堡垒机工作原理

堡垒机工作原理
堡垒机工作原理

1 前言

当今的时代是一个信息化社会,信息系统已成为各企事业单位业务运营的基础,由于信息系统运维人员掌握着信息系统的最高权限,一旦运维操作出现安全问题将会给企业或单位带来巨大的损失。因此,加强对运维人员操作行为的监管与审计是信息安全发展的必然趋势。在此背景之下,针对运维操作管理与审计的堡垒机应运而生。堡垒机提供了一套多维度的运维操作控管控与审计解决方案,使得管理人员可以全面对各种资源(如网络设备、服务器、安全设备和数据库等)进行集中账号管理、细粒度的权限管理和访问审计,帮助企业提升内部风险控制水平。

2 堡垒机的概念和种类

“堡垒”一词的含义是指用于防守的坚固建筑物或比喻难于攻破的事物,因此从字面的意思来看“堡垒机”是指用于防御攻击的计算机。在实际应用中堡垒机又被称为“堡垒主机”,是一个主机系统,其自身通常经过了一定的加固,具有较高的安全性,可抵御一定的攻击,其作用主要是将需要保护的信息系统资源与安全威胁的来源进行隔离,从而在被保护的资源前面形成一个坚固的“堡垒”,并且在抵御威胁的同时又不影响普通用户对资源的正常访问。

基于其应用场景,堡垒机可分为两种类型:

2.1 网关型堡垒机

网关型的堡垒机被部署在外部网络和内部网络之间,其本身不直接向外部提供服务而是作为进入内部网络的一个检查点,用于提供对内部网络特定资源的安全访问控制。这类堡垒机不提供路由功能,将内外网从网络层隔离开来,因此除非授权访问外还可以过滤掉一些针对内网的来自应用层以下的攻击,为内部网络资源提供了一道安全屏障。但由于此类堡垒机需要处理应用层的数据内容,性能消耗很大,所以随着网络进出口处流量越来越大,部署在网关位置的堡垒机逐渐成为了性能瓶颈,因此网关型的堡垒机逐渐被日趋成熟的防火墙、UTM、IPS、网闸等安全产品所取代。

2.2 运维审计型堡垒机

第二种类型的堡垒机是审计型堡垒机,有时也被称作“内控堡垒机”,这种类型的堡垒机也是当前应用最为普遍的一种。

运维审计型堡垒机的原理与网关型堡垒机类似,但其部署位置与应用场景不同且更为复杂。运维审计型堡垒机被部署在内网中的服务器和网络设备等核心资源的前面,对运维人员的操作权限进行控制和操作行为审计;运维审计型堡垒机即解决了运维人员权限难以控制混乱局面,又可对违规操作行为进行控制和审计,而且由于运维操作本身不会产生大规模的流

量,堡垒机不会成为性能的瓶颈,所以堡垒机作为运维操作审计的手段得到了快速发展。

最早将堡垒机用于运维操作审计的是金融、运营商等高端行业的用户,由于这些用户的信息化水平相对较高发展也比较快,随着信息系统安全建设发展其对运维操作审计的需求表现也更为突出,而且这些用户更容易受到“信息系统等级保护”、“萨班斯法案”等法规政策的约束,因此基于堡垒机作为运维操作审计手段的上述特点,这些高端行业用户率先将堡垒机应用于运维操作审计。

3 堡垒机运维操作审计的工作原理

作为运维操作审计手段的堡垒机的核心功能是用于实现对运维操作人员的权限控制与操作行为审计。

3.1 主要技术思路

如何实现对运维人员的权限控制与审计呢?堡垒机必须能够截获运维人员的操作,并能够分析出其操作的内容。堡垒机的部署方式,确保它能够截获运维人员的所有操作行为,分析出其中的操作内容以实现权限控制和行为审计的目的,同时堡垒机还采用了应用代理的技术。运维审计型堡垒机对于运维操作人员相当于一台代理服务器(Proxy Server),其工作流程如下图所示:

1) 运维人员在操作过程中首先连接到堡垒机,然后向堡垒机提交操作请求;

2) 该请求通过堡垒机的权限检查后,堡垒机的应用代理模块将代替用户连接到目标设备完成该操作,之后目标设备将操作结果返回给堡垒机,最后堡垒机再将操作结果返回给运维操作人员。

通过这种方式,堡垒机逻辑上将运维人员与目标设备隔离开来,建立了从“运维人员->堡垒机用户账号->授权->目标设备账号->目标设备”的管理模式,解决操作权限控制和行为审计问题的同时,也解决了加密协议和图形协议等无法通过协议还原进行审计的问题。

3.2 工作原理简介

下面就简单介绍一下堡垒机运维操作审计的工作原理,其工作原理示意图如下:

在实际使用场景中堡垒机的使用人员通常可分为管理人员、运维操作人员、审计人员三类用户。

管理员最重要的职责是根据相应的安全策略和运维人员应有的操作权限来配置堡垒机的安全策略。堡垒机管理员登录堡垒机后,在堡垒机内部,“策略管理”组件负责与管理员进行交互,并将管理员输入的安全策略存储到堡垒机内部的策略配置库中。

“应用代理”组件是堡垒机的核心,负责中转运维操作用户的操作并与堡垒机内部其他组件进行交互。“应用代理”组件收到运维人员的操作请求后调用“策略管理”组件对该操作行为进行核查,核查依据便是管理员已经配置好的策略配置库,如此次操作不符合安全策略“应用代理”组件将拒绝该操作行为的执行。

运维人员的操作行为通过“策略管理”组件的核查之后“应用代理”组件则代替运维人员连接目标设备完成相应操作,并将操作返回结果返回给对应的运维操作人员;同时此次操

慈星GE2-52C全电脑横编织机操作手册

前言 首先,感谢您选择了我公司生产的全电脑横编织机,为了让您安全、有效地使用全电脑横编织机,特编写此手册,以供参考。 在安装、操作、维护和检查之前请仔细阅读机器制造商的操作说明书和其他辅助文件,只有在您完全理解这一系统并熟悉操作步骤以后才能操作机器。 因产品升级、改良等而有可能产生本手册的记载内容与产品相异的情况;另外,本手册的记载内容有时也可能在未经预先通知的情况下更改,恕不另行通知。

目录 操作篇 一注意事项 1 关于机器安装、使用前的注意事项 (3) 2 关于安全操作的注意事项 (5) 3 关于维护的注意事项 (5) 二机器结构 1 机器外观图 (7) 2 编织幅宽参考值 (8) 3 机器主要组成部分 (9) 4 各动作三角的功能与图解 (10) 5 A、H、B位置图解 (11) 6 选针器与选针脚对应图解 (17) 7 针在针床中的排列 (18) 8 卷布系统 (18) 9 机头移出 (19) 10 毛刷 (20) 11 纱嘴 (21) 三机器基本操作 1 设定花版起始针 (22) 2 穿纱引线 (22) 3 夹线 (22) 四各页面操作使用说明 A 文件管理 (25) B 花型管理 (28) I 运行 (32) K 连续织造 (41) 维护篇 一各画面操作使用说明 C 系统参数 (42) D 工作参数 (53) E 机头测试 (57) F 机器测试 (59) G 系统升级 (64) H 帮助 (64) J 关闭电脑 (65) 二常见故障及排除方法 (66) 三横机电路图 (69)

操作篇 一注意事项 1 关于机器安装、使用前的注意事项 1.1 环境要求:为使机器处于良好的运作状态,请依据下列指示环境安置机台。

GPS接收机的结构和工作原理

GPS接收机的组成及工作原理 目录 第一节 GPS接收机的分类 第二节 GPS接收机组成及工作原理第三节 GPS接收机的构成 第四节注意事项 第五节常见问题及解决方法

第一节 GPS接收机的分类 根据GPS用户的不同要求,所需的接收设备各异。随着GPS定位技术的迅速发展和应用领域的日益扩大,许多国家都在积极研制、开发适用于不同要求的GPS接收机及相应的数据处理软件。 1、按用途分可分为: (1)导航型接收机:①车载型 ②航海型 ③航空型 ④星载型 (2)测地型接收机 (3) 授时型接收机 2、按接收机的载波频率分类(或者说按接受机的卫星信号频率分类) (1)单频接收机 (2)双频接收机 3、按接收机的通道数分类: (1)多通道接收机 (2)序贯通道接收机 (3)多路复用通道接收机 4、按工作原理分类: (1)码相关型接收机 (2)平方型接收机 (3)混合型接收机 (4)干涉型接收机 5、按接收卫星系统分类 (1)单星系统 (2)双星系统 (3)多星系统 6、按接收机的作业模式分类 (1)静态接收机 (2)动态接收机 7、按接收机的结构分类 (1)分体式接收机 (2)整体式接收机 (3)手持式接收机 目前生产GPS测量仪器的厂家有几十家,产品有几百种,但拥有较为成熟产品的不外乎几家,在我国测绘市场占有份额较大的有Trimble、Leica、Ashtech、Javad(Topcon)、Thales(DSNP)加拿大诺瓦太(NoVAteL)等。我国的南方测绘仪器公司和中海达测绘仪器公司也已经有了自己的GPS产品,北京、苏州光学仪器厂也已开始了GPS设备的研制与开发工作。

光刻原理

光 刻 工 艺 一、目的: 按照平面晶体管和集成电路的设计要求,在SiO 2或金属蒸发层上面刻蚀出与掩模板完全相对应的几何图形,以实现选择性扩散和金属膜布线的目的。 二、原理: 光刻是一种复印图象与化学腐蚀相结合的综合性技术,它先采用照像复印的方法,将光刻掩模板上的图形精确地复制在涂有光致抗蚀剂的SiO 2层或金属蒸发层上,在适当波长光的照射下,光致抗证剂发生变化,从而提高了强度,不溶于某些有机溶剂中,未受光照射的部分光致抗蚀剂不发生变化,很容易被某些有机溶剂溶解。然后利用光致抗蚀剂的保护作用,对SiO 2层或金属蒸发层进行选择性化学腐蚀,从而在SiO 2层或金属层上得到与光刻掩模板相对应的图形。 (一)光刻原理图 (一)光刻胶的特性: 1.性能,光致抗蚀剂是一种对光敏感的高分子化合物。当它受适当波长的光照射后就能吸收一定波长的光能量,使其发生交联、聚合或分解等光化学反应。由原来的线状结构变成三维的网状结构,从而提高了抗蚀能力,不再溶于有机溶剂,也不再受一般腐蚀剂的腐蚀. 2.组成:以KPR 光刻胶为例: 感光剂--聚乙烯醇肉桂酸酯。 溶 剂--环己酮。 增感剂--5·硝基苊, 3.配制过程: 将一定重量的感光剂溶解于环己酮里搅拌均匀,然后加入一定量的硝基苊,再继续揖拌均匀,静置于暗室中待用。 感光剂聚乙烯醇肉桂酸酯的感光波长为3800?以内,加入5·硝基苊后感光波长范围发生了变化从2600—4700 ?。 (二)光刻设备及工具: 在SiO 2层上涂复光刻胶膜 将掩模板覆盖 在光刻胶膜上 在紫外灯下曝光 显影后经过腐蚀得到光刻窗口

1.曝光机--光刻专用设备。 2.操作箱甩胶盘--涂复光刻胶。 3.烘箱――烤硅片。 4.超级恒温水浴锅--腐蚀SiO2片恒温用。 5.检查显为镜――检查SiO2片质量。 6.镊子――夹持SiO2片。 7.定时钟――定时。 8.培养皿及铝盒――装Si片用。 9.温度计――测量温度。 图(二)受光照时感光树脂分子结构的变化 三、光刻步骤及操作原理 1.涂胶:利用旋转法在SiO2片和金属蒸发层上,涂上一层粘附性好、厚度适当、均匀的光刻胶。 将清洁的SiO2片或金属蒸发片整齐的排列在甩胶盘的边缘上,然后用滴管滴上数滴光刻胶于片子上,利用转动时产生的离心力,将片子上多余的胶液甩掉,在光刻胶表面粘附能力和离心力的共同作用下形成厚度均匀的胶膜。 涂胶时间约为1分钟。 要求:厚度适当(观看胶膜条纹估计厚薄),胶膜层均匀,粘附良好,表面无颗粒无划痕。 图(三)光刻工艺流程示意图

电梯曳引机分析解析

电梯曳引机是电梯的动力设备,又称电梯主机。功能是输送与传递动力使电梯运行。它由电动机、制动器、联轴器、减速箱、曳引轮、机架和导向轮及附属盘车手轮等组成。导向轮一般装在机架或机架下的承重梁上。盘车手轮有的固定在电机轴上,也有平时挂在附近墙上,使用时再套在电机轴上。 一.按减速方式分类 1.有齿轮曳引机:拖动装置的动力,通过中间减速器传递到曳引轮上的曳引机,其中的减速箱通常采用蜗 曳引机 轮蜗杆传动(也有用斜齿轮传动),这种曳引机用的电动机有交流的,也有直流的,一般用于低速电梯上。曳引比通常为35:2。如果曳引机的电动机动力是通过减速箱传到曳引轮上的,称为有齿轮曳引机,一般用于2.5m/s以下的低中速电梯。 2.无齿轮曳引机:拖动装置的动力,不用中间的减速器而是直接传递到曳引轮上的曳引机。以前这种曳引机大多是直流电动机为动力,现在国内已经研发出来有自主知识产权的交流永磁同步无齿轮曳引机。曳引比通常是2:1和1:1。载重320kg~2000kg,梯速0.3m/s~4.00m/s。若电动机的动力不通过减速箱而直接传动到曳引轮上则称为无齿轮曳引机,一般用于2.5m/s以上的高速电梯和超高速电梯。 3.柔性传动机构曳引机 二.按驱动电动机分类 1,直流曳引机又可分为直流有齿曳引机和直流无齿曳引机. 2.交流曳引机又可分为交流有齿曳引机、交流无齿曳引机和永磁曳引机.其中交流曳引机还可细分为:蜗杆副曳引机、圆柱齿轮副曳引机、行星齿轮副曳引机、其他齿轮副曳引机。 三.按用途分类 ⒈双速客货电梯曳引机 ⒉VVVF客梯曳引机 ⒊杂货曳引机 ⒋无机房曳引机 ⒌车辆电梯曳引机 四.按速度高低分类 ⒈低速度曳引机(ν<1米/秒) ⒉中速曳引机(快速曳引机)(ν=1米/秒~2米.秒) ⒊高速曳引机(ν=2米/秒~5米/秒) ⒋超高速曳引机(ν>5米/秒) 五.按结构形式分类 ⒈卧式曳引机 ⒉立式曳引机 2工作原理编辑 曳引式电梯曳引驱动关系如图2—2所示。安装在机房的电动机与减速箱、制动器等组成曳引机,是曳引驱

接收机综述

接收机要求指标大致为:噪声系数,灵敏度,线性度,动态范围,内部杂散等。 接收机大致原理图如下: 带通滤波器:(抑制杂散,减小本振泄漏对天线与系统电路产生的相应) LNA:在线性恶化的前提下提供一定增益,以抑制后续电路的噪声(要求低噪声

系数,合适的增益,高的三阶互调截点以及低的功耗) 镜像抑制滤波器: MIXER:是接收机中输入射频信号最强的模块(线性度尤为重要,高的三阶互调截点,同时要求低的噪声系数) 中频滤波器:抑制相邻信道干扰,提高选择性。 接收机的主要结构类型:1.超外差接收机结构 2.零中频接收机 3.镜频抑制接收机 4.低中频接收机 超外差接收机: 超外差接收机结构 超外差将射频输入信号与本地振荡器产生的信号相乘 优点:在低中频上实现相对带宽较窄,矩形系数较高的中频滤波器,以提高接收机的选择性,而且增益可以中频获得,降低了射频和实现高增益的难度,当射频信号频率上升到微波甚至毫米波时,可采用二次变频方法以降低滤波器实现的难度,保证接收机的选择性。 优点总结:提高了接收机的选择性,降低了射频级实现高增益的难度 缺点:结构复杂,模拟器件多,体积,重量方面不令人满意。当接收信号的频率较高时,VCO的设计变得困难 总结:对中频结构接收机,要面临镜像频率干扰,因此合理选择中频与高质量的带通滤波器对于滤除镜像频率十分重要。 镜频抑制接收机结构:Hartley与Weaver

Hartley 假如有用信号t w V s S cos 与其镜像信号t w V t t cos 同时进入信道。即: t w V t w V t V t t s S i cos cos )(+= 则图中上之路与下之路分别为: t w t w V t w V t V LO t t s S a sin )cos cos ()(+= t w V t w V IF t IF S sin 2 sin 2-= t w t w V t w V t V LO t t s S a cos )cos cos ()(+= t w V t w V IF t IF S cos 2 cos 2+= 则上下两之路信号合成中频输出:t w V V IF S IF cos = 因此除去了镜像信号,保留了有用信号 Weaver 镜像抑制结构: :

卫星数字电视接收机的工作原理

卫星数字电视接收系统一般由接收天线(包括馈源)、低噪声下变频器(高频头LNB)和卫星数字电视接收机三部分组成:其中天线、高频头称室外单元:卫星数字电视接收机称室内单元,或称综合解码接收机(即IRD),是当代计算机技术、数字通信技术和微电子技术融合的结晶。 1 IRD的功能框图 IRD的一般功能框图如图1所示。由图可知,一个典型的IRD包括:调谐器、第二中频信号解调、信道解码、MPEG一2传输流解复用、MPEG一2音/视频解码和模拟音/视频信号处理。 2.信道接收模块 c波段或Ku波段的卫星下行信号由犬线接收,经过LNB放大和下变频,形成950~2050 MHz第一中频信号,经电缆送到IRD的调谐器,高频调谐器根据所需接收的频率,通过PLL(锁相环)环路控制本机振荡器频率,把输入信号变频成第二中频(479.5 MHz)信号,送到正交检相器分解出I、Q两路模拟信号,经过A/D转换器再把这两路模拟信号分别转换成6比特的并行数字信号,进入QPSK解调电路和信道纠错 电路。 QPSK解调器的核心部分起到载波恢复、寻址、位同步、反混叠、匹配滤波和自动增益控制(AGC)作用。 Butterworth型匹配滤波器用米完成升余弦滚降形状的脉冲形成滤波变换(α=O.35DVB或α=O.20DS S,DVB数字视频广播,DSS数字卫星业务)。

信道纠错部分包括:Viterbi卷积(1/2,2/3,3/4,5/6,6/7 和7/8,K=7)和RS解码(204、188DVB)。Viterbi解码可对误码率(BER)为10^-4~10^-2的数据流进行纠错,以达到RFR为10-4。RS解码主要对突发性片状误码进行纠错,以达到BER优于10^-10的结果,最后输出符合MPEG一2标准的传输流(TS),每个数据包为188个字节。早期的信道接收模块由两片集成电路完成,如国产的xo wJ—1型IRD由集成电路STV0190完成双路A/D变换,由集成电路sTV0196完成QPSK解调及前向纠错FEc,目前已将上述两块集成电路功能合成到一块芯片,如:STVD0199,ODM8511等。 3.解复用模块 TS码流是一种多路节目数据包(包含视频、音频和数据信息),按MPEG协议复接而成的数据流。因此,在解码前,要先对Ts流进行解复用,根据所要收视节目的包识别号(PID)提取出相应的视频、音频和数据包,恢复出符合MPEG标准的打包的节目基本流(PES)。 解复用芯片内部集成了32个用户可编程的PID滤波器。其中1个用于视频PID,1个用于音频PID,余下的30个可用于节目特殊信息(PSI)、服务信息(SI)和专用数据的滤波。PID处理分两个步骤: (1)PID预处理:仅进行PID匹配选择,过滤掉那些PID值不匹配的包,挑出所需收视节目的数据包。 (2)PID后处理:进行传输流(TS)层错误检查(包括包丢失、PID不连续性等),同时滤除传输包的包头和 调整段,找出有效载荷,按一定次序连接,组合成F'ES流。

投影光刻机对准系统功能原理

投影光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm(正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描 ±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL 光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL 光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,

电线编织机编织工安全操作规程通用版

操作规程编号:YTO-FS-PD237 电线编织机编织工安全操作规程通用 版 In Order T o Standardize The Management Of Daily Behavior, The Activities And T asks Are Controlled By The Determined Terms, So As T o Achieve The Effect Of Safe Production And Reduce Hidden Dangers. 标准/ 权威/ 规范/ 实用 Authoritative And Practical Standards

精品规程范本 编号:YTO-FS-PD237 2 / 2 电线编织机编织工安全操作规程通 用版 使用提示:本操作规程文件可用于工作中为规范日常行为与作业运行过程的管理,通过对确定的条款对活动和任务实施控制,使活动和任务在受控状态,从而达到安全生产和减少隐患的效果。文件下载后可定制修改,请根据实际需要进行调整和使用。 1.开车前,操作工必须检查机器的防护装置是否完好。 2.机器在运转过程中,不得在运转部位进行加油、擦设备、隔着设备传递物品或进行任何修理工作。 3.机器运转中不得用手和其他物件去撞触机器的转动部分,也不准将身体靠在设备上。 4.生产中机器不正常或发生事故,必须立即停车进行处理。 5.不得将工具及杂物放在设备上。设备附近不得放置物品,应保持通道畅通。线盘废线应放在指定的地方。 ——摘自《机械工人安全技术操作规程》 该位置可输入公司/组织对应的名字地址 The Name Of The Organization Can Be Entered In This Location

编织机16

沈阳新长城电缆有限公司 安全技术操作规程 Q/XCC-SB-16 HGSB-24A编织机 2010-03-01发布 2010-03-15实施沈阳新长城电缆有限公司生产技术部

1.设备用途和适用范围 1.1设备用途 本生产线主要将铜丝编织在电线电缆上。 1.2适用范围 1.2.1最大编织外经:14㎜ 1.2.2编织金属丝直径:0.1-0.2㎜ 2.设备组成:放线架、导向轮、收线架、电控装置、主电机、光电计米器、纵包带盘等组成。 3.主要性能及技术参数 3.1编织方式:2×2迭 3.2编织方向:垂直 3.3上锭数量:8/12只 下锭数量:8/12只 3.4锭子转速:10-150转/分 3.5编织节距范围:3.2~32.5或6.4~65㎜ 3.6最大线速度:585m/h 3.7放线张力范围:0.6-6.5牛顿 3.8纵包带盘直径:280㎜ 3.9主电机功率:3KW 收线电机功率:0.2KW 4. 设备操作规程 4.1操作设备必须熟读设备说明书,熟悉设备性能、结构,按润滑要求加油。 4.2根据线缆的直径及工艺规程,查阅节距表,选择并好的铜丝进行上盘。 4.3将选择好的铜丝或包带装于相应位置,并锁紧盘具,同时装好收线盘,调整好放线张力。 4.4触摸屏操作 4.4.1.1 “主菜单” 4.4.2主菜单 4.4.2.1主菜单上有计米显示、时间、机器转速和各种功能的工作显示,主机的调速及各菜单的切换功能显示。 4.4.2.2当需要给定转速时,可轻触主菜单中“+”、“-”之间的数字键,此时画 如需要50%的主机给定量,则 输入50”键,则设定量为50%,所对应的主机转速为70%转/分, -1-

曳引机

曳引机 电梯曳引机是电梯的动力设备,又称电梯主机。功能是输送与传递动力使电梯运行。它由电动机、制动器、联轴器、减速箱、曳引轮、机架和导向轮及附属盘车手轮等组成。导向轮一般装在机架或机架下的承重梁上。盘车手轮有的固定在电机轴上,也有平时挂在附近墙上,使用时再套在电机轴上。 分类编辑 一.按减速方式分类 1.有齿轮曳引机:拖动装置的动力,通过中间减速器传递到曳引轮上的曳引机,其中的减速箱通常采用蜗 曳引机 轮蜗杆传动(也有用斜齿轮传动),这种曳引机用的电动机有交流的,也有直流的,一般用于低速电梯上。曳引比通常为35:2。如果曳引机的电动机动力是通过减速箱传到曳引轮上的,称为有齿轮曳引机,一般用于2.5m/s以下的低中速电梯。 2.无齿轮曳引机:拖动装置的动力,不用中间的减速器而是直接传递到曳引轮上的曳引机。以前这种曳引机大多是直流电动机为动力,现在国内已经研发出来有自主知识产权的交流永磁同步无齿轮曳引机。曳引比通常是2:1和1:1。载重320kg~2000kg,梯速0.3m/s~4.00m/s。若电动机的动力不通过减速箱而直接传动到曳引轮上则称为无齿轮曳引机,一般用于2.5m/s 以上的高速电梯和超高速电梯。 3.柔性传动机构曳引机 二.按驱动电动机分类 1,直流曳引机又可分为直流有齿曳引机和直流无齿曳引机. 2.交流曳引机又可分为交流有齿曳引机、交流无齿曳引机和永磁曳引机.其中交流曳引机还可细分为:蜗杆副曳引机、圆柱齿轮副曳引机、行星齿轮副曳引机、其他齿轮副曳引机。三.按用途分类 ⒈双速客货电梯曳引机 ⒉VVVF客梯曳引机 ⒊杂货曳引机

⒋无机房曳引机 ⒌车辆电梯曳引机 四.按速度高低分类 ⒈低速度曳引机 (ν<1米/秒) ⒉中速曳引机(快速曳引机)(ν=1米/秒~2米.秒) ⒊高速曳引机(ν=2米/秒~5米/秒) ⒋超高速曳引机(ν>5米/秒) 五.按结构形式分类 ⒈卧式曳引机 ⒉立式曳引机 2工作原理编辑 曳引式电梯曳引驱动关系如图2—2所示。安装在机房的电动机与减速箱、制动器等组成曳引机,是曳引驱 曳引机 动的动力。曳引钢丝绳通过曳引轮一端连接轿厢,一端连接对重装置。为使井道中的轿厢与对重各自沿井道中导轨运行而不相蹭,曳引机上放置一导向轮使二者分开。轿厢与对重装置的重力使曳引钢丝绳压紧在曳引轮槽内产生摩擦力。这样,电动机转动带动曳引轮转动,驱动钢丝绳,拖动轿厢和对重作相对运动。即轿厢上升,对重下降;对重上升,轿厢下降。于是,轿厢在井道中沿导轨上、下往复运行,电梯执行垂直运送任务。 轿厢与对重能作相对运动是靠曳引绳和曳引轮间的摩擦力来实现的。这种力就叫曳引力或驱动力。运行中电梯轿厢的载荷和轿厢的位置以及运行方向都在变化。为使电梯在各种情况下都有足够的曳引力,国家标准GB 7588—1995《电梯制造与安装安全规范》规定: 曳引条件必须满足:T1/T2×C1×C2≤efα 式中:T1/T2——为载有125%额定载荷的轿厢位于最低层站及空轿厢位于最高层站的两种情况下,曳引轮两边的曳引绳较大静拉力与较小静拉力之比。 C1——与加速度、减速度及电梯特殊安装情况有关的系数,一般称为动力系数 C2——由于磨损导致曳引轮槽断面变化的影响系数(对半圆或切口槽:C2=1,对V型槽: C2=1.2)。

光接收机的结构和原理

光接收机的结构和原理 2009-08-31 20:20:03| 分类:电子通信时代| 标签:|字号大中小订阅 在有线电视HFC网络中,光接收机通常位于光纤接点和有线电视的前端位置,它的主要功能是把光信号转变为RF信号,前面已经详细讲述了光探测器、光接收组件的原理及应用。光探测器是实现光/电转换的关键部件,其质量的优劣决定了光接收机的性能指标与档次,光接收组件是光探测器与前置放大器的组合,在光接收机中,无论是分离组件还是一体组件,该部分的成本比重都比较大,与光发射机的激光器一样,不仅决定了光接收机的性能指标,还将决定光接收机的价格。光接收的整机组成主要由光接收组件、功率放大模块及其附属功能电路组成,除光接收组件外,功率放大模块是光接收机的第二大核心元件。即使是采用相同的组件,由于采用不同档次、不同价位的放大模块组合,整机也会有显著不同。有线电视技术发展到今天,光接收机采用分离元件制作放大模块已不多见,基本上全采用集成一体化组件结构。该结构模块大多属于厚膜集成电路,它是用丝网印刷和烧结等工艺在同一陶瓷基片上制作无源网源,并在其上组装分立的半导体芯片或单片集成电路、放大三极管管芯等,另外再外加塑料密封,防止潮气、杂质的进入。 一、光接收机常用的放大模块介绍 能用于光接收机的模块有众多型号,排除品牌命名的差异,根据放大模块的增益划分有14dB、18dB、20dB、22dB、27dB等,用于单模块放大器的34dB的放大模块在光接收机中少有应用,当然也不排除低档光接收机应用的可能。根据放大模块具体放大电路结构的不同划分:有推挽放大模块、功率倍增放大模块两种,而根据放大元件工艺的不同,放大模块又分为硅放大工艺、砷化镓工艺两种,在光接收机中采用的模块的命名,一般以推挽和功率倍增为主要区分,同时附加增益的差异与器件工艺,如果不说是砷化镓工艺模块 则所说的放大模块一般都是指硅工艺。 1.推挽放大模块的原理及结构。在实用的放大电路中,三极管的集电极并非总有电流流过,根据集中极电流导通时间的长短,通常把放大器分成甲类、乙类、丙类等。在输入信号的整个周期中都有电流流过集电极的放大器称为甲类放大器;只有在输入信号的半个周期内有集中极电流的放大器称为乙类放大器;在小于输入信号半个周期内有集中极电流的放大器称为丙类放大器。在许多实用的放大电路中,为了提高放大效率通常都需要把工作点移到截止区,即采用半周导通的乙类工作状态,这时若仍采用一个晶体管,输出信号中将只出现一半波形,将发生严重的截止失真。为了解决这个问题,可采用两只特性完全相同的晶体管,使其中一只晶体管在正半周导通,另一晶体管在负半周导通,最后在负载上合成完整波形,这就是推 挽放大电路。下图是推挽放大电路的结构示意图: 输入信号经过高频传输变压器B1,反相加在晶体管VT1和VT2上,被放大后各自在半个周期内产生半个波,在变压器B2上反相叠加,重新合成完整波形输出,由于输出信号反相叠加,其中的直流分量和非线性失真中的偶次谐波互相抵消。降低了直流工作点,使变压器中流过电流减少,从而体积可以做得较小,进一步提高了放大器的输出功率和效率;更为重要的是,偶次谐波的抵消,减少了放大器的非线性失真,对提高有线电视系统的非线性失真指标具有重要意义。在实际应用中,通常采用两组推挽电路并接的方法,构成桥式结构,则每级推挽电路在负载上的直流电压可抵消,从而简化电路结构。在推挽电路中,两个极性相同晶体管的特性应尽可能一致,两个极性相反晶体管的特性应尽可能互补,才能最大限度的抵消输出信号中的偶次谐波失真,若在电电路中引入负反馈,非线性失真还可进一步减小。 下图是商用化模块常采用的电路结构。 该模块用了共射——共基极放大推挽输出,4个NPN型晶体管两两接成共射—共基极组合放大电路,它们再通过输入、输出变压器接成推挽电路。共射—共基电路的特点是:简单高效,在选定最佳e极电流的情况下,此电路能有效的减小集电极非线性及e—b结非线性。此电路采用低射极电阻和高并联电阻取得高增益,又由于采用了低噪声晶体管使模块的噪声系数降到了尽可能低的程度。总之该电路集中了共射—共基

光刻机和光掩膜版

十三章 光刻II 光刻机和光掩膜版 前几章讲述了光刻胶材料的性质和工艺技术。在这一章里,我们介绍如何将图形转移到硅片表面上,包括以下内容:a)将图形投影到硅片表面的装置(即光刻对准仪或光刻翻版机),由此使得所需图形区域的光刻胶曝光。 b)将图形转移到涂有光刻胶的硅片上的工具(即光掩模版和中间掩模版)。在介绍光刻机或掩模版之前,把用以设计和描述操作光刻机的光学原理简要地说明一下。它们是讲明光掩模板和中间掩模版的基础。 在讨论光学原理之前,有必要介绍一下微光刻硬件的关键。那就是把图形投影到硅表面的机器和掩模版的最重要的特征:a)分辨率、b)图形套准精度、c)尺寸控制、d)产出率。 通常,分辨律是指一个光学系统精确区分目标的能力。特别的,我们所说的微图形加工的最小分辨率是指最小线宽尺寸或机器能充分打印出的区域。然而,和光刻机的分辨率一样,最小尺寸也依赖于光刻胶和刻蚀的技术。关于分辨率的问题将在微光刻光学一章中更彻底的讲解,但要重点强调的是高分辨率通常是光刻机最重要的特性。 图形套准精度是衡量被印刷的图形能“匹配”前面印刷图形的一种尺度。由于微光刻应用的特征尺寸非常小,且各层都需正确匹配,所以需要配合紧密。

微光刻尺寸控制的要求是以高准度和高精度在完整硅片表面产生器件特征尺寸。为此,首先要在图形转移工具〔光刻掩模版〕上正确地再造出特征图形,然后再准确地在硅片表面印刷出〔翻印或刻蚀〕。 加工产率是重要但 不是最重要加工特征。例 如,如果一个器件只能在 低生产率但高分辨率的 光刻机制版,这样也许仍 然是经济的。不过,在大 部分生产应用中,加工和 机器的产率是很重要的, 也许是选择机器的重要因素之一。 1.微光刻光学 在大规模集成电路的制造中。光刻系统的分辨率是相当重要的,因为它是微器件尺寸的主要限制。在现代化投影光刻机中光学配件的质量是相当高的,所以图形的特征尺寸因衍射的影响而受限制,而不会是因为镜头的原因(它们被叫做衍射限制系统)。因为分辨率是由衍射限度而决定的,那就必须弄明白围绕衍射限度光学的几个概念,包括一致性、衍射、数值孔径、调频和许多重要调节转换性能。下几节的目的就是要简要和基本地介绍这些内容。参考资料1·2讲得更详细。 衍射·一致性·数值孔径和分辨率 图(1):一束空间连续光线经过直的边缘时的光强 a)依据几何光学b)散射

锭密封型高速编织机技术参数表

24锭密封型高速编织机技术参数表 型号 24锭密封型高速编织机(KM24-120QME) 技术参数 最大编织外径Φ24mm 编织丝数量/每锭Φ0.25mm(1-7条) Φ0.15mm(1-13条) Φ0.12mm(2-13条) Φ0.08mm(3-13条) 最高转速120RPM 生产速度800m/h 节距调整范围在11.6mm-104mm间变换齿轮有级调节 (可根据客户要求定做) 主机电机功率380V 2.2KW 噪音≤76db 线盘规格 800mm*600mm 骨架规格 66mm*82.8mm 机台总重≈700Kg 设备配置电子监控断线装置纵包金属带断带监控装置 编织丝张力调整装置 自由调整收线线盘排线宽度装置自动加油装置 变频控制装置 空轴检测、自由设定停车时限装置专用电路控制板 适用范围网络线、同轴电缆、屏蔽线、船用电缆、矿用电缆等 适用编织丝软铜线、铝镁合金线、不锈钢线、钢线、涤纶线等

16锭密封型高速编织机技术参数表 型号 16锭密封型高速编织机(KM16-180QME) 技术参数 最大编织外径Φ16mm 编织丝数量/每锭Φ0.25mm(1-7条) Φ0.15mm(1-13条) Φ0.12mm(2-13条) Φ0.08mm(3-13条) Φ0.05mm(4-13条) 最高转速180RPM 生产速度640m/h 节距调整范围在11.6mm-104mm间变换齿轮有级调节 (可根据客户要求定做) 主机电机功率380V 1.1KW 噪音≤76db 线盘规格800mm*600mm 骨架规格66mm*82.8mm 机台总重≈500Kg 设备配置电子监控断线装置纵包金属带断带监控装置 编织丝张力调整装置 自由调整收线线盘排线宽度装置自动加油装置 变频控制装置 空轴检测、自由设定停车时限装置专用电路控制板 适用范围网络线、同轴电缆、屏蔽线、船用电缆、矿用电缆等

GPS接收机工作原理与方法

GPS接收机工作原理与方法 组号:第组 成员:黄琨(组长)、孙明智、 李儒睿、彭柯均、张航辉班级:15级测绘工程一班 指导教师: 汤俊 华东交通大学土木建筑学院 2018年5月

GPS接收机主要是由GPS接收机天线单元,GPS接收机主机单元和电源单元三部分。GPS接收机作为用户测量系统,那么按gps接收机工作原理的性质和功能,可分为硬件部分和软件部分。 一、硬件部分 接收机主机由变频器、信号通道、微处理器、存储器及显示器组成,基本结构如下图 GPS接收机工作原理图一 1、变频器及中频放大器 经过GPS前置放大器的信号仍然很微弱,为了使接收机通道得到稳定的高增益,并且使L频段的射频信号变成低频信号,必须采用变频器。 2、信号通道 信号通道是GPS接收机的核心部分,GPS信号通道是硬软件结合的电路,不同类型的接收机其通道是不同的。GPS信号通道的作用有三,(1)搜索卫星,牵

引并跟踪卫星;(2)对广播电文数据信号实行解扩,解调出广播电文;(3)进行伪距测量、载波相位测量及多普勒频移测量。相关信号通道的电路原理图如下: GPS接收机工作原理图二 从卫星接收到的信号是扩频的调制信号,所以要经过解扩、解调才能得到导航电文,因此在相关通道电路中设有伪码相位跟踪环和载波相位跟踪环。 3、存储器 接收机内设有存储器或存储卡以存储卫星星历、卫星历书、接收机采集到的码相位伪距观测值、载波相位观测值及多普勒频移,目前GPS接收机都装有半导体存储器(简称内存),接收机内存数据可以通过数据口传到微机上,以便进行数据处理和数据保存。

4、微处理 微处理是GPS接收机工作的灵魂,GPS接收机工作都是在微机指令统一协同下进行的,其主要工作步骤为: ①、接收机开机后,立即指令各个通道进行自检,适时地在视屏显示窗内展示各自的自检结果,并测定、校正和存储各个通道的时延值。 ②、接收机对卫星进行捕捉跟踪后,根据跟踪环路所输出的数据码,解译出GPS卫星星历。当同时锁定4颗卫星时,将C/A码伪距观测值连同星历一起计算出测站的三维位置,并按照预置的位置数据更新率,不断更新(计算)点的坐标。 ③、用已测得的点位坐标和GPS卫星历书,计算所有在轨卫星的升降时间、方位和高度角,并为作业人员提供在视卫星数量及其工作状况,以便选用“健康”的且分布适宜的定位卫星,达到提高点位精度的目的。 ④、接收用户输入的信号,如测站名、测站号、天线高和气象参数等。 5、电源 GPS接收机的电源有随机配备的内置电池,一般为锂电池,另一种为外界电源,一般采用汽车电瓶或者随机配备的专用电源适配器。综上所述,GPS信号接收机的任务是:接收GPS卫星发射的信号,能够捕获到按一定卫星高度截止角所选择的待测卫星的信号,并跟踪这些卫星的运行,获得必要的导航和定位信息及观测量;对所接收到的GPS信号进行变换、放大和处理,以便测量出GPS信号从卫星到接收机天线的传播时间,解译出GPS卫星所发送的导航电文,实时地计算出测站的三维位置,甚至三维速度和时间。 6、接收机的天线 天线由接收机天线和前置放大器两部分所组成,天线的主要功能是将GPS 卫星信号极微弱的电磁波能转化为相应的电流,而前置放大器则是对这种信号电流进行放大和变频处理。而接收机单元的主要功能是对经过放大和变频处理的信号电源进行跟踪、处理和测量。

常用同轴电缆的主要技术参数

常用同轴电缆的主要技术参数-2 国产同轴电缆的同一型号和含义分类代号绝缘材料护套材料派生特征符号含义 符号含义符号含义符号含义S通轴射频电缆Y聚乙烯V聚氯乙烯P屏蔽SE对称 射频电缆W稳定聚乙烯Y聚乙烯Z综合SJ强力射频电缆F氟塑料F氟塑料SG高压 射频电缆X橡皮B玻璃丝编制侵硅有机漆ST特性射频电缆I聚乙烯空气绝缘H橡皮 SS电视电缆D稳定聚乙烯空气绝缘M棉纱编织例如:SYV-75-3-1型电缆表示同轴射频电缆,用聚乙烯绝缘,用聚氯乙烯做护套,特性阻抗为75Ω,芯线绝缘外经为3mm,结构序号为1。常用同轴电缆型号的规格和主要参数电缆型号绝缘形式芯线外经 mm 绝缘外经 mm 电缆外经 mm 特性阻抗 Ω 衰减常数(dB/100m) 30(MHz) 200(MHz) 800(MHz) SYKV-75-5藕芯式 1.10 4.7 7.3 75±3 4.1 11 22 SYKV-75-9藕芯式 1.90 9.0 12.4 75±2.5 2.4 6 12 SYKV-75-12藕芯式 2.60 11.5 15.0 75±2.5 1.6 4.5 10 SSYKV-75-5藕芯式 1.00 4.8 7.3 75±3 4.2 11.5 23 SSYKV-75-9藕芯式 1.90 9.0 13.0 75±3 2.1 5.1 11 SIOV-75-5藕芯式 1.13 5.0 7.4 75±3 3.5 8.5 17 SIZV-75-5竹节式 1.20 5.0 7.3 75±3 4.5 11 22 SYDV-75-9竹节式 2.20 9.0 11.4 75±3 1.7 4.5 9.2 SYDV-75-12竹节式 3.00 11.5 14.4 75±2 1.2 3.4 7.1 SDVC-75-5藕芯式 1.00 4.8 6.8 75±3 4 10.8 22.5 SDVC-75-7藕芯式 1.60 7.3 10.0 75±2.5 2.6 7.1 15.2 SDVC-75-9藕芯式 2.00 9.0 12.0 75±2.5 2.1 5.7 12.5 SDVC-75-12藕芯式 2.60 11.5 14.4 75±2.5 1.7 4.5 10 同轴电缆型号从左至右的字母分别代表电缆由内至外的材质,具体此问题试解如下:S--射频Y--聚乙烯绝缘W--编镀锡铜网L--氩弧焊铝管V--聚氯乙烯护套75--阻抗75欧姆9--线径9MM 这样看sywly-75-9比sywv-75-9多了一层铝管和外绝缘层(没有护套?),屏蔽能力应该比后者更好。

光接收机的结构及原理

第三部分光接收机的结构及原理 在有线电视HFC网络中,光接收机通常位于光纤接点和有线电视的前端位置,它的主要功能是把光信号转变为RF信号,前面已经详细讲述了光探测器、光接收组件的原理及应用。光探测器是实现光/电转换的关键部件,其质量的优劣决定了光接收机的性能指标与档次,光接收组件是光探测器与前置放大器的组合,在光接收机中,无论是分离组件还是一体组件,该部分的成本比重都比较大,与光发射机的激光器一样,不仅决定了光接收机的性能指标,还将决定光接收机的价格。光接收的整机组成主要由光接收组件、功率放大模块及其附属功能电路组成,除光接收组件外,功率放大模块是光接收机的第二大核心元件。即使是采用相同的组件,由于采用不同档次、不同价位的放大模块组合,整机也会有显著不同。有线电视技术发展到今天,光接收机采用分离元件制作放大模块已不多见,基本上全采用集成一体化组件结构。该结构模块大多属于厚膜集成电路,它是用丝网印刷和烧结等工艺在同一陶瓷基片上制作无源网源,并在其上组装分立的半导体芯片或单片集成电路、放大三极管管芯等,另外再外加塑料密封,防止潮气、杂质的进入。 一、光接收机常用的放大模块介绍 能用于光接收机的模块有众多型号,排除品牌命名的差异,根据放大模块的增益划分有14dB、18dB、20dB、22dB、27dB等,用于单模块放大器的34dB的放大模块在光接收机中少有应用,当然也不排除低档光接收机应用的可能。根据放大模块具体放大电路结构的

不同划分:有推挽放大模块、功率倍增放大模块两种,而根据放大元件工艺的不同,放大模块又分为硅放大工艺、砷化镓工艺两种,在光接收机中采用的模块的命名,一般以推挽和功率倍增为主要区分,同时附加增益的差异与器件工艺,如果不说是砷化镓工艺模块则所说的放大模块一般都是指硅工艺。 1.推挽放大模块的原理及结构。在实用的放大电路中,三极管的集电极并非总有电流流过,根据集中极电流导通时间的长短,通常把放大器分成甲类、乙类、丙类等。在输入信号的整个周期中都有电流流过集电极的放大器称为甲类放大器;只有在输入信号的半个周期内有集中极电流的放大器称为乙类放大器;在小于输入信号半个周期内有集中极电流的放大器称为丙类放大器。在许多实用的放大电路中,为了提高放大效率通常都需要把工作点移到截止区,即采用半周导通的乙类工作状态,这时若仍采用一个晶体管,输出信号中将只出现一半波形,将发生严重的截止失真。为了解决这个问题,可采用两只特性完全相同的晶体管,使其中一只晶体管在正半周导通,另一晶体管在负半周导通,最后在负载上合成完整波形,这就是推挽放大电路。下图是推挽放大电路的结构示意图: 输入信号经过高频传输变压器B1,反相加在晶体管VT1和V T2上,被放大后各自在半个周期内产生半个波,在变压器B2上反相叠加,重新合成完整波形输出,由于输出信号反相叠加,其中的直流分量和非线性失真中的偶次谐波互相抵消。降低了直流工作点,使变压器中流过电流减少,从而体积可以做得较小,进一步提高了放大器

Nikon光刻机对准系统功能原理

Nikon光刻机对准系统功能原理 投影光刻机对准系统功能原理 1 对准系统简介 对准系统的主要功能就是将工件台上硅片的标记与掩膜版上的标记对准,其标记的对准精度能达到±0.4μm (正态分布曲线的3σ值)。因为一片硅片在一个工艺流程中的曝光次数可能达到30次,而对准精度直接影响硅片的套刻精度,所以硅片的对准精度非常的关键。 由于对准系统对硅片标记的搜索扫描有一定的范围,它在X方向和Y方向都只能扫描±44μm,所以硅片被传送到工件台上进行对准之前,需要在预对准工件台上先后完成两次对准,即机械预对准和光学预对准,以便满足精细对准的捕捉范围。注意:本文所提到的对准都是所谓的精细对准。 PAS2500/10投影光刻机对准系统主要由三个单位部分构成:照明(对准光源)部分,双折射单元和对准单元。这三个单元与掩膜版、硅片、以及投影透镜的相对位置如图1所示,在图中可以看出,对准系统中用了两个完全相同的光路,这是为了满足对准功能的需要。 1.1 对准系统的光学结构和功能 由于对准系统中的两条完全相同,所以在下面的介绍中只详细地阐述了其中的一条光路。在对准系统中,照明部分的主要部件就是激光发射器,它产生波长为633nm的线性极化光,避免在硅片对准的过程中使硅片被曝光(硅片曝光用的光为紫外光)。然后对准激光将通过一系列的棱镜和透镜进入双折射单元,该激光将从双折射单元底部射出,通过曝光的投影透镜照到硅片的标记上;而经过硅片表面的反射后由原路返回,第二次经过双折射单元,由双折射单元的顶部射出,再经过聚焦后对准到掩膜版的标记上。 在对准单元内,硅片的标记图象和掩膜版标记的图象同时通过一个调制器后,将被聚焦到一个Q-CELL光电检测器上。此调制器是用来交替传送两个极化方向的硅片标记图象,Q-CELL光电检测器将对硅片的标记的每个极化方向图象分别产生一个电信号,由此产生的电信号的振幅取决于该极化方向硅片标记的图象与掩膜版标记图象在Q-CELL的显示比例。 硅片上的对准标记如图2所示,标记分为四个象限,每个象限有8μm或8.8μm的对准条,其中有两个象限的对准条用来对准X向,另外两个象限用来对准Y向。而Q-CELL光电检测器的每一个单元对应标记的一个象限,当在Q-CELL检测器的每一个单元中,两个极化方向的标记图象的能量都相等的时候,就表明硅片与掩膜版的标记完全对准了。从图1中可以看到对准光束在经过对准单元的时候被分成了两束,一束激光将通过调制器到达Q-CELL光电检测器,而另一束激光则以视频的形式反馈到操作台。通过操作台上的视频监视器可以直观的看到标记的移动和对准不同标记时位置的相对变化。虽然是两个不同极化方向的硅片标记与掩膜版标记同时对准,但是由于它们是同步的,彼此之间几乎看不到有何不同,所以只有一个极化图象被显示。 1.2 对准系统的电路部分 对准系统的电路部分主要的功能是: 1、产生一个信号去驱动光学调制器。 2、处理Q-CELL光电检测器产生的信号。 光学调制器的驱动:该调制器信号要求频率为50Hz的正弦信号,其振幅要求能满足对最大的Q-CELL检测信号起调制作用。 Q-CELL检测信号的处理:在对准的时候,工件台将首先沿X轴向缓慢地带动E-CHUCK上的硅片移动,进行X轴向对准,当硅片标记上X向光栅与对应的掩膜版上X向光栅对准时,将产生一个对准电信号,该信号以中断信号的形式输入计算机,X向对准的两个象限光栅都将产生其各自的中断信号。当产生中断信号的同时,计算机将记录下此时工件台的位置。在X向对准的时候,一个标记中两个象限的光栅同时参与,在每个象限中光栅条纹之间的间距是一个恒定的常数,但是这两个象限的光栅条纹间距并不相同,如图2所示。在对准扫描的过程中,每一个象限中的每一条光栅条纹都将会产生各自的一个中断信号,由于两个象限的光栅条纹间距不同,所以在扫描的时候只能有一个点将同时产生两个中断信号,而这个点就是在X

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