激光微细加工技术的研究与应用

摘要

激光加工的实质是激光将能量传递给被加工材料，被加工材料发生物理或

化学变化，使其达到加工的目的。激光微细加工技术是指加工精度O.1mm_lμm

的激光加工技术。激光微加工的应用范围十分广泛，尤其在集成电路芯片的制造、计算机外设以及通讯等方面的应用推动了信息产业革命，在电子、仪表、

航空航天工业中，激光微细加工可以高效率高质量地完成微细小孔、划片微调、切割、焊接以及标记等加工，其中以准分子激光的应用最为广泛，准分子激光

除做常规的钻、切、划加工外，还可用掩模法直接在工件上生成图案。目前的

研究进展已经显示，激光微技术是有发展潜力的三维微制造技术，将可能成为

微系统制造的主流技术之一，并已是激光加工技术及产业发展研究开发的重点

之一。激光微技术将是21世纪高新技术发展的主要标志和现代信息社会光电子技术的支柱之一。

关键词：激光微细加工；制造技术；优点；应用；孔加工；发展趋势

一、激光微细加工技术简介

激光加工是将激光束作用于物体表面而引起物体形状或性能改变的加工过程，其实质是激光将能量传递给被加工材料，被加工材料发生物理或化学变化，使其达到加工的目的。加工技术可以分为4个层次：一般加工、微细加工(加工精度O.1mm_lμm)、精密加工(加工精度1μm -O.1μm)和超精密加工(加工精度

高于O.1pm)。激光具有高单色性、高方向性和高亮度的优点 . 在理论上将相

干光聚焦后形成直径为亚微米级的光点 , 温度高达 10000 ℃以上 , 可在千

分之几秒内急剧熔化和汽化各种材料。激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料 ( 包括金属与非金属) 进行切割、焊接、表面处理、打

孔及微加工等的一门加工技术。激光加工技术是涉及到光、机、电、材料及检测等多门学科的一门综合技术。其工作原理：激光器由激光工作物质、激励

能源、全反射镜和部分反射镜构成的光谐振腔组成，当工作物质被光或放电

电流等能源激发后 , 在一定的条件下可以使光得到放大 , 并通过光谐振腔的

作用产生光的振荡 , 由光谐振腔的部分反射镜输出激光，由激光器发射的激

光束通过透镜聚焦到工件的待加工表面 , 对工件进行各种加工。激光加工技

术不仅可以方便地加工硅、金刚石、石英、人造金刚石、玻璃、陶瓷和硬金属

等材料，也可以对容易产生塑性流动的低硬度聚合物材料进行精确的加工。激

光加工同样也适合于精密和形状复杂的零件的加工，同时，激光加工还适用于

表面的亚微米加工，能够加工传统方法难以实现的孔或空腔。

二、激光微细加工技术的优点

1．激光微细加工条件较易满足。尽管电子束、X射线、离子束具有更短波长、更高的分辨率，但它们在曝光源、掩膜、抗蚀剂、成象光学系统等方面存

在极大困难，与此相比，激光加工条件容易满足，具有明显的经济性和现实性。

2．激光微细加工对象广泛。可以用于多种材料的加工，如金属、有机物、无机物、陶瓷等，在加工中可以控制激光的作用深度、作用时间，扩展了应用

范围。

3．激光微细加工是一种符合可持续发展战略的绿色制造技术。绿色制造是人类社会可持续发展战略在加工业的体现。例如 : 在大规模生产中激光微细制造成本低、生产效率高；根据生产流程进行编程控制(自动化) ；可接近或达到冷加工状态，实现常规技术不能执行的高精密制造；对加工对象的适应

性强 , 且不受电磁干扰 , 对制造工具和生产环境的要求大大降低；噪声低；不产生任何有害的射线与残剩 , 生产过程对环境污染小等等。

4．激光微细加工是一种智能化制造技术。加工系统智能化已成为必然的发展趋势。由于激光输出的可控制性 , 因此制造过程能通过软件实行自动化流程的智能控制。带有实时检测、反馈处理的加工系统可根据生产性质的需要 , 实行加工台的定位控制 , 还可通过激光的光纤传输实行加工头的机器手

定位控制 , 从而实现高效的自动化、智能化激光制造。比如 , 汽车车身覆盖件的三维定位切割、车身骨构架的焊接、齿轮盘及其他零部件的焊接加工

等 , 已形成激光加工、组装一条龙的生产线。

5．激光微细加工是一种更精密的制造技术。在微细加工中对于微小元件、印刷电路板集成电路、微电子元件和微小生物传感器等的制作 , 激光微细加工是唯一的不可替代的技术。

6．激光微细加工是一种无接触加工的制造技术。激光微细加工透过空

气 , 惰性气体和透明体对工件加工实现无接触加工 , 并且高能量激光束的能

量及其移动速度均可调 , 因此可以实现多种加工的目的；它可以对多种金属、非金属加工 , 特别是可以加工高硬度、高脆性及高熔点的材料。

7．工艺先进。激光加工过程中无“刀具”磨损 , 无“切削力”作用于

工件；激光加工过程中，激光束能量密度高，加工速度快，并且是局部加工 , 对非激光照射部位没有或影响极小。因此 , 其热影响区小 , 工件热变形小 , 后续加工量小；它可通过透明介质对密闭容器内的工件进行各种加工。

8．由于激光束易于导向、聚集实现作各方向变换 , 极易与数控系统配

合 , 对复杂工件进行加工 , 因此它是一种极为灵活的加工方法。

9．生产效率高 , 加工质量稳定可靠 , 经济效益和社会效益好。例如 ,

美国通用电器公司采用板条激光器加工航空发动机上的异形槽 , 不到 4 h 即

可高质量完成 , 而原来采用电火花加工则需要 9 h 以上。仅此一项 , 每台

发动机的造价可省 5 万美元。激光切割钢件工效可提高 8～20 倍 , 材料可节省 15 %～30 % , 大幅度降低了生产成本 , 并且加工精度高 , 产品质量稳

定可靠。

10．激光微细加工的另一个主要优点是其固有的加工灵活性 , 这为各种微细结构的加工生产提供了极大的可能性。采用激光微细加工能制造各种形状的微棱镜以满足反射型、透射型等各种不同几何分布的需要。例如加工多角形

棱镜或连续变化的由许多小平面构成的棱镜 , 这些结构用精密机械加工的方法是不可能的。随着日益增多的、具有多功能装置的如光学器件、微机械系统、电子线路和互连组件等系统的设计和开发 , 以及这种先进装置加工工艺

技术的不断成熟 , 激光微细加工将在这些装置的加工中起着至关重要的作用 , 能实现前所未有的特殊的性能技术及要求。

三、激光微细加工技术应用

在电子、仪表、航空航天工业中，激光微细加工可以高效率高质量地完成

微细小孔、划片微调、切割、焊接以及标记等加工，其中尤以准分子激光的应

用最为广泛，准分子激光除做常规的钻、切、划加工外，还可用掩模法直接在

工件上生咸图案。激光微细加工的一个主要优点是其固有的加工灵活性，这为

各种微细结构的加工生产提供了极大的可能性。例如，在显示器件加工应用中，可用准分子激光器微细加工系统执行加工透明导电氧化物(例如铟锡氧化物）电极图案或其他图案；在聚合物中加工薄层结构和加工制造发光二极管(LED)器件；钻通互连器件，为多层结构系统钻通孔；加工诸如光学组件使用的微透镜之类

的微细结构，例如，加工多角形棱镜或连续变化的由许多小平面构成的棱镜，

这些结构用精密机械加工的方法是不可能的。另外，准分子激光器发出的紫外

激光对聚合物微细加工有极好的性能，因此采用准分子激光微细加工系统进行

加工。利用掩模投影技术直接烧蚀各种聚合物样品，能制造出各种符合要求的

结构。

近期在微细加工领域中又开发了激光清洗和激光作为夹持工具（镊子）的研究，激光清洗是指去除超净超光滑表面污染微粒，其原理是激光能量被微粒

表面或人为的清洗介质（如水）吸收后产生爆炸性汽化时，把微粒从表面上除去，该法可有效地用于半导体器件、激光陀螺的研制中，激光镊子主要用于有

机材料的微粒搬运和固定，其原理是微米量级的有机微粒在激光的束腰处，要

受一对极子力或折射力（当微粒>l μm时）的作用，这些力都是把微粒拉向激

光的束腰（光最强处）中心处，因此，可惜移动或固定激光束来夹持微粒。

高强度材料的微细加工，若采用机械加工方法，则刀具强度往往不够；若采用蚀刻方法，则效率太低；但采用激光微细加工，就能大大弥补这些不足。

例如，利用紫外激光进行金属材料的微细加工在微电子、航空发动机和其他工

业领域已得到了应用。紫外激光能提供短持续、高峰值的脉冲，能够使激光加

工过程中的热影响区域得到有效控制，从而可利用升华为主的方法对材料进行

去除加工，又如，利用超短脉冲激光进行加工时，热损伤的影响几近消失，从

而可得到亚微米级的加工特征精度。

现以孔加工为例，介绍激光微细加工技术的应用。激光制孔是最早达到实用化的激光加工技术，也是激光加工的主要应用领域之一。随着近代工业和科学技术的迅速发展，传统的加工方法已不能满足某些工艺需求，例如，在高熔点金属板上加工微米量级孔径，在硬质碳化钨上加工几十微米的小孔：在红、蓝宝石上加工几十微米的深孔以及金刚石拉丝模具、化学纤维的喷丝头等，这一类的加工任务用常规的机械加工方法很难，有时甚至是不可能的。而用激光打孔则不难实现，激光束在空间和时间上的高度集中，可以将光斑赢径缩小到微米级从而获得很高的功率密度，几乎可以对任何材料进行激光制孔，激光制孔技术与机械钻孔、电火花加工等常规打孔手段相比，具有显著的优点：制孔速度快，效率高，经济效益好；可获得大的深径比；可在硬、脆、软等各种材料上进行；无工具损耗；适合于数量多、高密度的群孔加工；可在难以加工的材料倾斜面上加工小孔等。激光制孔的最小孔径已达0.002ｍｍ，已成功地应用自动化六坐标激光制孔专用设备加工航空发动机涡轮叶片、燃烧室气膜孔，达到无再铸层、无微裂纹的效果，早期激光钻孔采用定点冲击法，使加工的孔深和孔径均受到限制。接着出现了旋切钻孔法，这不仅消除了孔径限制，且由于有辅助吹气，加工区呈半敞开式，熔融物易排出，故孔的表面质量好。对于分布有大量相同规格小孔的零件，特别是回转体，当前又发展了飞行打孔法，即激光对一个孔位加工一个脉冲后，不管孔是否打通，工件都利用光脉冲间隙快速运动（移动或转动）到下一个孔位，如此进行多次循环对同一位置多次冲击，直至完成所有孔的加工，其优点是激光脉冲间隙的时间被用作零件孔的位移，可大大提高加工速度。钻孔速度目前为每秒数10孔，预计可达每秒500孔（亚毫米孔径）。

激光微细力口工在电子工业中的应用：电子工业中，加工尺度在1mm一lμm之间的主要加工内容有：精密标记、细导线剥离、表面毛化、精密微调、锻透镜列阵等。

四、激光微细加工的应用发展趋势

1．不断扩宽的技术及应用领域

在电子、半导体、通讯、光信息存储以及医疗方面，激光微细加工有着广阔的前景和强势竞争力。在其他方面，激光微细加工的市场也在开拓。

目前反犯罪、反恐怖在世界上呼声很高。纽曼公司正在进行一项利用微加工来帮助执法的开发研究把凸起字符刻到半自动手枪的撞针上，把这种字符压印到被手枪弹出的弹壳上，当用这支手枪进行犯罪时，为司法机关提供线索。这种想法也可以用到爆炸物的标记上。

2．激光光源的发展

大功率激光器在加工中具有生产效率高的特点，目前国内10KW的CO2激光器已经进入实用化；同时，优质、高效、稳定、可靠、廉价的激光器是精密加工推广应用的前提，近年来，二极管泵浦激光器发展十分迅速，它具有转换效

率高、工作稳定性好、光束质量好、体积小等一系列优点，很有可能成为下一代激光精密加工的主要激光器。

3．一体化、小型化的加工系统

激光微细加工的发展趋势之一就是加工系统小型化，加工系统集成化是激光微细加工发展的又一重要趋势．二极管泵浦激光器转换效率高、工作稳定性好、光束质量好、体积小，在系统小型化方面将会有极大的竞争力：微控制器（国内又称单片机）在一体化、小型化的加工系统中的数据采集、数据处理、系统控制中起着核心的作用。

4．智能化加工系统

智能化首先表现在加工系统过程的自动化和智能化，它包括：激光光源的自动控制、光路的自动控制、加工工件运动的自动控制、自动检测以及过程中的故障报警与处理等内容。当然，一些系统可能包含上述的部分功能。这些功能保证了加工系统的可靠性和实用性．智能化还表现在加工系统的功能上，应包括：图象检测、图象识别、加工的目标值的自动获取、加工效果的自动评价以及友好的人、机界面等功能．这些功能能够提升产品的档次、提高系统的竞争力。

国内在激光加工的工艺与设备方面虽然与国外存在较大差距，但是如果我们在原有基础上不断提高激光器的光束质量和加工精度，结合材料的加工工艺研究，就可以推动激光加工技术的迅速发展，并最终使激光精密加工形成较大规模的产业。

参考文献：

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激光加工技术及其应用(精)

激光加工技术及其应用概述: 激光加工(Laser Beam Machining,简称LBM是指利用能量密度非常高的激光束对工件进行加工的过程。激光几乎能加工所有材料,例如,塑料、陶瓷、玻璃、金属、半导体材料、复合材料及生物、医用材料等。在1960年12月,出生于伊朗的美国科学家贾万率人终于成功地制造并运转了全世界第一台气体激光器——氦氖激光器。1962年,有三组科学家几乎同时发明了半导体激光器。1966年,科学家们又研制成了波长可在一段范围内连续调节的有机染料激光器。此外,还有输出能量大、功率高,而且不依赖电网的化学激光器等纷纷问世。与传统加工技术相比,激光加工技术有以下特点 (1激光功率密度大,工件吸收激光后温度迅速升高而熔化或汽化,即使熔点高、硬度大和质脆的材料(如陶瓷、金刚石等也可用激光加工; (2、激光头与工件不接触,不存在加工工具磨损问题; (3、工件不受应力,不易污染; (4、可以对运动的工件或密封在玻璃壳内的材料加工; (5、激光束的发散角可小于1毫弧,光斑直径可小到微米量级,作用时间可以短到纳秒和皮秒,同时,大功率激光器的连续输出功率又可达千瓦至十千瓦量级,因而激光既适于精密微细加工,又适于大型材料加工; (6、激光束容易控制,易于与精密机械、精密测量技术和电子计算机相结合,实现加工的高度自动化和达到很高的加工精度; (7、在恶劣环境或其他人难以接近的地方,可用机器人进行激光加工。

2.基本原理激光被广泛应用是因为它具有的单色波长、同调性和平行光束等3大特性。科学家在电管中以光或电流的能量来撞击某些晶体或原子易受激发的物质,使其原子的电子达到受激发的高能量状态。当这些电子要回复到平静的低能量状态时,原子就会射出光子,以放出多余的能量。这些被放出的光子又会撞击其它原子,激发更多的原子产生光子,引发一连串的连锁反应,并且都朝同一个方前进,进而形成集中的朝向某一方向的强烈光束。由此可见,激光几乎是一种单色光波,频率范围极窄,又可在一个狭小的方向内集中高能量,所以利用聚焦后的激光束可以穿透各种材料。以红宝石激光器为例,它输出脉冲的总能量不够煮熟一个鸡蛋,但却能在 3mm的钢板上钻出一个小孔。激光拥有上述特性,并不是因为它有与别不同的光能,而是它的功率密度十分高,这就是激光能够被广泛应用的主要原因。激光加工技术先进性激光的上述特性给激光加工带来一些其它加工方法所不具备的优势。由于激光加工是无接触加工,对工件无直接冲击,所以无机械变形。激光加工过程中无刀具磨损,无切削力作用于工件;激光束能量密度高,加工速度快,并且是局部加工,对非激光照射部位没有影响或影响极小,因此受其热影响的工件热变形小,后续加工量少。激光束易于导向、聚焦,能够便捷地实现方向变换,使其极易与数控系统配合,对复杂的工件进行加工。因此,它是一种极为灵活的加工方法,具备生产效率高、加工质量稳定可靠、经济效益和社会效益好等优点。激光加工作为先进制造技术已广泛应用于航空、汽车、机械制造等国民经济重要部门,在提高产品质量、劳动生产率、自动化、降低污染和减少材料消耗等方面起到重要的作用。激光切割激光切割一直是激光加工领域中最为活跃一项技术,它是利用激光束聚焦形成高功率密度的光斑,将材料快速加热至汽化温度,再用喷射气体吹化,以此分割材料。脉冲激光适用于金属材料,连续激光适用于非金属材料,通过与计算机控制的自动设备结合,使激光束具有无限的仿形切割能力,切割轨迹修改十分方便。激光切割技术的出现使人类可以切割一些硬度极高的物质,包括硬质合金,甚至金刚石。高科技已经让“削铁如泥”的传说变成了现实。激光切割技术是激光加工技术应用的重要方面之一,广泛应用于金属和非金属材料的加工中,可大大减少加工时间,降低加工成本,提高工件质

激光加工技术的原理及应用

激光加工技术摘要激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料（包括金属与非金属）进行切割、焊接、表面处理、打孔及微加工等的一种加工新技术，涉及到光、机、电、材料及检测等多门学科。由于激光加工热影响区域小，光束方向性好，几乎可以加工任何材料。常用来进行选择性加工，精密加工。由于激光加工的特殊特点，其发展前景广阔，目前已广泛应用于激光焊接、激光切割、表面改性、激光打标、切削加工，快速成形，激光钻孔和基板划片，半导体处理等。关键词：原理、应用﹑新技术、精密加工、引言激光是本世纪的重大发明之一，具有巨大的技术潜力。专家们认为，现在是电子技术的全胜时期，其主角是计算机，下一代将是光技术时代，其主角是激光。激光因具有单色性、相干性和平行性三大特点，特别适用于材料加工。激光加工是激光应用最有发展前途的领域，国外已开发出20多种激光加工技术。激光的空间控制性和时间控制性很好，对加工对象的材质、形状、尺寸和加工环境的自由度都很大，特别适用于自动化加工。激光加工系统与计算机数控技术相结合可构成高效自动化加工设备，已成为企业实行适时生产的关键技术，为优质、高效和低成本的加工生产开辟了广阔的前景。激光加工是指利用激光束投射到材料表面产生的热效应来完成加工过程，包括激光焊接、激光切割、表面改性、激光打标、激光钻孔和微加工等。用激光束对材料进行各种加工，如打孔、切割、划片、焊接、热处理等。激光能适应任何材料的加工制造，尤其在一些有特殊精度和要求、特别场合和特种材料的加工制造方面起着无可替代的作用。

正文 1﹑激光加工技术的原理及其特点 1．1激光加工的起源早期的激光加工由于功率较小，大多用于打小孔和微型焊接。到20世纪70年代，随着大功率二氧化碳激光器、高重复频率钇铝石榴石激光器的出现，以及对激光加工机理和工艺的深入研究，激光加工技术有了很大进展，使用范围随之扩大。数千瓦的激光加工机已用于各种材料的高速切割、深熔焊接和材料热处理等方面。各种专用的激光加工设备竞相出现，并与光电跟踪、计算机数字控制、工业机器人等技术相结合，大大提高了激光加工机的自动化水平和使用功能。 1.2激光加工的原理激光加工是以激光为热源对工件进行热加工。激光加工是将激光束照射到工件的表面，以激光的高能量来切除、熔化材料以及改变物体表面性能。由于激光加工是无接触式加工，工具不会与工件的表面直接磨察产生阻力，所以激光加工的速度极快、加工对象受热影响的范围较小而且不会产生噪音。由于激光束的能量和光束的移动速度均可调节，因此激光加工可应用到不同层面和范围上。从激光器输出的高强度激光经过透镜聚焦到工件上，其焦点处的功率密度高达107～1012瓦／厘米2，温度高达1万摄氏度以上，任何材料都会瞬时熔化、气化。激光加工就是利用这种光能的热效应对材料进行焊接、打孔和切割等加工的。通常用于加工的激光器主要是固体激光器（图1）和气体激光器（图2）。使用二氧化碳气体激光器切割时，一般在光束出口处装有喷嘴，用于喷吹氧、氮等辅助气体，以提高切割速度和切口质量。由于激光加工是无接触式加工，工具不会与工件的表面直接磨察产生阻力，所以激光加工的速度极快、加工对象受热影响的范围较小而且不会产生噪音。由于激光束的能量和光束的移动速度均可调节，因此激光加工可应用到不同层面和范围上。

激光加工技术的现状及国内外发展趋势

激光加工技术的现状及国内外发展趋势——激光英才网作为20世纪科学技术发展的主要标志和现代信息社会光电子技术的支柱之一，激光技术和激光产业的发展受到世界先进国家的高度重视。激光加工是国外激光应用中最大的项目，也是对传统产业改造的重要手段，主要是kW 级到10kW级CO2激光器和百瓦到千瓦级Y AG激光器实现对各种材料的切割、焊接、打孔、刻划和热处理等。激光加工应用领域中，CO2激光器以切割和焊接应用最广，分别占到70％和20％，表面处理则不到10％。而Y AG激光器的应用是以焊接、标记（50％）和切割（15％）为主。在美国和欧洲CO2激光器占到了70~80％。我国激光加工中以切割为主的占10％，其中98％以上的CO2激光器，功率在1.5kW~2kW范围内，而以热处理为主的约占15％，大多数是进行激光处理汽车发动机的汽缸套。这项技术的经济性和社会效益都很高，故有很大的市场前景。在汽车工业中，激光加工技术充分发挥了其先进、快速、灵活地加工特点。如在汽车样机和小批量生产中大量使用三维激光切割机，不仅节省了样板及工装设备，还大大缩短了生产准备周期；激光束在高硬度材料和复杂而弯曲的表面打小孔，速度快而不产生破损；激光焊接在汽车工业中已成为标准工艺，日本Toyota已将激光用于车身面板的焊接，将不同厚度和不同表面涂敷的金属板焊接在一起，然后再进行冲压。虽然激光热处理在国外不如焊接和切割普遍，但在汽车工业中仍应用广泛，如缸套、曲轴、活塞环、换向器、齿轮等零部件的热处理。在工业发达国家，激光加工技术和计算机数控技术及柔性制造技术相结合，派生出激光快速成形技术。该项技术不仅可以快速制造模型，而且还可以直接由金属粉末熔融，制造出金属模具。到了80年代，Y AG激光器在焊接、切割、打孔和标记等方面发挥了越来越大作用。通常认为Y AG激光器切割可以得到好的切割质量和高的切割精度，但在切割速度上受到限制。随着Y AG激光器输出功率和光束质量的提高而被突破。Y AG激光器已开始挤进kw级CO2激光器切割市场。Y AG激光器特别适合焊接不允许热变形和焊接污染的微型器件，如锂电池、心脏起搏器、密封继电器等。Y AG激光器打孔已发展成为最大的激光加工应用。目前，国外激光打孔主要应用在航空航天、汽车制造、电子仪表、化工等行业。激光打

浅谈激光加工技术的发展及应用

浅谈激光加工技术的发展及应用浅谈激光加工技术的发展及应用【摘要】因为激光的加工技术的优点是生产的效率极高、加工的质量极好、适用的范围很广等，所以越来愈多的人希望在很多的领域中使用激光加工技术。本文介绍其相关的理论，重点论述其发展和应用。【关键词】激光加工技术相关理论发展应用一、前言近年来重大的发明之一是激光技术。随着社会经济的快速发展，把激光器当成基础的激光加工的技术得到了快速发展。目前其正在被广泛应用在生产、通讯、医疗、军事及科研等多种领域。并且在这些领域都取得了非常好的经济与社会的效益，是我国未来经济的发展的关键。二、激光加工技术相关理论笔者认为，了解与应用激光加工技术需要对其相关理论深入的研究。以下笔者从其原理和特点来介绍激光加工技术。（一）原理激光加工能够获得极高的能量密度与极高的温度是因为采用的光学系统能够让激光聚焦成为一个非常小的光斑，在这样的高温下，每种坚硬的材料都会被瞬间熔化与气化，然后熔化物被气化而产生的蒸汽压力推动，以很高的速度喷射出来，从而实现了对工件加工的特种加工方法。（二）特点激光加工的技术对于加工工具与特殊环境没有要求，不会造成工具的磨损，易于使用自动控制来进行连续加工，且加工效率极高；同时激光的强度极高，聚焦后差不多能够熔化和气化全部的材料，所以能够加工所有硬度的金属与非金属的材料；加上激光加工是属于非接触的加工，及加工速度非常的快，工件没有受力与受热而产生变形；其还能聚焦成为极小的光斑（微米级），能够调节输出的功率，所以

可进行精密且细微的加工。这些均是激光加工优点。但由于其设备的投资比较大，及操作和维护技术要求比较高；且在精微加工的时候，重复的精度与表面的粗糙度难以保证等。这些缺点尽管在一定的程度上缩小了其应用规模，也限制了其发展，但是由于进一步的研究，越来越成熟的技术，激光加工技术有着非常广阔的发展前景。三、激光加工技术的发展及应用近年来，由于激光加工技术的快速发展，其被应用于许多的领域。以下是笔者从激光器与激光加工技术领域来介绍激光加工技术的发展，同时介绍目前激光加工技术的具体应用。（一）激光加工技术的发展了解激光加工技术的发展，就要研究激光器以及其应用的领域的变化。只有这样才能从根本上了解其发展。迅速发展的激光器。我国研制出的第一台激光器是在1961年。通过几十年的努力，我国的激光器技术快速的发展起来了，从固体的激光器到气体的激光器，再到如今光纤的激光器、半导体的激光器与飞秒的激光器。光纤的激光器与传统激光器来比较，其优势是功率输出大，光束的质量较好，转换的效率较高，良好的柔性传输等。其在使用激光加工技术加工材料中有着极大的吸引力。现在应用于使用激光来打标、切割以及焊接。而飞秒的激光器则能够使超精微的加工可以实现。其在高技术的领域如微电子、光子学等应用的前景极宽广。同时半导体的激光器正在被直接用在焊接、热处理等方面。总之激光器的迅速发展导致了激光加工技术的快速发展。广泛的应用领域。激光加工是在机械加工、力加工、火焰加工与电加工之后新产生的一种的加工技术，是借助激光束和物质相互作用的特性，对材料进行切割、焊接、表面处理、打孔以及微加工的综合性技术。激光焊接广泛应用在汽车的零件、密封的器件等多种要求焊接无污染与无变形的器件。激光切割主要应用在汽车的行业、航天的工业等领域。而激光打孔则应用在汽车的制造、化工等产业。广泛的应用领域也使得激光加工技术快速发展。（二）激光加工技术的应用激光加工技术在我国的许多领域里占据着重要的位置，以下是笔

微细加工技术概述及其应用

2011 年春季学期研究生课程考核（读书报告、研究报告）考核科目:微细超精密机械加工技术原理及系统设计学生所在院（系）:机电工程学院学生所在学科:机械设计及理论学生姓名:杨嘉学号:10S008214 学生类别:学术型考核结果阅卷人

微细加工技术概述及其应用摘要微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法，现代微细加工技术已经不仅仅局限于纯机械加工方面，电、磁、声等多种手段已经被广泛应用于微细加工，从微细加工的发展来看，美国和德国在世界处于领先的地位，日本发展最快，中国有很大差距。本文从用电火花加工方法加工微凹坑和用微铣削方法加工微小零件两方面描述了微细加工技术的实际应用。关键词：微细加工；电火花；微铣削 1微细加工技术简介及国内外研究成果 1.1微细加工技术的概念微细加工原指加工尺度约在微米级范围的加工方法。在微机械研究领域中，从尺寸角度，微机械可分为1mm~10mm的微小机械，1μm~1mm的微机械，1nm~1μm的纳米机械，微细加工则是微米级精细加工、亚微米级微细加工、纳米级微细加工的通称。广义上的微细加工，其方式十分丰富，几乎涉及现代特种加工、微型精密切削加工等多种方式，微机械制造过程又往往是多种加工方法的组合。从基本加工类型看，微细加工可大致分为四类：分离加工——将材料的某一部分分离出去的加工方式，如分解、蒸发、溅射、切削、破碎等；接合加工——同种或不同材料的附和加工或相互结合加工方式，如蒸镀、淀积、生长等；变形加工——使材料形状发生改变的加工方式，如塑性变形加工、流体变形加工等；材料处理或改性和热处理或表面改性等。微细加工技术曾广泛用于大规模集成电路的加工制作，正是借助于微细加工技术才使得众多的微电子器件及相关技术和产业蓬勃兴起。目前，微细加工技术已逐渐被赋予更广泛的内容和更高的要求，已在特种新型器件、电子零件和电子装置、机械零件和装置、表面分析、材料改性等方面发挥日益重要的作用，特别是微机械研究和制作方面，微细加工技术已成为必不可少的基本环节。现代微细加工技术已经不仅仅局限于纯机械加工方面，电、磁、声等多种手段已经被广泛应用于微细加工，微细超精密加工的主要方法如下：微细电火花加工技术的研究起步于20世纪60年代末，是在绝缘的工作液中通过工具电极和工件间脉冲火花放电产生的瞬时、局部高温来熔化和汽化蚀除金属的一种加工技术。由于其在微细轴孔加工及微三维结构制作方面存在的巨大潜力和应用背景，得到了

激光加工

激光加工技术的应用与发展摘要：激光加工是把具有足够能量的激光束聚焦后照射到所加工材料的适应部分，在极短的时间内，光能转换为热能，被照部位迅速升温。根据不同的光照参量，材料可以发生汽化、熔化、金相组织变化以及产生相当大的热应力，从而达到工件材料被去除、连接、改性或分离等加工。用激光束对材料进行各种加工，如打孔、切割、划片、焊接、热处理等。激光能适应任何材料的加工制造，尤其在一些的特殊精度和要求、特别场合和特种材料的加工制造方面起着无可替代的作用。关键词：加工原理、反展前景、强化处理、细微加工、发展前景。一激光加工的原理及其特点 1 激光加工的原理激光加工是将激光照射到工件的表面，以激光的高能量来切除、融化材料以及改变物体表面性能。由于激光加工时无接触式加工，工具不会与工件的表面直接摩擦产生阻力，所以激光加工的速度极快、加工对象受热影响的范围较小而不会产生噪音。由于激光束的能量和光束的移动速度均可调节，因此激光加工可应用不同层面和范围上。 2激光的基本特性首先，激光也是一种光，因此具有一般光的共性。此外，由于激光的发射时以受辐射为主，因而发光物质中基本上是有组织地、相互关联地产生光发射的，发出光波的频率、方向、偏振状态相同和位相关系严格。因此产生了激光的四大特性：亮度（强度）高、单色性好、相干性好和方向性强。 1）强度高激光的强度高，主要是由于激光在空间上和时间上可以实现光能的高度集中。 2）单色性好太阳光包含红、橙、黄、绿、青、蓝、紫等7种颜色，每一种颜色的光对应一定的波长与频率，而激光往往是只有一种频率的光，因此激光也是单色光。激光器所发出的激光具有其他光源难以到达的、极高的单色性。这是由于构成激光的谐振腔的反射镜对波长选择性极佳，并且利用原子固有的能级跃迁的结果。 3）相干性好光源的相干性可以利用相干长度来衡量。相干时间是指光源先后发出的俩束光产生干涉现象的最大时间间隔。 4）方向性强光束的方向性是用光束的发散角表征的。应当指出，上述激光的四个特性不是相互无关的，而是相互联系、相互渗透的。二激光技术用激光束对材料进行各种加工，如打孔、切割、划片、焊接、热处理等。激光加工有许多优点：1激光功率密度大，工件吸收激光后温度迅速升高而融化或汽化，即使熔点高、硬度大和质脆的材料（如陶瓷、金刚石等）也可用激光加工；2激光头与工件不接触，不存在加工工具磨损问题；3工件不受应力，不易污染；4可以对运动的工件或密封在玻璃壳的材料加工；5激光束的发散角不可小于1毫弧，光斑直径可小到微米量级，作用时间可以短到纳秒和皮秒，同时，大功率激光器的连续输出功率又可以达到千瓦至十千瓦量级，因而激光既适于精密微细加工，又适于大型材料加工；6激光束容易控制，易于与精密机械、精密测量技术和电子计算机相结合，实现加工的高度自动化和达到很高的加工精密；7在恶劣环

激光加工技术的应用研究

激光加工技术的应用研究摘要：激光加工技术作为一门科学技术，广泛应用于许多工程领域。作为科学发展中出现的一种全新产物，该技术为国防军事、工业机械和农业商业等领域带来了诸多便利。科学技术的不断进步推动着施工质量在提高，激光技术也在不断改进。激光加工技术在工程机械制造中的应用是本文研究的重点，目的是与行业相关人员讨论如何更有效地提高机械产品的制造精度和质量。关键词：激光加工；机械制造；应用引言日益提升的国民经济水平下，信息现代及激光技术也得到了进一步发展。激光技术凭借自身的多项优点，在军事、医学等相关领域之中得到了普遍认可。可以说，激光技术在各个行业之中都属于一项顶尖的技术，是各领域应用激光而产生的一系列技术，备受各国相关人员的重视。 1激光技术工作原理激光具有单色波长、平行光束的性能特征。科学实验中，采用电管依托光或电流的能量撞击个别原子里含有易激发物质或晶体，原子所带电子在经历了撞击之后处于高能量状态，而高能量电子逐渐朝着平和低能量转化并完成之后，原子会有更大能量产生，进而有光子发出；该状态下，释放出来的光子会继续撞击原子，而原子在撞击下会有光子继续产生，重复撞击、释放这一循环过程，且是以同一运行方向进行的，会集中形成一束具有极强能量的该方向的光，即为激光原理。聚集之后形成的激光具有强大的能量，各类材质即可穿透。如红宝石激光输出脉冲尽管不具备能让冷水沸腾的能量，然而却能将5mm钢板穿透。而激光虽然具有一般的光能，但却具备极高的功率密度和强大的穿透力，是一般光束根本无法达成的，也正是因为激光的该优势，因此在各个行业领域之中得到了广泛地应用。 2激光加工概述激光的全称是受激辐射光放大，如何从技术上实现数反转是激光产生的必要条件，当高能粒子与特定频率的光子发生入射时，高能级的粒子会有一定的概率跃至低能级。除此之外，粒子会辐射出与外光子频率、相位、偏振和传播方向相同的光子，上述过程就是受激辐射。受激辐射就意味着原始光信号会被放大，受激光辐射过程中衍生出的光被称为激光。激光的显著特点主要有：亮度极高、指向性强、色度比较单一、相干度较高等。随着工业技术近年来的技术改革逐步深入，激光切割、激光焊接、激光熔覆、激光材料制造等激光加工技术在制造业中扮演着越来越重要的角色。 2.1激光切割激光切割是借助高能量密度的激光束对器件进行强光照射，目的是使照射温度迅速上升。物料气化后，蒸汽会在短时间内被迅速排出或熔化，而辅助气体会为液体的顺利排出提供一定的帮助，进而形成相应的狭缝。激光切割通常会被用于加工钢、铝合金、钛合金等常见金属材料，玻璃、陶瓷、塑料等非金属材料也是激光切割的切割对象。值得一提的是，激光切割是一种非接触加工工艺，切割过程中工件并不会出现机械变形，激光束不会对不受激光照射的工件产生影响，其热冲击面积小，工件的热变形校激光切割快速灵活，节省投资和生产成本。在汽车工业中，三维激光切割逐步取代冲切模和切边模成为生产车身板件的主要切割技术，相较于传统技术节省了大量的切割时间。在工程机械行业，日本以激光

激光加工技术发展的研究

激光加工技术发展的探究摘要:激光加工是将激光束照射到工件的外表，以激光的高能量来切除、熔化质料以及转变物体外表性能。由于激光束的能量和光束的移动速率均可调治，因此激光加工可应用于任意层面和领域上。本文分别从激光加工技术的原理及其应用综合品评了激光加工较传统加工技术的良好性,说明其在制造行业中不行替换的作用.结合我国激光加工制造现状与国际的差距,对我国激光加工业发展做了良好的预测.在阐发外国研究动向的基础上，指出激光制造技术的发展趋向,将重点定位在微结构、微刻蚀、微工具以及多功效性微技术、微工程的研究与开发上。可以预测，三维微纳尺度的激光微制造技术必将成为新世纪的主流制造技术。关键词:激光加工激光制造体系技术发展 1.前言激光的研究及其在各个领域的应用得到了迅速的发展。其高相干性在高细密丈量、物质结构阐发、信息存储及通讯等领域得到了普遍应用。激光的高单色性，可在光化学领域对一些相距很近的能级作选择引发，进行重金属的同位素疏散；激光的高偏向性和高亮度可普遍应用于加工制造业（大到航天器、飞机、汽车工业，小到微电子、信息、生物细胞疏散等微技术）。随着激光器件、新型受激辐射光源，以及相应工艺的不停改造与优化，尤其是近20年来，激光制造技术已渗透到诸多高新技术领域和产业，并开始取代或革新某些传统的加工行业。 2.正文激光制造技术包括两方面的内容，一是制造激光光源的技术，二是使用激光作为工具的制造技术。前者为制造业提供性能优良、稳固可靠的激光器以及加工体系，后者使用前者进行各种加工和制造，为激光体系的不停发展提供广阔的应用空间。两者是激光制造技术中不可或缺的部分，不行偏废。激光制造技术具有许多传统制造技术所没有的优点，是一种切合可持续发展战略的绿色制造技术。比如，质料浪费少，在大规模生产中制造资本低；凭据生产流程进行编程控制（自动化），在大规模制造中生产屈从高；可靠近或到达“冷”加工状态，实现通例技术不能实验的高细密制造；对加工工具的顺应性强，且不受电磁干扰，对制造工具和生产情况的要求低；噪声低，不孕育发生任何有害的射线与剩余，生产历程对情况的污染小等等。因此，为顺应21世纪高新技术的产业化、满足宏观与微观制造的需要，研究和开发高性能光源势在必行。现在正在积极研制超紫外、超短脉冲、超大功率、高光束质量等特性的激光，尤其是能顺应微制造技术要求的激光光源更是倍受关注，并已形成国际性竞争。可以

微细加工技术及其应用

微细加工技术及其应用 Last revised by LE LE in 2021

微细加工技术及其应用微细加工技术是由瑞士BinC公司发明的一种新型加工工艺，在2004年法国巴黎举办的国际表面处理展览会（SITS）和2004年在法国里昂举办的ALLIANCE展览会上荣获2项发明奖。微细加工工艺和设备拥有国际专利。微细加工技术结合了超精增亮和超精抛光两项革新技术，能够有选择性地保留表面的微观结构，以提高表面的摩擦和滑动性能（表面技术），以机械化和化取代传统的手工抛光，提高表面的美学功能。这种微细加工技术应用于切削刀具、冲压和锻造工具，航空、汽车、医疗器械、塑料注射模具等机械零件的表面处理，能够极大地改善零件表面的性能。微细加工原理微细加工技术采用全方式对金属零件表面进行超精加工，通过一种机械化学作用来清除金属零件表面上1～40μm的材料，实现被加工表面粗糙度达到或者好于ISO标准的N1级的表面质量。微细加工技术主要应用于超精抛光和超精增亮这两个领域。超精抛光使传统的手工抛光工艺化；而超精增亮则生成新的表面拓扑结构。微细加工技术的一个突出优点是能够赋予零件表面新的微观结构。这些微观结构能提高零件表面对特定应用功能的适应性。如减小摩擦和机械差异、提高抗磨损性能、改善涂镀前后表面的沉积性能等。总的说来，超精增亮可去除次级微观粗糙表面，次级粗糙表面的厚度在0～20μm之间，位于零件表面初级微观粗糙面的峰尖之间。而超精抛光则部分或整体去除初级微观粗糙表面，其值在10～40μm之间，当然这取决于零件材料表面的初始状态。

微细加工技术迄今能够加工的材料有退火及淬火钢、铜及铜合金、铸铁、Inconel镍合金（镍基合金）、钛金属、表面硬涂层处理前后的预处理（PVD、CVD、电镀）。技术专利微细加工技术是一种有选择性地精修被加工对象表面微观粗糙度和拓扑结构的创新性微观加工工艺。这种机械化学加工工艺是一种全化的加工工艺，适用于汽车制造、电子、化工、冶金、机械制造、航空制造等行业，尤其是模具、刀具和机床工具、高精密零件、光学器件，以及硬涂层处理前后的表面预处理加工。微细加工技术的应用微细加工技术通过改变材料表面的微细结构，能够减小摩擦、提高抗磨损性能，显着地提高材料的表面性能，在刀具行业具有广阔的应用前景。如采用超精增亮技术，彻底消除次级微观粗糙表面，减小摩擦，能够提高刀具的排屑性能，降低切削力；而保持初级粗糙表面，有利于润滑油膜，提高刀具的排屑性能，减少发热；如果在涂层处理前优化预处理涂层基面，或者在涂层之后彻底清除涂层引起粗糙表面，则能够提高PVD涂层的附着性能，延长刀具的使用寿命，消除刀具表面的积屑瘤问题。这种创新的加工工艺近几年来在诸多工业领域的实际应用清楚地表明，微细加工技术能够大幅降低超精加工的成本；极大地缩短生产周期；方便地提高表面的质量，并且采用这种加工工艺加工出来的表面具有无以伦比的一致性和再现性。

飞秒激光超微细加工技术简介

飞秒激光超微细加工技术简介摘要：本文首先简单地介绍了飞秒激光和超微细加工技术飞秒激光加工技术的技术背景，然后较为详细地介绍了飞秒激光超微细加工技术及其特点与应用，结合飞秒激光超微细加工技术的特点将其与其它的微机械加工技术进行了比较，最后分析飞秒激光超微细加工技术的发展趋势和应用前景。关键词：飞秒激光超微细加工技术飞秒激光超微细加工 Femtosecond laser micro machining technology Introduction Abstract: This paper first briefly describes the technical background of the femtosecond laser and micro machining technology and femtosecond laser micro machining technology, then a more detailed description the femtosecond laser micro machining technology and its features and applications, combined with the femtosecond laser micro machining technology will be characterized by with other micro-machining technology, the final analysis of the femtosecond laser micro machining technology trends and application prospects. Keywords:femtosecond laser micro machining technology femtosecond laser ultra-fine processing 0引言激光（Laser,即Light Amplification by stimulated Emission of Radiation的缩写），意思是利用辐射受激得到的加强光，激光加工（Laser Beam Machining）就是把激光的方向性好和输出功率高的特性应用到材料的加工领域中去。【1】用聚焦的方法，把激光束汇聚在面积很小的一个区域，从而在该区域提供足够的热量使该区域的材料荣华或者气化从而达到机械加工的目的，显然激光加工是一种非接触式的加工，可以用于各种材料的微细加工。知道了什么是激光加工，那么飞秒激光超微细加工和普通的激光加工又有什么区别呢？

激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用讲解

SpecialReports 2002年第3期综述激光微细加工技术及其在MEMS微制造中的应用LaserMicromachiningandItsApplicationintheMicrofabricationofMEMS 潘开林①②陈子辰②傅建中① (①浙江大学生产工程研究所②桂林电子工业学院) 摘要:文章综述了当前MEMS各类微制造技术,阐述了各种激光微细加工技术的原理、特点,主要包括准分子激光微细加工技术、激光LIGA技术、激光微细立体光刻技术等,以及它们在MEMS微制造中的应用。关键词:激光微细加工微机电系统激光LIGA1所示[5]。表1MEMS主要微制造技术对比技术 LIGA 1MEMS及其微制造技术概述微机电系统(ME,,知功能和执行功能,在此基础上可开发出高度智能、高功能密度的新型系统。MEMS器件与系统未来将成为多个领域的核心,其作用与以CPU为代表的集成电路构成当今电子系统的核心一样。鉴于MEMS技术的重要技术经济潜力和战略地位,引起了世界各国的高度重视。MEMS主要是美国学者的称谓,在日本称为微机械,在欧洲称为微系统。此外,微技术在不同的学科与应用领域,还有类似的不同的专业或行业术语,如生物技术领域的基因芯片(DNA芯片)、生物芯片(Bio-Chip),分析化学领域的微全流体分析系统(uTAS)、芯最小尺寸 +++--(+)-(+)+++ 精度 +++--(+)++-+ 高宽比粗糙度 ++-+-+++++++

++--+-++ 几何自由度 +-++++++-- 材料范围金属、聚合物、陶瓷金属、聚合物金属、聚合物、陶瓷聚合物金属、半导体、陶瓷金属、半导体非铁金属、聚合物技术准分子激光微细立体光刻微细电火化 LCVD 金刚石片实验室(LabonChip),与光学集成形成微光机电系统(MOEMS)等。MEMS是从微电子技术发展而来,其微制造技术注:表中++、+、-、--分别表示很好、好、较差、很差,+-表示不同应用条件下的相对效果,括号内的“+”表示最新研究有所进展。在目前MEMS微细加工技术的研究与应用中,激光微细加工技术得到了广泛的关注与研究。激光微细加工制造商宣称激光微细加工技术具有:非接触工艺、有选择性加工、热影响区域小、高精度与高重复率、高的零件尺寸与形状的加工柔性等优点。实际上,激光微细加工技术最大的特点是“直写”加工,简化了工艺,实现了MEMS的快速原型制造。此外,该方法没有诸如腐蚀等方法带来的环境污染问题,可谓“绿色制造”。在MEMS微制造中主要采用的激光微细加工技术有:激光直写微细加工、激光LIGA、激光微细立体光刻等,下面分别加以介绍。主要沿用微电子加工技术与设备。微电子加工技术与设备价格昂贵,适合批量生产。由于微电子工艺是平面工艺,在加工MEMS三维结构方面有一定的难度。目前,通过与其它学科的交叉渗透,已研究开发出以下一些特定的MEMS微制造技术。 (1)LIGA技术LIGA和准LIGA技术最大的特点是可制出高径比很大的微构件,但缺点同样突出,成本高。 (2)材料去除加工技术这类技术主要包括准分子激光微细加工[1～4]、微细电火花加工[5]、以牺牲层技术为代表的硅表面微细加工、以腐蚀技术为主体的体硅加工技术、电子束铣、聚焦离子束铣等。(3)材料淀积加工技术这类技术主要包括激光 7] 辅助淀积(LCVD)、微细立体光刻[6、、电化学淀积等。

激光加工技术-教学基本要求

高等职业教育激光加工技术专业教学基本要求专业名称激光加工技术专业代码580114 招生对象普通高中毕业生、中职毕业生学制与学历三年制，专科就业面向本专业覆盖激光加工技术等职业领域的岗位群。 1.毕业生可适应的初始职业岗位有：（1）激光加工设备制造企业的各加工工种岗位、激光加工设备装配、调试、使用、维护、维修等岗位；（2）光电设备、机电设备及相关成套设备的安装、调试、使用与维护。 2.毕业生在获得一定工作经验（进修）后发展职业岗位有：（1) 激光及数控加工设备制造企业的产品营销、生产管理、技术管理、质量控制等企业管理岗位群；（2) 升迁的职业岗位及预计平均获得的时间为三年。培养目标与规格一、培养目标本专业培养德、智、体、美、劳全面发展，适应现代制造业需要，主要面向激光加工设备制造和使用行业，培养从事大功率激光加工设备操作及维护，小功率激光加工设备组装、调试及售后服务等岗位，兼顾光电设备、机电设备及相关成套设备的安装、调试、使用、数控加工设备操作等岗位的高端技能型专门人才。激光加工设备装配调试、操作使用、销售及售后服务各工种岗位主要包括激光美容仪、激光打标机、激光雕刻机、激光焊接机、激光切割机等设备的生产制造、销售服务、使用维护等岗位构成本专业毕业生初始就业岗位群。毕业生经过三年左右的工作经验累积或进修，可升迁至激光及数控加工设备制造企业的生产管理（计划员、统计员、调度员、采购员、对外协作员等）、技术管理（工艺师、工装夹具设计师等）、质量控制（对产品质量的控制、检验、分析）、产品营销等企业管理岗位群。二、培养规格本专业的职业核心能力主要有：在掌握激光加工设备本体的装配与调试工艺的基础上，重点掌握激光器光路装置的装配与调试工艺。

激光加工技术应用领域研究(通用版)

When the lives of employees or national property are endangered, production activities are stopped to rectify and eliminate dangerous factors. （安全管理）单位：___________________ 姓名：___________________ 日期：___________________ 激光加工技术应用领域研究(通用版)

激光加工技术应用领域研究(通用版)导语：生产有了安全保障，才能持续、稳定发展。生产活动中事故层出不穷，生产势必陷于混乱、甚至瘫痪状态。当生产与安全发生矛盾、危及职工生命或国家财产时，生产活动停下来整治、消除危险因素以后，生产形势会变得更好。"安全第一" 的提法，决非把安全摆到生产之上;忽视安全自然是一种错误。激光加工技术作为一项高新技术一直是国家重点支持和推动的，在国家制定中长期发展规划时，也将激光加工列为关键支撑技术，这就给激光加工技术应用带来前所未有的发展机遇。本文就对激光加工技术的在快速制造应用领域进行简单的探讨。激光快速制造技术弥补了激光烧结工艺中的不足。现代激光技术的应用，采用了专门研发的、申请了专利保护的激光照射方案，使用了标准钢材粉末为原料的技术，获得了巨大的成功，可制造出无收缩的、几乎是百分之百密实的零部件。现在，在使用正品原材料的情况下可以制作大型的零件，如强力冷却的模具型芯。所用材料的特性与大批量生产时所用的钢材相同，使制造出来的零件满足了大批量生产的条件。铝合金铸造厂采用这种工艺技术为汽车生产厂制造铝合金材料的压铸模具。激光快速制造技术是一种“常规的”生产制造工艺，它使得所有可以焊接的金属材料，如不锈钢、耐热钢和调质钢，按照一层层焊接

激光加工技术要求

激光加工技术要求 1.加工件所用材料应严格按照我方要求采购，不应有以次充好等现象发生。 2.应提供每个批次加工件所用材料的材质单。 3.每个批次加工件所用材料的表面不得有锈蚀点、氧化皮等缺陷。 4.每个批次加工件的平面度不应大于0.05%。 5.每个批次加工件所用材料的规格应满足图纸要求（尤其是厚度不应小于图纸、要求厚度0.3mm）。 6.加工件的轮廓尺寸误差不得大于0.5mm。 7.加工件的穿孔直径误差不得大于0.2mm。 8.加工件的穿孔孔距误差不得大于0.4mm。 9.加工件的切口表面粗糙度应控制在Ra12.5—25μm（切缝一般不需要再加工即可焊接等）。 10.加工件的切口表面垂直度应控制在2%。 11.加工件所有螺纹处要求激光划线“十”字标记；直径小于板厚的光孔处要求激光划线“十”字标记；特殊要求标记处要求激光划线按图纸要求标记。 12.加工件所有划线标记处要清晰，但不要划线太深。 13.加工件划线标记处数量、穿孔处数量、特殊标记处数量应准确，不应多做标记和漏划标记处。 14.每次交付加工件时要求有贵公司的质量检验报告单。

报价要求 1.每次报价应把该批次加工件的详细排版图使用电子邮件形式发至我公司。 2.首次加工的加工件加工详细情况，贵公司应与我公司按图纸要求共同协商加工。例如：图纸上哪些孔是按穿孔计算价格，哪些孔是按切割延米计算价格。 3.报价单应注明加工件的图号；板厚及外形尺寸；加工数量；净重；切割长度；穿孔数量；标记出数量；材料损耗；加工每一项的单价、合计；材料单价、合计；总计价格等。报价补充 1.如果报价按照每次加工数量排版的实际使用材料数量报价，那么每个批次的加工件排版的余料、损耗等由贵公司按照当时的市场价格自行处理，并适当减少加工部分费用。 2.如果报价按照每件的材料价格和单件加工费用总和报价，那么每个批次加工后的余料、损耗等由贵公司自行处理，并适当减少加工部分费用。 3.部分加工件中切割后剩余的材料还很整齐，还可以充分利用切割其它零件，不应按废钢计算。只有切割后完全不能再利用的材料才能按废钢计算。

激光微细加工技术的研究与应用

激光微细加工技术的研究与应用摘要激光加工的实质是激光将能量传递给被加工材料，被加工材料发生物理或化学变化，使其达到加工的目的。激光微细加工技术是指加工精度O.1mm_lμm 的激光加工技术。激光微加工的应用范围十分广泛，尤其在集成电路芯片的制造、计算机外设以及通讯等方面的应用推动了信息产业革命，在电子、仪表、航空航天工业中，激光微细加工可以高效率高质量地完成微细小孔、划片微调、切割、焊接以及标记等加工，其中以准分子激光的应用最为广泛，准分子激光除做常规的钻、切、划加工外，还可用掩模法直接在工件上生成图案。目前的研究进展已经显示，激光微技术是有发展潜力的三维微制造技术，将可能成为微系统制造的主流技术之一，并已是激光加工技术及产业发展研究开发的重点之一。激光微技术将是21世纪高新技术发展的主要标志和现代信息社会光电子技术的支柱之一。关键词：激光微细加工；制造技术；优点；应用；孔加工；发展趋势一、激光微细加工技术简介激光加工是将激光束作用于物体表面而引起物体形状或性能改变的加工过程，其实质是激光将能量传递给被加工材料，被加工材料发生物理或化学变化，使其达到加工的目的。加工技术可以分为4个层次：一般加工、微细加工(加工精度O.1mm_lμm)、精密加工(加工精度1μm -O.1μm)和超精密加工(加工精度高于O.1pm)。激光具有高单色性、高方向性和高亮度的优点 . 在理论上将相干光聚焦后形成直径为亚微米级的光点 , 温度高达 10000 ℃以上 , 可在千分之几秒内急剧熔化和汽化各种材料。激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性对材料 ( 包括金属与非金属) 进行切割、焊接、表面处理、打孔及微加工等的一门加工技术。激光加工技术是涉及到光、机、电、材料及检测等多门学科的一门综合技术。其工作原理：激光器由激光工作物质、激励能源、全反射镜和部分反射镜构成的光谐振腔组成，当工作物质被光或放电电流等能源激发后 , 在一定的条件下可以使光得到放大 , 并通过光谐振腔的作用产生光的振荡 , 由光谐振腔的部分反射镜输出激光，由激光器发射的激光束通过透镜聚焦到工件的待加工表面 , 对工件进行各种加工。激光加工技术不仅可以方便地加工硅、金刚石、石英、人造金刚石、玻璃、陶瓷和硬金属等材料，也可以对容易产生塑性流动的低硬度聚合物材料进行精确的加工。激光加工同样也适合于精密和形状复杂的零件的加工，同时，激光加工还适用于表面的亚微米加工，能够加工传统方法难以实现的孔或空腔。

激光加工专业技术有哪些【详情】

激光加工技术有哪些【详情】

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激光加工技术有哪些内容来源网络，由深圳机械展收集整理！更多激光加工设备技术展示，就在深圳机械展！激光加工技术是利用激光束与物质相互作用的特性，对材料（包括金属与非金属）进行切割、焊接、表面处理、打孔及微加工等的一门加工技术。激光加工作为先进制造技术已广泛应用于汽车、电子、电器、航空、冶金、机械制造等国民经济重要部门，对提高产品质量、劳动生产率、自动化、无污染、减少材料消耗等起到愈来愈重要的作用。激光技术是涉及到光、机、电、材料及检测等多门学科的一门综合技术，传统上看，它的研究范围一般可分为以下9个方面： 1.激光加工系统。包括激光器、导光系统、加工机床、控制系统及检测系统； 2.激光加工工艺。包括焊接、表面处理、打孔、打标、微调等各种加工工艺； 3.激光焊接：汽车车身厚薄板、汽车零件、锂电池、心脏起搏器、密封继电器等密封器件以及各种不允许焊接污染和变形的器件。使用的激光器有YAG激光器，CO2激光器和半导体泵浦激光器； 4.激光切割：汽车行业、计算机、电气机壳、木刀模业、各种金属零件和特殊材料的切割、圆形锯片、压克力、弹簧垫片、2mm以下的电子机件用铜板、一些金属网板、钢管、镀锡铁板、镀亚铅钢板、磷青铜、电木板、薄铝合金、石英玻璃、硅橡胶、1mm以下氧化铝陶瓷片、航天工业使用的钛合金等等。使用激光器有YAG激光器和CO2激光器； 5.激光打标：在各种材料和几乎所有行业均得到广泛应用，使用的激光器有YAG激光器、CO2激光器和半导体泵浦激光器； 6.激光打孔：激光打孔主要应用在航空航天、汽车制造、电子仪表、化工等行业。激光打孔的迅速发展，主要体打孔用YAG激光器的平均输出功率已由400w提高到了800w至1000w。国内比较成熟的激光打孔的应用是在人造金刚石和天然金刚石拉丝模的生产及钟表和仪表的宝石轴承、飞机叶片、多层印刷线路板等行业的生产中。使用的激光器多以YAG激光器、CO2激光器为主，也有一些准分子激光器、同位素激光器和半导体泵浦激光器； 7.激光热处理：在汽车工业中应用广泛，如缸套、曲轴、活塞环、换向器、齿轮等零部件的热处理，同时在航空航天、机床行业和其它机械行业也应用广泛。我国的激光热处理应用远比国外广泛得多。使用的激光器多以YAG激光器，CO2激光器为主； 8.激光快速成型：将激光加工技术和计算机数控技术及柔性制造技术相结合而形成，多用于模具和模型行业。使用的激光器多以YAG激光器、CO2激光器为主； 9.激光涂敷：在航空航天、模具及机电行业应用广泛。使用的激光器多以大功率YAG激光器、CO2激光器为主。激光加工为工业制造提供了一个清洁无污染的环境及生产过程，而这也是当下激光加工的优势。技术特性