DM-300B真空镀膜机使用流程

DM-300B 真空电阻蒸发复合镀膜系统使用说明

1、打开总水闸通冷却水。

2、接通电源。

3、开磁力充气阀，对钟罩充气，带充分充气后，关磁力充气阀，升钟罩。

4、安装蒸发源，蒸发材料及工件。

5、在对准升降杆上的刻度后，用手辅助钟罩将钟罩降下。

6、待钟罩关闭后，开启机械泵，低阀处在“抽钟罩”位置，复合亮。

7、将旋钮置于机械泵处，对系统和钟罩抽真空直至5Pa之下。

8、当系统和钟罩的真空度都在5Pa之下，将旋钮置于械泵-分子泵处，分子泵控

制器中点开始。

9、当分子泵运行到27000转稳定后，并且系统和钟罩的真空度都在5Pa之下，

低阀推至“抽系统”位置，开高阀。

10、当抽至所需真空度时，开启膜厚控制仪，开工件旋转，接通烘烤蒸发，调节

所需旋转速度。

11、选好蒸发电级，接通蒸发，调节调压器，逐渐加大电流，开始预熔，用挡板

挡住蒸发源，避免初熔的杂质蒸到工件上。

12、加大电流开始蒸发，移去挡板进行镀膜。

13、镀膜完毕后转动挡板挡住蒸发源，迅速将调压器调至“0”。选择电流分配器，

对另一对电极工作，按10-12进行。

14、完成所有镀膜后，关蒸发，关旋转，关膜厚控制仪，点复合，关高阀，低阀

拉至“抽系统”位置，停机械泵，对钟罩充气，开钟罩取器件。

15、需进行下一次镀膜时操作程序如下：

（1）同4

（2）关钟罩，复合亮，开机械泵，对镀膜室抽低真空。

（3）当系统和钟罩的真空度都在5Pa之下，低阀推至“抽系统”位置，开高阀。

（4）按9-13进行

16、需停止镀膜机的全部工作时，点复合，关高阀，停分子泵，停机械泵。低阀

拉至“抽系统”位置，对钟罩充气，开钟罩取器件。在取出器件之后，再将

钟罩及其镀膜室内的全部零件清洗干净，扣下钟罩，开机械泵对钟罩抽至5Pa 之下，停机械泵，关复合真空计，关电源，切断冷却水，全部工作结束。

注意事项：

1、镀膜进行2-3次后，必须及时清洗钟罩及镀膜室内的零件，避免蒸发物质大

量进入真空系统从而破坏真空性能。

2、分子泵连续工作时，扣下钟罩后必须先对镀膜室抽低真空，当达到5Pa之下

在开高阀，决不允许直接抽高空，以免分子泵过载。

3、镀膜结束时，应首先切断高真空测量，再关高阀，然后充气以免电离规管损

坏及分子泵过载。

4、中途突然断电，应；立即切断高真空测量，关高阀，低阀拉至“抽系统”位

置，来电后，待机械泵工作2-3分钟后，再恢复正常工作。

5、若遇真空度不正常，可利用附件“管道盖板”将镀膜室底板上之排气口盖住，

试一下底板以下的真空性能是否正常，找出是镀膜室部分还是真空系统部分有问题，以缩小可疑点，找出原因。

6、当镀膜室处于真空状态时，绝对不能开钟罩升，否则提升机构将被破坏。

7、充气完毕，应将充气阀立即关好。