光栅种类 原理

光栅种类 原理
光栅种类 原理

光栅传感器工作原理

光栅传感器工作原理-标准化文件发布号:(9556-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII

一、光栅传感器的基本原理 光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种计量光栅,多用于位移测量及与位移相关的物理量,如速度、加速度、振动、质量、表面轮廓等方面的测量。光栅传感器的基本结构如图1所示: 图1 光栅传感器的基本结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和指示光栅)和光电接收元件组成如图1所示,当标尺光栅相对于指示光栅移动时,形成亮暗交替变化的莫尔条纹。利用光电接收元件将莫尔条纹亮暗变化的光信号,转换成电脉冲信号,并用数字显示,便可测量出标尺光栅的移动距离。 光栅传感器光源:钨丝灯泡的输出功率较大,工作范围较宽为-40℃到 +130℃,但是它与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时,使用寿命将降低。因此必须定期更换照明灯泡以防止由于灯泡失效而造成的失误。半导体发光器件转换效率高,响应快速。如砷化镓发光二极管,与硅光敏三极管相结合,转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns,可以使光源工作在触发状态,从而减小功耗和热耗散。 光栅副:如图2所示为透射光栅,它是一个长光栅,在一块长方形的光学玻璃上均匀地刻上许多条纹,形成规则的明暗线条。图中a为刻线宽度,b为可惜案件的缝隙宽度,a+b=W称为光栅的栅距或光栅常数。通常情况下, a=b=W/2,也可以做成a:b=1.1:0.9,刻线密度一般为每毫米10,25,50,100线。

图2 透射光栅 指示光栅一般比主光栅短得多,通常刻有与主光栅同样密度的线纹。 光电元件包括有光电池和光敏三极管等部分。在采用固态光源时,需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件,以获得高的转换效率。在光敏元件的输出端,常接有放大器,通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。二、莫尔条纹形成的原理 把光栅常数相等的主光栅和指示光栅相对叠合在一起(片间留有很小的间隙),并使两者栅线之间保持很小的夹角θ,于是在近于垂直栅线的方向上出现明暗相间的条纹,如图3所示。在a-a’线上,两光栅的栅线彼此重合,光线从缝隙中通过,形成亮带;在b-b’线上,两光栅的栅线彼此错开,形成暗带。这种明暗相见的条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹方向与刻线方向垂直,故又称做横向莫尔条纹。

光栅的结构及工作原理

光栅的结构及工作原理 光栅是利用光的透射、衍射现象制成的光电检测元件,它主要由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。通常,标尺光栅固定在机床的活动部件上(如工作台或丝杠),光栅读数头安装在机床的固定部件上(如机床底座),二者随着工作台的移动而相对移动。在光栅读数头中,安装着一个指示光栅,当光栅读数头相对于标尺光栅移动时,指示光栅便在标尺光栅上移动。当安装光栅时,要严格保证标尺光栅和指示光栅的平行度以及两者之间的间隙(一般取或要求。 1.光栅尺的构造和种类 光栅尺包括标尺光栅和指示光栅,它是用真空镀膜的方法光刻上均匀密集线纹的透明玻璃片或长条形金属镜面。对于长光栅,这些线纹相互平行,各线纹之间距离相等,我们称此距离为栅距。对于圆光栅,这些线纹是等栅距角的向心条纹。栅距和栅距角是决定光栅光学性质的基本参数。常见的长光栅的线纹密度为25,50,100,125,250条/mm。对于圆光栅,若直径为70mm,一周内刻线100-768条;若直径为110mm,一周内刻线达600-1024条,甚至更高。同一个光栅元件,其标尺光栅和指示光栅的线纹密度必须相同。 2.光栅读数头 图4-7是光栅读数头的构成图,它由光源、透镜、指示光栅、光敏元件和驱动线路组成。读数头的光源一般采用白炽灯泡。白炽灯泡发出的辐射光线,经过透镜后变成平行光束,照射在光栅尺上。光敏元件是一种将光强信号转换为电信号的光电转换元件,它接收透过光栅尺的光强信号,并将其转换成与之成比例的电压信号。由于光敏元件产生的电压信号一般比较微弱,在长距离传递时很容易被各种干扰信号所淹没、覆盖,造成传送失真。为了保证光敏元件输出的信号在传送中不失真,应首先将该电压信号进行功率和电压放大,然后再进行传送。驱动线路就是实现对光敏元件输出信号进行功率和电压放大的线路。

光栅传感器的工作原理

光栅传感器的工作原理 光栅数字传感器,通常由光源5(聚光镜4)、计量光栅、光电器件3及测量电路等部分组成,如图12.1.2所示。计量光栅由标尺光栅1(主光栅)和指示光栅2组成,因此计量光栅又称光栅副,它决定了整个系统的测量精度。一般主光栅和指示光栅的刻线密度相同,但主光栅要比指示光栅长得多。测量时主光栅与被测对象连在一起,并随其运动,指示光栅固定不动,因此主光栅的有效长度决定了传感器的测量范围。 1.莫尔条纹 将主光栅与标尺光栅重叠放置,两者之间保持很小的间隙,并使两块光栅的刻线之间有一个微小的夹角θ,如图12.1.3所示。当有光源照射时,由于挡光效应(对刻线密度≤50条/mm的光栅)或光的衍射作用(对刻线密度≥100条/mm的光栅),与光栅刻线大致垂直的方向上形成明暗相间的条纹。在两光栅的刻线重合处,光从缝隙透过,形成亮带;在两光栅刻线的错开的地方,形成暗带;这些明暗相间的条纹称为莫尔条纹。 莫尔条纹有如下几个重要特性: (1)莫尔条纹的运动与光栅的运动一一对应 当指示光栅不动,主光栅的刻线与指示光栅刻线之间始终保持夹角θ,而使主光栅沿刻线的垂直方向作相对移动时,莫尔条纹将沿光栅刻线方向移动;光栅反向移动,莫尔条纹也反向移动。主光栅每移动一个栅距W,莫尔条纹也相应移动一个间距S。因此通过测量莫尔条纹的移动,就能测量光栅移动的大小和方向,这要比直接对光栅进行测量容易得多。 (2)莫尔条纹具有位移放大作用 当主光栅沿与刻线垂直方向移动一个栅距W时,莫尔条纹移动一个条纹间距。当两个光栅刻线夹角θ较小时,由式(12.1.1)可知,W一定时,θ愈小,则B愈大,相当于把栅距W放大了1/ θ倍。例如,对50条/mm的光栅,W=0.02mm,若取,则莫尔条纹间距,K=573,相当于将栅距放大了573倍。因此,莫尔条纹的放大倍数相当大,可以实现高灵敏度的位移测量。(3)莫尔条纹具有误差平均效应 莫尔条纹是由光栅的许多刻线共同形成的,对刻线误差具有平均效应,能在很大程度上消除由于刻线误差所引起的局部和短周期误差影响,可以达到比光栅本身刻线精度更高的测量精度。因此,计量光栅特别适合于小位移、高精度位移测量。 (4)莫尔条纹的间距S随光栅刻线夹角θ变化 由于光栅刻线夹角θ可以调节,因此可以根据需要改变θ的大小来调节莫尔条纹的间距,这给实际应用带来了方便。 当两光栅的相对移动方向不变时,改变θ的方向,则莫尔条纹的移动方向改变。 2.光电转换 主光栅和指示光栅的相对位移产生了莫尔条纹,为了测量莫尔条纹的位移,必须通过光电器件(如硅光电池等)将光信号转换成电信号。 在光栅的适当位置放置光电器件,当两光栅作相对移动时,光电器件上的光强随莫尔条纹移动,光强变化为正弦曲线,如图12.1.4所示。在a位置,两个光栅刻线重叠,透过的光强最大,光电器件输出的电信号也最大;在c位置由于光被遮去一半,光强减小;位置d的光被完全遮去而成全黑,光强最小;若光栅继续移动,透射到光电器件上的光强又逐渐增大。光电器件上的光强变化近似于正弦曲线,光栅移动一个栅距W,光强变化一个周期。光电器件的输出电压 通过整形电路,将正弦信号转变成方波脉冲信号,则每经过一个周期输出一个方波脉冲,这样脉冲总数N就与光栅移动的栅距数相对应,因此光栅的位移为

光栅尺的工作原理

光栅尺工作原理 常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。图4-9是其工作原理图。当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度 来放置两光栅尺时,必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。在光源的照射下,交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠,因而遮光面积最小,挡光效应最弱,光的累积作用使得这个区域出现亮带。相反,距交叉点较远的区域,因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少,不透明区域面积逐渐变大,即遮光面积逐渐变大,使得挡光效应变强,只有较少的光线能通过这个区域透过光栅,使这个区域出现暗带。这些与光栅线纹几乎垂直,相间出现的亮、暗带就是莫尔条纹。莫尔条纹具有以下性质: (1) 当用平行光束照射光栅时,透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。 (2) 若用W表示莫尔条纹的宽度,d表示光栅的栅距,θ表示两光栅尺线纹的夹角,则它们之间的几何关系为W=d/sin当 角很小时,上式可近似写W=d/θ 若取d=0.01mm,θ=0.01rad,则由上式可得W=1mm。这说明,无需复杂的光学系统和电子系统,利用光的干涉现象,就能把光栅的栅距转换成放大100倍的莫尔条纹的宽度。这种放大作用是光栅的一个重要特点。 (3) 由于莫尔条纹是由若干条光栅线纹共同干涉形成的,所以莫尔条纹对光栅个别线纹之间的栅距误差具有平均效应,能消除光栅栅距不均匀所造成的影响。 (4) 莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。两光栅尺相对移动一个栅距d,莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度W,其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直,且当两光栅尺相对移动的方向改变时,莫尔条纹移动的方向也随之改变。 根据上述莫尔条纹的特性,假如我们在莫尔条纹移动的方向上开4个观察窗口A,B,C,D,且使这4个窗口两两相距1/4莫尔条纹宽度,即W/4。由上述讨论可知,当两光栅尺相对移动时,莫尔条纹随之移动,从4个观察窗口A,B,C,D可以得到4个在相位上依次超前或滞后(取决于两光栅尺相对移动的方向)1/4周期(即π/2)的近似于余弦函数的光强度变化过程,用表示,见图4-9(c)。若采用光敏元件来检测,光敏元件把透过观察窗口的光强度变化 转换成相应的电压信号,设为 。根据这4个电压信号,可以检测出光栅尺的相对移动。 1.位移大小的检测 由于莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动是相对应的,故通过检测 这4个电压信号的变化情况,便可相应地检测出两光栅尺之间的相对移动。 每变化一个周期,即莫尔条纹每变化一个周期,表明两光栅尺相对移动了一个栅距的距离;若两光栅尺之间的相对移动不到一个栅距,因 是余弦函数,故根据 之值也可以计算出其相对移动的距离。 2. 位移方向的检测 在图4-9(a)中,若标尺光栅固定不动,指示光栅沿正方向移动,这时,莫尔条纹相应地沿向下的方向移动,透过观察窗口A和B,光敏元件检测到的光强度变化过程 和及输出的相应的电压信号和如图4-10(a)所示,在这种情况下,滞后的相位为/2;反之,若标尺光栅固定不动,指示光栅沿负方向移动,这时,莫尔条纹则相应地沿向上的方向移动,透过观察窗口A和B,光敏元件检测到的光强度变化过程和 及输出的相应的电压信号和如图4-10(b)所示,在这种情况下,超前的相位为/2。因此,根据和两信号相互间的超前和滞后关系,便可确定出两光栅尺之间的相对移动方向。 工作原理: 直线光栅尺和旋转编码器均依据相对运动的原理来产生光信号,这些信号经过光电器件的转换处理后,用来检测机械装置的位移。FAGOR公司反馈产品采用两种不同的材料来产生反馈信

光栅工作原理

光栅分为3D立体光栅,光栅尺,安全光栅,复制光栅,全息光栅,反射光栅,透射(衍射)光栅.基本上都是由一系列等宽等间距的平行狭缝组成,在1毫米的长度上往往刻有N多条的刻痕。刻痕处不透光,未刻处透光,我们称之为透射光栅,另一种光栅是反射光栅,有些需要进行特殊的镀膜处理,根据这种阴阳效果演变出更多的图形镜,图案镜等,简单原理就像是手电筒对着手指投影到对面墙壁,看到的图形.只是一个是微光一个是宏光制做.犹如在发丝上雕刻,工艺的难易不同. 最早的光栅是1821年由德国科学家J.夫琅和费用细金属丝密排地绕在两平行细螺丝上制成的。因形如栅栏,故名为“光栅”。现代光栅是用精密的刻划机在玻璃或金属片上刻划而成的。光栅是光栅摄谱仪的核心组成部分,其种类很多。按所用光是透射还是反射分为透射光栅、反射光栅。反射光栅使用较为广泛;按其形状又分为平面光栅和凹面光栅。此外还有全息光栅、正交光栅、相光栅、炫耀光栅、阶梯光栅等。 (光栅尺)应用于: 数控加工中心,机床,磨床,铣床,自动卸货机,金属板压制和焊接机,机器人和自动化科技,生产过程测量机器,线性产品, 直线马达, 直线导轨定位。 (立体光栅)应用于:印刷,展示,立体相片,具有立体效果,通过角度或摆产生幻变,动画,缩放使图像列漂亮,已成为办公文具,家居装饰用户首选产品. (全息光栅)应用于:商标防伪,印刷,光学仪器,激光演示等. (反射光栅)应用于:大同小异,光学仪器等 (透射光栅)应用于:光学仪器,激光演示,激光玩具…等产品. 随着光栅刻划技术和复制技术进一步的提高,光栅已走出实验室,从工业到民用及玩具礼品都有光栅的影子,可能光栅进行控制电源开关,可以用光栅出来了的光点做防盗安全网(物体一碰到光线,马上报警),可以做十字架瞄准用,可以做水平线用,还可以做激光图形镜,要想做什么图形就做什么图形.单片使用,有双片自转使用,有十几片旋转使用.只要合适的光源,光栅就会让光源变得更改多样和丰富.满足大家的爱好和需求. 任何一种具有空间周期性的衍射的光学元件都可以称为光栅,如果在一块镀铝的光学玻璃毛胚上刻划一系列等宽,等距而平行的狭缝就是透射光栅。如在一块镀铝的光学玻璃毛胚

光栅尺工作原理

光栅尺位移传感器原理简介及维护注意事项 一、光栅尺是什么? 轨道旁边的黄色金属条,与其对 应部位,在移载台底部装有光读 头 定义: 光栅尺位移传感器(简称光栅尺),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。 光栅尺位移传感器经常应用于机床与现在加工中心以及测量仪器等方面,可用作 直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大, 检测精度高,响应速度快的特点。 二、光栅尺的分类、构造 1)分类: 光栅尺位移传感器按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅和反射光栅。 ●透射光栅指的玻璃光栅. ●反射光栅指的钢带光栅 2)结构: 光栅尺位移传感器是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机 床活动部件上,光栅读数头装在机床固定部件上,指示光栅装在光栅读数头中。下图所示的 就是光栅尺位移传感器的结构。

三、光栅尺的工作原理? 常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。(关于莫尔条纹的原理,可参考相关文献) 简单的说:光读头通过检测莫尔条纹个数,来“读取”光栅刻度,然后再根据驱动电路的作用,计算出光栅尺的位移和速度。 莫尔条纹 四、光栅尺的维护 1)尽可能外加保护罩,并及时清理溅落在尺上的切屑和油液,严格防止任何异物进入光栅尺传感器壳体内部。 2)定期检查各安装联接螺钉是否松动、定期使用干燥的洁净布擦拭表。 3)光栅尺位移传感器严禁剧烈震动及摔打、踩踏,以免破坏光栅尺,如光栅尺断裂,光

栅尺传感器即失效了。 4)不要自行拆开光栅尺位移传感器,更不能任意改动主栅尺与副栅尺的相对间距,否则一方面可能破坏光栅尺传感器的精度;另一方面还可能造成主栅尺与副栅尺的相对摩擦,损坏铬层也就损坏了栅线,以而造成光栅尺报废。 5)应注意防止油污及水污染、硬物划伤光栅尺面,以免破坏光栅尺线条纹分布,引起测量误差。 6)光栅尺位移传感器应尽量避免在有严重腐蚀作用的环境中工作,以免腐蚀光栅铬层及光栅尺表面,破坏光栅尺质量。

光栅的结构及工作原理

光栅的结构及工作原理-标准化文件发布号:(9556-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII

光栅的结构及工作原理 光栅是利用光的透射、衍射现象制成的光电检测元件,它主要由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。通常,标尺光栅固定在机床的活动部件上(如工作台或丝杠),光栅读数头安装在机床的固定部件上(如机床底座),二者随着工作台的移动而相对移动。在光栅读数头中,安装着一个指示光栅,当光栅读数头相对于标尺光栅移动时,指示光栅便在标尺光栅上移动。当安装光栅时,要严格保证标尺光栅和指示光栅的平行度以及两者之间的间隙(一般取0.05mm或 0.1mm)要求。 1.光栅尺的构造和种类 光栅尺包括标尺光栅和指示光栅,它是用真空镀膜的方法光刻上均匀密集线纹的透明玻璃片或长条形金属镜面。对于长光栅,这些线纹相互平行,各线纹之间距离相等,我们称此距离为栅距。对于圆光栅,这些线纹是等栅距角的向心条纹。栅距和栅距角是决定光栅光学性质的基本参数。常见的长光栅的线纹密度为25,50,100,125,250条/mm。对于圆光栅,若直径为70mm,一周内刻线100-768条;若直径为110mm,一周内刻线达600-1024条,甚至更高。同一个光栅元件,其标尺光栅和指示光栅的线纹密度必须相同。 2.光栅读数头 图4-7是光栅读数头的构成图,它由光源、透镜、指示光栅、光敏元件和驱动线路组成。读数头的光源一般采用白炽灯泡。白炽灯泡发出的辐射光线,经过透镜后变成平行光束,照射在光栅尺上。光敏元件是一种将光强信号转换为电信号的光电转换元件,它接收透过光栅尺的光强信号,并将其转换成与之成比例的电压信号。由于光敏元件产生的电压信号一般比较微弱,在长距离传递时很容易被各种干扰信号所淹没、覆盖,造成传送失真。为了保证光敏元件输出的信号在传送中不失真,应首先将该电压信号进行功率和电压放大,然后再进行传送。驱动线路就是实现对光敏元件输出信号进行功率和电压放大的线路。

光栅传感器工作原理

一、光栅传感器的基本原理 光栅传感器是根据莫尔条纹原理制成的一种计量光栅,多用于位移测量及与位移相关的物理量,如速度、加速度、振动、质量、表面轮廓等方面的测量。光栅传感器的基本结构如图1所示: 图1 光栅传感器的基本结构 光栅传感器由光源、透镜、光栅副(主光栅和指示光栅)和光电接收元件组成如图1所示,当标尺光栅相对于指示光栅移动时,形成亮暗交替变化的莫尔条纹。利用光电接收元件将莫尔条纹亮暗变化的光信号,转换成电脉冲信号,并用数字显示,便可测量出标尺光栅的移动距离。 光栅传感器光源:钨丝灯泡的输出功率较大,工作范围较宽为-40℃到+130℃,但是它与光电元件相组合的转换效率低。在机械振动和冲击条件下工作时,使用寿命将降低。因此必须定期更换照明灯泡以防止由于灯泡失效而造成的失误。半导体发光器件转换效率高,响应快速。如砷化镓发光二极管,与硅光敏三极管相结合,转换效率最高可达30%左右。砷化镓发光二极管的脉冲响应速度约为几十ns,可以使光源工作在触发状态,从而减小功耗和热耗散。 光栅副:如图2所示为透射光栅,它是一个长光栅,在一块长方形的光学玻璃上均匀地刻上许多条纹,形成规则的明暗线条。图中a为刻线宽度,b为可惜案件的缝隙宽度,a+b=W 称为光栅的栅距或光栅常数。通常情况下,a=b=W/2,也可以做成a:b=1.1:0.9,刻线密度一般为每毫米10,25,50,100线。 图2 透射光栅 指示光栅一般比主光栅短得多,通常刻有与主光栅同样密度的线纹。

光电元件包括有光电池和光敏三极管等部分。在采用固态光源时,需要选用敏感波长与光源相接近的光敏元件,以获得高的转换效率。在光敏元件的输出端,常接有放大器,通过放大器得到足够的信号输出以防干扰的影响。 二、莫尔条纹形成的原理 把光栅常数相等的主光栅和指示光栅相对叠合在一起(片间留有很小的间隙),并使两者栅线之间保持很小的夹角θ,于是在近于垂直栅线的方向上出现明暗相间的条纹,如图3所示。在a-a’线上,两光栅的栅线彼此重合,光线从缝隙中通过,形成亮带;在b-b’线上,两光栅的栅线彼此错开,形成暗带。这种明暗相见的条纹称为莫尔条纹。莫尔条纹方向与刻线方向垂直,故又称做横向莫尔条纹。 图3 光栅和横向莫尔条纹 由图可知,横向莫尔条纹的斜率为 式中,为亮(暗)带的倾斜角,为两光栅的栅线夹角。横向莫代尔条纹(亮带与暗带)之间的距离为 式中,为横向莫尔条纹之间的距离;W为光栅常数。 由此可见,莫尔条纹的宽度由光栅常数与光栅的夹角决定。对于给定的光栅常数W 的两光栅,夹角越小,条纹宽度越大,即条纹稀。所以通过调整夹角,可以使条纹宽度具有任何所需要的值。

光栅尺工作原理及基础理论

光栅尺工作原理及详细介绍 光栅:光栅是结合数码科技与传统印刷的技术,能在特制的胶片上显现不同的特殊效果。在平面上展示栩栩如生的立体世界,电影般的流畅动画片段,匪夷所思的幻变效果。 光栅是一张由条状透镜组成的薄片,当我们从镜头的一边看过去,将看到在薄片另一面上的一条很细的线条上的图像,而这条线的位置则由观察角度来决定。如果我们将这数幅在不同线条上的图像,对应于每个透镜的宽度,分别按顺序分行排列印刷在光栅薄片的背面上,当我们从不同角度通过透镜观察,将看到不同的图像。 光栅尺:其实起到的作用是对刀具和工件的坐标起一个检测的作用,在数控机床中常用来观察其是否走刀有误差,以起到一个补偿刀具的运动的误差的补偿作用,其实就象人眼睛看到我切割偏没偏的作用,然后可以给手起到一个是否要调整我是否要改变用力的标准。 【相当于眼睛】 一、引言 目前在精密机加工和数控机库中采用的精密位称数控系统框图。 随着电子技术和单片机技术的发展,光栅传感器在位移测量系统得到广泛应用,并逐步向智能化方向转化。 利用光栅传感器构成的位移量自动测量系统原理示意图。该系统采用光栅移动产生的莫尔条纹与电子电路以及单片机相结合来完成对位移量的自动测量,它具有判别光栅移动方向、预置初值、实现自动定位控制及过限报警、自检和掉电保护以及温度误差修正等功能。下面对该系统的工作原理及设计思想作以下介绍。 二、电子细分与判向电路 光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。目前高分辨率的光栅尺一般造价较贵,且制造困难。为了提高系统分辨率,需要对莫尔条纹进行细分,本系统采用了电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时,在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹,随着光栅的移动,莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量,同量莫尔条纹又具有光学放大作用,其放大倍数为: (1) 式中:W为莫尔条纹宽度;d为光栅栅距(节距);θ为两块光栅的夹角,rad 在一个莫尔条纹宽度内,按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与羊向功能。本系统采用的光栅尺栅线为50线对/mm,其光栅栅距为0.02mm,若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲,这在一般工业测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量,即要检测其大小,又要检测其方向,因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波,我们采用了由低漂移运放构成的差分放大器。由4个滏电器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端,从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2,为得到判向和计数脉冲,需对这两路信号进行整形,首先把它们整形为占空比为1:1的方波,经由两个与或非门74LS54芯片组成的四细分判向电路输入可逆计数器,最后送入由8031组成的单片机系统中进行处理。 三、单片机与接口电路 为实现可逆计数和提高测量速度,系统采用了193可逆计数器。假设工作平台运行速度

光栅尺工作原理

光栅尺工作原理 This manuscript was revised on November 28, 2020

光栅尺位移传感器原理简介及维护注意事项 一、光栅尺是什么 轨道旁边的黄色金属条,与其 对应部位,在移载台底部装有 光读头 定义: 光栅尺位移传感器(简称光栅尺),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺位移传感器经常应用于机床与现在加工中心以及测量仪器等方面,可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。 二、光栅尺的分类、构造 1)分类: 光栅尺位移传感器按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅和反射光栅。 ●透射光栅指的玻璃光栅. ●反射光栅指的钢带光栅 2)结构: 光栅尺位移传感器是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床活动部件上,光栅读数头装在机床固定部件上,指示光栅装在光栅读数头中。下图所示的就是光栅尺位移传感器的结构。 三、光栅尺的工作原理 常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。(关于莫尔条纹的原理,可参考相关文献) 简单的说:光读头通过检测莫尔条纹个数,来“读取”光栅刻度,然后再根据驱动电路的作用,计算出光栅尺的位移和速度。 莫尔条纹 四、光栅尺的维护 1)尽可能外加保护罩,并及时清理溅落在尺上的切屑和油液,严格防止任何异物进入光栅尺传感器壳体内部。 2)定期检查各安装联接螺钉是否松动、定期使用干燥的洁净布擦拭表。 3)光栅尺位移传感器严禁剧烈震动及摔打、踩踏,以免破坏光栅尺,如光栅尺断裂,光栅尺传感器即失效了。 4)不要自行拆开光栅尺位移传感器,更不能任意改动主栅尺与副栅尺的相对间距,否则一方面可能破坏光栅尺传感器的精度;另一方面还可能造成主栅尺与副栅尺的相对摩擦,损坏铬层也就损坏了栅线,以而造成光栅尺报废。

光栅传感器的结构及工作原理

光栅传感器的结构及工作原理 光栅式传感器指采用光栅叠栅条纹原理测量位移的传感器。光栅是由大量等宽等间距的平行狭缝构成的光学器件。 一般常用的光栅是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成,刻痕为不透光部分,两刻痕之间的光滑部分可以透光,相当于一狭缝。精制的光栅,在1cm宽度内刻有几千条乃至上万条刻痕。 这种利用透射光衍射的光栅称为透射光栅,还有利用两刻痕间的反射光衍射的光栅,如在镀有金属层的表面上刻出许多平行刻痕,两刻痕间的光滑金属面可以反射光,这种光栅成为反射光栅。由光栅形成的叠栅条纹具有光学放大作用和误差平均效应,因而能提高测量精度。 光栅传感器由标尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成。标尺光栅相对于指示光栅移动时,便形成大致按正弦规律分布的明暗相间的叠栅条纹。 这些条纹以光栅的相对运动速度移动,并直接照射到光电元件上,在它们的输出端得到一串电脉冲,通过放大、整形、辨向和计数系统产生数字信号输出,直接显示被测的位移量。光栅传感器的结构及工作原理 光栅传感器的结构均由光源、主光栅、指示光栅、通光孔、光电元件这几个主要部分构成。 1、光源:钨丝灯泡,它有较小的功率,与光电元件组合使用时,转换效率低,使用寿命短。半导体发光器件,如砷化镓发光二极管,可以在范围内工作,所发光的峰值波长为,与硅光敏三极管的峰值波长接近,因此,有很高的转换效率,也有较快的响应速度。 2、光栅付:由栅距相等的主光栅和指示光栅组成。主光栅和指示光栅相互重叠,但又不完全重合。两者栅线间会错开一个很小的夹角,以便于得到莫尔条纹。一般主光栅是活动的,它可以单独地移动,也可以随被测物体而移动,其长度取决于测量范围。指示光栅相对于光电器件而固定。

光栅原理

光栅尺工作原理 光栅尺工作原理 常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。图 4-9是其工作原理图。当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度来 放置两光栅尺时,必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。在光源的照射下,交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠,因而遮光面积最小,挡光效应最弱,光的累积作用使得这个区域出现亮带。相反,距交叉点较远的区域,因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少,不透明区域面积逐渐变大,即遮光面积逐渐变大,使得挡光效应变强,只有较少的光线能通过这个区域透过光栅,使这个区域出现暗带。这些与光栅线纹几乎垂直,相间出现的亮、暗带就是莫尔条纹。莫尔条纹具有以下性质: (1) 当用平行光束照射光栅时,透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。 (2) 若用W表示莫尔条纹的宽度,d表示光栅的栅距,θ表示两光栅尺线纹的夹角,则它们之间的几何关系为W=d/sin当角很小时,上式可近似写W=d /θ 若取d=0.01mm,θ=0.01rad,则由上式可得W=1mm。这说明,无需复杂的光学系统和电子系统,利用光的干涉现象,就能把光栅的栅距转换成放大100 倍的莫尔条纹的宽度。这种放大作用是光栅的一个重要特点。 (3) 由于莫尔条纹是由若干条光栅线纹共同干涉形成的,所以莫尔条纹对光栅个别线纹之间的栅距误差具有平均效应,能消除光栅栅距不均匀所造成的影响。 (4) 莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。两光栅尺相对移动一个栅距d,莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度W,其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直,且当两光栅尺相对移动的方向改变时,莫尔条纹移动的方向也随之改变。

光栅的工作原理

光栅的工作原理 常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。图4-9 是其工作原理图。当使指示光栅上的线纹与标尺光栅上的线纹成一角度来放置 两光栅尺时,必然会造成两光栅尺上的线纹互相交叉。在光源的照射下,交叉点近旁的小区域内由于黑色线纹重叠,因而遮光面积最小,挡光效应最弱,光的累积作用使得这个区域出现亮带。相反,距交叉点较远的区域,因两光栅尺不透明的黑色线纹的重叠部分变得越来越少,不透明区域面积逐渐变大,即遮光面积逐渐变大,使得挡光效应变强,只有较少的光线能通过这个区域透过光栅,使这个区域出现暗带。这些与光栅线纹几乎垂直,相间出现的亮、暗带就是莫尔条纹。莫尔条纹具有以下性质: (1) 当用平行光束照射光栅时,透过莫尔条纹的光强度分布近似于余弦函数。 (2) 若用W表示莫尔条纹的宽度,d表示光栅的栅距,θ表示两光栅尺线纹的夹角,则它们之间的几何关系为W=d/sin θ(4—15) 当角很小时,取sinθ≈θ,上式可近似写成W=d/θ(4—16) 若取d=0.01mm,θ=0.01rad,则由上式可得W=1mm。这说明,无需复杂的光学系统和电子系统,利用光的干涉现象,就能把光栅的栅距转换成放大100倍的莫尔条纹的宽度。这种放大作用是光栅的一个重要特点。 (3) 由于莫尔条纹是由若干条光栅线纹共同干涉形成的,所以莫尔条纹对光栅个别线纹之间的栅距误差具有平均效应,能消除光栅栅距不均匀所造成的影响。 (4) 莫尔条纹的移动与两光栅尺之间的相对移动相对应。两光栅尺相对移动一个栅距d,莫尔条纹便相应移动一个莫尔条纹宽度W,其方向与两光栅尺相对移动的方向垂直,且当两光栅尺相对移动的方向改变时,莫尔条纹移动的方向也随之改变。

光栅尺工作原理及详细介绍完整版

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光栅尺工作原理及详细介绍 光栅:光栅是结合数码科技与传统印刷的技术,能在特制的胶片上显现不同的特殊效果。在平面上展示栩栩如生的立体世界,电影般的流畅动画片段,匪夷所思的幻变效果。 光栅是一张由条状透镜组成的薄片,当我们从镜头的一边看过去,将看到在薄片另一面上的一条很细的线条上的图像,而这条线的位置则由观察角度来决定。如果我们将这数幅在不同线条上的图像,对应于每个透镜的宽度,分别按顺序分行排列印刷在光栅薄片的背面上,当我们从不同角度通过透镜观察,将看到不同的图像。 光栅尺:其实起到的作用是对刀具和工件的坐标起一个检测的作用,在数控机床中常用来观察其是否走刀有误差,以起到一个补偿刀具的运动的误差的补偿作用,其实就象人眼睛看到我切割偏没偏的作用,然后可以给手起到一个是否要调整我是否要改变用力的标准。 【相当于眼睛】 一、引言 目前在精密机加工和数控机库中采用的精密位称数控系统框图。 随着电子技术和单片机技术的发展,光栅传感器在位移测量系统得到广泛应用,并逐步向智能化方向转化。

利用光栅传感器构成的位移量自动测量系统原理示意图。该系统采用光栅移动产生的莫尔条纹与电子电路以及单片机相结合来完成对位移量的自动测量,它具有判别光栅移动方向、预置初值、实现自动定位控制及过限报警、自检和掉电保护以及温度误差修正等功能。下面对该系统的工作原理及设计思想作以下介绍。 二、电子细分与判向电路 光栅测量位移的实质是以光栅栅距为一把标准尺子对位称量进行测量。目前高分辨率的光栅尺一般造价较贵,且制造困难。为了提高系统分辨率,需要对莫尔条纹进行细分,本系统采用了电子细分方法。当两块光栅以微小倾角重叠时,在与光栅刻线大致垂直的方向上就会产生莫尔条纹,随着光栅的移动,莫尔条纹也随之上下移动。这样就把对光栅栅距的测量转换为对莫尔条纹个数的测量,同量莫尔条纹又具有光学放大作用,其放大倍数为: (1)式中:W为莫尔条纹宽度;d为光栅栅距(节距);θ为两块光栅的夹角,rad 在一个莫尔条纹宽度内,按照一定间隔放置4个光电器件就能实现电子细分与羊向功能。本系统采用的光栅尺栅线为50线对/mm,其光栅栅距为,若采用四细分后便可得到分辨率为5μm的计数脉冲,这在一般工业测控中已达到了很高精度。由于位移是一个矢量,即要检测其大小,又要检测其方向,因此至少需要两路相位不同的光电信号。为了消除共模干扰、直流分量和偶次谐波,我们采用了由低漂移运放构成的差分放大器。由4个滏电器件获得的4路光电信号分别送到2只差分放大器输入端,从差分放大器输出的两路信号其相位差为π/2,为得到判向和计数脉冲,需对这两路信号进行整形,首先把它们整形为占空比为1:1的方波,经由两个与或非门74LS54芯片组成的四细分判向电路输入可逆计数器,最后送入由8031组成的单片机系统中进行处理。

光栅尺工作原理

光栅尺工作原理 Company number:【0089WT-8898YT-W8CCB-BUUT-202108】

光栅尺位移传感器原理简介及维护注意事项 一、光栅尺是什么 轨道旁边的黄色金属条,与其 对应部位,在移载台底部装有 光读头 定义: 光栅尺位移传感器(简称光栅尺),是利用光栅的光学原理工作的测量反馈装置。光栅尺位移传感器经常应用于机床与现在加工中心以及测量仪器等方面,可用作直线位移或者角位移的检测。其测量输出的信号为数字脉冲,具有检测范围大,检测精度高,响应速度快的特点。 二、光栅尺的分类、构造 1)分类: 光栅尺位移传感器按照制造方法和光学原理的不同,分为透射光栅和反射光栅。 ●透射光栅指的玻璃光栅. ●反射光栅指的钢带光栅 2)结构: 光栅尺位移传感器是由标尺光栅和光栅读数头两部分组成。标尺光栅一般固定在机床活动部件上,光栅读数头装在机床固定部件上,指示光栅装在光栅读数头中。下图所示的就是光栅尺位移传感器的结构。 三、光栅尺的工作原理 常见光栅的工作原理都是根据物理上莫尔条纹的形成原理进行工作的。(关于莫尔条纹的原理,可参考相关文献)

简单的说:光读头通过检测莫尔条纹个数,来“读取”光栅刻度,然后再根据驱动电路的作用,计算出光栅尺的位移和速度。 莫尔条纹 四、光栅尺的维护 1)尽可能外加保护罩,并及时清理溅落在尺上的切屑和油液,严格防止任何异物进入光栅尺传感器壳体内部。 2)定期检查各安装联接螺钉是否松动、定期使用干燥的洁净布擦拭表。 3)光栅尺位移传感器严禁剧烈震动及摔打、踩踏,以免破坏光栅尺,如光栅尺断裂,光栅尺传感器即失效了。 4)不要自行拆开光栅尺位移传感器,更不能任意改动主栅尺与副栅尺的相对间距,否则一方面可能破坏光栅尺传感器的精度;另一方面还可能造成主栅尺与副栅尺的相对摩擦,损坏铬层也就损坏了栅线,以而造成光栅尺报废。 5)应注意防止油污及水污染、硬物划伤光栅尺面,以免破坏光栅尺线条纹分布,引起测量误差。 6)光栅尺位移传感器应尽量避免在有严重腐蚀作用的环境中工作,以免腐蚀光栅铬层及光栅尺表面,破坏光栅尺质量。

光栅工作原理

光栅工作原理 -标准化文件发布号:(9556-EUATWK-MWUB-WUNN-INNUL-DDQTY-KII

光栅分为3D立体光栅,光栅尺,安全光栅,复制光栅,全息光栅,反射光栅,透射(衍射)光栅.基本上都是由一系列等宽等间距的平行狭缝组成,在1毫米的长度上往往刻有N多条的刻痕。刻痕处不透光,未刻处透光,我们称之为透射光栅,另一种光栅是反射光栅,有些需要进行特殊的镀膜处理,根据这种阴阳效果演变出更多的图形镜,图案镜等,简单原理就像是手电筒对着手指投影到对面墙壁,看到的图形.只是一个是微光一个是宏光制做.犹如在发丝上雕刻,工艺的难易不同. 最早的光栅是1821年由德国科学家J.夫琅和费用细金属丝密排地绕在两平行细螺丝上制成的。因形如栅栏,故名为“光栅”。现代光栅是用精密的刻划机在玻璃或金属片上刻划而成的。光栅是光栅摄谱仪的核心组成部分,其种类很多。按所用光是透射还是反射分为透射光栅、反射光栅。反射光栅使用较为广泛;按其形状又分为平面光栅和凹面光栅。此外还有全息光栅、正交光栅、相光栅、炫耀光栅、阶梯光栅等。 (光栅尺)应用于: 数控加工中心,机床,磨床,铣床,自动卸货机,金属板压制和焊接机,机器人和自动化科技,生产过程测量机器,线性产品, 直线马达, 直线导轨定位。 (立体光栅)应用于:印刷,展示,立体相片,具有立体效果,通过角度或摆产生幻变,动画,缩放使图像列漂亮,已成为办公文具,家居装饰用户首选产品. (全息光栅)应用于:商标防伪,印刷,光学仪器,激光演示等. (反射光栅)应用于:大同小异,光学仪器等 (透射光栅)应用于:光学仪器,激光演示,激光玩具…等产品. 随着光栅刻划技术和复制技术进一步的提高,光栅已走出实验室,从工业到民用及玩具礼品都有光栅的影子,可能光栅进行控制电源开关,可以用光栅出来了的光点做防盗安全网(物体一碰到光线,马上报警),可以做十字架瞄准用,可以做水平线用,还可以做激光图形镜,要想做什么图形就做什么图形.单片使用,有双片自

光栅尺的工作原理

光栅尺的工作原理 工作原理 光栅位置检测装置由光源、长光栅( 标尺光栅) 、短光栅( 指示 光栅) 和光电元件等组成见下图。 根据光栅的工作原理分透射直线式和莫尔条纹式光栅两类。 1 .透射直线式光栅如下图所示。它是用光电元件把两块光栅移动 时产生的明暗变化转变为电流变化的方式。长光栅装在机床移动部 件上,称之为标尺光栅;短光栅装在机床固定部件上,称之为指示 光栅。标尺光栅和指示光栅均由窄矩形不透明的线纹和与其等宽的 透明间隔组成。当标尺光栅相对线纹垂直移动时,光源通过标尺光 栅和指示光栅再由 物镜聚焦射到光电 元件上。若指示光 栅的线纹与标尺光 栅透明间隔完全重 合,光电元件接收 到的光通量最小。 若指示光栅的线纹 与标尺光栅的线纹 完全重合,光电元 件接收到的光通量最大。因此,标尺光栅 移动过程中,光电元件接收到的光通量忽 大忽小,产生了近似正弦波的电流。再用 电子线路转变为数字以显示位移量。为了 辨别运动方向,指示光栅的线纹错开 1 / 4 栅距,并通过鉴向线路进行判别。 由于这种光栅只能透过单个透明间隔,所 以光强度较弱,脉冲信号不强,往往在光 栅线较粗的场合使用。 2 .莫尔条纹式光栅 莫尔条纹的形成与光栅常数—栅距及光的波长有关,在栅距大小与波长十分接近时,莫尔条纹可由衍射光的干涉现象来解释。而在栅距较波长大得多的场合( 粗光栅) ,衍射现象已不十分明显,莫尔条纹的产生则由于栅线遮光作用,故可用几何光学来说明。在现场常见的是后一种光栅,现以此为例子加以介绍。 下图所示是用栅格斜置的长光栅,图中作为标尺光栅的栅线和X 轴垂直,而作为指示光栅的栅线与标尺光栅之间有一个小的倾斜角臼,两者间形成透光的( 图中a) 和不透光的( 图中b) 菱形条纹。当两光栅沿X 轴作相对移动时,条纹将沿栅线方向移动( 横向莫尔条纹) 。每变化一个栅距,透光部分将由 a 处移到b 处,a 处则完全遮断,于是在a 、b 两处轮流处于透光和遮光状态。若在。处放置一个光敏元件,则其上的光通量将随栅格的相对移动而呈三角形变化。不难证明,在倾斜角很小时,莫尔条纹宽度 B 与栅距W 之间有如下关系:B=W/2sin (θ /2 )≈ W/ θ 即条纹宽度 B 是栅距W 的1 /θ 倍。这种放大作用,是利用光栅测量微小位移的基础。若在。处放置一个宽度等于 B 的光电元件,当标尺光栅沿X 轴方向移动半个栅距时,光电元件的受光面积从最大变化到最小( 完全遮断) ,此后又逐步增大。故在标尺光栅以等速沿X 轴运动时,a 处的光电元件的受光面积将作周期性变化,其效果类似于一个具有菱形透光孔的长带沿口角轴( 与Y 轴夹角为θ ) 方向移动所产生的效

几种常见光纤光栅传感器工作原理

常见光纤光栅传感器工作原理 光纤光栅传感器的工作原理 光栅的Bragg波长λB由下式决定:λB=2nΛ (1) 式中,n为芯模有效折射率,Λ为光栅周期。当光纤光栅所处环境的温度、应力、应变或其它物理量发生变化时,光栅的周期或纤芯折射率将发生变化,从而使反射光的波长发生变化,通过测量物理量变化前后反射光波长的变化,就可以获得待测物理量的变化情况。如利用磁场诱导的左右旋极化波的折射率变化不同,可实现对磁场的直接测量。此外,通过特定的技术,可实现对应力和温度的分别测量,也可同时测量。通过在光栅上涂敷特定的功能材料(如压电材料),还可实现对电场等物理量的间接测量。 1、啁啾光纤光栅传感器的工作原理 上面介绍的光栅传感器系统,光栅的几何结构是均匀的,对单参数的定点测量很有效,但在需要同时测量应变和温度或者测量应变或温度沿光栅长度的分布时,就显得力不从心。一种较好的方法就是采用啁啾光纤光栅传感器。 啁啾光纤光栅由于其优异的色散补偿能力而应用在高比特远程通信系统中。与光纤Bragg光栅传感器的工作原理基本相同,在外界物理量的作用下啁啾光纤光栅除了△λB的变化外,还会引起光谱的展宽。这种传感器在应变和温度均存在的场合是非常有用的,啁啾光纤光栅由于应变的影响导致了反射信号的拓宽和峰值波长的位移,而温度的变化则由于折射率的温度依赖性(dn/dT),仅影响重心的位置。通过同时测量光谱位移和展宽,就可以同时测量应变和温度。 2、长周期光纤光栅(LPG)传感器的工作原理 长周期光纤光栅(LPG)的周期一般认为有数百微米,LPG在特定的波长上把纤芯的

光耦合进包层:λi=(n0-niclad)。Λ。式中,n0为纤芯的折射率,niclad为i阶轴对称包层模的有效折射率。光在包层中将由于包层/空气界面的损耗而迅速衰减,留下一串损耗带。一个独立的LPG可能在一个很宽的波长范围上有许多的共振,LPG共振的中心波长主要取决于芯和包层的折射率差,由应变、温度或外部折射率变化而产生的任何变化都能在共振中产生大的波长位移,通过检测△λi,就可获得外界物理量变化的信息。LPG在给定波长上的共振带的响应通常有不同的幅度,因而LPG适用于多参数传感器。 光纤光栅传感器的应用 1、在民用工程结构中的应用 民用工程的结构监测是光纤光栅传感器最活跃的领域。力学参量的测量对于桥梁、矿井、隧道、大坝、建筑物等的维护和状况监测是非常重要的。通过测量上述结构的应变分布,可以预知结构局部的载荷及状况。光纤光栅传感器可以贴在结构的表面或预先埋入结构中,对结构同时进行冲击检测、形状控制和振动阻尼检测等,以监视结构的缺陷情况。另外,多个光纤光栅传感器可以串接成一个传感网络,对结构进行准分布式检测,可以用计算机对传感信号进行远程控制。 光纤光栅传感器可以检测的建筑结构之一为桥梁。应用时,一组光纤光栅被粘于桥梁复合筋的表面,或在梁的表面开一个小凹槽,使光栅的裸纤芯部分嵌进凹槽得以保护。如果需要更加完善的保护,则最好是在建造桥时把光栅埋进复合筋,由于需要修正温度效应引起的应变,可使用应力和温度分开的传感臂,并在每一个梁上均安装这两个臂。 两个具有相同中心波长的光纤光栅代替法布里-珀罗干涉仪的反射镜,形成全光纤法布里-珀罗干涉仪(FFH),利用低相干性使干涉的相位噪声最小化,这一方法实现了高灵敏度的动态应变测量。用FFPI结合另外两个FBG,其中一个光栅用来测应变,另一个被保护起来,免受应力影响,以测量和修正温度效应,所以FFP~FBG实现了同时测量三个量:温度、静态应变、瞬时动态应变。这种方法兼有干涉仪的相干性和光纤布拉格光栅传感器的优点。已在5mε的测量范围内,实现了小于1με的静态应变测量精度、0.1℃的温度灵敏度和小于1nε/(Hz)1/2的动态应变灵敏度。

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