二维精密气浮运动平台多参数控制与轨迹精度研究
ｐｒｅｃｉｓｉｏｎａｅｒｏｓｔａｔｉｃｂｅａｒｉｎｇｍｏｔｉｏｎｓｔａｇｅ．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．．６３５．４．１Ｔｈｅｔｒａｊｅｃｔｏｒｙｐｒｅｃｉｓｉｏｎｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔｓｃｈｅｍｅｏｆｔｗｏａｘｅｓｌｉｎｋａｇｅ…………．６３
５．４．２Ｔｈｅｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｍｅｔｈｏｄａｎｄａｎａｌｙｓｉｓｏｆｅｘｐｅｒｉｍｅｎｔａｌｒｅｓｕｌｔ……………．６４
５．５Ｃｈａｐｔｅｒｓｕｍｍａｒｙ………………………………………………………………………………………．．６６ＳＵＭｍ址ＹＡＮＤＰＲＯＳＰＥＣＴ………………………………………………………………………６８
ＲＥＦＥＲＥＮＣＥＳ……………………………………………………………………………………………………………７ｌＰＡＰＥＲＬＩＳＴ……………………………………………………………………………………………………………．．７５ＳＴＡＴＥＭＥＮＴＯＦＯＲＩＧ矾ＡＬＣＲＥＡＴＩＯＮ……………………………………………………．７６ＡＵＴＨＯＲＩＺＥＤＵＳＥＳＴＡＴＥＭＥＮＴＯＦＴＨＥＳＩＳＣＯＰＹＲＩＧＨＴ……………………．．７６ＡＣＫＮＯＷＬＥＤＧＥＭ匝ＮＴＳ…………………………………………………………………．．７７
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