镜面反射物体光学三维测量技术研究

镜面反射物体光学三维测量技术研究
镜面反射物体光学三维测量技术研究

中腰分类号:TN247密缀:单悦代号:lL903

々e:02720464

上海大学@/;lit硕士学位论文SHANGHAlUNIVERSlTY

MASTER’STHESIS

题{镜面反射物体光学三维测

日量技术研究

作看陶蓬

学科专业精密仪器及机械

导师竖堑里

完成日期2005.06

第一章:概述

1.1课题的研究意义

“镜面反射物体光学三维测量技术研究(Research()nOpticalThree—dimensionalMeasurementTechniqueforSpecularObjects)”试图以光学方岳为手段,实现镜面反射物体(SpecularObjects)三维面形的快速测量与重建。

1970年代以来,光学三维测量技术以其高精度、高效率和非接触性(Non—Contact)的优点,已经在工业及民用领域得到广泛的应用和发展¨12l。首先,在工业领域,光学三维测量技术的作用是为先进制造业服务,担负起保证产品质量和提高生产效率的重任。特别是在航天航空工业、汽车制造业中,其应用可贯穿于从产品开发到制造,以及质量控制的整个生产过程;具体如在cAD/cAM/cAE(计算机辅助设计/制造/工程)中替代接触式测量,用于构建逆向工程(ReverseEngineering)系统,为产品开发和仿真加工制造提供一一种理想的设计手段。其次,在非工业领域亦有广阔的市场空间,比如①在多媒体技术及虚拟现实技术I3I中的应用、②在医疗诊断|4】及人类学I5I中的应用等等。

但是,现有光学三维测量主流技术及其设备主要针对的是漫反射物体(DefusedObjects)的三维测量,而难以有效地测量镜面物体。而在实际应用中,大量被测物体的表面性质为镜面反射。特别是在工业领域,镜面反射物体更是占有较大比重。例如,抛光模具等精加工零部件、某些表面涂镀零件(如喷镀汽车覆盖件)、某些玻璃及塑料制品以及印刷线路板的焊点等,其表

图1-1工业中常见的镜面反射物体

(a)喷镀车身(b)印刷线路板的焊点(c)抛光模具(d)精加T零部件

面性质均为镜面反射。图1.1是工程中常见的镜面反射物体。目前,对于这类零件的三维检测一般采用两种办法:

其一,呆用传统的坐标测量机(CMM)等接触式测量设备,速度很慢;

其二,喷涂其表面,改变其反射特性为漫反射后用光学方法测量【11,这种方法削弱了光学测量方法的非接触优点。

事实上,镜面物体的光学三维测量技术研究已严重滞后于需求的快速增氏,对其研究具有重要的科学技术价值。从实用性的角度,该技术研究来源自22程中的实际需求,其成果必然具有良好的应用前景;从技术角度,其意义在于镜面反射物体的光学三维测量已经成为工程测量领域中一个亟待解决的技术难题,对其开展研究,有助于丰富光学三维测量领域中的知识成果,从而拓宽光学三维测量技术的应用领域。

表面方向,该力法的关键是由图像的光强等高线分布估计反射模型参数,利J]i这些参数与物面方向之间存在的映射关系求解物体的表面方向。该方法适合测量面形简单的镜面物体。在获得物面方向分布信息后,从己知深度的物

图1-4光度立体法原理图

(a).光度立体学空间布置(b).不同光照下的物体表面亮度分布

面一一点开始,对局部表面法矢求积分就可以得到同一目标其他点的深度值。光度立体法和从图像明暗恢复面形技术都需要关于物体表面性质、光源位置等先验知识,因此实用性受到很大的限制。

1.3.1.2从镜面反射成分恢复面形

测量镜面物体时往往会出现高光(Highlight)等特殊的视觉和物理特征,这些特征统称为镜面反射成分¨6{(Secula.rity)。已有不少学者利用镜面反射成分的特性重建镜面物体的三维面形。

结构化高光技术(StructuredHighlighttechnique)是针对高光分析的一种技术,该方法的基本原理是采用空问方位已知的多点光源照明,由位置固定的摄像机采集带有高光的图像。通过光源的顺序照明,获得高光点和光源之间的对应关系。由光源方向和摄像机方向计算出镜面物体的物面方向。多点光源照明可以保证获取整个镜面物体的面形信息,如Nayar等|17’18I采用了127点光源。这一技术主要被用于检测印刷线路板焊点的特征,难以得到精细的三维重建结果。另外,有一些学者提出从运动高光恢复镜面物体面形(ShapefromMovingHighlights)。该技术的关键是辩识镜面反射成分。当视点移动时,纹理等特征相对于其所在物面是静止的。与之不同,高光将随着视点的移动而在镜面物体表面移动。由于摄像机的空间位置一般很难精确控制,一般让摄像机固定,而控制待测物体平动和旋转。Zheng等l19,20I将被测物体放在转台上使其旋转,连续采集不同时刻的图像记录物体的运动信息。通过分析多幅图像中高光点的总体运动规律可以定性区分镜面物体的面形形状。利用高光点的运动轨迹,通过微分方程和线性方程组的求解可以直接获取物体面形。

光的偏振分析也是实现镜面物体三维重建的重要手段。光线发生镜面反射后将发生偏振。反射光线通过方向不同的偏振镜后的强度是变化的,而且光湿是偏振镜角度的正弦分布12…。Umeyama等|211通过ICA(IndependentComponentAnalysis)算法可以精确的分辨出镜面反射和漫反射成分。而Mcgumi等【22|只需找出正弦光强分布的最大值和最小值,来计算偏振强度【degreeofpolarization)。而由光线的入射角与偏振强度问的映射关系可以

方便的计算出光线入射角,从而得到物体的表面法矢信息。

1.3.2主动式测量

主动式测量是指测量系统向待测物面发射能量,然后接受其反射而实现测量;其中,结构光技术是一种应用较为灵活的技术。根据所采用的光源形式、该类技术主要包括点结构的激光扫描技术,线结构的光带扫描技术,全场方式的面结构光技术。根据面结构光的编码方式的不同又可分为图案编码和相位编码,后者一般称为条纹投射技术。

1.3.2.1激光扫描技术

激光以其高亮度和具有良好方向性的特点常被用于物体的三维测量。针对镜面物体,Ryo和Cho|2川采用了图1.5所示的测量装置。该装置采用了激光作为扫描光源,通过电流计扫描部件精确控制出射光线的方向,对目标物体进行逐点扫描。光线经物面反射后由抛物面镜会聚到分布于抛物面镜中心柱面上的图像传感器阵列上,会聚光线的方向由图像传感器测量。由会聚光线方向和已知的入射光线方向,通过复杂的空间关系计算物面上每一点的法线方向,再由数值积分运算获取物面分布。该装置原理简单,入射光线和反射光线的对应关系清晰。但测量系统一次只能测量一个物面点的法线方向,测量的效率较低。

图1-5激光扫描技术的装置示意图图I-6激光测距仪的光路原理图

1.3.2.2光带扫描技术

传统的激光测距仪可以有效的用于测量漫反射物体,面形三维坐标的计算仅仅依赖于图像中像素的位置。雨镜面物体测量不能满足这一条件,图像具有严重的多义性。为了解决这一问题。Baba等【24笛1设计了一种新型的激光测距仪,图1-6是其光路示意图。该装置采用遮挡板(ShieldMask)保证反射光线以相同角度进入摄像机中成像,这样就简化了建立空间坐标和像素坐标之间映射关系的难度。通过相对简单的映射关系式便可由激光光带变形所带的三维信息计算镜面物体的面形。

1.3.2.3编码图案投影法

编码图案投影法对投影图案进行空间编码,能够大大提高测量速度。例如

求群,则只(盖/‘,I”)为∥一tan印∥+譬?击

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图1.10测量原理图

这样将一个空间坐标已知的物面点作为迭代求解过程的初始条件,计算出图像所有像素对应的物面点的空阀坐标。

另外Yamamoto等㈡6】为了测量面形变化大的物体如椭球镜、非球面镜等,采用了图1—12中两个半径不同的圆柱形光栅,是一种非平板投射形式。圆柱光栅半径的改变造成条纹投射装置在特定方向上的运动,由相位计算出面形分布。这种方法为解决映射关系复杂性提供了一种很好的思路。

关于镜面物体三维测量技术的发展现状,通过上面的分析,可以得出如下的结论:①现有技术的发展还不成熟,许多技术只是针对特定目标的测量;②技术原理比较分散,主流技术尚未形成;③仅从文献检索结果看,国内尚未有人开展相关研究5-作;显然,镜面物体三维测量有较大的研究发展空间。对其进行研究可以结束我国在这一领域的竞争中长期了无踪影的局面。

图1-11参考光栅示意圈(具有不同方向)图1-12圆柱形光栅示意图1.4本文技术路线及研究内容

为了实现镜面物体面形的三维测量目的,本文选择条纹投射技术作为测量手段,采用平板显示屏幕(液晶显示器屏幕)作为光栅投射设备,与CCD摄像机构成测量传感单元;结合可移动的精密导轨驱动投射器件运动,形成镜面物体的测量系统;投射变频条纹并利用时域相位解包裹技术求解被测物面上的绝对相位分布,进而由不同投射位置上计算的相位分布获取被测物体的面形三维数据。本文的创新之处在于将条纹投射器件做特定运动,在不同的投射位置上获取的多组条纹相位用来直接计算出镜面物体的三维面形数据,克服以前技术中计算复杂大的问题;同时本文采用平板显示器作为投射器件,改进了条纹投射技术测量镜面物体的方法,通过编程投射变频条纹并结合时域相位去包裹技术实现绝对相位的自动求解,克服了条纹图像严重多义性带来的困难。

本文的章节排列如下:

第一章,本文概述,主要说明了镜面物体三维测量技术的研究意义;从反射模型上说明了镜面反射与漫反射之间的差异以及测量中出现的问题和特征;对现有的各种镜面物体三维测量技术的原理和技术特点作了归纳分析;最后简单的阐述了本文所要采用的技术路线和研究内容。

第二章,首先介绍了条纹投射技术的基本原理;针对现有测量镜面物体的条纹投射技术出现的计算复杂性高等问题,本文提出了“基于平板显示器移动的镜面物体测量新方法”,详细介绍了测量方案,原理及几何分析。并进行了计算机模拟和误差分析。

第三章,介绍了条纹投射技术中条纹图像处理的相关技术,尤其是变频技术和时域相位去包裹技术。本章呆用变频技术和时域相位去包裹技术是为了实现绝对相位的自动求解,并克服图像多义性对去包裹运算的影响。为了识别有效测量区域,本章借鉴图像分割的基本原理,以条纹图像的调制度作为分割信息,采用迭代法实现自动求解。

第四章:根据本文提出的测量方案构建了实验系统。对样件进行了数据实际测量处理。

第五章:对本文工作进行总结,展望了未来研究的方向。

(2-2)

△≯(t/)=九(i,,)一九(i,J)

适过相位差与物面深度的映射关系

州∽2面篇端而p,)

便叮必计算出物面深度A(f√)。式中,c(i.J)和d(f,,)是测量系统几何设置的特征参数。假设物体表面性质为Lamebrain反射(即漫反射),公式(2-3)中的c(i,』)和d(『I/)参数将完全取决于测量装置的几何设置。根据标定方法不同,上述映射关系的表达式也有不同的形式。但无论如何,该映射关系可简单表示为

2.1.2镜面物体条纹投射技术测量

对于镜面物体而言,采用测量漫反射物体的条纹投射技术是不适用的;这是由于条纹投射技术测量镜面物体是一种特殊的三角测量,采用投影仪(projector)是不可行的。根据成像原理,经过镜面物体反射后,将只获取到投射系统的出瞳中心的虚像,即高亮度的光斑。例如,图2.2所示零件为上海大众帕萨特轿车的前车灯反射体。其中图(a)为零件涂镀前,其漫反射表面上清晰的条纹投射图像.据此可求出其三维面形。图(b)为零件涂镀后,其镜面反射表面上的条纹投射结果,显然采用传统光栅投射技术无法重建其面形。

图2—2帕萨特轿车(上海大众)的前车灯反射体表面的条纹投射图像

(a)表面未经涂镀(漫反射)(b)表面经过涂镀(镜面反射)为7克服上述问题,可根据人类观察镜面物体的原理,采用漫射光源,如平板显示器等,作为投射器件,从而获得较大的投射面积。该方法中,被测镜面物体可被视为光学系统的一部分,通过镜面物体对结构光源成像情况变化的探测来实现测量。图2-3是这类测量方法采用的装置图。不同于漫射物体测量,通过该装置获得的变形条纹图像不仅与物面深度起伏有关,而且严重依赖于物面的法线方向。因此,其图像信息与物面深度信息的映射关系为

光学非接触式三维测量技术_图文

光学非接触式三维测量技术_图文 光学三维测量技术及应用 摘要:随着现代科学技术的发展,光学三维测量已经在越来越广泛的领域起到了重要作用。本文主要对接触式三维测量和非接触式三维测量进行了介绍。着重介绍了光学三维测量技术的各种实现方法及原理。最后对目前光学三维测量的应用进行了简单介绍。 随着科学技术和工业的发展,三维测量技术在自动化生产、质量控制、机器人视觉、反求工程、CAD/CAM以及生物医学工程等方面的应用日益重要。传统的接触式测量技术存在 测量时间长、需进行测头半径的补偿、不能测量弹性或脆性材料等局限性,因而不能满足现代工业发展的需要。。 光学测量是光电技术与机械测量结合的高科技。光学测量主要应用在现代工业检测。借用计算机技术,可以实现快速,准确的测量。方便记录,存储,打印,查询等等功能。 光学三维测量技术是集光、机、电和计算机技术于一体的智能化、可视化的高新技术,主要用于对物体空间外形和结构进行扫描,以得到物体的三维轮廓,获得物体表面点的三维空间坐标。随着现代检测技术的进步,特别是随着激光技术、计算机技术以及图像处理技术等高新技术的发展,三维测量技术逐步成为人们的研究重点。光学三维测量技术由于非接触、快速测量、精度高的优点在机械、汽车、航空航天等制造工业及服装、玩具、制鞋等民用工业得到广泛的应用。 2 三维测量技术方法及分类 三维测量技术是获取物体表面各点空间坐标的技术,主要包括接触式和非接触式测量两大类。如图1所示。 图1 三维测量技术分类 2.1 接触式测量 物体三维接触式测量的典型代表是坐标测量机(CMM,Coordinate Measuring Machine)。CMM是一种大型精密的三坐标测量仪器[1],它以精密机械为基础,综合应用电子、计算机、光学和数控等先进技术,能对三维复杂工件的尺寸、形状和相对位置进行高精度的测量。 三坐标测量机作为现代大型精密、综合测量仪器,有其显著的优点,包括: (1)灵活性强,可实现空间坐标点测量,方便地测量各种零件的三维轮廓尺寸及位置参数;(2)测量精度高且可靠;(3)可方便地进行数字运算与程序控制,有很高的智能 化程度。

互换性与技术测量实验报告

实验一量块的使用 一、实验目的 1、能正确进行量块组合,并掌握量块的正确使用方法; 2、加深对量值传递系统的理解; 3、进一步理解不同等级量块的区别; 二、实验仪器设备 量块;千分表;测量平板;千分尺校正棒。 三、实验原理 1量块的测量平面十分光洁和平整,当用力推合两块量块使它们的测量平面互相紧密接触时,两块量块便能粘合在一起,量块的这种特性称为研合性。利用量块的研合性,就可以把各种尺寸不同的量块组合成量块组。 四、实验内容与步骤 (一)实验内容 采用合理的量块组合,测量千分尺校正棒。 (二)实验步骤 1 用千分表测量千分尺校正棒 2 据所需要的测量尺寸,自量块盒中挑选出最少块数的量块。(每一个尺寸所拼凑的量块数目不得超过 4~5 块,因为量块本身也具有一定程度的误差,量块的块数越多,便会积累成较大的误差。) 3量块使用时应研合,将量块沿着它的测量面的长度反向,先将端缘部分测量面接触,使初步产生粘合力,然后将任一量块沿着另一个量块的测量面按平行方向推滑前进,最后达到两测量面彼此全部

研合在一起。 4正常情况下,在研合过程中,手指能感到研合力,两量块不必用力就能贴附在一起。如研合立力不大,可在推进研合时稍加一些力使其研合。推合时用力要适当,不得使用强力特别在使用小尺寸的量块时更应该注意,以免使量块扭弯和变形。 5如果量块的研合性不好,以致研合有困难时,可以将任意一量块的测量面上滴一点汽油,使量块测量面上沾有一层油膜,来加强它的黏结力,但不可使用汗手擦拭量块测量面,量块使用完毕后应立即用煤油清洗。 6量块研合的顺序是:先将小尺寸量块研合,再将研合好的量块与中等尺寸量块研合,最后与大尺寸量块研合。 7. 记录数据; 六思考题 量块按“等”测量与按“级”测量哪个精度比较高?

光学三维测量技术综述精选文档

光学三维测量技术综述 精选文档 TTMS system office room 【TTMS16H-TTMS2A-TTMS8Q8-

光学三维测量技术综述 1.引言 客观景物三维信息的获取是计算机辅助设计、三维重建以及三维成像技术中的基础环节,被测物体的三维信息的快速、准确的获得在虚拟现实、逆向工 程、生物与医学工程等领域有着广泛的应用[1]。 三维测量方法总的包括两大类,接触式以及非接触式。如图所示。 图三维测量方法分类 接触式的三维测量方法到目前为止已经发展了很长一段时间,这方面的技术理论已经非常完善和成熟,所以,在实际的测量中会有比较高的准确性。但 是尽管如此,依然会有一些缺点[2]: (1) 在测量过程中,接触式测量必须要接触被测物体,这就很容易造成被测物体表面的划伤。 (2) 接触式测量设备在经过长时间的使用之后,测量头有时会出现形变现象,这无疑会对整个测量结果造成影响。 (3) 接触式测量要依靠测量头遍历被测物体上所有的点,可见,其测量效率还是相当低的。 接触式三维测量技术发展已久,应用最广泛的莫过于三坐标测量机。该方法基于精密机械,并结合了当前一些比较先进技术,如光学、计算机等。并且该方法现在已经得到了广泛的应用,特别是在一些复杂物体的轮廓、尺寸等信息的精确测量上。在测量过程中,三坐标测量机的测量头在世界坐标系的三个坐标轴上都可以移动,而且测量头可以到达被测物体上的任意一个位置上,只要测量头能到达该位置,测量机就可以得到该位置的坐标,而且可以达到微米级的测量精度。但由于三坐标机测量系统成本较高,加之上述的一些缺点,广泛应用还不太现实。

非接触式三维测量技术一般通过利用磁学、光学、声学等学科中的物理量测量物体表面点坐标位置。核磁共振法、工业计算机断层扫描法、超声波数字化法等非光学的非接触式三维测量方法也都可以测量物体的内部及外部结构的表面信息,且不需要破坏被测物体,但是这种测量方法的精度不高。而光学三维轮廓测量由于其非接触性、高精度与高分辨率,在CAD /CAE、反求工程、在线检测与质量保证、多媒体技术、医疗诊断、机器视觉等领域得到日益广泛的 应用,被公认是最有前途的三维轮廓测量方法[3]。由于光不能深入物体内部,所 以光学三维测量只能测量物体表面轮廓,因此,本文中所言光学三维测量即指光学三维轮廓测量,此后不再单独解释。 光学三维测量技术总体而言可以分为主动式光学三维测量和被动式光学三维测量,根据具体的原理又可以分为双目立体视觉测量法、离焦测量法、飞行时间法、激光三角法、莫尔轮廓术和结构光编码法等。下面就刚刚提到的几种光学三维测量技术的原理进行逐一讲解。 2.测量原理 被动式光学三维测量 双目立体视觉测量法 双目成像采用视觉原理来获得同一场景的2幅不同图像。通过对物体上同一点在2幅图像上的2个像点的匹配和检测,可以得到该点的坐标信息。测量原理如图所示。设摄像机基线长为B,视差定义为D= P1- P2,其中P1、P2为空间点W(X,Y,Z)在2像面上的投影点,则由几何关系可得Z=Bf/ D。计算出物点的深度坐标后,其它2个坐标可以通过简单的几何透视关系得出。双目视觉成像原理简单,但由于需要在两幅图像中寻找对定点的匹配,实际计算过程较为复杂。 图双目立体视觉法三维测量原理图

镜面反射物体光学三维测量技术研究

中腰分类号:TN247密缀:单悦代号:lL903 々e:02720464 上海大学@/;lit硕士学位论文SHANGHAlUNIVERSlTY MASTER’STHESIS 题{镜面反射物体光学三维测 日量技术研究 作看陶蓬 学科专业精密仪器及机械 导师竖堑里 完成日期2005.06

第一章:概述 1.1课题的研究意义 “镜面反射物体光学三维测量技术研究(Research()nOpticalThree—dimensionalMeasurementTechniqueforSpecularObjects)”试图以光学方岳为手段,实现镜面反射物体(SpecularObjects)三维面形的快速测量与重建。 1970年代以来,光学三维测量技术以其高精度、高效率和非接触性(Non—Contact)的优点,已经在工业及民用领域得到广泛的应用和发展¨12l。首先,在工业领域,光学三维测量技术的作用是为先进制造业服务,担负起保证产品质量和提高生产效率的重任。特别是在航天航空工业、汽车制造业中,其应用可贯穿于从产品开发到制造,以及质量控制的整个生产过程;具体如在cAD/cAM/cAE(计算机辅助设计/制造/工程)中替代接触式测量,用于构建逆向工程(ReverseEngineering)系统,为产品开发和仿真加工制造提供一一种理想的设计手段。其次,在非工业领域亦有广阔的市场空间,比如①在多媒体技术及虚拟现实技术I3I中的应用、②在医疗诊断|4】及人类学I5I中的应用等等。 但是,现有光学三维测量主流技术及其设备主要针对的是漫反射物体(DefusedObjects)的三维测量,而难以有效地测量镜面物体。而在实际应用中,大量被测物体的表面性质为镜面反射。特别是在工业领域,镜面反射物体更是占有较大比重。例如,抛光模具等精加工零部件、某些表面涂镀零件(如喷镀汽车覆盖件)、某些玻璃及塑料制品以及印刷线路板的焊点等,其表 图1-1工业中常见的镜面反射物体 (a)喷镀车身(b)印刷线路板的焊点(c)抛光模具(d)精加T零部件 面性质均为镜面反射。图1.1是工程中常见的镜面反射物体。目前,对于这类零件的三维检测一般采用两种办法: 其一,呆用传统的坐标测量机(CMM)等接触式测量设备,速度很慢; 其二,喷涂其表面,改变其反射特性为漫反射后用光学方法测量【11,这种方法削弱了光学测量方法的非接触优点。 事实上,镜面物体的光学三维测量技术研究已严重滞后于需求的快速增氏,对其研究具有重要的科学技术价值。从实用性的角度,该技术研究来源自22程中的实际需求,其成果必然具有良好的应用前景;从技术角度,其意义在于镜面反射物体的光学三维测量已经成为工程测量领域中一个亟待解决的技术难题,对其开展研究,有助于丰富光学三维测量领域中的知识成果,从而拓宽光学三维测量技术的应用领域。

光学非接触式三维测量技术

光学三维测量技术及应用 摘要:随着现代科学技术的发展,光学三维测量已经在越来越广泛的领域起到了重要作用。本文主要对接触式三维测量和非接触式三维测量进行了介绍。着重介绍了光学三维测量技术的各种实现方法及原理。最后对目前光学三维测量的应用进行了简单介绍。 1 引言 随着科学技术和工业的发展,三维测量技术在自动化生产、质量控制、机器人视觉、反求工程、CAD/CAM以及生物医学工程等方面的应用日益重要。传统的接触式测量技术存在测量时间长、需进行测头半径的补偿、不能测量弹性或脆性材料等局限性,因而不能满足现代工业发展的需要。。 光学测量是光电技术与机械测量结合的高科技。光学测量主要应用在现代工业检测。借用计算机技术,可以实现快速,准确的测量。方便记录,存储,打印,查询等等功能。 光学三维测量技术是集光、机、电和计算机技术于一体的智能化、可视化的高新技术,主要用于对物体空间外形和结构进行扫描,以得到物体的三维轮廓,获得物体表面点的三维空间坐标。随着现代检测技术的进步,特别是随着激光技术、计算机技术以及图像处理技术等高新技术的发展,三维测量技术逐步成为人们的研究重点。光学三维测量技术由于非接触、快速测量、精度高的优点在机械、汽车、航空航天等制造工业及服装、玩具、制鞋等民用工业得到广泛的应用。 2 三维测量技术方法及分类 三维测量技术是获取物体表面各点空间坐标的技术,主要包括接触式和非接触式测量两大类。如图1所示。 图1 三维测量技术分类

2.1 接触式测量 物体三维接触式测量的典型代表是坐标测量机(CMM,Coordinate Measuring Machine)。CMM是一种大型精密的三坐标测量仪器[1],它以精密机械为基础,综合应用电子、计算机、光学和数控等先进技术,能对三维复杂工件的尺寸、形状和相对位置进行高精度的测量。 三坐标测量机作为现代大型精密、综合测量仪器,有其显著的优点,包括:(1)灵活性强,可实现空间坐标点测量,方便地测量各种零件的三维轮廓尺寸及位置参数;(2)测量精度高且可靠;(3)可方便地进行数字运算与程序控制,有很高的智能化程度。 早期的坐标测量机大多使用固定刚性测头,它最为简单,缺点也很多[2]。主要为(1)测量时操作人员凭手的感觉来保证测头与工件的接触压力,这往往因人而异且与读数之间很难定量描述;(2)刚性测头为非反馈型测头,不能用于数控坐标测量机上;(3)必须对测头半径进行三维补偿才能得到真实的实物表面数据。针对上述缺陷,人们陆续开发出各种电感式、电容式反馈型微位移测头,解决了数控坐标测量机自动测量的难题,但测量时测头与被测物之间仍存在一定的接触压力,对柔软物体的测量必然导致测量误差。另外测头半径三维补偿问题依然存在。三维测头的出现可以相对容易地解决测头半径三维补偿的难题,但三维测头仍存在接触压力,对不可触及的表面(如软表面,精密的光滑表面等)无法测量,而且测头的扫描速度受到机械限制,测量效率很低,不适合大范围测量。 2.2 非接触式测量 非接触式测量技术是随着近年来光学和电子元件的广泛应用而发展起来的,其测量基于光学原理,具有高效率、无破坏性、工作距离大等特点,可以对物体进行静态或动态的测量。此类技术应用在产品质量检测和工艺控制中,可大大节约生产成本,缩短产品的研制周期,大大提高产品的质量,因而倍受人们的青睐。随着各种高性能器件如半导体激光器LD、电荷耦合器件CCD、CMOS图像传感器和位置敏感传感器PSD等的出现,新型三维传感器不断出现,其性能也大幅度提高,光学非接触测量技术得到迅猛的发展。 非接触式三维测量不需要与待测物体接触,可以远距离非破坏性地对待测物体进行测量。其中,光学非接触式测量是非接触式测量中主要采用的方法。 3 光学非接触式三维测量的概述 光学非接触式三维测量技术根据获取三维信息的基本方法可分为两大类:被动式与主动式。如图2所示[3]。 主动式是利用特殊的受控光源(称为主动光源)照射被测物,根据主动光源的已知结构信息(几何的、物体的、光学的)获取景物的三维信息。被动式是在自然光(包括室内可控照明光)条件下,通过摄像机等光学传感器摄取的二维灰度图像获取物体的三维信息。

《互换性与技术测量》实验指导书(三个实验,前两个必做,最后一个演示和选做)

实验一直线度误差的测量 一、实验目的 掌握按“节距法”测量直线度误差的方法。 二、测量原理及数据处理 对于很小表面的直线度误差的测量常按“节距法”,应是将被测平面分为若干段,用小角度度量仪(水平仪、自准直仪)测出各段对水平线的倾斜角度,然后通过计算或图解来求得轮廓线的直线度误差。本实验用合像水平仪。 具体测量方法如下: 将被测表面全长分为n段,每段长l=L/N应是桥板的跨距。将桥板置于第一段,桥板的两支承点放在分段点处,并把水平仪放在桥板上,使两者相对固定(用橡皮泥粘住)记下读数a1(单位为格)。然后将桥板沿放测表面移动,逐段测量下去,直至最后一段(第n段)。如图1每次移l,并要使支承点首尾相接,记下每段读数(单位为格)a1、a2、……a n。最后按下列步骤(见例)列表计算出各测量点对两端点连线的直线度偏差Δh i,并取最大负偏差的绝对值之和作为所求之直线度误差。 [例]设有一机床导轨,长2米(L=2000mm),采用桥板跨距l=250mm,用分度值c=0.02mm/m的水平仪,按节距法测得各点的读数a i(格)如表1。 表1

也可用作图法求出直线度误差,如图2。 作图法是在坐标纸上,以导轨长度为微坐标,各点读数累积为纵坐标,将测量得到的各点读数累积后标在坐标上,并将这些坐标点连成折线,以两端点连线作为评定基准,取最大正偏差与最大负偏差的绝对值之和,再换算为线值(μ),即为所求之直线度误差。 测量导轨直线度误差时,数据处理的根据,可由下图看出:(图3) A i — 导轨实际轮廓上的被测量点(i =0、1、2、……、n ); a i — 各段上水平仪的读数(格); Y i — 前后两测量点(i -1,i )的高度差; h i — 各测点(A i )到水平线(通过首点A 0)的距离(μ),显然 1 'i n i i h y == ∑

光学测量技术详解

光学测量技术详解(图文) 光学测量是生产制造过程中质量控制环节上重要的一步。它包括通过操作者的观察进行的快速、主观性的检测,也包括通过测量仪器进行的自动定量检测。光学测量既可以在线下进行,即将工件从生产线上取下送到检测台进行测量;还可以在线进行,即工件无须离开产线;此外,工件还可以在生产线旁接受检测,完成后可以迅速返回生产线。 人的眼睛其实就是一台光学检测仪器;它可以处理通过晶状体映射到视网膜上的图像。当物体靠近眼球时,物体的尺寸感觉上会增加,这是因为图像在视网膜上覆盖的“光感器”数量增加了。在某一个位置,图像达到最大,此时再将物体移近时,图像就会失焦而变得模糊。这个距离通常为10英寸(250毫米)。在这个位置上,图像分辨率大约为0.004英寸(100微米)。举例来说,当你看两根头发时,只有靠得很近时才能发现它们之间是有空隙的。如果想进一步分辨更加清楚的细节的话,则需要进行额外的放大处理。 本部分设定了隐藏,您已回复过了,以下是隐藏的内容 人的眼睛其实就是一台光学检测仪器;它可以处理通过晶状体映射到视网膜上的图像。本图显示了人眼成 像的原理图。 人眼之外的测量系统 光学测量是对肉眼直接观察获得的简单视觉检测的强化处理,因为通过光学透镜来改进或放大物体的图像,可以对物体的某些特征或属性做出准确的评估。大多数的光学测量都是定性的,也就是说操作者对放大的图像做出主观性的判断。光学测量也可以是定量的,这时图像通过成像仪器生成,所获取的图像数据再用于分析。在这种情况下,光学检测其实是一种测量技术,因为它提供了量化的图像测量方式。 无任何仪器辅助的肉眼测量通常称为视觉检测。当采用光学镜头或镜头系统时,视觉检测就变成了光学测量。光学测量系统和技术有许多不同的种类,但是基本原理和结构大致相同。

互换性与技术测量实验指导书.

互换性实验指导书 机械工程学院

实验一量块的使用 一、实验目的 1、能正确进行量块组合,并掌握量块的正确使用方法; 2、加深对量值传递系统的理解; 3、进一步理解不同等级量块的区别; 二、实验仪器设备 量块;千分表;测量平板;被测件。 三、实验原理 量块的测量平面十分光洁和平整,当用力推合两块量块使它们的测量平面互相紧密接触时,两块量块便能粘合在一起,量块的这种特性称为研合性。利用量块的研合性,就可以把各种尺寸不同的量块组合成量块组。 四、实验内容与步骤 (一)实验内容 采用合理的量块组合,测量被测零件尺寸高度。 (二)实验步骤 1.用游标卡尺测量被测件 2.据所需要的测量尺寸,自量块盒中挑选出最少块数的量块。(每一个尺寸所拼凑的量块数目不得超过 4块,因为量块本身也具有一定程度的误差,量块的块数越多,便会积累成较大的误差。) 3.量块使用时应研合,将量块沿着它的测量面的长度反向,先将端缘部分测量面接触,使初步产生粘合力,然后将任一量块沿着另一个量块的测量面按平行方向推滑前进,最后达到两测量面彼此全部研合在一起。

4.将研合后的量块与被测件同时放到测量平板上,在测量平板上移动指示表的测量架,使指示表的测头与量块上工作表面相接触,转动指示表的刻度盘,调整指示表示值零位。 5.抬起指示表测头,将被测件放在指示表测头下,取下量块,记录下指示表的读数。 6.量块的尺寸与指示表的读数之和就是被测件的尺寸。 7. 记录数据; 五、思考题 量块按“等”测量与按“级”测量哪个精度比较高?

实验二常用量具的使用 一、实验目的 1、正确掌握千分尺、内径百分表、游标卡尺的正确使用方法; 2、掌握对测量数据的处理方法; 3、对比不同量具之间测量精度的区别。 二、实验仪器设备 外径千分尺;内径百分表;游标卡尺;轴承等。 三、实验原理 分度值的大小反映仪器的精密程度。一般来说,分度值越小,仪器越精密,仪器本身的“允许误差”(尺寸偏差)相应也越小。学习使用这些仪器,要注意掌握它们的构造特点、规格性能、读数原理、使用方法以及维护知识等,并注意要以后的实验中恰当地选择使用。 四、实验内容及实验步骤 (一)实验内容 1、熟悉仪器的结构原理及操作使用方法。 2、用外径千分尺、内径百分表、游标卡尺测量轴承内、外径。 3、对所测数据进行误差处理,得出最终测量结果。 (二)实验步骤 1、用游标卡尺测量轴承外径的同一部位5次(等精度测量),将测量值记入下表中,并完成后面的计算: ⑴平均值:将5次测量值相加后除以5,作为该测量点的实际值。 ⑵变化量:测量值中的最大值与最小值之差。 入上表中,并完成后面的计算: ⑴平均值:将5次测量值相加后除以5,作为该测量点的实际值。 ⑵变化量:测量值中的最大值与最小值之差。 ⑶测量结果:按规范的测量结果表达式写出测量结果。 3、内径百分表测量步骤: (1)内径百分表在每次使用前,首先要用标准环规、夹持的量块或外径千分尺对零,环规、夹持的量块和外径千分尺的尺寸与被测工件的基本尺寸相等。 (2)内径百分表在对零时,用手拿着隔热手柄,使测头进入测量面内,摆动直管,测头在X方向和Y方向(仅在量块夹中使用)上下摆动。观察百分表的示

光学测量原理与技术

第一章、对准、调焦 ?对准、调焦的定义、目的; 1.对准又称横向对准,是指一个对准目标与比较标志在垂直瞄准轴方向像的重合或置 中。目的:瞄准目标(打靶);精确定位、测量某些物理量(长度、角度度量)。 2、调焦又称纵向对准,是指一个目标像与比较标志在瞄准轴方向的重合。 目的: --使目标与基准标志位于垂直于瞄准轴方向的同一个面上,也就是使二者位于同一空间深度; --使物体(目标)成像清晰; --确定物面或其共轭像面的位置——定焦。 人眼调焦的方法及其误差构成; 清晰度法:以目标和标志同样清晰为准则; 消视差法:眼睛在垂直视轴方向上左右摆动,以看不出目标和标志有相对横移为准则。可将纵向调焦转变为横向对准。 清晰度法误差源:几何焦深、物理焦深; 消视差法误差源:人眼对准误差; 几何焦深:人眼观察目标时,目标像不一定能准确落在视网膜上。但只要目标上一点在视网膜上生成的弥散斑直径小于眼睛的分辨极限,人眼仍会把该弥散斑认为是一个点,即认为成像清晰。由此所带来的调焦误差,称为几何焦深。 物理焦深:光波因眼瞳发生衍射,即使假定为理想成像,视网膜上的像点也不再是一个几何点,而是一个艾里斑。若物点沿轴向移动Δl后,眼瞳面上产生的波像差小于λ/K(常取K=6),此时人眼仍分辨不出视网膜上的衍射图像有什么变化。 (清晰度)人眼调焦扩展不确定度: (消视差法)人眼调焦扩展不确定度: 人眼摆动距离为b ?对准误差、调焦误差的表示方法; 对准:人眼、望远系统用张角表示;显微系统用物方垂轴偏离量表示; 调焦:人眼、望远系统用视度表示;显微系统用目标与标志轴向间距表示 ?常用的对准方式; 22 22 122 8 e e e D KD αλ φφφ ???? ''' =+=+ ? ? ???? 121 11e e l l D α φ'=-= 22 21 118 e l l KD λ φ'=-= e b δ φ'=

光学三维测量技术综述

光学三维测量技术综述 1.引言 客观景物三维信息的获取是计算机辅助设计、三维重建以及三维成像技术中的基础环节,被测物体的三维信息的快速、准确的获得在虚拟现实、逆向工程、 生物与医学工程等领域有着广泛的应用[1]。 三维测量方法总的包括两大类,接触式以及非接触式。如图 1.1 所示。 图1.1 三维测量方法分类 接触式的三维测量方法到目前为止已经发展了很长一段时间,这方面的技术理论已经非常完善和成熟,所以,在实际的测量中会有比较高的准确性。但是尽 管如此,依然会有一些缺点[2]: (1) 在测量过程中,接触式测量必须要接触被测物体,这就很容易造成被测物体表面的划伤。 (2) 接触式测量设备在经过长时间的使用之后,测量头有时会出现形变现象,这无疑会对整个测量结果造成影响。 (3) 接触式测量要依靠测量头遍历被测物体上所有的点,可见,其测量效率还是相当低的。 接触式三维测量技术发展已久,应用最广泛的莫过于三坐标测量机。该方法基于精密机械,并结合了当前一些比较先进技术,如光学、计算机等。并且该方法现在已经得到了广泛的应用,特别是在一些复杂物体的轮廓、尺寸等信息的精确测量上。在测量过程中,三坐标测量机的测量头在世界坐标系的三个坐标轴上都可以移动,而且测量头可以到达被测物体上的任意一个位置上,只要测量头能到达该位置,测量机就可以得到该位置的坐标,而且可以达到微米级的测量精度。但由于三坐标机测量系统成本较高,加之上述的一些缺点,广泛应用还不太现实。 非接触式三维测量技术一般通过利用磁学、光学、声学等学科中的物理量测量物体表面点坐标位置。核磁共振法、工业计算机断层扫描法、超声波数字化法

光学三维测量技术与应用

光学三维测量技术 1. 引言 人类观察到的世界是一个三维世界, 尽可能准确和完备地获取客观世界的三维信息才能尽可能准确和完备地刻画和再现客观世界。对三维信息的获取和处理技术体现了人类对客观世界的把握能力,因而从某种程度上来说它是体现人类智慧的一个重要标志。 近年来, 计算机技术的飞速发展推动了三维数字化技术的逐步成熟, 三维数字化信息获取与处理技术以各种不同的风貌与特色进入到各个不同领域之中 [1]:在工业界, 它已成为设计进程中的一环, 凡产品设计、模具开发等, 无一不与三维数字化测量有着紧密的结合; 虚拟现实技术需要大量景物的三维彩色模型数据, 以用于国防、模拟训练、科学试验; 大量应用的三坐标测量机和医学上广泛应用的 CT 机和 MRI 核磁共振仪器,也属于三维数字化技术的典型应用;文化艺术数字化保存(意大利的古代铜像数字化、中国的古代佛像数字化、古文物数字化保存、 3D 动画的模型建构(电影如侏罗纪公园、太空战士、医学研究中的牙齿、骨头扫描, 甚至人类学的考古研究等, 都可运用三维扫描仪快速地将模型扫描、建构; 而随着宽频与计算机速度的提升, Web 3D的网络虚拟世界将更为普及,更带动了三维数字化扫描技术推广到商品的电子商务、产品简报、电玩动画等, 这一切都表明未来的世界是三维的世界。 目前, 有很多种方法可用来获取目标物体的三维形状数据, 光学三维测量技术(Optiacl Three-dimensional Measurement Techniques因为其“非接触”与“全场”的特点,是目前工程应用中最有发展前途的三维数据采集方法。光学三维测量技术是二十世纪科学技术飞速发展所催生的丰富多彩的诸多实用技术之一, 它是以现代光学为基础, 融光电子学、计算机图像处理、图形学、信号处理等科学技术为一体的现代测量技术。它把光学图像当作检测和传递信息的手段或载体加以利用, 其目的是从图像中提取有用的信号, 完成三维实体模型的重构 [2]。随着激光技术、精密计量光栅制造技术、计算机技术以及图像处理等高新技术的发展, 以及不断推出的高

互换性与测量技术实验指导书(2016-2017-1-32)课件

《互换性与技术测量实验》实验指导书 (2016-2017-1) 互换性与技术测量教研组编 机械工程学院 2016年08月 班级: 学号: 姓名:

目录 实验一长度测量 (3) 实验二表面粗糙度测量 (9) 实验三齿轮齿圈径向跳动的测量 (13)

实验一长度测量 一、实验目的 1.了解和掌握杠杆千分尺、和立式数显光学计的测量原理、主要结构及使用方法。 2.应用上述仪器检验光滑极限量规。 3.巩固尺寸公差的概念,学会由测得数据判断零件合格性的方法。 二、仪器结构及工作原理 1.杠杆千分尺 杠杆千分尺相当于外径千分尺与杠杆式卡规组合而成,其外形如图1-1(a)所示。它的工作原理与杠杆式卡规及千分尺相同。可以用作相对测量,也可以作绝对测量。杠杆式卡规的工作原理如图1-1(b)所示。 (a)(b) 图1-1杠杆式卡规的工作原理图 当测量杆1移动时,使杠杆2转动,在杠杆的另一端装有扇形齿轮,可使小齿轮3和装牢在小齿轮轴的指针4转动,在刻度盘5上便可读出示值。为了消除传动中的空程,装有游丝6。测量力由弹簧8产生。为了防止测量面磨损和测量方便,装有退让器9。 杠杆千分尺刻度值有0.001毫米和0.002毫米两种(现在使用的是前者),表盘的示值范围±0.02毫米,测量力是500-800克,测力变化不大于100克。 2.立式数显光学计 立式光学计又称光学比较仪,集光电、机电于一体,是我国最先进的数显式光学仪器。直接测量可以达到10毫米。测量结果可以根据需要选择工、英制在显示屏上显示,也可以在任意位置置零。当被测工件大于10毫米时,在测量前用量块(或标准件)对准零位,被测尺寸与量块尺寸的差值在屏幕上读得。 立式数显光学计对五等量块和一级精度的量块,球形和圆柱形工件得直径和不圆度,线型、板型、金属及非金属薄膜的厚度和平行度进行高精度测量。 仪器基本度量指标:

光学三维形貌测量技术的分析和应用

-72-科技论坛 1概述 非接触光学投影式三维形貌测量技术是 获取物体表面形态特征的一种重要手段,是一 种逆向工程技术,亦称为反求工程(Reverse En- gineering),简称RE [1]。由于这种三维形貌测量技 术具有速度快、分辨率高和非接触等优点而广 泛应用于工程设计、质量控制、医疗诊断和计算 机辅助制造等方面[2]。本文以相位测量轮廓术中 的光栅投影法为重点,介绍了其测量基本原理、 组成以及应用,研究了正弦光栅投影技术和数 字图像处理技术,并利用德国GOM 公司生产 的Advanced TOpometric Sensor 系列(简称 ATOS )流动式光学扫描仪是对鼠标进行了测量 与分析。实验表明:三维光学形貌测量技术简单 实用、测量精度高、便于实现自动测量,是一种 较为理想的光学测量方法。 2相位测量轮廓术的基本原理 相位测量轮廓术的基本原理如图1所示。 D 点为投射系统出瞳中心,DO 为投影光轴。C 点为成像系统入瞳中心,CO 为探测光轴,设 DC=d 且与xoy 参考面平行。从D 点对E 点投 影位置本该落到B 点,但由于物体表面形状调 制的原因,在CCD 镜头上则成像于A 点。设 AB=S R (x ,y),表示偏移量,则E 点的高度为 可见只要计算出偏移量,就能得到被测物体表面各点的高度,实现三维轮廓测量,具体计算是采用相移技术。将正弦光栅投影到待测物体表面上,并规定坐标原点O 处系统相位为零,采用四步相移技术,每步,利用 CCD 摄像机分别获得四幅畸变光栅条纹的光强,利用光强关系计算得到E 点相位。再利用光栅直接投影在参考面上的光强关系计算得到A 点相位[3],它们相位差为若被测物高度远小于L ,则E 点高度,将其代入(2)式则有其中,是可通过对测量系统标定来确定的系数,进而根据相位差可得物体高度。3ATOS 流动式光学扫描仪原理ATOS 系列流动式光学扫描仪是目前国际市场上比较先进的三维扫描设备,该设备采用光栅投影相位测量轮廓技术。其测量系统主要由光学扫描仪和计算机等组成。ATOS 光学扫描仪由两个高分辨率CCD 数码相机和光栅投影仪组成。采用双CCD 的设计目的是实时监测扫描过程中由于振动和环境光线变化对测量精度造成的影响,从而确保扫描精度。由于采用流动式设计和不同视角点云的自动拼合技术,务须移动光学扫描仪,其扫描范围可从10mm 到12m 。不同视角的测量数据依靠粘贴在工件表面上公共的参考点,可自动拼合在统一坐标系内,从而获得完整的扫描数据,对于被参考点覆盖而在工件表面留下的空洞,软件可根据周围点云的曲率变化进行插补[4]。光栅投影仪由光栅和微型步进电机组成。采用不同频率 的光栅分别对同一样品进行组合测量,再将测量得到的图像进行合成方法,可以大大提高检测的分辨率和精度。在ATOS 的光栅投影仪内封装的三组频率不同正弦光栅,刻划在同一玻璃基上,如图2所示。通过微型步进电机可随意切换这三组光栅,进行组合测量。4ATOS 的应用ATOS 系统的软件和硬件均采用模块化设 计,性能稳定,设备操作简单。图3是光栅在鼠标 上的投影,光栅条纹具有较大的光强,良好的景深,具有连续的强度分布及较好的正弦性。由于受鼠标表面形状变化的调制,基准光栅条纹在鼠标表面上产生了畸变,这些畸变条纹就包含了鼠标表面形状的三维信息。利用CCD 摄像机读取畸变条纹,并对图像进行相应的处理,可以得到有关条纹中心线的二维信息,然后根据相应的数学转换模型和重构算法对鼠标轮廓进行重构,得到被测鼠标表面的三维外形数据信息。图4是在鼠标上的投影条纹光强分布图,可以看出是典型的正弦分布。5总结 本文主要分析了基于相位测量的光栅投影 三维轮廓测量系统的基本原理,并以ATOS 流动式光学扫描仪为例详细介绍了光栅投影三维轮廓系统的正弦光栅投影技术和数字图像处理技术。并利用该设备对实际物体三维面形进行了测量,可以看出相位测量轮廓术具有结构简单、速度快,实用,测量精度高、测量范围大、抗干扰性强和可 在线实时测量等优点,是一种较为理想的光学测量方法。 参考文献 [1]V.Srinivasan,H.C.Liu,Maurice Halioua.Automated phase -measuring profilometry:a phase mapping approach.Applied Optics,1985,24(2):185-188.[2]潘伟,赵毅,阮雪榆.相移法在光栅投影测量中的 应用[J].应用光学,2003,24(4):46-49. [3]康新,何小元.基于正弦条纹投影的三维传感及 其去包裹处理[J].光学学报,2001,22(12):1444-1447. [4]任丹,吴禄慎.三维面形位相测量轮廓术的研究[J].南昌大学学报(工科版),2002,3(3):9-12.作者简介:姜洪喜(1976~),男,黑龙江齐齐哈尔人,讲师,硕士,主要从事3D 物体形貌测量和光学梳状滤波器的研究。基金项目:黑龙江省教育厅科学技术研究项目:(编号11531330);黑龙江省高等教育学会“十一五”规划课题:(编号H115-C729);黑龙江科技学院青年基金项目:(编号07-16)光学三维形貌测量技术的分析和应用 姜洪喜任常愚李海宝任敦亮刘炳胜 (黑龙江科技学院,黑龙江哈尔滨150027) 摘要:介绍了光栅投影三维光学测量系统的原理、组成及应用。光栅投影法是将正弦光栅投影到被测物体表面上,由高精度CCD 摄像机摄取这些畸变条纹,并利用数字处理技术获得物体表面三维数据。该方法测量精度高、便于实现自动测量,是一种较为理想的光学测量方法。 关键词:三维形貌测量技术;光栅扫描;ATOS 系统 (1) (2) ,áS x y ,z x y 2 2,á??fS x y áááá ???????á(3) ,2L z x y k d f áá???á

(教学)互换性与技术测量实验

实验一 外螺纹中径的测量 一、实验目的 熟悉测量外螺纹中径的原理和方法。 二、 实验内容 1. 用螺纹千分尺测量外螺纹中径。 2. 用三针测量外螺纹中径。 三、测量原理及计量器具说明 1. 用螺纹千分尺测量外螺纹中径 图1为螺纹千分尺的外形图。它的构造与外径千分尺基本相同,只是在测量砧和测量头上装有特殊的测量头1和2,用它来直接测量外螺纹的中径。螺纹千分尺的分度值为0.01毫M 。测量前,用尺寸样板3来调整零位。每对测量头只能测量一定螺距范围内的螺纹,使用时根据被测螺纹的螺距大小,按螺纹千分尺附表来选择,测量时由螺纹千分尺直接读出螺纹中径的实际尺寸。 图 1 2. 用三针测量外螺纹中径 图2为用三针测量外螺纹中径的原理图,这是一种间接测量螺纹中径的方法。测量时,将三根精度很高、直径相同的量针放在被测螺纹的牙凹中,用测量外尺寸的计量器具如千分尺、机械比较仪、光较仪、测长仪等测量出尺寸M 。再根据被测螺纹的螺距p 、牙形半角 2 α 和量针直径m d ,计算出螺纹中径2d 。由图2可知: )(222CD AD M AC M d --=-= 而 2sin 22 αm m d d BD AB AD +=+== ????? ? ??+2sin 112αm d

4 2α Pctg CD = 将AD 和CD 值代入上式,得: 22 2sin 1 12ααctg P d M d m +????? ? ? ?+ -= 对于公制螺纹,0 60=α,则 P d M d 866.032+-= 图 2 为了减少螺纹牙形半角偏差对测量结果的影响,应选择 合适的量针直径,该量针与螺纹牙形的切点恰好位于螺纹中径处。此时所选择的量针直径m d 为最佳量针直径。由图3可知: 2 cos 2α P d m = 对于公制螺纹,0 60=α,则 P d m 577.0= 在实际工作中,如果成套的三针中没有所需的最佳量针直径时,可选择与最佳量针直径相近的三针来测量。 量针的精度分成0级和1级两种:0级用于测量中径公差为4—8μm 的螺纹塞规;1级用于测量中径公差大于8μm 的螺纹塞规或螺纹工件。 测量M 值所用的计量器具的种类很多,通常根据工件的精度要求来选择。本实验采用杠千分尺来测量(见图4)。杠杆千分尺的测量范围有0—25,25—50,50—75,75—100mm 图 3 图 4 四种,分度值为0.002mm 。它有一个活动量砧1,其移动量由指示表7读出。测量前将尺体5装在尺座上,然后校对千分尺的零位,使刻度套筒管3、微分筒4和指示表7的示值都分别对准零位。测量时,当被测螺纹放入或退出两个量砧之间时,必须按下右侧的按钮8 使量

高精度光学测量微位移技术综述

word格式文档 高精度光学测量微位移技术综述 *** (******大学光电**学院,重庆400065) 摘要 微位移测量技术在科学与工业技术领域应用广泛。光学测量微位移技术与传统测量方法相比,具有灵敏度高、抗电磁干扰能力强、耐腐蚀、防爆、结构简单、体积小、重量轻等优点。本文介绍了几种高精度光学测量微位移的方法,从激光三角法、激光干涉法、光栅尺法、光纤光栅法、X射线干涉法和F-P干涉法几个类别对各种微位移测量原理和仪器进行了系统的分析和比较,并对各种方法的特点进行了归纳,对光学微位移测量方法的发展趋势进行了概括。 关键词:微位移测量,高精度,光学测量,发展趋势 1 引言 随着科学技术的发展,微小位移的检测手段已发展到多种,测量准确度也不断提高。目前,高分辨力微位移测量技术主要分为包含电学、显微镜等测量方法的非光学测量技术和以激光干涉测量为代表的光学测量技术两大类。电学测量技术又包括电阻法、电容和电感法以及电涡流法等,其中,电容和电感法发展迅速,较为常用。目前,三端电容传感器可测出5×10-5μm的微位移,最大稳定性为每天漂移几个皮米[1]。而显微镜测量技术种类较多,主要有高性能透射电子显微镜、扫描电子显微镜、扫描探针显微镜(包括扫描隧道显微镜和原子力显微镜)等二十多个品种[2]。按光学原理不同,光学测量技术可分为激光三角测量[3]、光杠杆法[1,4]、光栅尺测量法[5]、光纤位移测量法[5]和激光干涉法等,测量分辨力在 专业资料整理

几十皮米到几纳米之间。此外,利用X射线衍射效应进行位移测量的X射线干涉技术近年来备受关注,其最大特点是以晶格结构中的原子间距作为溯源标准,可实现皮米量级的高分辨力,避免了光学干涉仪的各种非线性误差[6]。现将主要的具有纳米量级及以上分辨力的微位移测量技术概括如表1所示。 纵观位移测量技术的发展历程,如果说扫描探针技术为高分辨力位移测量领域带来了革命性变革,那么近几十年来激光技术的发展则将该领域带入了一个崭新的时代。由表1可见,目前电容传感器和SPM的测量分辨力也很高,但它们的共同缺陷是当溯源至国际标准长度单位时,必须借助激光干涉仪等方法进行标定和校准。根据1983年第17次度量大会对“米”的新定义,激光干涉法对几何量值溯源有着天然优越性,同时具有非接触测量、分辨力高、测量速度快等优势。本文将对目前主要的光学微位移测量技术介绍和比较分析。 表1 常用微位移测量技术 仪器种类分辨力/nm 测量范围 电容传感器0.05-2 10nm-300μm 电感传感器 5 10μm SPM 0.05 1-10μm 激光三角测头 2.5 100-500μm 光纤位移传感器 2.5 30-100μm 双频激光干涉仪0.1 >10m 光栅尺0.1-10 70-200mm X射线干涉仪0.005 200μm F-P干涉仪0.001 5nm-300μm 2 光学微位移测量技术概述 2.1 激光三角法微位移测量技术 随着工业测量领域的不断扩展以及对测量精度和测量速度的不断提高,传统的接触式测量已经无法满足工业界的需求。而非接触测量由于其良好的精确性和

光学三维测量系统标准

VDI/VDE准则2634 第1部分 德国工程师协会(VEREIN DEUTSCHER INGENIEURE,简称VDI ) 德国电气工程师协会(VERBAND DER ELEKTROTECHNIK ELEKTRONIK INFORMATIONSTECHNIK,简称VDE) 光学三维测量系统,逐点探测成像系统 准则内容 初步说明() 1适用范围 2符号参数 3验收检测和复检原则 4验收检测 4.1品质参数“长度测量误差”的定义 4.2检测样本 4.3测量程序 4.4结果评估 4.5等级评定 5检查 5.1测量流程 5.2评估 5.3检测间隔(时效)和报告 参考书目

初步说明(概述) 光学三维测量系统是一种通用的测量和测试设备。在所有情况下,使用者一定要确保使用中的光学三维测量系统达到所需的性能规格,特别是最大允许测量误差不能超出要求。就长远而言,这只能通过统一的验收标准和对设备的定期复检来确保。这个职责归测量设备的制造者和使用者共同所有。 使用价位合理的检测样本且快速简单的方法被各种样式、自由度、型号的光学三维测量系统的验收和复检所需要。这个目的可以通过长度标准和跟典型工件同样方式测量的检测样本实现。 本VDI/VDE准则2634的第一部分介绍了评估逐点探测式光学三维测量成像系统的准确性的实用的验收和复检方法。品质参数“长度测量误差”的定义与ISO 10360-2中的定义类似。独立的探测误差测试是不需要的,因为这个影响已经在长度测量误差的测定中考虑进去了。 VDI/VDE准则2634的第二部分介绍了用于表面探测的系统。 本准则由VDI/VDE协会测量与自动控制(GMA)的“光学三维测量”技术委员会和德国摄影测量与遥感协会的“近景摄影测量”工作组起草。在联合委员会中,知名用户的代表与来自大学的专门研究光学三维测量系统领域的成员合作。 1适用范围 本准则适用于可移动的、灵活的光学三维测量系统,该系统有一

互换性与技术测量实验指导书

互换性与测量技术实验指导书 北方工业大学机械实验室 2017 年3 月

实验一尺寸测量 实验1-1 用立式光学计测量轴径 一、实验目的 1.了解立式光学计的测量原理。 2.熟悉用立式光学计测量外径的方法。 二、实验内容 用立式光学计测量工件的外径 三、测量器具 1.立式光学计 2.块规 四、测量器具简介 立式光学计是一种精度较高、结构简单的常用光学仪器。常用来检定 5 等、 6 等量块、光滑极限量规及测量相应精度的零件。 (五)测量步骤: 1、按被测零件的基本尺寸组合所需量块尺寸。一般是从所需尺寸的未位数开始选择,将选好的量块用汽油棉花擦去表面防锈油,并用绒布擦净.用少许压力将两量块工作面相互研合。 2、将组合好的块规组放在工作台上,松开横臂紧固螺钉,转动调节螺母,使横臂连同光管缓慢下降至测头,与量块中心位置极为接近处(约0.lmm 的间隙)将螺钉拧紧。 3、松开光管紧固螺钉,调整手柄,使光管缓馒下降至测头与块规中心位置接触,并从目镜中看到标尺象,使零刻线外于指标线附近为止。调节目镜视度环,使标尺像完全清晰 (可配合微调反光镜)。锁紧螺钉,调整微调旋钮,使刻度尺像准确对好零位。 4、按压测帽提升杠杆2?3次,检查示值稳定性,要求零位变化不超 过l/10 格,如超过过多应寻找原因,并重新调零(各紧固螺钉应拧紧但不能过紧,以免仪器变形)。 5、按下测帽提升杠杆,取下规块组,将被测部件放在工作台上(注意一定要使被测轴的母线与工作台接触,不得有任何跳动或倾斜)。 6、按压测帽提升杠杆多次,若示值稳定,则记下标尺读数(注意正负号)。此读数即为该测点轴线的实际差值。

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