基于LTCC技术的垂直堆叠结构电容的设计

基于ＬＴＣＣ技术的垂直堆叠结构电容的设计

李建辉１范启兵２阳皓２杨邦朝２

１．深圳振华富电子有限公司，广东深圳５１８０５７２．电子科技大学微电子与固体电子学院，四川成都６１００５４

摘要：通过ＨＦＳＳ软件对基于ＬＴＣＣ技术的垂直堆叠结构的电容进行三维建模，利用ＡＤＳ软件对等效电路进

行拟合计算．设计出工作频率为１　ＧＨｚ下有效电容值为３０　ｐＦ的垂直堆叠结构电容。通过分析电容的结构参数对有

效电容和品质因数的影响可知，增加电容值可以通过增加介质的相对介电常数、极板面积等来实现，这对埋置电容

设计和调试具有理论指导意义。

ＬＴＣＣ；垂直堆叠；建模与仿真；电容

ＴＭ５３Ａ１００１－２０２８ （２０１１） １０－００６４－０４

Ｄｅｓｉｇｎ　ｏｆ　ｖｅｒｔｉｃａｌｌｙ　ｉｎｔｅｒｄｉｇｉｔａｔｅｄ　ｃａｐａｃｉｔｏｒ　ｂａｓｅｄ　

ｏｎ　ＬＴＣＣ　ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ

ＬＩ　ＪｉａｎｈｕｉＦＡＮ　ＱｉｂｉｎｇＹＡＮＧ　ＨａｏＹＡＮＧ　Ｂａｎｇｃｈａｏ

２０１１－０７－２８

李建辉（１９６２－），男，甘肃兰州人，高级工程师，主要从事新型电子元件及混合集成技术的研发和项目管理工作，　Ｅ－ｍａｉｌ：ｌｉｊｉａｈｕｉ－ｚｈｍ＠ｈｏｔ（ｍ）ａｉｌ．ｃｏｍ。万方数据