微电子器件课程复习题教学内容

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微电子器件课程复习

“微电子器件”课程复习题

一、填空题

1、若某突变PN 结的P 型区的掺杂浓度为163A 1.510cm N -=?,则室温下该区的平衡多子

浓度p p0与平衡少子浓度n p0分别为( )和( )。

2、在PN 结的空间电荷区中,P 区一侧带( )电荷,N 区一侧带( )电荷。内建电场

的方向是从( )区指向( )区。

3、当采用耗尽近似时,N 型耗尽区中的泊松方程为( )。由此方程可以看出,掺

杂浓度越高,则内建电场的斜率越( )。

4、PN 结的掺杂浓度越高,则势垒区的长度就越( ),内建电场的最大值就越( ),

内建电势V bi 就越( ),反向饱和电流I 0就越( ),势垒电容C T 就越( ),雪崩击穿电压就越( )。

5、硅突变结内建电势V bi 可表为( ),在室温下的典型值为( )伏特。

6、当对PN 结外加正向电压时,其势垒区宽度会( ),势垒区的势垒高度会( )。

7、当对PN 结外加反向电压时,其势垒区宽度会( ),势垒区的势垒高度会( )。

8、在P 型中性区与耗尽区的边界上,少子浓度n p 与外加电压V 之间的关系可表示为

( )。若P 型区的掺杂浓度173A 1.510cm N -=?,外加电压V = 0.52V ,则P 型

区与耗尽区边界上的少子浓度n p 为( )。

9、当对PN 结外加正向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓

度( );当对PN 结外加反向电压时,中性区与耗尽区边界上的少子浓度比该处的平衡少子浓度( )。

10、PN 结的正向电流由( )电流、( )电流和( )电流三部分所组

成。

11、PN结的正向电流很大,是因为正向电流的电荷来源是();PN结的反向电流很

小,是因为反向电流的电荷来源是()。

12、当对PN结外加正向电压时,由N区注入P区的非平衡电子一边向前扩散,一边()。每经过一个扩散长度的距离,非平衡电子浓度降到原来的()。

13、PN结扩散电流的表达式为()。这个表达式在正向电压下可简化为

(),在反向电压下可简化为()。

14、在PN结的正向电流中,当电压较低时,以()电流为主;当电压较高时,以

()电流为主。

15、薄基区二极管是指PN结的某一个或两个中性区的长度小于()。在薄基区

二极管中,少子浓度的分布近似为()。

16、小注入条件是指注入某区边界附近的()浓度远小于该区的()浓度,因

此该区总的多子浓度中的()多子浓度可以忽略。

17、大注入条件是指注入某区边界附近的()浓度远大于该区的()浓度,因

此该区总的多子浓度中的()多子浓度可以忽略。

18、势垒电容反映的是PN结的()电荷随外加电压的变化率。PN结的掺杂浓

度越高,则势垒电容就越();外加反向电压越高,则势垒电容就越()。19、扩散电容反映的是PN结的()电荷随外加电压的变化率。正向电流越

大,则扩散电容就越();少子寿命越长,则扩散电容就越()。

20、在PN结开关管中,在外加电压从正向变为反向后的一段时间内,会出现一个较大

的反向电流。引起这个电流的原因是存储在()区中的()电荷。这个电荷的消失途径有两条,即()和()。

21、从器件本身的角度,提高开关管的开关速度的主要措施是()和

()。

22、PN结的击穿有三种机理,它们分别是()、()和()。

23、PN结的掺杂浓度越高,雪崩击穿电压就越();结深越浅,雪崩击穿电压就越

()。

24、雪崩击穿和齐纳击穿的条件分别是()和()。

25、晶体管的基区输运系数是指()电流与()电流之比。由

于少子在渡越基区的过程中会发生(),从而使基区输运系数()。为了提高基区输运系数,应当使基区宽度()基区少子扩散长度。

26、晶体管中的少子在渡越()的过程中会发生(),从而使到达集电结的少子比

从发射结注入基区的少子()。

27、晶体管的注入效率是指()电流与()电流之比。为了提高注入

效率,应当使()区掺杂浓度远大于()区掺杂浓度。

28、晶体管的共基极直流短路电流放大系数α是指发射结()偏、集电结()偏时的

()电流与()电流之比。

29、晶体管的共发射极直流短路电流放大系数β是指()结正偏、()结零偏时

的()电流与()电流之比。

30、在设计与制造晶体管时,为提高晶体管的电流放大系数,应当()基区宽度,

()基区掺杂浓度。

31、某长方形薄层材料的方块电阻为100Ω,长度和宽度分别为300μm和60μm,则其

长度方向和宽度方向上的电阻分别为()和()。若要获得1KΩ的电阻,则该材料的长度应改变为()。

32、在缓变基区晶体管的基区中会产生一个(),它对少子在基区中的运动起到

()的作用,使少子的基区渡越时间()。

33、小电流时α会()。这是由于小电流时,发射极电流中()的比例

增大,使注入效率下降。

34、发射区重掺杂效应是指当发射区掺杂浓度太高时,不但不能提高(),反而会

使其()。造成发射区重掺杂效应的原因是()和()。

35、在异质结双极晶体管中,发射区的禁带宽度()于基区的禁带宽度,从而使异质结

双极晶体管的()大于同质结双极晶体管的。

36、当晶体管处于放大区时,理想情况下集电极电流随集电结反偏的增加而()。但

实际情况下集电极电流随集电结反偏增加而(),这称为()效应。37、当集电结反偏增加时,集电结耗尽区宽度会(),使基区宽度(),从而使集

电极电流(),这就是基区宽度调变效应(即厄尔利效应)。

38、I ES是指()结短路、()结反偏时的()极电流。

39、I CS是指()结短路、()结反偏时的()极电流。

41、I CBO是指()极开路、()结反偏时的()极电流。

41、I CEO是指()极开路、()结反偏时的()极电流。

42、I EBO是指()极开路、()结反偏时的()极电流。

→时的V CB。

43、BV CBO是指()极开路、()结反偏,当()∞

→时的V CE。

44、BV CEO是指()极开路、()结反偏,当()∞

→时的V EB。

45、BV EBO是指()极开路、()结反偏,当()∞

46、基区穿通是指当集电结反向电压增加到使耗尽区将()全部占据时,集电极电流

急剧增大的现象。防止基区穿通的措施是()基区宽度、()基区掺杂浓度。

47、比较各击穿电压的大小时可知,BV CBO ( )BV CEO ,BV CBO ( )BV EBO 。

48、要降低基极电阻bb r ',应当( )基区掺杂浓度,( )基区宽度。

49、无源基区重掺杂的目的是( )。

50、发射极增量电阻r e 的表达式是( )。室温下当发射极电流为1mA 时,r e =

( )。

51、随着信号频率的提高,晶体管的ωα、ωβ的幅度会( ),相角会( )。

52、在高频下,基区渡越时间b τ对晶体管有三个作用,它们是:( )、

( )和( )。

53、基区渡越时间b τ是指( )。当基区宽度加倍时,基区渡越时间增大

到原来的( )倍。

54、晶体管的共基极电流放大系数ωα随频率的( )而下降。当晶体管的ωα下降到

( )时的频率,称为α的截止频率,记为( )。

55、晶体管的共发射极电流放大系数ωβ随频率的( )而下降。当晶体管的ωβ下降到02

1β时的频率,称为β的( ),记为( )。 56、当βf f >>时,频率每加倍,晶体管的ωβ降到原来的( );最大功率增益p max

K 降到原来的( )。

57、当( )降到1时的频率称为特征频率T f 。当( )降到1时的频率称为最高振荡

频率M f 。

58、当ωβ降到( )时的频率称为特征频率T f 。当p max K 降到( )时的频率称为最高振

荡频率M f 。

59、晶体管的高频优值M 是( )与( )的乘积。

60、晶体管在高频小信号应用时与直流应用时相比,要多考虑三个电容的作用,它们是

( )电容、( )电容和( )电容。

61、对于频率不是特别高的一般高频管,ec τ中以( )为主,这时提高特征频率T f 的主

要措施是( )。

62、为了提高晶体管的最高振荡频率M f ,应当使特征频率T f ( ),基极电阻bb r '

( ),集电结势垒电容TC C ( )。

63、对高频晶体管结构上的基本要求是:( )、( )、( )和

( )。

64、N 沟道MOSFET 的衬底是( )型半导体,源区和漏区是( )型半导体,沟道中的

载流子是( )。

65、P 沟道MOSFET 的衬底是( )型半导体,源区和漏区是( )型半导体,沟道中的

载流子是( )。

66、当GS T V V =时,栅下的硅表面发生( ),形成连通( )区和( )区的导电沟

道,在DS V 的作用下产生漏极电流。

67、N 沟道MOSFET 中,GS V 越大,则沟道中的电子就越( ),沟道电阻就越( ),

漏极电流就越( )。

68、在N 沟道MOSFET 中,T 0V >的称为增强型,当GS 0V =时MOSFET 处于( )状

态;T 0V <的称为耗尽型,当GS 0V =时MOSFET 处于( )状态。

69、由于栅氧化层中通常带( )电荷,所以( )型区比( )型区更容易发生反型。

70、要提高N 沟道MOSFET 的阈电压V T ,应使衬底掺杂浓度N A ( ),使栅氧化层厚

度T ox ( )。

71、N 沟道MOSFET 饱和漏源电压Dsat V 的表达式是( )。当DS Dsat V V ≥时,

MOSFET 进入( )区,漏极电流随DS V 的增加而( )。

72、由于电子的迁移率n μ比空穴的迁移率p μ( ),所以在其它条件相同时,( )沟道

MOSFET 的Dsat I 比( )沟道MOSFET 的大。为了使两种MOSFET 的Dsat I 相同,应当使N 沟道MOSFET 的沟道宽度( )P 沟道MOSFET 的。

73、当N 沟道MOSFET 的GS T V V <时,MOSFET ( )导电,这称为( )导电。

74、对于一般的MOSFET ,当沟道长度加倍,而其它尺寸、掺杂浓度、偏置条件等都不

变时,其下列参数发生什么变化:T V ( )、Dsat I ( )、on R ( )、m

g ( )。

75、由于源、漏区的掺杂浓度( )于沟道区的掺杂浓度,所以MOSFET 源、漏PN 结

的耗尽区主要向( )区扩展,使MOSFET 的源、漏穿通问题比双极型晶体管的基区穿通问题( )。

76、MOSFET 的跨导g m 的定义是( ),它反映了( )对( )的控制能力。

77、为提高跨导g m 的截止角频率m g ω,应当( )μ,( )L ,( )V GS 。

78、阈电压T V 的短沟道效应是指,当沟道长度缩短时,T V 变( )。

79、在长沟道MOSFET 中,漏极电流的饱和是由于( ),而在短沟道MOSFET

中,漏极电流的饱和则是由于( )。

80、为了避免短沟道效应,可采用按比例缩小法则,当MOSFET 的沟道长度缩短一半

时,其沟道宽度应( ),栅氧化层厚度应( ),源、漏区结深应( ),衬底掺杂浓度应( )。

二、问答题

1、简要叙述PN结空间电荷区的形成过程。

2、什么叫耗尽近似?什么叫中性近似?

3、什么叫突变结?什么叫单边突变结?什么叫线性缓变结?分别画出上述各种PN结的

杂质浓度分布图、内建电场分布图和外加正向电压及反向电压时的少子浓度分布图。

4、PN结势垒区的宽度与哪些因素有关?

5、写出PN结反向饱和电流I0的表达式,并对影响I0的各种因素进行讨论。

6、PN结的正向电流由正向扩散电流和势垒区复合电流组成。试分别说明这两种电流随

外加正向电压的增加而变化的规律。当正向电压较小时以什么电流为主?当正向电压较大时以什么电流为主?

7、什么是小注入条件?什么是大注入条件?写出小注入条件和大注入条件下的结定律,

并讨论两种情况下中性区边界上载流子浓度随外加电压的变化规律。

8、在工程实际中,一般采用什么方法来计算PN结的雪崩击穿电压?

9、简要叙述PN结势垒电容和扩散电容的形成机理及特点。

10、当把PN结作为开关使用时,在直流特性和瞬态特性这两方面,PN结与理想开关相

比有哪些差距?引起PN结反向恢复过程的主要原因是什么?

11、画出NPN晶体管在饱和状态、截止状态、放大状态和倒向放大状态时的少子分布

图。

画出NPN晶体管在饱和状态、截止状态、放大状态和倒向放大状态时的能带图。12、画出共基极放大区晶体管中各种电流的分布图,并说明当输入电流I E经过晶体管变

成输出电流I C时,发生了哪两种亏损?

13、倒向晶体管的电流放大系数为什么小于正向晶体管的电流放大系数?

14、提高基区掺杂浓度会对晶体管的各种特性,如 γ、α、β、TE C 、EBO BV 、pt V 、A V 、

bb r '等产生什么影响?

15、减薄基区宽度会对晶体管的上述各种特性产生什么影响?

16、先画出双极晶体管的理想的共发射极输出特性曲线图,并在图中标出饱和区与放大

区的分界线,然后再分别画出包括厄尔利效应和击穿现象的共发射极输出特性曲线图。

17、画出包括基极电阻在内的双极型晶体管的简化的交流小信号等效电路。

18、什么是双极晶体管的特征频率T f ?写出T f 的表达式,并说明提高T f 的各项措施。

19、写出组成双极晶体管信号延迟时间ec τ的4个时间的表达式。其中的哪个时间与电流

I E 有关?这使T f 随I E 的变化而发生怎样的变化?

20、说明特征频率T f 的测量方法。

21、什么是双极晶体管的最高振荡频率M f ?写出M f 的表达式,说明提高M f 的各项措

施。

22、画出高频晶体管结构的剖面图,并标出图中各部分的名称。

23、画出MOSFET 的结构图和输出特性曲线图,并简要叙述MOSFET 的工作原理。

24、什么是MOSFET 的阈电压V T ?写出V T 的表达式,并讨论影响V T 的各种因素。

25、什么是MOSFET 的衬底偏置效应?

26、什么是有效沟道长度调制效应?如何抑制有效沟道长度调制效应?

27、什么是MOSFET 的跨导g m ?写出g m 的表达式,并讨论提高g m 的措施。

28、提高MOSFET 的最高工作频率f t 的措施是什么?

29、什么是MOSFET 的短沟道效应?

30、什么是MOSFET 的按比例缩小法则?

三、计算题

1、某突变PN 结的153183D A 1.510cm , 1.510cm N N --=?=?,试求n0n0p0n p p 、、和p0n 的

值,并求当外加0.5V 正向电压和(-0.5V )反向电压时的p p ()n x -和n n ()p x 的值。

2、某突变PN 结的153183D A 1.510cm , 1.510cm N N --=?=?,计算该PN 结的内建电势

V bi 之值。

3、有一个P 沟道MOSFET 的衬底掺杂浓度为153D 1.510cm N -=?,另一个N 沟道

MOSFET 的衬底掺杂浓度为183A 1.510cm N -=?。试分别求这两个MOSFET 的衬底费

米势,并将这两个衬底费米势之和与上题的V bi 相比较。

4、某突变PN 结的153183D A 1.510cm , 1.510cm N N --=?=?,试问J dp 是J dn 的多少倍?

5、已知某PN 结的反向饱和电流为I o =10 -12A ,试分别求当外加0.5V 正向电压和(-

0.5V )反向电压时的PN 结扩散电流。

6、已知某PN 结的反向饱和电流为I o =10 -11A ,若以当正向电流达到10 -2 A 作为正向导

通的开始,试求正向导通电压V F 之值。若此PN 结存在寄生串联电阻r cs = 4Ω,则在同样的测试条件下V F 将变为多少?

7、某硅单边突变结的雪崩击穿临界电场51C 3.510Vcm E -=?,开始发生雪崩击穿时的

耗尽区宽度dB 8.57μm x =,求该PN 结的雪崩击穿电压B V 。若对该PN 结外加

B 0.25V V =的反向电压,则其耗尽区宽度为多少?

8、如果设单边突变结的雪崩击穿临界电场E C 与杂质浓度无关,则为了使雪崩击穿电压

V B 提高1倍,发生雪崩击穿时的耗尽区宽度x dB 应为原来的多少倍?低掺杂区的杂质浓度应为原来的多少倍?

9、某突变PN 结的V bi = 0.7V ,当外加-4.3V 的反向电压时测得其势垒电容为8pF ,则当

外加-19.3V 的反向电压时其势垒电容应为多少?

10、某突变结的内建电势V bi = 0.7V ,当外加电压V = 0.3V 时的势垒电容与扩散电容分别

是2pF 和4210pF -?,试求当外加电压V = 0.6V 时的势垒电容与扩散电容分别是多少?

11、某均匀基区NPN 晶体管的21B B 1μm,20cm s W D -==,试求此管的基区渡越时间b τ。

当此管的基区少子电流密度J nE = 102Acm -2时,其基区少子电荷面密度Q B 为多少?

12、某均匀基区晶体管的B B 2μm,10μm W L ==,试求此管的基区输运系数*β之值。若

将此管的基区掺杂改为如式(3-28)的指数分布,场因子6η=,则其*β变为多少?

13、某均匀基区NPN 晶体管的171217B B B B 2μm,10cm ,18cm s ,510s W N D τ---====?,

试求该管的基区输运系数*

β之值。又当在该管的发射结上加0.6V 的正向电压,集电结短路时,该管的J nE 和J nC 各为多少?

14、某均匀基区晶体管的注入效率0.98γ=,若将其发射结改为异质结,使基区的禁带

宽度E GB 比发射区的禁带宽度E GE 小0.08eV ,则其注入效率γ变为多少?若要使其γ仍为0.98,则其有源基区方块电阻B1R 口可以减小到原来的多少?

15、某双极型晶体管的B11000,5R R =Ω=Ω口口E ,基区渡越时间b τ=10–9 s ,当I B = 0.1mA

时, I C = 10mA ,求该管的基区少子寿命B τ。

16、某晶体管的基区输运系数0.99β*=,注入效率0.97γ=,试求此管的α与β。当此管的有源基区方块电阻B1R 口乘以3,其余参数均不变时,其α与β变为多少?

17、某双极型晶体管当I B1 = 0.05mA 时测得I C1 = 4mA ,当I B2 = 0.06mA 时测得I C2 =

5mA ,试分别求此管当I C = 4mA 时的直流电流放大系数β与小信号电流放大系数βO 。

18、某缓变基区NPN 晶体管的BV CBO = 120V ,81β=,试求此管的BV CEO 。

19、某高频晶体管的5MHz f β=,当信号频率为40MHz f =时测得其10=ωβ,则当

80MHz f =时ωβ为多少?该管的特征频率T f 为多少?该管的0β为多少?

20、某高频晶体管的500=β,当信号频率f 为30MHz 时测得5=ωβ,求此管的特征频

率T f ,以及当信号频率f 分别为15MHz 和60MHz 时的ωβ之值。

21、某高频晶体管的基区宽度B 1μm W =,基区渡越时间10b 2.710s τ-=?,

T 550MHz f =。当该管的基区宽度减为0.5μm ,其余参数都不变时,T f 变为多少?

22、某高频晶体管的20MHz f β=,当信号频率为100MHz f =时测得其最大功率增益为

p max 24K =,则当200MHz f =时p max K 为多少?该管的最高振荡频率M f 为多少?

23、在N A = 1015cm -3的P 型硅衬底上制作Al 栅N 沟道MOSFET ,栅氧化层厚度为

50nm ,栅氧化层中正电荷数目的面密度为1011cm -2,求该MOSFET 的阈电压V T 之值。

24、某处于饱和区的N 沟道MOSFET 当V GS = 3V 时测得I Dsat = 1mA ,当V GS = 4V 时测

得I Dsat = 4mA ,求该管的V T 与β之值。

25、某N 沟道MOSFET 的V T = 1V,β= 4×10-3AV -2,求当V GS = 6V ,V DS 分别为2V 、4V 、

6V 、8V 和10V 时的漏极电流之值。

26、某N 沟道MOSFET 的V T = 1.5V,β= 6×10-3AV -2,求当V DS = 6V ,V GS 分别为1.5V 、

3.5V 、5.5V 、7.5V 和9.5V 时的漏极电流之值。

27、某N 沟道MOSFET 的V T = 1.5V,β= 6×10-3AV -2,求当V GS 分别为2V 、4V 、6V 、8V

和10V 时的通导电阻R on 之值。

28、某N 沟道MOSFET 的V T = 1V,β= 4×10-3AV -2,求当V GS = 6V ,V DS 分别为2V 、4V 、

6V 、8V 和10V 时的跨导g m 之值。

29、某N 沟道MOSFET 的V T = 1V,β= 6×10-3AV -2,求当V DS = 4V ,V GS 分别为2V 、4V 、

6V 、8V 和10V 时漏源电导g ds 之值。

30、某N 沟道MOSFET 的沟道长度2μm L =,阈电压V T = 1.5V ,电子迁移率为

320cm 2/V.s ,试求当外加栅电压V GS = 5V 时的饱和区跨导的截止角频率m g ω。

微电子工艺习题总结(DOC)

1. What is a wafer? What is a substrate? What is a die? 什么是硅片,什么是衬底,什么是芯片 答:硅片是指由单晶硅切成的薄片;芯片也称为管芯(单数和复数芯片或集成电路);硅圆片通常称为衬底。 2. List the three major trends associated with improvement in microchip fabrication technology, and give a short description of each trend. 列出提高微芯片制造技术相关的三个重要趋势,简要描述每个趋势 答:提高芯片性能:器件做得越小,在芯片上放置得越紧密,芯片的速度就会提高。 提高芯片可靠性:芯片可靠性致力于趋于芯片寿命的功能的能力。为提高器件的可靠性,不间断地分析制造工艺。 降低芯片成本:半导体微芯片的价格一直持续下降。 3. What is the chip critical dimension (CD)? Why is this dimension important? 什么是芯片的关键尺寸,这种尺寸为何重要 答:芯片的关键尺寸(CD)是指硅片上的最小特征尺寸; 因为我们将CD作为定义制造复杂性水平的标准,也就是如果你拥有在硅片某种CD的能力,那你就能加工其他所有特征尺寸,由于这些尺寸更大,因此更容易产生。 4. Describe scaling and its importance in chip design. 描述按比例缩小以及在芯片设计中的重要性 答:按比例缩小:芯片上的器件尺寸相应缩小是按比例进行的 重要性:为了优电学性能,多有尺寸必须同时减小或按比例缩小。 5. What is Moore's law and what does it predict? 什么是摩尔定律,它预测了什么 答:摩尔定律:当价格不变时,集成电路上可容纳的晶体管数,月每隔18个月便会增加1倍,性能也将提升1倍。 预言在一块芯片上的晶体管数大约每隔一年翻一番。 第二章 6. What is the advantage of gallium arsenide over silicon? 砷化镓相对于硅的优点是什么 答:优点:具有比硅更高的电子迁移率;减小寄生电容和信号损耗的特性;集成电路的速度比硅电路更快;材料的电阻率更大。 7. What is the primary disadvantage of gallium arsenide over silicon? 砷化镓相对于硅的主要缺点是什么 答:主要缺点:缺乏天然氧化物;材料的脆性;成本比硅高10倍;有剧毒性在设备,工艺和废物清除设施中特别控制。

微电子技术在医学中的应用

微电子技术在医学中的应用 随着科技的迅速发展,和医疗水平息息相关的电子技术应用也越来越广泛。微电子技术的发展大大方便了人们的生活,随着微电子技术的发展,生物医学也在快速的发展,微电子技术过去在医学中的主要是应用于各类医疗器械的集成电路,在未来主要是生物芯片。生物芯片技术在医学、生命科学、药业、农业、环境科学等凡与生命活动有关的领域中均具有重大的应用前景。微电子技术与生物医学之间有着非常紧密的联系。 生物医学电子学是由微电子学、生物和医学等多学科交叉的边缘科学,为使得生物医学领域的研究方式更加精确和科学,所以将电子学用于生物医学领域。在生物医学与电子学交叉作用部分中最活跃、最前沿、作用力最大的一项关键技术就是微电子技术。特别是随着集成电路集成度的提高和超大规模集成电路的发展,元件尺寸达到分子级,进入了分子电子学时代,用有机化合物低分子、高分子和生物分子作芯片,它们具有识别、采集、记忆、放大、开关、传导等功能,更大大促进了医学电子学的发展。 以下将主要从生物医学传感器、植入式电子系统、生物芯片这三个方面结合当前国际上最新进展来介绍两者之间的关系与发展。 一、生物医学传感器 生物医学传感器是连接生物医学和电子学的桥梁。它的作用是把人体中和生物体包含的生命现象、性质、状态、成分和变量等生理信息转化为与之有确定函数关系的电子信息。生物医学传感器技术是生物医学电子学中一项关键的技术,是发展生物技术必不可少的一种先进的检测方法与监控方法,也是物质分子水平的快速、微量分析方法。因为生物传感器专一、灵敏、响应快等特点,为基础医学研究及临床诊断提供了一种快速简便的新型方法,在临床医学中发挥着越来越大的作用,意义极为重大。 常见的生物医学传感器主要可分为以下几种:电阻式传感器,电感式传感器,电容式传感器,压电式传感器,热电式传感器,光电传感器以及生物传感器等。 医学领域的生物传感器发挥着越来越大的作用。在临床医学中,酶电极是最早研制且应用最多的一种传感器。利用具有不同生物特性的微生物代替酶,可制成微生物传感器,广泛应用于:药物分析、肿瘤监测、血糖分析等。 生物医学传感器相较于传统医疗方式具有以下特点: 1、生物传感器采用固定化生物活性物质作催化剂,价值昂贵的试剂可以重复多次使用,克服了过去酶法分析试剂费用高和化学分析繁琐复杂的缺点。因此,这一技成本低,在连续使用时,每例测定仅需要几分钱人民币,术在很大程度上减轻病患医疗费用上的负担。

微电子器件刘刚前三章课后答案

课后习题答案 1.1 为什么经典物理无法准确描述电子的状态?在量子力学中又是用什么方法来描述的? 解:在经典物理中,粒子和波是被区分的。然而,电子和光子是微观粒子,具有波粒二象性。因此,经典物理无法准确描述电子的状态。 在量子力学中,粒子具有波粒二象性,其能量和动量是通过这样一个常数来与物质波的频率ω和波矢k 建立联系的,即 c h p h E ηη====υωυ 上述等式的左边描述的是粒子的能量和动量,右边描述的则是粒子波动性的频率ω和波矢k 。 1.2 量子力学中用什么来描述波函数的时空变化规律? 解:波函数ψ是空间和时间的复函数。与经典物理不同的是,它描述的不是实在的物理量的波动,而是粒子在空间的概率分布,是一种几率波。如果用()t r ,ψ表示粒子的德布洛意波的振幅,以()()()t r t r t r ,,,2 ψψψ*=表示波的强度,那么,t 时刻在r 附近的小体积元z y x ???中检测到粒子的概率正比于()z y x t r ???2,ψ。

1.3 试从能带的角度说明导体、半导体和绝缘体在导电性能上的差异。 解:如图1.3所示,从能带的观点 来看,半导体和绝缘体都存在着禁 带,绝缘体因其禁带宽度较大 (6~7eV),室温下本征激发的载流 子近乎为零,所以绝缘体室温下不 能导电。半导体禁带宽度较小,只有1~2eV ,室温下已经有一定数量的电子从价带激发到导带。所以半导体在室温下就有一定的导电能力。而导体没有禁带,导带与价带重迭在一起,或者存在半满带,因此室温下导体就具有良好的导电能力。 1.4 为什么说本征载流子浓度与温度有关? 解:本征半导体中所有载流子都来源于价带电子的本征激发。由此产生的载流子称为本征载流子。本征激发过程中电子和空穴是同时出现的,数量相等,i n p n ==00。对于某一确定的半导体材料,其本征载流子浓度为kT E V C i g e N N p n n ==002 式中,N C ,N V 以及Eg 都是随着温度变化的,所以,本征载流子浓度也是随着温度变化的。 1.5 什么是施主杂质能级?什么是受主杂质能级?它们有何异同?

微电子技术及其发展

微电子技术及其发展 1200240227 杨晓东21世纪是高新技术时代的高速发展时期,随着科技不断进步与创新,电子行业逐渐占据重要地位。科学家们逐渐发现了微电子行业的巨大作用。那么什么是微电子呢?微电子在现代化进程中有哪些应用呢?它对一些科技发展是否起着不可或缺的作用呢?我们国家对于微电子的发展到了哪一步呢?国家又采用了什么政策呢?微电子是否和我们大学生青年息息相关呢?带着这些疑问,我们一同去探讨。 首先,到底什么是微电子呢?微电子学是研究在固体(主要是半导体)材料上构成的微小型化电路、电路及系统的电子学分支。尽管只是作为电子学的分支学科,它主要研究电子或离子在固体材料中的运动规律及其应用,并利用它实现信号处理功能的科学,以实现电路的系统和集成为目的,实用性强。微电子学又是信息领域的重要基础学科,在这一领域上,微电子学是研究并实现信息获取、传输、存储、处理和输出的科学,是研究信息获取的科学,构成了信息科学的基石,其发展直接影响着整个信息技术的发展。微电子科学技术的发展水平和产业规模是一个国家经济实力的重要标志。微电子学是一门综合性很强的边缘学科,其中包括了半导体器件物理、集成电路工艺和集成电路及系统的设计、测试等多方面的内容;涉及了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试和加工、图论、化学等多个领域。 可见微电子是一门极其复杂的电子科学。因为其广泛的应用,近年来在军事科技,通信及太空探索等方面得到迅速发展。微电子技术是高科技和信息产业的核心技术。微电子产业是基础性产业,之所以发展得如此之快,除了技术本身对国民经济的巨大贡献之外,还与它极强的渗透性有关。另外,现代战争将是以集成电路为关键技术、以电子战和信息战为特点的高技术战争。几乎所有的传统产业只要与微电子技术结合,用集成电路芯片进行智能改造,就会使传统产业重新焕发青春。例如微机控制的数控机床己不再是传统的机床;又如汽车的电子化导致汽车工业的革命,目前先进的现代化汽车,其电子装备已占其总成本的70%。进入信息化社会,集成电路成为武器的-个组成单元,于是电子战、智能武器应

832微电子器件-电子科技大学2015硕士入学考试真题

电子科技大学 2015年攻读硕士学位研究生入学考试试题电子科技大学2016年硕士研究生入学考试初试自命题科目及代码汇总 ?111单独考试政治理论 ?241法语(二外) ?242德语(二外) ?243日语(二外) ?244英语(二外仅日语方向) ?288单独考试英语 ?601数学分析 ?602高等数学 ?613分子生物学 ?615日语水平测试 ?616公共管理综合 ?621英语水平测试 ?622心理学综合 ?623新闻传播理论 ?625宪法学 ?688单独考试高等数学 ?689西方行政史 ?690中国近现代史 ?691政治学原理 ?692数学物理基础?694生物学综合 ?694生物学综合 ?695口腔综合 ?804行政法与行政诉讼法学 ?805新闻传播实务 ?806行政管理综合 ?808金融学基础 ?809管理学原理 ?811大学物理 ?812地理信息系统基础 ?813电磁场与电磁波 ?814电力电子技术 ?815电路分析基础 ?818固体物理 ?820计算机专业基础 ?821经济学基础 ?824理论力学 ?825密码学基础与网络安全 ?830数字图像处理 ?831通信与信号系统 ?832微电子器件 ?834物理化学 ?835线性代数 ?836信号与系统和数字电路 ?839自动控制原理 ?840物理光学 ?845英美文学基础知识及运用 ?846英语语言学基础知识及运用 ?847日语专业基础知识及应用 ?852近代物理基础 ?853细胞生物学 ?854国际政治学 ?855辩证唯物主义和历史唯物主 义 ?856测控通信原理 ?857概率论与数理统计 ?858信号与系统 ?859测控通信基础 ?860软件工程学科基础综合

微电子工艺学试卷(A卷)及参考答案

华中科技大学2010—2011学年第二学期 电子科学与技术专业《微电子工艺学》试卷(A 卷) 一、判断下列说法的正误,正确的在后面括号中划“√”,错误的在后面括号中划“×”(本大题共12小题,每小题2分,共24分) 1、用来制造MOS 器件最常用的是(100)面的硅片,这是因为(100)面的表面状态更有利于控制MOS 器件开态和关态所要求的阈值电压。(√) 2、在热氧化过程的初始阶段,二氧化硅的生长速率由氧化剂通过二氧化硅层的扩散速率决定,处于线性氧化阶段。( × ) 3、在一个化学气相淀积工艺中,如果淀积速率是反应速率控制的,则为了显著增大淀积速率,应该增大反应气体流量。( × ) 4、LPCVD 紧随PECVD 的发展而发展。由660℃降为450℃,采用增强的等离子体,增加淀积能量,即低压和低温。(×) 5、蒸发最大的缺点是不能产生均匀的台阶覆盖,但是可以比较容易的调整淀积合金的组分。(×) 6、化学机械抛光(CMP)带来的一个显著的质量问题是表面微擦痕。小而难以发现的微擦痕导致淀积的金属中存在隐藏区,可能引起同一层金属之间的断路。(√) 7、曝光波长的缩短可以使光刻分辨率线性提高,但同时会使焦深线性减小。如果增大投影物镜的数值孔径,那么在提高光刻分辨率的同时,投影物镜的焦深也会急剧减小,因此在分辨率和焦深之间必须折衷。( √ ) 8、外延生长过程中杂质的对流扩散效应,特别是高浓度一侧向异侧端的扩散,不仅使界面附近浓 度分布偏离了理想情况下的突变分布而形成缓变,且只有在离界面稍远处才保持理想状态下的均匀分布,使外延层有效厚度变窄。( × ) 9、在各向同性刻蚀时,薄膜的厚度应该大致大于或等于所要求分辨率的三分之一。如果图形所要求的分辨率远小于薄膜厚度,则必须采用各向异性刻蚀。( × ) 10、热扩散中的横向扩散通常是纵向结深的75%~85%。先进的MOS 电路不希望发生横向扩散, 因为它会导致沟道长度的减小,影响器件的集成度和性能。(√) 11、离子注入能够重复控制杂质的浓度和深度,因而在几乎所有应用中都优于扩散。( ×) 12、侧墙用来环绕多晶硅栅,防止更大剂量的源漏注入过于接近沟道以致可能发生源漏穿通。(√) 二、选择填空。 (本大题共8小题,每小题2分,共16分。在每小题给出的四个选项 中,有的只有一个选项正确,有的有多个选项正确,全部选对得2分,选对但不全的得1分,有选错的得0分) 1、微电子器件对加工环境的空气洁净度有着严格的要求。我国洁净室及洁净区空气中悬浮粒子洁净度标准GB50073-2001中,100级的含义是:每立方米空气中大于等于0.1 m 的悬浮粒子的最大允许个数为( B ) A 、35; B 、100; C 、102; D 、237。 2、采用二氧化硅薄膜作为栅极氧化层,是利用其具有的( A 、D ) A 、高电阻率; B 、高化学稳定性; C 、低介电常数; D 、高介电强度。 3、如果淀积的膜在台阶上过度地变薄,就容易导致高的膜应力、电短路或者在器件中产生不希望的(A )。 A. 诱生电荷 B. 鸟嘴效应 C. 陷阱电荷 D. 可移动电荷 4、浸入式光刻技术可以使193 nm 光刻工艺的最小线宽减小到45 nm 以下。它通过采用折射率高的 一、密封线内不准答题。 二、姓名、学号不许涂改,否则试卷无效。 三、考生在答题前应先将姓名、学号、年级和班级填写在指定的方框内。 四、试卷印刷不清楚。可举手向监考教师询问。 注意

微电子技术及其应用

微电子技术及其应用 041050107陈立 一、微电子技术简介 如今,世界已经进入信息时代,飞速发展的信息产业是这个时代的特征。而微电子技术制造的芯片则是大量信息的载体,它不仅可以储存信息,还能处理和加工信息。因此,微电子技术在如今已是不可或缺的生活和生产要素。 微电子学是研究在固体(主要是半导体)材料上构成的微小型化电路、电路及系统的电子学分支。 作为电子学的分支学科,它主要研究电子或粒子在固体材料中的运动规律及其应用,并利用它实现信号处理功能的科学,以实现电路的系统和集成为目的,实用性强。微电子学又是信息领域的重要基础学科,在这一领域上,微电子学是研究并实现信息获取、传输、存储、处理和输出的科学,是研究信息获取的科学,构成了信息科学的基石,其发展水平直接影响着整个信息技术的发展。微电子科学技术的发展水平和产业规模是一个国家经济实力的重要标志。 微电子学是一门综合性很强的边缘学科,其中包括了半导体器件物理、集成电路工艺和集成电路及系统的设计、测试等多方面的内容;涉及了固体物理学、量子力学、热力学与统计物理学、材料科学、电子线路、信号处理、计算机辅助设计、测试和加工、图论、化学等多个领域。 微电子学是一门发展极为迅速的学科,高集成度、低功耗、高性能、高可靠性是微电子学发展的方向。信息技术发展的方向是多媒体(智能化)、网络化和个体化。要求系统获取和存储海量的多媒体信息、以极高速度精确可靠的处理和传输这些信息并及时地把有用信息显示出来或用于控制。所有这些都只能依赖于微电子技术的支撑才能成为现实。超高容量、超小型、超高速、超高频、超低功耗是信息技术无止境追求的目标,是微电子技术迅速发展的动力。 微电子学渗透性强,其他学科结合产生出了一系列新的交叉学科。微机电系统、生物芯片就是这方面的代表,是近年来发展起来的具有广阔应用前景的新技术。 二、微电子技术核心—-集成电路技术 集成电路(integrated circuit)是一种微型电子器件或部件。采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、二极管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构;其中所有元件在结构上已组成一个整体,这样,整个电路的体积大大缩小,且引出线和焊接点的数目也大为减少,从而使电子元件向着微小型化、低功耗和高可靠性方面迈进了一大步。它在电路中用字母“IC”。 集成电路的分类 1.按功能结构分类 集成电路按其功能、结构的不同,可以分为模拟集成电路、数字集成电路和数/模混合集成电路 模拟集成电路又称线性电路,用来产生、放大和处理各种模拟信号(指幅度随时间变化的信号。例如半导体收音机的音频信号、录放机的磁带信号等),其输入信号和输出信号成

课程设计微电子器件与工艺课程设计报告

课程设计微电子器件与工艺课程设计报告

目录 1.设计任务及目标 (1) 2.课程设计的基本内容 (1) 2.1 pnp双极型晶体管的设计 (1) 2.2 设计的主要内容 (1) 3.晶体管工艺参数设计 (2) 3.1 晶体管的纵向结构参数设计 (2) 3.1.1 集电区杂质浓度的确定 (2) 3.1.2 基区及发射区杂质浓度 (3) 3.1.3 各区少子迁移率及扩散系数的确定 (3) 3.1.4 各区少子扩散长度的计算 (4) 3.1.5 集电区厚度的选择 (4) 3.1.6 基区宽度的计算 (4) 3.1.7 扩散结深 (6) 3.1.8 表面杂质浓度 (7) 3.2晶体管的横向设计 (8) 3.3工艺参数的计算 (8) 3.3.1 基区磷预扩时间 (8) 3.3.2基区磷再扩散时间计算 (8) 3.3.3 发射区硼预扩时间计算 (9) 3.3.4 发射区硼再扩散时间计算 (9) 3.3.5 基区磷扩散需要的氧化层厚度 (10) 3.3.6 发射区硼扩散需要的氧化层厚度 (11) 3.3.7 氧化时间的计算 (11) 3.3.8设计参数总结 (12) 4晶体管制造工艺流程 (13) 4.1硅片及清洗 (15) 4.2氧化工艺 (16)

4.3光刻工艺 (17) 4.3.1光刻原理 (17) 4.3.2具体工艺流程 (18) 4.3.3硼的扩散 (19) 4.3.4磷的扩散 (20) 5 版图 (20) 6总结 (23) 7参考文献 (23)

微电子器件与工艺课程设计报告 ——pnp 双极型晶体管的设计 1、课程设计目的与任务 《微电子器件与工艺课程设计》是继《微电子器件物理》、《微电子器件工艺》和《半导体物理》理论课之后开出的有关微电子器件和工艺知识的综合应用的课程,使我们系统的掌握半导体器件,集成电路,半导体材料及工艺的有关知识的必不可少的重要环节。 目的是使我们在熟悉晶体管基本理论和制造工艺的基础上,掌握晶体管的设计方法。要求我们根据给定的晶体管电学参数的设计指标,完成晶体管的纵向结构参数设计→晶体管的图形结构设计→材料参数的选取和设计→制定实施工艺方案 晶体管各参数的检测方法等设计过程的训练,为从事微电子器件设计、集成电路设计打下必要的基础。 2、课程设计的基本内容 2.1 pnp 双极型晶体管的设计 设计一个均匀掺杂的pnp 型双极晶体管,使T=300K 时,β=120。V CEO =15V,V CBO =80V.晶体管工作于小注入条件下,最大集电极电流为I C =5mA 。设计时应尽量减小基区宽度调制效应的影响。 2.2 设计的主要内容: (1)了解晶体管设计的一般步骤和设计原则。 (2)根据设计指标选取材料,确定材料参数,如发射区掺杂浓度N E ,,基区掺 杂浓度N B ,集电区掺杂浓度N C ,根据各区的掺杂浓度确定少子的扩散系数,迁移率,扩散长度和寿命等。 (3)根据主要参数的设计指标确定器件的纵向结构参数,如集电区厚度W c , 基区宽度W b ,发射极宽度W e 和扩散结深X jc ,发射结结深等。 (4)根据结深确定氧化层的厚度,氧化温度和氧化时间;杂质预扩散和再扩散 的扩散温度和扩散时间。 (5)根据设计指标确定器件的图形结构,设计器件的图形尺寸,绘制出基区、 发射区和金属接触孔的光刻版图。

清华大学半导体器件张莉期末考题

发信人: smallsheep (final examination), 信区: Pretest 标题: 微电子器件 发信站: 自由空间 (Mon Jun 20 10:27:10 2005), 站内 填空: 一,已知af,aR,和IES,求Ics=____(互易关系) 二.bjtA和bjtB。一个集电极是N-,一个集电极是N+ 问: 哪个饱和压降大___, 那个early电压大___ 那个容易电流集边___. 哪个容易穿通电压大_____ 哪个容易击穿BVCBO.____, 三.发射结扩散电容应该包括那几个时间常数的影响 简答: 1.β和ft对Ic的特性有很大的相似之处,比如在小电流段都随Ic的减小而减小,在大电流段都随Ic的增大而减小。请解释原因 2.总结一下NN+结的作用。 大题: 1.对于杂质浓度分布为NAB(x)=NAB(0)exp(-λx/WB)的分布,用moll-rose方法推出基区少子分布和渡越时间。 2.给了WB,WE,和其它一堆参数,求β,a,hef.... 求IB,Ic, 求π模型参数,gm,go,gu.. 3.画图,上升时间t0,t1’,t2’三点处的能带图,和少子分布图 总体来说很简单。好像很多人都很得意,ft! 发信人: willow (我要我的自由), 信区: Pretest 标题: 半导体器件-张莉 发信站: 自由空间 (Wed Jun 23 21:38:40 2004), 站内 A卷 1。以下那些是由热载流子效应引起的。。。 。。。6个选项,待补充。。。 2。何谓准静态近似 3。为了加快电路开关时间参数应如何选取 。。。参数,电容,fT,beita,待补充 4。CE律的参数变化, Vt,xSiO2,N,结深 按照参数的变化规律下列效应将如何变化 (1)掺杂浓度N引起:...5种效应,待补充。。。//sigh,我把N弄反了,5个空全错

聚酰亚胺在微电子领域的应用及研究进展 王正芳

聚酰亚胺在微电子领域的应用及研究进展王正芳 发表时间:2019-10-23T14:56:28.063Z 来源:《电力设备》2019年第10期作者:王正芳张馨予 [导读] 摘要:随着科技的深入发展,半导体和微电子工业已经成为国民经济的支柱性产业。 (天津环鑫科技发展有限公司天津市 30000) 摘要:随着科技的深入发展,半导体和微电子工业已经成为国民经济的支柱性产业。微电子工业的发展,除了设计、加工等本身技术的不断更新外,各种与之配套的材料的发展也有着十分重要的支撑作用。电子产品的轻量化、高性能化和多功能化使得其对高分子材料的要求也越来越高。聚酰亚胺(PI)可以说是目前电子化学品中最有发展前途的有机高分子材料之一。其优异的综合性能可满足微电子工业对材料的苛刻要求,因此得到了广泛的重视。 关键词:聚酰亚胺;PI薄膜;应用 信息产业的迅速发展除了技术的不断更新外,各种配套材料的发展同样占据着十分重要的地位。为微电子工业配套的专用化学材料通常称为“电子化学品”,其主要包括集成电路和分立器件用化学品、印刷电路板配套化学品、表面组装用化学品和显示器件用化学品等。电子化学品具有质量要求高、用量少、对生产及使用环境洁净度要求高和产品更新换代快等特点。同时PI具有比无机介电材料二氧化硅、氮化硅更好的成膜性能和力学性能,对常用的硅片、金属和介电材料有很好的粘结性能,聚酰亚胺(PI)薄膜具有良好的耐高低温性能、环境稳定性、力学性能以及优良的介电性能,在众多基础工业与高技术领域中均得到广泛应用。 一、PI发展及在微电子领域的应用 截至目前,PI已经成为耐热芳杂环高分子中应用最为广泛的材料之一,其大类品种就有20多种,较为著名的生产厂家包括通用电气公司GE、美国石油公司等,由于具有很好的热力学稳定性、机械性能及电性能,PI被广泛应用于半导体及微电子行业。可以说,微电子产业的发展水平,离不开PI材料的贡献。PI主要的应用包括下面方面。 1、α粒子的屏蔽层航空航天、军用集成电路在辐射环境中,遭受射线辐射后会发生性能劣化或失效,进而导致仪器设备的失控,因此其抗辐射的性能非常重要。高纯度(低杂质)的PI涂层是一种重要的耐辐射遮挡材料。在元器件外壳涂覆PI遮挡层,可有效防止由微量放射性物质释放的射线而造成的存储器错误。 2、元器件的金属层间介质以及先进封装的再布线技术材料。PI在微电子领域的很多应用,都是出于其优良的综合性能而不是单一特性,某些类似的应用可以发生在不同的领域中,一些应用情况也可以有多重的目的以及名称,因此在介绍文章的描述中,容易产生混乱。由于PI较低的介电常数减少电路时延和串扰,与其他材料的较好的粘附性防止脱离,常用金属材料在其中较低的扩散可靠性,挥发放气极低,以及良好的成膜和填平性,因此可作为多层金属互联结构的层间介质材料(ILD),缓和应力,提高集成电路的速度、集成度和可靠性。类似的考虑也导致其作为先进封装的再布线RDL技术的首选介质材料,用于一般晶圆级的封装WLP中的扇入(Fan-in)和扇出(Fan-out)技术,以及多芯片组件(MCM)等技术中的再布线工艺。 3、微电子器件的钝化层\缓冲\填充\保护层。PI涂层作为钝化层,可有效地改善界面状况,阻滞电子迁移、降低漏电流,防止后序工艺和使用过程中的机械刮擦和表面污染,也可有效地增加元器件的抗潮湿能力。作为缓冲层(Stress Buffer)可有效地降低由于热应力和机械应力引起的电路崩裂断路。单层PI膜,往往同时起到化学钝化、机械保护、空间填充/平坦化的多重功能。此外,PI在微电子产业中的重要潜在应用还有:生物微电极(良好的生物相容性),以及光电材料(波导、开关器件),微电机(MEMS)工艺材料等。这些都是目前发展十分迅速的新兴技术领域,预示着这种介质材料的光明市场前景。尽管PI材料在微电子领域的市场前景十分广阔,且该领域与其他传统材料领域的也有很大不同,体现在初期体量小成本高,对材料的性能质量要求苛刻,而且呈现多样性特点,比如希望进一步降低介电常数,提高/降低玻璃化转变温度,降低吸水率等。在技术方面,它还面临着其他类似材料比如苯并环丁烯(BCB)聚合物,聚苯并唑(PBO)等的激烈竞争。 4、含氟PI在光波导材料中的应用。近年来,关于聚合物光波导材料的开发研究日益受到人们的重视。与传统的无机光波导材料相比,有机聚合物光波导材料具有如下特点:(1)较高的电光耦合系数;较低的介电常数;较短的响应时间和较小的热损耗;(2)加工工艺简单经济,无须高温加热处理,只要通过匀胶、光刻等工艺即可制得复杂的光电集成器件,而且器件具有轻巧、机械性能好的特点,适用于制作大型光学器件和挠性器件。目前研究较多的聚合物光波导材料包括氟代、氘代的聚甲基丙烯酸甲酯、含氟聚酰亚胺、含氟聚芳醚以及聚硅氧烷等[1]。含氟聚酰亚胺不仅具有传统聚酰亚胺材料所具有的耐高温、耐腐蚀、机械性能优良等性质,而且还具有溶解性能优异、低介电常数、低吸水率、低热膨胀系数等特性,因此非常适于制造光波导材料。 5、含氟PI在非线性光学材料中的应用。常用的非线性光学材料包括无机材料,如铌酸锂(LiNbO3)和有机聚合物材料,如聚酰亚胺等。聚合物作为非线性光学材料具有比无机材料更为明显的非线性光学效应、更快的响应速度以及低得多的介电常数。同时聚合物材料还具有结构多样、加工性能优越、与微电子技术和光纤技术具有良好适应性等特点,因此应用越来越广泛。与无机材料相比,PI材料具有非线性系数大、响应时间短、介电常数低、频带宽、易合成等特性,同时还具有优良的热性能、电性能、机械性能以及环境稳定性能等,而且可以与现有的微电子工艺良好地兼容,可在各种基材上制备器件,特别是可以制作多层材料,达到垂直集成,这是现有的铌酸锂等无机材料做不到的。含氟PI在保持PI固有的优良特性的同时,极大地改善了PI的溶解性,这就避免了聚酰胺酸在热亚胺化过程中,由于脱除小分子水留下“空穴”而引起光散射。 二、PI超薄膜未来发展趋势 PI超薄膜是近年才发展起来的一类高性能高分子薄膜材料,优异的综合性能很快确立了其在有机薄膜材料家族中的顶端地位。目前,PI超薄膜的发展方向主要体现在两个方面:一是标准型Kapton薄膜的超薄化;另一个是功能性PI超薄膜的研制与开发。对于前者而言,Kapton薄膜本身优良的热学与力学性能保证了其在超薄化过程中性能的稳定,其主要技术瓶颈更多地在于制备设备与制膜工艺参数的优化与调整。而对于功能性PI超薄膜而言,其性能不仅与设备和工艺有着密切的关系,而且树脂结构的分子设计以及新合成方法的研究也起着至关重要的作用。如何在保证特种功能的前提下,尽可能地保持PI薄膜固有的力学性能、热性能等是一项极具挑战性的研究课题,也是未来一项主要研究课题。 超薄型PI薄膜在现代工业领域中具有广泛的应用前景。国外十分重视这类材料的研制与开发,已经有批量化产品问世。由于PI超薄膜的应用领域较为特殊,国外对该材料的出口限制十分严格,某些品种甚至是对我国禁售的,这就需要国内尽早开展相关研究与产业化工

你该知道的微电子技术知识

你该知道的微电子技术知识 二大爷公司笨笨收集 微电子技术是十九世纪末,二十世纪初开始发展起来的以半导体集成电路为核心的高新电子技术,它在二十世纪迅速发展,成为近代科技的一门重要学科。微电子技术作为电子信息产业的基础和心脏,对航天航空技术、遥测传感技术、通讯技术、计算机技术、网络技术及家用电器产业的发展产生直接而深远的影响。尤其是微电子技术是军用高技术的核心和基础。军用高技术的迅猛发展,武器装备的巨大变革,在某种意义来说就是微电子技术迅猛发展和广泛应用的结果。微电子技术的渗透性最强,对国民经济和现代科学技术发展起着巨大的推动作用,其发展水平和发展规模已成为衡量一个国家军事、经济实力和技术进步的重要标志。正因为如此、世界各国都把微电子技术作为最要害的技术列在高技术的首位,使其成为争夺技术优势的最重要的领域。 一、基本概念 简介:微电子技术是随着集成电路,尤其是超大规模集成电路而发展起来的一门新的技术。它包括系统电路设计、器件物理、工艺技术、材料制备、自动测试以及封装、组装等一系列专门的技术,是微电子学中的各项工艺技术的总和。微电子技术是在电子电路和系统的超小型化和微型化过程中逐渐形成和发展起来的,其核心是集成电路,即通过一定的加工工艺,将晶体管、二极管等有源器件和电阻、电容等无源器件,按照一定的电路互联,采用微细加工工艺,集成在一块半导体单晶片(如硅和砷化镓)上,并封装在一个外壳内,执行特定电路或系统功能。与传统电子技术相比,其主要特征是器件和电路的微小型化。它把电路系统设计和制造工艺精密结合起来,适合进行大规模的批量生产,因而成本低,可靠性高。

图1 微电子技术中元器件发展演变 特点:微电子技术当前发展的一个鲜明特点就是:系统级芯片(System On Chip,简称SOC)概念的出现。在集成电路(IC)发展初期,电路都从器件的物理版图设计入手,后来出现了IC单元库,使用IC设计从器件级进入到逻辑级,这样的设计思路使大批电路和逻辑设计师可以直接参与IC设计,极大的推动了IC产业的发展。由于IC设计与工艺技术水平不断提高,集成电路规模越来越大,复杂程度越来越高,已经可以将整个系统集成为一个芯片。正是在需求牵引和技术推动的双重作用下,出现了将整个系统集成在一个IC芯片上的系统级芯片的概念。其进一步发展,可以将各种物理的、化学的和生物的敏感器(执行信息获取功能)和执行器与信息处理系统集成在一起,从而完成从信息获取、处理、存储、传输到执行的系统功能,这是一个更广义上的系统集成芯片。很多研究表明,与由IC组成的系统相比,由于SOC设计能够综合并全盘考虑整个系统的各种情况,可以在同样的工艺技术条件下实现更高性能的系统指标。微电子技术从IC 向SOC转变不仅是一种概念上的突破,同时也是信息技术发展的必然结果。目前,SOC技术已经崭露头角,21世纪将是SOC技术真正快速发展的时期。 微电子技术的另一个显着特点就是其强大的生命力,它源于可以低成本、大批量地生产出具有高可靠性和高精度的微电子结构模块。这种技术一旦与其他学科相结合,便会诞生出一系列崭新的学科和重大的经济增长点。作为与微电子技术成功结合的典型例子便是MEMS(微电子机械系统或称微机电系统)技术和生物芯片等。前者是微电子技术与机械、光学等领域结合而诞生的,后者则是与生物工程技术结合的产物。 应用领域:

微电子技术前沿复习(带答案的哦)

微电子前沿复习提纲 看一些微电子技术发展的知识 1.请给出下列英文缩写的英文全文,并译出中文: CPLD: Complex Programmable Logic Device复杂可编程逻辑器件 FPGA: Field-Programmable Gate Array 现场可编程门阵列 GAL:generic array logic 通用阵列逻辑 LUT: Look-Up-Table 显示查找表 IP: Intellectual Property 知识产权 SoC: System on Chip 片上系统 2.试述AGC BJT器件实现AGC特性的工作原理; 试说明为什么 AGC BJT的工作频率范围受限? AGC 即自动增益控制(Automatic Gain Control) ? AGC BJT器件实现AGC特性的工作原理:当输入增加时,输出会同时增加,我们 可利用双极型晶体管的大注入效应和大电流下的基区扩展--kirk效应,衰减增益, 使放大系数降低,则达到了稳定输出的目的。 ?工作频率范围受限原因: 1) 、自动增益控制特性与频率特性是相矛盾,实现AGC需要基区展宽,而器件 的工作频率与基区宽度的平方成反比,要实现大范围的自动增益控制,要求 宽基区,使得工作频率范围受限。 2) 、实现AGC要求基区大注入,基区掺杂浓度低时,易于发生大注入效应,而基 区掺杂浓度动愈低,器件高频噪声愈差,使得工作频率范围受限。 3.为什么双栅MOSFET具有良好的超高频(UHF)特性? 双栅MOSFET结构如图: 1) 、双栅MOS的端口 Gl靠近源极,对应的基区宽度短,加高频信号,称信号栅,可以实现超高频。 G2靠近漏极,对应的基区宽度较宽,有良好的AGC性能,加固定偏置或AGC电压,作增益控制栅。 2) 、它通过第二个栅极G2交流接地, 可在第一个栅极G1和漏极D之间起到有效的 静电屏蔽作用, 从而使得栅极与漏极之间的反馈电容(是Miller电容)大大减小,则 提高了频率。 4.为什么硅栅、耐熔金属栅能实现源漏自对准,而铝栅不行?实现

微电子科学与工程专业

微电子科学与工程专业 一、培养目标 本专业培养德、智、体等方面全面发展,具备微电子科学与工程专业扎实的自然科学基础、系统的专业知识和较强的实验技能与工程实践能力,能在微电子科学技术领域从事研究、开发、制造和管理等方面工作的专门人才。 二、专业特色 微电子科学与工程是在物理学、电子学、材料科学、计算机科学、集成电路设计制造学等多个学科和超净、超纯、超精细加工技术基础上发展起来的一门新兴学科。微电子技术是近半个世纪以来得到迅猛发展的一门高科技应用性学科,是21世纪电子科学技术与信息科学技术的先导和基础,是发展现代高新技术和国民经济现代化的重要基础,被誉为现代信息产业的心脏和高科技的原动力。本专业主要学习半导体器件物理、功能电子材料、固体电子器件,集成电路设计与制造技术、微机械电子系统以及计算机辅助设计制造技术等方面的基础知识和实践技能,培养出来的学生在微电子技术领域初步具有研究和开发的能力。 三、培养标准 本专业学生要求在物理学、电子技术、计算机技术和微电子学等方面掌握扎实的基础理论,掌握微电子器件及集成电路的原理、设计、制造、封装与应用技术,接受相关实验技术的良好训练,掌握文献资料检索基本方法,具有较强的实验技能与工程实践能力,在微电子科学与工程领域初步具有研究和开发的能力。 毕业生应获得以下几方面的知识和能力: 1. 具有较好的人文科学素养、创新精神和开阔的科学视野; 2. 树立终身学习理念,具有较强的在未来生活和工作中继续学习的能力; 3. 具有较扎实的自然科学基本理论基础; 4. 具备微电子材料、微电子器件、集成电路、集成系统、计算机辅助设计、封装技术和测试技术等方面的理论基础和实验技能; 5. 了解本专业领域的科技发展动态及产业发展状况,熟悉国家电子信息产业政策及国内外有关知识产权的法律法规; 6.掌握文献检索及运用现代信息技术获取相关信息的基本方法; 7.具有归纳、整理和分析实验结果以及撰写论文、报告和参与学术交流的能力。 77

微电子技术概论期末试题

《微电子技术概论》期末复习题 试卷结构: 填空题40分,40个空,每空1分, 选择题30分,15道题,每题2分, 问答题30分,5道题,每题6分 填空题 1.微电子学是以实现电路和系统的集成为目的的。 2.微电子学中实现的电路和系统又称为集成电路和集成系统,是微小化的。 3.集成电路封装的类型非常多样化。按管壳的材料可以分为金属封装、陶瓷封装和塑料封装。 4.材料按其导电性能的差异可以分为三类:导体、半导体和绝缘体。 5. 迁移率是载流子在电场作用下运动速度的快慢的量度。 6.PN 结的最基本性质之一就是其具有单向导电性。 7.根据不同的击穿机理,PN 结击穿主要分为雪崩击穿和隧道击穿这两种电击穿。 8.隧道击穿主要取决于空间电荷区中的最大电场。 9. PN结电容效应是PN结的一个基本特性。 10.PN结总的电容应该包括势垒电容和扩散电容之和。 11.在正常使用条件下,晶体管的发射结加正向小电压,称为正向偏置,集电结加反向大电压,称为反向偏置。 12.晶体管的直流特性曲线是指晶体管的输入和输出电流-电压关系曲线, 13.晶体管的直流特性曲线可以分为三个区域:放大区,饱和区,截止区。 14.晶体管在满足一定条件时,它可以工作在放大、饱和、截止三个区域中。 15.双极型晶体管可以作为放大晶体管,也可以作为开关来使用,在电路中得到了大量的应用。 16. 一般情况下开关管的工作电压为 5V ,放大管的工作电压为 20V 。 17. 在N 型半导体中电子是多子,空穴是少子; 18. 在P 型半导体中空穴是多子,电子是少子。 19. 所谓模拟信号,是指幅度随时间连续变化的信号。 20. 收音机、收录机、音响设备及电视机中接收、放大的音频信号、电视信号是模拟信号。 21. 所谓数字信号,指在时间上和幅度上离散取值的信号。 22. 计算机中运行的信号是脉冲信号,但这些脉冲信号均代表着确切的数字,因而又叫做数字信号。 23. 半导体集成电路是采用半导体工艺技术,在硅基片上制作包括电阻、电容、二极

新人教版四年级语文上册-单元期中期末专项练习-第八组达标检测B卷及答案

第八组达标测试卷 一、基础达标。(共43分) 1.在加点字的正确读音下画“——”。(6分) 潜.入深海(qián qiǎn) 筛.选(shān shāi) 烹. 调(pēng hēng) 例.如(lì liè) 盐碱.(jiǎn xián) 储. 存(cǔ chǔ) 崭.新(zhǎn zhàn) 船舶.(bō bó) 凌. 空(lín líng) 提供.(gōng gòng) 奇迹.(jī jì) 楷模. (mú mó) 2.比一比,再组词。(4分) ?????赖( )懒( ) ?????辐( )副( ) ?????舶( )泊( ) ?????综( )棕( ) 3.正确书写词语。(8分) 4.连一连。(8分) 5.还原下面广告中的成语,找出改动的字画圈,把正确的字写在括

号里。(3分) 服装广告:百衣百顺()蚊香广告:默默无蚊() 磁化杯广告:有杯无患() 摩托车广告:骑乐无穷() 淋浴器广告:湿出有名() 软件广告:无网不胜() 6.用正确的关联词填空。(4分) (1)科学家们提出,鸟类()和恐龙有亲缘关系,()很可能 就是一种小型恐龙的后裔。 (2)()食用,太空归来的这些特殊乘客()有很多用武之地 呢! (3)电脑根据这些气象资料,为主人提供一个()节能()舒 适的家居环境。 (4)()太空蔬菜走进了千家万户,()我们餐桌上的菜肴更 丰富了。 7.句子训练。(10分) (1)我国科学家在辽宁西部首次发现了保存有羽毛印痕的恐龙化石。 (缩句) ________________________________________________________ (2)靠什么呼风唤雨呢?靠的是现代科学技术。(仿写) ________________________________________________________ (3)满天的星星在夜空中闪烁着光芒。(改为比喻句) ________________________________________________________ (4)我走上阳台。我去看爸爸养的金鱼。(合成一句话)

微电子技术在生物医学中的应用

微电子技术在生物医学中的应用 摘要:微电子技术与生物学之间有着非常紧密的联系。一方面微电子技术的发展,将大大地推动生物医学的发展,另一方面生物医学的研究成果同样也将对微电子技术的发展起着巨大的促进作用。在这里我将主要从生物医学传感器、植入式电子系统、生物芯片这三个方面结合当前国际上最新进展来介绍两者之间的关系与发展。 关键字:微电子技术生物医学 一、引言 生物医学电子学是由微电子学、生物和医学等多学科交叉的边缘科学,为使得生物医学领域的研究方式更加精确和科学,所以将电子学用于生物医学领域。在生物医学与电子学交叉作用部分中最活跃、最前沿、作用力最大的一项关键技术就是微电子技术。特别是随着集成电路集成度的提高和超大规模集成电路的发展,元件尺寸达到分子级,进入了分子电子学时代,用有机化合物低分子、高分子和生物分子作芯片,它们具有识别、采集、记忆、放大、开关、传导等功能,更大大促进了医学电子学的发展。下面将主要从生物医学传感器、植入式电子系统、生物芯片这三个方面结合当前国际上最新进展来介绍两者之间的关系与发展。 二、生物医学传感器 生物医学传感器的作用是把生物体和人体中包含的生命现象、状态、性质、变量和成分等生理信息(包括物理量、化学量、生物量等)转化为与之有确定函数关系的电信息。生物医学传感器是生物医学电子学中最关键的技术,它是连接生物医学和电子学的桥梁。主要可分为如下几类:电阻式传感器,电容式传感器,电感式传感器,压电式传感器,光电传感器,热电式传感器,光线传感器,电化学传感器以及生物传感器等。它通过各种化学、物理信号转换器捕捉目标物与敏感膜之间的反应,然后将反应程度用连续的电信号表达出来,从而得出被检测样品的浓度。生物医学传感器的微型化和集成化是其中最重要的发展方向之一,其主要原因:1)它是实现生物医学设备微型化、集成化的基础;2)将使得生物医学测量和控制更加精确——达到分子和原子水平。是生物体成分(酶、抗原、抗体、激素、DNA) 或生物体本身(细胞、细胞器、组织),它们能特异地识别各种被测物质并与之反应;后者主要有电化学电极、离子敏场效应晶体管( ISFET ) 、热敏电阻器、光电管、光纤、压电晶体(PZ) 等,其功能为将敏感元件感知的生物化学信号转变为可测量的电信号。因而它具有快速大量处理信息的能力,和诊断精确的特点。 常见的生物医学传感器主要可分为以下几种:电阻式传感器,电感式传感器,电容式传感器,压电式传感器,热电式传感器,光电传感器以及生物传感器等。 医学领域的生物传感器发挥着越来越大的作用。在临床医学中,酶电极是最

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