，务必确认钢瓶阀门已关紧。并做 好随时锁紧CGA堵头的准备！ 5.务必确认瓶口是否需清理？！ 6.若钢瓶接口与Pigtail的CGA接口型号不同，请不 要使用转接头！存在危险！
气瓶标签
注意事项：
1.在使用新钢瓶前，务必阅读该钢瓶 上的鉴别标签。 2. 在使用新气体前，务必阅读该气体 的MSDS。 3.若钢瓶无气体名称标签，务必不要 使用。并立即退回供应商。 4.万万不可依据钢瓶颜色，来判断该 钢瓶内的气体 （重要气体的钢瓶可能是任何颜色， 请务必小心。）
1-风险和安装说明 2-危险符号 3-气体分子式 4-气体名称 5-EC号 6-UN号、气体名称及其相应的运输规则 7-信息（”cylinder shall not be emptied completely”) 8-气体供应商的名字和地
调压阀
Regulator
HPG量程：0~3000psi LPG量程：-30~160psi 保压PN2最大压力110psi
请问：更换钢瓶后做正压测漏，是否可 以用LPG保压CGA？ 为什么？
SRPV
单向阀
阀芯 阀体 复位弹簧 钢球组成
Check valve
常见故障：
1.复位弹簧折断，气体或液体反向流通 2、阀芯被脏污卡死在全开位置，漏气或液 体外漏
可探测红外和紫外波长 一般选用开关量输出 需定期清理探头前的保护玻璃，以免灰尘影响精度 定期测试
喷淋头
Sprinkler
煤油液泡 腊封 设置点不可调（69C） 喷淋水压力：3~4bar 用于降温，而非灭火
压差计和压差开关
Manometer
设置点可调 开关量输出 气柜负压要求： 10~30mmH2O
2）设定温度：35~45C
毒气监控系统
GDS
电化学式探头，胶状，可任意方向安 装；不同气体不同探头 探测器：防爆和非防爆
SIH4一段2.5ppm 二段为5ppm NH3一段为12.5ppm 二段为25ppm HCL一段为1ppm 二段为2ppm O2一段为19.5ppm 二段为18.5ppm
加热毯/带
Heater
钢瓶加热毯： 1）47L钢瓶、Y型钢瓶和T-Tank 2）PID控制，可防止钢瓶“出汗”， 影响系统流量（钢瓶 出汗会损坏称）。 3）设定温度：35~45C 4）绑在钢瓶底部。并需将保护网移 去，保证加热效果。 面板/管道加热带： 1）PID控制，防止调压阀发生J-T效 应（出汗）
SRPV
1.钢瓶和钢瓶接头（DISS） 2.气动膜阀和手动膜阀 3.压力传感器和压力表/开关 4.调压阀（Regulator） 5.单向阀（C.V.） 6.真空发生器（V.G.） 7.过流开关（EFS） 8.高温探头（H.T.） 9.火焰探测器（UV/IR） 10.喷淋头（Sprinkler） 11.过滤器（Filter）和纯化器（Purifier） 12.压表/开关（Manometer） 13.双套管组件（Double Tube） 14.钢瓶加热和面板加热 15.毒气检测系统（GDS）
SRPV
气瓶存放
可燃物与氧化剂分开 腐蚀物与可燃物分开 满瓶与空瓶分开 所有气瓶远离腐蚀性蒸气 氧气瓶须与可燃性气瓶或易燃性物质分离至少6米 用链条或其它坚固的控制装置固定空瓶或装满气体 的气瓶 直立存放 不用时,将安全阀门的盖盖好 将空瓶标记“空瓶” 空瓶气阀拧紧 远离热源 远离电线 在良好通风的地方存放,并标明仅存放气