椭偏仪校准作业指导书

2使用范围

适用于125、156单、多晶电池片的膜厚、折射率的测试。

3测试要求：

3.1标片要求：

选取符合技术要求的一级标片（用于校准的标片应在有效使用期限内，且标片上应有唯一编号和制作日期；有效使用期限为3年）。

3.2环境要求：

洁净度:100000级

湿度:＜80%

温度：15-35℃

灯源：灯源应在有效使用期内，有效使用期限为30天

3.3设备要求：

设备正常工作，无明显机械损伤，可正常启动，各数据线和信号线连接正确，显示器等可正常工作3.4操作要求：

操作员着洁净服，双手戴乳胶手套或PE手套，佩戴口罩

3.5参考测量标准：

一级标片相应标定数据

4校准内容及方法：

4.1校准前准备工作

4.1.1每半年进行标片校准；

4.1.2取出一级标片准备测试；

4.2校准工作

4.2.1在桌面上点击测试程序图标（如图一所示），启动程序；

图一程序图标

4.2.2 程序启动后，会自动初始化（如图二所示），左上方会显示为“Initializing”，待初始化完成

后，左上方会显示为“IDLE”，然后需等待30分钟进行预热，预热完成后开始校准。

图二测试程序初始化图

4.2.3初始化完成后，点击“F12 Service”图标，进入校准页面（如图三所示），开始校准。

图三校准页面图

4.2.3.1由于测试模式分为绒面和抛光片两种方式，下面将分开介绍，首先为绒面厚度折射率校准：

4.2.3.1.1在校准界面中上方选择“Textured Mono”模式，如图四所示。

图四校准页面局部图

4.2.3.1.2将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Textured处，

如图五所示首先将测试载物平台移至内部，如图五所示。

图五测试机台图

4.2.3.1.3点击校准界面右下方“Dark”按钮，如果R_1和R_2的Dark结果显示为OK的话，则该项校准完成，开始下一项校准；

图六校准结果图

4.2.3.1.4将测试载物平台移至最外部，同时将下方白色反光板移至中间位置，如图七所示

图七测试校准局部图

4.2.3.1.5点击校准界面右下方“Reference”按钮，如果R_1和R_2的Reference结果显示为OK的话（如图六所示），则该项校准完成；

4.2.3.1.6取出绒面标片进行对比测试，若测试结果满足： Thickness测试（厚度）∈（Thickness 标定-1nm, Thickness标定+1nm），N（折射率）∈（N标定-0.02, N标定+0.02），则此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，重复4.2.3.1，直至通过为止。

图八校准页面局部图

4.2.3.2.2将测试平台改为抛光片测试模式，步骤如下

4.2.3.2.2.1按照下图所示，打开两边的卡锁

解锁

上锁

解锁

上锁

图九卡锁图

4.2.3.2.2.2打开卡锁后，将测试光源部分倾斜，具体见图十，并按照图九所示将卡锁重

新锁好

图十抛光测试平台倾斜图

4.2.3.2.3将测试载物平台移至最内部（即刻度为0的位置），将金属标杆移至Polished处，如图十一所示，然后将测试载物平台移至内部，准备进行Dark模式校准。

图十一测试校准局部图

4.2.3.2.4点击校准界面右下方“Dark”按钮，如果R_1和R_2的Dark结果显示为OK的话（如图六所示），则该项校准完成，开始下一项Reference校准；

4.2.3.2.5将测试载物平台移至最外部，同时将下方镜面反光板移至中间位置，如图十二所示

图十二测试校准局部图

4.2.3.2.5点击校准界面右下方“Reference”按钮，如果R_1和R_2的Reference结果显示

为OK的话（如图六所示），则该项校准完成；

4.2.3.2.6取出抛光片面标片进行对比测试，若测试结果满足： Thickness测试（厚度）∈

（Thickness标定-1.2nm, Thickness标定+1.2nm），N（折射率）∈（N标定-0.01, N标定+0.01），则

此次校准通过，可以进行测量；若结果不在规定范围内，则校准结果不通过，通知设备供应

商维修确认，直至通过为止。

5 校准后检查项目：

5.1仪器恢复正常测试状态。

5.2相关记录是否完整。

6 异常校准要求：

下列情况之一需要启动校准程序：

6.1由于其他原因，停止测试四小时以上或者由于意外导致灯源停电；

6.2表面状态更改：例如由抛光片改为绒面片；

6.3更换灯后及发生其他异常时需要重新校准。

※异常处理：通知技术部、设备部处理。

7 使用标片注意事项：

·由于标片的对产线测试有着异常重要的意义，因此整个操作过程中，标片需要轻拿轻放，切勿人为损伤标片；

·该标片测量、记录完毕后，正确且妥善保管标片。

在设备校准并且一级标片测试正常后，选PECVD镀膜后半成品电池片10pcs（尽可能涵盖各个颜色及折射率控制范围），对各片电池片进行编号，编号格式为日期单晶/多晶-01如20130917M-02，并在电池背面用铅笔标记，分别测试各片电池片膜厚及折射率并记录

8.2稳定性监控

选其中5pcs标片用作监控标片其余电池片作为备用，每周1测试，将测试值与标定比较，合格范围T测试∈（T标定±2nm），n测试∈（n标定±0.01），如出现异常则取另外一组电池片进行测试，如测试结果仍不正常则通知技术人员解决，如测试合则停用使用的5pcs标片，使用备用的5pcs标片，并另外标定5pcs标片作为备用

9 相关表单：

9.1标片校准数据记录：《膜厚仪厚度校准记录表》

9.2标片校准数据记录：《膜厚仪折射率校准记录表》

9.3稳定性测试记录：《膜厚折射率测试仪稳定性测试监控》

10 职责与权限

10.1文件编制

编制部门：技术部

10.2文件审批

本文件由以下部门/人员审批：技术部负责人、生产部负责人、设备部负责人、相关质量经理/总监、分管生产副总

10.3文件分配

设备部、技术部、生产部、质量部