(稿件noMK)石英晶体传感器及其动态汽车衡的应用

(稿件noMK)石英晶体传感器及其动态汽车衡的应用
(稿件noMK)石英晶体传感器及其动态汽车衡的应用

石英晶体传感器及其动态汽车衡的应用

内容提要:国内公路货车计重收费动态称重设备,目前大多采用电阻应变传感器的秤台式或弯板式结构,受电阻应变传感器特性和实际使用的条件限制,这种设备在使用寿命、称量精度、后期维护等方面都存在不同程度的问题。本文通过介绍石英晶体传感器及其动态汽车衡的应用,旨在探讨公路动态称重设备应用技术的新途径。

石英晶体的压电特性及应用

石英(SiO2)是一种天然的压电材料,当受外力作用时,石英表面便会产生电荷,即压电效应。用于制造传感器的石英需要置于高温、高压(1000bar,400℃)热压容器内,经过长时间的培养(每公斤石英约需一周)。使用光学晶体测角仪可以测出晶体的方向,晶体有纵向、横向和剪切向三种不同的切割方式,某一种切割方式的石英晶体只对相应方向的力敏感,分别称为纵向效应、横向效应和剪切效应:

●纵向效应,电荷产生在受载石英的表面(如图1)

●横向效应,电荷产生在与受载表面垂直的另两个未加载的表面

(如图2)

●剪切效应,电荷产生在受剪切载荷的石英表面(如图3)

图1纵向效应图2横向效应图3剪切效应

石英晶体用于各种力的测量时,根据应用场合的需要,选择不同切割方向的石英晶体作为检测元件,可以避免其它方向力的干扰。

承载垫(可被研磨)

合金铝质型材

石英敏感元件弹性材料

图5

石英晶体压电检测器件

a)内部结构b)外形封装

石英晶体损耗小,品质因素可达数百万,耐老化性能好,可长时间稳定可靠工作,99%以上的电子设备都采用石英晶体振荡器作为时间或频率的基准,在民用、工业、军事和航天领域获得了非常广泛的应用。本文介绍石英晶体作为动态称重(WIM)传感器在公路动态称重设备中的应用。

石英晶体传感器的结构及特点

1.采用石英晶体传感器的动态汽车衡构成原理

图4为石英晶体动态汽车衡检测部分的构成原理,其中的核心部件石英晶体动态称重传感器(WIM 传感器)与电荷放大器(Charge Amplifier),由瑞士Kistler (奇石乐)公司配套生产。该公司是全球知名的传感器制造商,是压电测量技术的发明者和领导者。

石英晶体检测元件将动态轮胎力转换为电荷信号,经电荷放大器转换为模拟电压,再通过A/D 转换器将模拟信号转换为数字信号,最后通过嵌入式计算机及其专用软件得出称量结果。其测量链信号形式和单位是:

力(N)→电荷(pC)→电压(V)→数据→重量(Kg)

2.石英晶体WIM传感器的结构特点

图5为石英晶体WIM传感器结构和外观,采用整体封装结构,有1m 和0.75m 两种长度规格,可根据道路的宽度灵活组合。

图4石英晶体动态汽车衡检测部分的构成原理

图6

埋设于路表的传感器图7

传感器安装断面尺寸

图8与路面无缝衔接

石英晶体WIM传感器在水泥和沥青混凝土两种路面均可埋设(图6),依照图7所示的截面安装尺寸,在路面切割7cm宽的安装槽,开挖深度仅5cm,可以在各种路面安装,包括桥面。

石英晶体WIM传感器具有以下主要特点:

★全密封结构,防水、防砂、耐腐蚀,坚固耐用、免维护

石英晶体传感器本身为全密封金属结构,安装时又通过固化材料(环氧树脂+石英砂)与路面浇筑为一个整体,传感器与路面之间平整、无缝(见图8),不会产生积水和泥沙淤积,免除了

使用过程中定期清理维护工作。其内部没有机械传

动及磨损,性能长期稳定,在路面完好的情况下其

使用寿命可达10年之久。

★施工简便、快捷,道路结构无损

无需在道路上开挖和浇铸基坑,也不需要任何排水工程,路面切浅槽(宽7cm,深5cm)即可安装,道路结构无损,一套检测器的安装只需一个工作日,安装省时、省工、省费用,大大降低了占用车道的时间和对交通的影响。

★几乎不受环境温度限制,工作特性长期稳定

石英晶体WIM传感器的工作温度范围是-40℃至+80℃,更重要的是其温度系数仅万分之二(0.02%),无需对温度进行补偿,使用中无需因季节温度变化重新标定。采用石英晶体WIM传感器的动态称重系统在严寒和酷热地区同样保持了长期稳定可靠的运行,如北欧瑞典、北美加拿大、中东卡塔尔等。同时,石英晶体传感器承载面和浇筑用的固化材料在摩擦系数、膨胀系数以及导热性能方面与路面接近,不易结冰、不易打滑。

★适应性强,动态称量精度高

动态称量精度主要受两方面因素影响:一是传感器的动态响应时间与承载器的惯量,两者决定了衡器适用的速度范围;二是衡器对横切力的敏感程度,决定了衡器在车辆非匀速行驶或者道路弯度、坡度对称量结果的影响。

电阻应变或机械振弦的秤台式汽车衡,均要求车辆以≦5km/h的匀速状态通过承载器(即秤台),实际车辆的速度往往超过规定值或并非接近匀速状态,这是造成动态称量误差的重要因素之一。

电阻应变传感器依靠形变进行测量,相应时间为ms级,而石英晶体传感器是刚性结构,在载荷下不变形,同时检测器与承载器在结构上是一体的,避免了承载器惯量和传递延迟,其响应时间为μs级,适应的速度范围达到200km/h。

由于采用纵向效应的石英晶体材料,传感器对横向力不敏感,可大幅度减小非匀速、曲线、坡道及弯道行驶引起的动态称量误差,换言之,在动态称量精度要求相同的情况下,石英晶体传感器更能适应车辆的实际通行状态。同时,由于对横向力不敏感,石英晶体动态汽车衡可以在坡道、弯道和桥面直接安装,无需对道路、收费广场进行改造。

★线性好,动态量程范围宽

石英晶体传感器的动态量程范围宽,单只传感器达150KN,可以完成从轻型轿车到重型货车的称量,并且在整个量程范围具有非常完美的输出线性,便于动态汽车衡的计量标定。

3.工业级电荷放大器的结构原理

电荷放大器作为石英晶体传感器的配套装置,如图8所示。

放大器输入端通过配套的高阻抗同轴电缆连接石英晶体传感器,将传感器输出的电荷信号转换为电压信号。放大器按照工业级标准设计,防护等级为IP67,采用铸铝外壳封装,具有电磁屏蔽作用,抗干扰能力强、环境温度的适应性强、长期工作性能稳定。根据通道数不同有多种产品规格,以配合不同数量传感器构成测量系统。电荷放大器具有极高的输入阻抗(>1012

Ω),以减小对信号的分流,保证测量精度。

石英晶体传感器动态汽车衡的应用

1.国外应用概况

石英晶体传感器的动态汽车衡在北美、欧洲、中东、大洋洲和亚洲许多国家都广泛应用,应用场合包括:预选(Pre Select )、超载检测(Overload Detection ,类似于我们的“治超”)、桥梁限重保护(Bridge &Construction Protection )和统计(Statistics ),

其中大部分用于高速情况,图8与石英晶体传感器配套的电荷放大器

低速应用包括英国和日本,英国的部分路桥按照载货车辆重量来征收通行税,日本高速法实施后对货车实行按重量收费,这与国内近年实施公路货车计重收费(weight-dependent toll)的应用情况十分相近。

2.国内应用概况

近年来,石英晶体动态汽车衡在国内的应用主要是车辆超载超限检测及公路货车计重收费两个方面。作为车辆超载超限治理的高速预检其技术比较成熟,国内外有很多应用实例;作为公路货车计重收费设备,其要求更为复杂,中国与日本基本同期开始研发,通过研制单位的技术攻关与计量部门的严格测试,在2006年取得了国家计量部门颁发的计量器具证书。同年,作为特殊车道(位于坡道、弯道、桥面)的动态称重设备,在四川省成渝高速及绕城高速公路的部分收费站得以应用。计量部门多次周期性检定与不定期的核查结果表明,石英晶体动态汽车衡完全满足计量检定规程(JJG907-2006)中的动态称量精度要求,并显现了性能稳定、重复称量一致性好、运行速度范围宽、道路及环境气候适应性好等优势。在此基础上,该设备得到了更多用户的关注,在四川、河南、上海、安徽、辽宁、黑龙江、甘肃等地区进一步推广应用。

3.石英晶体传感器动态汽车衡的应用特点

▲采用“部分轮载”式测量,无静态称量模式

车轮载荷的测量有两种方式:“全部轮载”方式和“部分轮载”方式。“全部轮载”方式是指承载面宽度大于轮迹长度(轮胎触地长度),在某一个时刻车轮的所有重量全部施加在承载器上,其输出波形如图9右图,波形的峰值代表了车轮的载荷,也就是说这种方式测量的是车轮的重量,称台式汽车衡和传统弯板(宽度500mm以上)均属这种方式。

“部分轮载”方式是指承载面宽度小于轮迹长度,任意时刻轮胎的重量都是由传感器和路面共同承担,其输出波形如图9左图,波形的面积(积分值)代表了车轮的载荷,这种方式测量的是动态轮胎力,石英晶体WIM传感器、压电聚合物(PVDF)以及小型弯板(宽度200mm 左右)均是这种测量方式。

图9部分轮载、全部轮载方式及输出信号

根据E131894的定义,动态称重是“对运动中车辆测量其动态轮胎力并估计车辆静止时相应的轮胎负荷的过程”(the process of measuring the dynamic tire forces of a moving vehicle and estimating the corresponding tire loads of the static vehicl),也就是说动态称重测量的是动态轮胎力,而非直接测轮重,因此,部分轮载方式测量在结构原理上完全体现了动态称量的特征,更符合关于动态称重的严格定义,是真正意义上的动态称重。

采用石英晶体传感器、压电聚合物传感器和小型弯板的动态汽车衡其承载面宽度小于轮迹长度,不具备静态称量的模式及试验条件,也没

有静态称量指标。

对于秤台式与传统弯板结构的动态汽车衡,承载器宽度超过轮迹长度,具备单轴静态称量的结构条件,可以参照静态衡方式进行静态试验(如静态称量、载荷分布、偏载试验等),根据JJG907-2006《动态公路车辆自动衡器检定规程》的有关规定,动态汽车衡进行静态试验的前提是衡器具备静态称量模式、并且作为集成控制衡器使用,即“用于确定参考车辆总质量,或静态参考单轴载荷的标准计量器具”,但在动态汽车衡的检定过程中,都是采用第三方的高精度衡器确定参考车辆的标准质量,而不会采用被测对象作为标准衡器,因此,动态汽车衡的静态试验和指标基本没有实际意义。

▲可实现零公里称量

由于石英晶体传感器动态汽车衡不具备静态称量模式,当作为计重收费设备使用时,用户可能会产生疑问:收费站车辆排队是常事,一旦车辆在承载器上停车是否会无法正常称重?其结论是不会,这里必须正确区分静态称量与零公里两个不同的概念。

静态称量试验是检定规程的一个专门术语,是根据秤台的结构和原理,采用砝码“从零点开始向承载器上加实验负荷至最大秤量,然后从最大秤量卸载至零”,以此检验称台的偏载和线性度等指标,石英晶体、压电聚合物、小型弯板因承载面的宽度无法进行这样的试验,自然也就没有静态称量指标。

零公里是指车轮运动到承载器停止、然后又继续运动的情况,从运动状态上分析,车速是从一定值到零、又到一定值的变化过程,这一过程车轮对传感器始终存在相对运动,即车轮一定会通过传感器,传感器可以检测到动态轮胎力。从传感器输出波形和处理过程分析,石英晶体

动态汽车衡的工作原理是通过测量轮胎的压力波形,对其积分得到面积,再通过速度与面积的乘积得到重量,车辆在静止阶段信号波形呈现出平顶,在信号处理过程只需要把平顶、即斜率为零的部分去掉,就可以恢复正常波形(如图9左图)计算出轮载。换言之,只要车轮通过传感器,无论其间是否停止,石英晶体动态汽车衡都可以实现称量。因此,石英晶体动态汽车衡没有静态称量模式,但可以实现零公里动态称量。

▲提高速度检测精度至关重要

根据石英晶体动态汽车衡的设计原理,车辆的速度值是作为参变量参与运算,换句话说,速度检测是否准确将影响动态称量的精度,特别对低速检测精度至关重要。国外多数应用实例为高速情况下的动态称量,国内作为公路货车计重收费的称重设备使用时,其应用特征是偏重于低速情况下的动态称量。因此,计重收费的石英晶体动态衡中采用了精密光电测速方式,进一步提高了0~30km/h范围的速度检测精度,目前的速度检测精度可≦0.3%,可适应的速度范围可达0.3km/h~200km/h。

▲与之适用的计量检定规程

按其结构原理,公路计重收费使用的石英晶体动态汽车衡属于“通过测量单独轮载荷来确定轴载荷的衡器”,并且具备某些与称台式汽车衡不同的性能特点,如不存在偏载误差、无需置零等,因此,国家现行的动态公路车辆自动衡器检定规程(JJG907-2006)不能完全适用。目前对于该类型设备的计量检定工作,动态性能暂时参照现有规程执行,有关部门正在研究制定与之适用的技术标准和计量检定规程。

综上所述,石英晶体动态汽车衡在综合性价比方面已经展现出一定的优势,可为公路动态称重设备技术提供新的应用途径。作为一项新技

术的推广应用,设备的技术性能、结构、可靠性还需要不断地完善和提高,这需要广大业内人士和用户的宝贵意见。

传感器原理及其应用考试重点

传感器原理及其应用 第一章传感器的一般特性 1)信息技术包括计算机技术、通信技术和传感器技术,是现代信息产业的三大支柱。 2)传感器又称变换器、探测器或检测器,是获取信息的工具 广义:传感器是一种能把特定的信息(物理、化学、生物)按一定规律转换成某种可用信号输出的器件和装置。 狭义:能把外界非电信息转换成电信号输出的器件。 国家标准(GB7665-87):定义:能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置。 3)传感器的组成: 敏感元件是直接感受被测量,并输出与被测量成确定关系的某一物理量的元件。 转换元件:将敏感元件输出的非电物理量转换成电路参数或电量。 基本转换电路:上述电路参数接入基本转换电路(简称转换电路),便可转换成电量输出。 4)传感器的静态性能指标 (1)灵敏度 定义: 传感器输出量的变化值与相应的被测量(输入量)的变化值之比, 传感器输出曲线的斜率就是其灵敏度。 ①纯线性传感器灵敏度为常数,与输入量大小无关;②非线性传感器灵敏度与x有关。(2)线性度 定义:传感器的输入-输出校准曲线与理论拟合直线之间的最大偏离与传感器满量程输出之比,称为传感器的“非线性误差”或“线性度”。 线性度又可分为: ①绝对线性度:为传感器的实际平均输出特性曲线与理论直线的最大偏差。 ②端基线性度:传感器实际平均输出特性曲线对端基直线的最大偏差。 端基直线定义:实际平均输出特性首、末两端点的连线。 ③零基线性度:传感器实际平均输出特性曲线对零基直线的最大偏差。 ④独立线性度:以最佳直线作为参考直线的线性度。 ⑤最小二乘线性度:用最小二乘法求得校准数据的理论直线。 (3)迟滞 定义:对某一输入量,传感器在正行程时的输出量不同于其在反行程时的输出量,这一现象称为迟滞。 即:传感器在正(输入量增大)反(输入量减小)行程中输出输入曲线不重合称为迟滞。 (4)重复性 定义:在相同工作条件下,在一段短的时间间隔内,同一输入量值多次测量所得的输

传感器原理及应用

温度传感器的应用及原理 温度测量应用非常广泛,不仅生产工艺需要温度控制,有些电子产品还需对它们自身的温度进行测量,如计算机要监控CPU的温度,马达控制器要知道功率驱动IC的温度等等,下面介绍几种常用的温度传感器。 温度是实际应用中经常需要测试的参数,从钢铁制造到半导体生产,很多工艺都要依靠温度来实现,温度传感器是应用系统与现实世界之间的桥梁。本文对不同的温度传感器进行简要概述,并介绍与电路系统之间的接口。 热敏电阻器 用来测量温度的传感器种类很多,热敏电阻器就是其中之一。许多热敏电阻具有负温度系数(NTC),也就是说温度下降时它的电阻值会升高。在所有被动式温度传感器中,热敏电阻的灵敏度(即温度每变化一度时电阻的变化)最高,但热敏电阻的电阻/温度曲线是非线性的。表1是一个典型的NTC热敏电阻器性能参数。 这些数据是对Vishay-Dale热敏电阻进行量测得到的,但它也代表了NTC热敏电阻的总体情况。其中电阻值以一个比率形式给出(R/R25),该比率表示当前温度下的阻值与25℃时的阻值之比,通常同一系列的热敏电阻器具有类似的特性和相同电阻/温度曲线。以表1中的热敏电阻系列为例,25℃时阻值为10KΩ的电阻,在0℃时电阻为28.1KΩ,60℃时电阻为4.086KΩ;与此类似,25℃时电阻为5KΩ的热敏电阻在0℃时电阻则为 14.050KΩ。 图1是热敏电阻的温度曲线,可以看到电阻/温度曲线是非线性的。

虽然这里的热敏电阻数据以10℃为增量,但有些热敏电阻可以以5℃甚至1℃为增量。如果想要知道两点之间某一温度下的阻值,可以用这个曲线来估计,也可以直接计算出电阻值,计算公式如下: 这里T指开氏绝对温度,A、B、C、D是常数,根据热敏电阻的特性而各有不同,这些参数由热敏电阻的制造商提供。 热敏电阻一般有一个误差范围,用来规定样品之间的一致性。根据使用的材料不同,误差值通常在1%至10%之间。有些热敏电阻设计成应用时可以互换,用于不能进行现场调节的场合,例如一台仪器,用户或现场工程师只能更换热敏电阻而无法进行校准,这种热敏电阻比普通的精度要高很多,也要贵得多。 图2是利用热敏电阻测量温度的典型电路。电阻R1将热敏电阻的电压拉升到参考电压,一般它与ADC的参考电压一致,因此如果ADC的参考电压是5V,Vref 也将是5V。热敏电阻和电阻串联产生分压,其阻值变化使得节点处的电压也产生变化,该电路的精度取决于热敏电阻和电阻的误差以及参考电压的精度。

石英晶体谐振式传感器

石英晶体谐振式传感器 以石英晶体谐振器作为敏感元件的谐振式传感器。石英晶体谐振器是用石英晶体经过适当切割后制成,当被测参量发生变化时,它的固有振动频率随之改变,用基于压电效应(见压电式传感器)的激励和测量方法就可获得与被测参量成一定关系的频率信号。石英晶体谐振式传感器的精度高,响应速度较快,常用于测量温度和压力。 石英晶体温度-频率传感器早期的石英晶体温度-频率传感器采用具有非线性温度-频率特性的石英晶体谐振器制作。在发现具有线性温度-频率特性的石英晶体切型后,这种温度传感器的谐振器采用LC切型的平凸透镜石英晶体块制成,其直径约为数毫米,凸面曲率半径约为100毫米以上。谐振器封装于充氦气的管壳内,在传感器电路中利用它的压电效应和固有振动频率随温度变化的特性构成热敏振荡器,它的基本谐振频率为28兆赫。电路中另有一个振荡频率为2.8兆赫的基准振荡器,它通过十倍频后输出一个28兆赫的参照频率。两个振荡器的输出经门电路相加送往混频器得到差频输出信号,它是被测温度与基准温度(即基准振荡器的温度)之差与1000赫/℃(温度系数)的乘积,因此该差频输出信号记录了被测温度的变化。由时间选择开关产生不同的时间控制信号作为选通脉冲,以获得不同的分辨率。线性石英晶体-频率传感器可用于热过程流动速度不高、间隔时间较长的各种高精度温度测量的场合以及多路遥控系统、水底探测等方面,还可用它制成高分辨率的直读式数字自动温度计。 石英晶体谐振式压力传感器这种传感器所采用的谐振器是用厚度 切变振动模式AT切型石英晶体制作的。谐振器可制成包括圆片形振子和受力机构的整体式或分离式结构。振子有扁平形、平凸形和双凸形三种,受力机构为环绕圆片的环形或圆筒形。图2是振子和圆筒为整体式结构的谐振器的结构图。振子和圆筒由一整块石英晶体加工而成,谐振器的空腔被抽成真空,振动两侧上各有一对电极。圆筒和端盖严格密封。石英圆筒能有效地传递周围的压力。当电极上加以激励电压时,利用逆压电效应使振子振动,同时电极上又出现交变电荷,通过与外电路相连的电极来补充这种电和机械等幅振荡所需的能量。当石英振子受静态压力作用时,振动频率发生变化,并且与所加压力成线性关系。在此过程中

各种传感器的分类、比较和应用

传感器的定义传感器是一种能把物理量或化学量转变成便于利用的电信号的器件。国际电工委员会(IEC:International Electrotechnical Committee)的定义为:“传感器是测量系统中的一种前置部件,它将输入变量转换成可供测量的信号”。按照Gopel等的说法是:“传感器是包括承载体和电路连接的敏感元件”,而“传感器系统则是组合有某种信息处理(模拟或数字)能力的系统”。传感器是传感系统的一个组成部分,它是被测量信号输入的第一道关口。 传感器把某种形式的能量转换成另一种形式的能量。有两类:有源的和无源的。有源传感器能将一种能量形式直接转变成另一种,不需要外接的能源或激励源。 无源传感器不能直接转换能量形式,但它能控制从另一输入端输入的能量或激励能,传感器承担将某个对象或过程的特定特性转换成数量的工作。其“对象”可以是固体、液体或气体,而它们的状态可以是静态的,也可以是动态(即过程)的。对象特性被转换量化后可以通过多种方式检测。对象的特性可以是物理性质的,也可以是化学性质的。按照其工作原理,它将对象特性或状态参数转换成可测定的电学量,然后将此电信号分离出来,送入传感器系统加以评测或标示。 传感器原理结构在一段特制的弹性轴上粘贴上专用的测扭应片并组成变桥,即为基础扭矩传感器;在轴上固定着:(1)能源环形变压器的次级线圈,(2)信号环形变压器初级线圈,(3)轴上印刷电路板,电路板上包含整流稳定电源、仪表放大电路、V/F变换电路及信号输出电路。在传感器的外壳上固定着: (1)激磁电路,(2)能源环形变压器的初级线圈(输入),(3) 信号环形变压器次级线圈(输出),(4)信号处理电路 工作过程 向传感器提供±15V电源,激磁电路中的晶体振荡器产生400Hz的方波,经过TDA2030功率放大器即产生交流激磁功率电源,通过能源环形变压器T1从静止的初级线圈传递至旋转的次级线圈,得到的交流电源通过轴上的整流滤波电路得到±5V的直流电源,该电源做运算放大器AD822的工作电源;由基准电源AD589与双运放AD822组成的高精度稳压电源产生±4.5V的精密直流电源,该电源既作为电桥电源,又作为放大器及V/F转换器的工作电源。当弹性轴受扭时,应变桥检测得到的mV级的应变信号通过仪表放大器AD620放大成 1.5v±1v的强信号,再通过V/F转换器LM131变换成频率信号,通过信号环形变压器T2 从旋转的初级线圈传递至静止次级线圈,再经过外壳上的信号处理电路滤波、整形即可得到与弹性轴承受的扭矩成正比的频率信号,该信号为TTL电平,既可提供给专用二次仪表或频率计显示也可直接送计算机处理。由于该旋转变压器动--静环之间只有零点几毫米的间隙,加之传感器轴上部分都密封在金属外壳之内,形成有效的屏蔽,因此具有很强的抗干扰能力。 传感器分类倾角传感器 倾角传感器在军事、航天航空、工业自动化、工程机械、铁路机车、消费电子、海洋船舶等领域得到广泛运用。辉格公司为国内用户提供全球最全面、最专业的产品方案和服务。提供超过500种规格的伺服型、电解质型、电容型、电感型、光纤型等原理的倾角传感器。 加速度传感器(线和角加速度)

石英晶体微天平

CHI400A 系列电化学石英晶体 微天平 CHI400A 系列时间分辨电化学石英晶体微天平( EQCM ) 是CH Instruments 与武汉大学合作的产品( 武汉大学专利) 。石英晶体微天平( QCM ) 可进行极灵敏的质量测量。在适当的条件下,石英晶体上沉积的质量变化和振动频率移动之间关系呈简单的线性关系( Sauerbrey 公式) : ?f = - 2f o2?m / [A?sqrt(μρ)] 式中是f o晶体的基本谐振频率,A 是镀在晶体上金盘的面积,ρ是晶体的密度(= 2.684 g/cm3) ,μ是晶体切变系数(= 2.947?1010 g/cm?s2) 。对于我们的晶体(f o = 7.995 M Hz, A = 0.196 cm2) ,每赫兹的频率改变相当于1.34 ng 。QCM 和EQCM 被广泛应用于金属沉积,高分子膜中离子传递,生物传感器,以及吸附解吸动力学的研究等等。 CHI400A 系列电化学石英晶体微天平含石英晶体振荡器,频率计数器,快速数字信号发生器,高分辨高速数据采集系统,电位电流信号滤波器,信号增益,iR 降补偿电路,以及恒电位仪/恒电流仪(440A )。电位范围为± 10V ,电流范围为± 250 mA 。电流测量下限低于50 pA 。石英晶体微天平和恒电位仪/ 恒电流仪集成使得EQCM 测量变得十分简单方便。CHI400A 系列采用时间分辨的方式测量频率的改变。传统的方法是采用频率直接计数的方法,要得到1 Hz 的QCM 分辨率,需要 1 秒的采样时间。要得到0.1 Hz 的QCM 分辨率,需要10 秒的采样时间。我们是将QCM 的频率和一标准频率的差值作周期测量,从而大大缩短了采样时间,提高了时间分辨。我们可在毫秒级的时间里得到1 Hz 或0.1 Hz 或更好的频率分辨。当和循环伏安法结合时,可允许在0.5 V/s 的扫描速度下获得QCM 的信号。这对需要较快速的测量( 例如动力学测量) 尤为重要。允许与QCM 结合的电化学实验技术包括CV,LSV,CA,i-t ,CP 。 400A 系列也是相当快速的仪器。信号发生器的更新速率为1M Hz ,数据采集速率为200K Hz 。循环伏安法的扫描速度为100 V/s 时,电位增量仅0.1 mV 。又如交流伏安法的频率可达10K Hz 。仪器可工作于二,三,或四电极的方式。四电极对于大电流或低阻抗电解池(例如电池)十分重要,可消除由于电缆和接触电阻引起的测量误差。由于仪器集成了多种常用的电化学测量技术,使得仪器可用作通用电化学测量,也可单独用作石英晶体微天平的测量( 不同时进行电化学测量) 。 CHI400A 系列EQCM 还包括一个特殊设计的电解池,如图1 (a) 所示。电解池由三块圆形的聚四氟乙烯组成。直径为35 mm ,总高度为37 mm 。最上面的是盖子,用于安装参比电极和对极。中间的是用于放溶液的池体。石英晶体被固定于中间和底下的部件之间,通过橡胶圈密封,并用螺丝固定。石英晶体的直径为13.7 mm ,晶体两面的中间镀有5.1 mm 直径的金盘电极( 其它电极材料需特殊定做) 。新晶体的谐振频率是7.995 M Hz 。 图2 显示了1 mM Pb2+在0.1 M HClO4溶液中欠电位沉积的循环伏安图和作为电位函数的相应的频率改变。扫描速度为0.05 V/s 。在-0.42 V 出现的阴极

国外低温温度传感器的研制现状

国外低温温度传感器的研制现状 ① 王克军 (中国航天科技集团公司一院101所 北京 100074) 摘 要 温度测量是低温研究部门的一个普遍项目。对近年来一些国家(特别是发达国家)的低温温度传感器研制、应用情况做了介绍,并分析了今后温度传感器的发展趋势,以及我国与国外存在的主要差距。 主题词 温度传感器 低温  述评 1 引 言 据统计,在各类温度传感器中,低温温度传感器约占5%。低温领域的特殊性以及相关技术的复杂性,增加了人们对低温温度的获得和准确测量的难度。近年来,随着近代物理学和电子技术的发展,低温温度传感器作为一门新兴技术,不仅得到发达国家的普遍重视,也一直是各发展中国家竞相进行研究开发的热点,许多国家通过研究各种物理效应,探索新的低温测量方法,采用近代技术开发新产品,扩大测温范围,提高测量精度,占领世界市场,并取得了新进展。 2 常用低温温度传感器的发展 211 热电阻温度计 在用来进行低温测量的热电阻温度计中,占比例最大的是铂电阻。ITS -90国际温标规定工业装置和实验研究的低温测量中,低温区1318033K ~273116K 范围内用铂电阻作标准温度计。目前,各国普遍将铂电阻温度计用于较精密的测量。 按照正式实施的技术标准体系划分,铂电阻温度计有四个“派别”,除了在技术要求方面不一致外,分度表也不相同。1983年国际电工委员会(IEC )正式颁布的铂电阻技术标 准,采用电阻比W =R (100℃ )/R (0℃)=113850的分度表。俄罗斯和一些东欧国家自成体系,采用W =R (100℃ )/R (0℃)=113910的分度表,日本采用W =R (100℃)/R (0℃)=113916的分度表。 美国也有自己的铂电阻技术标准,它采用W =113920的分度表,但这个标准不是强制性的,而是推荐性的。美国大部分铂电阻公司既生产符合美国技术标准的产品,也生产其他标准的产品,即按照客户的需要进行供应。此外,美国一些铂电阻公司对自己产品提出的要求甚至超过了国际电工委员会的规定,从这一点可以看出美国人的商业观念和产品意识。此 2002年第5期 低 温 工 程N o 15 2002总第129期CRY OGE NICS Sum N o 1129 ①本文于2002年6月20日收到。王克军,男,31岁,工程师。

常用传感器的工作原理及应用

常用传感器的工作原理及应用

3.1.1电阻式传感器的工作原理 应变:物体在外部压力或拉力作用下发生形变的现象 弹性应变:当外力去除后,物体能够完全恢复其尺寸和形状的应变 弹性元件:具有弹性应变特性的物体 3.1.3电阻应变式传感器 电阻应变式传感器利用电阻应变片将应变转换为电阻值变化的传感器。 工作原理:当被测物理量作用于弹性元件上,弹性元件在力、力矩或压力等的作用下发生变形,产生相应的应变或位移,然后传递给与之相连的应变片,引起应变片的电阻值变化,通过测量电路变成电量输出。输出的电量大小反映被测量的大小。 结构:应变式传感器由弹性元件上粘贴电阻应变片构成。 应用:广泛用于力、力矩、压力、加速度、重量等参数的测量。 1.电阻应变效应 ○

电阻应变片的工作原理是基于应变效应,即导体或半导体材料在外界力的作用下产生机械变形时,其电阻值相应发生变化,这种现象称为“应变效应”。 2.电阻应变片的结构 基片 b l 电阻丝式敏感栅 金属电阻应变片的结构 4.电阻应变式传感器的应用 (1)应变式力传感器 被测物理量:荷重或力 一

二 主要用途:作为各种电子称与材料试验机的 测力元件、 发动机的推力测试、水坝坝体承载状况监测等。 力传感器的弹性元件:柱式、筒式、环式、悬臂式等 (2)应变式压力传感器 主要用来测量流动介质的动态或静态压力 应变片压力传感器大多采用膜片式或筒式 弹性元件。 (3)应变式容器内液体重量传感器 感压膜感受上面液体的压力。 (4)应变式加速度传感器 用于物体加速度的测量。 依据:a =F/m 。 3.2电容式传感器 3.2.1电容式传感器的工作原理 由绝缘介质分开的两个平行金属板组成的 平板电容器,如果不考虑边缘效应,其电容量为 当被测参数变化使得S 、d 或ε发生变化时, 电容量C 也随之变化。 d S C ε=

传感器分类及常见传感器的应用

机电一体化技术常用传感器及其原理 班级:机械设计制造及其自动化姓名: 学号:

一、传感器的分类 传感器有许多分类方法,但常用的分类方法有两种,一种是按被测物理量来分;另一种是按传感器的工作原理来分。按被测物理量划分的传感器,常见的有:温度传感器、湿度传感器、压力传感器、位移传感器、流量传感器、液位传感器、力传感器、加速度传感器、转矩传感器等。 按工作原理可划分为: 1.电学式传感器 电学式传感器是非电量电测技术中应用范围较广的一种传感器,常用的有电阻式传感器、电容式传感器、电感式传感器、磁电式传感器及电涡流式传感器等。 电阻式传感器是利用变阻器将被测非电量转换为电阻信号的原理制成。电阻式传感器一般有电位器式、触点变阻式、电阻应变片式及压阻式传感器等。电阻式传感器主要用于位移、压力、力、应变、力矩、气流流速、液位和液体流量等参数的测量。 电容式传感器是利用改变电容的几何尺寸或改变介质的性质和含量,从而使电容量发生变化的原理制成。主要用于压力、位移、液位、厚度、水分含量等参数的测量。 电感式传感器是利用改变磁路几何尺寸、磁体位置来改变电感或互感的电感量或压磁效应原理制成的。主要用于位移、压力、力、振动、加速度等参数的测量。 磁电式传感器是利用电磁感应原理,把被测非电量转换成电量制成。主要用于流量、转速和位移等参数的测量。 电涡流式传感器是利用金屑在磁场中运动切割磁力线,在金属内形成涡流的原理制成。主要用于位移及厚度等参数的测量。 2.磁学式传感器 磁学式传感器是利用铁磁物质的一些物理效应而制成的,主要用于位移、转矩等参

数的测量。

3.光电式传感器 光电式传感器在非电量电测及自动控制技术中占有重要的地位。它是利用光电器件的光电效应和光学原理制成的,主要用于光强、光通量、位移、浓度等参数的测量。 4.电势型传感器 电势型传感器是利用热电效应、光电效应、霍尔效应等原理制成,主要用于温度、磁通、电流、速度、光强、热辐射等参数的测量。 5.电荷传感器 电荷传感器是利用压电效应原理制成的,主要用于力及加速度的测量。 6.半导体传感器 半导体传感器是利用半导体的压阻效应、内光电效应、磁电效应、半导体与气体接触产生物质变化等原理制成,主要用于温度、湿度、压力、加速度、磁场和有害气体的测量。 7.谐振式传感器 谐振式传感器是利用改变电或机械的固有参数来改变谐振频率的原理制成,主要用来测量压力。 8.电化学式传感器 电化学式传感器是以离子导电为基础制成,根据其电特性的形成不同,电化学传感器可分为电位式传感器、电导式传感器、电量式传感器、极谱式传感器和电解式传感器等。电化学式传感器主要用于分析气体、液体或溶于液体的固体成分、液体的酸碱度、电导率及氧化还原电位等参数的测量。 另外,根据传感器对信号的检测转换过程,传感器可划分为直接转换型传感器和间接转换型传感器两大类。前者是把输入给传感器的非电量一次性的变换为电信号输出,如光

《传感器原理及应用》课后答案

第1章传感器基础理论思考题与习题答案 什么是传感器(传感器定义) 解:能够感受规定的被测量并按照一定规律转换成可用输出信号的器件或装置,通常由敏感元件、转换元件和调节转换电路组成。 传感器特性在检测系统中起到什么作用 解:传感器的特性是指传感器的输入量和输出量之间的对应关系,所以它在检测系统中的作用非常重要。通常把传感器的特性分为两种:静态特性和动态特性。静态特性是指输入不随时间而变化的特性,它表示传感器在被测量各个值处于稳定状态下输入输出的关系。动态特性是指输入随时间而变化的特性,它表示传感器对随时间变化的输入量的响应特性。 传感器由哪几部分组成说明各部分的作用。 解:传感器通常由敏感元件、转换元件和调节转换电路三部分组成。其中,敏感元件是指传感器中能直接感受或响应被测量的部分,转换元件是指传感器中能将敏感元件感受或响应的被测量转换成电信号的部分,调节转换电路是指将非适合电量进一步转换成适合电量的部分,如书中图所示。 传感器的性能参数反映了传感器的什么关系静态参数有哪些各种参数代表什么意义动态参数有那些应如何选择 解:在生产过程和科学实验中,要对各种各样的参数进行检测和控制,就要求传感器能感受被测非电量的变化并将其不失真地变换成相应的电量,这取决于传感器的基本特性,即输出—输入特性。衡量静态特性的重要指标是线性度、灵敏度,迟滞和重复性等。意义略(见书中)。动态参数有最大超调量、延迟时间、上升时间、响应时间等,应根据被测非电量的测量要求进行选择。 某位移传感器,在输入量变化5mm时,输出电压变化为300mV,求其灵敏度。 解:其灵敏度 3 3 30010 60 510 U k X - - ?? === ?? 某测量系统由传感器、放大器和记录仪组成,各环节的灵敏度为:S1=℃、S2=mV、S3=V,求系统的总的灵敏度。 某线性位移测量仪,当被测位移由变到时,位移测量仪的输出电压由减至,求该仪器的灵敏度。

石英晶体微天平在电化学方面的应用

石英晶体微天平(eQCM)在电化学方面的应用 1 前言 石英晶体微天平是以石英晶体为换能元件,利用石英晶体的压电效应,将待测物质的质量信号转换成频率信号输出,从而实现质量、浓度等检测的仪器,测量精度可以达纳克量级。Bruckenstein等人又将QCM引入电化学研究,将QCM 技术与电化学技术联用组成电石英晶体微天平系统(eQCM)。由于eQCM能在获得电化学信息的同时又能得到电极表面质量变化的信息。因此eQCM迅速引起了科学家的兴趣。 2 石英晶体微天平简介 2.1 定义 石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance-QCM)的发展始于上世纪60年代初期,它是一种非常灵敏的质量检测仪器,其测量精度可达纳克级,比灵敏度在微克级的电子微天平高100倍,理论上可以测到的质量变化相当于单分子层或原子层的几分之一。石英晶体微天平利用了石英晶体谐振器的压电特性,将石英晶振电极表面质量变化转化为石英晶体振荡电路输出电信号的频率变化,进而通过计算机等其他辅助设备获得高精度的数据。 2.2 基本原理与构造 石英晶体微天平最基本的原理是利用了石英晶体的压电效应:石英晶体内部每个晶格在不受外力作用时呈正六边形,若在晶片的两侧施加机械压力,会使晶格的电荷中心发生偏移而极化,则在晶片相应的方向上将产生电场;反之,若在石英晶体的两个电极上加一电场,晶片就会产生机械变形,这种物理现象称为压

电效应。如果在晶片的两极上加交变电压,晶片就会产生机械振动,同时晶片的机械振动又会产生交变电场。在一般情况下,晶片机械振动的振幅和交变电场的振幅非常微小,但当外加交变电压的频率为某一特定值时,振幅明显加大,这种现象称为压电谐振。它其实与LC 回路的谐振现象十分相似:当晶体不振动时,可把它看成一个平板电容器称为静电电容C ,一般约几个PF 到几十PF ;当晶体振荡时,机械振动的惯性可用电感L 来等效,一般L 的值为几十mH 到几百mH 。由此就构成了石英晶体微天平的振荡器,电路的振荡频率等于石英晶体振荡片的谐振频率,再通过主机将测得的谐振频率转化为电信号输出。由于晶片本身的谐振频率基本上只与晶片的切割方式、几何形状、尺寸有关,而且可以做得精确,因此利用石英谐振器组成的振荡电路可获得很高的频率稳定度。 eQCM 主要是由石英晶体传感器(换能器)、传感器接口电路(主要振荡检测电路)和信号检测与数据处理(核心是微处理器或微控制器)等部分组成[1],图1是eQCM 组成结构图。 图1 石英晶体微天平基本结构 3 石英晶体微天平的应用 3.1 QCM 在腐蚀研究领域的应用 3.1.1 样品的制备 在实际应用中,测试材料必须均匀地涂布在电极表面,才能获得重复性、再现性好的测量结果。石英晶体是保证其灵敏度的重要前提,有三种选择[2]: (1) AT-CUT 石英晶体,AT 切型石英晶体的频率在室温下其温度系数接近于零,可以降低在室温下温度对实验的影响。

压电石英称重传感器及其在动态公路

压电石英称重传感器及其在动态公路 车辆称重系统中的应用 中国运载火箭技术研究院第七○二研究所 刘九卿 【摘 要】本文介绍了以石英晶体为敏感元件的压电石英称重传感器的工作原理、结构与特点;石英晶体的压电效应,压电石英晶体片的并联、串联连接方法,电荷电压计算;石英晶体片的装配要求和装配工艺;石英晶体敏感元件与电阻应变计的性能比较。分析了利用多个石英晶体敏感元件组装的工字梁型动态称重传感器的结构与技术特点及其在动态公路车辆称重系统中的应用。 【关键词】石英晶体 压电效应 称重传感器 电荷放大器 动态称重 轴重秤 一、概述 尽管早在1908年Pierre(皮埃尔)和Jacguse Curie(雅克卡里)就发现了石英晶体的压电效应,但是用于动态力的测量还是20世纪60年代。当时由苏黎世的瑞士联邦技术研究所研制出压电石英测力传感器,并利用它制成风洞天平,对空气动力进行测量。瑞士联邦工学院和德国Aachen大学分别利用石英晶体研制出刚性非常好的三分量测力传感器,用来测量机床的切削力。 20世纪70年代扩展了压电石英三分量测力系统,用来测量六个分量和计算力作用点的座标;军事工程部门用于测量火箭推力向量(力的大小、方向和位置);汽车工业部门用于测量轮胎的附着力;生物力学领域用于运动矫形术、整形和姿态控制。 20世纪80年代在汽车制造业中压电石英测力传感器用于测量汽车点火压力,汽车碰撞的冲击力。利用二分量测力传感器同时测量汽车检测平台的垂直力和水平力,将压电石英测力传感器埋在路面下,测量汽车轮胎与路面之间的接触力。 20世纪90年代公路车辆轴载超限越来越严重,已成为世界难题。在公路车辆轴载超载预判,桥梁超载报警和轴载动态称重计量中,迫切需要体积小、高度低、重量轻,刚度大,固有频率高,动态范围广,灵敏度高的动态称重传感器和动态公路车辆称重系统。压电石英晶体敏感元件及其组装的压电石英称重传感器就具备上述特点。瑞士Kistler(奇石乐)公司开发出可以埋在路面下的以石英晶体为敏感元件的工字梁型动态称重传感器,用于公路车辆轴载超载预判,桥梁超载报警,隧道保护和车辆轴载计量,取得了很好的应用效果。这种压电石英称重传感器已在美国、英国、德国、澳大利亚、韩国、日本等许多国家广泛应用。1993年7月在苏黎世的瑞士联邦技术研究所,根据欧

石英晶体传感器应用电路设计

东北石油大学 课程设计 2014年7 月15日

任务书 课程传感器课程设计 题目石英晶体传感器应用电路设计 专业测控技术与仪器姓名学号 主要内容: 本设计对利用石英晶体构成温度的传感器的方法做出较深入的研究,结合其他热敏电阻的特点进行详细的比较,并对石英晶体传感器的原理及石英晶体传感器原理做出详细的介绍,并结合单片机实现温度测量系统。 基本要求: 1.分析石英晶体传感器应用电路设计方案; 2.分析设计中各个电路的工作原理; 3.详细说明所选用传感器的基本工作原理、画出应用电路电路图、注明元器件选取参数。 4.设计思路清晰明确,原理分析简单,电路结构完整。 主要参考资料: [1] 曾兴雯、刘乃安、陈建.高频电路原理与分析[M].西安:电子科技大学出版社,2007.37-97. [2] 马洛夫著.翁善臣译.压电谐振传感器[M] .北京:国防工业出版社,1984.47-61. [3] 姚守拙.压电化学与生物传感器[M].湖南:湖南师范大学出版社,1997.39-41. [4] 陈小林,王祝盈,谢中等.石英晶体温度传感器的应用[J].传感器技术,2002(5):55-57 [5] 谢胜秋,宋国庆.谐振式水晶温度传感器的现状及发展预测[J].传感器技术,2002(2):1-4 完成期限2014.7.11—2014.7.15 指导教师 专业负责人 2014年7 月10 日

摘要 温度测量是工业生产中的一个重要环节。采用石英晶体作为温度传感器,利用石英晶体对温度的灵敏度高、线性度好等优点,本设计结合其他热敏电阻的特点进行了详细的比较,并介绍了谐振式石英晶体温度传感器的基本原理,给出了用单片机测量温度的基本电路,分析了测量算法,给出了软件流程图。以80C552 单片机为控制核心,实现了石英晶体温度传感器的数字温度计技术。实验结果表明,系统设计合理、工作稳定可靠、温度测量精度高。同时给出了温度测量系统的硬件结构和软件设计。 关键词:石英晶体;温度敏感性;单片机;数字滤波

知识讲解 传感器(原理及典型应用)

传感器(原理及典型应用) 编稿:张金虎审稿:代洪 【学习目标】 1.知道什么是传感器,常见的传感器有哪些。 2.了解一些传感器的工作原理和实际应用。 3.了解传感器的应用模式,能够运用这一模式去理解传感器的实际运用。 4.了解传感器在生活、科技中的运用和发挥的巨大作用。 【要点梳理】 要点一、传感器 1.现代技术中,传感器是指这样一类元件:它能够感受诸如力、温度、光、声、化学成分等非电学量,并能把它们按照一定的规律转换为电压、电流等电学量,或转化为电路的通断。把非电学量转换为电学量以后,就可以很方便地进行测量、传输、处理和控制了。 2.传感器原理 传感器感受的通常是非电学量,如压力、温度、位移、浓度、速度、酸碱度等,而它输出的通常是电学量,如电压值、电流值、电荷量等,这些输出信号是非常微弱的,通常要经过放大后,再送给控制系统产生各种控制动作。传感器原理如下图所示。 3.传感器的分类 常用传感器是利用某些物理、化学或生物效应进行工作的。根据测量目的不同,可将传感器分为物理型、化学型和生物型三类。 物理型传感器是利用被测量物质的某些物理性质(如电阻、电压、电容、磁场等)发生明显变化的特性制成的,如光电传感器、力学传感器等。 化学型传感器是利用能把化学物质的成分、浓度等化学量转换成为电学量的敏感元件制成的。 生物型传感器是利用各种生物或生物物质的特性做成的,用以检测与识别生物体内化学成分的传感器,生物或生物物质主要是指各种酶、微生物、抗体等,分别对应酶传感器、微生物传感器、免疫传感器等等。 要点二、光敏电阻 光敏电阻能够把光照强弱这个光学量转换为电阻大小这个电学量,一般随光照的增强电阻值减小。 要点诠释:光敏电阻是用半导体材料制成的,硫化镉在无光时,载流子(导电电荷)极少,导电性能不好,随着光照的增强,载流子增多,导电性能变好。 要点三、热敏电阻和金属热电阻 1.热敏电阻 热敏电阻用半导体材料制成,其电阻值随温度变化明显。如图为某一热敏电阻的电阻—温度特性曲线。

石英晶体微天平的基本原理及其在生物医学研究中的应用

石英晶体微天平的基本原理及其在生物医学研究中的应用 摘要:本文综述了石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance-QCM)的基本原理、组成结构、适用范围和特点,以及它在化学和生物医学中的应用及发展前景,并对于其突出优点和局限性进行比较分析。 关键词:石英晶体微天平;压电效应;电化学;生物医学;应用 引言:石英晶体微天平(Quartz Crystal Microbalance-QCM)的发展始于上世纪60年代初期,它是一种非常灵敏的质量检测仪器,其测量精度可达纳克级,比灵敏度在微克级的电子微天平高100倍,理论上可以测到的质量变化相当于单分子层或原子层的几分之一。石英晶体微天平利用了石英晶体谐振器的压电特性,将石英晶振电极表面质量变化转化为石英晶体振荡电路输出电信号的频率变化,进而通过计算机等其他辅助设备获得高精度的数据。QMC所具有的高灵敏度和实时测量质量改变的特点使其在化学和生物医学研究领域的应用备受关注。 一、石英晶体微天平的基本原理: 石英晶体微天平最基本的原理是利用了石英晶体的压电效应:石英晶体内部每个晶格在不受外力作用时呈正六边形,若在晶片的两侧施加机械压力,会使晶格的电荷中心发生偏移而极化,则在晶片相应的方向上将产生电场;反之,若在石英晶体的两个电极上加一电场,晶片就会产生机械变形,这种物理现象称为压电效应。如果在晶片的两极上加交变电压,晶片就会产生机械振动,同时晶片的机械振动又会产生交变电场。在一般情况下,晶片机械振动的振幅和交变电场的振幅非常微小,但当外加交变电压的频率为某一特定值时,振幅明显加大,这种现象称为压电谐振。它其实与LC回路的谐振现象十分相似:当晶体不振动时,可把它看成一个平板电容器称为静电电容C,一般约几个PF到几十PF;当晶体振荡时,机械振动的惯性可用电感L来等效,一般L的值为几十mH 到几百mH。由此就构成了石英晶体微天平的振荡器,电路的振荡频率等于石英晶体振荡片的谐振频率,再通过主机将测的得谐振频率转化为电信号输出。由于晶片本身的谐振频率基本上只与晶片的切割方式、几何形状、尺寸有关,而且可以做得精确,因此利用石英谐振器组成的振荡电路可获得很高的频率稳定度。

压电石英晶体传感器及其在生物医学中的应用研究进展

综述 压电石英晶体传感器及其在生物医学中的应用研究进展* 刘楠综述,高志贤**审校 摘要 目的就压电石英晶体传感器及其生物医学中的应用研究进展作了综述。方法 查阅资料,汇总分析。结 果 从压电石英晶体传感器的基本工作原理、生物敏感膜的制备技术、在生物医学中的应用、存在的问题和展望等各个 方面进行了讨论。结论 虽然压电石英晶体传感器仍存在许多不足,但随着认识的不断深入和关键工艺技术瓶颈的不 断克服,加上与其他先进的科学技术相结合,它必然广泛地应用到生物医学的各个领域中。 关键词 压电石英晶体传感器;石英晶体微天平 中图分类号:Q331 文献标识码:A 文章编号:1001-1889(2005)02-0089-04 The application of PQC sensor in biomedicine LI U Nan,GAO Zhi-Xian (Institute of Hygiene and En viron mental Medicine,Aca dem y o f Military Medical Sciences,Tian jin300050) Abstract Objective Recent research of piezoelectric quartz crystal(PQC)sensor and its applications in bi omedicine were summarized in this review.Methods Consulted data and collected them for analysis.Results Aspects of basic principles,construction of the sensi tive membrane,applications in biomedicine,some problems and future prospects of the PQC sensor were discussed.Conclu sions In spi te of the faults of PQC sensor,it is consequentially widely used in various biomedical fields along with the deep cogni tion, the breakthrou gh of the bottle-neck of the key technology and integrating with other advanced scientific technology. Key w ords Piezoelectric Quartz Crystal(PQC)sensor;Quartz Crystal Microbalance(QCM) 压电生物传感器是一种将高灵敏的压电传感器技术与特异的生物反应结合,通过换能器将生物信号转化为易于定性或定量检测的物理或化学信号的新型生物检测分析方法。压电石英晶体传感器是当今微电子技术、生物医学技术、新材料技术相互结合发展的产物。它设备操作简单、成本低廉,不需要任何标记;而且还具有灵敏度高、特异性好、微型化、响应迅速等特点,代表着现代分析技术的前进方向。在生物医学的各个领域,如:分子生物学、疾病的诊断和治疗、环境污染监测、食品卫生监督等得到了广泛的应用。 1 基本工作原理 1959年,Sauerbrey根据石英晶体在气相中谐振的理论模型,忽略涂覆膜层相对于石英的弹性和密度差异,将晶体谐振近似考虑为理想剪切振动,推导出沉积在PQC上的质量变化与谐振频移之间的方程式[1]: f=-2f02 m/A( q q)-1=-C m[1] f:晶体谐振频率的改变(Hz);f0:基振(Hz); m:质量变化(g);A:压电活性区域或电极上涂覆物表面 *国家自然科学基金(30371218)和国家863青年基金(2004AA649110)资助课题;**通讯作者。 作者单位:军事医学科学院卫生学环境医学研究所(天津 300050) 作者简介:刘楠(1980-),男,河南南阳人,硕士研究生。积(c m2); q:晶体剪切模式; q晶体密度;C:质量感应常数(由所使用的石英晶体类型决定)。 Sauerbrey方程是质量型压电石英晶体传感器的理论基础,从方程中可以看出,压电石英晶体谐振频率的改变与晶体表面质量负载的变化呈负相关。所以有学者又把它称为压电石英微天平(Piezoelec tric Quartz Mi crobalance,PQM)、压电石英晶体微天平(Piezoelectric Quartz C rystal Microbalance,PQC M)或石英晶体微天平(Quartz C rystal Microbalance,QC M)。但是必须认识到,压电传感除了有质量效应外,还存在更多的非质量效应,如密度、应力、粘弹性、电导率、溶胀、表面性状等介质或界面效应[2]。PQC传感器由石英谐振器(探头)、振荡器、信号检测和数据处理系统等组成原理如图1 。 图1 压电石英晶体传感器基本工作原理示意图

石英压力传感器

石英传感器原理 凡是把非电量转换为电量的装置均称为传感器,它是实现信息检测、转换、控制和传输的元器件。石英晶体传感器按用途、结构、形状等大体可分为机械传感器、通用传感器、化学传感器以及应用于DNA检测的生物传感器,而石英压力温度传感器是一种典型的机械通用型传感器。传感器一般由敏感元件、传感元件和测量电路等组成。石英传感器的敏感元件是石英晶体,石英晶体的主要成份是二氧化硅,其密度为2.65×103kg/m3,莫氏硬度为7,熔点高达1750℃,难溶于水,长期稳定性能好,石英晶体具有较高的机电耦合系数,线性范围宽,重复精度高,滞后小,无热释电效应,动态特性优良,振动频率稳定,是其它材料难以代替的。 根据石英晶体的压电效应、压电逆效应及对某些物理量和化学量的变化会引起其频率和Q值(或等效电阻)发生变化的原理而制成的石英传感器,具有精度高、灵敏度好、测量范围宽、反应迅速、数字输出等独特的优势。由于晶体是频率控制元件,本身就能达到数字化(以频率的方式输出),当绝对频偏与被测含量呈线性关系时,其数字处理既简单又方便,且输出数字量稳定可靠,易与计算机接口,有利于二次仪表的数字化。数字量与模拟量相比,具有抗干扰性强,适宜于远距离传输,消除了模拟数字转换这一复杂环节及其造成的误差。由于石英晶体还具有短稳频率与长稳频率的优良特点,传感器的分辨率可提高几个数量级,减少了传感器的校准次数。

石英晶体机械传感器 石英晶体机械传感器主要用于测量位移、速度、力、弹性、重量等,较有代表性的传感器包括石英晶体测力计、石英晶体压力计、石英晶体加速度计、石英谐振式重力仪、石英差频重力仪等。 1石英晶体测力计 根据压电效应原理制造的石英晶体测力计,与接触表面的面积大小无关,当石英晶体受到力的作用时会产生机械形变,在其表面形成束缚电荷,电荷量的大小与作用力成正比,故测出其表面电荷量就可显示出作用力。大部分石英晶体测力计均采用压电系数较大的X切型或AT切型的晶体,X切型晶体的压电方程为: qX=d11FX(1)式中,d11为压电常数,FX为沿晶体X方向施加的压力,qX为垂直于X 轴平面上的电荷。从此式可见,配以适当的电荷放大器就可以测出作用力。石英晶体测力计的结构多种多样,目前研制的环形石英晶体测力计由两个石英晶片、两块环形石英质量块组成,中间夹一金属片作为电极引出线,另一电极为晶体与壳体相连的引出线,测力范围为100kg~105kg。测力计主要应用于测量机床的切削力、机械工具上的实际应力、枪炮的后座力、发射火箭的推力、缆车报警装置等,例如上海测试研究所研制的测力垫圈(测力范围小到100N左右)、瑞士生产的9257A型测力平台等。 2石英晶体压力计 石英晶体压力计亦称石英晶体压力传感器,它是依据压电效应原理(利用外界压力在石英晶体表面形成电荷,再实现电荷放大)或

最新传感器原理及应用试题库

一:填空题(每空1分) 1 1.依据传感器的工作原理,传感器分敏感元件,转换元2 件,测量电路三个部分组成。 3 2.半导体应变计应用较普遍的有体型、薄膜型、扩散型、外延型等。4 3.光电式传感器是将光信号转换为电信号的光敏元件,根据光电效应5 可以分为外光电效应,内光电效应,热释电效应三种。 6 4.光电流与暗电流之差称为光电流。 7 5.光电管的工作点应选在光电流与阳极电压无关的饱和区域内。 8 6.金属丝应变传感器设计过程中为了减少横向效应,可采用直线栅式9 应变计和箔式应变计结构。 10 7.反射式光纤位移传感器在位移-输出曲线的前坡区呈线性关系,在11 后坡区与距离的平方成反比关系。 12 8.根据热敏电阻的三种类型,其中临界温度系数型最适合开关型温13 度传感器。 14 9.画出达林顿光电三极管内部接线方式: U C E 15 10.灵敏度是描述传感器的输出量对输入量敏感程度的特性参数。其定16 义为:传感器输出量的变化值与相应的被测量的变化值之比,用公17 式表示 k(x)=Δy/Δx 。 18 11.线性度是指传感器的输出量与输入量之间是否保持理想线性特19

性的一种度量。按照所依据的基准之线的不同,线性度分为理论线性度、20 端基线性度、独立线性度、最小二乘法线性度等。最常用的是最21 小二乘法线性度。 22 12.根据敏感元件材料的不同,将应变计分为金属式和半导体23 式两大类。 24 13.利用热效应的光电传感器包含光---热、热---电两个阶段的信25 息变换过程。 26 14.应变传感器设计过程中,通常需要考虑温度补偿,温度补偿的方法27 电桥补偿法、计算机补偿法、应变计补偿法、热敏电阻补偿法。 28 15.应变式传感器一般是由电阻应变片和测量电路两部分组成。 29 16.传感器的静态特性有灵敏度、线性度、灵敏度界限、迟滞差和稳30 定性。 31 17.在光照射下,电子逸出物体表面向外发射的现象称为外光电效32 应,入射光强改变物质导电率的物理现象称为内光电效应。 33 18.光电管是一个装有光电阴极和阳极的真空玻璃管。 34 19.光电管的频率响应是指一定频率的调制光照射时光电输出的电流随35 频率变化的关系,与其物理结构、工作状态、负载以及入射光波长等因素有36 关。多数光电器件灵敏度与调制频率的关系为Sr(f)=Sr。/(1+4π2f2τ2) 37 20.内光电效应可分为光电导效应和光生伏特效应。 38 21.国家标准GB 7665--87对传感器下的定义是:能够感受规定的被测39 量并按照一定的规律转换成可用输出信号的器件或装置,通常由敏感元件和40 转换元件组成。 41

相关文档
最新文档