洁净室洁净度的测试方法

洁净室洁净度测定工艺

1 范围

本工艺规定了（5～9级）洁净室中悬浮粒子的测试方法和就悬浮粒子而言的空气洁净度的评价。

本工艺适用于洁净室中悬浮粒子洁净度的监测和洁净度等级的验证。

本工艺不包括洁净度1～4级洁净系统的测试。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款，其最新版本适用于本标准。

JGJ71 洁净室施工及验收规范

GB50073洁净厂房设计规范

GB50243 通风与空调工程施工质量验收规范

3 术语

3.1 洁净室clean room

对尘粒及微生物污染规定需进行环境控制的房间或区域。其建筑结构、装备及其使用均具有减少对该区域内污染源的介入、产生和滞留的功能。

3.2 粒子particle

一般尺寸为0.001~1000μm的固态和液态物质。

3.3 洁净度cleanliness

洁净环境内单位体积空气中含大于或等于某一粒径的悬浮粒子的允许统计数。

3.4 单向流unidirectional air flow（曾称为层流laminar flow）

沿着平行流线，以一定流速向单一方向流动的气流。

3.5 非单向流non-unidirectional air flow（曾称为乱流）

具有多个通路循环特性或气流方向不平行的，不满足单向流定义的气流。

3.6 t分布t distribution

正态总体中的一种抽样分布，其分布函数为

总体平均值－样本平均值

t = ———————————— (1)

标准误差

3.7 置信度上限（UCL）upper confidence limit

从正态分布抽样得到的实际均值按给定的置信度（此处为95%）计算得到的估计上限将大于此实际均值，则称计算得到的这一均值估计上限为置信度上限。

3.8 静态测试at-rest test

洁净室净化空气调节系统已处正常运行状态，工艺设备已安装，洁净室内没有生产人员的情况进行的测试。工程施工质量竣工验收的测试为静态测试。

3.9 动态测试operational test

洁净室已处正常生产状态下进行的测试。

4 工艺过程方框图

图1 工艺过程方框图

5 测试方法

5.1 方法提要

本测试方法采用计数浓度法，即通过测定洁净室内单位体积空气中含大于或等于某粒径的悬浮粒子数，来评定洁净室的悬浮粒子洁净度等级。

5.2 仪器

检测仪器的选用：应使用采样速率大于1L/min的光学粒子计数器，在仪器选用时应考虑粒径鉴别能力，粒子浓度适用范围和计数效率，仪

表应有有效的标准合格证书。

5.2.1 光散射粒子计数器使用要点

使用仪器时应按照仪器说明书操作。

5.2.1.1 仪器开机，预热至稳定后，方可按说明书的规定对仪器进行校正。

5.2.1.2 采样管必须干净，严禁渗漏。

5.2.1.3 采样管的长度应根据仪器的允许长度。除另有规定外，长度不得大天1.5m。

5.2.1.4 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生测量误差。

5.2.1.5 采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。

5.2.1.6 必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定。以保证测试数据的可靠性。

6 测试规则

6.1 测试条件

6.1.1 送、回风系统，排风系统均能正常运转。

6.1.2 送风量平衡

风管系统风量已经测试与平衡。

总风量及各送风口风量均满足设计要求。

6.1.3 压差

空气洁净度不同的洁净室之间的压差满足设计要求，空气洁净度级别要求高的洁净室对相邻的空气洁净度级别低的洁净室一般要求呈相对

正压。

6.1.4 温度和湿度

洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应（温度控制在18℃～24℃，相对湿度控制在45%～60%之间为宜）。

6.1.5 清洁工作

洁净室及全部风管系统清洁工作应完成且确认。

6.2 测试状态

分静态测试和动态测试，测试报告中应标明测试时所采用的状态。

静态测试时，室内测试人员不得多于2人。

动态测试时，室内测试人员规定同静态。

6.3 测试时间

6.3.1 对单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于10min 后开始。

6.3.2 对非单向流，测试应在净化空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。

6.4 采样点的规定

6.4.1 最低限度的采样点数N L（见表1）

表1 最低限度的采样点数N L

6.4.2 采样点应均匀分布于整个面积内，并位于工作区的高度（或距地平0.8m的水平面），或设计单位、业主特指的位置。

6.4.3 采样点布置图列

洁净室采样点布置力求均匀，避免采样点在基本局部区域过于稀疏。下列采样点图示可作参考。

注：·为采样点。

6.5 采样量的确定

（1）每次采样的最少采样量（见表2）

表2 每次采样的最少采样量V S（L）

（2）每次采样的最少采样时间为1min，采样量最少为2L。

（3）每个洁净室最少采样次数为3次。当洁净室仅有一个采样点时，则在该点至少采样3次。

6.6 检测采样的规定

6.6.1 采样口处的气流速度应尽可能接近室内的设计气流速度。

6.6.2 对于单向流，计数器采样管口朝向应正对气流方向，对于非单向流采样管口宜向上。

6.6.3 布置采样口时应避开回风口。

6.7 测试人员的规定

室内的测定人员必须穿洁净工作服，且站立在采样口的下风侧。

7 高效过滤器检漏测试

7.1 适用范围

本条主要适用于5～6级洁净室内的高效过滤器。

7.2 测试目的

验证高效过滤器及安装质量。

7.3 使用仪表

同4.2条。

7.4 测试方法

在高效过滤器下风侧距高效过滤器20～100mm处沿整个过滤器的表面、边框进行扫描，扫描速度取5～20mm/s。

对计数突然递增的部位进行定点检验，确认泄漏部位为过滤器本身的，应调换；泄漏点为边框处的，则进行重新安装或堵漏并进行复测，直至不泄漏。

8 结果计算

悬浮粒子浓度的采样数据应按t分布或下述步骤作统计计算：

8.1 采样点的平均粒子浓度

C1＋C2＋…＋C N

A = ———————— (2)

式中：A ——某一采样点的平均粒子浓度，粒/m3；

C i——某一采样点的粒子浓度（i =1,2,…,N），粒/m3；

N ——某一采样点上的采样次数，次。

8.2 平均值的均值

A1＋A2＋…＋A L

M = ————————— (3)

式中：M ——平均值的均值，即洁净室的平均粒子浓度，粒/m3；

A i——某一采样点的平均粒子浓度（i =1,2,…,L），粒/m3

L ——某一洁净室内的总采样点数，个。

8.3 标准误差

（A1－M）2＋（A2－N）2＋...＋（A L－N）2 0.5 SE =［———————————————————］ (4)

L（L－1）

式中：SE ——平均值均值的标准误差，粒/m3。

8.4 置信度上限

UCL = M＋i×SE (5)

式中：UCL ——平均值均值的95%置信度上限，粒/m3

i ——95%置信度上限的i分布系数，见表3

表3 95%置信度上限的i分布系数

9 结果评定

判断悬浮粒子洁净度级别应依据下述二个条件。

9.1 每个采样点的平均粒子浓度必须低于或等于规定的级别界限，即A i≤级别界限。级别界限见表4。

表4 洁净度等级及悬浮粒子浓度限值

9.2 全部采样点的粒子浓度平均值均值的95%置信度上限必须低于或等于规定的级别界限，即UCL≤级别界限。

附录A

（规范性附录）

净化空调系统测试报告

注：“备注”一栏中应填入测试的人数

附录B

（规范性附录）

净化空调系统洁净度测试原始记录

附录C

（规范性附录）

高效过滤器检漏记录表

附录D

（规范性附录）

洁净度测试测点布置图

洁净室的测试及验收标准

洁净室的测试及验收标准控制洁净室空气参数的目的—检查洁净室是否符合给定的洁净度级别。无论是在投产调试工作完成后的洁净室检测阶段，还是洁净室使用阶段都要完成空气参数的控制工作。在各种标准和建议（16）中都详细地制订了和提出了洁净室空气参数的测试和控制方法。至今这些方法已成为广大科技界的共同财富。在洁净室内，按其用途的不同应控制下列参数： 1、测试状态的确定 2、空气中粒子的浓度 3、气流的风速和单向性（对单向气流而言） 4、风量和换气次数 5、最终过滤器的整体性 6、空气温度和湿度 7、洁净室的密闭性 8、洁净室表面的洁净度测试状态的确定：根据设计要求，一般洁净室都是对洁净室内的空气进行静态检测，一般不做动态检测，如需动态检测，需要制定或参照其他标准。空气粒子浓度的检测洁净度级别洁净室和洁净区均按一项指标划分级别—一定粒径粒子的最大允许浓度（每1m3空气中的粒子数）。空气洁净度级别和空气洁净度的测定方法均按下表中的规定确定，根据该标准的规定，洁净室的洁净级别是由粒径≥给定阀值D的粒子的最大允许浓度确定的。在确定实际洁净室的洁净度级别时，应对粒径≥阀值的粒子进行统计，下面的粒子给定粒径都是指阀值粒径。

所列为整数级别序数N和最常见值D的粒子最大允许浓度洁净度级别表示实例 ISO 4级；静态；给定粒径微米（352粒子/m3）。 ISO 5级；静态；给定粒径微米（3520粒子/m3）；微米（29粒子/m3）。因此，在测试具体的洁净室的相应洁净度级别时，不需要检测如上表所示的该级别的所有粒子粒径。而只要检测为该种洁净室给定的粒子粒径。

测定洁净度级别的方法在检测洁净室的洁净度级别时，应测定洁净室内1点或数点的悬浮粒子浓度（即取样点的粒子浓度）。因此必须满足下列要求 1）确认洁净室的状态与给定的相符； 2）确定给定粒径，洁净室取样点的数量和位置； 3）确定每一取样点的取样数量； 4）确定对每一种给定粒径在每1取样点上，每1次取样的取样量和取样时间； 5）取样之后应对每一种给定粒径的粒子进行相应统计； 6）将取样数据填入按各种给定粒径统计的粒子统计记录表内（适于采用无计算机软件的粒子计数器的场合下）； 7）整理取得的数据； 8）对结果进行分析； 9）整理方案确定级别应符合上表要求。气流的检测在洁净室中的气流：气流风速（通常是控制单向气流的风速）气流均匀性（单向气流风速稳定性）并目视检查气流。空气（单向气流）的风速和风量空气单向气流的风速是在垂直于气流方向的平面上并距离风源150-500mm处测得的。测试点的数量应大于被测表面面积的平方根，但不得小于3，应在每一个设定的网格中进行测量，测量点应均匀地分布在平面上。应在距离过滤器表面150mm处测试过滤器出口处的风速。在评价气流的均匀性时，应在距离过滤器表面300mm以上处测试风速。每1点的测量时间不得少于10秒。并且要确定平均值，最大和最小值。

(完整word版)无尘车间洁净度标准

无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格No.209B。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为No209E，名称也进行了变更。No.209E 的级别表示是把0.5um以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成M3.5等等。在表7里表示的是美国联邦规格No.209B，表8表示的是美国联邦规格No.209E。在日本，相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把0.1um以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。表8, 美国联邦规格No.209E的洁净度级别分类

* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。 ** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。粒子直径/m3=10M(0.5/d)2.2，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um） ***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。（）内数值是用English unit 表示级别。图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9，JIS B 9920主要内容三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成M3.5（100）、M4.5（1000）、M5.5（10000）、M6.5（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—M5.5（1000）的净化间。而且，在制药工厂里，根据产品的纯度、作业工序，需有从M3.5到M6.5（100，000）范围广泛的级别不等净化间。因此说，各种产业所需要的净化间，其要求的洁净度是不同的。就一般级别而言，表11可以作为参考。表11，各产业所要求的净化间级别一览

洁净室性能测试

洁净室性能测试（一）测试项目的选择和实施顺序 1、性能测试项目和顺序的选择，参照国际标准《洁净室及相关受控环境，第3部份：检测方法》，ISO14644-3中相关要求，根据具体工程的规模、空气洁净度等级、产品生产工艺要求及布置情况、净化空调系统等因素确定，并应由建设方、施工方协商一致填写下表：

注：1 测试可在第1列的格中按所选择的测试项目编号。 2 在第4列中，测试可按所选的测试方法选择测试仪器。（二）测试方法 A、空气洁净度等级测试 1、本节提出的空气洁净度等级测试，主要是参照国际标准《洁净室及相关受控环境，第1部份：空气洁净度分级和第3部份：检测方法》，ISO14644-1和ISO14644-3，并结合我国目前的实际进行制定。 2、空气洁净度等级的测试一般采用粒子计数器，采样量应大于1L/ min。测试粒径大于等于0.5μm粒子时，宜采用光散射粒子计数器；测试粒径大于等于0.1的粒子时，宜采用大流量

激光粒子计数器（采样量每分钟28.3L ）；测试粒径小于0.1μm 的超微粒子时，宜采用凝聚核激光粒子计数器。 3、采样点确定（1）应按下式计算最少采样点 A N L = （C.1.3）式中L N ——最少采样点，四舍五入取整数； A ——洁净室（区）的面积。在水平单向流时，指与气流方向垂直的流动空气的截面积。以㎡计。（2）采样点应均匀分布于洁净室（区）的面积内，并位于工作区高度。 4、每次采样的最少采样量（1）每个采样点的每次采样量（V S ）应按下式计算： ()L C V m n S 100020 .?= （C.1.4）式中：m n C .——被测洁净室（区）空气洁净度等级被测粒径的允许限值（个/m 3）； 20——在规定被测粒径粒子的空气洁净度限值时，可检测到的粒子数。（2）每个采样点的采样量至少为2L ，采样时间最少为1min ，当洁净室（区）仅有1个采样点时，则在该点至少采样3次。当Vs 很大时，采样时间会很长，可参照采用ISO14644-1附录F 中规定的顺序采样法。 5、对于单向流洁净室，采样口应对着气流方向，对于非单向流洁净室，采样口宜向上。采样速度宜接近室内气流速度。 6、室内测试人员必须穿洁净服，不得超过3人，应位于测试点下风侧并远离测试点，并应保持静止。进行换点操作时动作要轻，应减少人员对室内洁净度的干扰。 7、每个采样次数为2次或2次以上的采样点，应按式C.1.7计算平均粒子浓度。 n X X X Xi n i i i .2.1.+???++= - （C.1.7）式中：- Xi ——采样点i 的平均粒子浓度，i 可代表任何位置； n i i X X .1.至——每次采样的粒子浓度； n ——在采样点i 的采样次数。 8、采样点为1个时，应按式C.1.7计算该点平均粒子浓度。采样点为10个或10个以上时，按式C.1.7计算各点的平均浓度后，再按式C.1.8计算洁净室（区）总平均值。

无尘室检测一般都有哪些

不知道有多少人知道无尘室，想必除非是长期接触，不然是很难有所了解的。具体需要检测的项目有哪些，包括哪些方面等等问题，对于从事相关行业的人来说，都是需要知道的。所以，为了解开大家的疑惑，下面就让我们来看看其具体项目都有哪些吧。 1、风速风量换气次数无尘室的洁净度主要是靠送入足够量的洁净空气，以排替、稀释室内产生的颗粒污染物来实现的。为此，测定无尘室或洁净设施的送风量、平均风速、送风均匀性、气流流向及流型等项目十分必要。单向流主要是依靠洁净气流推挤、排替室内、区内的污染空气以维持室内、区内的洁净度。因此，其送风断面风速及均匀性是影响洁净度的重要参数。较高的、较均匀的断面风速能更快、更有效地排除室内工艺过程产生的污染物，因此是主要关注的检测项目。非单向流主要是靠送入的洁净空气来冲淡与稀释室内、区内的污染物以维持其洁净度。因此，换气次数越大，气流流型合理，稀释效果越显著，洁净度也相应提高。所以非单相流无尘室、洁净区的送风量及相应的换气次数，是主要关注的气流测试项目。为了获得可重复的读数，记录各测点风速的时间平均值。

换气次数：根据无尘室总风量除以无尘室的容积求得。 2、温湿度无尘室或洁净设施温、湿度测定，通常分为两个档次：一般测试和综合测试。第一个档次适用于处于空态的交竣验收测试，第二个档次适用于静态或动态的综合性能测试。这类测试适用于对温度、湿度性能要求比较严格的场合。本检测在气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行。进行这项检测时，空调系统已经充分运转，各项状况已经稳定。每个湿度控制区至少设置一个湿度传感器，并且给传感器充分的稳定时间。所做测量应适合实际使用的目的，待传感器稳定之后才开始测量，测量时间不少于5分钟。 3、压差这项检测的目的是验证完工设施与周围环境之间、设施内各空间之间保持规定压差的能力，适用于所有3种占用状态。需要定期进行这项检测。压差的测试应在所有的门都关闭的条件下，由高压向低压、由平面布置上与外界远的里间房间开始，依次向外测试；有孔洞相通的不同等级相邻的无尘室（区），其洞口处宜有合理的气流流向等等。看到这里，大家应该有了一个粗浅的了解了吧，感兴趣要想深入了解的可以找专业网站或是公司了解详情。

空气洁净度等级标准及规范相关

2，ISO1644的ISO5相当于系列的100级（≥μm粒子，≤颗/升，或100颗/ft3，或3530颗/m3）3，洁净度等级在100级以下者（1000，10000级等）通常用μm粒径考核的居多； 4，随着微电子技术的发展，洁净度等级相应提高，洁净室检测粒径也越来越小（见表），对粒子检测仪器的要求当然也越来越高，对洁净室设计和施工方而言，在验收时，可能不止用一个粒径（如μm）而要用到更多的粒径，如μm μm甚至μm。

空气洁净度空气洁净度 1．空气洁净度和级别空气洁净度是洁净环境中空气含悬浮粒子量的多少的程度。通常空气中含尘浓度低则空气洁净度高，含尘浓度高则空气洁净度低。按空气中悬浮粒子浓度来划分洁净室及相关受控环境中空气洁净度等级，就是以每立方米空气中的最大允许粒子数来确定其空气洁净度等级。洁净度标准的制定以前有关国家都各自制定自己的标准，但基本上都是参照美国标准FS-209的各版进行，仅单位制及命名方法有所变换或改变。在命名上基本可分为两类：一是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数直接命名或以符号命名，这种命名方法以美国FS-209A～E版为代表，其规定粒径为μm，以空气中≥μm 粒径的粒子浓度采用英制pc/ft3直接命名，如标准中的100级，表示空气中≥μm 粒径的粒子浓度为100pc/ft3直接命名，即每立方英尺的空气中≥μm粒径的粒子数量为100个，（我们平时使用的是国际单位，即通常所指的是每立方米的空气中所含≥μm粒径的粒子数量，因为1立方米≈35.2立方英尺，所以我们看到标准中100级对应≥μm粒径的粒子数量不是100个，而是3520个，就是这个道理）。二是以单位体积空气中大于等于规定粒径的粒子个数以10n表示，按指数n 命名空气洁净度的等级，这种命名方法以日本JISB9920为代表，其规定粒径为μm，以空气中≥μm粒径的粒子浓度（采用国标单位制）10n pc/m3命名为n级，如该标准2级，其表示≥μm粒径的粒子浓度为100 pc/m3，即102pc/m3。俄罗斯的标准亦基本上采用此种命名方法。现在国际标准ISO14644-1已发布实施，美国标准FS-2009E亦于2001年11月宣布停止使用。按国际标准，空气中悬浮粒子洁净度等级以序数N命名，各种被考虑粒径D 的最大允许浓度Cn可用公式确定：

微生物检验洁净室确认方案

1概述本厂微生物限度检验室位于综合办公楼二楼西北部，于2013年新建成，洁净室主要为微生物限度检验室、效价室与阳性菌室，功能间设计能满足微生物限度检验要求。微生物限度检验室与效价室共用一套空气净化系统，阳性菌室用一套空气净化系统。微生物限度检测室、效价室、阳性菌室人流与物流分开，效价室和阳性菌室相对缓冲室为负压，空气为直排，为了防止排放的空气的污染，在排放口加装净化装置。洁净区分别设有C级区域，净化工作台局部A级。微生物限度检测室的面积为8.7m2、效价室的面积为9.3m2、阳性菌室的面积为9.0m2。洁净室内设计参数：温度18～26℃、相对湿度45～65%、室内与室外静压差为≥10Pa。2确认目的本厂为北京中新制药集团异地新建厂房，检验室亦为新建，为保证检验结果的正确性和有效性，需对微生物限度检验洁净室进行确认，确保其能够满足微生物限度检验的要求。3确认范围及依据 3.1方案适用于本厂微生物限度检验洁净室的确认。 3.2依据序号文件名称文件编号 1 中国药典2010年版二部 2 药品生产质量管理规范2010年修订 3 药品GMP指南质量控制实验室与物料系统2011年版 4验证小组成员及职责部门姓名职位确认工作中职责质量部QC主管负责起草确认方案，方案的实施；负责起草确认报告；负责复审确认记录；负责对相关人员进行培训。 QC 负责按确认方案要求实施确认和记录结果；负责报告确认中发生的任何偏差。

QA主管负责审核确认方案、确认记录和确认报告。负责监督本方案实施。质量部长负责审核确认方案、确认记录和确认报告；负责确保本方案正确实施，并提供资源；负责对发生的偏差组织调查。质量副总验证组长：负责批准确认方案和确认报告。质量受权人负责确认方案、确认报告的审核及评价质量管理负责人验证领导小组组长：负责确认方案、确认报告的批准，提供资源。 5确认方案培训确认方案起草人在方案经验证领导小组批准后及确认方案实施前，对本次确认实施的相关人员组织培训工作，由QC主管负责该次验证方案的培训工作，明确分工。培训记录：方案名称微生物检验洁净室确认方案培训时间培训人序号接受培训人序号接受培训人序号接受培训人 1 2 3 4 5 6 7 8 9 6确认进度计划年月日开始，年月日结束。 7确认方案的执行 7.1确认数据的记录与审核确认数据应记录在已批准方案的记录表中，并要有执行者的签名与日期。在验证执行中产生的原始数据，包括收集的附加数据单，计算机建立和打印的数据、系统产生的数据单、色谱图等，必须作为验证报告的附件，并在相应的确认记录表的“包括附件”栏中注明，建立索引关系。

洁净无尘室之定义标准和设备要求

精心整理洁净无尘室之定义(一)洁净室之定义（供大家参考）洁净室(CleanRoom)，亦称为无尘室或清净室。「洁净室」是指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之污染物排除，并将室内之温度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分布、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件特性。湿度，。 (二)以下仅就209D 如M1、，尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。 (三)洁净室控管之项目1.能除去空气中飘游之微尘粒子。2.能防止微尘粒子之产生。 3.温度和湿度之控制。 4.压力之调节。 5.有害气体之排除。 6.结构物与隔间之气密性。 7.静电之防制。8.电磁干扰预防。9.安全因素之考虑。10.节能之考量。 (四)洁净室之分类1.乱流式(TurbulentFlow)：空气由空调箱经风管与洁净室内之空气

过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。优点：构造简单、系统建造成本，洁净室之扩充比较容易，在某些特殊用途场所，可并用无尘工作台，提高洁净室等级。缺点：乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易污染制程产品。另外若系统停止运转再激活，欲达需求之洁净度，往线形，此。其 (2) ULPA 装运转费用。此型式需将作业人员之工作区与产品和机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品质，ULSI制程大都采用此种型式。洁净隧道另有二项优点：A.弹性扩充容易；B.维修设备时可在维修区轻易执行。(2)洁净管道(CleanTube)：将产品流程经过的自动生产线包围并净化处理，将洁净度等级提至100级以上。因产品和作业员及发尘环境相互隔离，少量之送风即可得到良好之洁净度，可节省能源，

洁净室沉降菌的测试方法.doc

1.目的：本文规定了洁净室沉降菌的测试方法，以达到对其空气洁净度的评定。 2.适用范围：适用于洁净区中沉降菌的监测和对洁净区等级的验证。 3.检测仪器：高压消毒锅、恒温培养箱。 4.检测依据： GB/T 16294—2010 医药工业洁净室 ( 区) 沉降菌的测试方法 5.测试前准备：洁净室的温度应控制在18℃～ 26℃，相对湿度应控制在45％～ 65％之间。风速或压差的测试应符合要求。静态测试时，室内测试人员不得多于 2 人。对单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少于10min 后开始。对非单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少于30min 后开始。采样点数目见下表面积 m 2 100 洁净度级别 300000 10000 100000 ＜10 2～3 2 2 2 ≥10～＜20 4 2 2 2 ≥20～＜40 8 2 2 2 ≥40～＜ 100 16 4 2 2 ≥ 100～＜200 40 10 3 3 ≥ 200～＜400 80 20 6 6 ≥400＜1000 160 40 13 13 ≥1000～＜2000 400 100 32 32 ≥2000 800 200 63 63 注：表中的面积，对于单向流洁净室，指的是送风面积；对单向流洁净室，指的是房间面积。

采样点的位置一般在离地面0.8m 高度的水平面上均匀布置。采样点的布置，见下图洁净室 ( 区) 采样点布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。下列采样点的图示可作参考。洁净棚 ( 层流罩 ) ，洁净工作台等局部空气净化设施的采样点布置： 1.水平单向流 2．垂直单向流最少培养皿数：见表洁净度级别所需 90mm培养皿（以沉降计）100 14 10000 2 100000 2 300000 2 6.测试要求：将已制备好的培养皿按要求的位置放置足够的数量，打开培养皿盖，使培养皿表面暴露，再将培养皿盖盖上后倒置。在 30℃～ 35℃的培养箱中培养不少于 48h。每批培养基应选三只作对照培养，以鉴别培养基本身是否有污染。菌落计数，严防遗漏。 7.结果计算和判断： M1+M2+Mn ——————————

各行业无尘室及洁净度特点

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各行业无尘室及洁净度特点电子制造业: 随着计算机、微电子和信息技术的发展，推动了电子制造业的飞速发展, 也带动了洁净室技术的发展，同时对洁净室的设计提出了更高的要求，电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术，只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点，做到设计合理，才能让电子制造产业的产品次品率降低,提高生产效率。电子制造业洁净室的特点:?洁净度等级要求高，风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控,另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在2２℃左右，相对湿度控制在５0-60%之间(特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分,由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格,主要以控制微粒和浮尘为主要对象,同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。1?、电子制造厂万级洁净室内的噪声级(空态)：不应大于65dB(Ａ）。2?、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。3?、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Ｐａ，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。?４、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：（１)补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。（2）保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40ｍ3。 (３)电子制造行业洁净室净化空调系统加热器,应设置新风，超温断电保护，若

洁净室检测大全

洁净室检测大全洁净室检测之洁净度检测一、洁净室洁净度说明洁净度检测是无尘室性能测试的核心，气流测试、压力测试，与泄漏测试，都只在确认无尘室的洁净度不受外来影响，因此洁净度测试都放在前述几项测试都通过之后。洁净度测试完毕，与落尘有关的性能因素就都测试完毕，其它测试对洁净度影响不大，或是属于其它环境测试。二、洁净室洁净度检测仪器洁净度检测使用微粒计数器，仪器须经校正合格且仍在有效期限内，交附报告时须附合格之校正文件。微粒计数器有不同规格，最常见的是流量 1cfm ，最小粒径可测到 0.3mm 或是 0.1mm ，单位多是立方英呎。至于应使用何种设备，要依业主的规范而定。一般在产业界，多依以下方式选择微粒计数器。 Class 1000 或更高： 0.5μm Class 100 ： 0.3μm ，0.5um Class 1 到 Class 10 ：0.1μm 若是业主要求的粒径范围超过单一微粒计数器的范围，则应该使用两部微粒计数器。目前市面上少见立方公尺的微粒计数器，因此若是无尘室的洁净度是以 ISO 为基准，则要把结果作换算。单位换算，不影响上限的计算程序。三、洁净室洁净度检测步骤： (1) 确定空调系统之测试调整与平衡已完成，滤网之风速及泄漏测试均已完成，并已修换破损部分。 (2) 确认测试位置与测试点数。 (3) 取样时间：每点的取样时间依照等级与粒径不同而异，若取样时间小于一分钟，则以一分钟为准。 (4) 测试位置应均匀分布在无尘室内，避免在产生大量粒子之附近，且将检测仪器以适当之架台支撑，不可以手持支撑。 (5) 测量点数以公式计算（与 209E 相同）。四、洁净室洁净度检测验收标准：洁净度的验收基准有二，首先是每点的微粒测量平均值必须低于规定值。洁净

无尘车间设计规范要求(最全)

无尘车间设计规范要求（最全）随着全球经济一体化的进程，我国的企业不仅同国内的企业展开激烈的竞争，而已还要跟国外企业展开更为广阔更为激烈的竞争，所以我们现在的企业不得不进行转型、升级、创新，因为只有这样我们才能生存。而在这种商业环境下，洁净技术将被我们越来越重视，因为洁净厂房不仅能保证工作人员身体健康，而且对产品的质量、精度、成品率、稳定性等都有显著作用。一、无尘车间设计的相关政策方针无尘车间设计必须贯彻执行国家的有关政策方针，必须做到技术先进、经济合理、安全适用、保证质量、节约环保等要求。洁净厂房设计应为施工安装、测试、维护管理和安全运行创造必要的条件，应符合现行的国家标准、规范的有关要求。二、空气洁净度等级无尘车间空气洁净度等级的检验，应以动态条件下测试的尘粒数为依据。洁净厂房空气洁净度的测试，应符合如下表规定：

注：对于空气洁净度为100级的洁净厂房内大于等于5微米尘粒的计算应进行多次采样。以保证测试数值是可靠的。三、无尘车间总体设计无尘车间位置的选择，应根据需要、经济等比较后确定：一、应在大气含尘浓度较低，自然环境较好的区域；二、应远离铁路、码头、飞机场、交通要道以及散发大量粉尘和有害气体的工厂、贮仓等有严重空气污染、振动或噪声干扰的区域。三、应布置在厂区内环境清洁、人流货流不穿越或少穿越的地段。四、还有洁净厂房最大频率风向上风侧有烟囱时，洁净厂房与烟囱之间的水平距离不宜小于烟囱高度的12倍，洁洁厂房与交通干道之间的距离不宜小于50米。洁净厂房周围应进行绿化，可铺植草坪、种植对大气含尘农度不产生有害影响的树木，并形成绿化小区。但不得妨碍消防操作。四、无尘车间噪声控制无尘车间内的噪声等级应符合下列要求：一、动态测试时，洁净厂房内的噪声级不应超过65分贝A。二、空态测试时，乱流洁净厂房的噪声等级不宜大于58分贝A，层流洁净厂房的噪声级不应大于60分贝A。三、无尘车间的平、剖面布置，应考虑噪声控制的要求，其围护结构应有良好的隔声性能，并宜使各部分隔声量相接近。四、无尘车间内的各种设备均应选用低噪声产品。对于辐射噪声超过洁净厂房允许值的设备，应设置专用隔声设施(如隔声间、隔声罩等)。五、净化空气调节系统噪声超过允许值时，应采取隔声、消声、隔声振等控制措施。除事故排风外，应对洁净厂房内的排风系统进行减噪设计。六、无尘车间的噪声控制设计必须考虑生产环境的空气洁净度要求，不得因控制噪声而影响洁净厂房的净化条件。

洁净室各项指标地检测

洁净室各项指标的检测方法、程序法则、判定标准洁净室的检测主要分为：一、风量和风速的检测二、静压差的检测三、洁净度的测定四、微生物粒子的检测五、安装高效空气过滤器后的检漏六、污染泄露测试七、气流流型试验八、自净时间测定九、温度及相对湿度检测十、照度检测十一、噪声检测十二、防静电地面导电性能测定一、风量和风速的检测风量和风速的检测必须首先进行，净化空调的各项效果必须是在设计风量和风速的条件下获得。用热力风速仪测量风速用风量罩直接测量风量 1.测前准备工作风量检测前必须检查风机运行是否正常，系统中各部件安装是否正确，有无障碍（如过滤器有无被堵、档），所有阀门应固定在一定的开启位置上，并且必须实际测量被测风口、风管尺寸。 2.单向流洁净室的风量测量垂直单向流及水平单向流洁净室，目前均采用截面平均风速与截面面积的成绩计算风量，关于截面的取法和测点的布置如下表

单向流洁净室风量测定的有关规定 3．非单向流（乱流）洁净室的风量测定：非单向流（乱流）洁净室的风量可以用风管法和风口法两种方法测量，关于截面取法和测量注意事项：在测量风速时宜采用支架固定测夹；不得不用手持风速仪时，手臂要尽量伸直使测头远离身体（侧方或下游）以减少人身干扰。评定：a．系统的实测风量应大于各自的设计风量，但不应超过20%。 b．总实测新风量和设计新风量之差，不应超过设计新风量的±10%。 c．室内各风口的风量与各自设计风量之差均不应超过设计风量的±15%。

矩形风管测点位置示意图圆形风管测点位置示意图圆形划分数按下表规定：圆形风管分环表二、静压差检测此项检测的目的是为了测定洁净室的静压差，它可以是正压或者负压，以防止洁净室内外气流间的相互影响。 1．检测要求（1）静压差的检测要求要在洁净室内所有的门窗全部关闭的情况下进行（2）在洁净平面上应从洁净度由高到低的顺序依次进行，一直检测到直通室外的房间（3）测管口设在室内没有气流影响的任何位置均可，测管口面与气流流线平行（4）所测量记录的数据应精确到0.1Pa 2．检测步骤：（1）先关闭所有的门窗（2）用微压计测量各洁净室之间、洁净室与走廊之间、走廊与外界之间的压差。（3）记录所有数据 3．合格标准按照洁净室的设计和工艺的要求决定维持被测洁净室的正压或负压值。（1）不同等级的洁净室或洁净区与非洁净区（室）之间的静压差，应不小于5Pa。（2）洁净室（区）与室外的静压差应不小于10Pa （3）对于空气洁净度等级高于5级（100级）的单向流洁净室在开门时，门内0.6m处的室内工作面含尘浓度应不大于相应级别的含尘浓度极限值。（4）若达不到上述要求，则需重新调整新风量、排风量，直至合格为止三、洁净度测定《洁净室施工及验收规范》（JGJ71-90）中规定如下： 1．检测规则（1）测定洁净度的最低限度采样点睡按下表规定确定。每点采样次数不低于3次，各点采样次数可以不同

无尘车间洁净度标准

无尘车间洁净度标准-CAL-FENGHAI-(2020YEAR-YICAI)_JINGBIAN

无尘车间洁净度如何确定详细分析一、净化车间的规格净化车间的规格一般适用于美国联邦规格。这个规格对净化间的环境要素即空气洁净度、温湿度、室内压等都进行了规格化规定。但是，伴随着洁净化程度的不断提高，美国联邦规格进行了改版，其内容主要是以洁净度进行分类。最新版已成为 No209E，名称也进行了变更。的级别表示是把以上的颗粒数为10x个/m3，把X表示成级别，同时加上米制M的意思，表示成等等。在表7里表示的是美国联邦规格，表8表示的是美国联邦规格。在日本，相应的规格是JIS B9920。JIS9920的级别表示是把以上的颗粒数规定为10X个，用Y表示级别。表9、图2表示了JIS B 9920的级别的主要内容。表8, 美国联邦规格的洁净度级别分类

* 上表中表示的级别上限值仅仅是为了级别分类而定义的，并不表示实际的粒径分布值。 ** 针对中间级别的浓度上限值，用如下的公式进行计算。粒子直径/m3=10M d)，其中，M : SI单位里的级别名称，D : 粒径（um） ***国际单位（Systeme International d’Unites的缩写）图1 ，209E的洁净度级别（图略）图中的●标记表示评价洁净度级别用的对象粒子。（）内数值是用English unit 表示级别。图2 ，JIS B 9920的洁净度级别的上限浓度表9 三、不同用途所要求的洁净度如前所述，净化间的级别一般分成（100）、（1000）、（10000）、（100000）4个级别。但根据各产业领域的作业工序不同，形成必要的级别是不一样的。例如，在半导体制造工厂等里边，根据作业内容，要求有M1（10）—（1000）的净化间。而

无尘室等级区分

无尘布的适用范围很广,只有洁净要求比较高的,都会用到,比如,LCD组装,或是一些表面清洁等无尘室根据洁净程度不同分很多等级目前各半导体加工和面板组装厂的无尘室等级大都为1000级和100级的居多数字越小,洁净等级越高1000级的概念是：每立方英尺内,大于等于 0.5的灰尘颗粒不能超过1000颗100级的概念是：每立方英尺内,大于等于 0.3的灰尘颗粒不能超过100颗注意了,每个等级所管控的颗粒大小也不一样依据美国联邦政府颁布的标准【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可将无尘室分为六级。分别是1级、10级、100级、1000级、100级、1000级，如果无尘室的等级只用尘粒数目来叙述，则可假设尘粒的尺寸不是 0.5um，无尘室等级应以在一特定尘粒尺寸的级数来表示。例如： 10级在 0.2um（尘粒尺寸在 0.2um或更大下，密度不大于75颗/立方英尺），1级在 0.1um（尘粒尺寸在 0.1um或更大下，密度不大于35颗/立方英尺）。而集成电路制造所需的无尘室之洁净度必须优于1000级。无尘室等级，无尘室标准，无尘室标准定义一、无尘室定义将空气中之尘埃、压力、温度、湿度、气流分布之情形及速度，控制于一定范围内之空间。

此处所指之尘埃为肉眼无法看见的灰尘及粒子，且指一般空气清净机无法完全清除之灰尘。无尘室一般分为电子、精密工业用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物浓度等制药、食品产业用BiologicalCleanRoo（BCR）。二、联邦规格无尘室等级现今一般多奉行与美国所制定的联邦规格（U.S.Federalstandard209b），BCR则多参考明定生物粒子限制值的NASA规格（美国航空署 5340.2规格）。其Fed.std清洁度的表示法为： 1ft3空气中，含有多少个 0.5μm（micro）以上的微粒子，及称为[等级○○]。例如：空气中含有10个 0.5以下时，表示为“等级10”。二自然界大气中通常含有3000~30000个微粒子。三、在JIS标准下，无尘室清洁度，共分为8个等级一般清洁度是指空气的洁净等级，分为等级 1、2???8，8阶段。在1立方公尺的空气中，粒径 0.1微米的灰尘若是在10个以下时为1；百个以下是100=102是等级2；千个以下时是1000=103等级3，一次类推。 21世界，最尖端产业的发展，加速了产业结构的变革，无尘室设立之必要性也相对地提高。

最全洁净室检测方法及流程

最全洁净室检测方法及流程一、洁净室相关概念洁净室是空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区是空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等要求进行控制。洁净区可以是开放式或封闭式。空气洁净度是指洁净环境中空气含尘微粒量多少的程度含尘浓度高则洁净度低含尘浓度低则洁净度高。空气洁净度的具体高低则是用空气洁净度级别来区分的，而这种级别又是用操作时间内空气的计数含尘浓度来表示，也就是把从某一个低的含尘浓度起到不超过另一个高的含尘浓度止这一个含尘浓度范围为某一个空气洁净度级别。悬浮粒子是指用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在0.15μm的固体和液体粒子。洁净室检测二、洁净室的分类（1）按洁净度级别划分为1级、2级、3级、4级、5级、6级、7级、8级、9级。9级为最低级别。（2）按气流组织分洁净室可分为三类：单向流、层流、洁净室。沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。其中与水平面垂直的单向流是垂直单向流与水平面平行的单向流是水平单向流。乱流非单向流洁净室凡不符合单向流定义的气流的洁净室。混合流洁净室：单向流和非单向流组合的气流的洁净室。按照洁净室所需控制的空气中悬浮微粒的类别，可将洁净室分为工业洁净室和生物洁净室。工业洁净室，它主要控制参数是温、湿度、风速、气流组织、洁净度。生物洁净室它与工业洁净室一样所不同的是控制参数中增加了控制室内细菌的浓度。 1、洁净室的检测状态可分为三类（1）、空态设施齐全的洁净室所有管线接通并运行但无生产设备、材料及生产人员。

各行业无尘室及洁净度特点

各行业无尘室及洁净度特点电子制造业：随着计算机、微电子和信息技术的发展，推动了电子制造业的飞速发展，也带动了洁净室技术的发展，同时对洁净室的设计提出了更高的要求，电子制造业的无尘车间设计是一项综合的技术，只有充分了解电子制造业的无尘车间设计特点，做到设计合理，才能让电子制造产业的产品次品率降低，提高生产效率。电子制造业洁净室的特点：洁净度等级要求高,风量、温度、湿度、压差、设备排风按需受控,照度、洁净室截面风速按设计或规范受控，另外该类洁净室对静电要求极其严格。其中对湿度的要求尤甚。因为过于干燥的厂房内极易产生静电，造成CMOS集成损坏。一般来说，电子厂房的温度应控制在22℃左右，相对湿度控制在50-60%之间（特殊洁净车间有相关温湿度规定）。这时可有效地消除静电，并使人也感觉舒适。芯片生产车间、集成电路无尘室和磁盘制造车间是属于电子制造行业洁净室的重要组成部分，由于电子产品在制造、生产过程中对室内空气环境和品质的要求极为严格，主要以控制微粒和浮尘为主要对象，同时还对其环境的温湿度、新鲜空气量、噪声等作出了严格的规定。 1、电子制造厂万级洁净室内的噪声级（空态）：不应大于65dB(A)。 2、电子制造厂洁净室垂直流洁净室满布比不应小于60%，水平单向流洁净室不应小于40%，否则就是局部单向流了。 3、电子制造厂洁净室与室外的静压差不应小于10Pa，不同空气洁净度的洁净区与非洁净区之间的静压差不应小于5Pa。

4、电子制造行业万级洁净室内的新鲜空气量应取下列二项中的最大值：（1）补偿室内排风量和保持室内正压值所需的新鲜空气量之和。（2）保证供给洁净室内每人每小时的新鲜空气量不小于40m3。（3）电子制造行业洁净室净化空调系统加热器，应设置新风，超温断电保护，若采用点加湿时应设置无水保护，寒冷地区，新风系统应设置防冻保护措施。无尘室的送风量，应取下面三项最大值：保证电子制造厂无尘室空气洁净度等级的送风量；根据热，湿负荷计算确定电子厂洁净室的送风量；向电子制造厂洁净室内供给的新鲜空气量。生物制造业：生物制药工厂的特点： 1、生物制药工厂不仅设备费用高、生产工艺复杂、洁净级别和无菌的要求高，而且对生产人员的素质有严格的要求。 2、在生产过程中会出现潜在的生物危害，主要有感染危险，死菌体或死细胞及成分或代谢对人体和其他生物致毒性、致敏性和其他生物学反应，产品的致毒性、致敏性和其他生物学反应，环境效应。洁净区：需要对环境中尘粒及微生物污染进行控制的房间（区域），其建筑结构、装备及其使用均具有防止该区域内污染物的引入、产生和滞留的功能。气锁间：设置于两个或数个房间之间（如不同洁净度级别的房间之间）的具有两扇或多扇门的隔离空间。设置气锁间的目的是在人员或物料出入其间时，对气流进

洁净室浮游菌的测试方法

1目的：本文规定了洁净室中浮游菌的测试方法。以达到对其空气洁净度的评定。2范围：适用于洁净区中浮游菌的监测和对洁净区等级的验证。 3检测仪器：浮游菌采样器、真空抽气泵、高压消毒锅、恒温培养箱。 4.检测依据： GB/T 16293—2010医药工业洁净室浮游菌的测试方法。 5. 测试前的准备： 5.1洁净室的温度应控制在18℃～26℃，相对湿度应控制在45％～65％之间。 5.2风速或压差的测试应符合要求。 5.3 静态测试时，室内测试人员不得多于2人。 5.4 对单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少10min后开始。 5.5 对非单向流测试应在洁净空气调节系统正常运行时间不少于30min后开始。 5.6 采样点数目，见表1。表1 最少采样点数目

5.7 对100级洁净区可在离操作处30cm处设测点，对每10000级工作区可在工作面处设测点。 5.8 采样点的布置洁净室(区)采样点布置力求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。下列采样点的图示可作参考。洁净棚(层流罩)，洁净工作台等局部空气净化设施的采样点布置： .1 水平单向流

2 垂直单向流 5.9 最小采样量，见表：注：每次采样点一般采样一次。 5.10 采样注意事项： 5.10.1 工作区测点离地面0.8～1.5m左右。 5.10.2 送风口测点位置离开送风面30cm左右。 5.10.3 对单向流或送风口，采样器采样管口应正对气流方向。对非单向流，采样

管口向上。 5.10.4 布置采样点时，至少应尽量避开尘埃较集中的回风口。 5.10.5 采样时，测试人员应站在采样口的下风侧。 6.操作要求： 6.1 测试前测试仪器表面先用消毒剂消毒采样器的内、外面，采样口及采样管使用前必须高温灭菌。 6.2 采样者应穿戴与被测洁净区相应的工作服，在转盘上放入或调换培养皿前双手应消毒。 6.3 开动真空泵抽气，不少于5min,并调好流量和转盘转速。 6.4 关闭真空泵，放入培养皿，盖上盖子后调节采样器缝隙。 6.5 置采样口于采样点，依次开启采样器、真空泵，转动定时器，根据采样量设定采样时间。 6.6 全部采样结束后，将培养皿倒置于30℃～35℃的培养箱中培养不少于48h。 6.7 每批选三只培养皿作为对照试验，以鉴别培养基本身是否有污染。 6.8 菌落计数，严防遗漏。 7.结果计算和判断： 7.1 用计数方法得出各个培养皿的菌落数。 7.2 每个测点浮游菌平均浓度计算：菌落数平均浓度（个/m3）＝———— 采样量

无尘洁净室尘埃粒子检测标准操作规程

洁净室尘埃粒子检测标准操作规程 ⒈目的：阐述洁净室（区）中悬浮粒子的测试方法，用以规范员工的检测操作。 ⒉范围：适用于公司内部生产洁净区尘埃粒子检测工作 ⒊责任：生产车间、生产部、质量管理部、QC检验室主任、检验员。 ⒋测依据： ⒌内容： 5.1 仪器：光散射粒子计数器和滤膜显微镜。光散射粒子计数器用于粒径≥0.5μm；滤膜显微镜用于粒径≥5μm的悬浮粒子的计数。使用光散射粒子计数器时应严格按照仪器说明书操作。 5.2测定标准 5.3 测试方法 5.3.1 仪器开机,预热至稳定后,方可按说明书的规定对仪器进行校正。 5.3.2 采样管口置采样点采样时，在确认计数稳定后方可开始连续读数。 5.3.4 采样管必须干净、严禁渗漏。 5.3.5 采样管的长度应根据仪器的允许长度，除另有规定外，长度不大于1.5m。 5.3.6 计数器采样口和仪器工作位置应处在同一气压和温度下，以免产生

测量误差。 5.3.7 必须按照仪器的检定周期，定期对仪器作检定，以保证测试数据的可靠性。 5.4 测试规则 5.4.1 测试条件 5.4.1.1 温度和湿度：洁净室的温度和相对湿度应与其生产及工艺要求相适应，温度控制在18～26℃，相对湿度控制在45～65%之间为宜。 5.4.1.2 压差：空气洁净度不同的洁净室（区）之间的压差应≥5Pa，空气洁净度级别要求等高的洁净室（区）对相邻的空气洁净度级别低的洁净室（区）一般要求呈相对正压。 5.4.2 测试状态：有静态测试和动态测试。 5.4.2.1 静态测试时室内空调系统已处于正常运行状态，测试人员不得多于2人。尘埃粒子数必须符合规定。 5.4.2.2 动态测试时已处于正常生产状态，所产生粒子不影响最终产品的作业，可允许超出标准，但当操作完成10分钟后，粒子水平必须恢复到以洁净区尘粒最大允许数范围之内，应定期监控动态条件下的洁净状况。 5.4.2.3 测试报告中应标明测试时所采用的状态。 5.4.3 测试时间：对单向流，测试应在净化空调系统正常运行时间不少于30分钟后开始。 5.4.4 悬浮粒子计数 5.4.4.1 采样点数目及其布置 5.4.4.1.1 采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 5.4.4.1.2 采样点布置要求均匀，避免采样点在某局部区域过于稀疏。 5.4.4.1.3 采样点一般在工作台面上0.2m高度的平面上均匀布置。 5.4.4.2 采样点的限定：对于任何小洁净室或局部空气净化区域，采样点的数目不得少于2个，总采样次数不得少于5次。每个采样点采样次数可以多于1次，但不同采样点的采样次数可以不同。