洁净工作台检测方法

洁净工作台检测方法

一、洁净工作台检测方法_工作原理

洁净工作台的工作区的空气经台面前后两侧回风口由风机抽入经中效过滤器后进入静压箱，通过送风到高效过滤器过滤后，从出风面送出，形成洁净气流，并以一定断面风速经过工作区，将尘埃颗粒带走，从而形成高洁净的工作环境。洁净工作台按气流形成分为：垂直层流洁净工作台和水平层流洁净工作台。

二、洁净工作台检测方法_洁净工作台校准项目及技术要求

三、洁净工作台检测方法_校准条件

3.1 洁净工作台检测方法_环境条件|：温度(20±5)qC，相对湿度<75％RH。

3.2 洁净工作台检测方法_校准仪器

(1)过滤器检漏仪：泄漏量程(0．0001％～100％)，重复性0．05％；

(2)尘埃粒子计数器：测量范围(0．3～10)mn，允许误差±30％，流量28．3IMmin；

(3)热球风速仪：测量范围(0．o5～30)m／s，允许误差±3％：

(4)声级计：测量范围(3o一100)dB，允许误差±ldB；

(5)振动仪：频率(2～500)Hz；位移0．1tma～1．5mm；力Ⅱ速度(0．01—10)g；

(6)照度计：测量范围(O一±2oOO)l,，允许误差±4％。

四、洁净工作台检测方法_校准方法

4.1 洁净工作台检测方法_检漏

向高效空气过滤器上游测发DOP气溶胶(冷烟)，用采样器在高效过滤器下游例约2．5cm处检漏仪进行巡检扫描，巡检速度≤5cm／s，当下游测浓度与上游侧浓度的比大于0．01％时，则认为有明显泄漏，应进行洁净工作台堵漏。

4.2 洁净工作台检测方法_洁净度

采样时采用28.3L／rain的尘埃粒子计数器，也可采用小流量尘埃粒子计数器，但采样量得小于1L。当吸风口处的气溶胶浓度达到稳定条件下，在距主过滤器或整流格栅出口250mm的平行断面的中心处连续测试5次，求其平均值。

4.3 洁净工作台检测方法_风速

在主过滤器或扩散板下游10cm处的平面，把该平面面积分成不得少于12等分面积，各面积中心点为风速测点，各测点之间距离不应大于25cm，用热球风速仪或热敏电阻风速仪来测量各点风速，取平均值为截面风速。风速均匀性按下式计算：

式中：y一风速均匀性，％；一截面风速最大值或最小值，m／s；截面平均风速，m／s。

4.4 洁净工作台检测方法_噪声

测试噪声的环境在室内比较开阔的、较硬实反射地面上进行测量。设备操作区开口处，若设有档板应全部开启，特利注意避免气流产生的风压、振动等带来的影响。噪声测量点应布置在工作台中心，距台面前沿20cm处，高度为110cm，共测四次，取平均值为测量结果。

4.5 洁净工作台检测方法_振动

洁净工作台应放置在振动比较小的地面上，避免周围环境环的影响，工作台在正常运行条件下，将振动分析计的拾振器放置于操作面的几何中心，测出x、Y、z三个轴向的总振幅值。

4.6 洁净工作台检测方法_照明

声、抗干扰能力及噪声抑制能力决定。本装置采用超低噪声前置放大器设计和多级相关处理，使最高灵敏度达到lnV。尽管10nV以下信号测量技术难度较大，重复性有时不好，但按最小量程100nV，最小测量值10nV建标是能满足要求的。小电压的上限一般为0．1V，所以量程范围可定为10nV～0．1V。

因受元器件性能的影响，一般情况下，用相关原理设计制作的微弱信号测量装置，其工作频率只能达到几十千赫兹。采用掺有粉沫陶瓷的聚苯硫醚复合材料为介质制作的优质电容能大大改善测量电路的频率特性和温度稳

定性。通过幅频曲线函数拟合与频响误差修正方法可进一步扩展工作频率范围，提高测量精度。工作频率范围可达到10Hz～250kHz。