造纸真空系统中两种常见的真空设备

造纸真空系统中两种常见的真空设备
造纸真空系统中两种常见的真空设备

造纸真空系统中两种常见的真空发生设备-水环真空泵和透平风机的综合比较

来源:广东省佛山水泵厂有限公司作者:陈首挺

水环真空泵和透平风机是现代造纸真空系统中最常见的两种真空发生设备,通过比较两者的发展历史、工作原理、结构特征和在造纸真空系统的应用特点,总结两者的优点和缺点,希望能给造纸行业的相关技术人员选用真空发生设备时提供参考。

1、前言

水环真空泵是造纸真空系统最普遍使用的设备,为造纸行业技术人员所熟知。而透平风机在中国的造纸行业应用引入比较晚,从2007 年才开始正式有投入使用,造纸行业的相关技术人员了解甚少,常被视为是“新技术”。事实上这两种真空发生设备发明的时间非常接近,在造纸行业中使用都有较长的历史。两者各有优劣,不能相互取代,故一直在造纸行业共存,在现有的技术条件下,水环真空泵更具优势,仍占据市场主导地位。

2、发展历史的比较

水环真空泵分别于1903 年由美国人Houis Nash和1905 年由西门子公司在相互不了解的情况下发明出来。现时在中国造纸行业中常见的水环真空泵有几种,其中2BE1 系列和2BE3 系列平板泵分别于上世纪70 年代末和80 年代由西门子公司设计制造,CBF 系列平板泵由广东省佛山水泵厂有限公司于1999 年设计制造;CL 系列和904 系列锥体泵分别于1962 年和1984 年由纳氏公司研制。水环真空泵在造纸真空系统有超过80 年的应用历史,世界上90%的造纸厂均采用水环真空泵组建真空系统。现时国内外都有大量生产用于造纸真空系统水环真空泵的厂家。

透平风机同样出现在20 世纪初,最初作为压缩机使用。1900 年由法国拉托厂首先制造出第一台透平压缩机。瑞士的苏尔寿公司从1903 年开始研制透平压缩机,是最早生产透平真空风机的厂家之一,2001 年苏尔寿公司并入德国曼集国,组建成现在的曼透平公司。曼透平公司是现时在中国能提供造纸真空泵系统用透平真空风机的主流厂家,该公司生产的透平风机在造纸真空系统有超过60 年的应用历史,主要有RC、RCL 和RT 三个系列的透平真空风机。根据国外的造纸工艺教材介绍,美国德莱赛公司原来也生产用于造纸真空系统的透平风机,但现在该公司已经不涉足该类应用。我国现有陕西鼓风机厂、沈阳鼓风机厂和上海鼓风机厂等多家生产透平风机的厂家,均不涉足造纸行业。

可见水环真空泵和透平风机起源于同一时期,在造纸真空系统中的应用都有较长的历史,但水环真空泵在该领域得到蓬勃的发展,而透平风机在该领域发展滞缓。

3、工作原理的比较

水环真空泵的工作原理是:叶轮与泵体呈偏心配置,当叶轮旋转时,水在离心力的作用下沿泵体内壁形成近乎等厚的旋转水环,水环内表面与叶轮轮毂外表面构成月牙形的工作腔,并被叶轮叶片分割成大小不等的空腔。前半转空腔的容积逐渐扩大,气体从外界吸入;后半转空腔的容积逐渐缩小,气体被压缩后排出外界。从而完成吸气、压缩、排气三个工作阶段。通常在纸厂中使用的是单级水环真空泵,它可以提供全范围的真空容量。

透平风机的工作原理是利用叶片和气体的相互作用,叶轮高速转动,提高气体压力和动能,并利用相继的通流元件使气流减速,将动能转变为压力的提高。通常使用多级组合压缩获得最终需要的压力。作为真空发生器使用时,排出的最终压力为大气压,吸入压力则为负压。通常在纸厂中使用较多的是多级离心式透平风机,压力逐级升高,各级均有吸入口,每个吸入口有不同的真空度。若使用单级的透平风机,则只能在单个较小的真空范围内工作。

由于工作原理上不相同,要求有不相同的转速,水环真空泵要求的工作转速较低,一般的叶轮线速度为14~24m/s ,透平风机要求的工作转速较高,一般叶轮线速度为300~500m/s,是水环真空泵的二十倍以上。由于气体在水环真空泵内的流速较低,并且会被水环泵内的水冷却,因此吸入与排出的气体温度近乎不变。而气体在透平风机内的流速很高,由于摩擦和压缩均产生热量会让气体温度急剧升高,往往需要在中间级增加冷却装置。透平风机为干式真空发生设备,相比需要带动水环工作的水环真空泵,效率会更高一些,但是这样的干式真空设备对于水比较敏感,较多水进入到透平风机内可能会直接导致其损坏。此外,当吸入流量小于透平风机的设计值时,气流可能脱离风机的叶片,出现旋转失速的现象。随着失速的产生和发展,可能出现另一种不稳定工况现象,风机的气体流量和排气压力周期性地低频率、大振幅波动,引起机器的强烈振动,这种现象称为透平风机的喘振。

4、结构特征的比较

水环真空泵一般为单级叶片,如图1 所示,结构简单,叶轮与泵体之间通过工作水密封,没有刚性机械接触,可抽吸含水份或粉尘的气体。由于工作转速较低,工作负荷不大,只需使用最简单的滚子轴承结构。

透平风机常采用多级叶轮的结构,如图2 所示,结构比较复杂,叶轮的前后需带隔板,叶轮与隔板之间需加装特殊的密封装置。为了防止失速和喘振,还需设有回流的导叶和防喘装置。由于高速运转,对轴承的要求较高,一般采用油膜滑动轴承,有时会采用磁悬浮或气体轴承。相比水环真空泵,透平风机虽然显得比较高级,但结构复杂,各零件的强度和加工精度都要求较高,生产成本大,可产生故障点多,使用和

维护都比较困难。此外,在运行过程中,由于透平机内温度较高,各零件容易变形造成设备卡死或振动加大的现象。

5、造纸真空系统的应用特点比较

现代的纸机都是利用真空帮助纸页脱水的,因此真空系统是一台纸机的重要组成部分。一台纸机上有多个真空度要求不相同的真空元件需要连接到真空系统。如果选用水环真空泵组建真空系统,往往把一些真空度相近点合并后,根据不同的真空度选用多台水环真空泵来组建真空系统。如果选用透平风机组建真空系统,则只需一台或两三台透平风机,则可以组建较大型纸机的真空系统。两者相比,用透平风机的集成度较高,比较节省安装空间;而使用水环真空泵的独立性较好,不同的真空泵之间不会产生相互干扰或连锁反应。

若选用透平风机,当局部真空元件实际运行的通气流量偏小时,透平风机可能出现失速或喘振的现象,而当局部真空元件实际运行的通气流量偏大时,多级透平风机又会因为各级之间相联,会出现整机真空度偏低的现象,严重时还会造成透平风机性能急剧下降,出现“阻塞”工况。因此,透平风机在真空系统工作的稳定性较差,往往会造成产纸质量的下降或断纸等不良现象。此外,集成度高会造成单台透平风机的功率过大,给工厂电网和起动设备带来不小困难。若使用水环真空泵,即使某些纸机真空元件实际运行参数出现偏小或偏大的情况,只会成相应水环真空泵真空度出现相应偏移的现象,不会造成整体较大的负面影响。若个别真空泵出现问题,需要维修或更换也比较容易操作。

由于气体挟带的水份或其他异物进入高速运动的透平风机可能会对其造成致命的损害,因此透平风机吸入口前必须有大型的水泥或全不锈钢结构气水分离室,把气流速度控制在3m/s 以内,为防止水泥脱落,以用全不锈钢结构的气水分离室为佳,这种分离室的制造成本较大。此外,高速运转透平风机噪音较大,还需要建造消音的机房隔音。故透平风机投入使用需要的辅助设备成本较大。如果使用水环真空泵,也需要在水环真空泵前安装小型的前置气水分离器,其作用是防止纤维含量较多的水串入水环真空泵的循环水系统中影响水质,同时防止过多的水流入水环真空泵造成轴功率过大的现象,要求并不严格,制造成本较低。

透平风机的优点是机械效率较高,可节约设备能耗。可以看一下实例,比如广州纸业2007 年投产40万吨新闻纸项目,真空系统要求总气量约为

6800m/min,采用了三台透平风机,总装机功率为6550kW。如果选用最新的CBF 系列水环真空泵,需要13 台真空泵,总装机功率为7005kW,总装机功率相差7%左右。如果是加大真空泵的气量余量或者是选一些性能相对差一点的真空泵,总

装机功率相差会在10%~25%左右,有一定的节能效果。此外,透平风机的排气温度较高,一般为120~180℃,热量可回收用于纸机白水和空气系统的加热。而且透平风机不需要使用水作为工作液,可以节约用水。

值得注意的是两者能耗差并非两者的设计机械效率差,那是因为造纸真空系统抽吸的是湿空气,如果选用水环真空泵,由于温度较高的湿空气进入到水环真空泵内会被泵内的水冷凝而体积减小,水环真空泵的性能相当于得到提高;如果选用透平风机,温度较高的湿空气进入到透平风机温度会进一步升高,气体膨胀而会对透平风机的性能造成负面影响。透平风机获得热回收的同时,也造成了其内部的高温工作环境,会增加透平风机零件变形而产生故障的风险。水环真空泵虽然要以水为工作液,但一般都是循环使用的,水的实际损耗量不会很大。此外由于透平风机工作的不稳定,容易造成产品质量不稳定而需重复生产,造成其他能源的浪费。

6、总结

尽管透平风机在设备能耗、热回收和节约水方面相比水环真空泵更具优势,但结构复杂、故障率高、投产成本大,在使用维护的可操作性、工作的可靠性和组建真空系统的稳定性方面远不及水环真空泵。如果使用透平风机,出现产纸质量下降或者损纸较多的现象,顾此失彼,事实上是更大的能源浪费。因此,在现有的技术条件下,水环真空泵的综合使用性能更胜一筹,故在造纸行业中占据主导地位。

中国十大真空泵行业十大真空泵公司总榜

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卷烟厂真空系统设计概述

卷烟厂真空系统设计概述 摘要:本文对卷烟厂工艺中负压系统的使用要求做了概述性质的描述,并对卷烟厂真空站和真空系统的设计要点进行了介绍。 关键词:卷烟厂;真空站;水环式真空泵 在卷烟厂工艺中,负压的使用环节主要是在卷接包车间,其中负压消耗较大的设备是卷接包机组,除此以外,自动封装箱机、滤棒贮存输送装置和滤棒发射机也有少量的负压需求。如:新建规模为年产30万箱的海口烟厂卷接包机组的设计负压消耗合计32m3/min;自动装封箱机的负压消耗合计为4m3 /mi;滤棒成型车间内滤棒贮存输送装置和滤棒发射机负压消耗合计1m3/min,卷接包车间负压消耗合计为37m3/min。烟厂工艺设备对真空度的要求一般为0.03~0.05MPa,考虑到管路的真空度损失和安全余量,真空泵的抽真空度至少要满足0.02MPa的要求。另外,由于烟厂属于流水线作业,自动化程度高,所以对负压的稳定性要求也比较高。针对以上特点,烟厂的设计工作需要掌握如下要点: 1.真空站工艺设计【2】 1.1站房位置 由于真空管道属于负压管道,真空度从本质上来讲是管道压力和大气压的比较,相对于压缩空气管道,虽然单位长度的沿程阻力损失较小,但由于大气压本身才只有约0.1M Pa左右,其对压损的承受能力较小,如果损失过大,将不满足工艺对负压的要求。 如:某烟厂的真空站设置在联合工房内贴邻卷接包车间的辅房内,真空站距离最远的卷包机组直线距离为150m,真空站集气总管处的压力为0.02MPa,此工况下实测真空站集气总管至各卷包机组的压力损失为:0.005MPa~0.01M Pa,最大压力损失(0.01MPa)已经达到总真空率(0.02MPa,与大气压相比较,可认为是-0.08MPa)的12.5%,参考此案例,如果真空站位置距离用气点过远,随着管路中空气平均密度的增加,单位长度的沿程阻力也会相应增大,这样压力损失会成倍的增加,必然会影响工艺使用要求。 所以一般把真空站设置在联合工房内靠近卷接包车间的辅房内,尽量缩短供气长度,减少压力损失。 1.2真空设备的选择 烟厂一般选择水环式真空泵来满足其需要,虽然水环真空泵效率不是很高(一般在30%左右),而且由于受到结构和饱和水蒸气压的限制,所提供的真空度也较低(2000~4000Pa),但是由于水环式真空泵具有机构紧凑、无需润滑、泵腔内不存在摩擦,磨损小等特点,尤其是具备吸气均匀,工作平稳可靠的优点,

真空系统的工艺设计[1]pdf

本文由WDD20542贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT,或下载源文件到本机查看。 16 CHEMICAL ENGINEERING DESIGN 化工设计2003 ,13( 2) 真空系统的工艺设计 摘要介绍真空系统的基本概念、工艺设计及实际应用。 真空系统工艺设计关键词 真空系统在化工生产中的应用非常广泛 , 但统性。本文将对其基本概念和工艺设计进行纲要 有关真空系统的设计资料较少 , 且缺乏一定的系 性的总结 , 并通过实际工作应用加以佐证说明。 1 基本概念 111 真空度 真空度通常有以下几种表示方法 : 用于器壁的压力 , 是气体的真实压力。以绝对压力表示真空度时 , 其值必须在零和大气压力之间。当绝对压力为零时 , 表明封闭空间内不存在任何物质 , 处于全真空状态 ; 当绝对压力等于或压力状态 , 为非真空状态 , 不在本研究范围之内。 11112 以真空度表示 大于外界大气压力时 , 表明封闭空间处于常压或 式中 , Pv为真空度 , mmHg ; P 为封闭空间的绝对压力值。 外界大气压力的程度 , 其值也在零和大气压力之时 , 表明封闭空间处于常压状态 ; 当真空度等于处于全真空状态。 间 , 但其意义与绝对压力相反。当真空度为零大气压力时 , 表明封闭空间内不存在任何物质 , 11113 以真空度百分数表示 的百分数。 11111 以绝对压力表示 绝对压力是指一个封闭空间内的气体垂直作 Pv = 大气压力 - P ( mmHg) 真空度是指一个封闭空间内的气体压力小于 马小龙Ξ中国华陆工程公司西安 710054 100 % 真空度 ( %) = [ ( 大气压力 - P) / 大气压力 ] × 式中 , P 为封闭空间的绝对压力值。真空度百分数直观地表示出了真空度相对于大气压力的比例大小。在国家标准《真空技术名词术语》 ( GB3163 - 82) 将真空系统按剩余压力 ( 即绝对压力) 分为 4 个范围 , 即低真空、中真空、高真空和超高真空 , 范围如下 : 低真空 : 105 ~102 Pa 中真空 : 102 ~10 - 1 Pa 高真空 : 10 - 1 ~10 - 5 Pa 超高真空 : < 10 - 5 Pa 在化工、石油化工装置中 , 通常遇到的是低真空和中真空。在此特别指出两点 : (1 ) 因为 , 表压 = 绝对压力 - 大气压力 , 故 , 表压 = - 真空度。为了避免绝压、表压、真空度三者相互混淆 , 一般在工程设计中 , 均对其加以标注 , 如 110M Pa ( 绝压 ) 、116M Pa ( 表压) 、400mmHg ( 真空度) 等。 ( 2) 由于外界大气压随大气的温度、湿度和所在地区的海拔高度而改变 , 所以在工程设计中 , 一定要根据建设地区的具体情况先确定大气由于当地平均大气压为 760mmHg , 所以塔顶的真空度为 760 - 20 = 740mmHg 。

真空泵换热器系统改造

真空泵换热器系统改造 于海(新疆天山电力股份有限公司玛纳斯832200) 摘要:我厂三期2×300MW机组采用水环式真空泵抽气系统维持机组真空,一台300MW机组配备了2台真空泵,一台泵运行一台备用。每台真空泵装有一台板式冷却器来冷却工作液,工作液的温度直接影响到真空泵的出力,温度越低相对机组的真空度也就越高,机组效率也就越高。但是真空泵备用期间,换热器冷却水进、出水门处于完全打开状态,浪费了大量的冷却水,由于冷却水中含有较多杂质经常堵塞换热器,降低了换热器换热效果,影响到了机组的效率及安全运行。本文就以上两个问题,提出了解决方案和效益分析。 关键词:真空泵换热器冷却水 1 概述 我厂三期两台300MW机组配备了4台真空泵,每台真空泵装有一台板式换热器来冷却工作液,工作液的温度直接影响到真空泵的出力,温度越低相对机组的真空度也就越高,有助于提高机组效率。冷却水采用开式水,因为水质比较差,经常造成换热器内部翅片积累沙粒等的堵塞物,严重影响了换热效率和机组的真空度。夏季,冷却水温度相对较高,使得真空泵的工作液温度也相对较高,机组真空度较低,影响了机组效率。每月检修人员都要对换热器进行清扫一次。清扫时都要将真空泵退出备用、解列换热器,这项工作只有在夜间零点后机组低负荷时进行,清扫一台冷却器大约需要5小时,无备用泵将严重影响机组的安全运行。 由于真空泵处于备用状态时,为保证机组安全运行,备用泵随时联动,

换热器冷却水进、出水门始终处于全开状态,浪费了大量的冷却水,增加了换热器的清扫频率,若加以改造将很有利于节水降耗,降低机组运行风险。 2 真空泵换热器系统状况 我厂真空泵系统主要由真空泵、气水分离器、换热器组成。换热器是用来冷却气水分离器中分离出来的工作液,以供真空泵循环使用。采用开式水作为冷却水,换热器的冷却水进、出口门为PN16 DN100的手动蝶阀,换热板面积11.8m2,原装换热片共65片,设计冷却水量50t/h。真空泵换热器系统图如图一所示。 图一 3 解决方案 3.1 加装滤水器 为了减少换热器冷却水中的大颗粒杂物,避免换热器板孔堵塞。在真空泵换热器冷却水进水管上加装过滤器,购置4只滤水器(规格PN16、DN100、网孔直径3mm),滤去水中的大颗粒杂质,虽然无法滤掉冷却水中的泥沙,却可有效减轻换热器板孔堵塞,提高换热效率,减少对换热器的清扫次数,

5号机B闭式泵电机双速改造技术协议

皖能合肥发电有限公司#5机(1×630MW) 闭式泵电机双速改造 合同附件 (技术协议书) 买方:皖能合肥发电有限公司 供方:安徽定远骏业机电修造有限公司

皖能合肥发电有限公司(以下简称买方)和安徽定远骏业机电修造有限公司(以下简称供方)就皖能合肥发电有限公司#5机B闭式泵电机双速改造及验收等事宜,经充分协商后达成本技术协议。 本技术协议为合同的附件,与合同具有同等法律效力。 1总则 1.1本技术规范仅适用于皖能合肥发电有限公司#5机组闭式泵电机节能双速改造。1.2本技术协议所提出的技术条件为最低技术要求,并未对一切技术细节做出规定,也未充分引述有关标准和协议的条文,供方应提供符合本技术协议书及有关国标、行业标准的优质产品。 1.3如果供方没有以书面形式对本技术协议的条文提出异议,则意味着供方提供的设备完全符合本技术协议的要求。 1.4 本技术协议未涉及的参数、技术要求和试验标准均按IEC、GB、DL现行标准的最高要求执行。 1.5 要求供方必须制造过与技术协议要求一致的设备,并已在与技术协议技术要求一致或更严格的工作条件下成功运行一年以上,并且有可靠的质量保证体系。 1.6 本技术协议未尽事宜,由买、供双方协商确定。 2.环境要求 2.1 安装地点: 汽机房0米层 2.2 海拔高度: 不超过1000米 2.3 地震烈度: 7度,按8度设防 地震峰值加速度:0.1g 2.4 气象条件: 室外最高温度:40.5?C 室外最低温度:-21.7?C 温差: 不大于27K 环境相对湿度:历年平均相对湿度值不大于63%;历年平均最大相对湿度值100%。 3基本要求

真空设备常见英文单词

真空设备常见英文单词transducer 传感器 air cylinder气缸 breaker,circuit,contactor 断路器 abb contactor, power module 断路器, 电源模块 ace absorber,shock 防震, 缓冲器 acme transformer; contactor 变压器 acopian power supply 电源供应器, 变压器 aeg level transmitter, encoder 液位控制, 译码器aerquip hose, fitting 压力喉, 喉头, 喉咀 agastat thermostate, thermocouple 恒温装置, 温度计airguard filter 过滤网 airpel cylinder cylinder, valve 气缸?阀门 airpot cylinder air cylinder 气缸?. 气阀 anly counter, timer,socket 计数器, 时间制, 插座anver vacuum pad, air pump 真空吸索?真空泵appllo valve,bronze ball 球阀门 asco valve valve 阀门 ash worth sprocket 齿轮, 齿条 atosvalve valve , pressure guage 油压阀

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2020年度国内泵行业十大真空泵厂家品牌榜单 1.上海阳光泵业制造有限公司 上海阳光泵业制造有限公司座落于上海市金山工业园区,是国内一家著名的集研制、开发、生产、销售、服务于一体的大型多元化企业,注册资本1100万元。主导产品包括:螺杆泵、隔膜泵、液下泵、磁力泵、排污泵、化工泵、多级泵、自吸泵、齿轮油泵、计量泵、卫生泵、真空泵、潜水泵、转子泵等类别。产品以优越的性能,精良的品质已获得各项专业认证证书及客户的认可。公司拥有多名水泵专家和各类中高级工程师,不断的开发制造,升级换代产品年年都有问世。 公司拥有国内高水准的水泵性能测试中心,产品全部采用CAD设计软件和CFD计算流体力学软件等先进设计手段,产品经过精密铸造、热锻压、焊接、热处理、精加工、装配等十多道工序。使用先进的数控加工中心、等离子焊接机、全自动气体保护、半自动真空熔焊机、超频真空热处理设备、高效加工专机、理化和探伤设备等各类高精密加工检测设备。齐全的加工检测设备,于同行业中处领先地位,更加充分保证了产品的质量。公司产品达二十大系列,一万多种规格。产品广泛应用于:工业生产,建筑城镇供水,环保污水处理,市政工程,食品制药,水利电力,石油船舶等多种领域。客户包括大庆油田、胜利油田、中国水利水电、浦项集团 等世界知名企业。 2.江苏盘古泵业有限公司 江苏盘古泵业有限公司是一家专业致力于无泄漏磁传动泵,氟塑料、工程塑料、不锈钢耐腐蚀泵阀及防腐设备开发设计、生产和销售的现代化大型制造企业,总部位于中国东部地区重要的中心城市、全国重要的科研教育基地和综合交通枢纽---南京市;生产基地坐落于震惊中外的“皖南事变”发生地、历史悠久的江南名镇—安徽泾县茂林镇,占地面积5万平方米,其中建筑面积达上3万平方米,年产值数亿元。 公司拥有完善的技术、生产、销售及售后服务网络,顺利通过了ISO9001质量管理体系认证,目前拥有员工620余人,75%员工学历大专以上,高级技术人才百余名,并聘请全国知名 水泵专家教授、博士硕士、中高级工程师,形成了具有创新思维的梯队人才结构。 公司先后荣获省级"重合同、守信用"和"质量信得过企业"。是"121"科技示范单位,先后 被省政府授予"明星企业"、"科技开发先进企业"、"质量信得过企业"。主导产品磁力泵获国 家经委"科技开发优秀成果奖"、"省科技进步二等奖"、"安徽省高新技术产品"、"中科院科技 进步三等奖"、"安徽省名牌产品"、"安徽省著名商标"等。 3.上海氟迈泵阀有限公司 上海氟迈泵阀有限公司位于国家经济中心上海市。公司专注致力于衬氟磁力泵,耐腐蚀磁力泵,氟塑料磁力泵,衬氟离心泵,氟塑料泵,氟塑料离心泵,耐酸泵,卸酸泵,化工泵,盐酸泵,强酸泵,耐磨料浆泵等化工泵阀。 公司主要产品有: CQB型氟塑料磁力泵、IMD型氟塑料磁力泵、IHF型氟塑料离心泵、 FSB(D)型氟塑料离心泵、FZB型氟塑料自吸泵、ZMD型磁力自吸泵、UHB-ZK型砂浆泵、机械计 量泵、FYH型氟塑料液下泵、FY型不锈钢液下泵、IH型不锈钢泵、ZCQ型不锈钢磁力自吸泵、CQ型不锈钢磁力泵、IHG不锈钢管道泵、ZW排污自吸泵、MP微型磁力泵、衬氟球阀、衬氟截 止阀、衬氟蝶阀、衬氟放料阀、衬氟直管、衬PE(PO)直管、衬氟管件等30大系列1000种规

真空泵组改造方案-水环真空泵

真空泵组增加水环泵建议 现真空泵组每组由300L、600L、1800L罗茨真空泵组成,原设计工况原料为油浆,后原料调整为蜡油原油,加工时提炼过程中产生的减顶尾气中含硫较高且结盐增加固体杂质,造成罗茨泵使用过程中转子、泵体等配件腐蚀、损坏严重,罗茨泵使用时转子间隙要求苛刻,杂质进入泵内造成转子间隙变小,转子磨损也比较严重,机泵运转负荷变大,噪音大,超电流,易造成设备事故,并影响生产,对公司财产损失很大,现与华中真空厂家沟通,根据装置现加工原料的性质,建议在每组三级罗茨真空泵入口处各增加一台不锈钢316L水环泵,增加阀门与原300L的罗茨真空泵并联,达到切换使用状态,以减少罗茨真空泵维修次数,延长使用寿命,保证装置正常运行。 水环泵介绍: 水环泵是由叶轮、泵体、吸排气盘、水在泵体内壁形成的水环、吸气口、排气口、辅助排气阀等组成的。压缩气体的过程是等温的,故可抽除易燃、易爆的气体,此外还可抽除含尘,含水的气体。 工作原理: 在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中逆时针方向旋转时,水被叶轮抛向四周,由于离心力的作用,水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切,水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触(实际上叶片在水环内有一定的插入深度)。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间,而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如

果以叶轮的下部0°为起点,那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大,且与端面上的吸气口相通,此时气体被吸入,当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝;当叶轮继续旋转时,小腔由大变小,使气体被压缩;当小腔与排气口相通时,气体便被排出泵外。 水环泵和其它类型的机械真空泵相比: 优点: 结构简单,制造精度要求不高,容易加工。结构紧凑,泵的转数较高,一般可与电动机直联,无须减速装置。故用小的结构尺寸,可以获得大的排气量,占地面积也小。压缩气体基本上是等温的,即压缩气体过程温度变化很小。由于泵腔内没有金属磨擦表面,无须对泵内进行润滑,而且磨损很小。转动件和固定件之间的密封可直接由水封来完成。吸气均匀,工作平稳可靠,操作简单,维修方便。 缺点: 效率低,一般在30%左右,较好的可达50%。真空度低,这不仅是因为受到结构上的限制,更重要的是受工作液饱和蒸气压的限制。用水作工作液,极限压强只能达到2000~4000Pa。用油作工作液,可达130Pa。 简易改造流程示意图:

1#汽轮机组大修技术协议

1#汽轮发电机组大修工程技术协议附件一: xxxx热电有限公司 1#汽轮发电机组大修工程 技术协议 甲方:xxxx热电有限公司 乙方:xxxx电力有限公司 签约地点:

主合同编号: 甲方(发包方):xxxx热电有限公司 乙方(承包方):xxxx电力有限公司 一、总则 1、工程质量等级:合格。 2、工程具备竣工验收条件,乙方按国家竣工有关规定向甲方提供完整的竣工资料和竣工验收报告,并出具质量保修书,甲方接到资料后应于10天内组织有关人员进行验收审定完毕合格后给予办理竣工结算。 3、甲方有权对已经隐蔽的工程重新检验,乙方应按要求进行剥离或开孔,并在检验后重新覆盖或修复。检验合格,甲方承担由此发生的全部追加合同价款,并相应顺延工期;检验不合格,乙方承担发生的全部费用,工期不予顺延。 4、竣工工程验收,以甲方相关专业的图纸、说明书和国家颁发的工程施工验收规范、质量检验标准为依据。 5、乙方承担本工程质量保修责任,其最低保修期限按《建设工程质量管理条例》有关规定执行,在保修范围和保修期限内发生质量问题的,乙方应当履行保修义务,并对造成的损失承担赔偿责任。 6、机组大修前15天,甲方通知乙方计划停机时间,乙方在停机前10天派出人员到现场进行技术交底以及测量有关技术数据,届时乙方人员不到位,扣工程款1000元,并且甲方测量的结果乙方必须承认。 7、乙方应严格按照甲方的考核工期要求按期完工,因乙方原因造成工期拖延,每拖延一天,扣工程款5000元。 8、乙方应严格按照检修计划项目施工,不得漏项、缺项,如果发生漏项、缺项,扣除该项目的检修工时费用外,再视项目大小酌情扣除工程款1000~5000元。 9、工程检修结束并经甲方验收质量合格,机组一次启动成功,并连续运行7天以上,乙方须在10日内将检修完工资料送甲方审查,甲方在接到结算报告后应在10日内审定完毕合格后办理竣工结算,付至合同总承包价款的50%;若

浅谈真空泵当前发展的趋势

一览泵阀英才网记者菲菲报道水环真空泵和水环压缩机是应用相当广泛的通用设备。紧紧跟随中国真空泵行业技术发展的潮流,准确把握真空泵技术的发展趋势是中国真空泵企业成长的基础。真空泵技术的发展一如其他产业的发展一样,是由市场需求的推动取得的。当今二十一世纪,以环保、电子等领域高科技发展及世界可持续发展为主所产生的巨大需求的背景下,对于包括泵行业在内的许多行业或领域都带来了技术的变革和飞速发展。 真空泵技术进展趋势技术发展的原动力在于市场的需求。由于真空技术领域的扩展和迅速成长的高新技术,国内真空泵市场对真空泵的技术水平提出了更高的要求。真空泵的生产企业必须通过技术创新和产品结构的调整两个途径来保住原有市场,进而继续扩大市场占有率。 (1)提高真空泵的可靠性,降低振动、噪声,注重真空泵的综合水平。过去的若干年,生产厂注重真空泵的主要性能指标,比如,极限压力、抽速等,而忽视真空泵的综合性能。而现在,产品的可靠性、性能的稳定性以及对环境不造成污染逐渐成为用户购买产品时考虑的主要因素。对于旋片泵、罗茨泵、滑阀泵等而言要将成熟的可靠性设计理念运用到真空泵的设计中,在可靠性设计、可靠性实验等方面下工夫,以大幅度提高真空泵的可靠性、稳定性和寿命,保证真空泵能够在各种工况下长期可靠的运行。同时通过采用新技术、新材料、新工艺、新结构来降低振动、噪声,解决泵的喷油、漏油问题,还用户一个清洁环保的工作环境。 (2)真空泵向个性化、多样化发展。企业面对的永远是变化的市场,而我们的真空泵产品却千篇一律的雷同。产品和市场的不衔接,使我们丢掉了许多机一览泵阀英才网用心专注、服务专业

会。真空泵的下一步发展应该面向个性化和多样化。所谓个性化和多样化就是针对不同用户的不同需求,设计针对某一用户的特定场合的产品,使产品在这一场合应用,其特性的发挥恰倒好处 (3)尽快形成分子泵和干泵的规模生产。真空泵根据预测,到2010年我国将成为世界上第二大半导体集成电路市场,总需求量约1000亿块,达到1000亿美元以上的总金额,需要建30多条大生产线才能满足需求。30条生产线所需干式真空泵大约15000台,是目前我国真空泵年产量的1/10左右。 国内目前真空获得设备仍然以传统的真空泵为主,主要为旋片真空泵、滑阀真空泵、罗茨真空泵、蒸汽流泵、水环真空泵等,且全部用于传统产业,我国生产的真空泵用于电子信息产业不足1%,与日本、欧美等国相比差距巨大。我国干式真空泵的生产处于刚刚起步阶段,在全国200多家生产真空泵的企业中,能够生产干式真空泵的企业不足10家,年产量不足1000台。没有形成批量生产 国内生产的干泵绝大多数用于实验室及化学、医药等领域,用于半导体行业的很少。国内飞速发展的电子信息产业没有有效的刺激国内干式真空泵发展,而却成为国际上真空工业发达国家的扩张之地。 国内建成的半导体集成电路生产线,几乎所有的干式真空泵(包括其它真空设备)均为进口,主要来自英国、日本、德国、美国等。国内生产的干式真空泵进入该领域十分艰难,使得干式真空泵这个未来真空获得设备的主导产品在我国处于十分困难的境地。造成此状况的主要原因为干式真空泵在我国的起步较晚,刚一起步即面临国外已经发展成熟的产品大量进入我国市场,国内产品除一览泵阀英才网用心专注、服务专业

某卷烟厂技术改造项目初步设计 精品

第一章总论 1.1 设计依据 (1)国家烟草专卖局文件《国家烟草专卖局关于XX黄果树烟草集团公司XX 卷烟厂技术改造项目的批复》(国烟计[2006]第410号)。 (2)国家烟草专卖局文件《国家烟草专卖局关于XX卷烟工业企业联合重组的批复》(国烟法[2005]第20号)。 (3)国家烟草专卖局文件《国家烟草专卖局关于批准2005年第一批烟草专用机械购置计划的通知》(国烟计[2005]第347号)。 (4)国家烟草专卖局国烟计[1995]60号《关于印发〈烟草行业工程设计招标投标办法〉和〈烟草行业工程设计收费标准〉的通知》。 (5)《轻工业建设项目初步设计编制内容深度规定》(QBJS6-91) (6)国家和行业现行的有关设计规范和标准。 1.2 设计原则 严格按照国家局的产业结构调整政策,执行行业技术改造的指导意见,广泛采用国内外烟草行业先进、成熟、适用的新工艺、新技术、新设备、新材料,以效益为中心,优化资源配置,增强XX中烟工业公司内部同质化生产能力,坚持高起点规划设计,高标准实施,建设工艺特色鲜明、装备先进实用的国内先进的现代化项目。 (1)本次技术改造工程按照“系统化设计、集约化生产、智能化控制、精细化加工、数字化管理、现代化物流、网络化通讯”的总体要求,在总体设计中对总图布局的合理性,工艺流程的简捷性,建筑物的功能、技术、艺术性,法规执行的准确性以及项目的经济可行性等诸多参数进行充分的协同。 (2)功能分区合理,人流、物流短捷,符合城市规划要求。对主要建筑物的建筑造型、风格及色彩要体现现代建筑气息,外观气势宏伟,格调清新、明快,时代感强,与企业文化相融合。 (3)为应对多变的市场,需要生产不同规格的产品,总体规划考虑建立相应的生产系统快速反应体系。(4)产品规模:按年产40万箱卷烟生产规模进行规划,并留有发展余地。(5)产品结构:每班可以同时生产4个规格牌号卷烟,其中:二类烟5%以下,三类、四类烟80%以上,五类烟15%以下。硬包烟占80%,软包烟占20%。 (6)生产班次及工作时间:全年工作日为251天,其中:制丝车间两班制,日有效工作时间16小时;卷接包车间三班制生产,日有效生产时间22小时;滤棒成型发送三班制生产,日有效生产时间22小时。 (7)按照ISO14000《环境管理体系系列标准》和OHSAS18001《职业安全卫生管理体系系列标准》,建立生态、环保、人本化的现代化企业,创建XX 市工业景观工程。 (8)切合实际、远近结合、全面规划设计、分期实施。 1.3 设计范围 本次规划设计的内容主要包括,在厂区内以卷烟生产工艺为依据,结合有关规范,进行合理规划布局,设计年产40万箱联合生产工房。 (1)联合工房:制叶丝生产线、制梗丝生产线、膨胀烟丝生产线、卷接包生产线、配方高架库、辅料高架库、成品输送、滤嘴成型生产线;与上述生产相关的物流系统、车间辅房等。 (2)物流系统:原料配方物流系统、辅料物流系统、成品物流系统、零备件物流系统、特殊物料物流系统。 (3)动力系统:动力集中控制中心、空压系统、真空系统、热力系统、空调、制冷系统、配电系统、软水处理系统、冷凝水回收系统、供水系统等。 (4)消防车库及综合仓库。 (5)后勤保障中心:食堂及停车场等。 (6)污水处理、河水处理、垃圾集中回收及处理。 (7)厂区绿化、环保、道路、消防及安防等设计。 (8)设计总体规划方案、生产设备工艺流程、设备布局、自动控制、动力能源监控、人流、物流、信息流总体方案。

真空泵改造方案

300MW汽轮机 真空系统节能改造 技术方案 湖南大唐节能科技有限公司 2015年

概述 目前电站汽轮机真空系统的抽真空设备主要是射水抽气器和水环真空泵,特别是300MW及以上机组基本采用水环真空泵。这些抽真空设备,普遍存在以下问题:1)选型偏大 设计选型时,主要考虑快速启机的响应速度(30 分钟内能达到启机要求真空值) 和最大的允许漏气量作为选型原则,但在机组正常运行时,维持系统真空时有较大 裕量。 2)效率低 水环真空泵的效率较低,液环真空泵总效率η=ηιs×ηω×ηm ηιs——等温指示效率~,反映实际压缩过程与等温压缩过程的偏差。 ηω——~,它反映叶轮搅动液体流动的损失。 ηm——~,机械效率。 所以水环真空的效率很低,一般只有30%左右。 3)水环真空泵抽气性能受制于工作水温度的变化 水环真空泵的实际抽速Qt=Q15K,K=(P1-Pt)/(P1-P15) Qt—水温为t℃时的抽气量m3/h Q15—水温为15℃时的抽气量m3/h P1—水环泵的吸入压力KPa Pt—水温为t℃时的饱和蒸汽压力KPa P15—水温为15℃时的饱和蒸汽压力KPa K—抽气量修正系数 当工作水达到 35℃以上,抽气能力急剧下降 80%以上,这是因为工作水温度升 高到水环真空泵入口压力下对应的饱和温度时发生了汽化现象,真空泵主要应付 于抽取汽化蒸汽,导致抽空气能力大幅下降;同时,工作水温度的升高对真空泵 的极限真空值产生较大的影响——这是因为极限真空值就是水环泵工作水温度 所对应的饱和压力。这是夏季凝汽器端差较大的主要原因。 4)水环真空泵受汽蚀现象影响大,设备维护成本高,也影响设备的安全运行,加装大气喷射器,虽然可以缓解水环真空泵的汽蚀,但并不节能,一般投入大气喷射器后,水环泵电流会增大10%~20%,同时整个大气喷射-水环真空泵组的抽气能力下降,约为单独水环真空泵的60%左右的抽气能力。

储罐真空服务合同

技术服务合同 甲方(委托方):签订日期: 乙方(受托方):签订地点: 甲、乙双方根据《中华人民共和国合同法》及相关法律规定,为明确双方权利义务,经友好协商,特签订本合同,供双方共同遵守。 第一条服务内容 甲方委托乙方办理如下业务: 1、60立方米液化天然气储罐抽真空; 2、储罐真空度检测及检测报告 第二条付款方式 1、合同总价为人民币元整(大写:)含税金元整(大写:元整) 2、合同签订后,甲方向乙方支付50%即_____元作为预付款,完成合同约定服务并经过甲方验收合格后,甲方7日内向乙方支付剩余 50%尾款,乙方7日内向甲方递交由国家检测机构开具的真空度检测报告; 3、上述款项由甲方支付到乙方下面的银行账户。 开户行: 账号: 第三条甲乙双方责任 1、甲方责任:甲方按照合同约定向乙方支付服务费。 2、乙方责任:乙方办理的业务必须手续齐全、完善,满足当地主管及业务部门(指当地锅炉压力容器安全检测研究院)验收、检查及甲方施工的需要。如若不符合,必须在甲方要求的合理期限内重新办理或全额退款。 3、由于甲方现场属于投产运行的天然气场站,乙方在履行服务过程中必须严格遵守甲方提出的各项安全要求,若因乙方人员或设备设施等原因造成甲方现场损失的,由乙方负责赔偿及担负相应安全责任。 第四条其它约定 1、本合同经双方签字加盖公章或合同章后生效。本合同壹式贰份,甲、乙双方执壹份,具有同等法律效力。 2、本合同如有涉讼纠纷,甲乙双方同意,以违约方对方所在地的人民法院为管辖法院。 3、本合同未尽事宜或在合同履行期间发现有需补充之处,双方可另行协商补充,经签字盖章认可后成为本合同的补充条款,与本合同具有同等法律效力。 甲方:乙方: 法定代表人(经办人):法定代表人(经办人):

真空设备生产项目规划设计方案

真空设备生产项目规划设计方案 规划设计/投资分析/产业运营

报告说明— 真空设备是在真空环境下进行产生、改善和维持的装置。本次调查主 要是针对分子束外延系统,磁控溅射、电子束蒸发镀膜系统,等离子体刻 蚀系统,快速热退火、快速热处理系统和等离子体增强化学气相沉积系统。 该真空设备项目计划总投资7163.99万元,其中:固定资产投资 5742.11万元,占项目总投资的80.15%;流动资金1421.88万元,占项目 总投资的19.85%。 达产年营业收入12856.00万元,总成本费用10090.71万元,税金及 附加124.56万元,利润总额2765.29万元,利税总额3271.27万元,税后 净利润2073.97万元,达产年纳税总额1197.30万元;达产年投资利润率38.60%,投资利税率45.66%,投资回报率28.95%,全部投资回收期4.95年,提供就业职位269个。 目前国内泵及真空设备行业生产企业众多,产品同质化倾向严重,市 场竞争激烈。但是,在国内市场上,竞争较为激烈的主要是在中低端产品 市场,在高端产品市场竞争相对较缓,产品对外依存度相对较高。随着外 资不断在中国投资建厂或合资建厂,国内泵及真空设备制造行业在高端产 品的竞争也进一步加大。

目录 第一章概述 第二章项目单位概况 第三章建设背景分析 第四章项目市场前景分析第五章项目规划分析 第六章项目选址说明 第七章项目工程设计研究第八章工艺技术说明 第九章环境保护 第十章安全保护 第十一章风险应对评估 第十二章项目节能方案 第十三章项目进度说明 第十四章项目投资方案 第十五章经营效益分析 第十六章项目结论 第十七章项目招投标方案

PVD真空镀膜设备行业分析

目录 (一)PVD真空镀膜技术 (1) (二)真空镀膜技术具体应用领域 (2) (三)行业现状分析 (4) (四)行业市场表现分析 (5) (五)行业竞争格局分析 (6) (六)行业与上下游的关系 (6) (七)行业周期性、区域性、季节性特征 (9) (八)进入本行业的主要障碍 (9) (九)影响行业发展的有利因素和不利因素 (10) (十)行业发展方向 (11) (十一)总结 (12)

PVD真空镀膜机设备行业分析

(一)PVD真空镀膜技术 PVD真空镀膜技术,PVD是Physical Vapor Deposition的缩写,意思是“物理气相沉积”,指在真空条件下,用物理方法使材料沉积在被镀工件上的薄膜制备技术。 PVD(物理气相沉积)技术主要分为三类,真空蒸发镀膜、真空溅射镀膜和真空离子镀膜,三种主要的真空镀膜技术可以满足常生产、生活领域的所有常见基材(塑料、玻璃、金属、薄膜、陶瓷等)的镀膜需要。近十多年来,真空离子镀技术发展最快,已经成为当代最先进的表面处理方法之一。 PVD镀膜技术种类表 类型介绍 蒸发镀膜加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。 溅射镀膜利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。 离子镀膜离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术,将各种气体放电方式引入到气相沉积领域,整个气相沉积过程都是在等离 子体中进行。 其他如真空卷绕镀膜是一种利用物理气相沉积的方法在柔性基体上连续镀膜的技术,以实现柔性基体的一些功能性、装饰性属性。 需要镀膜的被称为基片,镀的材料被称为靶材,基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。溅射类镀膜,可以理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且最终沉积在基片表面,经历成膜过程,最终形成薄膜。离子镀是在真空蒸发镀和溅射镀膜的基础上发展起来的一种镀膜新技术,将各种气体放电方式引入到气相沉积领域,整个气相沉积过程都是在等离子体中进行的。离子镀大大提高了膜层粒子能量,可以获得更优异性能的膜层,扩大了“薄膜”的应用领域,是一项发展迅速、受人青睐的新技术。广义来讲,离子镀膜的特点是:镀膜时,工件(基片)带负偏压,工件始终受高能离子的轰击,形成膜层的膜基结合力好、膜层的绕镀性好、膜层组织可控参数多、膜层粒子总体能量高,容易进行反应沉积,可以在较低温度下获得化合物膜层。

贵阳卷烟厂MES系统设计构想

贵阳卷烟厂MES系统设计构想 制造执行系统(MES)在近年来得到了迅速的发展,MES系统是面向车间层的管理系统,并且位于工业控制和生产计划管理系统之间。其目标是实现设备、物料、在制品和人在生产过程中的集成,然后进行有效的控制、跟踪和管理。 对于贵阳卷烟厂这样一个烟草企业来说,基本实现了底层过程控制系统的过程自动化和基础自动化,形成了相对独立的系统在制丝和卷包过程中,但是这些系统有着不同的处理逻辑,使得在通信机制、数据模型和数据库方面演变成了信息孤岛,在生产过程和信息资源共享方面缺乏的统一管理。 1 系统设计原则 (1)规范化和标准化原则 构建MES系统的需要对规范化和标准化加以强调,做到接口标准统一,连接通畅,界面友好、实用,使系统具有灵活性、完整性,为系统的扩展打下坚实的基础,以便于系统的有效集成。 (2)实用性、可靠性、先进性、经济性原则 实用性是指维护方便、操作简单、经济耐用,显示直观。可靠性是指系统能长期无故障地工作;先进性是指为了今后系统的升级和扩展,应保证在技术上适当超前,并且具有先进性在一定时期内;经济性是指造价合理,能够对系统设计进行优化,从而使其具有较低的维护费用和较高的性价比; (3)集成性的原则 MES系统中的各个子系统进行统一的设计、开发和分析、利用统一数据库系统和开发平台确保MES系统的集成性。MES系统的集成性能够使各个功能的子系统避免成为信息孤岛,从而使各个单位和部门的信息能够进行共享和交流,实现基础信息资料共享和统一维护,从而充分利用信息的价值,提高资料的准确性,减少数据维护的工作量。 (4)安全性的原则 利用软硬件和管理相结合的多级安全机制的方法,确保MES系统的安全,为了保证数据的安全,需要进行严格的系统权限管理,使系统操作人员只能使用权限内的有关数据。 2 系统结构设计 2.1 系统总体结构 由于MES系统是面向制造过程的,所以需要与企业中的其它制造管理系统进行交互和共享信息。MES系统需要接收制造管理系统中的各类信息,作为生产管理系统的核心,MES还提供现场的数据信息给企业其他的应用系统,以实现合理资源配置和优化调度。贵阳卷烟厂MES考虑到系统集成的需要,设计了基于B/S架构的MES体系结构。 在贵阳卷烟厂MES系统的结构设计中采用了三层系统结构,使其能够单独加以实现,并且在逻辑上各自独立,分别是数据访问层、业务逻辑层、用户界面层。局域网用户和互联网用户对贵阳卷烟厂的MES系统进行访问可以用浏览器来实现,通过对不同业务逻辑模块的访问对各自的业务进行处理;通过SQL方式业务逻辑模块把数据或其他资源的请求发送到数据

差分抽气系统的设计依据及真空系统配置

差分抽气系统的设计依据及真空系统配置 时间:2009-04-04 来源:大连理工大学等离子体物理化学实验室编辑:丁洪斌 分子束质谱差分抽气系统设计的主导思想主要有两方面: (1) 尽可能减少取样过程中气体分子所遭遇的附加碰撞。 (2) 最大限度地缩短从采样孔到四极质谱间的距离,以提高对痕量物种的分析灵敏度。如上节所述,被分析气体经采样孔、分流器及准直孔进入四极质谱计。把采样孔与分流器之间的真空部分称为1 区(相当于束源室) ,将分流器 与准直孔之间的区域称为2 区(相当于准直室) ,准直孔后四极质谱分析器和探 测器所在的真空部分称为3 区(相当于检测室) 。为了尽可能减少取样孔处气体分子间的碰撞,采样微孔应做成喇叭形,在取样孔处的孔板厚度应尽可能小 ( ≤100μm) 。采样微孔的直径通常在50~500μm 之间,取决于气体反应室的 压力及1 区真空泵的抽速。采样孔与分流器之间的间距应作适当选择,过近则引起涡流而在1 区造成附加碰撞,过远则会降低分子束强度而导致分析灵敏度降低。 在本设计中取分流器孔径为1mm, 采样微孔至分流器间距离为 20mm 。以N2 为例,若室温下分子热运动平均自由程须大于20mm, 则气体压力应小于3 ×10-1Pa, 取此值作为1 区的工作压力。为了提高整套装置对微量组分的检测灵敏度,必须使3 区(检测室) 有尽可能低的极限工作压力, 但同时又要 兼顾取样路径不至因选用大抽速真空泵( 大尺寸) 而过长。涡轮分子泵具有抽速大、体积小、极限真空度高等优点,故成为分子束质谱装置的首选泵型。 综合考虑检测真空度要求、泵抽速、口径等因素后的三级差分抽气系统有关真空设计参数如表1 所示。其他参数条件:气体反应室压力为13300Pa; 采样微孔直径为0.3mm; 采样微孔至分流器间距为20mm; 分流器孔直径为110mm; 采样微孔至四极质谱引入孔间距为300mm 。 表1 分子束质谱三级差分抽气系统的极限及工作真空设计指标

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