4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书

文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书 编号：xxx.xxx 版本号：xxxx 页码1

文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX

3.3 Lasermark要求

3.3.1 打在非使用面、字迹清晰可见、打头字母代表厂家

3.3.2 位置、大小要求如下图

Marking位置：距离Flatlength边缘约1mm

Marking内容：字母+数字

如ABCD1234***

总体尺寸：约1mm（字高）*12mm（总宽度）

文字方向：从左至右朝上

如ABCD1234***

编制审核批准

编制日期审核日期批准日期

文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书 编号：xxx.xxx 版本号：xxxx 页码2

文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX 4 使用要求

4.1 可直接使用于外延反应炉生长；

4.2 可先制作图形加工，再使用于外延反应炉生长。

5 包装要求

5.1 产品包装：采用防静电袋包装两层，内、外层都抽真空，

下图所示，

标签上的内容包括Spec、LOTNO、WaferNO、CassetteNO、QTY，每盒25片。

并帖上标签，如标签材质为无尘纸。

编制审核批准

编制日期审核日期批准日期

文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书 编号：xxx.xxx 版本号：xxxx 页码3

文件名称文件编号4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书XXX.XXX

5.2运输包装：外壳为纸箱包装，内放为间隔放置，如下图所示，

防震材料为聚苯乙烯泡沫板，保证在运输中不因碰撞、摔伤,而造成破裂、变形、吸潮等有害缺陷；包装无泄漏。

6 每批供货时必须有质量书

6.1抽取比例为10%

6.2质量书内容为第3项中的所有项目，另外还需提供规格检测结果wafermapping图、外观检测结果wafermapping图。

6.3质量书可以是电子版或纸版。

7 相关文件

文件名称：4英寸单面抛光蓝宝石衬底技术规格书 编号：xxx.xxx 版本号：xxxx 页码4