GF868质量流量计应用数据单

GF868质量流量计应用数据单
GF868质量流量计应用数据单

G E S e n s i n g

P a n a m e t r i c s

GF868质量流量计应用数据单

(GF868 Mass Flowmeter Application Data Sheet)

请您尽可能详细地填写您的信息。如果您需要帮助,请与我们联系,您所在地区的应用工程师与代表将非常乐意向您

提供帮助

(Please fill in as mush information as possible. If you need any assistance, please call us and an applications engineer or the

representative in your area will be happy to help you.)

姓名:日期:

(Name) (Date)

职务:电话:

(Position) (Phone)

公司名称:传真:

(Company name) (Fax)

公司地址(包括邮政编码):

(Company address: (including zip code))

安装地址(如果与上述地址不同):

(Installation address: (if different))

发货方式:现需数量:今后12个月内需要:今后2至3年内需要:(Delivery) (Qty now) (Next 12 mo) (Next 2 or 3 yr)

工艺参数

(Process Data)

请提供每个采样点的数据

(Please supply the following data for each sample point)

气体组分(包括氮气)以体积百分含量计(如需要可另附表):

(Gas composition , including nitrogen, as % by volume (attach list if possible))

下列衰减气体常见百分含量: CO2 % N2 %

(Typical % of the following attenuating gases)

腐蚀性气体成分:□湿硫化氢 % □氯化物 %

(Corrosive gases present (specify amount)) (Wet H2S) (Chlorides)

□其他

(Other)

体积流量:单位最小最大正常

(V olumetric flow rate) (Units) (Minimum) (Maximum) (Nominal)

质量流量:单位最小最大正常

(Mass flow rate) (Units) (Minimum) (Maximum) (Nominal)

双流向:□不是□是

(Bidirectional flow) (No) (Yes)

密度或分子量:单位最小最大正常

(Density or MW) (Units) (Minimum) (Maximum) (Nominal) 压力:单位最小最大正常(Pressure) (Units) (Minimum) (Maximum) (Nominal) 温度:单位最小最大正常(Temperature) (Units) (Minimum) (Maximum) (Nominal) 每年中处于最高温度的时间(以分钟为单位):

(Annual duration at maximum temperature (in minutes))

液滴:□无□有(请给出尺寸及占体积百分含量)

(Liquid droplets) (No) (Yes (specify size and % by volume))

气载颗粒:□无□有(请给出尺寸及占重量百分含量)

(Air-borne solids) (No) (Yes (specify size and % by weight))

传感器及测量管段安装

(Transducer/Flowcell installation)

管子规格:外径壁厚

(Pipe specs) (OD) (Wall thickness)

材料美国标准协会定级

(Material) (ASA rating)

直管段大致尺寸:上游长度下游长度

(Approx straight run of pipe) (Upstream) (Downstream)

测量位置:□主线□火炬支线□其他(Measurement location) (Main header) (Flare lateral) (Other)

□竖直管□水平管

(Pipe vertical) (Pipe horizonal)

□真空罐之前□真空罐之后

(Before seal drum) (After seal drum)

□隔离罐之前□隔离罐之后

(Before knock-out drum) (After knock-out drum)

需测量管段:□不需要□需要

(Spoolpiece needed) (No) (Yes)

如需要:材料

(If yes) (Construction material)

外径壁厚

(OD) (Wall thickness)

□简单直管无法兰□法兰连接□其他

(Plain end) (Flanged) (Other)

如用法兰连接:法兰尺寸等级类型

(If flanged) (Flange size) (Rating) (Type)

长度英吋/毫米(请圈定其中一个)

(Length) ( in./mm (circle one))

表面处理(法兰表面,镀层等)

(Finish (flange faces, coating, etc.))

特殊要求:

(Special requirements)

需热/冷钻孔:□不需要□需要

(Hot/cold tap ports) (No) (Yes)

如果需要:□热钻孔□冷钻孔

(If yes) (Hot tap) (Cold tap)

钻孔角度:□ 45o□ 90o□其他

(Tapping angles) (Other)

孔直径:□标准(3英吋,sch 40)□其他

(Port diameter) (Standard 3-in., sch 40) (Other)

加工:□用户□ Panametrics 推荐承包人

(Tapping done by) (Customer) (Panametrics recommended contractor)

隔离阀:□用户提供□ Panametrics 提供

(Isolation valve) (Provided by customer) (Provided by Panametrics) 种类:□标准(3英吋,150磅,两法兰面距离8英吋)

(Type) (Standard (3 in., 150 lb, 8-in. Face-to-face length))

□其他(请给出)

(Other)

推荐厂家:零件号:

(Recommended manufacturer) (Part number)

安装区域分类:□危险□不危险□不危险,但需全天候型防护

(Area classification) (Hazardous) (Nonhazardous) (Nonhazardous weatherproof) 如果有危险:类别级别组别

(If hazardous) (Class) (Division) (Groups) 特殊要求(Special requirements):

环境条件(腐蚀性气体,温度,湿度等)(Ambient conditions (corrosive gas, temperature, humidity, etc.)):

测量参数

(Measurement Parameters)

体积单位:□标准立方英尺□标准立方米□实际立方英尺□实际立方米

(V olumetric units) (Standard ft3) (Standard m3) (Actual ft3) (Actual m3)

注:标准立方英尺或立方米要求有温度与压力输入

(Note:Standard ft3 or m3 requires input of temperature and pressure)

流速单位:□英尺/秒□米/秒

(Velocity units) (ft/s) (m/s)

模拟输出:□ 0到20毫安□ 4到20毫安□标准的□隔离的

(Analog output) (0 to 20 mA) (4 to 20 mA) (Standard) (Isolated)

□其他(请给出)

(Other (specify))

累计脉冲输出:□没有□正向□反向□没有(Totalizer pulse output) (None) (Forward) (Reverse) (None) 报警(高/低/故障):□没有□标准□气密封型继电器

(Alarms (high/low/fault)) (None) (Standard) (Hermetically sealed)

特殊要求(Special requirements):

仪表环境

(Electronics Environment)

安装区域分类:□危险□不危险□不危险,但需全天候型防护

(Area classification) (Hazardous) (Nonhazardous) (Nonhazardous weatherproof) 如果有危险:类别级别组别

(If hazardous) (Class) (Division) (Groups)

仪表机壳:□ 19英吋架装□防爆 NEMA 7 □防水,耐腐蚀 NEMA 4X

(Electronics housing) (19-in. Rack mount) (Explosionproof NEMA 7) (Waterproof, corrosion-resistant NEMA 4X)

仪表位置:□室内□室外

(Console installation) (Indoor) (Outdoor)

环境条件(腐蚀性气体,温度,湿度等)(Ambient conditions (corrosive gas, temperature, humidity, etc.)):

仪表到传感器之间电缆长度(最长1000英尺,约330米):英尺/米(请圈定其中一个)(Cable distance from console to transducers (1000 ft max)) ( ft/m (circle one))

可用电源:□ 100/120/220/240伏交流, 50/60赫兹□ 12 到 24 伏直流

(Power available) (100/120/220/240V AC, 50/60Hz) (12 to 24 VDC)

□其他(请给出)

(Other (specify))

冲击(雷击)保护:□传感器连接件□主电源

(Surge (lighting) protection) (Transducer connections) (Mains power)

□ 4到20毫安输出□ 4到20毫安输入

(4-to 20-ma output) (4-to 20-ma inputs)

其他防护:□防震□防晒□清洗□其他(请给出)

(Other protection) (Shack) (Shade) (Purge) (Other (specify))

特殊要求,诸如校准、选项、特殊量程、软件、数据格式等(需要请另附纸张) (Special requirements such as calibration, options, special ranges, software, data format, etc. (attach a separate sheet if more space is needed)):

现有问题及条件

(Existing Problems & Conditions)

目前使用的流量计:

(Existing flowmeters used)

现有流量计的问题 (Problems with current flowmeters):

请提供非保密的安装区照片或草图

(Nonproprietary Photograph or Sketch of Installation)

请以大致的尺寸给出上、下游的情形,附近安装的管子及结构,以及传感器和仪表的位置、距离。列出常见和特殊的声、

电磁噪声来源,严重的振颤,腐蚀源以及所有有可能影响正常测量的干扰因素。

Show upstream and downstream conditions with approximate dimensions, location of adjacent pipes and structures, and locations and distances between the transducers and the electronics console. List normal and special sources of acoustic or electromagnetic noise, serious vibration, sources of corrosion, and any other significant interfering parameter that might prevent successful measuring.

气体质量流量计

气体质量流量计 目前所用各种型式的气体流量计,绝大部分是计量气体的体积流量。由于气体的体积随温度与压的不同而变动,所以常发生较大的计量误差。如工作压力经常变动,更使计量发生困难。 气体质量流量计的主要特点是不受温度与压力变动的影响,其显示读数直接指示气体的质员流量它具有一系列优点: 1. 在常压、高压或负压的条件下均可选用。 2. 可在常温、100度,甚至又高的温度下正常运行。 3. 适用的量程范围宽,既能用于实验室内小流量的场所也可用于工厂生产中的大型装置。 4. 流量计的阻力降极微。 5. 抗介质腐蚀的能力强。 6. 计量精度高。 7. 输出电讯号,可远传显示,还便于与其他仪表配合后实现流量记录.自控或累计。 质量流量计是一种热导式仪表早在本世纪初,托马斯(Thomas)提出了它的原型,后几经变革惭趋善。目前许多国家有这类流星计的工业产品,厂泛应用于各个工业生产及科学实验的领域。虽具结构各有差异,但其原理是基本一致的。我国自1976年以来,也已有几种产品陆续间世,较多地用于原子能工业及半导体制造工业。我们曾用于80大气压微型催化反应装置中计量氢气流量,己得了成功的经验。若能把它推广应用于石油、化工业的各个方面必将收到良好的效益。

质量流量计原理图 这种流量计的基本原理是在一很小直径(4毫米)的薄壁金属管(常用不绣钢、纯镍或蒙乃尔台金等蚀合金)的外壁,对称绕上四组电阻丝,相互联接组成惠斯顿电桥(见下图),其守桥留绕组l与绕3分内、外两层平绕于管了左侧(上游),绕组2与6则同样地绕于管子的右侧(下游)。如图接上电流的直流电源后,电流通过绕组而致升温,沿金届导管轴向形成一个对称分布的温度场(图中实所示)。当气体流经导管时因气体吸热而使上游管壁温度下降,通过下游时气体放热,管壁温度上导致了温度场的变异,即温度最高点位置向右偏移(图中虚线所示)。电阻丝采用电阻温度系数较的材料能灵敏地反映温度的变化而使电桥失去平衡。最后,将电桥的不平衡电压讯号放大或者转成电流讯号。从理仑上来说这输出讯号的大小正比于气体的质量流量与气体比热的乘积,可简单表达为: 式中:E一输出讯号 k一比例常数 Cp一气体比热(定压) M一气体的质量流量 A一流量计各绕组与周围环境间的总传热系数 就理想气体而言,气体的比热是不随压力而变化的常值,所以输出讯号仅与气体的质量流量成正一般的真实气体其比热受压力影响的变动幅度很小故仍可用输出讯号直接代表质量流量。认为与

气体质量流量控制器原理

LINE-TECH(莱因泰可)北京 LINE TECH自1997年成立后迈进了气体控制相关技术工程, 终于诞生出今天的M系列,MFC/MFM产品。 LINE TECH气体质量流量控制器和流量计广泛应用于:真空镀膜设备、光电产业到工业工具的表面镀膜、SPUTTER磁控溅射台、PVD、CVD、MOCVD、氧化、等离子刻蚀、离子注入,直拉式晶炉,精密半导体、燃料电池、气调储存保鲜相关设备、生物反应器、生物过程控制器、大学实验室、研究所、食品及制药产业、医疗设备、气相色谱仪等相关行业。 LINE-TECH致力于为客户提供专业的仪器仪表及精密稳定的过程控制设备。公司自成立以来,以灵活的经营机制,以“质量第一、服务第一、客户第一”的信念,为客户提供更加专业化的、优质的服务,深受各界用户的欢迎,并且在石油、化工、电力等重点行业做出了突出成绩。如今产品远销美国,澳大利亚,日本,台湾,伊朗,中国,印度等...我们将一如既往的为所有的客户提供更优质、高效的服务。属性特征 ?质量流量检测 ?不因温度和压力的波动 而失准 ?方便型的流量控制系统 ?高准确度 ?拒绝漏气 ?耐高压(90bar) ?快速的响应时间 ?高重复精度 ?性能稳定 ?宽量程比 ?高性价比 ?ce认证 ?ISO9001:2008/KS Q9001;2009 ?完善的AS售后服务

关于MFC和MFM 1.质量流量计,质量流量控制器的概念 质量流量计,即Mass Flow Meter(MFM),是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。 质量流量控制器,即Mass Flow Controller(MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。 2.质量流量计,质量流量控制器的流量单位 气体质量流量单位一般以SCCM(Standard Cubic Centimeter per Minute)和SLM(Standard Liter per Minute)来表示,亦即每分钟标准毫升、每分钟标准升。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是SCCM、SLM不同于Ml/min、L/min之处。 如果需要单位时间内流过的质量(如g/min),可以查阅标准状态下的气体密度,然后作乘法就可以了。3.质量流量计/质量流量控制器的主要的优点 (1)直接测量气体的质量流量 热式质量流量计直接测量流体质量流量,输出质量流量信号,无需其他设备,如温度测试仪和压力表,也无需进行换算。 (2)无可移动部分 本身无类似转轴等的移动部件,增加了本身的可靠性,无需机械维护。 (3)可以精确的测量微小流量,采用分流装置,又可以测量大流量,而且温度,压力范围很大。 (4)测量控制的自动化 质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示,流量自动计量,数据自动记录,计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。(5)精确地定量控制流量 质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制,是用于对于不同气体的比例控制等。 (6)准确度高,重复性好 我们的产品准确度可达+-1%F.S(full scale)重复性为+-0.25%F.S(full scale) (7)体积小巧,安装方便,操作简单 (8)技术先进,符合发展潮流 4.使用流量计/质量流量控制器应注意的问题 (1)被测气体需要清洁。 注意不要造成气路堵塞,当质量流量控制器出现某些故障,或气源不洁导致传感器或分流器堵塞,或因操作失误,均有可能造成堵塞。对于的用户而言,应当特别给以注意,既要选择合适的型号,又要正确进行系统设计和正确使用。 (2)我公司产品以氮气(N2)来标定,如用其他气体时需要进行换算 5.区分使用质量流量计和质量流量控制器的场合 一般而言,仅对流量进行计量或监测时,用质量流量计;需要对流量进行控制时,用质量流量控制器。某些测量场合,用二者皆可,但质量流量控制器更好用。 6.不同气体的质量流量的换算 产品出厂一般是按氮气标定、按氮气流量确定流量规格。用同一规格的MFM/MFC测量不同的气体,当流量检测值相同时,实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体(氮气)的质量流量转换系数。如果您使用的产品是标准出厂产品(按氮气标定显示),而需要知道实际使用气体的质量流量时,先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中,在此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的质量流量;反之,在确定所购产品的量程时,以实际使用气体的最大期望流量值除以转换系数,即是相应的氮气标定产品的流量值。

气体质量流量计控制器知识

气体质量流量计控制器知识 气体质量流量控制器(MFC)与气体质量流量计(MFM),MFC是带有控制气体质量流量的装置,而MFM 是不具有控制气体质量流量功能的装置。 首先区分一下 MFC为Mass Flow Controller的缩写,即质量流量控制。流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力,它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的,简称科氏力。质量流量计以科氏力为基础,在传感器内部有两根平行的T型振管,中部装有驱动线圈,两端装有拾振线圈,变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时,振动管作往复周期振动,工业过程的流体介质流经传感器的振动管,就会在振管上产生科氏力效应,使两根振管扭转振动,安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号,这两个信号差与流经传感器的流体质量流量成比例关系。计算机解算出流经振管的质量流量。不同的介质流经传感器时,振管的主振频率不同,据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。 质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。由于变送器是以单片机为核心的智能仪表,因此可根据上述三个基本量而导出十几种参数供用户使用。质量流量计组态灵活,功能强大,性能价格比高,是新一代流量仪表。 测量管道内质量流量的流量测量仪表。在被测流体处于压力、温度等参数变化很大的条件下,若仅测量体积流量,则会因为流体密度的变化带来很大的测量误差。在容积式和差压式流量计中,被测流体的密度可能变化30%,这会使流量产生30~40%的误差。随着自动化水平的提高,许多生产过程都对流量测量提出了新的要求。化学反应过程是受原料的质量(而不是体积)控制的。蒸气、空气流的加热、冷却效应也是与质量流量成比例的。产品质量的严格控制、精确的成本核算、飞机和导弹的燃料量控制,也都需要精确的质量流量测量。因此质量流量计是一种重要的流量测量仪表。 质量流量计可分为两类:一类是直接式,即直接输出质量流量;另一类为间接式或推导式,如应用超声流量计和密度计组合,对它们的输出再进行乘法运算以得出质量流量。 直接式质量流量计 直接式质量流量计有多种类型,如量热式、角动量式、陀螺式和双叶轮式等。 (1) 主要参数: 质量流量精度: ±0.002×流量±零点漂移 密度测量精度: ±0.003g/cm3 密度测量范围: 0.5~1.5g/cm3 温度测量范围: ±1°C (2) 传感器相关数据: 环境温度: -40~60°C

热式质量流量计工作原理与常见问题分析

热式质量流量计工作原理与常见问题分析 【摘要】介绍了热式质量流量计的工作原理与特点,同时分析了流量计在使用过程中经常出现的故障及处理方法,最后对日常维护做了简要说明。 【关键词】热式质量流量计;工作原理;常见故障;处理方法;日常维护 引言 热式质量流量计在传统化工企业中不多常用,但在聚甲醛精细化工企业中,由于使用化工原料三氟化硼,因三氟化硼是剧毒腐蚀性化学品,作为三聚甲醛反应过程的催化剂,使用量很小,而且要求测量准确、调节精密,常规流量仪表无法达到三氟化硼的测量要求,从而采用专用流量计--三氟化硼热式质量流量计实现测量调节,以达到工艺装置生产的要求。本文适用于聚甲醛化工企业中在线使用的SLAMF50SH1CD1K2A1K411AA热式质量流量计(品牌BROOKS),其他同类型仪表可参照使用。 1 工作原理 热式气体质量流量计是利用热扩散原理测量气体流量的仪表。传感器由两个基准级热电阻(RTD)组成。一个是速度传感器RH,一个是测量气体温度变化的温度传感器RMG。当这两个RTD置于被测气体中时,其中传感器RH被加热,另一个传感器RMG用于感应被测气体温度。随着气体流速的增加,气流带走更多热量,传感器RH的温度下降。 根据热效应的金氏定律,加热功率P、温度差△T(TRH-TRMG)与质量流量Q有确定的数学关系式。P/△T=K1+K2 f(Q)K3 K1、K2、K3是与气体物理性质有关的常数。热式气体质量流量计独特的温度差测量方式克服了采用恒温差原理的热式气体质量流量计测量煤气流量时因煤气中含水、油和杂质而造成的很大的零点漂移,导致无法测量的弊端。 2 常见故障及处理方法 2.1 故障:流量计工作不稳定;处理方法:保证流量计前压力稳定,投运方法正确。 投运流量计时做到流量计前的平稳,不能直接开钢瓶减压阀代替流量计前手阀。在更换钢瓶或切换流量计时,要关闭流量计前手阀,待压力稳定在操作压力0.7Mpa以下,慢慢打开手阀。突然的流量涌动会造成器件损坏。更换钢瓶或切换流量计时由工艺人员和仪表人员共同完成,相互督促。切忌用压缩空气对管线进行吹扫。 2.2 故障:流量计堵塞;处理方法:流量计前的过滤器及流量计需要定期清

科里奥利质量流量计介绍

科里奥利质量流量计 科里奥利质量流量计(Coriolis Mass Flowmeter)简称科氏力流量计,是利用流体在振动管中流动时,将产生与质量流量成正比的科里奥利力的原理测量的。由于它实现了真正意义上的高精度的直接流量测量,具有抗磨损、抗腐蚀、可测量多种介质及多个参数等诸多优点,现已在石油化工、制药、食品及其他工业过程中广泛应用。 科氏力质量流量计计量准确、稳定、可靠,在需要对流体进行精确计量或控制的场合选用较多,但其售价较高,在不需要精确计量及控制的场合一般选用其他质量流量计代替。科氏力质量流量计对于液体和气体都可选用,但是在现场应用中,氢气流量的精确测量一般都选用热式质量流量计。 在我国,艾默生高准公司的科里奥利质量流量计已在兰州石化、安庆石化、新疆塔河油田、中国海洋石油等中低压天然气中的流量计量得到良好的应用。2007年末,高准公司的科里奥利质量流量计,顺利通过了中国最权威的原油大流量计量站成都天然气流量分站(CVB)的天然气实流测试,测量精度达到0.5%,并具有良好的重复性。 1 科里奥利质量流量计的工作原理 科氏力流量计由传感器和变送器两大部分组成。其中传感器用于流量信号的检测,主要由分流器、测量管、驱动、检测线圈和驱动、检测磁钢构成,如图1所示。 变送器用于传感器的驱动和流量检测信号的转换、运算及流量显示、信号输出,变送器主要有电源、驱动、检测、显示等部分电路组成。所有流量计都必须人为地建立一个旋转体系,以双“U”型测量管传感器为例,用电磁驱动的方法使“U”型测量管的回弯部分作周期性的微小振动。这相当于使“U”型管绕一个固定轴(OO 轴)作周期性时上时下的旋转,其旋转方向周期性的变化,像钟摆一样运动。“U”型管的出入口段被固定,这样就建立一个以“U”形管出入口段为固定轴的旋转体系。传感器力学分析如图2所示。

气体质量流量转化器系数表

气体比热(cal/g,C)密度(g/L,0C)转换系数air0.24 1.293 1.001 Ar0.125 1.7837 1.407 AsH30.1168 3.4780.673 BBr30.064711.180.378 BCl30.1217 5.2270.43 BF30.1779 3.0250.508 B2H60.502 1.2350.441 CCl40.1297 6.860.307 CF40.1659 3.96360.428 CH40.53180.7150.719 C2H20.4049 1.1620.581 C2H40.3658 1.2510.597 C2H60.4241 1.3420.48 C3H40.3633 1.7870.421 C3H60.3659 1.8770.398 C3H80.399 1.9670.348 C4H60.3515 2.4130.322 C4H80.3723 2.5030.293 C4H100.413 2.5930.255 CH3OH0.3277 1.430.583 C2H6O0.3398 2.0050.391 C2H3Cl30.1654 5.950.278 CO0.2488 1.250.999 CO20.2017 1.9640.737 C2N20.2608 2.3220.451 Cl20.1145 3.1630.858 D2 1.73250.17980.997 F20.197 1.6950.93 GeCl4(锗)0.10729.5650.267 GeH40.1405 3.4180.569 H2 3.42240.0899 1.01 HBr0.0861 3.610.999 HCl0.1911 1.6270.999 HF0.34820.8930.999 HI0.0545 5.7070.999 H2S0.2278 1.520.843 He 1.24180.1786 1.414 Kr0.0593 3.739 1.415 N20.2486 1.251 Ne0.24640.9 1.415 NH30.50050.760.719 NO0.2378 1.3390.975 NO20.1923 2.0520.74 N2O0.2098 1.9640.709 O20.2196 1.4270.991 PCl30.1247 6.1270.358 PH30.261 1.5170.69 PF50.1611 5.620.302 POCl30.1324 6.8450.302 SiCl40.1277.58470.284 SiF40.1692 4.6430.348 SiH40.3189 1.4330.598 SiH2Cl20.1472 4.5060.412

质量流量计工作原理的学习

质量流量计工作原理的学习 质量流量计以科氏力为基础,在传感器内部有两根平行的T型振管,中部装有驱动线圈,两端装有拾振线圈,质量流量计直接测量通过流量计的介质的质量流量,还可测量介质的密度及间接测量介质的温度。质量流量计是一种重要的流量测量仪表。质量流量计是采用感热式测量。 流体的体积是流体温度和压力的函数,它是一个因变量,而流体的质量是一个不随时间、空间温度、压力的变化而变化的量。如前所述,常用的流量计中,如孔板流量计、涡轮流量计、涡街流量计、电磁流量计、转子流量计、超声波流量计和椭圆齿轮流量计等的流量测量值是流体的体积流量。在科学研究、生产过程控制、质量管理、经济核算和贸易交接等活动中所涉及的流体量一般多为质量。采用上述流量计仅仅测得流体的体积流量往往不能满足人们的要求,通常还需要设法获得流体的质量流量。以前只能在测量流体的温度、压力、密度和体积等参数后,通过修正、换算和补偿等方法间接地得到流体的质量。这种测量方法,中间环节多,质量流量测量的准确度难以得到保证和提高。随着现代科学技术的发展,相继出现了一些直接测量质量流量的计量方法和装置,从而推动了流量测量技术的进步。 流体的体积是流体温度、压力和密度的函数。在工业生产和科学研究中,仅测量体积流量是不够的,由于产品质量控制、物料配比测定、成本核算以及生产过程自动调节等许多应用场合的需要,还必须了解流体的质量流量。 质量流量计的测量方法,可分为间接测量和直接测量两类。间接式测量方法通过测量体积流量和流体密度经计算得出质量流量,这种方式又称为推导式;直接式测量方法则由检测元件直接检测出流体的质量流量。 1.间接式质量流量计 间接式质量流量测量方法,一般是采用体积流量计和密度计或两个不同类型的体积流量计组合,实现质量流量的测量。常见的组合方式主要有3种。 (1)节流式流量计与密度计的组合 由前述知,节流式流量计的差压信号P ?正比于2 qρ,如图1所示,密度计 v 连续测量出流体的密度ρ,将两仪表的输出信号送入运算器进行必要运算处理,即可求出质量流量为

热式气体质量流量计的工作原理

热式气体质量流量计的工作原理 本文主要介绍热式气体质量流量计的工作原理,安装技术规范、调试方法以及应用注意事项和ST98A流量计在滨化热力公司锅炉中的应用及常见故障处理方法。 3、质量流量计插入深度等于管内径的1/2+12.7+管厚。 4、接线 1)、出于安全因素的考虑,ST98特别要求220V AC电源采用三线制,其中一根接地线必须连接到流量变送器接线端子排的接地终端。 2)、因传统4~20mA的I/O产品对变频驱动设备等产生的高频噪声干扰较为敏感,且现场的电气高频噪声污染较为严重。避免仪表信号传输回路遭受干扰,对输出信号电缆采用屏蔽电缆,且屏蔽层在靠近变送器一端接地,DCS机柜一端包裹保护起来。 5、现场传感器部分按照图三、四联接

五、调试 使用ST98流量变送器提供的RJ-12通讯串口与FCI的FC88通讯器进行链接通讯。 第一、将风机负荷调节至40%,在过程连接头A处插入传感器总长度1/3,记录FC88 T状态下流量值,继续推进传感器至2/3处,记录流量值,最后全部推进,记录流量值。然后将传感器分别移至B和C点记录数据。 第二、将风机负荷调节至60%,在过程连接头A处插入传感器总长度1/3,记录FC88 T状态下流量值,继续推进传感器至2/3处,记录流量值,最后全部推进,记录流量值,然后将传感器分别移至B和C点记录数据。 第三、将风机负荷调节至80%,在过程连接头A处插入传感器总长度1/3,记录FC88 T状态下流量值,继续推进传感器至2/3处,记录流量值,最后全部推进,记录流量值。然后将传感器分别移至B和C点记录数据。把3个不同负荷下的9个数据相加除9,既为不同负荷下瞬时流量值。 示例:负荷40%点 A位置三个数据分别为:365NCMH、500 NCMH、700 NCMH。B位置三个数据分别为:200 NCMH、600 N CMH、900 NCMH, C位置三个数据分别为:800 NCMH、900 NCMH、1000 NCMH,9个数据相加,计算平均值是663 NCMH,这就是此管道的瞬时流量值,最佳安装点是A3或B2 。若安装在A3点,K系数为663除以7 00所得值0.947。若安装在B2点, K系数为663除以600所得值为1.105。三种不同负荷状态下数据计算,可寻出最佳的安装位置以及流场分布点,便于减小误差。 六、菜单控制和结构 1、大部分条目需要敲至少两个键:一个字母加[ENTER]键,或一个或多个数字加[ENTER]键。 2、所以有的用户条目由输入模式(input Mode)?<提示开始,只是当设备处于主功能模式下(这时需按[EN TER]选择条目)时除外。 3、 Y/N表示是(Y),保存或者改变参数,或否(N),不要保存或改变参数。 4、使用backspace(后退一格)[BKSP]键可以退后。 常用菜单选项表

质量流量计简要的介绍

质量流量计介绍 目前广泛应用的流量计,无论是差压式、靶式、涡轮、电磁或容积等型式,从原理上看都足测量容积流量的。由于流体的容积大小受其温度、压力等参数的影响,当被测流体的温度、压力坐化时,应把所测量的容积流量换算成标准状态或某一约定状态下的相应值。但事实上当温度、压力频繁变动时,进行及时的换算是很困难的,有时是不可能的。因此,希望用质量流量计来测量质量流量。另外、在实际生产中,由于要对产品进行质量控制、对生产过程中各种物料混合比率进行测定、成本核算以及对生产过程进行自动调节等,也必须了解质量流量。随着工业生产技术的发展和自动化水平的提高,例如实现大型发电机组的全程自启停、对核电站气、液二相流的规定,以及对电厂热力经济性进行更准确的评价等,都使得质量流量测量技术日益重要: 容积流量Q和质量流量M之间的关系是

M=Q (10-1) 或M=A (10-2) 式中----被测流体的密度,kg/m3; A----流体的流通截面(一般为管道的流通截面), m2; ----流通截面A处的平均流速,m/s. 质量流量计分间接式〔推导式〕和直接式两类。根据式(10 -1)测量质量流量的仪表,必须先测量积流量再乘被测流体的密度,通过密度计和乘法器实现,这种仪表称为间接式质量流量计或推导式质量流量计。日前, 密度计由于结构和元件特性的限制,在高温、高压下尚不能运用.只能采用固定的密度数值乘容积流量。众所周知,介质密度随着压力、温度的变化而异,在变动工况下采用固定的密度值将带来较大的质量流量测量误差,故必须进行参数补偿,据此发展了温度、压力补偿式流量计。检测出被测流体的温度、压力,然后按一定的数学模型自动换算出相应的密度值, 得到密度值与容积流量值的乘积便可实现质量流量测量,故称为温度、压力补偿式质量流量计。温度、压力补偿式质量流量计是当前工业上普遍应用的一种推导式质量流量计的特殊形式。 直接检测与质量流量有关的量来反映质量流量大小的流量计称为直接式质量流量计。 研制直接式质量流量计, 目的在于使最后代表质量流量的输出信号与被测介质的压力、温度等参数无关,以解决当介质参数变化围很大,其密度和温度、压力

1.质量流量计操作规程

质量流量计操作规程 1适用范围 本规程适用于集输泵站原油计量用的质量流量计。 本规程规定了原油质量流量计投运前的检查、投运、运行中的检查及停运的操作步骤。 2操作内容 2.1投运前的检查 2.1.1正确穿戴劳保用品,并进行危害辨识和风险分析,落实必要的风险削减措施。 2.1.2检查流量计组态、传感器和变送器工作正常,检查流量计安装符合要求,接线准确可靠,仪表测量范围、耐温、耐压值与被测流体相符。 2.1.3检查流量计密封情况,垫圈和O形圈完好,所有连接件紧固。 2.1.4检查仪表零位,并按规定调零。 2.1.4.1给变送器通电,预热30min,确保变送器处于允许流量计调整的安全模式。 2.1.4.2调零前传感器温度示值应接近正常运行温度,应使传感器满管,保持介质不流动方可调零。 2.2投运 2.2.1开启流量计仪表电源。 2.2.2缓慢开启流量计进口阀门,确保流量计系统内的压力缓慢上升,观察法兰、阀门及其连接管线无渗漏。 2.2.3缓慢开启过滤器、放空阀、排净气体。 页脚内容1

2.2.4缓慢开启流量计出口阀,观察表头示值正常,确认流量计运转正常,缓慢关闭旁通阀门或停运欲停流量计。 2.3运行中的检查 2.3.1按时查看仪表指示、运行状态正常,累积值与实际相符。 2.3.2对运行中的流量计定期全面检查,发现问题及时处理,并做好记录。 2.4停运 2.4.1停运流量计时,应先投备用流量计或倒通旁通流程,确认备用流量计运行正常或旁通流程无误后,方可停运待停流量计。 2.4.2关闭流量计的进出口阀门,记录流量计读数和停运时间。 2.4.3室外安装的流量计停运时间夏季超过24h,冬季超过8h,应扫净内部余液。 3注意事项 3.1每三个月进行一次综合保养及零位调校。 3.2每年对流量计内插件连接进行检查。 3.4流量计上游有新管线投产,必须采取措施,防止流量计卡堵事故的发生。 页脚内容2

质量流量计工作原理63382

今天我们就来介绍质量流量计工作原理。 质量流量计工作原理:质量流量计是采用感热式测量,通过分体分子带走的分子质量多少从而来测量流量,因为是用感热式测量,所以不会因为气体温度、压力的变化从而影响到测量的结果。质量流量计是一个较为准确、快速、可靠、高效、稳定、灵活的流量测量仪表,在石油加工、化工等领域将得到更加广泛的应用,相信将在推动流量测量上显示出巨大的潜力。质量流量计是不能控制流量的,它只能检测液体或者气体的质量流量,通过模拟电压、电流或者串行通讯输出流量值。但是,质量流量控制器,是可以检测同时又可以进行控制的仪表。质量流量控制器本身除了测量部分,还带有一个电磁调节阀或者压电阀,这样质量流量控制本身构成一个闭环系统,用于控制流体的质量流量。质量流量控制器的设定值可以通过模拟电压、模拟电流,或者计算机、PLC提供。 质量流量计的工作原理和典型结构 科氏力式质量流量计一般由传感器和信号处理系成,而流量传感器又是一种基于科里奥利力效应的谐振式传感器。这种传感器的敏感元件——振动管,是处于谐振状态的空心金属管,又称测量管。科氏力式质量流量传感器的测量管有各种不同的结构形式,按照传感器测量管的数量可将其分为单管型、双管型和连续管型三种结构。单管型结构简单,不存在分流问题,管路清洗方便。一般地说,它对外来振动比较敏感。双管型结构容易实现相位差的测量,可以较好地克服外来振动的影响,并对提高振动系统的Q值有利。目前大多数产品均采用这种结构。但这种结构同时带来的问题是两测量管中流过的流量不可能做到绝对相等,其中的沉积物和磨蚀也不可能绝对一致,从而引起附加误差。而且在两相流工作状态下,难以作到两测量管中流体分布的均匀一致,以致影响振动系统的稳定性。随着单管型结构中测量管系统的振动不平衡问题的解决,单管型结构仍具有一定的发展前景。连续管型是一种特殊形式的单管.它以环绕两圈的单管结构试图集单、双管型的优点于-身。根据测量管的形状,又可分为直管型和弯管型两大类。直管型一般外形尺寸小且不易于积存气体,但由于其振动系统刚度大,谐振频率高,相位差为微秒级,电信号的处理就比较困难。为了不使谐振频率过高,管壁必须较薄,以致其耐磨及抗腐蚀性能较差。弯管型的振动

气体质量流量计

流量计介绍 节流式流量计流体振动式流量计 质量流量计工作原理和特性超声波流量计种类介绍 涡轮流量计的特点与安装使用热线测速计的基本原理 涡街流量计的基本结构容积式流量仪表的工作原理 均速管流量计的现状与发展电磁流量计 电磁流量计的基本原理椭圆齿轮流量计介绍 科里奥利质量流量计的现状与未来容积式流量计的结构 涡轮流量计的工作原理与结构流量计类型 IC 卡智能水表车载气体音速喷嘴流量检定系统 智能化涡街流量测量系统热线测速计敏感元件的基本构造 质量流量计国家计量器具检定规程(流量部分) 超声波多普勒流量计测量原理涡街流量计的原理 热量表的热量计量原理及计算科里奥利质量流量计动态特性的研究 —种新颖型的流量计——气体质量流量计V型内锥式流量(VNZ流量计) 涡轮流量计 涡轮流量计是一种速度式流量计,其结构如图12.9所示。它主要由涡轮、导流器、壳体和磁电传感器等组成,涡轮的转轴的轴承由固定在壳体上的导流器所支撑。壳体由不导磁的不锈钢制成,涡轮为导磁的不锈钢,它通常有4~8片螺旋形叶片。当流体通过流量计时,推动涡轮使其以一定的转速旋转,此转速是流

体流量的函数。而装在壳体外的非接触式磁电转速传感器输出脉冲信号的频率与涡轮的转速成正比。因此,测定传感器的输出频率即可确定流体的流量。 为了减小流体作用在涡轮上的轴向推力,采用反推力方法对轴向推力进行自动补偿。从涡轮的几何形状可以看出,当流体流过k-k截面时,流速变大而静压力下降,随着流通截面的逐渐扩大,静压力逐渐上升,收缩截面k-k与k`-k`之间产生了不等的静压场。它所形成的压力差,使得作用在涡轮转子上的力(此力的轴向分力与流体的轴向推力反向)抵消一部分流体的轴向推力,从而减轻轴承的轴向负载。采用轴向推力自动补偿可以提高仪表的寿命和精确度。 流体进口处设有导向环和导向座组成的导流器,它使流体到达涡轮前先导直,避免因流体自旋而改变流体与涡轮叶片的作用角,从而保证仪表的精确度。为了进一步减小流体自旋的影响,流量计前后都应装有与它口径相同的一段直管段。一般流体进口的直管段长度为管道直径10倍以上,出口直管段长度不小于直径的5倍。 如果忽略轴承的摩擦及涡轮的功率损耗,经分析可知,通过流量计的流体流量q v与传感器输出的脉冲信号频率的关系为: (12.7) 式中:f—输出电脉冲信号的频率,Hz; —仪表常数(频率—流量转换系数)。 仪表常数反映涡轮流量计的工作特性,它与流量计本身的结构、流体的性质和流体在涡轮周围的流动状态等因素有密切的关系。实验表明,只有当涡轮周围流体的流态为充分紊流状态时,值才能接近一个常数值,此时流量与涡轮的转速近似成线性关系。反之,当通过流体的流态为层流状态时,值将随流体的流量和粘度的变化而改变。虽然值是在非线性范围内,但其复现性仍然很好。因此,只要根据涡轮流量计的输出频率和流体的粘度对值作适当修正,同样可以在非线性范围内使用。 流体温度变化也影响值,流体温度升高时,流量计本身要膨胀,内径会增大,流速就会降低,因此值也就减小。反之,温度下降值增大,一般每1

质量流量计

使用说明书质量流量计

目录 第一章概述 (4) 1.1工作原理: (5) 1.2传感器的结构与外形尺寸 (7) 1.3流量计结构 (10) 1.3.1 变送器外形及机柜开孔尺寸图: (10) 1.3.2传感器的外形尺寸图 (11) 1.3.3技术指标 (14) 1.3.4表的型号与选型 (16) 第二章质量流量计的安装与调试 (17) 2.1传感器的安装 (17) 2.2传感器与变送器的接线 (20) 2.3送器的接线 (21) 2.4仪表的通电和检查 (22) 2.5 常见故障的维护 (22) 第三章变送器的设置 (23)

3.1功能设置 (23) 3.1.1用户菜单密码 (23) 3.1.2系统菜单密码 (23) 3.1.3测量单位的选择 (23) 3.1.4小数点位数的选择 (23) 3.2仪表面板 (24) 3.3 操作界面 (25) 第四章防爆 (31) 4.1防爆系统的原理 (31) 4.2 防爆性能 (31) 4.3 防爆性能试验 (31) 附录:RS485通讯协议 (32)

第一章概述 质量流量计是根据科里奥利(Coriolis Force)原理,实现流体质量流量的直接精密测量,而无需任何压力、温度、粘度、密度等换算或修正。其结构是由传感器单元和变送器单元两部分组成。仪表按本质安全防爆型的国家标准设计与制造,防爆标志为Exdib[ib]IIBT5 科里奥利质量流量计能够直接测量流体的质量,具有高精度(0.1%~0.2%),应用范围广(可测量各种非牛顿流体、各种浆液、悬浮液、高粘度流体等),安装要求低(对仪表的前后直管段要求不高),运行可靠、稳定,维修率低等特点。

质量流量计

科里奥利质量流量计 第一节概论 科里奥利质量流量计(以下简称CMF)是利用流体在直线运动的同时处于一旋转系中,产生与质量流量成正比的科里奥利力原理制成的一种直接式质量流量仪表。 基于科里奥利原理的流量仪表的开发始于20世纪50年代初,但直到70年代中期,由美国高准(MicroMotion)公司首先推向市场。到80年代中后期各国仪表厂相继开发,迄1995年世界已有40家以上仪表制造厂推出各种结构的CMF。到1995 年世界范围CMF装用量估计在18万?20万台之间,1995年销售量估计在4万?4.5万台之间。 我国CMF的应用起步较晚,从80年代中期引进成套装置附带进口少量仪表开始,到技术改造所需单台进口一定数量,迄1997年估计装用量在3500~4500台之间。1997年我国已有4家制造厂自行开发CMF供应社会,如太行仪表厂已有完整的IZL系列;还有几家制造厂组建合资企业或引进国外技术生产系列仪表 第二节原理和结构 如图1所示,当质量为m的质点以速度u在对p轴作角速度①旋转的管道内移动时,质点受到两个分量的加速度及其力。 1)、法向加速度即向心力加速度a,其量值等于/r,方向朝向P轴; 2)、切向加速度a即科里奥利加速度,其量值等于2? u方向与a垂直。由于复合运动,在质点的a方向上作用着科里奥利F c=2?叫管道对质点作用着一个反向力-F c= -2 。 当密度为p的流体在旋转管道中以恒定速度u流动时,任何一段长度Ax的管道都将受到一个4F的切向科里奥利力。 式中A――管道的流通内截面积。由于质量 流量计流量即为3 m,S m= p 所以 (2) 因此,直接或间接测量在旋转管道中流动流体产生的科里奥利力就可以测的得质量流量,这就是 CMF勺基本原理。 然而通过旋转运动产生科里奥利力是困难的,目前产品均代之以管道振动产生的,即由两断端固定的薄壁测量管,在中点处以测量管谐振或接近谐振的频率(或其高次谐波频率)所激励,在管内流动的流体产生科里奥利力,使测量管中点前后两半段产生方向相反的挠曲,用光学或电磁学方法检测挠曲量以求得质量流量。 又因流体密度会影响测量管的振动频率,而密度与频率有固定的关系,因此 CMF也 可测量流体密度。 CMF由流量传感器和转换器(或流量计算机)两部分组成,。图2为流量传感器 一列一例,主要有由测量管及其支撑固定桥架、测量管振动激励系统中的驱动线圈A、检

高温热式气体质量流量计资料

QE600强尔高温热式气体质量流量计技术参数: 1、测量范围:0.05 - 120m/sNm/s(标准状态为20℃,101.33KPa) 2、测量方式:管段式插入式 3、温度范围:环境温度:-40℃~+85℃ 介质温度:-30℃~+55℃ 4、准确度:±1%的读数;±0.5%满量程 5、重复性:±0.2% 6、输出:4-20mA;RS485; 7、响应速度:小于1S 8、供电电压:24VDC±10%、220V AC 9、机械连接:不锈钢紧固件(插入式);管段式法兰 10、探杆长度:300mm(此长度为插入式标准长度,特殊请声明)

11、探杆直径:19mm(插入式) 12、压力损失:可以忽略 13工作压力:1.6MPa;7.3MPa 14、现场显示:LCD液晶显示,可以同时显示流速,温度,瞬时,累计流量计,无需切换。 15、碳杆材质:304不锈钢、316不锈钢 16、管段材质:304不锈钢、316不锈钢 17、防护等级:IP65 18、防爆等级: ExdIICT6 QE600强尔高温热式气体质量流量计产品典型应用举例 石油化工行业:加氢催化剂系统装置(管道中H2质量流量的测量) 评注:在该测量中,采用EPI单点式气体质量流量计。使测量准确,测量范围增加,重复性好。只要终端有用气,流量计就能立刻反应出来。 环境保护行业:烟道气测量 (烟道中混合气体NOX+N2+CO2+SO2+O2等) 评注:在该测量中,可采用EPI多点式气体质量流量计。由于采用该流量计,解决了以往采用其它形式流量计测量误差大

以及探头被堵塞的弊端,同时多点式气体质量流量计,安装简便,易于清洗,免维护,计量准确。 通风系统:大管径热风测量(火力发电厂一次风) 评注:由于通风管道截面很大,直管段只有1D左右,要想完成一次性测量,必须使用多点式气体质量流量计,是由于介质温度较高,通常在300℃左右,采用多点式气体质量流量计,可对该温度进行补偿,安装简便,便于拆卸,便于检定和标校。 污水处理:曝气流量测量(曝气中含有杂质和水分等)评注:在该测量中,采用EPI单点式气体质量流量计。由于采用该流量计,解决了以往采用其它形式流量计测量容易损坏、量程比小和误差大的弊端,同时该气体质量流量计比较适合含水份和杂质的工况条件,测量稳定,仪表寿命长。 石油炼制:火炬气流量测量(气体中含有H2、CO、H2O等)评注:在该测量中,采用EPI单点式气体质量流量计。由于采用该流量计,解决了以往采用其它形式流量计(如超声波气体流量计)测量不容易校准和造价高、安装条件苛刻的弊端.该气体质量流量计采用标准火炬气标定,测量准确,稳定性良好,并适合在高温(300℃)高流速(200m/s)条件下的火炬气流量计量。 石油化工行业:天然气传输过程流量测量(管道中天然气质量流量的测量)

气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小知识

气体质量流量计MFM和气体质量流量控制器MFC小 知识 1、什么是气体质量流量计? 质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM), 是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。 2、什么是气体质量流量控制器? 质量流量控制器, 即Mass Flow Controller(缩写为MFC), 不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置, 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。 3、气体质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么? (1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。 对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。 对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。 (2)测量控制的自动化 质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常, 模拟的MFC/MFM

输入输出信号为0~+5V 或4~20mA, 数字式MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串 行通讯口, 能非常方便地与计算机连接, 进行自动控制。 (3)精确地定量控制 流量质量流量控制器可精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控 制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。 (4)适用范围宽 有很宽的工作压力范围,产品可以从真空直到10MPa; 可以适用于多种气体介 质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,产品最小流量范围可达0~5 sccm,最大流量范围可达0~1500 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%, 流量 控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1), 因此在很多领域得到广泛应 用。 4、质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念? 质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控制器 的流量从零调节到测量的满量程,在工作的过程当中,控制器的入口和出口之间会产 生一个气压降,即压差。MFC的工作压差范围通常为0.1~0.3MPa,若压差低于最低值(0.1 MPa),有可能控制达不到满量程值;若高于最高值(0.3MPa),有可能关闭时流量 不能小于2%F.S。用户使用MFC时,无论用户工作的反应室是真空还是高压,应做到 使MFC进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内,并且要求气压要相对稳定。 5、使用挥发性液体蒸发汽,气压很低,如何定制质量流量控制器的低压降产品? 部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源(如用丙酮等),气压很低,用普通MFC, 不能正

质量流量计(MFC)原理

质量流量计(MFC)原理及如何来选择使用首先什么是质量流量计(MFC)?质量流量计,即Mass Flow Meter(缩写为MFM),是一种精确测量气体流量的仪表,其测量值不因温度或压力的波动而失准,不需要温度压力补偿。 质量流量控制器,即Mass Flow Controller(缩写为MFC),不但具有质量流量计的功能,更重要的是,它能自动控制气体流量,即用户可根据需要进行流量设定,MFC自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。简单地说,质量流量控制器就是一个稳流装置,是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。 质量流量计/质量流量控制器的主要优点是什么? (1)流量的测量和控制不因温度或压力的波动而失准。对于多数流量测控系统而言,很难避免系统的压力波动及环境和介质的温度变化。对于普通的流量计,压力及温度的波动将导致较大的误差;对于质量流量计/质量流量控制器,则一般可以忽略不计。 (2)测量控制的自动化质量流量计/质量流量控制器可以将流量测量值以输出标准电信号输出。这样很容易实现对流量的数字显示﹑累积流量自动计量﹑数据自动记录﹑计算机管理等。对质量流量控制器而言,还可以实现流量的自动控制。通常,模拟的MFC/MFM输入输出信号为0~+5V或4~20mA,数字式 MFC/MFM还配有RS232或RS485数字串行通讯口,能非常方便地与计算机连接,进行自动控制。 (3)精确地定量控制流量质量流量控制器可以精确地控制气体的给定量,这对很多工艺过程的流量控制﹑对于不同气体的比例控制等特别有用。 (4)适用范围宽,有很宽的工作压力范围,我们的产品可以从真空直到10MPa;可以适用于多种气体介质(包括一些腐蚀性气体,如HCL);有很宽的流量范围,我们的产品最小流量范围可达0~5 sccm,最大流量范围可达0~200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%,流量控制范围是满量程的2~100% (量程比为-- 50:1),因此在很多领域得到广泛应用。 质量流量控制器的工作压差范围是个什么概念? 质量流量控制器(MFC)中设置有一个气体流量调节阀门,阀门能使通过控

相关文档
最新文档