各种氧化物折射率

各种氧化物折射率
各种氧化物折射率

产品目录我公司可根据用户需要定制各种光学镀膜材料

名称分子式产品规格折射率透光范围蒸发温度蒸发源产品应用

JS01膜料 1.0-4.0mm颗粒2.10/500nm360-7000nm2200-2300 ℃电子枪、钽舟增透膜、多层膜JS02膜料Ti3O5 1.0-4.0mm颗粒2.35/500nm400-12000nm1800-2000 ℃

电子枪、钽舟、钨

增透膜、多层膜JS03膜料 1.0-4.0mm颗粒1.70/500nm220-10000nm2100 ℃电子枪增透膜、多层膜JS04膜料 1.0-4.0mm颗粒1.47/500nm300-7000nm1900-2000 ℃电子枪增透膜、多层膜氟化镁MgF2 1.0-4.0mm颗粒1.38/500nm160-8000nm1300-1600 ℃

电子枪、钽舟、钨

舟、钼舟

增透膜、多层膜二氧化

硅SiO2

1.0-3.0mm颗

粒、柱状

1.46/500nm200-2000nm1800-2200 ℃电子枪多层膜

氧化铝Al2O3 1.0-4.0mm颗粒1.63/550nm200-5000nm2000-2200 ℃电子枪增透膜、多层膜

精品

一氧化

硅SiO 1.0-4.0mm颗粒1.55/550nm800-8000nm1200-1600 ℃

电子枪、钽舟、钨

舟、钼舟

增透膜、多层膜

二氧化

钛TiO2

1.0-4.0mm颗

粒、片状

2.35/500nm400-12000nm2000-2200 ℃

电子枪、钽舟、钨

增透膜、多层膜

五氧化

三钛Ti3O5

1.0-4.0mm烧结

颗粒

2.35/500nm400-12000nm1800-2000 ℃

电子枪、钽舟、钨

增透膜、多层膜

三氧化

二钛Ti2O3

1.0-4.0mm颗

粒、片状

2.35/500nm400-12000nm1800-2000 ℃

电子枪、钽舟、钨

增透膜、多层膜

一氧化

钛TiO

1.0-4.0mm颗

粒、片状

2.35/500nm400-12000nm1700-2000 ℃

电子枪、钽舟、钨

增透膜、多层膜

五氧化

二钽Ta2O5

1.0-4.0mm颗

粒、片状

2.10/500nm350-7000nm1900-2200 ℃电子枪增透膜、多层膜

氧化铪HfO2

1.0-4.0mm颗

粒、片状1.95/500nm230-7000nm2300-2500 ℃电子枪

紫外近红外多层

精品

1.0-4.0mm颗

氧化锆ZrO2

2.05/500nm250-7000nm2500 ℃电子枪增透膜、多层膜

粒、片状

1.0-4.0mm晶体

2.30/550nm350-9000nm1800-1900 ℃电子枪增透膜、多层膜氧化铌Nb2O5

颗粒

1.0-4.0mm颗

氧化镁MgO

1.70/500nm200-8000nm2000 ℃电子枪多层膜

粒、片状

1.0-4.0mm颗

2.0/550nm400-16000nm2000 ℃电子枪增透膜、多层膜氧化锌ZnO

粒、片状

1.0-4.0mm颗

氧化钇Y2O3

1.80/500nm250-8000nm2300-2500 ℃电子枪绝缘膜

粒、片状

1.0-4.0mm颗

氧化铈CeO2

2.20/550nm400-11000nm2000 ℃电子枪增透膜、多层膜

粒、片状

1.0-4.0mm颗

氟化铈CeF3

1.63/500nm300-5000nm1400-1600 ℃电子枪、钽舟增透膜、多层膜

粒、片状

氟化镧LaF3 1.0-4.0mm颗1.58/500nm220-14000nm1450 ℃电子枪、钼舟增透膜

精品

粒、片状

精品

氟化钇YF3

1.0-4.0mm颗

粒、片状1.55/500nm200-14000nm1100 ℃

电子枪、钽舟、钼

多层膜

氟化钡BaF2

1.0-4.0mm颗

粒、片状1.40/10600nm220-15000nm1280℃钼舟、钽舟

紫外远红外膜、

增透膜

氟化铝AlF3

1.0-4.0mm颗

粒、片状1.35/500nm200-8000nm800-1000 ℃

电子枪、钽舟、钼

紫外膜

冰晶石Na3AlF6 1.0-4.0mm颗粒1.33/500nm200-14000nm800-1000℃钽舟、钼舟多层膜锥冰晶

Na5Al3F14 1.0-4.0mm颗粒1.33/500nm200-14000nm800-1200 ℃钽舟、钼舟多层膜

硫化锌ZnS

1.0-4.0mm颗

粒、块状2.4/550nm400-14000nm1000-1100 ℃

电子枪、钽舟、钼

舟、氧化铝

红外膜

硒化锌ZnSe块状 2.58/550nm600-15000nm600-900 ℃

电子枪、钽舟、钼

红外膜、反射膜

精品

三氧化二

Fe2O3 3.042

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精品

(完整word版)常用物体折射率表

常用物体折射率表 空气 1.0003 玻璃,锌冠 1.517 氯化钠(盐)2 1.644 液体二氧化碳 1.200 玻璃,冠 1.520 重火石玻璃 1.650 冰 1.309 氯化钠 1.530 二碘甲烷 1.740 水(20度) 1.333 氯化钠(盐)1 1.544 红宝石 1.770 丙酮 1.360 聚苯乙烯 1.550 兰宝石 1.770 普通酒精 1.360 石英 2 1.553 特重火石玻璃 1.890 30% 的糖溶液 1.380 翡翠 1.570 水晶 2.000 酒精 1.329 轻火石玻璃 1.575 钻石 2.417 面粉 1.434 天青石 1.610 氧化铬 2.705 溶化的石英 1.460 黄晶 1.610 氧化铜 2.705 Calspar2 1.486 二硫化碳 1.630 非晶硒 2.920 80% 的糖溶液 1.490 石英1 1.644 碘晶体 3.340

玻璃 1.500 常用晶体及光学玻璃折射率表 物质名称分子式或符号折射率重冕玻璃ZK6 1.61263 熔凝石英SiO2 1.45843重冕玻璃ZK8 1.61400 氯化钠NaCl 1.54427钡冕玻璃BaK2 1.53988 氯化钾KCl 1.49044火石玻璃F1 1.60328 萤石CaF2 1.43381钡火石玻璃BaF8 1.62590 冕牌玻璃K6 1.51110重火石玻璃ZF1 1.64752 冕牌玻璃K8 1.51590重火石玻璃ZF5 1.73977 冕牌玻璃K9 1.51630重火石玻璃ZF6 1.75496 晶体的折射率no和ne表(注:no、ne分别是晶体双折射现象中的“寻常光”的折射率和“非常光”的折射率。) 物质名称分子式no ne 冰H20 1.313 1.309 氟化镁MgF2 1.378 1.390

椭偏仪测量薄膜厚度与折射率

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 近代科学技术中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,能够更加迅速和精确地测量薄膜的光学参数例如厚度和折射率已变得非常迫切。 在实际工作中可以利用各种传统的方法来测定薄膜的光学参数,如布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜。另外,还有称重法、X 射线法、电容法、椭偏法等等。其中,椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。因为椭偏法具有测量精度高,灵敏度高,非破坏性等优点,已广泛用于各种薄膜的光学参数测量,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。 实验目的 了解椭圆偏振测量的基本原理,并掌握一些偏振光学实验技术。 实验原理 光是一种电磁波,是横波。电场强度E 、磁场强度H 和光的传播方向构成一个右旋的正交三矢族。光矢量存在着各种方位值。与光的强度、频率、位相等参量一样,偏振态也是光的基本量之一。 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常,设介质层为n 1、n 2、n 3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉。 这里我们用2δ表示相邻两分波的相位差,其中222cos /dn δπφλ=,用r 1p 、 r 1s 表示光线的p 分量、s 分量在界面1、2间的反射系数, 用r 2p 、r 2s 表示光线的p 分量、s 分量在界面2、3间的反射系数。 由多光束干涉的复振幅计算可知: 2122121i p p rp ip i p p r r e E E r r e ?δ --+= + (1) 2122121i s s rs is i s s r r e E E r r e ? δ --+=+ (2) 其中E ip 和E is 分别代表入射光波电矢量的p 分量和s 分量,E rp 和E rs 分别代表反射光波电矢量的p 分量和s 分量。现将上述E ip 、E is 、E rp 、E rs 四个量写成一个量G ,即:

常见物质折射率表

常见物质折射率表 常用物体折射率表 [绝对折射率]: 光从真空射入介质发生折射时,入射角i与折射角r的正弦之比n叫做介质的“绝对折射率”,简称“折射率”。它表示光在介质中传播时,介质对光的一种特征。 [公式]:n=sin i/sin r=c/v 由于光在真空中传播的速度最大,故其他媒质的折射率都大于1。同一媒质对不同波长的光,具有不同的折射率;在对可见光为透明的媒质内,折射率常随波长的减小而增大,即红光的折射率最小,紫光的折射率最大。通常所说某物体的折射率数值多少(例如水为1.33,水晶为1.55,金刚石为2.42,玻璃按成分不同而为1.5~1.9),是指对钠黄光(波长5893×10^-10米)而言。 [相对折射率]:

光从介质1射入介质2发生折射时,入射角θ1与折射角θ2的正弦之比n21叫做介质2相对介质1的折射率,即“相对折射率”。因此,“绝对折射率”可以看作介质相对真空的折射率。它是表示在两种(各向同性)介质中光速比值的物理量。 [公式]:n21=sinθ1/sinθ2=n2/n1=v1/v2 光学介质的一个基本参量。即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比 真空的折射率等于1,两种介质的折射率之比称为相对折射率。例如,第一介质的折射率为n1,第二介质的折射率为n2,则n21=n2/n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。于是折射定律可写成如下形式 . n1sinθi =n2sinθt两种介质进行比较时,折射率较大的称光密介质,折射率较小的称光疏介质。 折射率与介质的电磁性质密切相关。根据电磁理论,εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。折射率还与波长有关,称色散现象。手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的(通常是对钠黄光,波长为5893埃)。气体折射率还与温度和压强有关。空气折射率对各种波长的光都非常接近于1,例如空气在20℃,760毫米汞高时的折射率为1.00027。在工程光学中常把空气折射率当作1,而其他介质的折射率就是对空气的相对折射率。

常用折射率表

[绝对折射率]: 光从真空射入介质发生折射时,入射角i与折射角r的正弦之比n叫做介质的“绝对折射率”,简称“折射率”。它表示光在介质中传播时,介质对光的一种特征。 [公式]:n=sin i/sin r=c/v 由于光在真空中传播的速度最大,故其他媒质的折射率都大于1。同一媒质对不同波长的光,具有不同的折射率;在对可见光为透明的媒质内,折射率常随波长的减小而增大,即红光的折射率最小,紫光的折射率最大。通常所说某物体的折射率数值多少(例如水为1.33,水晶为1.55,金刚石为2.42,玻璃按成分不同而为1.5~1.9),是指对钠黄光(波长5893×10^-10米)而言。 [相对折射率]: 光从介质1射入介质2发生折射时,入射角θ1与折射角θ2的正弦之比n21叫做介质2相对介质1的折射率,即“相对折射率”。因此,“绝对折射率”可以看作介质相对真空的折射率。它是表示在两种(各向同性)介质中光速比值的物理量。 [公式]:n21=sinθ1/sinθ2=n2/n1=v1/v2 光学介质的一个基本参量。即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比 真空的折射率等于1,两种介质的折射率之比称为相对折射率。例如,第一介质的折射率为n1,第二介质的折射率为n2,则n21=n2/n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。于是折射定律可写成如下形式. n1sinθi=n2sinθt两种介质进行比较时,折射率较大的称光密介质,折射率较小的称光疏介质。 折射率与介质的电磁性质密切相关。根据电磁理论,εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。折射率还与波长有关,称色散现象。手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的(通常是对钠黄光,波长为5893埃)。气体折射率还与温度和压强有关。空气折射率对各种波长的光都非常接近于1,例如空气在20℃,760毫米汞高时的折射率为1.00027。在工程光学中常把空气折射率当作1,而其他介质的折射率就是对空气的相对折射率。 介质的折射率通常由实验测定,有多种测量方法。对固体介质,常用最小偏向角法或自准直法;液体介质常用临界角法(阿贝折射仪);气体介质则用精密度更高的干涉法(瑞利干涉仪)。 常用物体折射率表 空气 1.0003 玻璃,锌冠 1.517 氯化钠(盐)2 1.644 液体二氧化碳 1.200 玻璃,冠 1.520 重火石玻璃 1.650 冰 1.309 氯化钠 1.530 二碘甲烷 1.740 水(20度) 1.333 氯化钠(盐)1 1.544 红宝石 1.770 丙酮 1.360 聚苯乙烯 1.550 兰宝石 1.770 普通酒精 1.360 石英 2 1.553 特重火石玻璃 1.890 30% 的糖溶液 1.380 翡翠 1.570 水晶 2.000 酒精 1.329 轻火石玻璃 1.575 钻石 2.417 面粉 1.434 天青石 1.610 氧化铬 2.705 溶化的石英 1.460 黄晶 1.610 氧化铜 2.705 Calspar2 1.486 二硫化碳 1.630 非晶硒 2.920 80% 的糖溶液 1.490 石英 1 1.644 碘晶体 3.340 玻璃 1.500 常用晶体及光学玻璃折射率表 物质名称分子式或符号折射率重冕玻璃ZK6 1.61263 熔凝石英SiO2 1.45843 重冕玻璃ZK8 1.61400 氯化钠NaCl 1.54427 钡冕玻璃BaK2 1.53988

椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率

椭偏法测薄膜厚度和折射率 摘要 本实验通过椭圆偏振光法测量了氟化镁(MgF2)、氧化锆(ZrO2)及二氧化钛(TiO2)等介质薄膜的厚度和折射率,以及Cu和Al金属薄膜的厚度和消光系数。 关键词 椭圆偏振光法介质薄膜金属薄膜椭偏参数复折射率消光系数 一、引言 椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。结合计算机后,具有可手动改变入射角度、实时测量、快速数据获取等优点。 二、实验原理 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1) 图(1-1)

这里我们用2δ表示相邻两分波的相位差,其中δ=2πdn2cosφ2/λ,用r1p、r1s表示光线的p分量、s分量在界面1、2间的反射系数,用r2p 、r2s表示光线的p分、s分量在界面2、3间的反射系数。由多光束干涉的复振幅计算可知: 其中Eip和Eis 分别代表入射光波电矢量的p分量和s分量,Erp和Ers分别代表反射光波电矢量的p分量和s分量。现将上述Eip、Eis 、Erp、Ers四个量写成一个量G,即: 我们定义G为反射系数比,它应为一个复数,可用tgψ和Δ表示它的模和幅角。上述公式的过程量转换可由菲涅耳公式和折射公式给出: G是变量n1、n2、n3、d、λ、φ1的函数(φ2 、φ3可用φ1表示) ,即ψ=tg-1f,Δ=arg| f |,称ψ和Δ为椭偏参数,上述复数方程表示两个等式方程: [tgψe iΔ]的实数部分= 的实数部分 [tgψe iΔ]的虚数部分= 的虚数部分 若能从实验测出ψ和Δ的话,原则上可以解出n2和d (n1、n3、λ、φ1已知),根据公式(4)~(9),推导出ψ和Δ与r1p、r1s、r2p、r2s、和δ的关系:

常用物体折射率表1

常用物体折射率表 空气 1.0003玻璃,锌冠 1.517氯化钠(盐)2 1.644液体二氧化碳 1.200玻璃,冠 1.520重火石玻璃 1.650冰 1.309氯化钠 1.530二碘甲烷 1.740水(20度) 1.333氯化钠(盐)1 1.544红宝石 1.770丙酮 1.360聚苯乙烯 1.550兰宝石 1.770普通酒精 1.360石英2 1.553特重火石玻璃 1.890 30%的糖溶液 1.380翡翠 1.570水晶 2.000酒精 1.329轻火石玻璃 1.575钻石 2.417面粉 1.434天青石 1.610氧化铬 2.705溶化的石英 1.460黄晶 1.610氧化铜 2.705 Calspar2 1.486二硫化碳 1.630非晶硒 2.920 80%的糖溶液 1.490石英1 1.644碘晶体 3.340玻璃 1.500

常用晶体及光学玻璃折射率表 物质名称分子式或符号折射率重冕玻璃ZK6 1.61263熔凝石英SiO2 1.45843重冕玻璃ZK8 1.61400氯化钠NaCl 1.54427钡冕玻璃BaK2 1.53988氯化钾KCl 1.49044火石玻璃F1 1.60328萤石CaF2 1.43381钡火石玻璃BaF8 1.62590冕牌玻璃K6 1.51110重火石玻璃ZF1 1.64752冕牌玻璃K8 1.51590重火石玻璃ZF5 1.73977冕牌玻璃K9 1.51630重火石玻璃ZF6 1.75496晶体的折射率no和ne表(注:no、ne分别是晶体双折射现象中的“寻常光”的折射率和“非常光”的折射率。) 物质名称分子式no ne 冰H20 1.313 1.309氟化镁MgF2 1.378 1.390石英Si02 1.544 1.553

3D-材质-常用物体折射率表

常用物体折射率表 材质IOR 值 空气 1.0003 液体二氧化碳 1.200 冰 1.309 水(20度) 1.333 丙酮 1.360 普通酒精 1.360 30% 的糖溶液 1.380 酒精 1.329 面粉 1.434 溶化的石英 1.460 Calspar2 1.486 80% 的糖溶液 1.490 玻璃 1.500 玻璃,锌冠 1.517 玻璃,冠 1.520 氯化钠 1.530 氯化钠(盐)1 1.544 聚苯乙烯 1.550 石英 2 1.553 翡翠 1.570 轻火石玻璃 1.575 天青石 1.610 黄晶 1.610 二硫化碳 1.630 石英 1 1.644 氯化钠(盐)2 1.644 重火石玻璃 1.650 二碘甲烷 1.740 红宝石 1.770 兰宝石 1.770 特重火石玻璃 1.890 水晶 2.000 钻石 2.417 氧化铬 2.705 氧化铜 2.705 非晶硒 2.920 碘晶体 3.340 常用晶体及光学玻璃折射率表 物质名称分子式或符号折射率 熔凝石英SiO2 1.45843 氯化钠NaCl 1.54427 氯化钾KCl 1.49044

萤石CaF2 1.43381 冕牌玻璃K6 1.51110 K8 1.51590 K9 1.51630 重冕玻璃ZK6 1.61263 ZK8 1.61400 钡冕玻璃BaK2 1.53988 火石玻璃F1 1.60328 钡火石玻璃BaF8 1.62590 重火石玻璃 ZF1 1.64752 ZF5 1.73977 ZF6 1.75496 液体折射率表 物质名称分子式密度 温 度℃ 折射率 丙醇CH3COCH30.791 20 1.3593 甲CH3OH 0.794 20 1.3290 乙C2H5OH 0.800 20 1.3618 苯C6H6 1.880 20 1.5012 二硫化碳CS2 1.263 20 1.6276 四氯化碳CCl4 1.591 20 1.4607 三氯甲烷CHCl3 1.489 20 1.4467 乙醚C2H5·0·C2H50.715 20 1.3538 甘油C3H8O3 1.260 20 1.4730 松节油0.87 20.7 1.4721 橄榄油0.92 0 1.4763 水H2O 1.00 20 1.3330 晶体的折射率n o和n e表 物质名称分子式n o n e 冰H20 1.313 1.309 氟化镁MgF2 1.378 1.390 石英Si02 1.544 1.553 氯化镁MgO·H2O 1.559 1.580 锆石ZrO2·SiO2 1.923 1.968 硫化锌ZnS 2.356 2.378 方解石CaO·CO2 1.658 1.486 钙黄长石2Ca0·Al203·SiO2 1.669 1.658 菱镁矿ZnO·CO2 1.700 1.509 刚石Al2O3 1.768 1.760 淡红银矿3Ag2S·AS2S3 2.979 2.711 注:n o、n e分别是晶体双折射现象中的“寻常光”的折射率和“非常光”的折射率。

常用物质折射率表

常用物质折射率表 折射率 光学介质的一个基本参量。即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比 真空的折射率等于1,两种介质的折射率之比称为相对折射率。例如,第一介质的折射率为n1,第二介质的折射率为n2,则n21=n2/n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。于是折射定律可写成如下形式 n1sinθi=n2sinθt两种介质进行比较时,折射率较大的称光密介质,折射率较小的称光疏介质。 折射率与介质的电磁性质密切相关。根据电磁理论,,εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。折射率还与波长有关,称色散现象。手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的(通常是对钠黄光,波长为5893埃)。气体折射率还与温度和压强有关。空气折射率对各种波长的光都非常接近于1,例如空气在20℃,760毫米汞高时的折射率为1.00027。在工程光学中常把空气折射率当作1,而其他介质的折射率就是对空气的相对折射率。介质的折射率通常由实验测定,有多种测量方法。对固体介质,常用最小偏向角法或自准直法;液体介质常用临界角法(阿贝折射仪);气体介质则用精密度更高的干涉法(瑞利干涉仪)。 常用物体折射率表 常用物体折射率表常用物体折射率表 材质IOR 值 空气 1.0003 液体二氧化碳 1.200 冰 1.309 水(20度) 1.333 丙酮 1.360 普通酒精 1.360 30% 的糖溶液 1.380 酒精 1.329 面粉 1.434 溶化的石英 1.460 Calspar2 1.486 80% 的糖溶液 1.490 玻璃 1.500 玻璃,锌冠 1.517 玻璃,冠 1.520 氯化钠 1.530 氯化钠(盐)1 1.544 聚苯乙烯 1.550 石英 2 1.553 翡翠 1.570 轻火石玻璃 1.575 天青石 1.610 黄晶 1.610 二硫化碳 1.630 石英 1 1.644 氯化钠(盐)2 1.644 重火石玻璃 1.650

椭偏仪测量薄膜度折射率

椭偏仪测量薄膜度折射率

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椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 近代科学技术中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,能够更加迅速和精确地测量薄膜的光学参数例如厚度和折射率已变得非常迫切。 在实际工作中可以利用各种传统的方法来测定薄膜的光学参数,如布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜。另外,还有称重法、X 射线法、电容法、椭偏法等等。其中,椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。因为椭偏法具有测量精度高,灵敏度高,非破坏性等优点,已广泛用于各种薄膜的光学参数测量,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。 实验目的 了解椭圆偏振测量的基本原理,并掌握一些偏振光学实验技术。 实验原理 光是一种电磁波,是横波。电场强度E 、磁场强度H 和光的传播方向构成一个右旋的正交三矢族。光矢量存在着各种方位值。与光的强度、频率、位相等参量一样,偏振态也是光的基本量之一。 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常,设介质层为n 1、n 2、n 3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉。 这里我们用2δ表示相邻两分波的相位差,其中222cos /dn δπφλ=,用r 1p 、 r 1s 表示

金属反射膜材料简介

金属反射膜材料简介 李秉璋1, 王正和2 1 工业材料研究所研究员 2 工业材料研究所副研究员 一、前言 When God began creating the heavens and the earth, the earth was at first a shapeless, chaotic mass, with the Spirit of God brooding over the dark vapors. Then God said “Let there be light.”. And lig ht appeared. And God was pleased with it, and divided the light from the darkness. 从旧约圣经的记载, “光”起源于混沌之初。由于大气中的水分子把太空中的X光(短波长)与微波(长波长)吸收, 只让特定频谱范围的光线(太阳光)照射到地球表面, 因此孕育了地球上亿万个依赖太阳能量的物种。 “光”是什么? 光具有波动(电磁波)及粒子(俗称光子,photon)两种特性, 例如短波 长的X-光会被电子散射的现象,必须以粒子理论来解释。当把光当成电磁波的时候, 可以用三个物理量来描述它的性质, 这三个物理量分别是波向量(k)、电场(E)及磁场(B)。图一简单地把三者之间的关系, 以三个互相垂直的向量来表示?并且以电磁正弦振荡(sinusoidal oscillation)的波长(wave length)来表示光的能量。图二以对数指标列出各种不同波长(或频率)的电磁波, 其中波长在4x10-5到8x10-5公分(400~800 nm)之间的电磁波称为可见光。 随着半导体科技的突飞猛进, 光电工业开发了大量的消费产品, 进入了我们每一个人的生活。表一把光电产品依据照明、电子装置及雷射等分类,分别介绍各种光电技术及组件。各种光电组件除了充份运用各种半导体材料的光特性之外, 金属反射膜也扮演相当重要的地位。另外, 金属膜在传统光学组件中也是不可或缺的角色。利用金属的反射、半反射、分光、滤光等特性, 设计出不同的半反射镜、光线分割棱镜与中性光密滤光片等光学组件。

常用物质折射率

常用物质折射率表作者:金错刀 折射率 光学介质的一个基本参量。即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比 真空的折射率等于1,两种介质的折射率之比称为相对折射率。例如,第一介质的折射率为n1,第二介质的折射率为n2,则n21=n2/n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。于是折射定律可写成如下形式 n1sinθi=n2sinθt两种介质进行比较时,折射率较大的称光密介质,折射率较小的称光疏介质。 折射率与介质的电磁性质密切相关。根据电磁理论,,εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。折射率还与波长有关,称色散现象。手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的(通常是对钠黄光,波长为5893埃)。气体折射率还与温度和压强有关。空气折射率对各种波长的光都非常接近于1,例如空气在20℃,760毫米汞高时的折射率为1.00027。在工程光学中常把空气折射率当作1,而其他介质的折射率就是对空气的相对折射率。 介质的折射率通常由实验测定,有多种测量方法。对固体介质,常用最小偏向角法或自准直法;液体介质常用临界角法(阿贝折射仪);气体介质则用精密度更高的干涉法(瑞利干涉仪)。 常用物体折射率表 常用物体折射率表常用物体折射率表 材质IOR 值 空气1.0003 液体二氧化碳1.200 冰1.309 水(20度) 1.333 丙酮1.360 普通酒精1.360 30% 的糖溶液1.380

酒精1.329 面粉1.434 溶化的石英1.460 Calspar2 1.486 80% 的糖溶液1.490 玻璃1.500 玻璃,锌冠1.517 玻璃,冠1.520 氯化钠1.530 氯化钠(盐)1 1.544 聚苯乙烯1.550 石英2 1.553 翡翠1.570 轻火石玻璃1.575 天青石1.610 黄晶1.610 二硫化碳1.630 石英1 1.644 氯化钠(盐)2 1.644 重火石玻璃1.650 二碘甲烷1.740 红宝石1.770 兰宝石1.770 特重火石玻璃1.890 水晶2.000 钻石2.417 氧化铬2.705 氧化铜2.705 非晶硒2.920 碘晶体3.340

常用物体折射率表格

常用物体折射率表 [绝对折射率]: 光从真空射入介质发生折射时,入射角i与折射角r的正弦之比n叫做介质的“绝对折射率”,简称“折射率”。它表示光在介质中传播时,介质对光的一种特征。 [公式]:n=sin i/sin r=c/v 由于光在真空中传播的速度最大,故其他媒质的折射率都大于1。同一媒质对不同波长的光,具有不同的折射率;在对可见光为透明的媒质内,折射率常随波长的减小而增大,即红光的折射率最小,紫光的折射率最大。通常所说某物体的折射率数值多少(例如水为,水晶为,金刚石为,玻璃按成分不同而为~),是指对钠黄光(波长5893×10^-10米)而言。 [相对折射率]: 光从介质1射入介质2发生折射时,入射角θ1与折射角θ2的正弦之比n21叫做介质2相对介质1的折射率,即“相对折射率”。因此,“绝对折射率”可以看作介质相对真空的折射率。它是表示在两种(各向同性)介质中光速比值的物理量。 [公式]:n21=sinθ1/sinθ2=n2/n1=v1/v2 光学介质的一个基本参量。即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比 真空的折射率等于1,两种介质的折射率之比称为相对折射率。例如,第一介质的折射率为n1,第二介质的折射率为n2,则n21=n2/n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。于是折射定律可写成如下形式. n1sinθi=n2sinθt两种介质进行比较时,折射率较大的称光密介质,折射率较小的称光疏介质。 折射率与介质的电磁性质密切相关。根据电磁理论,εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。折射率还与波长有关,称色散现象。手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的(通常是对钠黄光,波长为5893埃)。气体折射率还与温度和压强有关。空气折射率对各种波长的光都非常接近于1,例如空气在20℃,760毫米汞高时的折射率为。在工程光学中常把空气折射率当作1,而其他介质的折射率就是对空气的相对折射率。 介质的折射率通常由实验测定,有多种测量方法。对固体介质,常用最小偏向角法或自准直法;液体介质常用临界角法(阿贝);气体介质则用精密度更高的干涉法(瑞利干涉仪)。 常用物体折射率表 空气玻璃,锌冠氯化钠(盐)2 液体二氧化碳玻璃,冠重火石玻璃 冰氯化钠二碘甲烷 水(20度) 氯化钠(盐)1 红宝石 丙酮聚苯乙烯兰宝石 普通酒精石英 2 特重火石玻璃 30% 的糖溶液翡翠水晶 酒精轻火石玻璃钻石 面粉天青石氧化铬 溶化的石英黄晶氧化铜 Calspar2 二硫化碳非晶硒 80% 的糖溶液石英1 碘晶体 玻璃

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 □实验背景介绍 椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。椭圆偏振测量的应用范围很广,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。结合计算机后,具有可手动改变入射角度、实时测量、快速数据获取等优点。 □实验原理 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常,设介质层为n1、n2、n3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉,如图(1-1) 图(1-1) 这里我们用2δ表示相邻两分波的相位差,其中δ=2πdn2cosφ2/λ ,用r1p、r1s 表示光线的p分量、s分量在界面1、2间的反射系数,用r2p 、r2s表示光线的p分、s分量在界面2、3间的反射系数。由多光束干涉的复振幅计算可知:其中Eip和Eis 分别代表入射光波电矢量的p分量和s分量,Erp和Ers分别代表反射光波电矢量的p分量和s分量。现将上述Eip、Eis 、Erp、Ers四个量写成一个量G,即: 我们定义G为反射系数比,它应为一个复数,可用tgψ和Δ表示它的模和幅角。上述公式的过程量转换可由菲涅耳公式和折射公式给出: G是变量n1、n2、n3、d、λ、φ1的函数(φ2 、φ3可用φ1表示) ,即ψ=tg-1f,Δ=arg| f |,称ψ和Δ为椭偏参数,上述复数方程表示两个等式方程: [tgψe iΔ]的实数部分= 的实数部分 [tgψe iΔ]的虚数部分= 的虚数部分 若能从实验测出ψ和Δ的话,原则上可以解出n2和d (n1、n3、λ、φ1已知),根据公式(4)~(9),推导出ψ和Δ与r1p、r1s、r2p、r2s、和δ的关系: 由上式经计算机运算,可制作数表或计算程序。这就是椭偏仪测量薄膜的基本原理。若d是已知,n2为复数的话,也可求出n2的实部和虚部。那么,在实验中是如何测定ψ和Δ的呢?现用复数形式表示入射光和反射光:

材质常用物体折射率表

常用物体折射率表 常用物体折射率表常用物体折射率表 材质 IOR 值 空气 1.0003 液体二氧化碳 1.200 冰 1.309 水(20度) 1.333 丙酮 1.360 普通酒精 1.360 30% 的糖溶液 1.380 酒精 1.329 面粉 1.434 溶化的石英 1.460 Calspar2 1.486 80% 的糖溶液 1.490 玻璃 1.500 玻璃,锌冠 1.517 玻璃,冠 1.520 氯化钠 1.530 氯化钠(盐)1 1.544 聚苯乙烯 1.550 石英 2 1.553 翡翠 1.570 轻火石玻璃 1.575 天青石 1.610 黄晶 1.610 二硫化碳 1.630 石英 1 1.644 氯化钠(盐)2 1.644 重火石玻璃 1.650 二碘甲烷 1.740 红宝石 1.770 兰宝石 1.770 特重火石玻璃 1.890

水晶 2.000 钻石 2.417 氧化铬 2.705 氧化铜 2.705 非晶硒 2.920 碘晶体 3.340 常用晶体及光学玻璃折射率表 物质名称分子式或符号折射率 熔凝石英 SiO2 1.45843 氯化钠 NaCl 1.54427 氯化钾 KCl 1.49044 萤石 CaF2 1.43381 冕牌玻璃 K6 1.51110 K8 1.51590 K9 1.51630 重冕玻璃 ZK6 1.61263 ZK8 1.61400 钡冕玻璃 BaK2 1.53988 火石玻璃 F1 1.60328 钡火石玻璃 BaF8 1.62590 重火石玻璃 ZF1 1.64752 ZF5 1.73977 ZF6 1.75496 液体折射率表 物质名称分子式密度温度℃折射率丙醇 CH3COCH3 0.791 20 1.3593 甲 CH3OH 0.794 20 1.3290 乙 C2H5OH 0.800 20 1.3618 苯 C6H6 1.880 20 1.5012 二硫化碳 CS2 1.263 20 1.6276 四氯化碳 CCl4 1.591 20 1.4607 三氯甲烷 CHCl3 1.489 20 1.4467 乙醚 C2H5?0?C2H5 0.715 20 1.3538 甘油 C3H8O3 1.260 20 1.4730 松节油 0.87 20.7 1.4721 橄榄油 0.92 0 1.4763

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率

椭偏仪测量薄膜厚度和折射率 近代科学技术中对各种薄膜的研究和应用日益广泛。因此,能够更加迅速和精确地测量薄膜的光学参数例如厚度和折射率已变得非常迫切。 在实际工作中可以利用各种传统的方法来测定薄膜的光学参数,如布儒斯特角法测介质膜的折射率,干涉法测膜。另外,还有称重法、X 射线法、电容法、椭偏法等等。其中,椭圆偏振测量(椭偏术)是研究两媒质界面或薄膜中发生的现象及其特性的一种光学方法,其原理是利用偏振光束在界面或薄膜上的反射或透射时出现的偏振变换。因为椭偏法具有测量精度高,灵敏度高,非破坏性等优点,已广泛用于各种薄膜的光学参数测量,如半导体、光学掩膜、圆晶、金属、介电薄膜、玻璃(或镀膜)、激光反射镜、大面积光学膜、有机薄膜等,也可用于介电、非晶半导体、聚合物薄膜、用于薄膜生长过程的实时监测等测量。 实验目的 了解椭圆偏振测量的基本原理,并掌握一些偏振光学实验技术。 实验原理 光是一种电磁波,是横波。电场强度E 、磁场强度H 和光的传播方向构成一个右旋的正交三矢族。光矢量存在着各种方位值。与光的强度、频率、位相等参量一样,偏振态也是光的基本量之一。 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后,光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常,设介质层为n 1、n 2、n 3,φ1为入射角,那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉。 这里我们用2δ表示相邻两分波的相位差,其中222cos /dn δπφλ=,用r 1p 、 r 1s 表示

光线的p 分量、s 分量在界面1、2间的反射系数, 用r 2p 、r 2s 表示光线的p 分量、s 分量在界面2、3间的反射系数。 由多光束干涉的复振幅计算可知: 2122121i p p rp ip i p p r r e E E r r e ?δ --+= + (1) 2122121i s s rs is i s s r r e E E r r e ?δ --+= + (2) 其中E ip 和E is 分别代表入射光波电矢量的p 分量和s 分量,E rp 和E rs 分别代表反射光波电矢量的p 分量和s 分量。现将上述E ip 、E is 、E rp 、E rs 四个量写成一个量G ,即: 221212221212//11i i rp rs p p i s s i i ip is p p s s E E r r e r r e G tg e E E r r e r r e ??δ δ ψ--? --++= == ? ++ (3) 我们定义G 为反射系数比,它应为一个复数,可用tgψ和Δ表示它的模和幅角。上述公式的过程量转换可由菲涅耳公式和折射公式给出: (4) (5) (6) (7) (8) (9) G 是变量n 1、n 2、n 3、d 、λ、φ1的函数(φ2 、φ3可用φ1表示) ,称ψ和Δ为椭偏参数,上述复数方程(3)可表示两个等式方程: []i tg e ψ? 的实数部分=221212221212[ ]11i i p p s s i i p p s s r r e r r e r r e r r e ??δ δ ----++? ++的实数部分 []i tg e ψ? 的虚数部分=221212221212[ ]11i i p p s s i i p p s s r r e r r e r r e r r e ??δ δ ----++? ++的虚数部分 若能从实验测出ψ和Δ的话,原则上可以解出n 2和d (n 1、n 3、λ、φ1已知),根据公式(4)~(9),推导出ψ和Δ与r 1p 、r 1s 、r 2p 、r 2s 、和δ的关系: 2 2 22 12121/2 12122 2 2 2 121212122cos 212cos 2[ ] 12cos 22cos 2p p p p s s s s p p p p s s s s r r r r r r r r tg r r r r r r r r δδψδ δ ++++=? ++++ (10) 2 2 211 1 212 22212211221(1)sin 2(1)sin 2(1)(1)cos 2(1)(1)cos 2p p s s p p p p s s s s r r r r tg tg r r r r r r r r δδδ δ ------?=-++++++ (11) 12112211223223322311122112222233223322 112233 (cos cos )/(cos cos )(cos cos )/(cos cos )(cos cos )/(cos cos )(cos cos )/(cos cos )24cos /cos cos cos p p s s r n n n n r n n n n r n n n n r n n n n dn n n n ????????????????δπ?λ ???=-+?? =-+??=-+?? =-+===?????

常用物体折射率表

https://www.360docs.net/doc/3614144434.html,/xiaoyuhanfeng/blog/item/8c8c7a13635ebc946538dbb7. html 常用物体折射率表 空气 1.0003 玻璃,锌冠 1.517 氯化钠(盐)2 1.644 液体二氧化碳 1.200 玻璃,冠 1.520 重火石玻璃 1.650 冰 1.309 氯化钠 1.530 二碘甲烷 1.740 水(20度) 1.333 氯化钠(盐)1 1.544 红宝石 1.770 丙酮 1.360 聚苯乙烯 1.550 兰宝石 1.770 普通酒精 1.360 石英 2 1.553 特重火石玻璃 1.890 30% 的糖溶液 1.380 翡翠 1.570 水晶 2.000 酒精 1.329 轻火石玻璃 1.575 钻石 2.417 面粉 1.434 天青石 1.610 氧化铬 2.705 溶化的石英 1.460 黄晶 1.610 氧化铜 2.705 Calspar2 1.486 二硫化碳 1.630 非晶硒 2.920 80% 的糖溶液 1.490 石英 1 1.644 碘晶体 3.340 玻璃 1.500 常用晶体及光学玻璃折射率表 物质名称分子式或符号折射率重冕玻璃ZK6 1.61263 熔凝石英SiO2 1.45843 重冕玻璃ZK8 1.61400 氯化钠NaCl 1.54427 钡冕玻璃BaK2 1.53988 氯化钾KCl 1.49044 火石玻璃F1 1.60328 萤石CaF2 1.43381 钡火石玻璃BaF8 1.62590 冕牌玻璃K6 1.51110 重火石玻璃ZF1 1.64752 冕牌玻璃K8 1.51590 重火石玻璃ZF5 1.73977 冕牌玻璃K9 1.51630 重火石玻璃ZF6 1.75496 晶体的折射率no和ne表(注:no、ne分别是晶体双折射现象中的“寻常光”的折射率和“非常光”的折射率。) 分子式no ne 物质名称 冰H20 1.313 1.309 氟化镁MgF2 1.378 1.390

常用物体折射率Valori IOR

常用物体折射率表 材质IOR 值空气 1.0003 液体二氧化碳 1.200 冰 1.309 水(20度) 1.333 丙酮 1.360 普通酒精 1.360 30% 的糖溶液 1.380 酒精 1.329 面粉 1.434 溶化的石英 1.460 Calspar2 1.486 80% 的糖溶液 1.490 玻璃 1.500 玻璃,锌冠 1.517 玻璃,冠 1.520 氯化钠 1.530 氯化钠(盐)1 1.544 聚苯乙烯 1.550 石英 2 1.553 翡翠 1.570 轻火石玻璃 1.575 天青石 1.610 黄晶 1.610 二硫化碳 1.630 石英 1 1.644 氯化钠(盐)2 1.644 重火石玻璃 1.650 二碘甲烷 1.740 红宝石 1.770 兰宝石 1.770 特重火石玻璃 1.890 水晶 2.000 钻石 2.417 氧化铬 2.705 氧化铜 2.705 非晶硒 2.920 碘晶体 3.340 常用晶体及光学玻璃折射率表

物质名称分子式或符号折射率熔凝石英SiO2 1.45843氯化钠NaCl 1.54427氯化钾KCl 1.49044萤石CaF2 1.43381 冕牌玻璃K6 1.51110 K8 1.51590 K9 1.51630 重冕玻璃ZK6 1.61263 ZK8 1.61400 钡冕玻璃BaK2 1.53988火石玻璃F1 1.60328钡火石玻璃BaF8 1.62590 重火石玻璃 ZF1 1.64752 ZF5 1.73977 ZF6 1.75496液体折射率表 物质名称分子式密度温度?折射率丙醇CH3COCH30.79120 1.3593甲醇CH3OH0.79420 1.3290乙醇C2H5OH0.80020 1.3618苯C6H6 1.88020 1.5012二硫化碳CS2 1.26320 1.6276四氯化碳CCl4 1.59120 1.4607三氯甲烷CHCl3 1.48920 1.4467乙醚C2H5·0·C2H50.71520 1.3538甘油C3H8O3 1.26020 1.4730松节油0.8720.7 1.4721橄榄油0.920 1.4763水H2O 1.0020 1.3330 晶体的折射率n o和n e表 物质名称分子式n o n e 冰H20 1.313 1.309氟化镁MgF2 1.378 1.390石英Si02 1.544 1.553氯化镁MgO·H2O 1.559 1.580

常用物质折射率

常用物质折射率

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常用物质折射率表作者:金错刀 折射率 光学介质的一个基本参量。即光在真空中的速度c与在介质中的相速v之比 真空的折射率等于1,两种介质的折射率之比称为相对折射率。例如,第一介质的折射率为n1,第二介质的折射率为n2,则n21=n2/n1称为第二介质对第一介质的相对折射率。某介质的折射率也是该介质对真空的相对折射率。于是折射定律可写成如下形式 n1sinθi=n2sinθt两种介质进行比较时,折射率较大的称光密介质,折射率较小的称光疏介质。 折射率与介质的电磁性质密切相关。根据电磁理论,,εr和μr分别为介质的相对电容率和相对磁导率。折射率还与波长有关,称色散现象。手册中提供的折射率数据是对某一特定波长而言的(通常是对钠黄光,波长为5893埃)。气体折射率还与温度和压强有关。空气折射率对各种波长的光都非常接近于1,例如空气在20℃,760毫米汞高时的折射率为1.00027。在工程光学中常把空气折射率当作1,而其他介质的折射率就是对空气的相对折射率。 介质的折射率通常由实验测定,有多种测量方法。对固体介质,常用最小偏向角法或自准直法;液体介质常用临界角法(阿贝折射仪);气体介质则用精密度更高的干涉法(瑞利干涉仪)。 常用物体折射率表 常用物体折射率表常用物体折射率表 材质IOR 值 空气1.0003 液体二氧化碳1.200 冰1.309 水(20度) 1.333 丙酮1.360 普通酒精1.360 30% 的糖溶液1.380

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